DE2350894A1 - Streifenfoermiges farbtrennfilter fuer eine bildabtastroehre und verfahren zu dessen herstellung - Google Patents

Streifenfoermiges farbtrennfilter fuer eine bildabtastroehre und verfahren zu dessen herstellung

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DE2350894A1 DE19732350894 DE2350894A DE2350894A1 DE 2350894 A1 DE2350894 A1 DE 2350894A1 DE 19732350894 DE19732350894 DE 19732350894 DE 2350894 A DE2350894 A DE 2350894A DE 2350894 A1 DE2350894 A1 DE 2350894A1
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Mitsuru Otake
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Description

Patentanwälte Dlpl.-Ing. R. B S E T 2 «et*. Dlpl-lnrt. K. LA:»I?,,2CHT
Dr.-Ing. R. D.IET2 Jr. t Mischen 22, Stvinedortor.it λ <j ρ Π Q Q Λ
81-21.5l8P(21.519H) 10. 10. 1973
HITACHI, LTD., Tokio (Japan)
Streifenförmiges Farbtrennfilter für eine Bildabtaströhre und Verfahren zu dessen Herstellung
Die Erfindung bezieht sich auf eine Bildabtaströhre, insbesondere auf ein streifenförmiges optisches Farbtrennfilter, das an einer Seitenfläche eines transparenten Glasfensters der Bildabtaströhre vorgesehen ist, und ein Verfahren zu dessen Herstellung.
Bekanntlich dient eine mit einem streifenförmigen Farbtrennfilter ausgestattete Bildabtaströhre z.B. für eine Einzelröhrän- oder Doppelröhren-Farbfernsehkamera ο Typisch ist eine Fernsehkamera-
1-(POS. 31 321)-T=r
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ORIGINAL
anordnung mit einer Bildabtaströhre, wie z. B. einer Einzelröhrenoder Doppelröhren-Farbbildabtaströhre mit einer Fokussierspule und einem Ablenkjoch rings um eine Hülle versehen, die ein Elektronenrohr enthält. Am Ende der Hülle sind nacheinander ein photoleitender Film, ein transparenter leitender Film und ein streifenförmiges Farbtrennfilter angeordnet. Das Filter weist zwei Bestandteile auf, deren einer aus ersten schmalen streifenförmig en, im wesentlichen Licht aller Farben von einem Objekt durchlassenden Elementen und zweiten schmalen streifenförmigen, für Licht roter Farbe des Farblichts vom Objekt im wesentlichen undurchlässigen Elementen besteht, wobei die ersten und zweiten Elemente abwechselnd vorgesehen sind, und deren anderer Bestandteil aus dritten schmalen streifenförmigen, Licht aller Farben vom Objekt im wesentlichen durchlassenden Elementen und vierten schmalen streifenförmigen, für licht blauer Farbe des Farblichts vom Objekt im wesentlichen undurchlässigen Elementen besteht, wobei auch die dritten und vierten Elemente miteinander abwechselnd angeordnet sind.
Üblicherweise werden die vierten Elemente auf den zweiten Elementen ausgebildet, ohne daß die ersten und dritten Elemente überhaupt erzeugt werden. Infolgedessen weist das so hergestellte Filter notwendigerweise eine an verschiedenen Stellen gezahnte oder gezackte Oberfläche auf. Aus diesem Grund verursacht die direkte Ausbildung des transparenten leitenden Films und des photoleitenden Films auf einer solchen gezahnten Oberfläche, daß auch diese Filme gezackte Oberflächen aufweisen, was zur lokalen Variation des Dunkelstroms beim Betrieb der Bildabtaströhre führt. So überlagern sich unechte Si-
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gnale den vom farbigen Licht vom Objekt her abgeleiteten Signalen, so daß Störungen, wie z. B. die Erzeugung unechter Farbsignale, auftreten. Wie erwähnt, führt die Erzeugung des transparenten leitenden Films und des photoleitenden Films auf dem Filter mit einer derart gezackten Oberfläche zu einer verringerten Ausbeute oder Ausnutzung der Herstellschritte.
Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, ein streifenförmiges Farbtrennfilter und ein Verfahren zu dessen Herstellung anzugeben, bei dem die genannten Störungen vermieden werden," d. h. keine unechten Signale auftreten und die Erzeugung der weiteren Filme auf dem Farbtrennfilter verbessert ist.
Gegenstand der Erfindung, womit diese Aufgabe gelöst wird, ist zunächst ein streifenförmiges Farbtrennfilter für eine Bildabtaströhre mit einem als Fenster der Bildabtaströhre dienenden transparenten Träger und auf bestimmten Stellen des Trägers angebrachten, streifenförmigen Filterelementen, die für Licht bestimmter Farbe im wesentlichen undurchlässig sind, mit dem Kennzeichen, daß das Farbtrennfilter auf und zwischen den Filterelementen eine Schicht aus transparentem Material trägt, deren Oberfläche genügend eben für den Einsatz im Zusammenhang mit der Bildabtaströhre ist.
Gegenstand der Erfindung ist weiter ein Verfahren zur Herstellung eines solchen Farbtrennfilters, bei dem man einen transparenten Träger herstellt und auf bestimmten Stellen des Trägers streifenförmige Filterelemente anbringt, die für Licht bestimmter Farbe im we-
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sentlichen undurchlässig sind, mit dem Kennzeichen, daß man auf und zwischen den Filterelementen eine Schicht aus transparentem Material anbringt. Falls erforderlich, glättet man anschließend die Oberfläche der transparenten Schicht so, daß sie genügend eben für den Einsatz bei einer Bildabtaströhre ist.
Die Erfindung und ihre Vorteile werden anhand der in der Zeichnung veranschaulichten Ausführungsbeispiele näher erläutert; darin zeigen:
Fig. 1 eine schematische Schnittdarstellung zur Veranschaulichung des Prinzips einer Farbbildabtaströhre,
Fig. 2 eine vergrößerte Teilperspektivansicht zur Veranschaulichung einer Form eines streifenförmigen Farbtrennfilters für die Farbbildabtaströhre,
Fig. 3, 4, 5a und 5b das bisher übliche streifenförmige Farbtrennfilter in vergrößerter Teildraufsicht, in Teilperspektivansicht und in Querschnitten, und
Fig. 6 a bis 6 f und 7 a bis 7 d vergrößerte Teilquerschnittsansichten zur Veranschaulichung der Verfahrens Schrittfolge zweier Ausführungsbeispiele eines streifenförmigen Farbtrennfilters gemäß der Erfindung.
Zunächst soll zum leichten Verständnis der Erfindung eine Er-
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läuterung des Prinzips einer Bildabtaströhre für eine Einzel- oder Doppelröhren-Farbfernsehkamera (im folgenden als Farbkodier-BiIdabtaströhre bezeichnet) gegeben werden.
