DE2338514A1 - Laser-beam machining using oxygen - with concentric water-cooling jets on both sides of the part being machined - Google Patents

Laser-beam machining using oxygen - with concentric water-cooling jets on both sides of the part being machined

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DE2338514A1 DE19732338514 DE2338514A DE2338514A1 DE 2338514 A1 DE2338514 A1 DE 2338514A1 DE 19732338514 DE19732338514 DE 19732338514 DE 2338514 A DE2338514 A DE 2338514A DE 2338514 A1 DE2338514 A1 DE 2338514A1
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Abstract

Matls are machined using a superimposed fluid, (e.g. oxygen), and a coolant on the workpiece. The coolant is pref. applied concentrically on the upper and/or lower side of the part being machined and can be water, soluble cutting oils, or inert gas. The coolant prevents the considerable problems which can occur due to overheating of the workpiece, e.g. dimensional and structural alterations, esp. with fine, intricate machining and by attaching the upper coolant channel to the laser jet, the end of the laser remains cool.

Description

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Verfahren und Vorrichtung zur Laserstrahl-Bearbeitung von WerkstückenMethod and device for laser beam machining of workpieces

Die Erfindung betrifft ein Verfahren und eine Vorrichtung zur Laserstrahl-Bearbeitung von Werkstücken, insbesondere ein Verfahren zur Bearbeitung von Werkstücken mittels eines aus einem Laserstrahl und einem diesen überlagerten Fluidstrahl bestehenden Bearbeitungsstrahls und eine Vorrichtung zu dessen Durchführung.The invention relates to a method and a device for laser beam machining of workpieces, in particular a method for machining workpieces by means of a laser beam and a superimposed thereon Fluid jet existing machining jet and a device for its implementation.

Bekanntlich sind die gebündelten oder fokussierten Strahlen von Lasern, insbesondere Kohlendioxid-Lasern, geeignet, metallische und nichtmetallische Werkstoffe bzw. Werkstücke zu bearbeiten, insbesondere zu schneiden, zu bohren, zu profilieren, zu ritzen oder dergleichen.It is well known that the bundled or focused beams of lasers, especially carbon dioxide lasers, suitable for processing metallic and non-metallic materials or workpieces, in particular cutting them to drilling, profiling, scoring or the like.

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In diesem Zusammenhang ist es insbesondere für COp-Laser bei der Metallverarbeitung bereits seit längerer Zeit bekannt (vgl. Sullivan, Α., u. Houldcroft, P.T.: Gas-jet laser cutting, British Welding J. 14 £967) S. 445 - 445), koaxial mit dem fokussierten Laserstrahl dem zu bearbeitenden Werkstück durch eine enge Düse ein Fluid in Form von Sauerstoff zuzuführen, damit an der durch den Laserstrahl aufgeheizten Oberfläche des Werkstücks eine exotherme Reaktion beginnt, deren Ausbeute ein Vielfaches der absorbierten Laserenergie sein kann.In this context, it has been for a long time, especially for COp lasers in metal processing known (see Sullivan, Α., and Houldcroft, P.T .: Gas-jet laser cutting, British Welding J. 14 £ 967) pp. 445 - 445), coaxially with the focused laser beam the workpiece to be processed through a narrow nozzle a fluid in the form of Supplying oxygen so that an exothermic reaction occurs on the surface of the workpiece heated by the laser beam begins, the yield of which is a multiple of the absorbed laser energy can be.

