DE2345849A1

DE2345849A1 - Anordnung zur beruehrungslosen messung der dicke elektrisch leitfaehiger schichten

Info

Publication number: DE2345849A1
Application number: DE19732345849
Authority: DE
Inventors: Gernot Dipl Ing Thorn
Original assignee: Leybold Heraeus GmbH
Current assignee: Balzers und Leybold Deutschland Holding AG
Priority date: 1973-09-12
Filing date: 1973-09-12
Publication date: 1975-03-20
Also published as: GB1452417A; IT1020196B

Description

LEYBOLD-HERAEUS-GmbH & Co. KG. 5ooo KÖLN 51

Bonner Straße 5o4

" Anordnung zur berührungslosen Messung der Dicke elektrisch leitiähiger Schichten "

Die Erfindung bezieht sich auf eine Anordnung zur berührungslosen Messung der Dicke elektrisch leitfähiger Schichten, bestehend aus einer Induktionsspule mit einem Wechselspannungsgenerator und einer Meßeinrichtung für die Erfassung des Induktivitätswertes der Induktionsspule.

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Elektrisch leitfähige Schichten, insbesondere solche auf isolierenden Unterlagen, werden in der Technik in den verschiedensten Ausführungsformen und zu den unterschiedlichsten Verwendungszwecken benötigt. So sind beispielsweise Fensterscheiben für Gebäude und Kraftfahrzeuge bekannt, bei denen eine dünne Metallschicht die Durchlässigkeit unerwünschter Infrarotstrahlung verhindert. Bei Kraftfahrzeugscheiben werden die dünnen Metallschichten häufig zusätzlich auch noch als Heizwiderstände für die Scheibenbeheizung benutzt. In großem Umfange werden Metallniederschläge auf thermoplastischen Folienbahnen sehr großer Länge zur Herstellung von Kondensatoren, sowie aber auch als Dekorationsmaterial (optische Effekte) benutzt. Papierbahnen mit niedergeschlagenen Metalldämpfen dienen beispielsweise auch als Schreibstreifen in Registriergeräten für Meßzwecke. In allen Fällen, insbesondere aber dann, wenn der Flächenwiderstand einer solchen Schicht eine Rolle spielt, kommt es darauf an, eine genau definierte Schichtdicke zu erreichen und diesen Wert reproduzierbar für eine große Zahl von Einzelteilen oder über eine große Länge von "Endlosprodukten" konstant zu halten.

In der Praxis hat sich eine Vielzahl von Verfahren zum Aufbringen solcher Schichten bewährt, wie zum Beispiel das Aufdampfen oder Aufstäuben (Katodenzerstäubung) im'Vakuum, die thermische Zersetzung von Metallverbindungen sowie eine Vielzahl von galvanischen Prozessen. Hierbei ist die Niederschlagsrate, d.h. die pro Zeit- und Flächeneinheit niedergeschlagene Menge des elektrisch leitfähigen Schichtmaterials meist von einer Mehrzahl von Parametern abhängig, die in den meisten Fällen einzeln regelbar bzw. steuerbar sind. Außerdem spielt der Zeitfaktor eine Rolle, da die erzeugten Schichten durch eine längere Anwendung des betreffenden Ver_T fahrens verstärkt werden können. Die Regelbarkeit der unterschiedlichen Verfahren ist im einzelnen hinlänglich bekannt.

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Ein erfolgreicher Eingriff in ein solches Verfahren setzt jedoch voraus, daß die Schichtdickeninessung rasch und zuverlässig, ohne Störeinflüsse und ohne Zerstörung bzw. Beschädigung des Meßguts erfolgen kann. Nur bei Erfüllung dieser Auflagen ist die Gewähr dafür gegeben, kostspieligen Ausschuß zu vermeiden.