Fig. 1 zeigt eine Farbkodier-Bildabtaströhre 1 eines Vidikontyps. Man erkennt in der Figur ein Elektronenrohr 2, eine Fokussierspule 3, ein Ablenkjoch 4, ein transparentes Glasfenster 5, ein streifenförmiges Farbtrennfilter 6, einen transparenten leitenden Film 7, einen photoleitenden Film 8, einen Ausgangsanschluß 9 in elektrischer Verbindung mit dem transparenten leitenden Film 7, ein optisches System 10 und einen Elektronenstrahl 11. Das streifenförmige Farbtrennfilter 6 besteht im Prinzip aus zwei Filterbestandteilen 6A und 6B, wie in Fig. 2 veranschaulicht ist. Der Filterbestandteil 6A besteht aus schmalen streifenförmigen Filterelementen 6AW, die im wesentlichen Licht aller Farben von einem Objekt durchlassen, und schmalen streifenförmigen Filterelementen 6AR, die für Licht roter Farbe des farbigen Lichts vom Objekt im wesentlichen undurchlässig sind, wobei die Filterelemente 6AW und 6AR miteinander abwechselnd angeordnet sind. Alle Filterelemente 6AW und 6AR haben eine gleiche Breite DR. Andererseits besteht der andere Filterbestandteil 6B aus schmalen streifenförmigen Filterelementen 6BW, die im wesentlichen Licht aller Farben vom Objekt durchlassen, und schmalen streifenförmigen Filterelementen 6BB, die für Licht blauer Farbe des farbigen Lichts vom Objekt her im wesentlichen undurchlässig sind, wobei auch die Filterelemente 6BW und 6BB einander abwechselnd angeordnet sind. Alle Filterelemente 6BW und 6BB haben die gleiche Breite DB. Die Breite DR jedes Elements im Filterbestandteil 6A soll von der Breite DB jedes Elements
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im Filterbestandteil 6B verschieden sein, wobei in der gezeigten Ausführungsart die Breite DB üblicherweise geringer als die Breite DR ist.
Bei der vorstehenden Anordnung wird ein durch-das transparente Glasfenster 5 auf dem photoleitenden Film 8 ankommendes Objektbild durch das streifenförmige Farbtrennfilter 6 in einem Raumfrequenzbereich abgetastet. Das Abtasten des durch das abgetastete Bild auf dem photoleitenden Film 8 hervorgerufenen Ladungsmusters durch den Elektronenstrahl 11 führt am Ausgangsanschluß 9 zur Erzeugung von Vielfachfarbsignalen, die in Abhängigkeit von den Breiten DR oder DB der Filterelemente 6AR und 6BB, die den Durchgang von rotem bzw. blauem Licht durch die Filterbestandteile 6A bzw. 6B verhindern, zwei Trägerfrequenzen aufweisen. Die Signale werden durch ein Tiefpaßfilter und zwei Bandpaßfilter zwecks Erzeugung von drei primären Farbsignalen, d. h. grünen, roten und blauen Farbsignalen getrennt.
Obwohl in Fig. 2 die schmalen streifenförmigen Filterelemente 6AR, 6AW und 6BB, 6BW in den Filterbestandteilen 6A und 6B parallel zueinander dargestellt und als solche erläutert sind, werden sie üblicherweise unter einem gewissen Winkel zueinander gekreuzt angeordnet, wie Fig. 3 zeigt, um Interferenzen zu verringern, die sich aus diesen beiden schmalen streifenförmigen Filterbestandteilen ergeben. Weiter ist in der Praxis der Aufbau des streifenförmigen Farbtrennfilters 6 so, wie er in den Fig. 4 und 5 dargestellt ist.
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Auf dem transparenten Glasfenster 5 werden z. B. nur die schmalen streifenförmigen Filterelemente 6AR angebracht, die den Filterbestandteil 6A bilden und Licht roter Farbe im wesentlichen nicht durchlassen, und dann bringt man direkt auf den schmalen streifenförmigen Filterelementen 6AR die schmalen streifenförmigen Filterelemente 6BB, die den anderen Filterbestandteil 6B bilden und für Licht blauer Farbe im wesentlichen undurchlässig sind» So sind in diesen beiden Filterbestandteilen 6A und 6B tatsächlich keine schmalen streifenförmigen Filterelemente 6AW und 6BW vorgesehen, die Licht aller Farben durchlassen.
