DE2259808A1 - EASILY DISASSEMBLY DIFFUSION PUMP - Google Patents

Description

Leicht zerlegbare DiffusionspumpeEasily dismantled diffusion pump

Die Erfindung betrifft eine Diffusionspumpe, die zur Reinigung der die Pumpe bildenden Elemente leicht zerlegbar ist.The invention relates to a diffusion pump that is used for cleaning the elements forming the pump can be easily dismantled.

Bekanntlich umfassen die Diffusionspumpen im wesentlichen oberhalb eines Heizelementes oder eines Heizers einen ölbehälter, über dem ein Diffusor angeordnet ist, der dazu beiträgt, bei hoher Geschwindigkeit die ÖldSmpfe gegen die den Pumpenkörper bildende und den ölbehälter umschlieöende gekühlte Wandung zu schleudern bzw. zu spritzen. Diese Dämpfe kondensieren auf dieser Wandung, bevor sie wieder in den Ölbehälter eingeführt werden.As is known, the diffusion pumps essentially comprise an oil container above a heating element or a heater, above which a diffuser is arranged, which helps to push the oil sumps against the forming the pump body and enclosing the oil container to spin or spray the cooled wall. These vapors condense on this wall before they move back in inserted into the oil container.

Um zu vermeiden, daß Spuren von öldampf in das zu evakuierende Volumen eingeführt werden, ordnet man üblicherweise direkt , oberhalb der Pumpe eine Kondensationseinrichturig an, die durch ein wassergekühltes Umlenkblech gebildet ist und über dem eine Flüssigetickstoffalle bzw. ein Flüssigstickstoffänger angeordnet ist.In order to avoid traces of oil vapor entering the evacuated Volumes are introduced, one usually assigns directly, Above the pump a condensation device, which is formed by a water-cooled baffle and above the one Liquid nitrogen trap or a liquid nitrogen trap arranged is.

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Ebenfalls ist bekannt : die den Ölbehälter umgebende gekühlte Wandung, die der unaufhörlichen BombaaSlerung durch die Ton dem Dampfstrom mitgerissenen Moleküle ausgesetzt ist, muß sehr sorgfältig in ziemlich regelmäßigen Abständen gereinigt werden genauso wie die Umlenkausbildung und die Plussigstickstoffalle. Hieraus resultieren notwendigerweise sehr häufige und ziemlich lange Auseinanderbauarbeiten, die in erheblicher Weise die Betriebskosten einer mit einer Diffusionspumpe ausgestatteten Einrichtung belasten. Also known: the cooled wall surrounding the oil tank, which is exposed to the incessant bombing by the Clay is exposed to the vapor flow of entrained molecules be cleaned very carefully at fairly regular intervals as well as the deflection training and the plus-nitrogen trap. This necessarily results in very frequent and fairly long dismantling work, which in considerable Way burden the running costs of a facility equipped with a diffusion pump.

Durch die Erfindung soll nun eine Pumpenauabildung vorgeschlagen werden, bei der die verschiedenen übereinander angeordneten Elemente sehr leicht so abgebaut werden können, daß die Innenwandung des Pumpenkörpera dann leicht zugänglich ist und deren Reinigung unschwer zu bewerkstelligen 1st. Im übrigen können die verschiedenen Pumpenbauteile, die aus dem Inneren des Pumpenkörpers herausgezogen wurden, ihrerseits mit großer Sorgfalt gereinigt werden..The invention is now intended to propose a pump configuration in which the different ones are arranged one above the other Elements can be dismantled very easily so that the inner wall of the pump body is then easily accessible and their cleaning is easy to accomplish. In addition, the various pump components that come from the inside removed from the pump body, must be cleaned with great care.

Die Erfindung geht somit aus von einer leicht zerlegbaren Diffusionspumpenanordnung, bei der in einem zylindrischen Pumpenkörper, der durch seinen Deckel in SchiIeBeteilung mittels eines Flansches blockiert 1st, ein auf dem Bodon des Pumpenkörpers angeordneter Ölbehälter vorgesehen ist, über dem sein Diffusor baut, sowie zwei übereinander angeordnete Kondensat ionselemente, die in Höhe des Ableitungsrohres angeordnet sind und gebildet werden durch ein mit Flügelrippen besetztes Umlenkblech,einen Schutzschirm und eine mit Flügelrippen besetzte Fliissigstickstoffalle. Die Erfindung zeichnet sich dadurch aus, daß die Verbindung zwischen Pumpenkörper und dan die Pumpe bildenden Elementen·so ausgestaltet ist, daß einThe invention is thus based on an easily dismantled diffusion pump arrangement in which a cylindrical The pump body, which is divided by means of its cover, is divided into slides one flange blocked 1st, one on the bodon of the pump body arranged oil tank is provided over which its diffuser builds, as well as two condensate arranged one above the other ion elements which are arranged at the level of the discharge pipe and are formed by a winged rib Deflector plate, a protective screen and one with wing ribs Liquid nitrogen all. The invention is characterized by this that the connection between the pump body and the elements forming the pump is designed so that a