Es hat daher nicht an Versuchen gefehlt, eine Vielzahl von Verfahren zur berührungslosen Schichtdickenraessung zu entwickeln. Fotometrische Verfahren, die auf der Messung des reflektierten oder von der Schicht durchgelassenen Lichtanteils beruhen, sind auf die Messung extrem dünner Schichten beschränkt, nämlich solcher, die optisch noch durchlässig sind«. Ein auch für optisch undurchlässige Schichten geeignetes, berührungsloses Messverfahren, welches auf der Messung des ohm^fsehen Widerstandes der Schicht durch deren kapazitive Ankopplung an einen Messkreis beruht, gehört ebenfalls bereits zum Stande der Technik (DT-OS 1 813 333). Hierbei wird die zu messende Schicht mit ihrer Unterlage über Metallwalzen geführt, wobei die Unterlage das Dielektrikum der aus Walzen und Metallschicht bestehenden Kondensatoren bildet. Dieses Messverfahren erfordert jedoch einen beträchtlichen apparativen Aufwand im Hinblick auf die Ausbildung und Lagerung der Ankopplungswalzen und deren Stromabnehmer. Außerdem beeinflussen Art und Dicke des Dielektrikums den Messwert, wobei nicht immer Gewähr für konstante Werte überommen werden kann. Außerdem verändert ein Flattern des über die Rollen geführten Messguts den für die Messung ausschlaggebenden Umschlingungswinkel. Schließlich sind aber Veränderungen im Übergangswiderstand der Schleifkontakte Ursachen für etwaige Fehlmessungen.

Es ist auch schon bekannt, eine induktive Ankopplung der zu messenden Schicht an einen Messkreis zur Bestimmung der

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Schichtdicke zu benutzen (DT-PS 1 o95 524 und DT-PS 1 o98 718), Die dort beschriebenen Messgeräte sind jedoch besonders auf bestimmte Messobjekte, nämlich elektrisch leitfähige Beläge von Katodenstrahlröhren zugeschnitten, die nur von einer Seite her zugänglich sind. Da die Stärke des Röhrenmaterials einen erheblichen Einfluß auf das Messergebnis hat, mußten aufwendige Komsensationsschaltungen angegeben werden, mit denen ein derartiger Einfluß ausgeschaltet werden kann. Da ein Luftspalt weitere Verfälschungen des Messergebnisses zur Folge hätte, müssen die bekannten Messgeräte auf die Messobjekte aufgesetzt werden, so daß eine berührungslose Messung, insbesondere eine solche an rasch bewegten Objekten, nicht möglich ist. Ein weiterer Nachteil der bekannten Messgeräte besteht darin, daß die hochfrequenten Speiseströme über geschirmte Kabel, zugeführt werden, und daß das Messignal auch über geschirmte Kabel zur Auswerteeinrichtung geleitet wird. Infolge der dabei .unvermeidlichen kapazitiven Verluste ist daher die Kabellänge auf wenige Meter begrenzt.

Es ist schließlich auch bekannt, ein induktives Messgerät in Form eines einseitig wirkenden Messkopfes zur Dickenbestimmung einer laufenden Bahn einzusetzen (US-PS 2 438 5o6). Auch hierbei ist der Abstand des Messkopfes von der zu messenden Bahn für ein.einwandfreies Messergebnis von äußerster Wichtigkeit, so daß der Messkopf mittels einer Rollenführung auf einer beweglichen Unterlage abgestützt wird, auf der auch die zu messende Bahn läuft. Das mit dem Messkopf verbundene, besondere Führungselement für den Messkopf und die Unterlage stellt ein unerwünschtes zusätzliches Bauteil dar, für welches, insbesondere bei Vakuumanlagen, häufig nicht der erforderliche Raum zur Verfügung steht. Außerdem geht bei diesem Messverfahren wiederum die Dicke der Unterlage in das Messergebnis ein, falls die Dicke

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einer elektrisch leitfähigen Beschichtung gemessen werden soll. Für die Messung von nicht in Folienform vorliegenden Messobjekten ist diese bekannte Vorrichtung völlig ungeeignet.