Wie die Fig. 4 und 5a, 5b zeigen, ergeben sich dabei eine Anzahl von Einschnitten oder Zahnungen an der Oberfläche des streifenförmigen Farbtrennfilters 6, worauf der transparente leitende Film 7 und der photoleitende Film 8 direkt aufgebracht werden. Dabei werden die Filme 7 und 8 an ihren Oberflächen entsprechend den Einschnitten an der Oberfläche des Filters 6 mit Vertiefungen ausgebildet , so daß der Dunkelstrom teilweise, insbesondere an den Kantenbereichen der streifenförmigen Filterelemente mit dem gleichen Intervall wie dem dieser Elemente schwankt. Die Variation des Dunkelstroms überlagert sich den vom Farblicht vom Objekt her erzeugten Signalen, so daß unechte Signale und damit unechte Farbsignale mit verschiedenen Störungen des Betriebs der Bildabtaströhre entstehen.
Um diese Nachteile zu beseitigen, wird das streifenförmige Farbtrennfilter gemäß der Erfindung mit einer transparenten Schicht,
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wie ζ. B. aus Glas oder SiO bedeckt, deren Oberfläche genügend flach und eben gemacht wird, um für die Bildabtaströhre verwendbar zu sein, so daß der transparente leitende Film und der photoleitende . Film, die darauf angebracht werden, ein Verhalten zeigen, das frei von den Störungen ist, die sich aus den Einschnitten und Vertiefungen des bekannten streifenförmig en Farbtrennfilters ergeben.
Die Erfindung soll nun anhand der Ausführungsbeispiele nach den Fig. 6a bis 6f und 7a bis 7d beschrieben werden.
Wie Fig. 6a zeigt, werden auf der Oberfläche eines als transparentes Glasfenster dienenden Trägers 17 zunächst schmale streifenförmige Filterelemente 6AR angebracht, die für Licht roter Farbe im wesentlichen undurchlässig sind. Dann wird eine Schicht aus transparentem Material, wie z.B. Glas oder SiO_, das im wesentlichen Licht aller Farben vom Objekt durchläßt, auf die schmalen streifenförmigen Filterelemente 6AR so aufgebracht, daß sie die Filterelemente 6AR bedeckt und eine erste Schicht 14 bildet (Fig. 6b). Verfahren zur Bildung der transparenten Schicht werden weiter unten beschrieben. Die Oberfläche der ersten Schicht 14 wird, wie in Fig. 6c veranschaulicht ist, durch Polieren oder Ätzen geglättet, um die endgültige erste Schicht 14a mit einer ebenen Oberfläche zu erhalten. Selbstverständlich kann dieser Glättungsschritt entfallen, wenn die Oberfläche der ersten Schicht 14 bereits glatt und eben genug ist.
Anschließend werden auf die Oberfläche dieser ersten Schicht 14a (bzw. 14) schmale streifenförmige Filterelemente 6BB aufge-
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bracht, die für Licht blauer Farbe im wesentlichen undurchlässig sind (Fig. 6d). Weiter wird dann eine zweite Schicht 15 aus transparentem Material, wie z.B. Glas oder SiO , auf die schmalen streifenförmigen Filterelemente 6BB in gleicher Weise wie bei der Bildung der ersten Schicht 14 aufgebracht, um die Filterelemente zu bedecken (Fig. 6e), und diese zweite Schicht 15 wird dann bei Bedarf dem Glättungsschritt unterworfen, um die endgültige zweite Schicht 15 a mit im wesentlichen ebener Oberfläche zu bilden (Fig. 6f).
Somit hat das streifenförmige Farbtrennfilter 6 die im wesentlichen ebene Oberfläche, auf der der transparente leitende Film 7 und der photoleitende Film 8 direkt eben aufgebracht werden können, so daß die Erzeugung unechter Farbsignale und der Defekt der schmalen streifenförmigen Filterelemente 6AR und 6BB verhindert werden. Weiter läßt sich die Herstellung des Filters im Vergleich mit der eines Filters nach Fig. 2 erheblich erleichtern, bei dem die schmalen streifenförmigen Filterelemente 6AR und 6BB, die für Licht roter bzw. blauer Farbe im wesentlichen undurchlässig sind, abwechselnd mit den schmalen streifenförmigen Filterelementen 6AW und 6BW aufgebracht werden, die im wesentlichen Licht aller Farben durchlassen.
