DE2245822C3

DE2245822C3 -

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Publication number: DE2245822C3
Application number: DE19722245822
Authority: DE
Priority date: 1971-09-24
Filing date: 1972-09-19
Publication date: 1976-12-16

Description

Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Nachweisen von Lecks, bei dem eine Seite eines Prüflings einem Prüfgas ausgesetzt wird und Gas von der anderen Seite des Prüflings abgepumpt und einem Leckdetektor zugeführt wird.

Bei bekannten Verfahren dieser Art strömt Prüfgas enthaltendes Gas während der Messung kontinuierlich durch den Detektor (DT-OS 15 73 799; US-PS 77 769V

Weist der Prüfling ein grobes Leck auf, so gelangt auf diese Weise eine erhebliche Menge Prüfgas zum Leckdetektor. Bei empfindlichen Leckdetektoren kann das zu erheblichen Beschädigungen, wenn nicht sogar zur Zerstörung des eigentlichen Detektors führen.

Es ist deshalb Aufgabe der Erfindung, ein Verfahren der eingangs genannten Art verfügbar zu machen, bei dem unter allen Umständen nur eine ganz bestimmte Maximalmenge Prüfgas in den Leckdetektor gelangen kann, so daß dieser keinesfalls überlastet oder beschädigt werden kann.

Erfindungsgemäß wird diese Aufgabe dadurch gelöst, daß ein vorbestimmtes Gasvolumen auf der abgepumpten Seite gesammelt wird, das vorbestimmte Volumen gegen die abgepumpte Seite abgeschlossen wird und dann das vorbestimmte Gasvolumen dem Leckdetektor zugeführt wird.

In vielen Fällen ist es erwünscht, eine grobe Klassifizierung der ein Leck aufweisenoen Prüflinge in solche mit groben und feinen Lecks vornehmen zu können. Diese Möglichkeit ergibt sich, wenn gemäß einer Weiterbildung der Erfindung wenigstens ein zweites vorbestimmtes Gasvolumen auf der gepumpten Seite gesammelt wird, das größer ist als das erste vorbestimmte Volumen, dann das kleinere vorbestimmte Volumen dem Leckdetektor zugeführt wird und, wenn der Leckdetektor kein Leck anzeigt, das größere vorbestimmte Volumen dem Leckdetektor zugeführt wird.

Weitere Ausführungsformen des erfindungsgemäßen Verfahrens sind in den Ansprüchen 3 und 4 erläutert.

Die Erfindung betrifft weiterhin eine Leckdetektoranordnung zur Durchführung des erfindungsgemäßen Verfahrens. Es ist eine Leckdetektoranordnung bekannt, die aus einer Leitung, mit der ein Prüfgas, das durch den Prüfling leckt, vom Prüfling zu einem Leckdetektor geleitet wird, und zwei in dieser Leitung in Reihe liegenden Ventilen besteht, von denen das erste die Leitung mit einer Kammer für den Prüfling und das zweite die Leitung mit dem Leckdetektor verbindet bzw. davon trennt (IBM Technical Disclosure Bulletin, Band 5, Nr. 1, Juni 1962, S. 19). Bei dieser bekannten Anordnung wird jedoch nicht ein vorbestimmtes Gasvolumen dem Leckdetektor zugeführt, sondern es wird sowohl bei der Prüfung auf grobe Lecks als auch bei der Prüfung auf feine Lecks die Prüfkammer mit dem Leckdetektor verbunden, so daß das Gasvolumen Undefiniert ist.

Zur Durchführung des erfindungsgemäßen Verfahrens wird deshalb erfindungsgemäß diese bekannte Anordnung in der Weise abgeändert, daß ein drittes Ventil zwischen dem zweiten Ventil und dem Leckdetektor angeordnet ist und das zweite und das dritte Ventil so angeordnet sind, daß sie im geschlossenen Zustand zwischen sich wenigstens ein voxbestimmtes Gasvolumen einschließen, und diese Ventile so betätigbar sind, daß Gas im vorbestimmten Gasvolumen zum Leckdetektor strömen kann, ohne daß weiteres Prüfgas in das vorbestimmte Gasvolumen eintreten kann.

Weitere Ausführungsformen der erfindungsgemäßen Leckdetektoranordnung sind den Ansprüchen 6 bis 14 zu entnehmen.

