DE2221933A1 - LOAD PLATE FOR A POLISHING MACHINE OR DGL - Google Patents

Description

Lastplatte für eine Poliermaschine o.dgl. Load plate for a polishing machine or the like.

Die Erfindung bezieht sich auf Lastplatten, die neue Einrichtungen zur Halterung eines Werkstückes an diesen aufweisen, um das Werkstück in Poliermaschinen u. dgl. fertig zu bearbeiten.The invention relates to load plates, the new devices have for holding a workpiece on this, around the workpiece in polishing machines and the like ready to work.

Der allgemeine Typ von Maschinen, bei denen die Erfindung angewendet werden kann, weist eine Schleif-, Lepp- oder Polierradbaugruppe auf, die um eine senkrechte Achse herum in Drehung versetzt wird, derart, daß die Werkstücke in Anlagevgegen die obere Oberfläche der Radbaugruppe gelangen und mittels eines Schleifschlammes poliert oder geschliffen werden. Es ist bekannt, bei derartigen Maschinen Lastplatten zu ve##jenden, die mit senkrecht beweglichen Spindeln verbunden sind und an denen die Werkstücke an der unteren Oberfläche montiert sind, damit diese Werkstücke in Anlage gegen die Polierradbaugruppe gelangen. Bei der Fertigbearbeitung von verhältnismäßig dünnen Scheibchen, wie sie bei fotografischen Verfahren und in Linsen verwendet werden, wird eine Anzahl von Scheibchen im allgemeinen an der unteren Oberfläche einer Lastplatte an einer Beschickungsstation befestigt, die vom Polierrad entfernt liegt und die beschickte Platte wird dann auf das Polierrad zur Fertigbearbeitung der Werkstücke aufgesetzt. Ein bekanntes Verfahren zur Befestigung der Scheibchen an der Lastplatte besteht darin, eine heiße Paraffinbeschichtung auf die untere Oberfläche der Lastplatte aufzubringen und die Scheibchen in diese Paraffinbeschichtung einzubetten, wodurch sie beim Aushärten des Paraffins festgehalten werden. Dieses Verfahren weist zahlreiche Nachteile auf, u. a. den, daß es schwierig ist, eine gleiche Dicke der Wachs- oder Paraffinbeschichtung auf der Montageoberfläche der Wachsplatte herzustellen, was dazu führt, daß die Werkstücke nicht gleichförmig von der Montageoberfläche entfernt angeordnet sind. Die Anwesenheit von Fremstoffteilchen in der Paraffinbeschichtung verhindert ferner die Ausbildung eines gleichen Abstandes der Scheibchen von der unteren Montageoberfläche der Lastplatte. Nach der Fertigbearbeitung der so montierten Scheibchen muß das Paraffin wieder geschmolzen werden, um die Scheibchen abzunehmen und um die Montageoberfläche zur Vorbereitung der Montage der nächsten Gruppe von Scheibchen zu säubern. Die Verwendung von Paraffin zur Halterung der Werkstücke und die Entfernung des Paraffins von der AuSnahmeoberfläche der Lastplatte ist sehr zeitraubend und dadurch werden ganz erheblich die Fertigungskosten erhöht.The general type of machines to which the invention is applied can be, has a grinding, Lepp- or polishing wheel assembly, which is around a is set in rotation around the vertical axis in such a way that the workpieces are in abutment against reach the top surface of the wheel assembly and use an abrasive slurry be polished or sanded. It is known to use load plates in such machines to ve ## those who are connected to vertically movable spindles and to whom the workpieces are mounted on the lower surface so that these workpieces are in Get in contact with the polishing wheel assembly. When finishing relatively thin slices of the type used in photographic processes and in lenses there will be a number of disks generally on the lower surface a load plate attached to a loading station removed from the polishing wheel and the loaded plate is then placed on the polishing wheel for finishing the Workpieces put on. A well-known method of attaching the washers to The load plate consists of applying a hot paraffin coating to the lower surface to the load plate and to embed the discs in this paraffin coating, whereby they are held in place when the paraffin hardens. This procedure has has numerous disadvantages, including den that it is difficult to obtain an equal thickness of the To create a wax or paraffin coating on the mounting surface of the wax plate, which results in the workpieces not being uniform from the mounting surface are arranged remotely. The presence of foreign matter in the paraffin coating also prevents the formation of an equal distance between the discs from the lower mounting surface of the load plate. After finishing the assembled Disks, the paraffin must be melted again in order to remove the disks and around the mounting surface in preparation for mounting the next group of To clean slices. The use of paraffin to hold the work pieces and the removal of paraffin from the receiving surface of the load plate is great time consuming and thereby the manufacturing costs are increased quite considerably.

Durch die Erfindung werden die Nachteile der bisherigen Befestigungs- und Halterungsverfahren von Werkstücken an einer Lastplatte dadurch ausgeschaltet, daß eine neue Lastplattenkonstruktion vorgesehen ist, mittels welcher die Werkstücke leicht und einfach montiert und an der Lastplatte zur Fertigbearbeitung gehalten werden können, wonach diese Werkstücke dann leicht, ohne daß eine weitere Reinigung der Montageoberfläche der Lastplatte erforderlich ist, wieder entfernt werden können.The invention, the disadvantages of the previous fastening and methods of holding workpieces on a load plate are eliminated, that a new load plate structure is provided, by means of which the workpieces easily and simply mounted and held on the load plate for finishing can be, after which these workpieces then easily without further cleaning the mounting surface of the load plate is required, can be removed again.

Es ist eines der Haupt ziele der Erfindung, eine Lastplatte für eine Poliermaschine und dgl. zu schaffen, welche neue Werkstückshalterungseinrichtungen aufweist, die wirksam sind, um ein Werkstück oder mehrere Werkstücke an der Lastplatte zu halten.It is one of the main objects of the invention to provide a load plate for a Polishing machine and the like. To create which new workpiece holding devices has, which are effective to one or more workpieces on the load plate to keep.

Ein weiteres Ziel der Erfindung ist es, eine Lastplatte zu schaffen, die in einfacher Weise zusammengebaut und auseinandergenommen werden kann und bei der eine Anzahl von Werkstückhalterungsoberflächen vorgesehen sind, die in einfacher Weise zugerichtet werden können, um eine coplanare Beziehung der Halterungsoberflächen zueinander sicherzustellen.Another object of the invention is to provide a load plate, which can be assembled and disassembled in a simple manner and at the a number of workpiece holding surfaces are provided, which in simple Way can be trimmed to have a coplanar relationship of the support surfaces to ensure each other.

Ferner ist es ein Ziel der Erfindung, eine Lastplatte zu schaffen, die neue Einrichtungen zur Halterung von Werkstücken an der Lastplatte durch einen Unterdruck aufweist, wobei die Lastplatte Einrichtungen aufweist, um Unterdruckkanäle mit einer Unterdruckquelle während der Halterung der Werkstücke und während des Betriebes an einer Fertigbearbeitungsmaschine zu verbinden.Furthermore, it is an object of the invention to provide a load plate, the new facilities for holding workpieces on the load plate by a Having negative pressure, wherein the load plate has means to negative pressure channels with a vacuum source during the holding of the workpieces and during the To connect operation to a finishing machine.

Ein Merkmal der Erfindung ist in der Schaffung eines Abdichtungsringes um jeden einer Anzahl von #erkstückhalterungsfüßen zu sehen, um eine Unterdruckhalterung der Werkstücke aufrechtzuerhalten und um zu verhindern, daß Schleifschlamm zwischen die Werkstücke und die Halterungsoberfläche des zugeordneten Fußes eintreten kann.One feature of the invention is the provision of a sealing ring to see each of a number of # fixture feet, around a vacuum mount to maintain the workpieces and to prevent grinding sludge between the workpieces and the support surface of the associated foot can enter.

Ein weiteres Merkmal der Erfindung ist in der Anordnung einer Abdeckplatte zu sehen, die mit den Halteruflgsfüßen zusammenwirkt, um eine Werkstückhalterungstasche an der inneren Oberfläche eines jeden Fußes zu bilden.Another feature of the invention is in the arrangement of a cover plate to see, which cooperates with the Haltuflgsfuß to a workpiece holder pocket to form on the inner surface of each foot.

