DE2404857C2 - Verfahren zur Bearbeitung eines Werkstückes aus einem nichtleitenden Material, insbesondere Diamant, durch Funkenerosion - Google Patents

Verfahren zur Bearbeitung eines Werkstückes aus einem nichtleitenden Material, insbesondere Diamant, durch Funkenerosion

Info

Publication number
DE2404857C2
DE2404857C2 DE2404857A DE2404857A DE2404857C2 DE 2404857 C2 DE2404857 C2 DE 2404857C2 DE 2404857 A DE2404857 A DE 2404857A DE 2404857 A DE2404857 A DE 2404857A DE 2404857 C2 DE2404857 C2 DE 2404857C2
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
machining
diamond
dielectric liquid
liquid
spark erosion
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired
Application number
DE2404857A
Other languages
English (en)
Other versions
DE2404857A1 (de
Inventor
Cornelis Van Osenbruggen
Johannes van Eindhoven Ruler
Theodorus Maria Berendina Schoenmakers
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Koninklijke Philips NV
Original Assignee
Philips Gloeilampenfabrieken NV
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Philips Gloeilampenfabrieken NV filed Critical Philips Gloeilampenfabrieken NV
Publication of DE2404857A1 publication Critical patent/DE2404857A1/de
Application granted granted Critical
Publication of DE2404857C2 publication Critical patent/DE2404857C2/de
Expired legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23HWORKING OF METAL BY THE ACTION OF A HIGH CONCENTRATION OF ELECTRIC CURRENT ON A WORKPIECE USING AN ELECTRODE WHICH TAKES THE PLACE OF A TOOL; SUCH WORKING COMBINED WITH OTHER FORMS OF WORKING OF METAL
    • B23H1/00Electrical discharge machining, i.e. removing metal with a series of rapidly recurring electrical discharges between an electrode and a workpiece in the presence of a fluid dielectric
    • B23H1/08Working media

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Electrical Discharge Machining, Electrochemical Machining, And Combined Machining (AREA)
  • Carbon And Carbon Compounds (AREA)
  • Crystals, And After-Treatments Of Crystals (AREA)

