DE2400792B2 - SORPTION PUMP DEVICE - Google Patents
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Description
Die Erfindung betrifft eine Sorptionspumpvorrichtung mit einem ein Sorptionsmaterial enthaltenden <>° Behälter, der über eine Eingangsleitung mit einem zu evakuierendem Raum verbindbar ist und der mit Mitteln zum Anschließen von mindestens zwei Bereichen des Sorptionsmaterials versehen ist, die sich durch unterschiedliche Höhe über dem !Boden des Behälters ft5 unterscheiden.The invention relates to a sorption pump device with a container containing a sorbent material, which can be connected to a space to be evacuated via an inlet line and which is provided with means for connecting at least two areas of the sorbent material which are at different heights above the floor of the container ft 5 differ.
Eine solche Sorptionspumpvorrichtung ist aus »Review of Scientific Instruments«, Bd. 34 Nr, 5, Mai !963,Such a sorption pump device is from "Review of Scientific Instruments", Vol. 34 No. 5, May! 963,
Seiten 587 und 588, bekannt.Pages 587 and 588, known.
Diese bekannte Pumpvorrichtung hat eine einzige feste Eingangsleitung zu dem Behälter, in dem das Sorplionsmaterial in gesonderten Schichten aufgeteilt ist, die sich auf einer Vielzahl im Behälter vereinzelt angeordneter Teller befinden. Durch die Anordnung der Teller soll erreicht werden, daß das Sorptionsmaterial das ziemlich weit von der Mündung der Eingangsleitung im Behälter entlernt ist, besser genutzt wird. Das angesaugte Gas wird ziemlich gleichmäßig auf die zu den jeweiligen Tellern gehörenden Sorptionsmalerialoberflächen aufgeteilt.This known pumping device has a single fixed inlet line to the container in which the Sorplion material is divided into separate layers, which are isolated on a large number in the container arranged plate. The arrangement of the plates is intended to ensure that the sorbent material which is emptied quite a long way from the mouth of the inlet line in the container, is better used. That sucked gas is fairly evenly on the Sorptionsmalerialoberflächen belonging to the respective plates divided up.
Eine derartige Pumpvorrichtung ist wegen der großen Zahl der Teller nicht nur kompliziert und aufwendig, sondern auch in ihrer Wirkung noch nicht optimal.Such a pumping device is not only complicated and because of the large number of plates complex, but also not yet optimal in their effect.
Der Erfindung liegt nun die Aufgabe zugrunde, eine Sorptionspumpvorrichtung einfacher Konstruktion zu schaffen, die eine hohe wirksame Sorptionsleistung und eine hohe Pumpgeschwindigkeit aufweist und einen niedrigen Restdruck liefert. Eine hohe wirksame Sorptionsleistung bedeutet, daß eine Vielzahl von Pumpzyklen durchgeführt werden kann, ohne daß zwischendurch eine Reaktivierung des Sorptionsmaterials notwendig ist.The invention is based on the object of providing a sorption pump device of a simple construction create, which has a high effective sorption capacity and a high pumping speed and a low residual pressure. A high effective sorption capacity means that a large number of Pump cycles can be carried out without a reactivation of the sorbent material in between necessary is.
Der Erfindung liegt der Gedanke zugrunde, daß eine optimale Pumpwirkung dadurch erhalten werden kann, daß während eines Pumpzyklus das aus dem zu evakuierenden Raum angesaugte Gas über unterschiedliche Wege dem Sorptionsmaterial angeboten wird.The invention is based on the idea that an optimal pumping effect can be obtained by that during a pumping cycle the gas sucked in from the space to be evacuated via different Ways the sorbent material is offered.
Die genannte Aufgabe wird erfindungsgemäß bei einer Sorptionsvorrichtung der eingangs genannten Art dadurch gelöst, daß die Mittel derart ausgeführt sind, daß das Sorptionsmaterial nacheinander in unterschiedlichen Bereichen ein und derselben nicht in sich unterteilten Absorbermenge unmittelbar an den zu evakuierenden Raum umschaltbar anschließbar ist.The stated object is achieved according to the invention in a sorption device of the type mentioned at the beginning solved in that the means are designed such that the sorbent material successively in different Areas of one and the same non-subdivided amount of absorber directly to the evacuating room is switchable connectable.