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Herausziehen dieser Elemente durch einfache !Translation nach oben nach einem Lösen des Flansches möglich wird·Extraction of these elements by simple! Translation to becomes possible after loosening the flange

Hieraus folgt, daß es genügt, ein solches Kondensationselement anzuheben, um es von der kalten Quelle zu trennen, ohne daß θβ notwendig wurde, KühlfiüssigkefiBleitungen abzulegen. Aufgrund dieser Maßnahme genügt es, die im Pumpenliörper enthaltenen Elemente einer einfachen Translation nach olien awsssusetiseiif um file Pumpe völlig auseinanderzubauen bzw. au demontieren'. Es verbleibt dann noch ein innen glattes zylindrisches' Elements welches den Innenteil des Punjpenkörpers bildet. Ein solches Element ist sehr leicht zu reinigen.It follows from this that it is sufficient to have such a condensation element to disconnect it from the cold source without the need to discard cooling liquid lines. Due to this measure, it is sufficient that in the pump body elements contained in a simple translation olien awsssusetiseiif to completely disassemble the pump or dismantle '. There then remains an inside smooth cylindrical element which forms the inner part of the body of the pump. Such an element is very light to clean.

Man sieht leicht, da0 die Schaffung eines Wärmekontaktes sein geringer Wärmeimpedanz zwischen der kalten Quelle und der Rippenplatte gewisse Vorkehrungen erfoj?derlich macht. Die in Kontakt stehenden Flächen sind völlig ausgerichtet. Im ttbrjspn kann der Kontakt durch den Druck einer Peder verbessert werden, wenn die Schwerkraftskräfte sich als unzureichend erweisen sollten.It is easy to see that the creation of thermal contact is the low thermal impedance between the cold source and the the rib plate makes certain precautions necessary. The surfaces in contact are fully aligned. In ttbrjspn the contact can be improved by the pressure of a peder if the forces of gravity prove to be insufficient should prove.

Bei den Pumpen üblicher Bauart, bei denen die ablenkeinrichtung durch eine Wasserzirkulation gekühlt ist, können erhebliche Unannehmlichkeiten auftreten, wenn die Wasser-Zirkulation auch nur zufällig unterbrochen wird. Im oberen Teil der Pumpe wird die Wirkung der Pltissigßtickstoffalle vorherrschend und das Wasser der Umlenkeinrichtung kann gefrieren. Dies führt zu Rissen in der Wasserleitung , welche zu nicht behebbaren Schäden,insbesondere in der Diffusionspumpe führen können,, indem das Wasser mit öl vermischt wird.In the case of pumps of the usual type, in which the deflector is cooled by a water circulation, considerable inconvenience can occur when the water circulation is used interrupted even accidentally. In the upper part of the pump the action of the plasmic nitrogen trap becomes predominant and the water of the deflector can freeze. This leads to cracks in the water pipe, which leads to irreparable damage, especially in the diffusion pump by mixing the water with oil.

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Solche Vorfälle werden vermieden, wenn die Kühlung der Umlenk- oder Pralleinrichtung durch Wärmeleitung erfolgt. Sie kalte Quelle der Umlenkeinrichtung wird vorzugsweise in die Wandung dee Pumpenkörpers derart eingebaut, daß sie nach der Montage der Pumpe nicht vorsteht.Such incidents are avoided if the deflection or impact device is cooled by heat conduction. The cold source of the deflection device is preferably built into the wall of the pump body in such a way that it does not protrude after the pump has been installed.

Eine analoge Einrichtung kann zur Realisierung der Flüasigstickstoffalle bzw. des Flüseigstickstoffängere verwirklicht werden; die Oberfläche der in Kontakt mit der Oberfläche der kalten Quelle stehenden Rippenplatten ist dann wesentlich größer und der Querschnitt der leitenden Bippen liegt beachtlich höher.An analog device can be used to implement the liquid nitrogen all or the liquid nitrogen longer to be realized; the surface of the in contact with the surface The rib plates standing next to the cold source are then considerably larger and the cross-section of the conductive ribs is considerably higher.