Description

Verfahren zur Bearbeitung eines Werkstückes aus einem nichtleitenden Material, insbesondere Diamant, durch Funkenerosion.
Die Erfindung bezieht sich auf ein Verfahren zur Bearbeitung eines Werkstückes aus einem nichtleitenden Material, insbesondere Diamant, durch Funkenerosion in einer dielektrischen Flüssigkeit.
Bei einem bekannten Verfahren dieser Art (US-PS 29 39 941) wird ein zu bearbeitender Diamant mit einer leitenden Graphitschicht versehen, indem der Diamant in einer nichtoxidierenden Flamme erhitzt wird, bis die Giaphiiierungstemperatur erreicht ist, wonach unter nichtoxidierenden Bedingungen vorsichtig abgekühlt wird. Die ganze Oberfläche des Diamanten wird dabei in Graphit umgewandelt. Es ist auch möglich, die Oberfläche des Diamanten in einer eine Kohlenstoffverbindung enthaltenden Atmosphäre pyrolytisch mit einer leitenden Kohlenstoffschicht zu versehen.
Zur funkenerosiven Bearbeitung werden sodann Spannungsimpulse von einer RC-Klppschaltung zwischen einer auf der leitenden Schicht ruhenden Elektrode und der leitenden Oberfläche angelegt. Der Diamant befindet sich in einer dielektrischen Flüssigkeit.
Die Temperatur an der Kontaktstelle steigt durch direkten Stromdurchgang schnell auf einen derart hohen Wert an, daß die Graphitschicht verdampft. Zu dem Zeitpunkt, zu dem die Graphitschicht zwischen der Elektrode und dem Diamanten verschwunden ist, findet ein Funkenüberschlag über die freigelegte Dlamantoberfläche statt. Die Temperatur steigt örtlich bis oberhalb 3000° C, an, wodurch eine kraterförmlge Öffnung in der Diamantoberfläche durch Verdampfung gebildet wird. Der Boden der kraterförmlgen Öffnung besteht aus Graphit, well die örtliche Temperatur oberhalb 1700° C (Umwandlungstemperatur Diamant-Graphit) gelegen hat. Die Elektrode kommt nun auf der neu gebildeten Graphitschicht zur Anlage, wonach sich der Vorgang wiederholt.
Die dielektrische Flüssigkeit dient zur Beschränkung der Ausbreitung des Funkenkanals, so daß zwischen der Elektrode und dem Werkstück hohe Stromdichten auftreten können, wobei diese Flüssigkeit außerdem als Kühlmittel und als Transportmittel für die von dem Werkstück und der Elektrode abgeschlagenen Teilchen dient. Als dielektrische Flüssigkelten werden Petroleum, Kerosin, Tetrachlorkohlenstoff, Trichloräthylen, Tetralin, Olivenöl und Paraffinöl verwendet. Die genannten Flüssigkeiten sind im allgemeinen nichtleitend, bis die Durchschlagfeldstärke erreicht wird, entionisieren nach dem Durchschlag schnell, sind dünnflüssig und weisen einen hohen Flammpunkt auf.
Das bekannte Verfahren weist mehrere Nachteile auf. Ein Funkenüberschlag findet gewöhnlich erst bei verhältnismäßig hoher Spannung statt. Dadurch wird bei jedem Funkenüberschlag viel Entladungsenergie frei, wodurch die bearbeiteten Oberflächen verhältnismäßig rauh werden. Die Formgenauigkeit läßt zu wünschen übrig und ist bei Diamanten auch von der Kristallorientierung abhängig.
is Die bei dem Funkenüberschlag gebildete Graphitschicht ist bei Diamanten nicht regelmäßig; dadurch ergeben sich Verzugsstrombahnen für die Ableitung der Ladung, die sogenannte Abnutzungsnuten i" dem Werkstück zur Folge haben.
Die bei dem bekannten Verfahren verwendete Elektrode ist starker Abnutzung ausgesetzt. Öffnungen geringer Abmessungen können nicht erzeugt werden; Elektroden mit dem dazu notwendigen kleinen Durchmesser werden verformt, wenn sie mit der für den Vorgang not-
-5 wendigen Kraft gegen die zu bea/beitende Oberfläche gedrückt werden.
Die Erfindung hat die Aufgabe, das bekannte Verfahren derart zu verbessern, daß die genannten Nachteile vermieden werden.
Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß dadurch gelöst, daß bei einem Verfahren der eingangs genannten Art die dielektrische Flüssigkeit in an sich bekannter Weise eine wäßrige Elektrolytlösung und einen oberflächenaktiven Stoff enthält, daß die Menge des oberflächenaktiven Stoffes zumindest der kritischen Micellenkonzentration entspricht, und die wäßrige Elektrolytlösung in einer Menge, die, auf die Menge an dielektrischer Flüssigkeit bezogen, 0,5 bis 10 Vol.-% beträgt, im solubilisierten Zustand enthalten ist.
Unter Solubilisierung ist das Lösen eines Stoffes in einem Lösungsmittel zu verstehen, in dem der Stoff normalerweise nicht löslich ist. Dabei wird das sogenannte Solubillsat, im vorliegenden Falle die wäßrige Elektrolytlösung, in Micellen aufgenommen, die durch einen oberflächenaktiven Stoff In der. dielektrischen Flüssigkeit gebildet werden. Es versteht sich, daß die Konzentration des oberflächenaktiven Stoffes in der dielektrischen Flüssigkeit größer als die kritische Micellenkonzentration sein muß. Als dielektrische Flüssigkeit können die ObIl-