Zwar kann auf diese Weise eine erheblich größere Bearbeitungsgeschwindigkeit erzielt werden, als sie ohne den Sauerstoffstrahl möglich wäre, doch ist als Nachteil festgestellt worden, daß die exotherme chemische Reaktion an der Bearbeitungsstelle nur sehr schwer gesteuert werden kann, insbesondere dann, wenn es sich um Werkstoffe großer Sauerstoffaffinität (z.B. Titan) handelt. Aber selbst beim Bearbeiten von nicht so reaktiven Werkstoffen (z.B. normalem Stahl, V2A-Stahl usw.) führt die exotherme Reaktion, insbesondere beim Schneiden mit kleinen Vorschüben, wie sie bei komplexer Form der herzustellenden Werkstücke auftreten, zu Schnittkanten nur geringer Qualität, die dann eine Nachbearbeitung erfordern.It is true that a considerably higher processing speed can be achieved in this way can be achieved than would be possible without the oxygen jet, but has been identified as a disadvantage it has been found that the exothermic chemical reaction at the processing point can only be controlled with great difficulty especially when it comes to materials with a high affinity for oxygen (e.g. titanium). But even with Processing of not so reactive materials (e.g. normal steel, V2A steel etc.) leads to the exothermic reaction, especially when cutting with small feed rates, such as those that occur with the complex shape of the workpieces to be manufactured, to cut edges of only low quality, which then require post-processing.

Es ist ferner bekannt geworden (vgl. John E. Harry und Frank W. Lunau, Electrothermal Cutting Processes Using a CO2 Laser, IEEE Transactions on industry applications, Vol. IA-8, No. 4, JuIi/August 1972, S. 4l8 - 424), zum Schneiden sowohl von Metallen als auch Nichtmetallen ganz allgemein einen Gasstrahl als Fluidstrahl koaxial zum fokussierten Laserstrahl auf das Werkstück einwirken zu lassen.It has also become known (cf. John E. Harry and Frank W. Lunau, Electrothermal Cutting Processes Using a CO 2 Laser, IEEE Transactions on industry applications, Vol. IA-8, No. 4, July / August 1972, p. 418-424), for cutting both metals and non-metals, in general, allowing a gas jet to act as a fluid jet coaxially to the focused laser beam on the workpiece.

Was das Schneiden von Nichtmetallen betrifft, so bewirktAs for the cutting of non-metals, so effected

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der Gasstrahl eine Kühlung der Schnittkanten, was zu einer geraderen Schnittkante an der Werkstückoberseite führt, weiter eine Entfernung von geschmolzenen und verdampften Materialien des Werkstücks aus dem Schneidbereich, und schließlich eine Verringerung oder Vermeidung von Abbrand, selbst wenn Luft als das Gas verwendet wird, und zwar infolge der Kühlung des Werkstücks durch den Gasstrahl in der Nähe des fokussierten Laserstrahls.the gas jet cooling the cut edges, resulting in a straighter cutting edge on the top of the workpiece leads to a removal of molten and vaporized materials of the workpiece from the cutting area, and ultimately a reduction or prevention of burn-off, even if Air is used as the gas, due to the cooling of the workpiece by the gas jet in the vicinity of the focused one Laser beam.

Sofern ein Strahl eines inerten Gases-zum Schneiden von Metall verwendet wird, unterstützt er die Entfernung von Schlacke. Als nachteilig ist jedoch ermittelt worden, daß sich an der vom fokussierten Laserstrahl abgewandten Seite des Werkstücks Metalltröpfehen aus fast reinem Metall bilden, die nicht verschlackt sind, und daher kaum bzw. nur durch eine Nachbehandlung entfernt werden können, wobei die Nachbehandlung mittels einer Säuberungstrommel oder Abklopfen mit einem Hammer erfolgt, was beträchtliche Spuren an der Unterseite des Werkstücks infolge der Abrisse hinterläßt.Unless a jet of an inert gas - for cutting Metal is used, it helps remove slag. However, it has been found to be disadvantageous that Metal droplets of almost pure metal form on the side of the workpiece facing away from the focused laser beam, which are not slagged and therefore can hardly be removed or can only be removed by post-treatment, whereby the Post-treatment using a cleaning drum or tapping is done with a hammer, which leaves considerable marks on the underside of the workpiece as a result of the tears.