Nach diesem Ausführungsbeispiel bringt man auf die s^fcraalen. streifenförmigen Filterelemente 6AR die erste Schicht 14a auf, auf der dann weitere schmale streifenförmige Filterelemente 6BB angebracht werden, auf denen die zweite Schicht 15 a ausgebildet wird. Alternativ läßt sich das Filter auch in der in Fig. 7 veranschaulichten Weise herstellen. Und zwar werden im Anschluß an die Bildung der
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schmalen streifenförmig en Filterelemente 6AR auf dem Träger 17 (Fig. 7a) die anderen schmalen streifenförmigen Filterelemente 6BB direkt darauf angebracht, wie Fig. 7 b veranschaulicht, und dann zusammen mit einer Schicht 16 aus transparentem Material, wie z.B. Glas oder SiO , abgedeckt, wie Fig. 7 c zeigt, wonach bei Bedarf ihre Oberfläche zur Bildung einer ebenen Schicht 16 a aus transparentem Material, wie z. B. Glas oder SiO , geglättet wird (Fig. 7d),
dt
so daß ihre Oberfläche genügend eben ist, um sich zur Verwendung bei der Bildabtaströhre zu eignen.
Es sollen nun Verfahren zur Herstellung der Schichten 14, 15 und 16 beschrieben werden:
In dem Fall, wo die Schichten 14, 15 und 16 aus Glas hergestellt werden, das einen niedrigeren Schmelzpunkt als der Träger aufweist, wird eine Glas schicht durch direktes Aufbringen von geschmolzenem Glas auf- den Träger 17 und die schmalen streifenförmigen Filterelemente 6AR und 6BB gebildet. Alternativ wird die Glasschicht erzeugt, indem man eine Suspensionslösung von Glaspulver zur Abscheidung auf dem Träger unter Verwendung eines Zentrifugalscheiders oder Schleudergeräts herstellt und es unter Entfernung der überstehenden Flüssigkeit auf eine Temperatur von mehreren 100 C erhitzt, um das Glaspulver zwecks Bildung der Glasschicht zu schmelzen. Für die Suspensionslösung läßt sich ein organisches Lösungsmittel, wie z.B. Alkohol, Keton oder Acetat, verwenden. Dieses Verfahren ermöglicht, die Oberfläche der Glasschicht verhältnismäßig glatt zu machen und die dünne Glasschicht ohne Schädigung der schma-
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len streifenförmigen Filterelemente 6AR und 6BB herzustellen, auch wenn das für die Glasschicht verwendete Glas den gleichen oder einen etwas höheren Schmelzpunkt als der Träger hat, wobei selbstverständlich der Schmelzpunkt auch niedriger als der des Trägers sein kann.
Eine weitere Alternative sieht vor, daß die Glaspulverteilchen mit einem Lösungsmittel, wie z.B. Amylacetat, zusammen mit einem Backmittel ("caking agent"), wie ζ. B. Methylzellulose oder Nitrozellulose, gemischt und dann auf den Träger durch Eintauchen, Aufbürsten, Aufsprühen oder Siebdruck aufgebracht werden. Danach werden das Backmittel und das Lösungsmittel bei verhältnismäßig nieddriger Temperatur entfernt, und man sintert das verbleibende Glaspulver bei höherer Sintertemperatur zur Bildung der Glasschicht. Dieses Verfahren liefert ähnliche Ergebnisse wie das davor erläuterte Verfahren und ermöglicht in vorteilhafter Weise, daß die Glasschicht bei vereinfachten Verfahrensschritten eine noch glattere Oberfläche aufweist.