chen dielektrischen Flüssigkeiten vepvendet werden, von denen bereits mehrere Beispiele erwähnt wurden.
Bei der funkenerosiven Bearbeitung von leitenden Werkstücken Ist es an sich bekannt, Wasser-in-Öl-Emulsionen als dielektrische Flüssigkeit zu verwenden (US-PS 29 96 602). Derartige Emulsionen sind wegen ihrer großen Emulslonstropfen ungünstig. Es werden keine Micellen gebildet und eine Solubilisierung findet nicht statt.
Die bei dem Verfahren nach der Erfindung verwendete Emulsion Ist transparent oder halbtransparent, well die Tropfen der emulgierten Elektrolytlösung Abmessungen aufweisen, die kleiner als die Wellenlänge des sichtbaren Lichtes sind. Nachstehend wird diese Flüssigkeit als »Mlkroemulslon« bezeichnet. Die Menge an Elektrolytlösung, die unter Bildung einer Mlkroemulsion in der dl-
elektrischen Flüssigkeit verteilt werden kann. Ist von der Konzentration des oberflächenaktiven Stoffes abhängig und kann von Fall zu Fall leicht durch Versuche ermittelt werden. Versuche haben ergeben, daß die Menge an
Elektrolytlösung, bezogen auf die Menge an dielektrischer Flüssigkeit, nicht mehr als 10 Vol.-% und vorzugsweise weniger als 5 Vol.-« betragen soll. Ein brauchbarer Effekt tritt bei Mengen von etwa 0,5 Vol.-% an auf". Der elektrische Widerstand der Mikroemulsion weicht nur in geringem Maße vom elektrischen Widerstand der durch die dielektrische Flüssigkeit gebildeten kontinuierlichen Phase ab. Die Durchschlagfeldstärke ist aber niedriger als die der dielektrischen Flüssigkeit.
Ein wesentlicher Vorteil des erfindungsgemäßen Ver-(ahrens lsi der, daß es weder erforderlich ist, die Elektrode auf der zu bearbeitenden Oberfläche aufliegen zu lassen, noch sie gegen diese Oberfläche zu drücken. Dadurch wird eine größere Formgenauigkeit der anzubringenden Öffnung erzielt. Ein anderer sich daraus ergebender Vorteil besteht darin, daß Öffnungen mit einem kleineren Durchmesser als bei dem bekannten Verfahren erhalten werden können, weil die Starrheit der Elektrode nur noch eine untergeordnete Rolle spielt.
Die in der Mikroemulsion vorhandenen, das Solubilisat enthaltenden MicaÜen bewegen sich in dem elektrischen Feld zwischen det Elektrode und dem Diamanten zu den Stellen, an denen die höchste Feldstärke auftritt. Dadurch wird die Feldstärke in der dielektrischen Flüssigkeit örtlich noch weiter vergrößert. Infolge der lawinenartigen Zunahme der Feldstärke zwischen der Elektrode und dem Diamanten findet schnell ein Durchschlag statt. Ein zweiter sehr überraschender Effekt der Mikroemulsion ist der, daß die neu gebildete Oberfläche des Werkstückes derart gut leitend ist, daß die Bildung J" von Vorzugsstrombahnen und Abnutzungsnuten effektiv verhindert wird. Dies wird wahrscheinlich dadurch herbeigeführt, daß beim Durchschlag das Solubüisat aus den Micellen ausgelöst wird und -Jen ühi/ die nichtleitende Oberfläche ausbreitet, diese bei.ec.t, dabei die dielektri- a sehe Flüssigkeit von der Oberfläche ν ldrängt und auf diese Welse eine leitende Schicht auf der nichtleitenden Oberfläche des Werkstückes biidet.
Die Bearbeitungszeit wird außerdem verkürzt, wäh-
Tabelle I
rend die Abnutzung der Elektrode verringert wird. Es stellt sich heraus, daß die Kristallorientierung des Diamanten dabei die Formgenauigkeit nicht beeinflußt.
Bei allen Bearbeitungen, die durch Funkenerosion vorgenommen werde» können, z. B. beim Bohren von Löchern, beim Ausbohren von Zylindern mit hohlen Elektroden und beim Sägen mit drahtförmigen Elektroden, kann das Verfahren nach der Erfindung angewandt werden.
Versuche haben ergeben, daß bei Anwendung einer üblichen Emulsion, bei der die Elektrolytlösung nicht in Micellen aufgenommen ist, die durch den oberflächenaktiven Stoff gebildet werden, und bei der die Tropfen der Elektrolytlösung einen Durchmesser von mehr als 1 μπι aufweisen, ebenfalls anfänglich der durch die Erfindung angestrebte Effekt auftritt. Es stellt sich aber heraus, daß eine derartige Emulsion unter den Bedingungen, die bei der Bearbeitung durch Funkenerosion auftreten, ausflockt, wodurch sie schnell unbrauchbar wird.
Die bei dem Verfahren nach der Erfindung anzuwendenden Mikroemulsionen können im allgemeinen mit oberflächenaktiven Stoffen, wie Alicylammoniumsalzen, Salzen von Aminen mit einer Ci2- oder einer längeren Alkylkette, Seifen von Alkylaminen, Sulfosuccinaten, Alkylarylsulfonaten und nlchtionogenen oberflächenaktiven Stoffen, hergestellt werden, wobei der hydrophile Teil der letzteren Stoffe aus einer Polyoxyäthylenkette besteht und der hydrophobe Teil eine Alkyl- oder Alkylarylkette enthalten kann.