Unter unterschiedlichen Bereichen des Absorbers werden nicht nur unterschiedliche Höhen in axialer Richtung des zylindrischen Behälters verstanden, sondern auch untereinander verschiedene Stellen, in radialer Richtung des Behälters gesehen.Not only are there different heights in the axial direction under different areas of the absorber Understood the direction of the cylindrical container, but also different places in seen radial direction of the container.
Dadurch, daß während der Anfangsperiode eines Pumpzyklus das Gas höheren Drucks aus dem zu evakuierenden Raum zu dem in einem bestimmten Bereich liegenden Sorptionsmaterial zugelassen wird, wird dieses Material belastet, aber das in einem anderen Bereich liegende Sorpfionsmaterial bleibt nahezu unbelastet. Wenn danach, während der Endperiode des Pumpzyklus das Gas niedrigeren Drucks zu diesem nahezu unbelasteten Sorptionsmaterial zugeführt wird (und gewünschtenfalls gleichzeitig auch zu dem bereits durch das Gas höheren Drucks mehr oder weniger abgesättigten Material), erfolgt auch bei niedrigerem Druck eine gute und schnelle Sorption. Das Sorptionsmaterial wird so auf sehr wirksame Weise ausgenutzt, so daß kurze Pumpzeiten sowie niedrige Restdrücke im Vakuumraum erhalten werden.By the fact that during the initial period of a pumping cycle, the higher pressure gas from the to evacuating room is admitted to the sorbent material lying in a certain area, this material is loaded, but the sorptive material lying in another area remains almost unchanged unencumbered. If after that, during the end period of the pumping cycle, the gas will lower pressure to this virtually unpolluted sorbent material is supplied (and, if desired, at the same time to the already material more or less saturated by the gas of higher pressure), also takes place at lower Print a good and quick sorption. The sorbent material is used in a very effective way, see above that short pumping times and low residual pressures are obtained in the vacuum space.
Gemäß einer Weiterbildung der Erfindung, bestehen Hi^ Mittel aus einem im Behälter angeordneten und an der Eingangsleitung angeschlossenen Hohlrohr, das in einem den Absorber durchdringenden Kanal axial verschiebbar und/oder um die Längsachse drehbar ist und mindestens zwei in axialer Richtung in einem Abstand voneinander liegende öffnungen aufweist, die durch axiale Verschiebung bzw. durch Drehung um die Längsachse des Hohlrohres nacheinander freigegeben werden.According to a further development of the invention, Hi ^ means consist of a arranged in the container and on the hollow tube connected to the inlet line, axially in a channel penetrating the absorber is displaceable and / or rotatable about the longitudinal axis and at least two in the axial direction in one Has spaced apart openings, which by axial displacement or by rotation around the Longitudinal axis of the hollow tube are released one after the other.
24 OO24 OO
Das Hohlrohr kann einen integralen Teil der Eingangsleitung bilden oder als gesondertes Rohr vorhanden sein. Die Konstruktion dieser Sorptions pumpvorrichtung ist gedrängt und einfachThe hollow tube can be an integral part of the Form input line or be available as a separate pipe. The construction of this sorption pumping device is compact and simple
Gemäß einer anderen Weiterbildung der Erfindung s bestehen die Mittel aus einem auf beiden Seilen offenen Hohlrohr, das innerhalb des Behälters fest angeordnet ist, wobei das obere Rohrende koaxial mil der Eingangsleitung innerhalb der Mündung dieser I eiiunc im Behälter und in einem Abstand von der Mündung ■·· angeordnet ist, so daß ein Ringk.mal gebildet ist wobei in der Eingangsleitung ein Absperrventil angeordnet ist das nacheinander das obere Rohrende und den Ringkanal freigibt.According to another development of the invention, the means consist of an open cable on both ropes Hollow tube which is fixedly arranged within the container, the upper end of the tube being coaxial with the mil Input line within the mouth of this I eiiunc in the container and at a distance from the mouth ■ ·· is arranged so that a ring k.mal is formed wherein a shut-off valve is arranged in the inlet line which successively releases the upper end of the pipe and the ring channel.