Die Erfindung soll an Hand der Zeichnung näher erläutert werden; es ^eigt

Fig. 1 schematisch eine Leckdetektoranordnung mit einem einzelnen vorbestimmten Gasvolumen zwischen zwei Ventilen;

Fig. 2 eine Modfikation eines Teils der Anordnung nach F i g. 1 mit zwei vorbestimmten Gasvolumen und drei Ventilen;

Fi g. 3 eine teilweise geschnittene Ansicht eines bevorzugten Ventiltyps zur Verwendung in der Anordnung nach F i g. 1 und

Fig. 4 eine teilweise geschnittene Ansicht durch eine Anordnung zur Verwendung des Ventiltyps nach Fi g. 3 in Verbindung mit einer Ausführungsform mit zwei vorbestimmten Gasvolumen.

Gemäß F i g. 1 besteht eine Leckdetektoranordnung aus einer Prüfkammer 1 mit einer angelenkten Tür 2, so daß ein Prüfling 3 in die Kammer eingesetzt werden kann. Die Kammer ist so konstruiert, daß, wenn die Tür 2 geschlossen ist, ein hermetisch dichtes Gefäß um den Prüfling 3 herum gebildet wird. Eine Vakuumleitung 4 führt von der Prüfkammer 1 zum Einlaß einer üblichen mechanischen Vorpumpe 5. Ein übliches Vakuumventil 6 befindet sich links von der Leitung 4, um die Prüfkammer mit der Leitung zu verbinden oder von dieser zu trennen. Ein übliches Ventil 7 ist in der Leitung 4 in der Nachbarschaft der Vorpumpe angeordnet, damit die Verbindung zwischen der Vorpumpe und der Leitung geöffnet oder geschlossen werden kann. Um das Ventil 7 führt eine Nebenschlußleitung 8 herum, die eine Trennwand 9 mit einer kleinen Öffnung 10 enthält. Die Größe der Öffnung 10 ist vorzugsweise einstellbar, beispielsweise in Form eines üblichen Nadelventils (nicht dargestellt). Ein übliches Manometer 11 liegt zwischen den Ventilen 6 und 7 in der Vakuumleitung 4. An die Kammer 1 ist eine Luftzutrittsleitung 12 angeschlossen, und in dieser Leitung 12 ist ein übliches Ventil 13 vorgesehen. Die Leitung 12 ist vorgesehen, damit nach einer Prüfung das Ventil 13 geöffnet werden kann, damit Frischluft in die Kammer 1 eintreten kann. Dadurch wird das Vakuum in Kammer 1 beseitigt, so daß die Tür 2 leicht geöffnet werden kann. Die Frischluft verdrängt auch das Prüfgas, das aus dem Prüfling 3 herausgetreten sein kann, so daß sich für den nächsten Prüfling keine fehlerhafte Ablesung ergeben kann.

Eine zusätzliche Vakuumleitung 14 ist zwischen den Ventilen 6 und 7 an die Vakuumleitung 4 angeschlossen. In der Leitung 14 liegen Ventile 15 und 16 in Reihe. Die Ventile 15 und 16 können übliche Vakuumventile sein. Ein vorbestimmtes Gasvolumen wird durch das Leitungsstück 17 zwischen den Sitzen der Ventile 15 und 16 gebildet. Das untere Ende der Leitung 14 ist mit einer üblichen Diffusionspumpe 19 verbunden. Um das Volumen zu vergrößern, in das Gas aus dem vorbestimmten Gasvolumen 17 expandieren kann, um mit einem Leckdetektor nachgewiesen zu werden, bildet eine erweiterte Kammer 20 das untere Ende der Leitung 14. Ein Massenspektrometer-Leckdetektor 21 ist mit der Kammer 20 verbunden. Die Kammer 20 ist durch eine öffnung 24 in einer Trennwand 25 mit der Einlaßseite der Diffusionspumpe verbunden. Eine übliche mechanische Vorvakuumpumpe 26 ist an das Auslaßende der Diffusionspumpe angeschlossen.

