DE212005000023U1 - Mobile PVD / CVD coating center - Google Patents

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Abstract

PVD- und/oder CVD-Beschichtungszentrum mit mindestens einem PVD- und/oder CVD-System (12) sowie mit weiteren Ausrüstungen und Versorgungseinrichtungen zum Versorgen des Beschichtungssystems und weiterer Ausrüstung, dadurch gekennzeichnet, dass das Beschichtungssystem (12) und die weitere Ausrüstung (13 bis 15) und/oder Versorgungseinrichtungen (16 bis 19') vormontiert innerhalb mindestens eines industriellen Moduls (1 bis 6) untergebracht sind, und dass Mittel (27, 29 bis 34, 38 bis 41 bis 45, 50) vorgesehen sind, um das Beschichtungszentrum aus einem Transportzustand in einen Produktionszustand umzubauen und umgekehrt.PVD and / or CVD coating center with at least one PVD and / or CVD system (12) as well as other equipment and utilities for supplying the coating system and other equipment, characterized in that the coating system (12) and the further equipment (13 to 15) and / or utilities (16 to 19 ') pre-assembled housed within at least one industrial module (1 to 6) are, and that means (27, 29 to 34, 38 to 41 to 45, 50) are provided are to the coating center from a transport state in one Convert production state and vice versa.

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Description

Hintergrundinformationbackground information

Diese Erfindung bezieht sich auf ein PVD- und/oder CVD-Beschichtungszentrum nach Anspruch 1 und Anspruch 10 und auf ein Verfahren zum Aufbauen eines Beschichtungszentrums aus einem Industriemodul entsprechend dem Anspruch 15. Der Aufbau von Produktionszentren für das Geschäft mit PVD- oder CVD-Beschichtungsaufträgen ist heutzutage eine kostspielige und langwierige Aufgabe für jeden Investor. Die Kostenuntergrenzen für kleine Unternehmen mit einer einzigen PVD/CVD-Anlage und einem Minimum an peripherer Ausrüstung belaufen sich normalerweise auf mindestens 1,3 bis 2 Millionen Euro für ein Zentrum mit nur einer PVD/CVD-Anlage, einschließlich Betriebsgebäuden und Standard-Produktionsausrüstung.These This invention relates to a PVD and / or CVD coating center according to claim 1 and claim 10 and to a method of building a coating center from an industrial module accordingly claim 15. The establishment of production centers for the PVD business or CVD coating jobs is a costly and tedious task for everyone today Investor. The lower cost limits for small businesses with one single PVD / CVD system and a minimum of peripheral equipment usually at least 1.3 to 2 million euros for a center with only one PVD / CVD plant, including farm buildings and Standard production equipment.

Dieser hohe Investitionsbetrag entsteht aus der Tatsache, dass der Bau neuer Beschichtungszentren in den meisten Fällen eine Anpassung der Arbeitsabläufe, der Infrastruktur und manchmal sogar der Beschichtungsausrüstung an die lokalen Räumlichkeiten verlangt, vor allem wenn die Beschichtungszentren in vorhandene Gebäude integriert werden sollen.This high amount of investment arises from the fact that the construction new coating centers in most cases an adjustment of work processes, infrastructure and sometimes even the coating equipment to the local premises especially when the coating centers in existing building to be integrated.

Darüber hinaus liegt der Zeitbedarf zum Planen und Fertigstellen eines Beschichtungszentrums bis zum Produktionsstart normalerweise bei mindestens 4 Monaten bis zu einem Jahr und mehr, abhängig von lokalen Anforderungen und Standardisierungsbedarfen.Furthermore is the time required to plan and finish a coating center until to start production normally at least 4 months to to a year and more, depending of local requirements and standardization requirements.