Für gewisse Aueführungsformen wird man es bevorzugen, den Kreis der FlUssigetickstoffalle dem Deckel der Pumpe zuzuordnen, wodurch es wie vorher möglich wird, den Anschluß der Stickstoffleitungen außerhalb der Pumpe beizubehalten. Die Wirkung der Falle wird dann noch stärker, ohne daß hierdurch irgendeine Demontageschwierigkeit herbeigeführt würde. Hebt man nämlich den Deckel ab, so werden Falle und Flüssigstickstoffspeicher, die hieran befestigt sind, gleichzeitig herausgezogen.For certain forms of execution it will be preferred to use the The circle of liquid nitrogen all to be assigned to the cover of the pump, this makes it possible, as before, to keep the nitrogen lines connected to the outside of the pump. The effect of the trap is then even stronger without causing any dismantling difficulty. If you lift the lid off, the trap and liquid nitrogen storage are attached to it, pulled out at the same time.

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Eine beispielsweise Ausführungsform der Erfindung soll nun mit Beizug auf die beiliegende Zeichnung näher erläutert werden, die schematisch einen Schnitt durch eine Ausführungsform einer Diffusionspumpe nach der Erfindung zeigt» bei der die Prall- oder Umlenkeinrichtung durch Wärmeleitung gekühlt ist, während die FlÜssigstickstoffalle mit dem Deckel verbunden ist. Aus der einzigen Figur erkennt man den von einer wassergekühlten KUhlschlage 2 umgebenen Pumpenkörper 1, über dem ein die kalte Quelle der Umlenkeinrichtung 9 bildender Speicher 3 angeordnet ist.An example embodiment of the invention is now intended will be explained in more detail with reference to the accompanying drawing, which schematically shows a section through an embodiment a diffusion pump according to the invention shows »in which the impact or deflection device is cooled by heat conduction, while the liquid nitrogen is all connected to the lid. The single figure shows the pump body 1, surrounded by a water-cooled KUhlschlage 2, above which a the cold source of the deflection device 9 forming memory 3 is arranged.

Diese Einrichtung besteht selbst aus einer Anordnung von Rippen wie z. B. 4·, mit denen thermisch und mechanisch die Plügelrippen wie 7 und 8 unter Bildung eines optisch dichten Schirms verbunden sind. Diese Rippen 4 sind an den beiden Enden mit einer gerichteten Rippenplatte 5 versehen, die sich gegen ein ebenfalls völlig planes Oberflächenelement 6 des oberen Teiles des Speichers 3 abstützt.This device itself consists of an arrangement of ribs such. B. 4 ·, with which thermally and mechanically the Plügelrippen such as 7 and 8 are connected to form an optically dense screen. These ribs 4 are at the two ends provided with a directional rib plate 5, which is against a also completely flat surface element 6 of the upper Part of the memory 3 is supported.

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Der ölbehälter 20, über dein sein Diffusor 21 angeordnet ist, ist gegen die Umlenkeinrichtung oder das Umlenkblech durch einen Schutzschirm 22 getrennt, der mechanisch und thermisch mit der Umlenkeinrichtung 9 verbunden ist. Pie Umlenkeinrichtung (baffle) ist im wesentlichen in Höhe der Leitung 23 angeordnet und setzt die Pumpe über einen nicht dargestellten Schieber mit dem zu evakuierenden Volumen in Verbindung.The oil container 20, over which its diffuser 21 is arranged, is separated from the deflection device or the deflection plate by a protective screen 22 which is mechanically and thermally connected to the deflection device 9. The deflection device (baffle) is arranged essentially at the level of the line 23 and connects the pump to the volume to be evacuated via a slide (not shown).

Oberhalt der Umlenkeinrichtung wird der Deckel 10 angeordnet, der die Pumpkolonne schließt. Dieser Deckel 1st mit dem Pumpenkörper 1 mittels eines mit einer nicht dargestellten, in einer Kreisnut 12 angeordneten Dichtung versehenen Flansches 11 verbunden. The cover 10, which closes the pump column, is arranged above the deflection device. This cover is with the pump body 1 connected by means of a flange 11 provided with a seal, not shown, arranged in a circular groove 12.