Eine derartige Pumpvorrichtung ist ebenfalls gedrängt und läßt sich leicht durch Hinzufügung des Rohres und des geeigneten Absperrventils zu den bisher bekannten Pumpvorrichtungen herstellen.Such a pumping device is also compact and can be easily removed by adding the Manufacture tube and the appropriate shut-off valve to the previously known pumping devices.
Eine andere Weiterbildung der Erfindung ist dadurch gekennzeichnet, daß die Mittel aus mindestens einer j» zweiten Eingangsleitung bestehen, die der Eingangsleitung parallel geschaltet ist. wobei alle Eingangsleitungen absperrbar sind und untereinander auf unterschiedlichen Höhen über dem Boden des Behälters in den Behälter einmünden. ,s Another further development of the invention is characterized in that the means consist of at least one second input line which is connected in parallel with the input line. wherein all input lines can be shut off and flow into the container at different heights above the bottom of the container. , s
Dabei kann von wenigsiiens einer Eingangsleitung die Anschlußhöhe über dem Boden des Behälters im Absorber einstellbar sein. Dies ermöglicht einen optimalen örtlichen Gebrauch des SorptionsmaterialsThereby, the Connection height above the bottom of the container in the absorber can be adjusted. This enables one optimal local use of the sorbent material
Ausführungsbeispiele der Erfindung sind in den Zeichnungen dargestellt und werden im folgenden näher beschrieben.Embodiments of the invention are shown in the drawings and are described below described in more detail.
Es zeigenShow it
Fig. la und 4 bis 8 schematische nicht maßgerechte Ausführungsformen von Sorptionspumpvorrichtungen .v, im Längsschnitt,La and 4 to 8 are schematic non-dimensional embodiments of sorption pump devices .v, in longitudinal section,
F i g. I b eine Darstellung eine·· anderen Ausführungsform des Innenteils der Sorptionspumpvorrichtung nach Fig. la,F i g. I b shows a representation of another embodiment of the inner part of the sorption pump device Fig. La,
Fig. 2 und 3 graphische Darstellungen mit je einer Pumpkurve für die Sorptionspumpvorrichtung nach F i g. 1 a im Vergleich zu der einer bekannten Sorptionspumpvorrichtung. 2 and 3 are graphic representations, each with a pump curve for the sorption pump device according to FIG F i g. 1 a in comparison to that of a known sorption pumping device.
In F i g. 1 ist mit dem Bezugszeichen J ein Behälter angegeben, in dem sich ein Adsorptionsmaterial 2, beispielsweise ein natürliches oder synthetisches Zeolith befindet. Der Behälter hat eine Eingangsleitung 3, die an der Stelle des Flansches 4 an einen zu evakuierenden Raum angeschlossen werden kann. Ein innerhalb des Behälters angeordnetes auf beiden Seiten offenes Hohlrohr 5 ist mit dem oberen Ende innerhalb der Eingangsleitung 3 und koaxial zu derselben angeordnet. Das untere Ende des Rohres ist mit Seitenöffnungen 6 versehen. Ein Absperrventil 7, in zwei Stellungen dargestellt, enthält einen Ventilkörper 8, der mit dem Ventilsitz 8a dichtend zusammenarbeiten kann. Der Ventilkörper 8 ist über einen Schaft 9 mit einem Bedienungsgriff 10 verbunden und trägt an der Unterseite eine biegsame ringförmige Membran 11, die ihrerseits eine zylinderfönmige Büchse 12 trägt. Diese Büchse 12 paßt genau um das Ende des Rohres 5 und ist darüber hin und her verschiebbar. Über der Membran 11 sind radiale öffnungen 113 vorgesehen. Die Membran kann den ringförmigen Raum 14 abschließen.In Fig. 1, the reference character J indicates a container in which an adsorbent material 2, for example a natural or synthetic zeolite, is located. The container has an inlet line 3 which can be connected to a space to be evacuated at the location of the flange 4. A hollow tube 5, which is arranged inside the container and which is open on both sides, is arranged with the upper end inside the input line 3 and coaxially to the same. The lower end of the tube is provided with side openings 6. A shut-off valve 7, shown in two positions, contains a valve body 8 which can cooperate in a sealing manner with the valve seat 8a. The valve body 8 is connected to an operating handle 10 via a shaft 9 and carries a flexible annular membrane 11 on the underside, which in turn carries a cylindrical sleeve 12. This sleeve 12 fits exactly around the end of the tube 5 and can be moved back and forth over it. Radial openings 113 are provided above the membrane 11. The membrane can close off the annular space 14.