Weil für Beschichtungsaufträge kurze Auslieferzeiten entscheidend sind, müssen Beschichtungszentren innerhalb des geographischen Umkreises ihrer wichtigsten Kunden angesiedelt werden, damit wettbewerbsfähige Dienstleistungen und Preise gewährleistet werden können. Deshalb können viele kleinere (unterkritische) Märkte mit einem festgestellten Bedarf an Beschichtungsdienstleistungen nicht in einer zufrieden stellenden Weise bedient werden, weil das Marktpotenzial deutlich unterhalb einer wirtschaftlich machbaren Schwelle liegt, die es erlauben würde, ein neues Beschichtungszentrum zu bauen. Bestehende Beschichtungszentren sind dagegen zu weit entfernt, um eine kostengünstige Belieferung mit beschichteten Normwerkzeugen oder Bauteilen zu ermöglichen.Because short for coating jobs Delivery times are critical, coating centers must be within the geographical area of their most important customers become competitive Services and prices guaranteed can be. That's why many smaller (subcritical) markets with one detected Need for coating services not satisfied because the market potential is significant below an economically feasible threshold, it is would allow to build a new coating center. Existing coating centers On the other hand, they are too far away to provide a cost-effective supply of coated ones Standard tools or components.

Kurzfassung der Erfindungshort version the invention

Deshalb ist es die Aufgabe der Erfindung, ein „mobiles", kompaktes und kostengünstiges PVD- und/oder CVD-Beschichtungszentrum zu schaffen, das aus einem Transportzustand innerhalb einer sehr kurzen Zeitspanne in einen Produktionszustand zusammengesetzt oder umgekehrt rasch demontiert werden kann, wenn aus wirtschaftlichen oder sonstigen Gründen ein Ortswechsel notwendig sein sollte.Therefore It is the object of the invention, a "mobile", compact and inexpensive PVD and / or CVD coating center to create that from a Transport state within a very short period of time in one Production state assembled or vice versa quickly disassembled can, if for economic or other reasons a Change of location should be necessary.

Ein solches Beschichtungszentrum kann in mindestens einem transportablen industriellen Modul untergebracht werden, in dem zumindest Teile der Produktionsausrüstung unter Einschluss einer PVD/CVD-Anlage, Reinigungs-, Abblas- und Entschichtungsvorrichtungen, sowie grundlegende technische Infrastruktur wie Was seraufbereitung und -wiedergewinnung, Druckluftversorgung, Gasversorgung, Energieverteilung, Klimatisierung und dergleichen vormontiert und, so weit notwendig, mit einer Transportverriegelung versehen sind. Dasselbe kann vorgesehen werden für zusätzliche Produktionserfordernisse wie Wareneingang und -ausgang, Lagerregale, Aufenthaltsraum/Empfang oder dergleichen. Darüber hinaus können Teile der industriellen Module (z. B. Transportwände) dazu ausgelegt werden, zusätzliche Räume und/oder ein erhöhtes Dach über der PVD-Anlage zu bilden, wenn diese aus dem Transportzustand in den Produktionszustand umgebaut wird. Abhängig vom Anteil vormontierter Komponenten kann ein solches Beschichtungszentrum innerhalb nur eines oder weniger Tage in den Produktionszustand umgebaut werden, indem im Wesentlichen Transportverriegelungen entfernt werden, einige Gas-, Druckluft-, Wasser- und Stromleitungen innerhalb des Zentrums zusammengesteckt werden, und das Zentrum an die öffentliche Strom- und Wasserversorgung angeschlossen wird. Infolge eines hohen Anteils standardisierter Elemente können die Investitionskosten im Vergleich mit einem konventionellen Zentrum gering sein, das heißt zwischen 0,5 und 1 Million Euro für ein Zentrum mit einer PVD-/CVD-Ausrüstung.One Such coating center may be in at least one transportable industrial module are housed, in which at least parts the production equipment including a PVD / CVD system, cleaning, blow-off and Decoating devices, as well as basic technical infrastructure such as water treatment and recovery, compressed air supply, Gas supply, power distribution, air conditioning and the like pre-assembled and, as far as necessary, with a transport lock are provided. The same can be provided for additional production requirements such as goods receipt and exit, storage shelves, lounge / reception or similar. About that can out Parts of the industrial modules (eg transport walls) are designed to additional Rooms and / or an elevated one Roof over the PVD plant form, if this from the transport state in the Production state is rebuilt. Depending on the proportion of pre-assembled Components can be such a coating center within only one or a few days to be converted into the production state, by removing some transport latches, some Gas, compressed air, water and power lines within the center and the center to the public electricity and water supply is connected. Due to a high proportion of standardized Elements can the investment costs compared to a conventional center be low, that is between 0.5 and 1 million euro for a center with PVD / CVD equipment.