Weiterhin ist ein Merkmal der Erfindung in der Ausbildung einer Druckscheibenbaugruppe zu sehen, mit der eine Zusammenarbeit zwischen den Lastplatten und den in senkrechter Richtung beweglichen Kolben ermöglicht wird, wobei die Druckscheibenbaugruppen neue Einrichtungen aufweisen, damit eine Schwenkbewegung der zugeordneten Lastplatten ermöglicht wird.Another feature of the invention is the formation of a thrust washer assembly to see with the cooperation between the load plates and the in vertical Direction of moving piston is enabled, with the thrust washer assemblies new Have devices so that a pivoting movement of the associated load plates is made possible.

Erfindungsgemäß ist eine Lastplatte vorgesehen, die eine Anzahl von nach unten sich erstreckenden Füßen aufweist, deren untere Oberflächen die Werkstücke tragen. Unterdruckkanäle sind in der Lastplatte angeordnet und stehen in Verbindung mit den unteren Halterungsoberflächen der Füße. Ein normalerweise geschlossenes Unterdruckverbindungsventil ist an der Oberseite der Lastplatte vorgesehen, um eine Verbindung mit einer Unterdruckquelle herzustellen, wodurch die Werkstücke mittels Unterdruck an den Füßen gehalten werden. Eine Abdeckplatte ist an der unteren Oberfläche der Lastplatte befestigt und weist eine Anzahl von öffnungen auf, die die nach unten sich erstreckenden Füße aufnehmen und die Werkstückaufnahmetaschen an den unteren Montageoberflächen der Füße bilden. Elastische Dichtungsringe sind an den ringförmigen Umfangs oberflächen der Füße vorgesehen, die dichtend gegen die Werkstücke anliegen.According to the invention a load plate is provided which has a number of has downwardly extending feet, the lower surfaces of which the workpieces wear. Vacuum channels are arranged in the load plate and are in communication with the lower mounting surfaces of the feet. A normally closed one Vacuum connection valve is provided on the top of the load plate to provide a Establish connection with a vacuum source, whereby the workpieces by means of Negative pressure can be kept on the feet. A cover plate is on the lower surface attached to the load plate and has a number of openings that face down Take up extending feet and the workpiece receiving pockets on the lower Form mounting surfaces of the feet. Elastic sealing rings are on the annular Circumferential surfaces of the feet are provided that seal against the workpieces.

Eine zentrale öffnung in der oberen Oberfläche der Lastplatte nimmt den mittleren Achsabschnitt einer Druckscheibenbaugruppe auf und steht mit den Vakuumkanälen über einen Strömungskanal in Verbindung, der ein normalerweise geschlossenes Steuerventil aufweist, welches wirksam ist, um eine Verbindung zwischen den Vakuumkanälen und einer Unterdruckquelle herzustellen und zwar während der Fertigbearbeitung der Werkstücke. Die Druckscheibenbaugruppe ist mit dem unteren Ende einer in senkrechter Richtung beweglichen Achse verbunden und kann eine nach unten gerichtete Kraft auf die Lastplatte ausüben, während eine Schwenk-oder Taumelverbindung zwischen der Lastplatte und der Achse vorhanden ist.A central opening in the upper surface of the load plate takes up the middle axle section of a thrust washer assembly and stands with the vacuum channels via a flow channel in connection with a normally closed control valve has, which is effective to establish a connection between the vacuum channels and to produce a vacuum source during the finishing of the workpieces. The lower end of the thrust washer assembly is vertical movable axis and can apply a downward force to the load plate while exerting a swivel or wobble connection between the load plate and the axis is present.

Die Erfindung betrifft somit eine Lastplatte für eine Poliermaschine. Diese Lastplatte weist nach unten sich erstreckende Füße mit Unterdruckkanälen auf, die mit der unteren Oberfläche der Füße in Verbindung stehen, und es sind Ventile vorgesehen, um einen Unterdruck auf die Werkstücke auszuüben, die an den Füßen montiert sind, um die Werkstücke während der Fertigbearbeitung an den Füßen festzuhalten. Eine Abdeckplatte bildet Werkstückaufnahmetaschen zusammen mit den Füßen und eine Dichtung hält den Unterdruck aufrecht und verhindert ein Durchlecken zwischen den Werkstücken und den Montageoberflächen der Füße.The invention thus relates to a load plate for a polishing machine. This load plate has downwardly extending feet with vacuum channels, communicating with the lower surface of the feet, and they are valves provided to exert a negative pressure on the workpieces mounted on the feet to hold the workpieces on the feet during finishing. Forms a cover plate Workpiece receiving pockets together with the Feet and a seal maintain the negative pressure and prevent leakage between the workpieces and the mounting surfaces of the feet.

Die Erfindung soll nunmehr unter Bezugnahme auf die Figuren der Zeichnung ausführlich beschrieben werden. Es zeigen Fig. 1 eine perspektivische Teilansicht einer Poliermaschine, die erfindungsgemäße Lastplatten aufweist, Fig. 2 eine Draufsicht auf eine der in Fig. 1 gezeigten Lastplatten, Fig. 3 eine Teilschnittansicht einer Lastplatte, die an der in Fig. 1 gezeigten Poliermaschine montiert ist, Fig. 4 eine Unteransicht eines .Werkstückhalterungsfußes, Fig. 5 eine Teilschnittansicht der in Fig. 3 gezeigten Lastplatte, wobei die Druckscheibenbaugruppe abgenommen ist, um das Vakuumsteuerventil zu zeigen, welches sich in einer geschlossenen Stellung befindet, Fig. 6 eine Draufsicht auf die Lastplatte, die aus der Poliermaschine herausgenommen ist und Fig. 7 eine Teilschnittansicht, genommen längs der Linie 7-7 der Fig. 3.The invention shall now be made with reference to the figures of the drawing be described in detail. 1 shows a partial perspective view a polishing machine having load plates according to the invention, FIG. 2 is a plan view on one of the load plates shown in Fig. 1, Fig. 3 is a partial sectional view of a Load plate mounted on the polishing machine shown in Fig. 1, Fig. 4 a Bottom view of a .Workstückhalterungsfußes, Fig. 5 is a partial sectional view of the load plate shown in Fig. 3, with the thrust washer assembly removed, to show the vacuum control valve which is in a closed position Figure 6 is a top plan view of the load plate emerging from the polishing machine and Fig. 7 is a partial sectional view taken along the line 7-7 of FIG. 3.