Ersichtlich wird durch die Leitung 14 unter dem Ventil 16, einschließlich der Kammer 20 und dem Inneren des Leckdetektors 21 und dessen Anschluß an Kammer 20 ein großes Verteilungsvolumen gebildet. Dieses Verteilungsvolumen ist erheblich größer als das vorbestimmte Gasvolumen 17. Die kritische Beziehung liegt darin, daß, wenn das Gas im vorbe-

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stimmten Gasvolumen 17 in das große Verteilungs- wird der Massenspektrometer-Leckdetektor 20 selbst-

volumen entlassen wird, der sich ergebende Druck im verständlich so ausgelegt, daß er nur Heliumionen

großen Verteilunesvolumen, und damit im Leck- nachweist.

detektor 21, 1O^-" Torr nicht überschreiten darf, weil Die in Fig. 1 dargestellte Vorrichtung arbeitet wie

ein höherer Druck den Leckdetektor beschädigen 5 folgt: Im Zustand »prüfbereit« sind die Ventile 6 und

würde. In einer praktischen Ausführungsform hat das 16 geschlossen, und die Ventile IS und 7 sind offen,

vorbestimmte Gasvolumen 17 einen Inhalt von I Ku- um Helium von der vorangegangenen Prüfung aus

bikzentimeter und die Verteilung einen Inhalt von den Leitungen 4 und 14 und der Probenkammer 17

1 Liter. über Pumpe S zu entfernen. Irgendwelches Helium im

Unabhängig von dem Systemtyp, der „um Nach- io System unterhalb des Ventils 16 wird selbstverständweis von Lecks verwendet wird, gibt es grundsätzlich Hch mit der Pumpe 19 entfernt. Dann wird das Ventil zwei Wege, den Prüfling an das System anzuschlie- 13 geöffnet, um Luft unter Atmosphärendruck zur Ben. Bei jedem dieser Wege wird eine Seite des Prüf- Kammer 1 zuzulassen, und dann wird die Tür 2 gelings einem Prüfgas ausgesetzt und von der anderen öffnet. Falls die Prüfung besonders empfindlich ist, ist Seite des Prüflings Gas abgepumpt, um eine Nieder- 15 es erwünscht, frische (im wesentlichen heliumfreie) druckzone zu schaffen, in die das Prüfgas durch ein Luft durch die Leitung 12 zu pumpen, um die Kam-Leck im Prüfling eintreten kann, und dann weiter mer 1 von irgendwelchen Heliumresten aus der vorzum Leckdetektor. Eine Möglichkeit, den Druck- angegangenen Prüfung zu spülen,
unterschied über dem Prüfling zu erreichen, besteht Der Prüfzyklus ist wie folgt: Der Prüfling 3 (mit darin, das Innere des Prüflings mit Prüfgas zu füllen. 20 Helium unter Druck gefüllt) wird in die Kammer 1 Das kann während der Herstellung des Prüflings ge- gebracht und die Tür 2 wird geschlossen. Das Ventil scheben. Statt dessen kann nach der Herstellung des 13 wird geschlossen und dann wird Ventil 6 geöffnet. Prüflings dieser in eine Kammer gebracht werden und Die Pumpe 5 erzeugt ein vorgegebenes Vakuum in einem Prüfgas unter hohem Druck ausgesetzt werden. Kammer 1, das mit dem Manometer 11 angezeigt Wenn irgendwelche Lecks im Prüfling vorhanden 25 wird. Typischerweise wird ein Druck von etwa sind, dringt Gas in das Innere des Prüflings ein. 0,1 Toi r gewählt. Dann wird das Ventil 7 geschlossen, Nachdem der Prüfling nach einem dieser Verfahren so daß die Pumpe 5 durch die öffnung 10 saugt. Die geladen worden ist, wird er in die Prüfkammer ge- öifnung 10 hat eine feste Größe, oder, falls sie einbracht, beispielsweise Kammer 1 in Fig. 1. Wenn stellbar ist, wird sie auf eine Größe eingestellt, mit niedriger Druck in der Prüfkammer 1 erzeugt ist, tritt 30 der es möglich ist, den Durchfluß aufrechtzuerhalten, Prüfgas innerhalb des Prüflings in die Kammer aus, mit dem ein konstantes, vorgegebenes Vakuum in sofern irgendein Leck im Prüfling vorhanden ist. Kammer 1 aufrechterhalten werden kann. Als näch-Dieser Weg zur Erzeugung eines Druckunterschiedes stes wird Ventil 15 geschlossen, um eine Gasprobe über dem Prüfling ist selbstverständlich nur bei Ge- im vorbestimmten Gasvolumen 17 zu fangen. Je nach genständen anwendbar, die vollständig geschlossen 35 dem Typ des Prüflings und der für diePrüfung eingesind, um ein hermetisch dichtes Gefäß zu bilden. stellten Bedingungen, kann eine kurze Verweilzeit für