Bei der Dickenmessung elektrisch leitfähiger Schichten insbesondere in Form von Belegungen elektrisch isolierender Unterlagen, welche sich relativ zum Messgerät bzw. Messfühler bewegen, besteht immer die Gefahr, daß die zu messende Schicht ihre räumliche Lage zum Messfühler verändert und/oder daß die Dicke der Unterlage, die für das Messergebnis an sich unwichtig ist, sich ändert. Außerdem soll die Eingangsgröße der Messung nach Möglichkeit über größere Entfernungen zu einer Mess- oder Regelanordnung geführt werden, ohne daß hierdurch besondere Kompensationseinrichtungen für unterschiedliche Längen der Ubertragungsleitungen erforderlich werden. Schließlich sollen auch Frequenzänderungen der für die induktive Messung erforderlichen Wechselfrequenz, insbesondere Hochfrequenz einen möglichst geringen Einfluß auf das Messergebnis haben. Die gleiche Anforderung muß naturgemäß auch an die Unabhängigkeit des Messergebnisses von etwaigen Temperaturschwankungen gestellt werden. Der Erfindung liegt daher die Aufgabe zugrunde, die eingangs beschriebene Anordnung so zu verbessern, daß auch erhebliche Abweichungen in der räumlichen Lage der zu messenden Schicht gegenüber dem Messfühler, in der Wechselfrequenz und in der Länge der elektrischen Anschlußleitungen ohne merklichen Einfluß auf das Messergebnis bleiben. Diese Forderungen sollen bei gleichzeitigem, geringstmöglichem konstruktivem Aufwand und kleinstem Platzbedarf erfüllt werden.

Die Lösung der gestellten Aufgabe erfolgt bei der eingangs beschriebenen Anordnung erfindungsgemäß dadurch, daß der

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Induktionsspule gegenüber unter Belassung eines Luftspaltes eine zweite Induktionsspule gleicher Auslegung"angeordnet ist, wobei die Stromrichtung in beiden Spulen gleichsinnig ist, und daß die Ausgangssignale beider Spulen additiv der Messeinrichtung aufgeschaltet sind. Auf diese Weise entsteht in Bezug auf den Luftspalt, durch den die zu messende Schicht geführt wird, eine vollkommen symmetrische Anordnung, die aufgrund der weiter unten noch erörterten Zusammenhänge Lageabweichungen der zu messenden Schicht zuläßt bzw. innerhalb des Systems ausgleicht. Der Luftspalt und damit die zulässige Abweichung kann gegenüber herkömmlichen Systemen sogar beträchtlich vergrößert werden, weil sich Nichtlinearitäten in den Kennlinien der Induktionsspulen aufgrund der additiven überlagerung der Felder aufheben bzw. ausgleichen. Etwaige Frequenzänderungen wirken sich auf beide Induktionsspulenpaare aus, so daß innerhalb bestimmter Grenzen keine Verfälschung des Messwer'tes stattfindet. Da die erfindungsgemäße Anordnung keinen Schwingkreis enthält, der unter Verwendung der Kapazität der Zuleitung gebildet wird, haben auch Änderungen in der Länge der Leitungsführung keinen unerwünschten Einfluß auf das Messergebnis. Auf Mittel zum Abgleich einer solchen Kapazitätsänderung kann folglich vollständig verzichtet werden. Da die erfindungsgemäße Lösung weiterhin die Anordnung von Gleichrichtern und Kondensatoren in unmittelbarer Nähe bzw. in Baueinheit mit den Induktionsspulen gestattet, werden nach der Gleichrichtung ausschließlich Gleichspannungen übertragen. Die Erfahrung zeigte, daß ein Luftspalt vom 7 τ Io mm Weite ohne weiteres zu erreichen ist, so daß die Gefahr eines Anlaufens des bewegten ;4essobjektes und damit ein Verkratzen der Schicht weitgehend ausgeschlossen ist.