Ferner haben sich beim Bearbeiten, insbesondere Schneiden, von kleinen, komplizierten Teilen, wie sie insbesondere in der Feinwerktechnik benötigt werden (z.B. Typenhebeln, Steuerkurven), mittels eines aus einem Laser- und einem Fluidstrahl zusammengesetzten Bearbeitungsstrahlε weitere Probleme ergeben. Wie Fig. 1 zu erkennen gibt, die schematisch das Ausschneiden eines Innenteils A aus einem Außenteil B mittels eines Bearbeitungsstrahls C zeigt, wird mit zunehmendem Ausschneiden des Innenteils A und damit Verlängerung einer Schnittlinie D die Wärmeableitung vom Innenteil A zum Außenteil B, das normalerweise wegen der größeren Masse eine größere Wärmekapazität besitzt, erschwert. Dadurch findet eine Überhitzung des Innenteils A statt, was Ausbrennungen und GefügeVeränderungen des Innenteils zur FolgeFurthermore, during processing, in particular cutting, of small, complicated parts, such as those required in particular in precision engineering (e.g. type levers, Control cams), by means of a processing beam composed of a laser and a fluid beam Problems arise. As can be seen from FIG. 1, which schematically shows the cutting out of an inner part A from an outer part B shows by means of a machining beam C, with increasing cutting out of the inner part A and thus lengthening a section line D the heat dissipation from the inner part A to the outer part B, which is normally because of the larger mass has a greater heat capacity, makes it difficult. This causes the inner part A to overheat, resulting in burnouts and structure changes of the inner part result

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hat. Diese Effekte sind umso störender, je kleiner die zu fertigenden Innenteile sind, d.h. je kleiner deren Wärmekapazität ist, so daß es bislang praktisch unmöglich ist, Peinwerkteile mit weniger als 1 cm Durchmesser oder mit schmalen Brücken, wie sie in der Feinwerktechnik sehr häufig vorkommen, in der notwendigen Qualität aus Blechen unterhalb etwa 3 mm Dicke auszuschneiden. Selbstverständlich treten die geschilderten Wärmeabfuhrprobleme auch dann auf, wenn die Schnittlinie D sich nicht über die gesamte Werkstoff dicke erstreckt, d.h. wenn z.B. der Werkstoff nur stark geritzt wird.Has. These effects are more disruptive, the smaller the internal parts to be manufactured, i.e. the smaller their heat capacity is, so that it has so far been practically impossible to use paper parts with a diameter of less than 1 cm or with narrow bridges, as they occur very often in precision engineering, in the necessary quality made of sheet metal underneath Cut out about 3 mm thick. Of course, the heat dissipation problems described also occur when if the cutting line D does not extend over the entire material thickness, i.e. if, for example, the material is only thick is scratched.

Es ist daher Aufgabe der Erfindung, ein Verfahren und eine Vorrichtung der eingangs genannten Art anzugeben, die nicht nur eine genaue Bearbeitung von Werkstücken ohne praktische Abmessungsbegrenzung nach unten und ohne nachteilige Veränderung des Werkstoffs erlauben, sondern sogar die Bearbeitungsgenauigkeit, insbesondere- bei Verwendung eines mit dem Werkstoff reagierenden Fluids wie Sauerstoff, zu erhöhen.It is therefore the object of the invention to provide a method and a device of the type mentioned at the outset which not only a precise machining of workpieces without practical size limitation downwards and without disadvantageous Allow changing the material, but even the machining accuracy, especially when using a with the material reacting fluids such as oxygen to increase.

Diese Aufgabe wird gemäß der Erfindung dadurch gelöst, daß ein Kühlmittel auf den Bearbeitungsbereich des Werkstücks aufgetragen wird.This object is achieved according to the invention in that a coolant is applied to the machining area of the workpiece is applied.

Das auf das zu bearbeitende Werkstück auftreffende Kühlmittel kühlt die unmittelbare Umgebung der Bearbeitungsstelle intensiv ab und sorgt damit für die notwendige Wärmeabfuhr, so daß eine Überhitzung mit den damit verknüpften Ausbrennungen und Gefügeveränderungen vermieden wird.The coolant hitting the workpiece to be machined cools the immediate area around the machining point intensively and thus ensures the necessary heat dissipation, so that overheating with the associated burnouts and structural changes is avoided.