Eine andere Technik wird für Prüflinge verwendet, die Zeit zwischen dem Schließen des Ventils 7 und

die kein vollständig dichtes Gefäß bilden, beispiels- dem Schließen des Ventils 15 gewählt werden, typi-

weise Gegenstände mit einem Gefäß, das in der Wand scherweise eine Zeitspanne zwischen null und zehn

eine öffnung aufweist, oder ebene Gegenstände, wie 40 Sekunden. Nachdem das Ventil 15 geschlossen ist,

Deckel von Tankbehältern. Im Falle von Gegenstän- wird das Ventil 6 geschlossen, und dann werden die

den mit einer öffnung in einer Wand, wird die offene Ventile 7 und 13 geöffnet, um die Vorrichtung für

Wand des Gegenstandes dicht an das linke Ende der die Entfernung des Prüflings und das Einsetzen des

Vakuumleitung 4 angeschlossen, statt daß die Leitung nächsten Prüflings vorzubereiten. Nachdem das Ventil

an die Priifkammer 1 angeschlossen wird. In ähnlicher 45 15 geschlossen ist, wird das Ventil 16 geöffnet, um

Weise werden ebene Teile, wie Büchsendeckel, dicht die Gasprobe im vorbestimmten Gasvolumen 17 in

gegen das linke Ende der Vakuumleitui.g 4 gehalten. den Leckdetektor 21 einzulassen. Dann wird das Ven-

Der Prüfvorgang ist der gleiche wie in Verbindung til 16 geschlossen und Ventil IS wird geöffnet. Zu

mit der Prüfkammer 1 beschrieben, nur daß während diesem Zeitpunkt ist die Vorrichtung wieder im Zuder Zeit, in das Gas aus der Vakuumleitung 4 ge- 5° stand »prüfbereit«. Ersichtlich kann die Vorrichtung

pumpt wird, die linke, oder 2u2cie Seite des Prüf- manuell betätigt werden, oder die ganze Betriebsfolge

lings dem Prüfgas ausgesetzt wird. Diese Exposition kann automatisch ablaufen.

kann entweder dadurch erreicht werden, daß Prüfgas Wenn die Priifgasprobe von Kammer 17 zum Leckum die Außenseite des Prüflings strömt, oder daß die detektor 21 eingelassen wird, signalisiert der Detektor Außenseite des Prüflings mit einer Abdeckung abge- 55 die in der Gasprobe vorhandene Heliummenge. Verschlossen wird und Prüfgas in den Raum zwischen zugsweise wird der Leckdetektor so konstruiert, daß der Abdeckung und der Außenseite des Prüflings ein- er »gut« oder » Ausschuß« anzeigt, beispielsweise gelassen wird. Ersichtlich sind das hier beschriebene durch Aufleuchten eines grünen bzw. roten lichtes* Verfahren und Leckdetektorsystem bei beiden be- ™ie bereits gesagt worden ist, wird der maximale scbriebenen VerJahren anwendbar, mit denen ein 60 Druck im Leckdetektor durch die geringe Größe des Druckunterschied über den Prüfling erzeugt wird. vorbestimmten Gasvolumens 17 im Vergleich zum

Das Mt die meisten Ledcdetektorsysteme bevor- großen Verteflungsvolumen zwischen Venöl« und J'

zagte Prfifgas, einschließlich dem der Erfindung, ist öffnung 24, einschließlich des Volumens des Detek- *

Helium. Zur Erreichung maximaler Empfindlichkeit tors 21, kontrolliert. Bs isi jedoch erwünscht den ^ wirf hu wesentlichen reines Helium verwendet In 6₅ Druck hn Leckdetektor schnell herabzusetzen, nach- /

den meisten i^Hen kann jedoch das Helium mit dem der Detektor auf die Einführung des Gases vom \

einem bekannten Volumenprozentsalz Luft gemischt Probenvolumen 17 reagiert bat Dementsprechend hat |

nwasden. Wenn HeBmE als Prüf gas verwendet wird, die öffnung 24 eine feste Große, oder* wenn sie efe- J

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stellbar ist, ist sie auf eine Größe eingestellt, die es und hat das große Gasvolumen 17 die gleiche Größe

erlaubt, den Leckdetektor im wesentlichen dem vol- wie das einzelne Gasvolumen 17 in Fig. 1.