Es sei nunmehr auf die Fig. 1 Bezug genommen. Die Erfindung soll in ihrer Anwendung bei einer Poliermaschine 10 erläutert werden. Diese Poliermaschine 10 weist einen Rahmen auf, der einen im allgemeinen zylindrischen unteren Basisabschnitt 12 hat, der zwei diametral gegenüberliegende nach oben sich erstreckende Ständer 14 trägt, zwischen denen eine horizontale Brücke 16 angeordnet ist. Vier pneumatische Arbeitszylinder 18 werden von der Brücke 16 derart getragen, daß diese im wesentlichen senkrecht über vier Quadranten eines kreisförmigen Polierrades 20 liegen. Die pneumatischen Arbeitszylinder 18 sind von bekanntem Aufbau und weisen in senkrechter Richtung bewegliche Kolben 22 auf. Die Polierradbaugruppe 20 weist ebenfalls den bekannten Aufbau auf und das Polierrad besteht aus einer Anzahl von coplanaren, keilförmigen Segmenten 24, die von einem Stützrad 26 (Fig. 3) getragen werden. Dieses Stützrad seinerseits wird vom Rahmen so getragen, daß es sich um eine senkrechte Achse drehen kann. Es sind nicht dargestellte Einrichtungen innerhalb des Basisabschnittes 12 vorgesehen, mit denen wahlweise die Radbaugruppe 20 gedreht wird. Eine Abstellplatte 28 umgibt das Polierrad, wobei deren Oberseite im allgemeinen mit der Oberseite der Polierradsegmente bündig abschließt. Die Abstellplatte bildet eine Station zum Aufbringen und Entfernen der Werkstücke vor und nach dem Polieren oder Fertigbearbeiten der Werkstücke. Eine Anzahl von rohrförmigen Leitungen 30 erstreckt sich von der Brücke 16 nach unten und liegt über den Polierradsegmenten 24,um einen freien Zufluß von Polier- oder Schleifgemisch zur Oberfläche der Polierradbaugruppe 20 zu ermöglichen. Das Polier- oder Schleifgemisch kann irgendeinen Polier- oder Schleifschlamm enthalten, wie beispielsweise einen, der eine Schleifbasis aus Eisenoxid, Cer-Oxid oder Zirkon-Oxid auSweist, wobei diese Teilchen in Wasser suspendiert sind.Reference is now made to FIG. 1. The invention is intended in their application in a polishing machine 10 will be explained. This polishing machine 10 includes a frame having a generally cylindrical lower base portion 12, the two diametrically opposed upwardly extending Stand 14 carries, between which a horizontal bridge 16 is arranged. Four pneumatic Working cylinders 18 are supported by the bridge 16 in such a way that this substantially lie perpendicularly over four quadrants of a circular polishing wheel 20. The pneumatic Working cylinders 18 are of known construction and point in the vertical direction movable piston 22. The polishing wheel assembly 20 also includes the well known Build on and the polishing wheel consists of a number of coplanar, wedge-shaped Segments 24 which are carried by a support wheel 26 (Fig. 3). This support wheel in turn, is supported by the frame so that it rotates about a vertical axis can. Devices are not shown within the base section 12 provided with which the wheel assembly 20 is optionally rotated. A shelf 28 surrounds the polishing wheel, the top of which generally coincides with the top the polishing wheel segments are flush. The shelf forms a station for Application and removal of the workpieces before and after polishing or finishing of the workpieces. A number of tubular conduits 30 extend from the Bridge 16 down and over the polishing wheel segments 24 to allow free inflow of polishing or grinding mixture to the surface of the polishing wheel assembly 20 to enable. The polishing or grinding mixture can contain any polishing or grinding slurry, such as one that has an abrasive base made of iron oxide, cerium oxide, or zirconium oxide shows, these particles being suspended in water.

Wie die Fig. 1 und 3 zeigen, ist eine Druckscheibenbaugruppe 32 am unteren Ende einer jeden in senkrechter Richtung beweglichen Kolbenstange 22 befestigt. Eine Lastplatte 34 steht in Betriebsverbindung mit jeder Druckscheibenbaugruppe 32. An der Lastplatte 34 können Werkstücke befestigt werden, die in Eingriff mit der oberen Oberfläche des Polierrades 20 gelangen, wie es noch beschrieben werden soll. Jede Druckscheibenbaugruppe 32 weist eine zylindrische Achse 36 auf, die einen oberen Gewindeabschnitt 38 für eine Verbindung mit einer Kolbenstange 22 hat. Jede der Achsen 36 weist untere Endabschnitte 40 und 42 mit verminderten Durchmessern auf, an welchen die Druckscheibeneinrichtung befestigt ist. Die Druckscheibeneinrichtung weist einen inneren Tragring 44 und einen äußeren Druckübertrahungsring 46 auf, die durch ein Radial- und Axialschublager 48 miteinander verbunden sind, wobei dieses Lager zwischen den Bauteilen 44 und 46 durch Halterungsringe 60 und 62 gehalten wird.As FIGS. 1 and 3 show, a thrust washer assembly 32 is on the lower end of each piston rod 22 movable in the vertical direction. A load plate 34 is in operative communication with each thrust washer assembly 32. Workpieces can be attached to the load plate 34 which engage with reach the upper surface of the polishing wheel 20, as will be described target. Any thrust washer assembly 32 has a cylindrical axis 36, which has an upper threaded portion 38 for connection to a piston rod 22 has. Each of the axes 36 has lower end portions 40 and 42 with reduced Diameters to which the thrust washer device is attached. The thrust washer device has an inner support ring 44 and an outer pressure transmission ring 46, which are connected to one another by a radial and axial thrust bearing 48, this Bearing held between components 44 and 46 by retaining rings 60 and 62 will.

Der innere Tragring 44 weist eine untere, radial nach innen gerichtete Ringlippe auf, die eine Ringschulter 50 bildet« auf die sich die untere Oberfläche einer aus relativ hartem Gummi bestehenden Beilagscheibe 52 abstützt, die über dem unteren Abschnitt 42 der Achse 36 angeordnet ist. Die Gummischeibe 52 hat eine Durometerhärte von etwa 60 und die obere Oberfläche liegt gegen eine ringförmige Oberfläche 4 an, die zwischen den abgestuften Abschnitten 40 und 42 der Achse ausgebildet ist. Die innere Umfangsoberfläche des Tragringes 44 ist oberhalb und unterhalb der Beilagscheibe 52. im Abstand nach außen von den Achsoberflächen 40 und 42 angeordnet, wie es bei 56 und 58 gezeigt ist, damit der Träger 44 relativ zur Achse 36 durch die Wirkung der Gummibeilagscheibe 52 eine Taumelbewegung durchführen kann. Der Tragring 44 wird axial am unteren Endabschnitt der Achse 36 durch einen konisch geformten Halterungsring 64 gehalten, der in einer Ringnut im unteren Abschnitt 42 der Achse angeordnet ist. Eine ringförmige Kappe 66 wird von der Achse 36 derart getragen, daß diese oberhalb des Schublagers 48 liegt und dieses Lager gegen Polier- oder Schleifschlamm und andere Fremdstoffe abschirmt. Diese Kappe ist etwas oberhalb des Lagers und der zugeordneten Tragringe angeordnet, damit eine Taumelbewegung relativ zur Achse 36 durchgeführt werden kann.The inner support ring 44 has a lower, radially inwardly directed Ring lip, which forms a ring shoulder 50 «on which the lower surface a washer 52 made of relatively hard rubber is supported, which is above the lower portion 42 of the axle 36 is arranged. The rubber washer 52 has a durometer hardness of about 60 and the top surface rests against an annular surface 4, which is formed between the stepped portions 40 and 42 of the axle. the inner peripheral surface of the support ring 44 is above and below the washer 52. spaced outwardly from the axle surfaces 40 and 42, as at 56 and 58 is shown so that the carrier 44 is relative to the axis 36 by the action the rubber washer 52 can perform a wobbling motion. The support ring 44 is axially attached to the lower end portion of the axle 36 by a conically shaped retaining ring 64 held, which is arranged in an annular groove in the lower portion 42 of the axle. An annular cap 66 is carried by the axle 36 so that it is above of the thrust bearing 48 is and this bearing against polishing or grinding sludge and shields other foreign matter. This cap is slightly above the bearing and the associated support rings are arranged so that a wobbling movement relative to the axis 36 can be carried out.

Der äußere Druckübertragungsring weist einen nach unten sich erstreckenden Ringflansch 68 auf, der in die Lastplatte 34 eingreift und eine nach unten gerichtete Kraft gegen diese ausübt und zwar bei einer Abwärtsbewegung der zugeordneten Kolbenstange 22, wie es noch beschrieben werden soll.The outer pressure transmission ring has a downwardly extending one Annular flange 68 which engages in the load plate 34 and a downwardly directed Exerts force against this and that with a downward movement of the associated piston rod 22, as will be described later.