Die Erfindung beruht auf dem Prinzip, daß in einem Leiter~, der sich in einem magnetischen Wechselfeld befindet, Wirbel-

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ströme induziert werden. Die Stärke dieser Ströme richtet sich nach der Leitfähigkeit des Materials und nach der Dichte der magnetischen Feldlinien, die das zu messende Objekt durchdringen. Die induzierten Ströme erzeugen ein Gegenfeld, welches das Primärfeld schwächt. Die Folge ist eine Dämpfungswirkung auf die Induktivität, die das Primärfeld erzeugt, infolge der*Wirbelstromverluste im Messobjekt. Der Induktivitätswert der Messpule nimmt in entsprechendem Maße ab. Wenn man eine solche Spule mit (Hochfrequenter) Wechselfrequenz speist, so zeigt sich infolgedessen beim Einbringen eines elektrischen Leiters in das Magnetfeld ein Absinken der Spannung an den Enden der Spule. Je näher das Messobjekt der Induktionsspule kommt, um so größer v/ird die Dämpfungswirkung. Bei der erfindungsgemäßen symmetrischen Anordnung hat nun die Annäherung an die eine Induktionsspule eine Zunahme der Entfernung von der anderen Induktionsspule und damit eine Verringerung der Dämpfungswirkung zu Folge. Bei der angegebenen Schaltung der Induktionsspulen erfolgt somit ein Ausgleich der Spannungsänderurig an beiden Spulen, der die gewünschte Unabhängigkeit von der räumlichen Lage des Messobjekts zur Folge hat. Der Spannungsabfall einer jeden Induktionsspule in Abhängigkeit von der Lage des Messobjekts läßt sich in Form einer "Kennlinie" darstellen, die von einem gewissen Abstand von der Induktionsspule an einen nahezu geradlinigen Verlauf hat. Durch Überlagerung zweier Kennlinien entsteht ein Bereich ausreichender Breite zwischen den Induktionsspulen, in dem die Summe beider Spannungsabfälle nahezu konstant ist. Bezüglich weiterer Einzelheiten dieser Zusammenhänge sei auf die Detailbeschreibung verwiesen.

Die Wirksamkeit der Induktionsspulen wird gemäß der weiteren Erfindung dadurch erhöht, daß die Induktionsspulen in Ferrit-

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Schalenkernen eingebettet sind, deren offene Seiten unter Belassung eines Luftspaltes spiegelsymmetrisch aufeinander zugerichtet sind. Um den Einfluß der nichtlinearen Abhängigkeit der Dämpfungswirkung vom Abstand des Messobjekts in unmittelbarer Nachbarschaft der Induktionsspulen auszuschalten, wird gemäß der weiteren Erfindung vorgeschlagen, daß sich zwischen den Induktionsspulen auf beiden Seiten des Luftspaltes Isolierstoffauflagen einer solchen Dicke befinden, daß die zu messende Schicht am Eintritt in den Bereich des überproportionalen Anstiegs der Messempfindlichkeit der Induktionsspulen gehindert ist.

Zum Ausgleich etwaiger Temperatureinflüsse auf die Anzeigegenauigkeit der Anordnung ist es zweckmäßig, einen Vergleichsspulensatz gleicher Auslegung vorzusehen, dessen gemeinsames Ausgangssignal demjenigen der Induktionsspulen zum Zwecke einer Kompensationswirkung elektrisch entgegengeschaltet ist. Die zum Zwecke einer elektrischen Verarbeitung der Signale der einzelnen Induktionsspulen erwünschte Gleichspannung wird dadurch erzeugt, daß in den Ausgangsleitungen aller Induktionsspulen getrennte :,: Gleichrichter und Glättungsltondensatoren angeordnet sind, und daß die Ausgänge zusammengeschaltet sind. Bei entsprechend gewählter Durchlassrichtung der Gleichrichter ergeben sich die gewünschten additiven bzw. subtraktiven Wirkungen im Hinblick auf die Zusammenschaltung der einzelnen Signale.