In der Tabelle I sind eine Anzahl oberflächenaktiver Stoffe mit der HLB-Zahl und dem Handelsnamen erwähnt, mit denen brauchbare Mikroemulsionen hergestellt werden können. Die HLB-Zahl (hydrophilic-lipophilic-balance) ist ein Maß für das Verhältnis zwischen den Anziehungskräften, die die beiden Phasen (normalerweise Öl und Wasser) auf einen oberflächenaktiven Stoff ausüben (POE in der Tabelle steht für Polyoxyäthylen).
Oberflächenaktiver Stoff
POE-Lauryläther
POE-Sorbitolmonooleat
POE-Sorbltolhexaoleat
POE-Scrbltoitristearat
POE-Sorbltolpentalaurat
POE-Oleyläther
POE-Sorbitalester eines
Gemisches von
Fett- und Harzsäuren
Na-Dl(2-äthylhexyI)-sulfosuccinat
Na-Dltridecylsulfosucclnat
Die Erfindung wird nachstehend anhand einiger Aus führungsbelspiele näher erläutert.
I. AusfOhrungsbeispiele
von dielektrischen Flüssigkeiten
Mikroemulsion A
In 600 ml Kerosin wurde 30 g Polyoxyäthylensorbltolhexaoleat mit einer HLB-Zahl von 10,2 gelöst. Dieser Lösung wurde 18 ml einer einmolaren NaOH-Lösung In Wasser zugesetzt, wonach solange gerührt wurde, bis eine transparente Flüssigkeit entstand.
HLB- Handels Firma
Zahl name
9,7 Bry 30 Atlas Chem. Ind.
10,0 Tween 81 Atlas Chem. Ind.
10,2 G-1086 Atlas Chem. Ind.
10,5 Tween 65 Atlas Chem. Ind.
9,7 G-1061 Atlas Chem. Ind.
12,4 G-3910 Atlas Chem. Ind.
8,6 G-1234 Atlas Chem. Ind.
13,5 Aerosol OT Amer. Cyanamld Co
- Aerosol TR Amer. Cyanamid Co
Mikroemulsion B
in 600 ml Kerosin wurde 20 g Di-(2-äthylhexyl)-natrlumsulf'osucclnat (Aerosol-OT) mit einer HLB-Zahl von 13,5 gelöst. Dieser Lösung wurde 18 ml einer einmolaren NaOH-Lösung In Wasser zugesetzt, wonach solange gerührt wurde, bis eine transparente Flüssigkeit entstand.
Mikroemulslon C
In 600 ml Kerosin wurde 20 g Dl-(2-äthylhexyl)-natriumsulfosucclnat mit einer HLB-Zahl von 13,5 gelöst.
dieser Lösung wurde 18 ml einer einmolaren H2SO4- -ösung in Wasser zugesetzt, wonach solange gerührt vurde, bis eine transparente Flüssigkeit entstand.
Mikroemuision D
In 600 ml Kerosin wurde 40 g Polyoxyäthylenlaurylither mit einer HLB-Zahl von 9,7 gelöst. Dieser Lösung ivurde 10 ml einer 0,1-molaren HiSCVLösung in Wasser zugesetzt, wonach solange gerührt wurde, bis eine transparente Flüssigkeit entstand.
II. Bearbeitungsbeispiele
Mit Hilfe von Funkenerosion wurden Löcher in einen Diamanten gebohrt, wobei die folgenden Flüssigkeiten angewendet wurden: Kerosin, Kerosin mit oberfläche- is naktivem Stoff, Kerosin mit oberflächenaktivem Stoff und Wasser, Flüssigkeiten A, B, C und D.
In der Tabelle II sind die Ergebnisse dieser Experimente zusammengefaßt. In die Oberfläche eines Diamanten wurde ein kegeliges Loch mit einer Tiefe von 0,4 mm
Tabeiie H
und einem Spitzenwinkel von 30° gebohrt. In der ersten Spalte ist die angewendete dielektrische Flüssigkeit, in der zweiten Spalte die benötigte Zeit und in der dritten Spalte die relative Elektrodenabnutzung in Vol.-% autgeführt. Anschließend wurde in den Boden dieses Loches ein kegeliges Loch mit einem Spitzenwinkel von 14° gebohrt. In der vierten bis sechsten Spalte ist die Unrundheit des Übergangs von dem ersten zu dem zweiten Loch angegeben (mittlerer Durchmesser, größte Abweichung von diesem Durchmesser und Form). In der siebenten und achten Stelle ist eine visuelle Beurteilung der Oberflächenrauhigkeit der Wände der kegeligen Löcher mit einem Spitzenwinkel von 30° bzw. 14° aufgeführt. Die Funkenerosion wurde unter Verwendung eines Funkengenerators mit einer Impulsspannung von 800 V, einem Impulsstrom von 4 A, einer Impulsdauer von 1 usec und einer Impulsfrequenz von 2,5 kHz durchgeführt; die Elektrode bestand aus einem zugespitzten Wolframdraht.
Diel.
Flüssigkeit
Funkenzeit
In see
Abnutzung in %
μπη
Unrundheit
μίτι
Form Oberflächenrauhlgkelt
30°-Loch
14°-Loch
Kerosin 155 5
Flüssigkeit I 71,5 5
Flüssigkeit II 42 0,6
Mikroemuision A 33
1,1
235 10 sechs mittel grob
eckig mäßig
235 10 id. id. mittelmäßig
zu grob
200 7 id. mittel mittelmäßig
mäßig zu grob
zu fein
230 <3 rund mittel mittelmäßig
mäßig zu fein
zu fein
180 <3 rund fein fein
180 <3 rund fein fein
220 <3 rund mittel mittelmäßig
mäßig zu fein
zu fein
Mikroemuision B 70 1,5 Mikroemuision C 45 1,2 Mikroemuision D 31 0,6
Flüssigkeit I: 600 ml Kerosin, darin gelöst 15 g Polyoxyäthylenlauryläther mit HLB-Zahl 9,7 Flüssigkeit II: 600 ml Kerosin, darin gelöst 30 g Polyoxyäthylenlauryläther rr.lt HLB-Zahl 9,7 und 18 n:
Wasser.
50