Dementsprechend ist die vorliegende Erfindung auf ein PVD- und/oder CVD-Beschichtungszentrum gerichtet, das mindestens ein PVD- und/oder CVD-System sowie andere Ausrüstungen und Versorgungseinrichtungen umfasst, um das Beschichtungssystem und die weiteren Ausrüstungen zu versorgen, wobei das Beschichtungssystem und die weiteren Ausrüstungen und/oder Versorgungseinrichtungen vormontiert innerhalb mindestens eines industriellen Moduls und/oder auf einer industriellen Plattform zusammengefasst sind, und Mittel zum Umbauen des Beschichtungszentrums aus dem Transport- in den Produktionszustand und umgekehrt vorgesehen sind.Accordingly For example, the present invention is directed to a PVD and / or CVD coating center directed, the at least one PVD and / or CVD system and others equipment and utilities includes to the coating system and the other equipments to supply, with the coating system and other equipment and / or utilities premounted within at least an industrial module and / or on an industrial platform and means for rebuilding the coating center from the transport to the production state and vice versa are.

Ein Modul oder industrieller Modul gemäß der vorliegenden Erfindung ist ein Container, der zumindest Teile der technischen Ausrüstung und/oder Versorgungseinrichtungen eines PVD- und/oder CVD-Beschichtungszentrums in einem vormontierten Zustand trägt und zum Transport verwendet werden kann, sowie nach dem Umbau in den Produktionszustand zum Betreiben zumindest der vormontierten Ausrüstung und/oder Versorgungseinrichtungen verwendbar ist. Der Modul ist zugänglich, wenn er im Produktionszustand ist, um Zutritt zur Ausrüstung und/oder zu den Versorgungseinrichtungen zu erlauben, und um den Modul als Beschichtungszentrum oder als Teil des Beschichtungszentrums zu betreiben.A module or industrial module according to the present invention is a container that carries at least parts of the technical equipment and / or supply facilities of a PVD and / or CVD coating center in a pre-assembled state and can be used for transport, as well as after conversion into the producti onszustand for operating at least the pre-assembled equipment and / or utilities is usable. The module is accessible when in production condition to allow access to equipment and / or utilities, and to operate the module as a coating center or as part of the coating center.

Eine modulare Plattform gemäß der vorliegenden Erfindung ist eine Plattform, die zumindest Teile der technischen Ausrüstung und/oder Versorgungseinrichtungen eines PVD- und/oder CVD-Beschichtungszentrums in einem vormontierten Zustand trägt und zum Transport verwendet werden kann, sowie nach dem Umbau in den Produktionszustand zum Betreiben zumindest der vormontierten Ausrüstung und/oder Versorgungseinrichtungen verwendbar ist. Die Plattform ist zugänglich, wenn sie im Produktionszustand ist, um Zutritt zur Ausrüstung und/oder zu den Versorgungseinrichtungen zu erlauben. Transportwände und Decken, eine Planenabdeckung oder dergleichen können zum Schutz der technischen Ausrüstung und/oder Versorgungseinrichtungen während des Transports vorgesehen werden. Eine modulare Plattform kann die Basis eines industriellen Moduls sein. Die Plattform ist im Produktionszustand zugänglich, um Zutritt zur Ausrüstung und/oder zu den Versorgungseinrichtungen zu erlauben, und um den Modul als Teil des Beschichtungszentrums zu betreiben.A modular platform according to the present Invention is a platform that at least parts of the technical equipment and / or supply facilities of a PVD and / or CVD coating center in a pre-assembled state and used for transport can be, as well as after the conversion into the production state for Operating at least the pre-assembled equipment and / or utilities is usable. The platform is accessible when in production is to gain access to equipment and / or to allow the utilities. Transport walls and Ceilings, a tarpaulin cover or the like can protect the technical equipment and / or utilities provided during transportation become. A modular platform can be the basis of an industrial Be module. The platform is accessible in the production state, to access the equipment and / or to allow the utilities, and the module as Operate part of the coating center.