Die Schichten 14, 15 und 16 lassen sich auch durch Abscheidung aus der Gasphase herstellen. Zum Beispiel können transparente Materialien aus SiO oder Glas nach einem Vakuumabscheideprozeß gebildet werden. Man kann die Materialien unter den Glassorten in einem weiten Bereich wählen, um einen ausgezeichneten transparenten Film zu erhalten, doch sind Gläser mit einem zu großen Bleioxidgehalt ■ auszuschließen, da dieses Oxid aufgrund der Erhitzung auf hohe Temperaturen im Vakuum zersetzt wird. Der verwendete Bereich erstreckt sich natürlich über eine Art von Chalkogenglas.
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Nach einem weiteren Verfahren läßt sich eine SiOQ-Abscheideschicht zur Bildung der Schichten 14, 15 und 16 auch durch chemische Dampfabscheidung herstellen, d.h. indem man einen Verbindungsdampf auf die erhitzte Oberfläche richtet und darauf eine Zersetzung soxydationsreaktion zum Überziehen des Trägers mit Oxid ablaufen läßt.
Als Beispiel sei die direkte Oxydation von Monosilan (SiH ) angegeben, die nach folgender Reaktionsgleichung erfolgt:
SiH + 2 O > SiO + 2HO
Diese Reaktion führt also zur Bildung der SiOp-Schicht.
Auch Schichten aus anorganischem Glasmaterial als Schichten 14, 15 und 16 lassen sich durch chemische Dampfabscheidung herstellen .
Veiter lassen sich als Schichten 14, 15 und 16 dienende SiO_-
Schichten durch Zerstäuben bilden, wobei SiO0 als Target-Kathode
gestaltet und unter einem so niedrigen Druck wie 1 bis 10 χ 10 Torr in einer Argon und Sauerstoff enthaltenden Gasatmosphäre bei einer Entladespannung von 1 bis 1,5 kV zur Bildung des SiOo-Überzugs zerstäubt wird. Alternativ wird eine Silika-Glasplatte (SiO2) oder Glasplatte, die als Material hierfür dient, als Target-Kathode gestaltet und durch die Entladung in der Argongasatmosphäre unter
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—3 einem so niedrigen Druck wie 5 χ 10 Torr zu dem SiO -Überzug oder einem gewünschten Glasüberzug umgewandelt.
Auch Glasschichten, die als Schichten 14, 15 und 16 dienen sollen, lassen sich durch Aufstäuben erzeugen.
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Claims (1)

  1. Patentansprüche
    11.) Streifenförmiges Farbtrennfilter für eine Bildabtaströhre mit einem als Fenster der Bildabtaströhre dienenden transparenten Träger und auf bestimmten Stellen des Trägers angebrachten, streifenförmigen Filterelementen, die für Licht bestimmter Farbe im wesentlichen undurchlässig sind, dadurch gekennzeichnet, daß das Farbtrennfilter (6) auf und zwischen den Filterelementen (z. B. 6AR, 6BB) eine Schicht (z. B. 15a; 16a) aus transparentem Material trägt, deren Oberfläche genügend eben für den Einsatz im Zusammenhang mit der Bildabtaströhre ist.
    2 «, Farbtrennfilter nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Filterelemente aus einer ersten Gruppe von auf dem Träger (17) angeordneten und gegenüber Licht einer ersten Farbe im wesentlichen undurchlässigen Elementen (6AR) und einer zweiten Gruppe von auf der ersten Elementengruppe teilweise überlagert angeordneten und gegenüber Licht einer zweiten Farbe im wesentlichen undurchlässigen Elementen (6BB) besteht.
    3. Farbtrennfilter nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß zwischen der ersten Gruppe von Elementen (6AR) und der zweiten Gruppe von Elementen (6BB) eine weitere Schicht (14a) aus transparentem Material vorgesehen ist, deren Oberfläche an der Seite der zweiten Gruppe von Elementen (6BB) eben ist.