Durch das auf das Werkstück treffende Kühlmittel erfolgt aber vorteilhafterweise keine Absorption von Laser-However, due to the coolant hitting the workpiece, there is advantageously no absorption of laser

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Strahlenergie, da der Fluidstrahlanteil des Bearbeitungsstrahls unmittelbar an der Bearbeitungsstelle das Kühlmittel verdrängt. Eine ausreichende Kühlung ist jedoch trotzdem gewährleistet, da infolge der Relativbewegung des Werkstücks und des Bearbeitungsstrahls die eben im Laserstrahl gelegenen Zonen des Werkstücks schnell diesen Energiezuführungsbereich verlassen und dann sofort abgekühlt werden, was im Sonderfall der Verwendung von Sauerstoff als das Fluid den besonderen Vorteil mit sich bringt, daß die Grenztemperatur für die exotherme Reaktion des Werkstoffs mit Sauerstoff sofort unterschritten wird und damit keine weitere Reaktion stattfindet, was für höchste Bearbeitungsgenauigkeit sorgt.Beam energy, as the fluid jet portion of the machining jet is the coolant directly at the machining point repressed. Adequate cooling is nevertheless guaranteed because of the relative movement of the workpiece and the machining beam, the zones of the workpiece that are located in the laser beam quickly remove them Leave the energy supply area and then immediately cooled down which, in the special case of using oxygen as the fluid, has the particular advantage, that the limit temperature for the exothermic reaction of the material with oxygen is immediately fallen below and so that no further reaction takes place, which ensures maximum processing accuracy.

Ferner ist die Erfindung insoweit vorteilhaft, als sich am unteren Rand bildende Schlacken bzw. Metalltröpfchen bei Bearbeitung des Werkstücks unter gleichzeitigem Auftragen des Kühlmittels sehr leicht (z.B. durch eine Bürste) entfernen lassen. Nach der Entfernung dieser Schlacken- bzw. Metalltröpfchen sind kaum Spuren am Werkstück zu bemerken.Furthermore, the invention is advantageous in that slag or metal droplets are formed at the lower edge Machining of the workpiece can be removed very easily (e.g. with a brush) while simultaneously applying the coolant permit. After removing these slag or metal droplets, hardly any traces can be seen on the workpiece.

Infolge der schnellen Kühlung der Umgebung der jeweiligen Bearbeitungsstelle werden normalerweise thermische Veränderungen des Werkstoffgefüges auch bei kleinen Werkstücken mit Sicherheit vermieden, denn die Wärmeeinflußzone ist bei Bearbeitungs- bzw. Schnittbreiten von z.B. 0,1 mm, wie z.B. sie in 1 - 1,5 mm dickem Stahlblech erzielbar sind, vernachlässigbar klein, wie die praktische Erprobung der Erfindung bewiesen hat.As a result of the rapid cooling of the area around the respective processing point, thermal Changes to the material structure, even with small workpieces, are avoided with certainty, because the heat-affected zone is for processing or cutting widths of e.g. 0.1 mm, such as can be achieved in 1 - 1.5 mm thick sheet steel, negligibly small, as the practical testing of the invention has proven.

Schließlich wird durch das Kühlmittel weitgehend eine Wärmerückstrahlung vom Werkstück zur den Bearbeitungsstrahl abgebenden Bearbeitungsstrahldüse vermieden, so daß die Ge-Finally, the coolant largely reflects heat from the workpiece to the machining beam emitting machining jet nozzle avoided, so that the

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fahr einer übermäßigen Aufheizung der Bearbeitungsstrahldüse und einer dadurch bedingten Zerstörung beträchtlich reduziert wird.driving excessive heating of the processing jet nozzle and consequent destruction is considerably reduced.

