DE2301800A1 - METHOD OF EXTENDING THE DEPTH OF FOCUS IN OPTICAL AND ELECTRON MICROSCOPIC IMAGING - Google Patents

Description

Verfahren zur Erweiterung des Schärfentiefebereiches bei der optischen und elctrol?e: 'n Abbildung.Process for expanding the depth of field in the optical and elctrol? e: 'n Illustration.

Beschreibung der T'rfindung: Die Erfindung bezweckt die Erweiterung des Schärfentiefebereiches bei der Abbildung. Der Schärfentiefebereich #z errechnet sich bei der konventionellen Abbildung aus der geforderten auflösbaren Distanz #x zweier Objektpunkte nach (1) #z # ### wobei # die Weilenlänge der bei der Abbildung benutzten Strahlung ist. Soll die Auflösung verdoppelt, also AX halbiert werden, so folgt aus (1), daß der Tiefenbereich #z in dem die abbildung scharf ist, auf ein Viertel halbiert wird.Description of the invention: The invention aims to expand of the depth of field in the illustration. The depth of field #z is calculated with conventional imaging from the required resolvable distance #x two object points according to (1) #z # ### where # is the length of the in the figure used radiation is. If the resolution is to be doubled, i.e. AX halved, It follows from (1) that the depth range #z in which the image is in focus is on a quarter is halved.

Erfindnungsgemäß wird der Schärfentiefebereich über die durch (1) gegebene Grenze der konventionellen Abbildung hinaus wesentlich erweitert. Damit wird die Forderung nach hoher lateraler Auflösung und gleichzeitig hohem Scharfentiefebereich ertüllt. Dies ist allgemein bei de Abbildung mit hoher Apertur, speziell bei der mikroskopischen Abbildung von besonderem Interesse.According to the invention, the depth of field is determined by (1) the given limit of conventional imaging is significantly expanded. In order to becomes the requirement for high lateral resolution and at the same time a high depth of field fulfilled. This is general in the case of de imaging with a high aperture, especially in the case of the microscopic image of particular interest.

Es ist bekannt, dz durch Abtastung des Objektes in Tiefenrichtung eine Erweiterusg des Schärfentiefebereiches erzielt werden kann [1], [2] . Dabei werden die verschiedenen Ebenen des Objektes periodisch durchfokussiert. Geschieht dies schnell genug, so überlagern sich die zeitlich nacheinander entstehenden Bilder: Der Beobachter erkennt Objekteinzelheiten in einem erweiterten Tiefenbereich.It is known to dz by scanning the object in the depth direction an expansion of the depth of field can be achieved [1], [2]. Included the different levels of the object are periodically focused. Happens if this is done quickly enough, the images that appear one after the other are superimposed: The observer recognizes object details in an extended depth range.

Das Integrieren der Intensität über verschiedene Objekt ebenen hat schwerwiegende Nachteile, die seine praktische Anwendung verhindern: Das int-egrlerte Bild besteht aus der Uberlagerung mehr oder weniger unscarfer Bilder, darunter auch während einer kurzen Zeitspanne ds scharfe Bild einer Objekteinzelheit.Integrating the intensity across different object levels has serious disadvantages which prevent its practical application: The int-egrlerte Image consists of superimposing more or less unscarfer images, including during a short period of time, the sharp image of an object detail.

Die dem scharfen bild äberl gerten unscahrfen Bilder verringern die Qualität des so erzeugten Bildes. er Kontrast bei hohen Ortsfrequenzen wird niedrig, kleine Objekteinzelheiten werden nur unvollkommen wiedergegeben. Die Zusatzinformation über vorher nicht scharf wiedergegebene Objektebenen ist auf Kosten der vorher scharf abgebildeten Objekteinzelheiten gewonnen worden.The unscrewing images, which are superimposed on the sharp image, reduce the Quality of the image created in this way. the contrast at high spatial frequencies becomes low, small object details are only incompletely reproduced. The additional information above object planes that were not reproduced before sharp is at the expense of the previously sharp depicted object details have been obtained.

Aufgabe der Erfindung ist die Erweiterung des Schärfentiefebereiches bei vernachlässigbarer Einbuße an Bildqualität.The object of the invention is to expand the depth of field with negligible loss of image quality.

Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß durch einen Zweistufenprozess gelöst: Das Verfahren geht von der Erkenntnis aus, daß ein von einem System mit geringer Qualität übertragenes Bild verbessert werden kann [3] , wenn a) der übertragungsprozes durch eine Gleichung nach beschrieben werden kann und wenn b) die Übertragungsfunktion D bekannt is+,. In (2) sind zur O' die Ortsfrequenzspektren des Objektes bzw. des Bildes.According to the invention, this object is achieved by a two-stage process: The method is based on the knowledge that an image transmitted by a system with poor quality can be improved [3] if a) the transmission process is followed by an equation can be described and if b) the transfer function D is known + ,. In (2) are the spatial frequency spectra of the object or the image for O '.

Das Objekt O läßt sich dann aus dem Bildspektrum mit durch Fouriertransformation auf optoschem Wege ermitteln [4].The object O can then be extracted from the image spectrum determine by means of Fourier transformation in an optical way [4].

Da bei der Abbildung eines in der Tiefe ausgedehnten Objektes die Übertragungsfunktion für jede Objektebene eine andere ist [5] , läßt sich eine Rückverschärfung nach (3) hier zunächst nicht anwenden.Since when depicting an object that is extended in depth, the If the transfer function is different for each object level [5], a re-sharpening can be achieved according to (3) do not initially apply here.

Im ersten Schritt des zu potentierenden Verfahrens wird deshalb zunächst ein modifiziertes Bild des Objekten erzeugt, bei dem Einzelheiten jeder Objektebene. mit annähernd der gleichen Ubertragungsfunktion abgebildet werden.In the first step of the process to be potentiated, the first step is therefore A modified image of the object is generated with details of each object plane. can be mapped with approximately the same transfer function.

Nach Abb. 1 wird das Objekt mit der Tiefe 2#z symmetrisch zur Ebene der scharfen Abbildung us die Strecke 2z1 bewegt. Das Objet wird inkohärent beleuchtet und die Intensität in der Bild ebene integriert *), Wird zur Integration ein. linearer Empfänger benutzt, so läßt, *) Damit der Abbildungsmaßstab unabhängig von der lefokussierung wird, muß der Strahlengang objektseitig telezentrisch sein. According to Fig. 1, the object with the depth 2 # z is moved symmetrically to the plane of the sharp image us the distance 2z1. The objet is illuminated incoherently and the intensity is integrated in the image plane *), becomes an integration. If a linear receiver is used, *) So that the image scale is independent of the lefocusing, the beam path on the object side must be telecentric.

Abb. 1: Prinzip der Integration durch Bewegung des Objektes entlang der optischen Achse.Fig. 1: Principle of integration by moving the object along the optical axis.

sich die Übertragungsfunktion dieses prozesses aus dem Integral über alle Übertragungsfunktionen abhängig von der Defokussierung errechnen: Für den Objektpunkt 2 (bezüglich der Tiefenausdenung des Objektes in der Kitte gelegen) eird die übertragungsfunktion des integrierten Bildes (N = Normierungsfaktor) Für den - bezüglich der Tiefe - Randpunkt 1 wird die Übertragungsfunktion wenn keine Aberrationen vorliegen, gilt für den anderen Randpunkt 3 D2 = D3. Es genügt also, die Übertragungsfunktionen für die Objektpunkte 1 und 2 gleich (bzw, möglichst ähnlich) zu machen, damit Punkte aller Objektebene mit gleicher oder ähzlicher Übertragungsfunktion abgebildet werden. Offensichtlich wird dieses Ziel erreicht, wenn der Integrationsbereich # z1 sehr viel größer ist ls die Tiefenausdehnung ##z des Objektes.the transfer function of this process can be calculated from the integral over all transfer functions depending on the defocusing: For object point 2 (with regard to the depth of the object located in the cement) the transfer function of the integrated image is used (N = normalization factor) For - with respect to the depth - edge point 1 becomes the transfer function if there are no aberrations, then for the other edge point 3, D2 = D3. It is therefore sufficient to make the transfer functions for object points 1 and 2 the same (or as similar as possible) so that points of all object planes are mapped with the same or similar transfer functions. Obviously, this goal is achieved if the integration area # z1 is very much larger than the depth extension ## z of the object.