Die Sorptionspumpvorrichtung enthält weiter nicht f>5 dargestellte Kanäle für Kühlflüssigkeit (flüssiger Stickstoff) zur Kühlung des adsorbierenden Materials sowie einen nicht dargestellten Ausgang für bei der Reaktivierung des Absorptionsma:erials frei werdende· Gase.The sorption pumping device also does not contain f> 5 shown channels for cooling liquid (liquid nitrogen) for cooling the adsorbent material and an outlet, not shown, for gases released when the absorption material is reactivated.
Die Sorptionspumpvorrichlung wird wie folgt betrieben: Während der ersten Periode der Pumpzeit, wenn ii dem zu evakuierenden Raum ein höherer Drucl herrscht, nimmt das Absperrventil 7 die in de Zeichnung links dargestellte Lage ein. Dann strömt Ga durch die öffnungen 13, das Rohr 5 und die öffnungen I zu den unteren Schichten des Adsorptionsmaterials : um dort adsorbiert /u werden, während der ringförmig* Raum 14 durch die Membran 11 abgeschlossen ist, s< daß die oberen Schichten des Adsorptionsmaterial unbelastet bleiben. Während der zweiten Periode de Pumpzeit bei einem niedrigeren Druck in dem zi evakuierenden Raum wird das Absperrventil 7 in die ii der Zeichnung rechts dargestellte Lage gebracht und ii dieser Lage gehallen. Der ringförmige Raum 14 is dabei durch die Membran 11 freigegeben. Gas mi niedrigerem Druck strömt nun durch den ringförmigei Raum 14 zu den oberen unbelasteten Schichten de: Adsorptionsmaterials sowie durch das Rohr 5 zu der unteren Schichten. Am Ende des Pumpzyklus wird da; Absperrventil 7 zugedreht. Der Ventilkörper 8 ruh dann auf dem Ventilsitz 8a, so daß das Rohr 4 sowie dei ringförmige Raum 14 abgeschlossen sind.The sorption pump device is operated as follows: During the first period of the pumping time, if the room to be evacuated has a higher pressure prevails, the shut-off valve 7 assumes the position shown on the left in the drawing. Then Ga flows through the openings 13, the tube 5 and the openings I. to the lower layers of the adsorbent material: to be adsorbed there / u, while the ring-shaped * Space 14 is closed by the membrane 11, s < that the upper layers of the adsorbent remain unloaded. During the second period de Pumping time at a lower pressure in the zi evacuating space, the shut-off valve 7 is in the ii brought the position shown on the right and ii hall this position. The annular space 14 is released by the membrane 11. Lower pressure gas now flows through the ring-shaped egg Space 14 to the upper unloaded layers de: adsorption material and through the pipe 5 to the lower layers. At the end of the pumping cycle there will be; Shut-off valve 7 closed. The valve body 8 rest then on the valve seat 8a, so that the tube 4 and the annular space 14 are completed.
In Fig. Ib ist eine Abwandlung des lnnenleils dei Pumpvorrichtung nach Fig. la dargestellt. Für entspre chende Teile sind dieselben Bezugszeichen gewähli worden. Die Büchse 12 ist in dem Rohr 5 verschiebbar dessen Unterseite mit einer Anzahl über den Umfang verteilter Schlitze 15 versehen ist, durch die Gas zurr Adsorptionsmaterial strömen kann. Der Ventilkörper ί trägt hier zugleich einen weiteren Ventilkörper 16. Ir der dargestellten Lage ist der ringförmige Raum 14 durch die Membran Il abgeschlossen und das Rohr 5 geöffnet. Wird nun der Ventilkörper 8 aufwärts bewegt so gibt die Membran 11 den ringförmigen Raum 14 frei während weiter der Ventilkörper 16 das Rohr 5 abschließt.In Fig. Ib a modification of the interior is dei Pump device shown in Fig. La. For cor Corresponding parts have been given the same reference numerals. The sleeve 12 is displaceable in the tube 5 the underside of which is provided with a number of slots 15 distributed over the circumference, through which gas zurr Adsorption material can flow. The valve body ί here also carries a further valve body 16. Ir In the position shown, the annular space 14 is closed off by the membrane II and the pipe 5 opened. If the valve body 8 is now moved upwards, the membrane 11 releases the annular space 14 while the valve body 16 continues to close the tube 5.