Weiteres Zubehör eines Beschichtungszentrum kann Ausrüstungen zur Vor- oder Nachbehandlung umfassen, wie Bürst-, Abblas- oder Mikrostrahl-Einheiten zum mechanischen Behandeln, Reinigungs- und/oder Entschichtungseinheiten für die chemische Behandlung, einen Entgasungsofen zur thermischen Behandlung und dgl. sowie Qualitätskontrolle, Analyseausrüstungen sowie Wareneingang/-ausgang oder dergleichen.additional equipment A coating center can equip equipment for pre- or post-treatment include, as brush, Blow-off or micro-jet units for mechanical treatment, cleaning and / or stripping units for the chemical treatment, a degassing furnace for thermal treatment and the like as well as quality control, analysis equipment as well as incoming / outgoing goods or the like.

Als eine Infrastruktur zum Betreiben der Ausrüstung ist üblicherweise mindestens eine der folgenden Vorrichtungen oder Peripheriegeräte in ein modulares Beschichtungszentrum integriert:

  • a) eine Prozessgasversorgung für Gase wie Argon oder andere Inertgase, für Wasserstoff, Stickstoff, Methan, Ethan, Ethylen, Acetylen, Silane und dergleichen;
  • b) eine Energieversorgung wie einen Hauptschaltschrank, eine Energieverteilung wie ein modulares Stromnetz und andere elektrische Versorgungseinrichtungen wie Transformatoren oder Spannungsstabilisatoren;
  • c) eine Druckluftversorgung zum Abblasen, Säubern, zur Ventilsteuerung oder anderes;
  • d) eine Wasserverteilungs- und/oder -aufbereitungseinheit zur Temperatursteuerung des Beschichtungssystems oder der Ausrüstung, zum Bereitstellen einer Reinigungs- und/oder Entschichtungseinheit;
  • e) weitere Versorgungseinrichtungen wie eine Steuerkonsole, ein Telefonsystem und -leitungen und sonstiges.
As an infrastructure for operating the equipment, typically at least one of the following devices or peripherals is integrated into a modular coating center:
  • a) a process gas supply for gases such as argon or other inert gases, for hydrogen, nitrogen, methane, ethane, ethylene, acetylene, silanes and the like;
  • b) a power supply such as a main cabinet, a power distribution such as a modular power grid and other electrical utilities such as transformers or voltage stabilizers;
  • c) a compressed air supply for blowing off, cleaning, for valve control or other;
  • d) a water distribution and / or treatment unit for controlling the temperature of the coating system or equipment, for providing a cleaning and / or stripping unit;
  • e) other utilities such as a control console, a telephone system and lines and others.

Zusätzlich werden jedenfalls für die Punkte a) bis c) schnell füg- und lösbare Verbindungssysteme für Stromleitungen, Druckluft- und/oder Gasrohre von Vorteil sein, um schnelle Verbindungen zwischen den Modulen oder Plattformen bereitzustellen.In addition will be at least for the points a) to c) quickly add and detachable Connection systems for Power lines, compressed air and / or gas pipes be beneficial to provide fast connections between the modules or platforms.

Mittel zum Umbau des Beschichtungszentrums aus dem Transport- in den Produktionszustand können zumindest eines der folgenden umfassen: eine abnehmbare Wand, einen Transportdeckel, eine Decke, eine Abdeckplane, eine Abdichtung, eine Haube, einen Schutzschild, Zentriermittel, Montagevorrichtungen, eine Transportverriegelung oder dergleichen.medium for the conversion of the coating center from the transport to the production state can at least one of the following: a removable wall, a transport lid, a blanket, a tarpaulin, a seal, a hood, a Protective shield, centering, mounting devices, a transport lock or similar.