Claims (2)

Patentansprüche:
1. Verfahren zur Bearbeitung eines Werkstückes aus einem nichtleitenden Material, insbesondere Diamant, durch Funkenerosion in einer dielektrischen Flüssigkeit, dadurch gekennzeichnet, daß die dielektrische Flüssigkeit in an sich bekannter Weise eine wäßrige Elektrolytlösung und einen oberflächenaktiven Stoff enthält, daß die Menge des oberflächenaktiven Stoffes zumindest der kritischen Micellenkonzentration entspricht, und die wäßrige Elektrolytlösung in einer Menge, die, auf die Menge an dielektrischer Flüssigkeit bezogen, 0,5 bis 10 VoL-K beträgt, im solubilisierten Zustand enthalten ist.
2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der Anteil der Elektrolytlösung, auf die Menge an dielektrischer Flüssigkeit bezogen, 0,5 bis 5 VoI.-% beträgt.
DE2404857A 1973-02-07 1974-02-01 Verfahren zur Bearbeitung eines Werkstückes aus einem nichtleitenden Material, insbesondere Diamant, durch Funkenerosion Expired DE2404857C2 (de)

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
NL7301683A NL7301683A (de) 1973-02-07 1973-02-07

Publications (2)

Publication Number Publication Date
DE2404857A1 DE2404857A1 (de) 1974-08-15
DE2404857C2 true DE2404857C2 (de) 1984-06-07

Family

ID=19818153

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE2404857A Expired DE2404857C2 (de) 1973-02-07 1974-02-01 Verfahren zur Bearbeitung eines Werkstückes aus einem nichtleitenden Material, insbesondere Diamant, durch Funkenerosion

Country Status (8)

Country Link
JP (1) JPS5722883B2 (de)
BE (1) BE810638A (de)
CH (1) CH578399A5 (de)
DE (1) DE2404857C2 (de)
FR (1) FR2216055B1 (de)
GB (1) GB1452218A (de)
NL (1) NL7301683A (de)
ZA (1) ZA74681B (de)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE4102250A1 (de) * 1991-01-23 1992-07-30 Univ Chemnitz Tech Verfahren zum elektroerosiven bearbeiten von elektrisch schwach- oder nichtleitenden werkstuecken