Mit der in Fig. la dargestellten Sorptionspumpvorrichtung wurde ein Raum, in dem sich Luft von 0,55 Torr befand, evakuiert. Der Verlauf des Druckes Pgegenüber der Zeit / für ein erstmaliges Pumpen ist in F i g. 2 durch die Kurve I angegeben. Punkt A ist der Umschaltpunkt, wobei von einem ausschließlichen Pumpen mittels der durch das Rohr 5 angeschlossenen unteren Schichten des Adsorptionsmaterials auf ein gemeinsames Pumpen durch die oberen noch unbelasteten Schichten über den ringförmigen Raum 14 zusammen mit den genannten unteren Schichten übergegangen wurde.With the sorption pump device shown in Fig. La, a room in which there was air of 0.55 Torr was evacuated. The course of the pressure P versus time / for a first-time pumping is shown in FIG. 2 indicated by curve I. Point A is the switchover point, the transition being made from exclusive pumping by means of the lower layers of the adsorbent material connected by the pipe 5 to joint pumping through the upper still unloaded layers via the annular space 14 together with the mentioned lower layers.
Die Kurve Il ist das Ergebnis eines erstmaligen Pumpens unter gleichen Bedingungen jedoch mit einer bekannten Pumpe ohne das Rohr 5. Gemessen wurde an einer Pumpe nach Fig. 1 a, in der nun jedoch das Rohr 5, die Büchse 12 und die Membran 13 fehlten, so daß auf bekannte Weise ausschließlich durch die Eingangsöffnung 3 aus den oberen Schichten Adsorptionsmaterial abgepumpt wurde.The curve II is the result of a first time pumping under the same conditions but with a known pump without the pipe 5. Measurements were made on a pump according to FIG. 1 a, in which, however, the pipe 5, the sleeve 12 and the membrane 13 were absent, so that in a known manner only through the inlet opening 3 adsorbent material was pumped out of the upper layers.
Die graphische Darstellung zeigt deutlich, daß mit der Pumpvorrichtung nach Fig. la kürzere Pumpzeiten und niedrigere Enddrücke erhalten werden als mit der bekannten Pumpvorrichtung.The graph clearly shows that with the pumping device according to Fig. La shorter pumping times and lower final pressures can be obtained than with the known pumping device.
Fig.3 zeigt für die obengenannten Sorptionspumpvorrichtung Pumpkurven für Luft, wobei der zu evakuierende Raum von 80 Torr ab abgepumpt wurde, nachdem in beiden Fällen bereits siebt.i Zyklen von 80 Torr ab durchgeführt worden waren und das Adsorptionsmaterial folglich bereits einigermaßen belastet war.3 shows for the above-mentioned sorption pump device Pump curves for air, with the space to be evacuated being pumped down from 80 Torr, after in both cases seven. i cycles from 80 Torr had been carried out and that Adsorption material was consequently already somewhat contaminated.
Ein Vergleich der beiden Kurven zeigt, daß die Sorptionspumpvorrichtung nach Fig. la auch eine größere wirksame Sorptionsleistung hat als die Sorptionspumpvorrichtung der bekannten Konstruktion. A comparison of the two curves shows that the sorption pump device according to Fig. La also a has greater effective sorption capacity than the sorption pumping device of the known construction.
Auch bei den Sorptionspumpvorrichtungen nach den F i g. 4 bis 8 sind für Teile, die denen der Vorrichtung nach Fig. la entsprechen, dieselben Bezugszeichen gewählt worden.Even with the sorption pump devices according to FIGS. 4 to 8 are for parts similar to those of the device correspond to Fig. La, the same reference numerals have been chosen.