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    4. Farbtrennfilter nach Anspruch 1 oder 3, dadurch gekennzeichnet, daß das transparente Material Glas ist.
    5 „ Farbtrennfilter nach Anspruch 1 oder 3, dadurch gekennzeichnet, daß das transparente Material SiO9 ist.
    6» Verfahren zur Herstellung eines Farbtrennfilters nach einem der Ansprüche 1 bis 5, bei dem man einen transparenten Träger herstellt und auf bestimmten Stellen des Trägers streifenformiqe Filterelemente anbringt, die für Licht bestimmter Farbe im ■wesentlichen undurchlässig sind, dadurch gekennzeichnet, daß man auf und zwischen den Filterelementen (z.B. 6AR, 6BB) eine Schicht (z. B. 15a; 16a) aus transparentem Material anbringt.
    7. Verfahren nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, daß man die Oberfläche der transparenten Schicht (z. B. 15a; 16 a) so glättet, daß sie genügend eben für den Einsatz bei einer Bildabtaströhre ist.
    8. Verfahren nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, daß die Glättung durch Polieren erfolgt.
    9. Verfahren nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, daß die Glättung durch Ätzen erfolgt.
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    10. Verfahren nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, daß man die Schicht (z. B. 15 a; 16 a) durch Aufschmelzen von Glaspulver bildet.
    11. Verfahren nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, daß man die Schicht (z. B. 15 a; 16 a) durch Aufbringen geschmolasnen Glases bildet.
    12. Verfahren nach Anspruch 6 oder 10, dadurch gekennzeichnet, daß man die Schicht (z. B„ 15a; 16 a) bildet, indem man Glaspulver in einem organischen Lösungsmittel suspendiert, das so suspendierte Glas auf und zwischen die Filterelemente (z.B. 6AR, 6BB) aufbringt, die überschüssige Suspensionsflüssigkeit entfernt und danach das Glaspulver auf mehrere 100 C erhitzt.
    13. Verfahren nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, daß man die Schicht (z. B. 15a; 16 a) bildet, indem man auf den Filterelementen (ζ. B. 6AR, 6BB) eine Mischung eines Amylacetatlösungsmittels mit Glaspulver und einem Backmittel anbringt, daraus das Lösungsmittel und das Backmittel bei einer verhältnismäßig niedrigen Temperatur entfernt und anschließend das Glaspulver auf eine Temperatur von einigen 100 C erhitzt und schmilzt.
    14. Verfahren nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, daß man die Schicht (z. B. ISa? 16 a) durch Vakuum abscheidung bildet.
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    15. Verfahren nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, daß man die Schicht (z. B. 15 a; 16 a) aus anorganischem glasartigem Material durch chemische Dampfabscheidung herstellt.
    16. Verfahren nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet", daß iie Schicht (z. B.
    abscheidung herstellt.
    man die Schicht (z. B. 15 a; 16 a) aus SiO0 durch chemische Dampf-
    dt
    17. Verfahren nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, daß man die Schicht (z. B. 15a; 16ä) aus Glas durch Aufstäuben herstellt.
    18. Verfahren nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, daß man die Schicht (z. B. 15 a; 16 a) aus SiO_ durch Aufstäuben herstellt.
    19. Verfahren nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, daß man die Schicht (z. B. 15 a) auf Filterelemente (6A.R, 6BB) der Anordnung nach Anspruch 2 aufbringt.
    20. Verfahren nach Anspruch 19, dadurch gekennzeichnet, daß man eine weitere Schicht (14a) aus transparentem Material auf dieerste Gruppe von Filterelementen (6AR) aufbringt, bevor die zweite Gruppe von Filterelementen (6BB) aufgebracht wird.
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    21. Verfahren nach Anspruch 20, dadurch gekennzeichnet, daß die Oberfläche der weiteren Schicht (14a) vor Aufbringen der zweiten Gruppe von Filterelementen (6BB) im wesentlichen eben geglättet wird.
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