Die Lastplatte 34 weist obere und untere Kreisplattenabschnitte 72 und 74 auf, die in abgedichteter Weise mittels einer Anzahl von Schrauben 76 zusammengehalten werden. Die oberen und unteren Plattenabschnitte 72 und 74 begrenzen einen ringförmigen Unterdruckkanal 78 zwischen diesen Platten, der mit einer Anzahl von zylindrischen Aussparungen 80 in Verbindung steht, die im unteren Plattenabschnitt 74 ausgebildet sind. An der unteren ebenen Oberfläche der Lastplatte 7 unterhalb jeder Aussparung 80 ist ein zylinderförmiger Fuß 62 befestigt, der obere und untere parallele ebene Oberflächen aufweist. Jeder der Füße ist am unteren Lastplattenabschnitt 74 durch geeignete Mittel befestigt, wie beispielsweise durch einen Gewindebolzen 84,, der in der Mitte des Fußes befestigt ist und der nach oben von einer verbreiterten oeffnung 86 in der unteren Platte aufgenommen wird. Eine Mutter 88 und eine Beilagscheibe 90 sind am oberen Ende eines jeden Schraubenbolzens 84 befestigt, um den Fuß gegen die untere Oberfläche des Plattenabschnittes 74 zu halten. Die öffnungen 85; die die Schraubenbolzen 84 der Füße 82 aufweisen, haben einen ausreichend größeren Durchmesser als die Schraubenbolzen, so daß eine Quereinstellung der Füße für eine Zusammenarbeit mit einer Abdeckplatte, die noch beschrieben werden soll, ermöglicht wird. Die unteren Oberflächen der Füße 82 schneiden bündig miteinander ab und bilden Montageoberflächen für Werkstücke, die in Fig. 3 bei 92 gezeigt sind, wobei diese Werkstücke an den unteren Oberflächen der Füße während der Fertigbearbeitung der Werkstücke gehalten werden. Wie Fig. 4 zeigt, weist die untere Montageoberfläche eines jeden Fußes 82 eine Ringnut 94 und Kreuznuten 96 aufs die mit dem ringförmigen Vakuumkanal 78 über Leitungen 98 und über eine ringförmige Aussparung 100 in Verbindung stehen, die in jedem Fuß ausgebildet ist. Die Verbindung erfolgt ferner durch die öffnung 86 hindurch und durch eine V-förmige Nute 102 (Fig.7), die in der unteren Oberfläche der zugeordneten Aussparung 80 im unteren Plattenabschnitt 74 ausgebildet ist.The load plate 34 has upper and lower circular plate sections 72 and 74 which are held together in a sealed manner by means of a number of screws 76 will. The upper and lower plate sections 72 and 74 define an annular one Vacuum channel 78 between these plates, with a number of cylindrical Recesses 80 are in communication, which is formed in the lower plate portion 74 are. On the lower flat surface of the load plate 7 below each recess 80 a cylindrical foot 62 is attached, the upper and lower parallel planes Has surfaces. Each of the feet is through the lower load plate portion 74 attached suitable means, such as by a threaded bolt 84 ,, the in the middle of the foot is attached and the top of a widened opening 86 is received in the lower plate. A nut 88 and a washer 90 are attached to the top of each screw bolt 84 to oppose the foot to hold the lower surface of the plate portion 74. The openings 85; the the bolts 84 of the feet 82 have a sufficiently larger diameter than the screw bolts, allowing a transverse adjustment of the feet for cooperation with a cover plate, which will be described later, is made possible. The lower Surfaces of the feet 82 are flush with one another and form mounting surfaces for workpieces shown in Fig. 3 at 92, these workpieces to the lower surfaces of the feet held during the finishing of the workpieces will. As FIG. 4 shows, the lower mounting surface of each foot 82 an annular groove 94 and cross grooves 96 on the one with the annular vacuum channel 78 over Lines 98 and are connected via an annular recess 100, the trained in each foot is. The connection is also made through the opening 86 through and through a V-shaped groove 102 (FIG. 7) in the lower Surface of the associated recess 80 is formed in the lower plate section 74 is.

Jeder zylindrische Fuß 82 weist einen Ring 104 aus einem verhältnismäßig harten Gummi auf, wobei dieser an der Umfangsfläche befestigt ist. Die untere ringförmige Kantenoberfläche einer jeden elastischen Hülse-107 erstreckt sich nach unten unter die untere Oberfläche des zugeordneten Fußes 82 hinaus und zwar um etwa 0,0025 cm, um eine Dichtungsanlage gegen ein Werkstück zu erzeugen, wenn dieses an der unteren Oberfläche des Fußes montiert ist und um zu verhindern, daß sich Schleifschlamm in den Raum zwischen der oberen Oberfläche des Werkstückes und der unteren Montageoberfläche des Fußes hinein bewegt.Each cylindrical foot 82 has a ring 104 of a relatively hard rubber, which is attached to the peripheral surface. The lower annular Edge surface of each elastic sleeve-107 extends downward below the lower surface of the associated foot 82 by about 0.0025 cm, to create a sealing system against a workpiece when this is on the lower Surface of the foot is mounted and to prevent grinding sludge into the space between the upper surface of the workpiece and the lower mounting surface of the foot moved into it.

Wie die Fig. 2 und 3 zeigen, ist eine kreisförmige Abdeckplatte 106 an der unteren Oberfläche des unteren Lastplattenabschnittes 74 mittels einer Anzahl von Schrauben 108 befestigt. Die Abdeckplatte 106 weist obere und untere parallele ebene Oberflächen auf und weist ferner eine Anzahl von kreisförmigen öffnungen 110 auf, von denen jede einen zugeordneten Fuß 82 aufninimt, wobei die äußere Umfangsoberfläche der Dichtungshülse 107 mit Paßsitz in den zugeordneten öffnungen der Abdeckplatte sitzt. Die Abdeckplatte ist nach unten von der unteren Oberfläche des Lastplattenabschnittes 74 angeordnet und zwar durch Distanzscheiben 112, die um die Schrauben 108 herum angeordnet sind, derart, daß die untere Oberfläche der Abdeckplatte in einer Ebene liegt, die im Abstand unterhalb der unteren Oberfläche der Füße 82 liegt. Auf diese Weise wird eine Werkstückaufnahmetasche neben der unteren Oberfläche eines jeden Fußes 82 geschaffen. die Abdeckplatte ist vorzugsweise so angeordnet, daß deren untere Oberfläche im Abstand unterhalb der unteren Oberfläche der Füße 82 um eine Strecke angeordnet ist, die etwa gleich zwei Drittel der gewünschten fertigen Dicke des Werkstückes nach dem Polieren oder Schleifen ist. Eine Anzahl von Einstellschrauben 114 ist in die Abdeckplatte 106 eingeschraubt und kann nach oben bei der Betrachtung der Fig. 3 geschraubt werden, um unter Krafteinwirkung die Abdeckplatte von dem unteren Plattenabschnitt 74 während des Auseinanderbauens zu trennen, nachdem die Schrauben 108 abgenommen sind.As shown in FIGS. 2 and 3, there is a circular cover plate 106 on the lower surface of the lower load plate portion 74 by a number fastened by screws 108. The cover plate 106 has upper and lower parallel flat surfaces and furthermore has a number of circular openings 110 each of which receives an associated foot 82, the outer peripheral surface of the sealing sleeve 107 with a snug fit in the associated openings of the cover plate sits. The cover plate is down from the lower surface of the load plate section 74 arranged by spacers 112 around the screws 108 are arranged such that the lower surface of the cover plate is in one plane which is spaced below the lower surface of the feet 82. To this Way becomes a workpiece receiving pocket next to the bottom surface of each Foot 82 created. the cover plate is preferably arranged so that their lower surface spaced below the lower surface of feet 82 by one Route is arranged, which is approximately equal to two thirds of the desired finished thickness of the workpiece after polishing or grinding. A number of adjusting screws 114 is screwed into the cover plate 106 and can after above when looking at Fig. 3 are screwed to under the action of force the cover plate from the lower plate portion 74 during disassembly after the screws 108 are removed.