Bei der Sorptionspumpvorrichtung nach F i g. 4a und b hat die Eingangsleitung 3 ein als Balg ausgebildetes biegsames Teil 3a und ein Endteil 3b, das als Hohlrohr gegenüber dem Behälter im Kanal 20 axial verschiebbar ist. Dieser Kanal ist durch eine Gazeschicht 21 vom Adsorptionsmaterial getrennt. Auf zwei unterschiedli- )5 chen Pegeln hat das Endteil öffnungen 22 bzw. 23. Beim Auf- und Abbewegen des Endteils 3b können die öffnungen 22 wechselweise abgeschlossen und freigegeben werden, und zwar durch die zylinderförmige Büchse 24 und die öffnungen 23 durch die zylinderförmige Büchse 25, aber derart, daß während die öffnungen 22 abgeschlossen sind, die öffnungen 23 frei sind und umgekehrt. F i g. 4a zeigt die Lage, bei der die öffnungen 22 frei sind und die öffnungen 23 abgeschlossen, während in Fig.4b die umgekehrte Situation dargestellt ist. Auf diese Weise kann ein zu evakuierender Raum nacheinander zunächst über die öffnungen 23 und danach über die öffnungen 22 an unterschiedliche Schichten des Sorptionsmaterials angeschlossen werden. ^0 In the case of the sorption pump device according to FIG. 4a and b, the inlet line 3 has a flexible part 3a designed as a bellows and an end part 3b which, as a hollow tube, is axially displaceable in relation to the container in the channel 20. This channel is separated from the adsorption material by a gauze layer 21. On two different) 5 chen levels, the end portion has openings 22 and 23. When moving up and down of the end portion 3b, the openings 22 alternately closed and released, by the cylindrical sleeve 24 and the openings 23 through the cylindrical sleeve 25, but in such a way that while the openings 22 are closed, the openings 23 are free and vice versa. F i g. 4a shows the position in which the openings 22 are free and the openings 23 are closed, while the opposite situation is shown in FIG. 4b. In this way, a space to be evacuated can be connected to different layers of the sorbent material one after the other first via the openings 23 and then via the openings 22. ^ 0
Das Endteil 3b kann auch als gesondertes Rohr ausgebildet sein, dessen oberes Ende in der Eingangsleitung 3 geführt ist.The end part 3b can also be designed as a separate tube, the upper end of which is guided in the input line 3.
Bei der Sorptionspumpvorrichtung nach Fig.5 ist das Rohr 30 um die Längsachse im Behälter 1 drehbar angeordnet. Durch die Drehung werden die öffnungen 22 wechselweise abgeschlossen und freigegeben. Das aus dem zu evakuierenden Raum angesaugte Gas kann zunächst durch die öffnungen 31, das Rohr 30 und die öffnungen 23 ausschließlich den unteren Schichten des ^0 Sorptionsmaterials angeboten werden und danacl durch Freigabe der öffnungen 22 im wesentlichen der oberen Schichten und außerdem aber in geringeren Maße den unteren Schichten.In the case of the sorption pump device according to FIG. 5, the tube 30 is arranged in the container 1 so as to be rotatable about the longitudinal axis. As a result of the rotation, the openings 22 are alternately closed and released. The sucked from the space to be evacuated gas may initially only the lower layers of ^ 0 sorbent offered by the openings 31, the tube 30 and the openings 23 and danacl by release of the openings 22 is substantially the upper layers, and but in lesser extent the lower layers.
Selbstverständlich sind auch Konstruktionen möglich bei denen die Durchströmungsöffnungen für angesaug tes Gas durch ein kombiniertes Verschieben unc Drehen des Rohres freigegeben bzw. abgeschlosser werden.Of course, constructions are also possible in which the flow openings are for suction tes gas released or locked by a combined movement and rotation of the pipe will.
Die Sorptionspumpvorrichtung nach F i g. 6 hat eint zweite Eingangsleiiung 40, die der Eingangsleitung 3 parallel geschaltet ist und auf einer anderen Höhe übei dem Boden des Behälters (Pegel) in den Behälter 1 einmündet. In jede der Leitungen 3 und 40 ist eir Absperrventil oder hahn 41 bzw. 42 aufgenommen.The sorption pump device according to FIG. 6 has a second input line 40, that of input line 3 is connected in parallel and at a different height above the bottom of the container (level) in the container 1 joins. In each of the lines 3 and 40 eir shut-off valve or cock 41 and 42 is received.
Die Sorptionspumpvorrichtung nach F i g. 7 hat einer Dreiweghahn 43, mit dem die Eingangsleitungen 3 und 40 einzeln und gleichzeitig an den zu evakuierender Raum angeschlossen werden können.The sorption pump device according to FIG. 7 has a three-way valve 43, with which the input lines 3 and 40 can be connected individually and simultaneously to the room to be evacuated.