Es ist dabei besonders zweckmäßig, Wechselspannungsgenerator, Gleichrichter, Glättungskondensatoren und Mischwiderstände zusammen mit den Induktionsspulen zu einer Baueinheit zu vereinigen, die vorzugsweise noch mit einem Gießharz vergossen wird. Eine derartige Baueinheit hat einen außerordentlich geringen Raumbedarf und läßt sich ohne weiteres

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auch im Innern einer geschlossenen Anlage, wie einer Vakuum-Aufdampfanlage oder einer Katodenzerstäubungsanlage unterbringen. Die Baueinheit wird hierbei von einem U-förmigen Ge'häuse umgeben, an dessen Schenkelenden sich, nach innen zum Luftspalt gerichtet, die Induktionsspulen befinden. Die Baueinheit bildet auf diese Weise einen sogenannten Messkopf, der in der Vorrichtung, in welcher die zu messende Schicht erzeugt wird, so angeordnet wird, daß das U-förmige Gehäuse das Messobjekt umgreift. Das Ausgangssignal der Gesamtanordnung braucht dann nur noch, beispielsweise mittels eines Vielfachsteckers, einer Anzeige- und/oder Regelanordnung aufgeschaltet zu werden, die die gewünschten Parameter-des Herstellverfahrens der zu messenden Schicht beeinflußt.

Ein Ausführungsbeispiel des Erfindungsgegenstandes und seine Wirkungsweise seien nachfolgend anhand der Figuren 1 und 2 näher beschrieben.

Es zeigen:

Figur 1 eine Gesaratanordnung mit einem Schnitt

durch die Induktionsspulen mit Ferrit-Schalenkernen und das Messobjekt und

Figur 2 eine grafische Darstellung des Verlaufs

der Spannungsabfälle in den einzelnen Induktionsspulen in Abhängigkeit von der Lage des Messobjekts.

In Figur 1 ist mit Io ein Wechselspannungsgenerator bezeichnet, der seine Eingangsleistung über die Anschlußklemmen 11 erhält. Über eine Leitung 12 wird die erzeugte Wechselspannung (Hochfrequenz) vier Speisewiderständen 13a bis 13d zugeführt. Von diesen Speisewiderständen führen

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- Io -

Leitungen 14a bis 14d zu den jeweiligen Induktionsspulen 15a bis 15d. Die Induktionsspulen sind in entsprechende Ferrit-Schalenkerne 16 eingebettet, wobei die offenen Seiten der Ferrit-Schalenkerne 15a und 15b unter Belassung eines Luftspaltes 17 spiegelsymmetrisch aufeinander zugerichtet sind. In dem Luftspalt befindet sich ein Messobjekt 18 in Form einer Kunststoffolie 19 mit einer aus Aluminium bestehenden, im Vakuum aufgedampften elektrischleitfähigen Schicht 2o. Zwischen den Induktionsspulen 15a und 15b befinden sich auf beiden Seiten des Luftspaltes 17 Isolierstoffauflagen 21 von einer solchen Dicke, daß die zu messende Schicht 2o am Eintritt in den Bereich des überproportionalen Anstiegs der Messempfindlichkeit der Induktionsspulen 15a und 15b gehindert ist. Der zwischen den Isolierstoffauflagen 21 verbleibende Luftspalt 17 hat dabei immer noch solche Abmessungen, daß das Messobjekt 18 auch bei Flatterbewegungen nicht an die Begrenzung des Luftspaltes anstößt.