Nach der beschriebenen Au3fUhrungsfona wird der Flussigstickstoff-Fänger 24 durch den Deckel 10 abgestützt. Der die kalte Flüssigstickstoffquelle bildende Flüssigatickstoffbehälter 13 ist nach unten Über Leitungen wie 1Θ und 19 verlängert, welche kreisförmige Flügelrippen wie z. B. 16 tragen, die in engem thermischen Kontakt mit diesen Leitungen stehen.The liquid nitrogen scavenger is after the described execution form 24 supported by the cover 10. The liquid nitrogen tank 13 constituting the cold liquid nitrogen source is extended downwards via lines like 1Θ and 19, which circular wing ribs such as B. 16 wear, which are in close thermal contact with these lines.

Im oberen Teil ist der Speicher durch zwei Leitungen verlängert: einer mit einem Stopfen 17 verschlossenen Zuführungsleitung und einer Lieferleitung 14.In the upper part of the storage tank is extended by two lines: a feed line closed with a plug 17 and a delivery line 14.

Man sieht, daß die Ausbildung der Verbindung zwischen den verschiedenen Bauteilen ein Auseinanderbauen der Pumpe sehr einfach machen: nimmt man den Deckel 10 nach Freigabe des FlanschesOne can see that the formation of the connection between the various Components make it very easy to dismantle the pump: take the cover 10 after releasing the flange

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ob, so entfernt man gleichzeitig die Kondensationseinrichtung, welche durch den Flttssigstickstoff- Fänger gebildet ist, der mit ihr mechanisch verbunden ist. Man braucht also nur noch die aweite durch die Umlenk- oder Leiteinrichtung (baffle) gebildete Kondensationseinrichtung herauszuziehen. Diese Demontage ist ebenfalls sehr einfach, da sieh die Umlenkeinrichtung einfach auf ihrem Kühlspeicher 5 abstützt, wobei die thermische Verbindung äußerst günstig durch den Eontakt !zwischen der gerichteten bzw. ausgeschnittenen Rippenplatte 5 und der vollkommen planen Fläche des Speichers 3 gemacht wurde. Keine Schraub- oder Nietverbindung zwischen Umlenkeinrichtung und Pumpenkörper ist hergestellt.whether, the condensation device is removed at the same time, which is formed by the liquid nitrogen trap, the is mechanically connected to it. So you only need the distance through the deflection or guide device (baffle) to pull out the condensation device formed. This dismantling is also very easy, see the deflection device simply supported on their cold storage 5, the thermal connection being extremely favorable due to the contact ! between the directed or cut out rib plate 5 and the completely flat surface of the memory 3 made became. No screw or rivet connection between the deflection device and the pump body is made.

Bei Anheben der Uralenkeinrichtung zieht man gleichzeitig den Schutzschirm 22 heraus, der die Umlenkeinrichtung 9 gegen eine direkte Bestrahlung durch den Diffusor 21 schützt, der jedoch mit den Rippen 4 der Umlenkeinrichtung 9 verbunden ist. Der Diffusor 21 ist also zugänglich. Man kann auch den Diffusor 23 Bowle den Ölbehälter 20 herausziehen. Der Pumpenkörper 1 ist dann völlig frei.When lifting the Ural steering device one pulls the at the same time Protective screen 22 out, which protects the deflection device 9 against direct irradiation through the diffuser 21, the however, it is connected to the ribs 4 of the deflection device 9. The diffuser 21 is therefore accessible. You can also use the diffuser 23 punch pull out the oil container 20. The pump body 1 is then completely free.

Man erkennt, daß bei der Vorrichtung nach der Erfindung keines der Konäemaationeeleinente gegen den Pumpenkörper geschraubt oder genietet ist.It can be seen that in the device according to the invention none the Konäemaationeeleinente screwed against the pump body or riveted.

Beschrieben wurde eine bevorzugte Ausführungeform zur Verwirklichung der erfindungsgemäßen Maßnahme. Zahlreiche Modifikationen können dieser Ausführungsform gegenüber im Rahmen der Erfindung Jedoch vorgenommen werden. So kann man insbesondere den Stickstoffspeicher in den oberen Teil der Wandung des Pumpenkörpers einbauen und man kann dann die Flügelrippen des Flüssigstickstoff -Fängers durch Wärmeleitung der thermisch mit diesen und mit dom. Speicher verbundenen Traversen kühlen..A preferred embodiment has been described for implementation the measure according to the invention. Numerous modifications can be made to this embodiment within the framework of the invention, however, can be made. So you can in particular install the nitrogen reservoir in the upper part of the wall of the pump body and you can then the vane ribs of the liquid nitrogen trap by conduction of the thermal with these and with dom. Storage connected trusses cool ..