Um ein großes Signal-Rauschverhältnis zu erzielen,solite jedoch die Verschiebung in Richtung der optischen Achse möglichst klein bleiben. Die Rechnung [6] ergibt, daß die Differenz der Übertragungsfunktionen D1 und D2 vernsehlässigbar wird, wenn der Integrationsbereich etwa doppelt so groß wie die Objekttiefe ist. Dos ist erkennbar aus den Diagrammen der Abb. '::, b, c.In order to achieve a high signal-to-noise ratio, however, the Shift in the direction of the optical axis remain as small as possible. The statement [6] shows that the difference between the transfer functions D1 and D2 is negligible becomes when the integration area is about twice the object depth. Dos can be seen from the diagrams in Fig. '::, b, c.

hier ist die Übertragungsfunktion D1 für den Randpunkt bei verschedenen Objekttiefen #z über der normierten Ortzfrequenz S aufgetragen. here the transfer function D1 for the edge point for different object depths #z is plotted against the normalized spatial frequency S.

Abb. 2 Übertragungsfunktion für den - bezöglich der Tiefe -Randpunkt des Objektes bei verschiedenen Objekttifen #α1 Der Integrationsbereich #α1 beträgt 10, 20 und 50 Optische Einheiten.Fig. 2 Transfer function for the - in relation to the depth - edge point of the object with different object types # α1 The integration area # α1 is 10, 20 and 50 optical units.

Verschiebungen auf der optischen Achse werden in Optischen Einheiten angegeben; Die Größen z1 und #z werden durch Gleichung (6) mit α1 und #α verknüpft.Displacements on the optical axis are expressed in optical units specified; The quantities z1 and #z are given by equation (6) with α1 and # α connected.

(6) α = 1/2k#z#sin²u Dabei ist k=2#/# und sin u die Apartur das abbildenden Systems.(6) α = 1 / 2k # z # sin²u where k = 2 # / # and sin u is the aparture the imaging system.

5 rrBer die objekttiefe relativ zun Integrationsbereich wird, desto ehr weicht de Übertragungsfunktion der Rand ebene von der der mittleren Cbjektebene (#α=0) ab. Die Abweichung ist jedoch, wie die Diagramme zeigen, zu vernachlössigen, wenn die Objekttiefe nicht wesentlich größer als der halbe Integrationsbereich wird: Es ist kein Unterschied zwischen der Abbildungsqualität verschiedener Objektebenen erkennbar.5 rrBer the object depth becomes relative to the integration area, the more Either way, the transfer function of the edge level differs from that of the middle object level (# α = 0). However, as the diagrams show, the deviation is negligible, if the object depth is not significantly greater than half the integration area: There is no difference between the image quality of different object planes recognizable.

Damit ist das Ziel des ersten Schritten erreicht. Es wurde ein modifiziertes Bild des Objektes Hergestellt, wobei alle Objektebenen mit der gleichen Übertragungsfunktion abgebildet werden.The goal of the first step has thus been achieved. It became a modified one Image of the object Manufactured, with all object planes having the same transfer function can be mapped.

Das wie beschrieben erzeugte inkohärent integrierte Bild wird im zweiten Schritt einer kohärenten Ortsfrequenzfilterung nach (3) unterworfen. Das Filter muße dem Kontrast bei hohen Ortsfrequenzen anheben, der durch den ersten Schritt nach Abb. 2 verringert wurde. Dies gelingt, wenn der Frequenzgang des Rückverschärfungsfilters proportional der reziproken Übertragungsfunktion 1/D1#1/D2 ist.Da die Übertragungsfunktion des integrierten Bildes vom Integrationsbereich abhängt, ist das Rückverschorfungsfilter auf den geforderten Schärfentiefebereich bzw. auf die Apertur des abbildenden Systems abzustimmen.The incoherently integrated image generated as described is used in the second Step of coherent spatial frequency filtering subject to (3). The filter must increase the contrast at high spatial frequencies, which is caused by the first Step according to Fig. 2 has been reduced. This succeeds if the frequency response of the resharpening filter is proportional to the reciprocal transfer function 1 / D1 # 1 / D2. Since the transfer function of the integrated image depends on the integration area, is the scabbing filter on the required depth of field or on the aperture of the imaging system to vote.

Vorteile des Verfahrens: Mit der Erfindung ist eine Erwiterung des Schärfentiefebereiches bei lt prinzip nicht verringerter ^bbildungsqualitnt und auflösen möglich. Der Grad der über die konventionelle Abbildung vielfach*) hinausgehenden Erweiterung hängt wesentlich nur vom Rauschen des zur Integration verwendeten Speichermaterials ab.Advantages of the method: The invention is an extension of the Depth of field with, according to the principle, not reduced ^ education quality and dissolve possible. The degree that goes beyond conventional mapping in many ways *) Expansion depends essentially only on the noise of the storage material used for integration away.