Die Lastplatte 34 weist ein selbstschließendes Ventil 116 von üblichem Aufbau auf, welches an der oberen Platte 72 angeordnet ist und zwar im allgemeinen zwischen der Mitte der Platte und dem äußeren Umfang der Lastplatte. Das Ventil 116 steht mit dem ringförmigen Unterdruckkanal 78 in Verbindung und zwar derart, daß eine Verbindung des Ventils mit einer Unterdruckquelle bewirkt, daß ein Unterdruck innerhalb des Kanals 78 ausgebildet wird, wenn Werkstücke am Fuß 82 montiert werden, um die Werkstücke durch einen Unterdruck an den Füßen festzuhalten. Die Lastplatte 34 wird insbesondere.bei der Fertigbearbeitung der Werkstücke 92 verwendet, wobei sich bei den Werkstücken um verhältnismäßig dünne Scheibchen handelt, die mit einer großen Genauigkeit fertigbearbeitet werden müssen. Die nicht fertigbearbeiteten Werkstücke 92 können am Fuß 82 der Lastplatte 34 an einer Arbeitsstation montiert werden, die vom Polierrad 20 im Abstand liegt, beispielsweise auf der Abstellplatte 28. Bei der Durchführung der Befestigung der Werkstücke an der Lastplatte wird die Lastplatte umgedreht und die Werkstücke werden auf die unteren Oberflächen der Füße 82 derart aufgelegt, daß die äußeren Umfangskantenabschnitte der Werkstücke gegen die Ringdichtung 104 anliegen. Nachdem die Werkstücke an den unteren Oberflächen der Füße auf diese Weise montiert sind, wird das selbstschließende Unterdruckventil 116 mit einer Unterdruckquelle verbunden und der Unterdruckkanal 68 wird evakuiert, um die Werkstücke an den unteren Oberflächen der Füße durch einen Unterdruck festzuhalten. Eine Trennung des Ventils 116 von der Vakuumquelle bewirkt ein selbst schließendes Ventil, wodurch der Unterdruck, der auf die Werkstücke einwirkt, aufrechterhalten wird. Danach wird die Lastplatte-34 in ihre normale aufrechte.The load plate 34 has a self-closing valve 116 of the conventional type Structure which is disposed on the top plate 72, in general between the center of the plate and the outer periphery of the load plate. The valve 116 is in communication with the annular negative pressure channel 78 in such a way that that connection of the valve to a source of negative pressure causes a negative pressure is formed within the channel 78 when assembling workpieces on the foot 82, to hold the workpieces on the feet by means of a negative pressure. The load plate 34 is used in particular for the finishing of the workpieces 92, with the workpieces are relatively thin slices that have a must be finished with great accuracy. The not finished Workpieces 92 can be mounted on the foot 82 of the load plate 34 at a work station which is from the polishing wheel 20 at a distance, for example on the shelf 28. When carrying out the fastening of the workpieces to the load plate, the Load plate is flipped over and the work pieces are placed on the lower surfaces of the feet 82 placed in such a way that the outer peripheral edge portions of the workpieces against the ring seal 104 abut. After the workpieces on the lower surfaces the feet are mounted in this way, the self-closing vacuum valve becomes 116 is connected to a vacuum source and the vacuum channel 68 is evacuated, to hold the workpieces on the lower surfaces of the feet by negative pressure. Isolation of the valve 116 from the vacuum source causes it to self-close Valve, whereby the Negative pressure acting on the workpieces, is maintained. After that, the load plate-34 will return to its normal upright position.

Stellung umgedreht und derart angeordnet, daß diese unter einer der Druckscheibenbaugruppen 32 zu liegen kommt, die am unteren Ende einer Kolbenstange 22 befestigt ist.Position upside down and arranged so that it is under one of the Thrust washer assemblies 32 come to rest on the lower end of a piston rod 22 is attached.

Jede der Druckscheibenbaugruppen 32 ist so ausgebildet, daß sie gegen eine Lastplatte 34 anliegt und einen nach unten gerichteten Druck auf diese Lastplatte-ausübt, um eine wahlweise Druckanlage der Werkstücke gegen die obere Oberfläche des Polierrades 20 zu erzielen. Zu diesem Zweck weist der obere Plattenabschnitt 72 einer jeden Lastplatte 34 einen Druckring 118 auf, der in einer zentralen Öffnung im oberen Plattenabschnitt durch einen radialen Flansch 120 gehalten wird, der am Ring 18 ausgebildet ist. Zur Halterung ist ferner noch ein Halterun,gsring 122 vorgesehen, der mit dem Druckring 118 zusammenwirkt.Each of the thrust washer assemblies 32 is formed so that they against a load plate 34 rests and exerts a downward pressure on this load plate, to optionally press the workpieces against the upper surface of the polishing wheel 20 to achieve. To this end, the top plate portion 72 of each Load plate 34 on a pressure ring 118 in a central opening in the upper Plate section is held by a radial flange 120 which is attached to the ring 18 is trained. A bracket 122 is also provided for the bracket, which cooperates with the pressure ring 118.

Jeder Druckring 118 weist eine Ringnut 126 in der oberen Oberfläche auf und diese Ringnut nimmt den Flansch 68 am Druckübertragungsring 66 auf, der von der zugeordneten Achse 36 bei der Abwärtsbewegung des entsprechenden Kolbens 22 aus einer angehobenen Stellung getragen wird. Der Druckring 118 weist ferner eine abgestufte mittlere Bohrung 128 auf, die eine Lückendichte 130 aufnimmt, die gegen den unteren Endabschnitt 42 der zugeordneten Achse 36 abdichtet und zwar nach dem Anliegen der Druckscheibenbaugruppe gegen die Lastplatte 34. Die Lippendichtung 130 weist einen Federring 132 auf, der die Lippendichtung radial nach innen gegen die Umfangsoberfläche des unteren Endes der Achse drückt, wie es an sich bekannt ist Der untere Lastplattenabschnitt 74 weist eine zentrale Kammer 134 auf, die mit dem ringförmigen Unterdruckkanal 78 über einen Kanal in Verbindung steht, der den geneigten Kanalabschnitt 136 umfaßt, eine zweite Kammer 138, die in der unteren Lastplatte vorgesehen ist, eine senkrechte Bohrung 139 im Ring 118, die unter der Nut 126 liegt, und einen horizontalen Kanal 140, der im radialen Flansch 120 des Ringes 118 ausgebildet ist. Ein Ventil weist ein nach oben vorgespanntes Ventilglied 142 auf, welches einen Dichtungsring 144 tragt, ist normalerweise in eine geschlossene Stellung durch eine Druckfeder 146 gedrückt normalerweise eine Verbindung zwischen der Kammer 134 und dem ringförmigen Unterdruckkanal 78 zu verhindern, wie es Fig. 5 zeigt. Wenn die Druckplattenbaugruppe 32 und die Lastplatte 34 in eine Betriebsverbindung miteinander gebracht werden, wie es Fig. 3 zeigt, öffnet der nach unten sich erstreckende Ringflansch 68 das Ventil 142, um eine Verbindung zwischen der zentralen Kammer 137 und dem ringförmigen Unterdruckkanal 78 herzustellen. Ein axialer Kanal 148 ist in der Achse 36 vorgesehen und dieser schneidet die unter Endoberfläche der Achse mit einem radialen Kanal 150 in der Achse selbst. Ein Rohranschluß 152 ist an der Achse 36 derart befestigt, daß er mit dem Kanal 150 in Verbindung steht. Eine Verbindung des Anschlusses 152 mit einer geeigneten Unterdruckquelle über eine flexible Leitung 154 dient, wie Fig. 1 zeigt, dazu, einen Unterdruck innerhalb des Kanales 78 aufrechtzuerhalten, wenn die Druckscheibenbaugruppe 32 und die Lastplatte 34 in ihrer zusammenwirkenden Stellung sich befinden, wie es Fig. 3 zeigt. Werkstücke, die an der unteren Oberfläche der Füße 82 befestigt sind, werden durch den Unterdruck festgehalten, der durch die anfängliche Unterdruckmontage entstanden ist und nach der Verbindung der Lastplatte 34 mit der Baugruppe 32 zugeführt wird und zwar während der Fertigbearbeitung des Werkstückes.Each pressure ring 118 has an annular groove 126 in the top surface and this annular groove receives the flange 68 on the pressure transmission ring 66, the from the associated axis 36 on the downward movement of the corresponding piston 22 is carried from a raised position. The pressure ring 118 also has a stepped central bore 128 that receives a void density 130 that seals against the lower end portion 42 of the associated axle 36 and that after the abutment of the thrust washer assembly against the load plate 34. The lip seal 130 has a spring ring 132, which counteracts the lip seal radially inwards the peripheral surface of the lower end of the axle presses, as is known per se The lower load plate portion 74 has a central chamber 134 that is connected to the annular negative pressure channel 78 is in communication via a channel which the inclined channel portion 136 includes a second chamber 138 in the lower Load plate is provided, a vertical hole 139 in the ring 118, which is below the Groove 126 is, and a horizontal channel 140, the in the radial Flange 120 of ring 118 is formed. One valve has an upwardly biased one Valve member 142, which carries a sealing ring 144, is normally in normally a closed position pushed by a compression spring 146 To prevent communication between the chamber 134 and the annular negative pressure channel 78, as Fig. 5 shows. When the pressure plate assembly 32 and load plate 34 are in an operational connection are brought together, as shown in FIG. 3, opens the downwardly extending annular flange 68 the valve 142 for a connection between the central chamber 137 and the annular vacuum channel 78. An axial channel 148 is provided in the axis 36 and this intersects the under End surface of the axle with a radial channel 150 in the axle itself. A pipe connection 152 is attached to the axle 36 in such a way that it is in communication with the channel 150 stands. Connection of port 152 to a suitable vacuum source Via a flexible line 154, as shown in FIG. 1, a negative pressure inside of the channel 78 when the thrust washer assembly 32 and load plate 34 are in their cooperating position, as shown in FIG. Workpieces, which are attached to the lower surface of the feet 82 are caused by the negative pressure recorded that was created by the initial vacuum assembly and after the connection of the load plate 34 is supplied to the assembly 32 during the finishing of the workpiece.