len Druckeffekt auszusetzen, der sich durch die Frei- F i g. 3 zeigt eine bevorzugte Ausführungsform

gäbe des Probenvolumens in dem Moment ergibt, eines speziellen Ventils zur Verwendung in der An-

nachdem das Probenvolumen freigegeben ist, und 5 Ordnung nach Fig. 1. Genauer gesagt, die Ventil-

dann schnell einem reduzierten Druck auszusetzen. In konstruktion besteht aus einem Körper 29 mit zwei

einer bevorzugten Ausführungsform beträgt der Druck Enden und einer dazwischen befindlichen Trennwand

im Leckdetektor 1O^-5 Torr, ehe das Probenvolumen 32. Die Trennwand 32 weist eine Durchbohrung auf,

freigegeben wird, geht unmittelbar nach der Freigabe die das vorbestimmte Gasvolumen 17 bildet. Eine

auf 10-⁴Torr, und geht dann sofort zu 10~⁵Torr ίο Ventilkammer wird auf jeder Seite der Wand 32 ge-

zurück. bildet, und jede Kammer enthält einen Ventilstößel

Ein wichtiger Aspekt bezieht sich auf die Erkennt- 33 mit einem Ventilkopf 34, der eine O-Ringdich-

nis, daß bei einigen Typen von Prüflingen die mög- tung 35 trägt. Die Ventilanordnung in der unteren

liehe Differenz der Leckrate so groß ist, daß selbst Hälfte des Ventilkörpers 29 ist mit der Anordnung

mit einem vorbestimmten Gasvolumen 17 es schwie- 15 in der oberen Hälfte identisch. Wenn die Ventilstößel

rig ist, ein kleines Leck nachzuweisen und gleichzeitig 33 sich auf die jeweils zugehörige Seite der Wand 32

den Leckdetektor nicht zu verunreinigen, wenn ein zubewegen, werden ersichtlich die O-Ringe 35 gegen

außergewöhnlich hoher Helium-Teildruck im Falle die Wand gepreßt, so daß das zugehörige Ende des

eines groben Lecks auftritt. Es wurde festgestellt, daß Kanals 17 geschlossen wird. Umgekehrt, wenn die

dieses Problem dadurch gelöst werden kann, daß 20 Stößel 33 von der Wand 32 wegbewegt werden, wer-

mehrere vorbestimmtt Gasvolumen unterschiedlicher den die betreffenden Enden des Kanals 17 geöffnet.

Größe vorgesehen werden, wie das im folgenden Jeder der Ventilstößel 33 wird von einem hermetisch

näher beschrieben werden wird. dichten Balgen 37 umgeben, wie das bei Vakuum-

F i g. 2 zeigt eine modifizierte Ausführungsform ventilkonstruktionen üblich ist. Ein üblicher Schraubder Anordnung nach F i g. 1, bei der ein zusätzliches 35 handgriff-Mechanismus kann dazu vorgesehen sein, Ventil 30 in der Vakuumleitung 14 vorgesehen ist, den Ventilstößel 33 in die Ventilkammer hinein bzw. um ein zusätzliches vorbestimmtes Gasvolumen 31 aus dieser heraus zu bewegen. Vorzugsweise wird jezwischen den Ventilen 16 und 30 zu schaffen. Wie doch ein automatischer Antrieb in Form von übim Falle der Ventile 15 und 16 kann es sich beim liehen Zylinder- und Kolben-Antrieben 3!i vorgese-Ventil 30 um ein übliches Vakuumventil handeln. 30 hen. Die obere Hälfte des Ventilkörpers 29 bildet Das Verfahren zur Verwendung der Ausführungs- ein Ventil 15, das in seiner Funktion dem Ventil 15 form nach F i g. 2 ist ähnlich dem in Verbindung mit in F i g. 1 entspricht. In ähnlicher Weise bildet die F i g. 1 beschriebenen. Genauer gesagt, das Ventil 30 Unterhälfte des Ventilkörpers in F i g. 3 ein Ventil wird geschlossen, während die Ventile 15 und 16 16', dessen Funktion dem Ventil 16 in Fig. 1 entoffen sind, so daß Gas unter niedrigem Druck in der 35 spricht.