Das Rückverschärfungsfilter hat einen reellen Frequenzgsng ohne Fullstellen. Das ist ein entscheidender Vorteil für die praktische Anwendung: s ist it geringe Aufwand optisch oder elektronisch zu realisieren. Dazu gehört auch, daß das Filter bei höheren Ortsfrequenzen einen linear ansteigenden Frequenzgang hat.The resharpening filter has a real frequency without filling. This is a decisive advantage for practical use: it is low To realize effort optically or electronically. This also includes the filter has a linearly increasing frequency response at higher spatial frequencies.

Da die Bedigung "Objekttiefe gleich halter Integrationsbereich" nicht genau eingehalten werden muß (s.Abb. 2), genügt für die praktische Anwendung ein Satz weniger Filter, um Objekte mit verschiedenen Tiefen zu verarbeiten.Since the requirement "object depth keep integration area equal" is not must be strictly adhered to (see Fig. 2), is sufficient for practical application Set fewer filters to process objects with different depths.

Literatur: [1]Deutsche Patentschrift iTr. 1029591 [2]H. C. King D. H. Berry, Appl. Opt. 10 (1971) 208 [3JA. Maréchal, 1. Croce, K. Dietzel, Opt. Acta 5 (1958) 256 [4]G. W. Dtroke, Opt. Spectra 11(1971) 31 [5]H. H. Hopkins, Proc. Roy. Soc. A231 (1955) 91 [6]G. Häusler, Opt. Comm. 6 (1972) 38 *)In Vorversuchen mit Hilfe photographischer Integration wurde eine 25-fache Erweiterung des Schärfentiefebereiches erzielt. Eine weitere Steigerung erscheint möglich.Literature: [1] German patent iTr. 1029591 [2] H. C. King D. H. Berry, Appl. Opt. 10 (1971) 208 [3JA. Maréchal, 1. Croce, K. Dietzel, Opt. Acta 5 (1958) 256 [4] G. W. Dtroke, Opt. Spectra 11 (1971) 31 [5] H. H. Hopkins, Proc. Roy. Soc. A231 (1955) 91 [6] G. Häusler, Opt. Comm. 6 (1972) 38 *) In preliminary tests with With the help of photographic integration, a 25-fold expansion of the depth of field was achieved achieved. A further increase seems possible.

Für die praktische Durchführung werden folgende Methoden beschrieben: 1. Anwendung auf das Lichtmikrospkop im off-line Verfahren.The following methods are described for practical implementation: 1. Application to the light microscope in the off-line method.

Der erste Schritt, die beugung des integrierten Bildes, erfolgt durch zeitlich gleichmäßiges Durchfokussieren um eine Stercke etwa doppelt so groß wie die Objekttiefe symmetwisch zur Mittenebene des Objekts. \.hrend des Fokussierens etwa durch Notorantrieb des Feintriebes am Mikroskop, wird in der Zwischenbildebene eine Foto platte be lichtet Die Platte wird init γ= -2 umkehrenwickelt und im zweiten Schritt einer kohärenten Filterung unterworfen. In der Brennebene der Fouriertransformationslinse der Filteranordnung entsteht das Spektrum des integrierten Bildes. In diese Ebene wird ein Hochpaßfilter gebracht, dessen Amplitudenrtansparenz proportional (7) 1/D2 = 2α1s/Si(α1s(2-s)) (Si bedeutet Integralsinus) ist, wenn konstanter Kontrast für alle Ortsfrequenzen erzielt werden soll. Die Filtercharakterstik hängt von der Verschiebung α1 während der Aufnahme ab. Eine ausreichende Häherung ist ein frequenzlinerer Hochpaß, der zusätzlich einen Gleichanteil nach (7) durcüläßt. The first step, the diffraction of the integrated image, is carried out by Temporally uniform through-focussing around a corner about twice as large as the object depth symmetrically to the center plane of the object. \. while focusing for example by notor driving the fine drive on the microscope, is in the intermediate image level a photo plate exposed The plate is reversed with γ = -2 and subjected to coherent filtering in the second step. In the focal plane of the Fourier transform lens of the filter arrangement creates the spectrum of the integrated Image. A high-pass filter is brought into this level, its amplitude transparency proportional (7) 1 / D2 = 2α1s / Si (α1s (2-s)) (Si means integral sine) is when constant contrast is to be achieved for all spatial frequencies. The filter character depends on the displacement α1 during recording. A sufficient number is a frequency-liner high-pass filter which also allows a constant component according to (7) through.