Während die Induktionsspulen 15a und 15b ein von der Leitfähigkeit bzw. Dicke der Schicht 2o abhängiges Spannungssignal liefern, kann an den Induktionsspulen 15c und 15d eine sogenannte Vergleiehsspanriung abgegriffen werden, die derjenigen an den Induktionsspulen 15a und 15b ohne zwischengeschaltetes Messobjekt 18 entspricht. Aus Gründen der elektrischen Symmetrie ist zwischen die Induktionsspulen 15c und 15d ein Isolierstoffzwischenstück 22 geschaltet, durch welches der Abstand der betreffenden Induktionsspulen 15c und 15d dem Abstand der Induktionsspulen 15a und 15b gleich gemacht wird. Die Spulen 15c und 15d bilden einen sogenannten Vergleiclisspulensatz und dienen der Temperaturkompensation der Gesamtanordnungj sowie der Kompensation einer etwaigen Frequenzdrift.

Jedes elektrisch leitfähige Objekt, das in den Luftspalt 17 gebracht wird, bedingt eine Spannungsabweichung von O ins

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Negative. Die Stromrichtung in den Induktionsspulen 15a und 15b (ebenso in 15c und 15d) ist die gleiche, so daß beim Fortbewegen des Messobjektes von der Induktionsspule 15a der Messeffekt in der Induktionsspule 15 a abnimmt, während, gleichzeitig in der Induktionsspule 15b ein ansteigendes Messignal entsteht. Dieser Vorgang ist im Zusammenhang mit Figur 2, in der gleiche Teile mit gleichen Bezugszeichen versehen sind, anhand eines Diagramms näher erläutert. Bei Bewegung des Messobjekts 18 von links nach rechts verändert sich die an der Induktionsspule 15a abgreifbare Spannung u- im Sinne der angegebenen Kurve. Entsprechendes gilt für den Spannungsverlauf U₂ an der Induktionsspule 15b. Über den Kurven u^ und U₂ ist die Überlagerung aus beiden Kurven u., + U₂ aufgetragen. Es ist zu erkennen, daß die überlagerte Kurve in dem zwischen den gestrichelten senkrechten Linien liegenden Bereich einen praktisch waagrechten Verlauf hat. Hieraus geht hervor, daß Lageabweichungen des Messobjekts 18 innerhalb dieses Bereichs ohne Einfluß auf das Messergebnis sind. Die Auswirkung '."im; überproportionalen Bereich, der sich in der überlagerten Kurve durch die abfallenden Enden auszeichnet, wird durch Anbringung der Isolierstoffauflagen 21 auf den Induktionsspulen 15a und 15b verhindert, d.h. das Messobjekt 18 kann in diese Bereiche nicht eindringen. Der geradlinige Verlauf der überlagerten Kurven u^ + U₂ ist jedoch breit genug für ausreichendes Maß an Lageabweiohungen des Messobjekts 18.

Die an den einzelnen Induktionsspulen abgegriffenen Spannungen werden über entsprechende Leitungen vier Gleichrichtern 23a bis 23d zugeführt. Durch die Anordnung zugehöriger Glättungskondensatoren 24a bis 24d wird eine ausreichende Glättung der Signalspanhungen erzeugt, so daß in den zügehörigen Mischwiderständen 25a bis 25d ausschließlich Gleichströme fliessen und keine weiteren Dämpfungseffekte auftreten.

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Die Signalspannungen werden über die Mischwiderstände 25a bis 25d und über die Leitungen 26 und 27 unter Berücksichtigung

der durch die Gleichrichter 23a bis 23d gegebenen Vorzeichen einem Operationsverstärker 28 aufgeschaltet, von dem eine Leitung 29 zu einem Mess- und Anzeigegerät 3o führt. An die Stelle dieses Geräts kann selbstverständlich auch eine automatische Regelanordnung treten, mittels welcher die Verfahrensparameter zur Erzeugung der Schicht 2o auf dem Messobjekt 18 beeinflußt werden können. Ohne Anwesenheit eines Messobjekts 18 im Luftspalt 17 hat das Gerät 3o die Anzeige "0". Ein in den Luftspalt gebrachtes Messobjekt hat eine entsprechende Spannungsabweichung zur Folge. Das Gerät 3o kann unter Verwendung von Messobjekten 18 mit definierten Schichtdicken bzw. Flächenwiderständen geeicht werden, so daß eine direkte Anzeige möglich ist. Aufgrund des Fliessens von Gleichströmen in den Leitungen 26 und 27 kann die Länge dieser Leitungen praktisch beliebig gehalten werden.