Beim Bearbeiten bzw. Schneiden von dickeren Werkstoffen z.B. Stahlblech von 2 - 5 mm Dicke und mehr, kann sich die Wärmeabfuhr durch das Kühlmittel an der Werkstückoberseite allein als nicht ausreichend erweisen, die Wärmeenergie schnell genug abzuführen, da dann die Wärmediffusionszeit zu groß und die dafür notwendige Diffusionsgeschwindigkeit zu gering wird. Dann wird das Kühlmittel auch an der Unterseite des Werkstücks 'aufgetragen.When processing or cutting thick materials, e.g. sheet steel 2 - 5 mm thick and more, the Heat dissipation through the coolant on the top of the workpiece alone does not prove to be sufficient, the thermal energy to dissipate quickly enough, because then the heat diffusion time too large and the diffusion speed required for this is too low. Then the coolant is also at the bottom of the workpiece 'applied.

Die entsprechende Unterkühleinrichtung hat zweckmäßigerweise eine mittige öffnung zum Durchtritt des das Werkstück durchsetzenden Teils des Bearbeitungsstrahls und von Bearbeitungsabfällen. The corresponding subcooling device expediently has a central opening for the workpiece to pass through penetrating part of the machining beam and machining waste.

Schließlich ist es vorteilhaft, daß die Oberkühleinrichtung mit der Bearbeitungsstrahldüse einen guten- Wärmekontakt hat.Finally, it is advantageous that the upper cooling device has good thermal contact with the machining jet nozzle Has.

Bei Verwendung von Bearbeitungsstrahldüsen mit kleinem Querschnitt wird nämlich infolge der immer bei Lasern im ' optischen Nahfeld auftretenden Streustrahlung (Beugungserscheinungen am Austrittsfenster, Linsenfehler der Bündelungsoder Fökussierungslinse) ein Teil der Layerenergie am Umfang dieser Düse absorbiert, wodurch eine Aufheizung dieser Düse ebenso wie durch die bereits erwähnte Rückstrahlung vom Werkstück stattfinden kann. Daher besteht an sich die Gefahr, daß die Kühl-Bearbeitungsstrahldüse unzulässig hoch aufgeheizt wird, d.h. durch die Aufheizung zerstört wird. Dem wirkt aber gerade die Oberkühleinrichtung entgegen, wenn sie in gutem Wärmekontakt mit der Bearbeitungsstrahldüse steht.When using machining jet nozzles with a small cross-section, because of the fact that lasers are always in the ' scattered radiation occurring in the optical near field (diffraction phenomena at the exit window, lens defects in the focusing or Focusing lens) a part of the layer energy on the circumference absorbed by this nozzle, as a result of which this nozzle is heated up as well as by the already mentioned reflection from the workpiece can take place. There is therefore a risk that the cooling processing jet nozzle will be heated to an unacceptably high level i.e. it is destroyed by the heating. But the top cooling device counteracts this when it is in good thermal contact with the machining jet nozzle.

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Im einfachsten Pall ist das Kühlmittel einfach Wasser oder eine an sich bekannte Bohremulsion, die dann einen Flüssigkeitsfilm an der Werkstückoberseite bilden.In the simplest pall, the coolant is simply water or a drilling emulsion known per se, which then has a Form a liquid film on the top of the workpiece.

Das Kühlmittel kann aber auch ein kaltes inertes Gas sein.However, the coolant can also be a cold inert gas.

Die Erfindung wird anhand der Zeichnung näher erläutert. Es zeigen:The invention is explained in more detail with reference to the drawing. Show it:

Fig. 1 schematisch die bei der Laserstrahlbearbeitung auftretenden Wärmeabfuhrverhältnisse; und1 schematically shows that during laser beam machining occurring heat dissipation conditions; and

Fig. 2 ein Ausführungsbeispiel der erfindungsgemäßen Vorrichtung.Fig. 2 shows an embodiment of the device according to the invention.

