Claims (4)
AnsprücheExpectations
1. Verbessertes System von Ausrichtungsschlüsseln für
Halbleiter-Chips, gekennzeichnent durch eine erste Schlüsseleinrichtung zum Pestlegen einer
ersten X- und Y-Koordinatenstelle auf dem Chip, wobei sich die erste Schlüsseleinrichtung innerhalb einer
Fläche befindet, die durch einen Satz von vier Ritzlinien für diesen Chip definiert ist;
eine zweite Schlüsseleinrichtung zum Festlegen einer zweiten X- und Y-Koordinatenstelle auf dem Chip, wobei
sich die zweite Schlüsseleinrichtung innerhalb der Fläche befindet, die durch den Satz von vier Ritzlinien
für diesen Chip definiert ist; und durch eine dritte Schlüsseleinrichtung zum Festlegen einer
dritten X- und Y-Koordinatenstelle auf dem Chip, wobei sich die dritte Schlüsseleinrichtung innerhalb der
Fläche befindet, die durch den Satz von vier Ritzlinien für diesen Chip definiert ist, wobei
die erste und die zweite Schlüsseleinrichtung derart angeordnet sind, daß eine durch den ersten und den zweiten
Satz von X- und Y-Koordinaten gezogene gerade Linie im wesentlichen parallel zu sowie relativ nahe bei einer der
Ritzlinien verläuft und sich der dritte Schlüsseleinrichtungssatz relativ nahe bei einer anderen Ritzlinie
befindet, wobei die genannte andere Ritzlinie ; sowie die genannte eine Ritzlinie
wesentlichen parallel zueinander sind und sich auf gegenüberliegenden Seiten des Chips befinden.1. An improved system of alignment keys for
semiconductor chips, characterized by a first key means for specifying a
first X and Y coordinate location on the chip, the first key means being located within an
area defined by a set of four scribe lines for that chip;
a second key means for specifying a second X and Y coordinate location on the chip, the second key means being located within the area defined by the set of four scribe lines
for that chip; and by a third key means for defining a
third X and Y coordinate location on the chip, the third key means being located within the
area defined by the set of four scribe lines for that chip, the first and second key means being arranged such that a straight line drawn through the first and second sets of X and Y coordinates is substantially parallel to and relatively close to one of the scribe lines and the third set of key means is located relatively close to another scribe line, said another scribe line and said one scribe line being substantially parallel to each other and located on opposite sides of the chip.
• t ·•t ·
2. Verbessertes Schlüsselsystem nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet,2. Improved key system according to claim 1, characterized in
daß jede der Schlüsseleinrichtungen wenigstens einen Satz zueinander paralleler Schlüssel zum Festlegen einer X-Koordinate
sowie wenigstens einen weiteren Satz zueinander paralleler Schlüssel zum Festlegen einer Y-Kpordinate
umfaßt, wobei der genannte wenigstens eine Satz zueinander paralleler Schlüssel und der genannte
wenigstens eine weitere Satz zueinander paralleler Schlüssel relativ nahe beieinander angeordnet sind.that each of the key devices comprises at least one set of mutually parallel keys for defining an X coordinate
and at least one further set of mutually parallel keys for defining a Y coordinate,
wherein said at least one set of mutually parallel keys and said at least one further set of mutually parallel keys are arranged relatively close to one another.
3. Verbessertes Schlüsselsystem nach Anspruch 1,3. Improved key system according to claim 1,
dadurch gekennzeichnet, daß die erste Schlüsseleinrichtung und die zweite Schlüsseleinrichtung relativ weit voneinander
beabstandet sind und die dritte Schlüsseleinrichtung von der ersten und der zweiten Schlüsseleinrichtung
relativ weit entfernt ist.characterized in that the first key device and the second key device are relatively far apart from each other and the third key device is relatively far away from the first and second key devices.
4. Verbessertes Schlüsselsystem nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß die erste Schlüsseleinrichtung
und die zweite Schlüsseleinrichtung relativ weit voneinander beabstandet sind und die dritte Schlüsseleinrichtung
von der ersten und der zweiten Schlüsseleinrichtung relativ weit entfernt ist.4. Improved key system according to claim 2, characterized in that the first key device
and the second key device are spaced relatively far apart from each other and the third key device
is relatively far away from the first and second key devices.