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4473733A (en) * 1981-07-07 1984-09-25 Inoue-Japax Research Incorporated EDM Method and apparatus using hydrocarbon and water liquids

Family Cites Families (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US2939941A (en) * 1957-03-20 1960-06-07 Heerschap Matthys Eroding of hard crystalline carbon
US2996602A (en) * 1959-01-26 1961-08-15 Elox Corp Michigan Edm coolant

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE4102250A1 (de) * 1991-01-23 1992-07-30 Univ Chemnitz Tech Verfahren zum elektroerosiven bearbeiten von elektrisch schwach- oder nichtleitenden werkstuecken

Also Published As

Publication number Publication date
GB1452218A (en) 1976-10-13
DE2404857A1 (de) 1974-08-15
JPS5722883B2 (de) 1982-05-15
CH578399A5 (de) 1976-08-13
FR2216055B1 (de) 1977-09-16
NL7301683A (de) 1974-08-09
FR2216055A1 (de) 1974-08-30
ZA74681B (en) 1975-09-24
JPS49111889A (de) 1974-10-24
BE810638A (fr) 1974-08-05

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE69724269T2 (de) Verfahren für das anisotrope ätzen von strukturen in leitende materialien
DE2906245C3 (de) Drahtelektrode für das funkenerosive Schneiden
DE2800344C2 (de)
DE2945533C2 (de) Verfahren zur Herstellung eines Verdrahtungssystems
DE2930391A1 (de) Plasmaaetzvorrichtung
DE3035058A1 (de) Drahtelektrode zum schneiden metallischer werkstuecke durch funkenerosion sowie verwendung und verwendung zur herstellung solcher drahtelektroden
DE2922206A1 (de) Verfahren und einrichtung zum bearbeiten mittels elektroerosion
DE3022519A1 (de) Verfahren und vorrichtung zum elektrochemischen fraesen des randes eines werkstueckes
DE1049189B (de) Anwendung eines elektrolytischen Verfahrens zur Erzeugung eines spannungsfreien Schnitts in einem Halbleiter
DE1120618B (de) Verfahren zur Elektroerosion mit elektrisch leitenden Teilchen im Arbeitsspalt
DE2404857C2 (de) Verfahren zur Bearbeitung eines Werkstückes aus einem nichtleitenden Material, insbesondere Diamant, durch Funkenerosion
DE2640801A1 (de) Verfahren zur elektrolytzirkulation in einer elektrolysezelle fuer die elektrische raffination und elektrogewinnung von kupfer sowie eine elektrolysezelle zur durchfuehrung des verfahrens
DE1018555B (de) Verfahren zur Herstellung einer Halbleiteranordnung, insbesondere einer Kristalldiode oder eines Transistors, deren halbleitender Koerper mit wenigstens einer aufgeschmolzenen Elektrode versehen ist
DE2525902A1 (de) Schneidplatte mit spanbrecher
US4013863A (en) Method of finishing a workpiece of a non-conducting material, particularly diamond, by means of spark erosion
DE2207942A1 (de) Verfahren zur Bearbeitung eines aus elektrisch leitendem Material bestehenden Werkstücks durch elektrische Entladungen zwischen dem Werkstück und einem elektrisch leitenden Draht sowie Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens
DE1258941B (de) Verfahren zur Herstellung von mehrschichtigen Duennfilmschaltungsplatten
DE4391902C2 (de) Verfahren zur Zubereitung von wäßriger Arbeitsflüssigkeit für die Funkenerodierbearbeitung
DE3241780C2 (de) Verfahren zum funkenerosiven Senkerodieren
DE3240469C2 (de)
DE4132879C2 (de) Dielektrische Flüssigkeit für die Metallbearbeitung durch Funkenerosion
DE3102207C2 (de)
DE2100735A1 (de) Verfahren zur spanenden Bearbeitung von Metallen in Gegenwart eines Kuhlschmier mittels
EP0585667A1 (de) Verfahren zur Regelung des Stromes bei einem elektrochemischen Bearbeitungsprozess
DE69009911T2 (de) Elektrode für Elektroentladungsbearbeitung.

Legal Events

Date Code Title Description
8128 New person/name/address of the agent

Representative=s name: PIEGLER, H., DIPL.-CHEM., PAT.-ASS., 2000 HAMBURG

D2 Grant after examination
8364 No opposition during term of opposition
8339 Ceased/non-payment of the annual fee