Von einem (nicht gezeigten) Laser geht ein Laserstrahl 1 aus, der durch eine Linse 2 gebündelt oder fokussiert wird. Durch ein seitliches Speiserohr J wird ein Fluid wie z.B. Sauerstoff dem Laserstrahl 1 überlagert, so daß aus einer Bearbeitungsstrahldüse 4 ein Bearbeitungsstrahl 5 austritt, der sich aus dem Laserstrahl 1 und einem nicht gesondert gezeigten Sauerstoffstrahl zusammensetzt.A laser beam 1 emanates from a laser (not shown) and is bundled or focused by a lens 2. A fluid such as oxygen is superimposed on the laser beam 1 through a lateral feed pipe J, so that a Machining jet nozzle 4 a machining jet 5 exits, which is composed of the laser beam 1 and an oxygen beam not shown separately.

Im Fall von Fig. 2 durchsetzt der Bearbeitungsstrahl 5 vollständig ein Werkstück 6.In the case of FIG. 2, the machining beam 5 completely penetrates a workpiece 6.

Gemäß der Erfindung ist eine Kühleinrichtung vorgesehen, die einerseits aus einer Oberkühleinrichtung 7a mit einer Kühlmittelzufuhr 8a sowie hier konzentrisch zum Bearbeitungsstrahl 5 angeordneten Kühlmitteldüsen 9a und andererseits aus einer Unterkühleinrichtung 7b mit einer Kühlmittelzufuhr 8b sowie Kühlmitteldüsen 9£> und schließlich einer mittigen Bohrung 10 besteht.According to the invention, a cooling device is provided which, on the one hand, consists of an upper cooling device 7a with a Coolant supply 8a as well as coolant nozzles 9a arranged here concentrically to the machining jet 5 and on the other hand from a subcooling device 7b with a coolant supply 8b as well as coolant nozzles and finally a central one Hole 10 exists.

Das Kühlmittel wird gemäß Pfeilrichtungen K auf dasThe coolant is applied to the

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Werkstück 6 selbst aufgetragen.Workpiece 6 applied itself.

Beim Ausführungsbeispiel von Fig. 2 ist insbesondere ersichtlich, daß die Oberkühleinrichtung 7a in gutem Wärmekontakt mit der Bearbeitungsstrahldüse 4 steht, was die bereits oben aufgezeigten Vorteile mit sich bringt.In the embodiment of FIG. 2, in particular it can be seen that the upper cooling device 7a is in good thermal contact with the machining jet nozzle 4, which brings the advantages already mentioned above with it.

Wegen der weiteren Einzelheiten des Ausführungsbeispiels von Fig. 2 wird ausdrücklich auf die zeichnung selbst in Verbindung mit der bereits oben gegebenen Erläuterung der durch die Erfindung erzielten Vorteile verwiesen.Because of the further details of the embodiment of FIG. 2 is expressly referred to the drawing itself with the explanation already given above of the advantages achieved by the invention.

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Claims (14)