Gemäß der beschriebenen Ausführungsform der Erfindung ist eine Lastplatte vorgesehen, an der eine Anzahl von scheibenförmigen Werkstücken an einer Arbeitsstation montiert werden können, die vom Polierrad entfernt ist, Diese Werkstücke werden an der Lastplatte durch einen Unterdruck während des Transportes zur und von der Polierscheibe festgehalten und werden auch durch einen Unterdruck während der Fertigbearbeitung der Werkstücke festgehalten. Eine Taumelbewegung einer Lastplatte relativ zur Achse des zugeordneten Kolbens 23 während des Betriebes wird radial von einem Gummiring 52, wie es beschrieben wurde, aufgenommen.According to the described embodiment of the invention is a load plate provided on which a number of disc-shaped workpieces at a work station which is removed from the polishing wheel, These workpieces can be assembled on the load plate by a negative pressure during transport to and from the Polishing wheel held in place and are also held by a negative pressure during finishing of the workpieces held. A wobbling movement of a load plate relative to the axis of associated piston 23 during operation is radially supported by a rubber ring 52, as described, recorded.

Dadurch, daß ein Vakuumanschluß 154 zur Achse 36 vorgesehen ist, kann der Unterdruckkanal 78 dauernd mit einer Unterdruckquelle verbunden sein und zwar während des Fertigbearbeitens des Werkstückes, falls eine geringe Leckage das Anfangsvakuum abbauen sollte, das bei der Befestigung der Werkstücke erzeugt wurde.Because a vacuum connection 154 is provided to the axis 36, can the negative pressure channel 78 be permanently connected to a negative pressure source, namely during the finishing of the workpiece, if there is a slight leak, the initial vacuum should reduce that was generated when fastening the workpieces.

Die Lastplatte 34 kann in einfacher Weise auseinandergebaut und gereinigt werden, um Schmutzteilchen oder Verstopfung zu, entfernen, die während des Betriebes auftreten können. Die untere Werkstücknontageoberfläche der Füße kann in einfacher Weise zugerichtet werden, um eine fluchtende Lage dieser Flächen aufrechtzuerhalten.The load plate 34 can be easily disassembled and cleaned to remove debris or clogging that occurs during operation may occur. The lower workpiece mounting surface of the feet can be in easier Be trimmed in a manner to maintain alignment of these surfaces.

Es wurde ein bevorzugtes Ausführungsbeispiel der Erfindung dargestellt und beschrieben und es ist klar, daß Abänderungen vorgenommen werden können, die im Rahmen der Erfindung liegen.A preferred embodiment of the invention has been illustrated and described and it is clear that changes can be made to the lie within the scope of the invention.

Claims (1)