Die Gesamtanordnung gemäß Figur 1 kann mit Ausnahme des Mess- und Anzeigegeräts 3o zu einer Baueinheit vereinigt werden, die von einem U-förmigen Gehäuse 31 umgeben ist, an dessen Schenkelenden 32 und 33 sich, nach innen zum Luftspalt 17 gerichtet, die Induktionsspulen 15a und 15b befinden. Das Gehäuse ist der Einfachheit halber durch eine umlaufende Randlinie dargestellt, die der Übersichtlichkeit halber nur im Randbereich schraffiert ist. Das Gehäuse 31 wird zweckmäßig mit einer gießfähigen Isoliermasse, z.B. Gießharz, ausgegossen. Die Baueinheit bildet einen sogenannten Messkopf, der über eine Vielfachsteckverbindung mit elektrischen Zu- und Ableitungen verbunden werden kann. Diese betreffen beispielsweise die Anschlußklemmen 11, sowie die Leitungen 26 * ; und 27.

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Claims

ANSPRÜCHE:

•\ Anordnung zur -berührungslosen Messung der Dicke elektrisch leitfähiger Schichten, bestehend aus einer Induktionsspule mit einem Wechselspannungsgenerator und einer Meßeinrichtung für die Erfassung des Induktivitätswertes der Induktionsspule, dadurch gekennzeichnet , daß der Induktionsspule (15a) gegenüber unter Belassung eines Luftspaltes (17) eine zweite Induktionsspule (15b) gleicher Auslegung angeordnet ist, wobei die Stromrichtung in beiden Spulen gleichsinnig ist, und daß die Ausgangssignale beider Spulen additiv der Messeinrichtung (3o) aufge- ; ' schaltet sind.
2. Anordnung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Induktionsspulen (15a,15b) in Ferrit-Schalenkernen (16) eingebettet sind, deren offene Seiten unter Belassung eines Luftspaltes (17) spiegelsymmetrisch aufeinander zugerichtet sind.
3. Anordnung nach den Ansprüchen 1 und 2, dadurch gekennzeichnet, daß sich zwischen den Induktionsspulen (15a, 15b) auf beiden Seiten des Luftspaltes (17) Isolierstoffauflagen (21) einer solchen Dicke befinden, daß die zu messende Schicht am Eintritt in den Bereich des überproportionalen Ansteige der Messempfindlichkeit der Induktionsspulen gehindert ist.
4. Anordnung nach Anspruch 1, gekennzeichnet durch einen Vergleichsspulensatz (15c,15d) gleicher Auslegung, dessen gemeinsames Ausgangssignal demjenigen der Induktionsspulen (15a,15h) zum Zwecke einer Kompensationswirkung elektrisch entgegengeschaltet ist.

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5. Anordnung nach den Ansprüchen 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, daß in den Ausgangsleitungen (14a, 14b,14c,14d) aller Induktionsspulen (15a,15b,15c,15d) getrennte Gleichrichter (23a,23b,23c,23d) und Glättungskondensatoren (24a,24b,24c,24d) angeordnet sind, und daß die Ausgänge zusammengeschaltet sind.
6. Anordnung nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet,

daß Wechselspannungsgenerator (lo), Gleichrichter (23a, 23b,23c,23d), Glättungskondensatoren (24a,24b,24c,24d) und Mischwiderstände (25a,25b,25c,25d) zusammen mit den Induktionsspulen (15a,15b,15c,15d) zu einer Baueinheit vereinigt sind.
7. Anordnung nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, daß die Baueinheit von einem U-förmigen Gehäuse (31) umgeben ist, an dessen Schenkelenden (32/33) sich, nach innen zum .Luftspalt (17) gerichtet, die Induktionsspulen (15a,15b) befinden.

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