PatentansprücheClaims Verfahren zur Bearbeitung von Werkstücken mittels eines aus einem Laserstrahl und einem diesen überlagerten Pluidstrahl bestehenden Bearbeitungsstrahls, dadurch gekennzeichnet , daß ein Kühlmittel auf den Bearbeitungsbereich des Werkstücks aufgetragen wird.Method for machining workpieces by means of a from a laser beam and a machining beam superimposed on this, thereby characterized in that a coolant is applied to the machining area of the workpiece. 2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß das Kühlmittel konzentrisch zum Bearbeitungsstrahl aufgetragen wird.2. The method according to claim 1, characterized in that the coolant is concentric to the machining beam is applied. 3. Verfahren nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet , daß das Kühlmittel an der dem Bearbeitungsstrahl zugewandten oder Oberseite des Werkstücks aufgetragen wird.3. The method according to claim 1 or 2, characterized that the coolant on the machining beam facing or top of the workpiece is applied. 4. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet , daß das Kühlmittel auch an der Unterseite des Werkstücks aufgetragen wird.4. The method according to any one of the preceding claims, characterized in that the coolant is also applied to the underside of the workpiece. 5. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet , daß das Kühlmittel Wasser ist.5. The method according to any one of the preceding claims, characterized in that the coolant Water is. 6. Verfahren nach einem der Ansprüche 1-5, dadurch gekennzeichnet , daß das Kühlmittel eine an sich bekannte Bohremulsion, nämlich eine Emulsion aus Wasser und korrossionsverhindernden ölen, ist.6. The method according to any one of claims 1-5, characterized in that the coolant has a well-known drilling emulsion, namely an emulsion of water and anti-corrosive oils. 7. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 - 5 , dadurch gekennzeichnet , daß das Kühlmittel ein kaltes inertes Gas ist.7. The method according to any one of claims 1-5, characterized characterized in that the coolant is a cold inert gas. 509808/003$$ 509808/003 23385H23385H 8. Vorrichtung zur Bearbeitung von Werkstücken mittels eines aus einem Laserstrahl und einem diesen überlagerten Fluidstrahl bestehenden Bearbeitungsstrahls zur Durchführung des Verfahrens nach einem der vorhergehenden Ansprüche, gekennzeichnet durch eine Kühleinrichtung zum Auftragen eines Kühlmittels auf den Bearbeitungsbereich des Werkstücks (6).8. Device for processing workpieces by means of a laser beam and a fluid beam superimposed on it existing machining beam for carrying out the method according to one of the preceding claims, characterized by a cooling device for applying a coolant to the machining area of the workpiece (6). 9. Vorrichtung nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet , daß die Kühleinrichtung eine Oberkühleinrichtung (7a, 8a) auf der dem Bearbeitungsstrahl (5) zugewandten oder Oberseite des Werkstücks (6) hat.9. Apparatus according to claim 8, characterized in that the cooling device is an upper cooling device (7a, 8a) on the machining beam (5) facing or top of the workpiece (6). 10. Vorrichtung nach Anspruch 9* dadurch gekennzeichnet, daß die Kühleinrichtung eine Unterkühleinrichtung (7b, 8b) an der vom Bearbeitungsstrahl (5) abgewandten Seite des Werkstücks (6) hat.10. The device according to claim 9 *, characterized in that that the cooling device has a sub-cooling device (7b, 8b) on the one facing away from the machining beam (5) Side of the workpiece (6). 11. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 8 - 10, dadurch gekennzeichnet , daß die Kühleinrichtung (7a, 8a; 7b, 8b) im wesentlichen koaxial zur Bearbeitungsstrahldüse (4) angeordnet ist.11. Device according to one of claims 8-10, characterized characterized in that the cooling device (7a, 8a; 7b, 8b) is arranged essentially coaxially to the machining jet nozzle (4). 12. Vorrichtung nach Anspruch 11, dadurch gekennzeichnet , daß die Kühleinrichtung viele feine Kühlmitteldüsen (9a, 9b) aufweist.12. The apparatus according to claim 11, characterized in that the cooling device has many fine coolant nozzles (9a, 9b). 13. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 10- 12, dadurch gekennzeichnet , daß die Unterkühleinrichtung ('Jb) eine mittige Öffnung (10) zum Durchtritt des das Werkstück durchsetzenden Teils des Bearbeitungsstrahls (5) und von Bearbeitungsabfällen hat.13. Device according to one of claims 10-12, characterized in that the subcooling device ('Jb) has a central opening (10) for the passage of the part of the machining beam (5) penetrating the workpiece and of machining waste. 14. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 9 - I3, dadurch gekennzeichnet , daß die Oberkühleinrichtung (7a) mit der Bearbeitungsstrahldüse (4) einen guten Wärmekontakt hat.14. Device according to one of claims 9 - I3, characterized characterized in that the upper cooling device (7a) has good thermal contact with the machining jet nozzle (4). 509808/0035509808/0035 LeerseiteBlank page
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