Soll durch die Filterung eine Übertragungsfunktion proportional zu 1 - s/2 erreicnt werden, so wird die Amplitudentransparenz des Filters pronortional (8) 1/D2 =α1s(2-s)/Si(α1s(2-s)) Die vorliegenden Ergebnisse sind wegen der geschlossenen Darstellungsmöglichkeit für eine quadratische Apertur angegeben. Sie unterscheiden sich von den numerischen Werten für die runde pupille nur unwesentlich.A transfer function is supposed to be proportional to through the filtering 1 - s / 2 are reached, the amplitude transparency of the filter is pronounced (8) 1 / D2 = α1s (2-s) / Si (α1s (2-s)) The present results are due to the closed display option for a square aperture specified. They differ only insignificantly from the numerical values for the round pupil.

Das Filter kann etwa durch eine Photoplatte realisiert werden, die über eine rotierende Schablone so bclichtet wurde, daß die Amplitudentransparenz proportional zu (7) oder (8) wird.The filter can be realized by a photo plate, for example was exposed over a rotating stencil so that the amplitude transparency becomes proportional to (7) or (8).

Phasenstörungen werden durch Immersion kommensiert.Phase disturbances are commensated through immersion.

In der Ausgangsbildebene der Filteranordnung entsteht dann das gefilterte Bild mit gesteigertem Schärfentiefebereich.The filtered one then arises in the output image plane of the filter arrangement Image with increased depth of field.

2. Anwendung im Echtzeitverfahren.2. Real-time application.

Für ein Echtzeitverfahren, bei dem die photographische Verarbeitung entfällt, wird das Präparat auf einem Objekttisch montiert, der in Richtung der optischen Achse eine Dreieckschwingung ausführt: Die Schwingungsweite ist gleich der doppelten Objekttiefe. Die Schwingung erfolgt symmetrisch zur Mittenebene des Objektes. For a real-time process in which photographic processing omitted, the specimen is mounted on an object table that faces the optical axis executes a triangular oscillation: The oscillation amplitude is the same twice the object depth. The oscillation takes place symmetrically to the center plane of the Object.

Das integrierte Bild wird wird -nf der Kathode einer Fernsehaufnahmeröhre (z.B. Image-Orthikon) erzeugt, wenn die Schwingungsfrequenz des Objekttisches gleich der Abtasfrequenz der Kamera ist. Das Vieosignal enthält die Information über das integrierte Dild, Im zweiten Schritt wird das Videosignal einer passenden Hochpaßfilterung unterworfen. Der Frequenzgang des Filters wurde unter 1. beschrieben.The integrated image becomes the cathode of a television pickup tube (e.g. Image-Orthicon) generated when the oscillation frequency of the stage is the same is the scanning frequency of the camera. The vieo signal contains the information about the Integrated Dild, In the second step, the video signal is subjected to a suitable high-pass filter subject. The frequency response of the filter was described under 1..

Auf einer Monitor kann ein Bild des Objektes mit gesteigertem Schärfentiefebereich beobachtet werden.An image of the object with increased depth of field can be displayed on a monitor to be observed.

jei dieser Verfahren ist die Filterung nur in Zeilenrichtung vollständig. Konturen, die nicht senkrecht zur Zeilenrichtung verlaufen, werden umso unvollständiger gefiltert, je mehr sie in Zeilenrichtung verlaufen. Da für den Bildeindruck dieser Nachteil nicht schwer wiegt, kann aaf eine prinzipiell mögliche zweite Filterung senkrecht zur erste verzichtet werden.In each of these methods, the filtering is only complete in the row direction. Contours that are not perpendicular to the direction of the line become all the more incomplete filtered the more they run in line direction. As for the picture impression this The disadvantage is not a serious one, a second filtering, which is possible in principle, can be used perpendicular to the first to be dispensed with.

Der Vorteil des elektronischen Verfahrens besteht darin, daß der Frequenzgang des elektronischen Filters leicht zu verändern ist. Deshalb ist bei Objektivwechsel oder verändertem Schärfentiefebereich die Anpassung schnell möglich. Durch die Echtzeitverarbeitung kann das Filter auch nach dem besten visuellen Bildeindruck eingestellt werden.The advantage of the electronic method is that the frequency response of the electronic filter is easy to change. Therefore, when changing lenses or a changed depth of field, the adjustment can be made quickly. Through real-time processing the filter can also be set according to the best visual image impression.