Kammer 1 die beiden vorbestimmten Gasvolumen 17 Fig. 4 zeigt eine Anordnung, mit der zwei vorbe-

und 31 füllt. Nachdem die Volumina 17 und 31 ge- stimmte Gasvolumina 17 und 31 unter Verwendung

laden sind, werden die Ventile 15 und 16 beide ge- von Ventilen der in Fig. 3 gezeigten Alt gebildet

schlossen, um die Ladungen einzufangen. Dann wird werden können. Genauer gesagt, Ventile 15' und 16'

das Ventil 39 geöffnet, um die Ladung im Volumen 40 sind mit Leitungen 39 und 40 verbunden, die längs

31 zum Leckdetektor zu leiten. Wenn die kleine Gas- der Leitung 14 in F i g. 1 angeschlossen sind. Gemäß

menge im Volumen 31 nicht zu einer Leckregistrie- Fig. 4 wird das Einzelventil 30 in Fig. 2 durch zwei

rung führt, dann wird das Ventil 16 geöffnet, um die Ventile 41 und 42 ersetzt. Alle Ventile in Fi g. 4 sind

größere Probenladung im Volumen 17 dem Leck- identisch entsprechend Fig. 3 aufgebaut, nur daß

detektor zuzuführen. Im Falle eines groben Leckes 45 die mit den Ventilen verbundenen Leitungen auf der

oder Bruchs enthält das kleine Gasvolumen 31 genug gleichen Seite des Ventilkörpers angeordnet sind statt

Helium zum Nachweis durch den Leckdetektor, ohne auf beiden Seiten des Ventilkörpers, wie in F i g. 3

daß der Leckdetektor einer zu großen Heliummenge dargestellt ist. Im Betrieb der Anordnung nach

ausgesetzt werden muß. Wenn der Prüfling ein ge- Fig.4 werden die Ventile 16' und 42 geschlossen,

nügend feines Leck oder überhaupt kein Leck auf- 5° während die Ventile 15' und 41 offen sind, um die

weist, liefert der Leckdetektor keine Anzeige für ein Gasvolumina 17 und 31 zu füllen. Dann werden die

Leck, wenn das Ventil 30 geöffnet wird. Das Ventil Ventile 15' und 41 geschlossen, um die Proben in

16 kann dann ohne Gefahr geöffnet werden, um das den Volumen 17 und 31 zu fangen. Als nächstes

größere Gasvolumen 17 dem Leckdetektor zuzu- wird das Ventil 42 geöffnet, mn die Probe im Vo-

führen. 55 lumen 31 zum Leckdetektor zu leiten. Wenn kein

In einer bevorzugten Ausführungsform ist das Leck nachgewiesen wird, dann vnid das Ventil 16'

große vorbestimmte Gasvolumen 17 100-bis lOOOmal geöffnet, um die größere Probe im Volumen 17 dem

größer als das Ideine vorbestimmte Gasvolumen 31, Leckdetektor zuzuführen.

Hierzu 1 Blatt Zeichnungen

Claims

Patentansprüche:

1. Verfahren zum Nachweisen von Lecks, bei dem eine Seite eines Prüflings einem Prüfgas ausgesetzt wird und Gas von der anderen Seite des Prüflings abgepumpt und einem Leckdetektor zugeführt wird, dadurch gekennzeichnet, daß ein vorbestimmtes Gasvolumea auf der abgepumpten Seite gesammelt wird, das vorbestimmte Volumen gegen die abgepumpte Seite abgeschlossen wird und dann das vorbestimmte Gasvolumen dem Leckdetektor zugeführt wird.

2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß wenigstens ein zweites vorbestimmtes Gasvolumen auf der gepumpten Seite gesammelt wird, das größer ist als das erste vorbestimmte Volumen, dann das kleinere vorbestimmte Volumen dem Leckdetektor zugeführt wird und, wenn der Leckdetektor kein Leck anzeigt, das größere vorbestimmte Volumen dem Leckdetektor zugeführt wird.

3. Verfahren nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß das vorbestimmte Gasvolumen unter einem vorgewählten Druck gesammelt wird.

4. Verfahren nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß das vorbestimmte Volumen in den Leckdetektor expandiert wird und der vorgewählte Druck, das feste Volumen und die Expansion so gewählt werden, daß der expandierte Druck im Leckdetektor 10~⁴ Torr nicht überschreitet.