Bei der Sorptionspumpvorrichtung nach F i g. 8 isl ebenfalls ein Dreiweghahn 44 vorhanden. Die Eingangsleitung 40 enthält ein biegsames als Balg ausgebildetes Zwischenteil 40a, das es ermöglicht, den unteren Teil 406 in dem Kanal 45 innerhalb des Behälters 1 auf und ab zu bewegen. Eine Gazeschicht 46 trennt das Adsorptionsmaterial 2 vom Kanal 45. Ein zweiter Balg 47, der mit seiner unteren öffnung am Behälter 1 und mit seiner oberen öffnung am Übergang des Zwischenteils 40a in das untere Teil AOb befestigt ist, ist als biegsame Dichtung wirksam. Mit dieser Konstruktion ist es möglich, auf mehr als zwei unterschiedlichen Pegeln des Behälters zu pumpen obschon nur zwei Eingangsleitungen vorhanden sind.In the case of the sorption pump device according to FIG. 8 there is also a three-way valve 44. The inlet line 40 contains a flexible intermediate part 40a designed as a bellows, which makes it possible to move the lower part 406 up and down in the channel 45 within the container 1. A gauze layer 46 separates the adsorption material 2 from the channel 45. A second bellows 47, which is attached with its lower opening to the container 1 and with its upper opening at the transition from the intermediate part 40a to the lower part AOb, acts as a flexible seal. With this construction it is possible to pump to more than two different levels of the tank, even though there are only two input lines.
Außer den dargestellten Ausführungsformen sind selbstverständlich andere möglich, beispielsweise Konstruktionen, bei denen die zwei Eingangsleitungen an radial (diametral) einander gegenüberliegenden Stellen am Zylindermantel des Behälters befestigt sind oder Konstruktionen, bei denen mehr als zwei Eingangsleitungen vorhanden sind.In addition to the embodiments shown, others are of course possible, for example constructions, in which the two input lines at radially (diametrically) opposite points are attached to the cylinder jacket of the container or constructions in which more than two input lines available.
Hierzu 5 Blatt ZeichnungenIn addition 5 sheets of drawings
Claims (5)
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| NL7301204A NL7301204A (en) | 1973-01-29 | 1973-01-29 |
Publications (3)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| DE2400792A1 DE2400792A1 (en) | 1974-08-01 |
| DE2400792B2 true DE2400792B2 (en) | 1977-10-13 |
| DE2400792C3 DE2400792C3 (en) | 1978-06-15 |
Family
ID=19818101
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| DE2400792A Expired DE2400792C3 (en) | 1973-01-29 | 1974-01-09 | Sorption pumping device |
Country Status (9)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US3868239A (en) |
| JP (1) | JPS567065B2 (en) |
| CA (1) | CA1009997A (en) |
| CH (1) | CH592816A5 (en) |
| DE (1) | DE2400792C3 (en) |
| FR (1) | FR2215544B1 (en) |
| GB (1) | GB1456402A (en) |
| IT (1) | IT1006168B (en) |
| NL (1) | NL7301204A (en) |
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- 1974-01-25 IT IT19860/74A patent/IT1006168B/en active
- 1974-01-26 JP JP1135874A patent/JPS567065B2/ja not_active Expired
- 1974-01-28 CH CH111674A patent/CH592816A5/xx not_active IP Right Cessation
- 1974-01-29 FR FR7402876A patent/FR2215544B1/fr not_active Expired
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| NL7301204A (en) | 1974-07-31 |
| JPS49105221A (en) | 1974-10-04 |
| IT1006168B (en) | 1976-09-30 |
| CH592816A5 (en) | 1977-11-15 |
| DE2400792C3 (en) | 1978-06-15 |
| US3868239A (en) | 1975-02-25 |
| JPS567065B2 (en) | 1981-02-16 |
| FR2215544A1 (en) | 1974-08-23 |
| GB1456402A (en) | 1976-11-24 |
| DE2400792A1 (en) | 1974-08-01 |
| FR2215544B1 (en) | 1976-11-26 |
| CA1009997A (en) | 1977-05-10 |
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| C3 | Grant after two publication steps (3rd publication) | ||
| 8339 | Ceased/non-payment of the annual fee |