3. Echtzeitverfahren mit phototropem Material Das Objekt wird mit Hilfe eines Schwingtisches nach 2.3. Real-time process with phototropic material The object is made with Using a vibrating table according to 2.

bewegt. Das integrierte Bild wird durch Ausbleichen eines vorher geschwärzten phototropen Materials in der Zwischenbildebene des Mikroskops erzeu:,t. Das Auslesen der Information und die Filterung erfolgt nach 1. durch kohärente Filterung bei einer Wellenlänge, die keine schwärzende oder bleichende Wirkung auf das phototrope Aufnahmematerial hat.emotional. The integrated image is made blackened by bleaching a previously Generate phototropic material in the intermediate image plane of the microscope:, t. Reading out the information and the filtering takes place according to 1. by coherent filtering at a wavelength that has no blackening or bleaching effect on the photochromic Has recording material.

Claims (9)

Patentansprüche:Patent claims: 1. Verfahren zur Vergrößerung des Schvirfcntiefebereiches über die durch die konventionelle Abbildung gegebene Grenze hinaus, dadurch gekennzeichnet dal' in einem ersten Scfiritt durch Überlagerung verschieden defokussierter Bilder zunächst ein modifiziertes Bild des Objektes erzeugt wird, bei den alle Objektebenen mit nahezu der gleichen Übertragungsfunktion abgebildet werden, und da in zweiten Schritt das so gewonnene Bild einer Hochpaßfilterung unterworfen wird, die den entstandenen Kontrastabfall bei hohe Ortsfrequenzen kompensiert.-1. Procedure for enlarging the depth of the screen over the limit given by conventional imaging, characterized dal 'in a first step by superimposing differently defocused images first a modified image of the object is generated, with all object planes can be mapped with almost the same transfer function, and there in the second Step the image obtained in this way is subjected to a high-pass filtering, which the resulting Contrast drop compensated for high spatial frequencies. 2. Verfahren nach 1, dadurch gekennzeichnet daß für die Überlagerung ein photographisches Aufnahmematerial verwendet wird und die Rückverschärfung durch kohrente otische Filterung erfolgt.2. The method according to 1, thereby characterized in that a photographic recording material is used for the overlay and the re-sharpening is done by consistent otic filtering. 3, Verfahren nach 1, dadurch gekennzeichnet daß die kohärente Filterung mit verschiedenen Filtern je n:ch der zu verarbeitenden Objekttiefe vorgenommen wird. 3, method according to 1, characterized in that the coherent filtering with different filters depending on the object depth to be processed will. 4. Verfahren nach 1, dadurch gekennzeichnet daß die uiberlagerung mit Hilfe einer Fernsehaufnahmeröhre erfolgt, während das Objekt uf einem Schwingtisch .mit sender Frequenz in Richtung der optischen Achse bewegt wird, und daß die Filterung in zweiten Schritt durch passende Filterung des Videosignals erreicht wird. 4. The method according to 1, characterized in that the superimposition with the help of a television tube, while the object is on a rocking table . With the transmitter frequency is moved in the direction of the optical axis, and that the filtering is achieved in the second step by suitable filtering of the video signal. 5. Verfahren nach 1, dadurch gekennzeichnet daß die Überlagerung mit Hilfe eines photochromen Speichermaterials erfolgt, welches im zweiten Schritt das Objekt der kohärenten optischen Filterung wird. 5. The method according to 1, characterized in that the superposition takes place with the help of a photochromic storage material, which in the second step becomes the object of coherent optical filtering. 6.Verfahren nach 1-5, dadurch gekennzeichnet daß bei elektronenmikroskopischer Abbildung die Schärfentiefe vergrößert wird. 6.Verfahren according to 1-5, characterized in that with electron microscopic Illustration the depth of field is enlarged. 7. Verfahren nach 1-5 dadurch gekennzeichnet daß bei elektronenmikroskopischer Abbildung die Fokussierungstoleranz vergrößert wird. 7. The method according to 1-5, characterized in that at electron microscopic Figure the focus tolerance is increased. 8. Verfahren nach 1-5, dadurch gekennzeichnet daß die SchMentiefe bei Blasenkammeraufnahmen vergrößert wird. 8. The method according to 1-5, characterized in that the SchMentiefe is enlarged in the case of bladder chamber exposures. 9. Verfahren nach 1-5, dadurch gekennzeichnet daß die Schärfentiefe bei Röntgenschichtaufnahmen vcr>'-rößert wird. 9. The method according to 1-5, characterized in that the depth of field in X-ray slices vcr> '- is enlarged.