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Claims (5)

PATENTANSPRÜCHEPATENT CLAIMS Leicht zerlegbare Diffusionspumpe , bei der in einem einen an seinem Ort durch Plansehverschluß festgehaltenen Deckel geschlossenen Pumpenzylinderkörper ein ölbehälter auf dem Boden des Pumpenkörpers angeordnet und über diesem ein Diffusor angebracht ist, und bei der zwei einander Überlagerte Kondensationselemente in Höhe der Vakuumleitung angebracht sind» wobei diese durch eine Umlenkeinrichtung mit Fitigelrippen und Schutzschirm und einen mit Flügelrippen versehenen Flüssigst ickstoff-Fänger gebildet sind, gekennzeichnet durch eine Terbindung zwischen Pumpenkörper (1) und den die Pumpe bildenden Bauteilen, derart, daß ein Herausziehen der Bauteile durch einfache Translation nach oben nach Lösen der Befestigung des Flansches (21) möglich wird.Easily dismantled diffusion pump, in which one is held in place by a tarpaulin closure Cover closed pump cylinder body on an oil container the bottom of the pump body is arranged and above this a diffuser is attached, and in which two superimposed on each other Condensation elements are attached at the level of the vacuum line »whereby these are guided by a deflection device with spiral ribs and Protective screen and a liquid nitrogen trap provided with wing ribs are formed, characterized by a Connection between the pump body (1) and the components forming the pump in such a way that the components can be pulled out simple translation upwards is possible after loosening the fastening of the flange (21). 2. Diffusionspumpe nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der Speicher(3) dee unteren Kondensationselementes fest mit de^ Pumpenkörper Cl) verbunden 1st; und daß die thermische Terbindung zwischen Umlenkeinrichtung (9) und Speicher einfach aufgrund der schwerkraft zwischen den stark polierten Planflächen der Rippenplatte (5) und der Oberfläche (6) des Speichers (3) sichergestellt ist, derart, daß dieses Kondensatorelement durch einfache Translation nach oben abnehmbar ist.2. Diffusion pump according to claim 1, characterized in that the memory (3) fixed to the lower condensation element connected to the pump body C1; and that the thermal The connection between the deflection device (9) and the accumulator is simply due to the force of gravity between the heavily polished flat surfaces the rib plate (5) and the surface (6) of the memory (3) is ensured such that this capacitor element can be removed by simple translation upwards. 3* Diffusionspumpe nach einem der Ansprüche 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß das obere Kondenasfcionselement mechanisch und thermisch mit dem Flüssigstickstoffspeicher (13) verbunden ist, der selbst mechanisch an dem Deckel (10) befestigt 1st, derart, daß durch Anheben des Deckels dieses Kondeneationselement in Trans-3 * diffusion pump according to one of claims 1 or 2, characterized in that the upper Kondenasfcionselement mechanically and is thermally connected to the liquid nitrogen storage (13), which itself is mechanically attached to the cover (10) in such a way that by lifting the cover this condensation element is in trans- - 8 ~ 30982WCU01 - 8 ~ 30982WCU01 225980B225980B -fir--for- !ation nach oben mitgenommen wird.! ation is taken upstairs. 4. Diffusionspumpe nach Anspruch 3_f dadurch gekennzeichnet, daß der Pumpenkörper aus zwei zylindrischen, gleichachsigen Elementen gebildet ist, von denen das eine über, dem anderen sich befindet und in Höhe der Abführleitung (23) über eine
kreisförmige, horizontale Schulter (6), die den oberen Teil des Sepichers (3) bildet, verbunden ist.4. Diffusion pump according to claim 3 _f, characterized in that the pump body is formed from two cylindrical, equiaxed elements, one of which is above, the other is and at the level of the discharge line (23) via a
circular, horizontal shoulder (6), which forms the upper part of the Sepichers (3), is connected. 5. Diffusionspumpe nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, daß die Plügelrippen der Kondensationselemente mechanisch und thermisch mit dem aus einem Wärme 5. Diffusion pump according to one of claims 1 to 4, characterized in that the wing ribs of the condensation elements mechanically and thermally with the one from a heat sehr gut leitenden Metall bestehenden Rippen verbunden sind; und daß sie in engem thermischen Kontakt mit der Oberfläche der entsprechenden kalten Quelle gehalten sind.very good conductive metal existing ribs are connected; and that they are kept in close thermal contact with the surface of the corresponding cold source. 309824/0401309824/0401 LeerseiteBlank page