5. Leckdetektoranordnung zur Durchführung des Verfahrens nach einem der Ansprüche 1 bis 4, bestehend aus einer Leitung, mit der ein Prüfgas, das durch den Prüfling leckt, vom Prüfling zu einem Leckdetektor geleitet wird, und zwei in dieser Leitung in Reihe liegenden Ventilen, von denen das erste die Leitung mit einer Kammer für den Prüfling und das zweite die Leitung mit dem Leckdetektor verbindet bzw. davon trennt, dadurch gekennzeichnet, daß ein drittes Ventil (16) zwischen dem zweiten Ventil (15) und dem Leckdetektor (21) angeordnet ist und das zweite (15) und das dritte (16) Ventil so angeordnet sind, daß sie im geschlossenen Zustand zwischen sich wenigstens ein vorbestimmtes Gasvolumen (17) einschließen, und diese Ventile so betätigbar sind, daß Gas im vorbestimmten Gasvolumen zum Leckdetektor (21) strömen kann, ohne daß weiteres Prüfgas in das vorbestimmte Gasvolumen (IV) eintreten kann.

6. Anordnung nach Anspruch 5 zur Durchführung des Verfahrens nach Anspruch 2, 3 oder 4, dadurch gekennzeichnet, daß wenigstens cn weiteres Ventil (30) zwischen dem dritten Ventil (16) und dem Leckdetektor (21) angeordnet ist und das zweite (15), dritte (16) und jedes weitere (30) Vertil so angeordnet sind, daß wenigstens zwei vorbestimmte Gasvolumen (17, 31) unterschiedlicher Größe eingeschlossen werden können, und die Ventile (15, 16, 30) so betätigbar sind, daß wahlweise zunächst das kleinere (31) der vorbestimmten Volumen und dann das größere (17) der vorbestimmten Volumen zum Leckdetektor (21) strömen kann.

7. Anordnung nach Anspruch 5 oder 6, dadurch

gekennzeichnet, daß eine Vakuumpumpe (19) über eine zweite Leitung (20) mit der vom Prüfling (3) zum Leckdetektor (21) führenden Leitung (14) verbunden ist, wobei der Leckdetektor an einer Position zwischen den Ventilen (16,30) und der Pumpe (19) an die zweite Leitung (20) angeschlossen ist, und daß in der Verbindung zwischen der zweiten Leitung (20) und der Pumpe (19) eine Wand (25) mit einer begrenzten Öffnung (21) vorgesehen ist

8. Anordnung nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, daß das durch den Leckdetektor (21) und den Teil der zweiten Leitung (24) zwischen der Wand (25) mit Öffnung (21) und dem bzw. den vorbestimmten Gasvolumen (17, 31) gebildete Verteilungsvolumen wesentlich größer ist als das bzw. die vorbestimmten Volumen (17,31).

9. Anordnung nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, daß das Verteilungsvolumen wenig-

ao stens lOOOmal größer ist als wenigstens ein vorbestimmtes Volumen (17, 31).

10. Anordnung nach einem der Ansprüche 5 bis 9, bei dem eine getrennte Pumpe an die Leitung zwischen dem Prüfling und dem Leckdetektor angeschlossen ist, dadurch gekennzeichnet, daß zwischen dem Prüfling (3) und der Leitung (14) einerseits und der Leitung (14) und der Pumpe (5) andererseits jeweils ein Ventil (6, 7) vorgesehen ist.

11. Anordnung nach einem der Ansprüche 5 bis 10, dadurch gekennzeichnet, daß an die Leitung (14) zwischen Prüfling (3) und Leckdetektor (21) in bekannter Weise ein Manometer angeschlossen ist.

12. Anordnung nach Anspruch 10 oder 11, dadurch gekennzeichnet, daß das Ventil (7) an der gelrennten Pumpe (5) mit einem durch eine Öffnung (10) kontrollierten Nebenschluß (8) überbrückt ist.

13. Anordnung nach einem der Ansprüche 5 bis 12, dadurch gekennzeichnet, daß je zwei ein vorbestimmtes Gasvolumen (17, 31) einschließende Ventile (15; 16; 41, 42) aus einem Ventilkörper mit einer Trennwand, die eine Durchbohrung (17, 31) aufweist, die das vorbestimmte Volumen bildet, und zwei Ventilköpfen besteht, die jeweils auf einer Seite der Trennwand angeordnet sind, um das jeweils benachbarte Ende der Bohrung (17, 31) abzuschließen, und daß jede Bohrung (17, 31) einen Teil der Leitung zwischen Prüfling (3) und Leckdetektor (21) bildet (Fig. 4).

14. Anoidnung nach einem der Ansprüche 5 bis 13, dadurch gekennzeichnet, daß der Leckdetektor ein Massenspektrometer ist.