P a t e n t a n s p-r ü c h e P a t e n t a n s p-r ü c h e 6 )Poliermaschine u. dgl. mit einem Polierrad, das um eine senkrechte Achse drehbar ist und mit wenigstens einer in senkrechter Richtung bewegbaren Achse, die oberhalb der Polierscheibe angeordnet ist, gekennzeichnet durch eine Lastplatte, die wenigstens einen nach unten sich erstreckenden Fuß aufweist, dessen untere Oberfläche zur Aufnahme eines Werkstückes dient, wobei die Lastplatte Unterdruckkanäle aufweist, die mit der unteren Oberfläche des Fußes verbunden ist und wobei von der Lastplatte Unterdruckanschlüsse getragen werden, die mit den Unterdruckkanälen in Verbindung stehen und wobei diese Unterdruckanschlüsse mit einer Unterdruckquelle verbunden werden können, um ein Werkstück an der unteren Oberfläche des Fußes durch einen Unterdruck zu halten, wobei diese Anschlüsse derart ausgebildet sind, daß diese den Unterdruck nach der Lösung von der Unterdruckquelle derart aufrechterhalten können, daß die Lastplatte von der Maschine mit einem Werkstück an dieser montiert abgenommen und an der Maschine angeordnet werden kann, um die Lastplatte in Eingriff mit dem Schleifrad zu bringen.6) Polishing machine and the like with a polishing wheel that rotates around a vertical Axis is rotatable and with at least one axis movable in a vertical direction, which is arranged above the polishing wheel, characterized by a load plate, which has at least one downwardly extending foot, the lower surface of which serves to hold a workpiece, the load plate having vacuum channels, which is connected to the lower surface of the foot and being from the load plate Vacuum connections are worn that communicate with the vacuum channels stand and wherein these vacuum connections are connected to a vacuum source can be attached to a workpiece on the lower surface of the foot through a To keep negative pressure, these connections are designed such that these so maintain the negative pressure after dissolving from the negative pressure source can that the load plate of the machine with a workpiece mounted on this can be removed and placed on the machine to engage the load plate to bring with the grinding wheel. 2. Poliermaschine nach Anspruch 1, gekennzeichnet durch Einrichtungen, die von der Achse getragen werden und die in lösbarer Weise mit der Lastplatte zusammenarbeiten, um wahlweise einen nach unten gerichteten Druck auf das montierte Werkstück gegen das Sch1eifrad auszuüben. 2. Polishing machine according to claim 1, characterized by devices, which are carried by the axle and which cooperate in a detachable manner with the load plate, to counteract either a downward pressure on the mounted workpiece to exercise the grinding wheel. 3. Poliermaschine nach Anspruch 1, gekennzeichnet durch eine Abdeckplatte, die an der Lastplatte neben dem nach unten sich erstreckenden Fuß angeordnet ist, wobei diese Abdeckplatte eine oeffnung aufweist, die den Fuß aufnimmt und derart angeordnet ist, daß die untere Oberfläche der Abdeckplatte in einer Ebene im Abstand unterhalb der Ebene der unteren Oberfläche des Fußes liegt, um eine Werkstückaufnahmetasche mit der unteren Oberfläche des Fußes zu bilden. 3. polishing machine according to claim 1, characterized by a cover plate, which is arranged on the load plate next to the foot extending downwards, this cover plate has an opening that receives the foot and such is arranged that the lower surface of the cover plate in a plane at a distance lies below the level of the lower surface of the foot, around a workpiece receiving pocket to form with the lower surface of the foot. 4. Poliermaschine nach Anspruch 1, gekennzeichnet durch einen elastischen ring, der an der Umfangsoberfläche des Fußes neben dessen unterer Oberfläche befestigt ist, wobei der elastische Ring eine untere Oberfläche aufweist, die unterhalb der unteren Oberfläche des Fußes angeordnet ist, um in dichtender Anlage mit einem Werkstück zu gelangen, wenn dieses an der unteren Oberfläche des Fußes montiert ist.4. Polishing machine according to claim 1, characterized by an elastic ring that attaches to the circumferential surface of the foot adjacent to its lower surface is, wherein the elastic ring has a lower surface that is below the lower surface of the foot is arranged to be in sealing engagement with a workpiece when mounted on the lower surface of the foot. 5. Poliermaschine nach Anspruch ?, dadurch gekennzeichnet, daß die Lastplatte eine zentrale öffnung in der Oberfläche aufweist, die dem-#ach unten sith erstreckenden Fuß gegenüberliegta daß die Lastplatte zweite Kanäle aufweist, die in Verbindung mit der Unterdruckleitung und der zentralen öffnung stehen, daß ein normal geschlossenes Ventil in diesem zweiten Kanal angeordnet ist, daß die zentrale öffnung'mit einer Unterdruckquelle verbindbar ist, daß das Ventil betätigt werden kann, um den Unterdruckkanal mit der zentralen öffnung zu verbinden, um eine Aufrechterhaltung des Unterdruckes am Werkstück fortzusetzen, welches an der unteren Oberfläche des Fußes montiert ist und zwar während der Fertigbearbeitung des Werkstückes, wenn die Lastplatte vom Polierrad getragen wird,.bei einer Zusammenarbeit mit lösbaren Mitteln erfolgt, die von der Achse getragen werden.5. polishing machine according to claim?, Characterized in that the Load plate has a central opening in the surface, which is also below sith extending foot opposite a that the load plate has second channels, which are in communication with the vacuum line and the central opening that a normally closed valve is arranged in this second channel that the central opening 'can be connected to a vacuum source that actuates the valve can be to connect the vacuum channel with the central opening to a To continue maintaining the vacuum on the workpiece, which on the lower Surface of the foot is mounted during the finishing of the workpiece, when the load plate is carried by the polishing wheel, when working with detachable Means takes place, which are carried by the axis. 6. Poliermaschine nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Lastplatte eine Anzahl von sich nach unten erstreckenden Füßen aufweist, deren untere Oberflächen in einer Ebene liegen und so ausgebildet sind, daß sie Werkstücke aufnehmen können, daß Unterdruckkanäle mit den unteren Oberflächen eines jeden Fußes in Verbindung stehen, daß der Unterdruckanschluß mit einer Unterdruckquelle verbunden werden kann, um einen Unterdruck zu erzeugen, der wirksam ist, um die Werkstücke an den unteren Oberflächen der Füße zu halten und zwar während der Übertragung der Lastplatte von der Poliermaschine und zur Poliermaschine.6. polishing machine according to claim 1, characterized in that the Load plate has a number of downwardly extending feet, the lower Surfaces lie in one plane and are designed so that they receive workpieces allow vacuum channels to communicate with the lower surfaces of each foot stand that the vacuum connection can be connected to a vacuum source, to create a negative pressure that is effective to keep the workpieces at the bottom To hold surfaces of the feet while transferring the load plate from the polishing machine and to the polishing machine. 7. Poliermaschine nach Anspruch 6, gekennzeichnet durch eine Abdeckplatte, die an der Lastplatte in der Höhe der sich nach unten erstreckenden Füße montiert ist, daß diese Abdeckplatte eine Anzahl von öffnungen aufweist, die der der Füße entspricht und daß jede öffnung einen Fuß mit einem leichten Spiel aufnimmt, daß die Abdeckplatte eine untere Oberfläche aufweist, die in einer Ebene unterhalb der Ebene der unteren Oberflächen der Füße liegt, um Werkstückaufnahmetaschen mit diesen Füßen zu bilden.7. polishing machine according to claim 6, characterized by a cover plate, which are mounted on the load plate at the level of the feet extending downwards is that this cover plate has a number of openings that of the feet corresponds and that each opening accommodates a foot with a slight play that the cover plate has a lower surface in a plane below the Level of the lower surfaces of the feet lies to the workpiece receiving pockets with these To form feet. 8. Poliermaschine nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, daß die Abdeckplatte wenigstens eine Hubschraube aufweist, die wirksam ist, um die Trennung der Abdeckplatte von der Lastplatte zu bewirken, um diese Teile auseinanderbauen zu können. 8. polishing machine according to claim 7, characterized in that the Cover plate has at least one lifting screw which is effective to the separation the cover plate from the load plate to disassemble these parts to be able to. 9. Poliermaschine nach Anspruch 7, gekennzeichnet durch einen elastischen Ring, der an der Umfangsoberfläche eines jeden Fußes und zwar neben der unteren Oberfläche montiert ist, wobei jeder elastische Ring eine Dichtungsoberfläche aufweist, die in einer Ebene liegt, die im Abstand unterhalb der unteren Oberfläche des zugeordneten Fußes verläuft, um einen Dichtungseingriff mit einem Werkstück zu erhalten, das am zugeordneten Fuß montiert ist. 9. Polishing machine according to claim 7, characterized by an elastic Ring that is on the circumferential surface of each foot and next to the lower one Surface mounted, each resilient ring having a sealing surface, which lies in a plane that is at a distance below the lower surface of the associated Extends the foot to obtain a sealing engagement with a workpiece that is mounted on the assigned foot. 10. Poliermaschine nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, daß die Füße zylindrische Teile aufweisen, die an der unteren Oberfläche der Lastplatte montiert ist, daß jeder Fuß in Querrichtung relativ zur Achse der Lastplatte einstellbar ist.10. Polishing machine according to claim 6, characterized in that the Feet have cylindrical parts attached to the lower surface of the load plate is mounted so that each foot is adjustable in the transverse direction relative to the axis of the load plate is. 11. Poliermaschine nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Lastplatte eine Ringnut mit der oberen Oberfläche gegenüber den nach unten sich erstreckenden Füßen aufweist, daß von der Achse Vorrichtungen getragen werden, die mit der Lastplatte zusammenarbeiten, wobei eine Druckscheibenanordnung vorgesehen ist, die nach unten sich erstreckende Eingreifeinrichtungen hat, die mit der Ringnut und der Lastplatte zusammenarbeiten, wobei Einrichtungen vorgesehen sind, um einen nach unten gerichteten Druck auf die Lastplatte auszuüben und zwar bei einer vertikalen Abwärtsbewegung der zugeordneten Achse.11. polishing machine according to claim 2, characterized in that the Load plate has an annular groove with the top surface facing downwards having extending feet that devices are carried by the axis, the cooperate with the load plate, a thrust washer assembly being provided that has downwardly extending engagement means that with the annular groove and the load plate cooperate with facilities provided are to apply a downward pressure on the load plate, namely with a vertical downward movement of the assigned axis. 12. Poliermaschine nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Einrichtungen, die von der Achse getragen werden und die in lösbarer Weise mit der'Lastplatte verbunden werden können, eine Druckscheibenbaugruppe aufweisen, die mit der Spindel über eine Schwenkverbindung verbunden ist.12. Polishing machine according to claim 2, characterized in that the Devices which are carried by the axle and which are detachably connected to the load plate can be connected to have a thrust washer assembly that connects to the spindle is connected via a swivel connection. 