DE2312774A1 - Verfahren zur herstellung duenner anorganischer filme auf unterlagen - Google Patents
Verfahren zur herstellung duenner anorganischer filme auf unterlagenInfo
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- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C16/00—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes
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Cited By (3)
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---|---|---|---|---|
DE2750597A1 (de) * | 1976-11-18 | 1978-05-24 | Alsthom Atlantique | Verfahren zum aufdampfen von duennen schichten durch zersetzung eines gases in einem plasma |
EP0087151A2 (de) * | 1982-02-23 | 1983-08-31 | Siemens Aktiengesellschaft | Verfahren zum Herstellen von Schichten aus hochschmelzenden Metallen bzw. Metallverbindungen durch Abscheidung aus der Dampfphase |
DE3841730A1 (de) * | 1988-12-10 | 1990-06-13 | Krupp Widia Gmbh | Verfahren zum beschichten eines metallischen grundkoerpers mit einem nichtleitenden beschichtungsmaterial |
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1972
- 1972-06-12 DD DD16360672A patent/DD96984A1/xx unknown
-
1973
- 1973-03-15 DE DE19732312774 patent/DE2312774A1/de active Pending
- 1973-05-03 CS CS317573A patent/CS166979B1/cs unknown
- 1973-06-09 PL PL16325773A patent/PL86395B1/xx unknown
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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DE2750597A1 (de) * | 1976-11-18 | 1978-05-24 | Alsthom Atlantique | Verfahren zum aufdampfen von duennen schichten durch zersetzung eines gases in einem plasma |
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EP0087151A3 (de) * | 1982-02-23 | 1984-07-25 | Siemens Aktiengesellschaft | Verfahren zum Herstellen von Schichten aus hochschmelzenden Metallen bzw. Metallverbindungen durch Abscheidung aus der Dampfphase |
DE3841730A1 (de) * | 1988-12-10 | 1990-06-13 | Krupp Widia Gmbh | Verfahren zum beschichten eines metallischen grundkoerpers mit einem nichtleitenden beschichtungsmaterial |
Also Published As
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CS166979B1 (da) | 1976-03-29 |
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