13. Lastplatte zur Halterung eines Werkstückes während der-Fertigbearbeitung dieses Werkstückes an einer Poliermaschine u.dgl., gekennzeichnet durch eine Platte, die wenigstens einen nach unten sich erstreckenden Fuß aufweist, dessen untere Oberfläche Werkstücke tragen kann, daß die Platte Unterdruckkanäle aufweist, die mit der besagten unteren Oberfläche des Fußes in Verbindung stehen, daß Vakuumanschlüsse von der Platte getragen werden und mit dem Unterdruckkanal in Verbindung stehen, daß diese Unterdruckanschlüsse in lösbarer Weise mit einer Unterdruckquelle verbunden sind, um einen Unterdruck innerhalb des Kanales zu erzeugen und um ein Werkstück an der unteren Oberfläche des Fußes durch einen unterdruck festzuhalten.13. Load plate for holding a workpiece during finishing this workpiece on a polishing machine, etc., characterized by a plate, which has at least one downwardly extending foot, the lower surface of which Can carry workpieces that the plate has vacuum channels associated with said lower surface of the foot that connect vacuum ports from the Plate are worn and are in communication with the vacuum channel that this Vacuum connections are detachably connected to a vacuum source, to create a negative pressure within the channel and around a workpiece on the to hold the lower surface of the foot by a negative pressure. 14. Lastplatte nach Anspruch 13, dadurch gekennzeichnet, daß diese eine Anzahl von nach unten sich erstreckenden Füßen aufweist, daß die unteren Oberflächen dieser Füße in einer Ebene liegen und Werkstücke aufnehmen können und daß die Unterdruckkanäle mit der unteren Oberfläche eines jeden Fußes in Verbindung stehen, um Werkstücke durch einen Unterdruck an diesem Fuß festzuhaltefl.14. Load plate according to claim 13, characterized in that this a number of downwardly extending feet that the lower surfaces these feet lie in one plane and can accommodate workpieces and that the vacuum channels with the lower surface of each foot in connection to work pieces to be held by a negative pressure on this foot. 15. Lastplatte nach Anspruch 14, dadurch gekennzeichnet, daß diese einen oberen und unteren Plattenabschnitt aufweist, welche die Unterdruckkanäle zwischen sich begrenzen, daß die Füße im allgemeinen zylindrische Fußteile sind, die am unteren Plattenabschnitt derart montiert sind, daß eine Quereinätellung der Füße relativ zur Achse der Lastplatte möglich ist.15. Load plate according to claim 14, characterized in that this has an upper and lower plate portion, which the vacuum channels between them that limit the feet in general cylindrical Are foot parts which are mounted on the lower plate section in such a way that a transverse position of the feet is possible relative to the axis of the load plate. 16. Lastplatte nach Anspruch 14, gekennzeichnet durch eine Abdeckplatte, die an der Platte in der Nähe der Füße montiert ist, wobei diese Abdeckplatte Öffnungen aufweist, um die Füße in diesen öffnungen anzuordnen und wobei diese Abdeckplatte derart angeordnet ist, daß die untere Oberfläche dieser Abdeckplatte im Abstand unterhalb der Ebene der unteren Oberflächen der Füße angeordnet ist, um Werkstückaufnahmetaschen mit diesen Füßen zu bilden.16. Load plate according to claim 14, characterized by a cover plate, which is mounted on the plate near the feet, this cover plate openings has to arrange the feet in these openings and this cover plate is arranged so that the lower surface of this cover plate at a distance arranged below the level of the lower surfaces of the feet to workpiece receiving pockets to form with these feet. 17. Lastplatte nach Anspruch 13, gekennzeichnet durch Dichtungen, die an der Umfangsoberfläche des Fußes montiert sind,wobei diese Dichtungen einen Ringoberflächenabschnitt aufweisen, der im Abstand unterhalb der Ebene der unteren Oberfläche des Fußes angeordnet sind, um eine Dichtugsanlage mit einem Werkstück herzustellen, der an der unteren Oberfläche des Fußes montiert ist.17. Load plate according to claim 13, characterized by seals, which are mounted on the peripheral surface of the foot, these seals having a Have ring surface portion at a distance below the level of the lower Surface of the foot are arranged to a Dichtugsanlage with a workpiece which is mounted on the lower surface of the foot. 18. Lastplatte nach Anspruch 13, dadurch gekennæeichnet, daß die Platte eine zentrale öffnung in der Oberfläche gegenüber den nach unten sich erstreckenden Füßen aufweist, daß die Platte zweite Kanäle aufweist, die mit den Unterdruckkanälen und der zentralen öffnung in Verbindung stehen, daß ein normalerweise geschlossenes Ventil in diesen zweiten Kanälen angeordnet ist und wirksam ist, um die Verbindung zwischen den -Unterdruckkanälen und der zentralen öffnung zu öffnen, so daß eine Verbindung der zentralen öffnung mit einer Unterdruckquelle bewirkt, daß ein unterdruck innerhalb der Unterdruckkanäle erzeugt wird, um ein Werkstück am Fuß festzuhalten.18. Load plate according to claim 13, characterized gekennæeichnet that the plate a central opening in the surface opposite the downwardly extending ones Has feet that the plate has second channels, which with the vacuum channels and the central opening communicate that a normally closed Valve is arranged in these second channels and is effective to the connection open between the negative pressure channels and the central opening, so that a Connection of the central opening with a vacuum source causes a vacuum is generated within the vacuum channels to hold a workpiece on the foot. 19. Lastplatte nach Anspruch 12, dadurch gekennzeichnet, daß die Gelenkverbindung eine elastische Scheibe aufweist, die mit der Druckscheibenbaugruppe und der Achse in Betriebsverbindung steht, daß die elastische Beilagsscheibe eine Taumelbewegung der Lastplatte relativ zur zugeordneten Achse ermöglicht.19. Load plate according to claim 12, characterized in that the articulated connection comprises a resilient washer connected to the thrust washer assembly and the axle is in operative connection that the elastic washer has a wobbling motion allows the load plate relative to the assigned axis. 20. Poliermaschine u. dgl. mit einem Polierrad, welches um eine senkrechte Achse drehbar gelagert ist und welche wenigstens einen in senkrechter Richtung beweglichen Kolben aufweist, der oberhalb des Polierrades angeordnet ist, gekennzeichnet durch eine Lastplatte, die mit dem Kolben zusammenarbeitet und wenigstens ein Werkstück trägt, welches an dieser für eine Anlage gegen die Polierscheibe getragen wird; wobei Druckscheibenbaugruppen vom Kolben getragen werden, die mit der Lastplatte in Eingriff gelangen und wobei die Druckscheibenbaugruppe eine Achse aufweist, die in lösbarer Weise mit dem Kolben verbunden werden kann und wobei die Druckscheibenbaugruppe in Eingriff mit der Lastplatte bei einer Abwärtsbewegung des Kolbens gelangt und wobei eine elastische Gelenkverbindung die Achse und die Druckplatte miteinander verbindet, um eine Schwenkbewegung der Lastplatte relativ zur Achse des Kolbens zu ermöglichen.20. Polishing machine and the like with a polishing wheel, which around a vertical Axis is rotatably mounted and which at least one movable in the vertical direction Has piston which is arranged above the polishing wheel, characterized by a load plate that cooperates with the piston and at least one workpiece carries, which is carried on this for a plant against the polishing pad; wherein thrust washer assemblies are carried by the piston and are associated with the load plate engage and wherein the thrust washer assembly has an axis that can be releasably connected to the piston and wherein the thrust washer assembly engages the load plate upon downward movement of the piston and wherein a resilient hinge connection between the axle and the pressure plate connects to a pivoting movement of the load plate relative to the axis of the piston to enable. 21. Poliermaschine nach Anspruch 20, dadurch gekennzeichnet, daß die elastische Gelenkverbindung eine Gummibeilagscheibe auf weist, die um diese Achse herum angeordnet ist und die gegen die Druckscheibe derart anliegt, daß eine Taumelbewegung der Druckscheibe relativ zu der besagten Achse möglich ist.21. Polishing machine according to claim 20, characterized in that the elastic hinge connection has a rubber washer around this axis is arranged around and which rests against the thrust washer in such a way that a wobbling movement the thrust washer is possible relative to said axis. 22. Poliermaschine nach Anspruch 21, dadurch gekennzeichnet, daß die Druckscheibenbaugruppe ein inneres--Tragglied aufweist, das koaxial mit der Achse verläuft-und-das mit der Gummischeibe in Eingriff sich befindet, daß ein äußerer Bauteil koaxial zum inneren Tragbauteil vorgesehen ist und mit der Lastplatte in Eingriff gelangen kann, um eine nach unten'gerichtete Kraft bqi einer Abwärtsbewegung des Kolbens auszuüben.22. Polishing machine according to claim 21, characterized in that the Thrust washer assembly has an inner support member coaxial with the axis runs-and-that is in engagement with the rubber washer, that an outer one Component is provided coaxially to the inner support member and with the load plate in Intervention can come to a downward force bqi a downward movement of the piston to exercise. 23. Poliermaschine nach Anspruch 22, dadurch gekennzeichnet, daß der innere Träger einen Ring aufweist, der an der Achse oberhalb der Gummischeibe getragen ist, daß der innerer Träger gegen die Beilagscheibe anliegt, um ein Herausdrücken bei einem Zusammendrücken der Scheibe zu verhindern und daß ein Spiel gegenüber der Achse vorgesehen ist, um eine Taumelbewegung zwischen dem inneren Tragbauteil und der Achse zu ermöglichen.23. Polishing machine according to claim 22, characterized in that the inner carrier has a ring which is carried on the axle above the rubber washer is that the inner support rests against the washer to push out to prevent a compression of the disc and that a game opposite the axis is provided to a wobbling movement between the inner support member and to allow the axis. 24. Poliermaschine nach Anspruch 23, dadurch gekennzeichnet, daß die Gummibeilagscheibe eine Durometerhärte von etwa 60 hat.24. Polishing machine according to claim 23, characterized in that the Rubber washer has a durometer hardness of about 60. L e e r s e i t eL e r s e i t e