Das Beschichtungszentrum kann in seiner Minimalausstattung nur einen einzigen Modul umfassen, wird aber normalerweise 2 oder mehr Module entsprechend dem Bedarf an der jeweiligen Produktionsstätte umfassen. Ein später im Detail beschriebenes, aus vier Modulen bestehendes Zentrum kann ein guter Kompromiss sein, wenn die vollständige Ausrüstung für eine kleine Insellösung benötigt wird. Kleinere Zentren sind eher angebracht, wenn die Vor- und/oder Nachbehandlung wie Reinigungs-, Abblas- oder Entschichtungsvorgänge an anderen Produktionsstätten ausgeführt werden kann. Es ist anzumerken, dass solche Zentren infolge ih res modularen Aufbaus rasch in Anpassung an wachsende Geschäfte und Umsätze ausgebaut werden können. Durch Schnellverbindungssysteme für Stromleitungen, Druckluft- und/oder Gasrohre zum Herstellen der gegenseitigen Verbindungen wird rasches Aufbauen ebenso wie der Ausbau bestehender Zentren ermöglicht. Zusätzlich können abnehmbare Wände vorgesehen werden, um bei Bedarf mehr Raum für Betriebsgebäude zu schaffen.The Coating center can only one in its minimal equipment single module, but will normally be 2 or more modules accordingly the needs of the respective production site. A later in detail described, consisting of four modules center can be a good Compromise if the complete equipment for a small one stand-alone solution need becomes. Smaller centers are more appropriate if the pros and / or Post-treatment such as cleaning, blow-off or de-coating processes on others manufacturing accomplished can be. It should be noted that as a result of such res modular design rapidly adapting to growing businesses and revenues can be expanded. By Quick connection systems for Power lines, compressed air and / or gas pipes for producing the Mutual connections will build quickly as well as the Expansion of existing centers allows. additionally can removable walls provided to create more space for factory buildings when needed.

Im Falle von an Ort und Stelle vorhandenen Betriebsgebäuden können industrielle Plattformen anstelle von oder zusammen mit industriellen Modulen verwendet werden, sofern kein Bedarf mehr besteht, eine Umhausung zum Schutz des Zentrums vor Umgebungseinflüssen vorzusehen. Jedoch können gleich wie bei den Industriemodulen Wände vorgesehen werden, um weiteren Platz für Betriebsgebäude schaffen zu können, wenn dies notwendig ist.in the Traps of existing on-site industrial buildings can be industrial Platforms instead of or together with industrial modules used, if there is no more need, a housing to protect the center from environmental influences. However, you can do the same as with the industrial modules walls be provided to create more space for business premises to be able to if necessary.

Einer der Hauptvorteile eines Zentrums mit wenigstens einigen der vorerwähnten Merkmale ist, dass bei Verwendung von vormontierten Modulen oder Plattformen, die aus mindestens einem, aber meistens mehreren trennbaren Elementen zusammengesetzt sind, in denen alle für eine Teil- oder Vollproduktion erforderlichen Ausrüstungen ebenso wie die diesbezügliche Infrastruktur – wie erwähnt, Versorgungseinrichtungen oder Peripheriegeräte – untergebracht sind, diese Module oder Plattformen derart voneinander getrennt werden können, dass sie als Container per Lastwagen, Schiffsfracht oder gegebenenfalls per Flugzeug transportiert werden können.One of the main advantages of a center having at least some of the aforementioned features is that when using pre-assembled modules or platforms composed of at least one, but mostly multiple separable elements, all of which are part or full production equipment, as well as the related infrastructure - as mentioned utilities or peripherals - are housed, these modules or platforms can be separated so that they can be transported as containers by truck, ship or possibly by air.

Infolge dieses modularen Konzeptes ist es möglich, ein schlüsselfertiges Zentrum für eine PVD-/CVD-Beschichtung bei Bedarf innerhalb einiger Tage an jeder Produktionsstätte aufzubauen.As a result This modular concept makes it possible to have a turnkey Center for a PVD / CVD coating if needed within a few days every production facility build.

Die meisten Zentren sind in mindestens zwei Haupt-Teilbereiche unterteilt: einen Produktionsbereich, in dem Teile behandelt werden, und einen Versorgungsbereich, in dem die zum Betreiben der Ausrüstung benötigten Versorgungseinrichtungen untergebracht sind. Diese Bereiche sind normalerweise aus Gründen der Sicherheit des Bedienpersonals, Abwärme, Lärm und Sauberkeit durch Wände voneinander getrennt. Während das Bedienpersonal in der meisten Zeit im Produktionsbereich arbeitet, wird Wartungspersonal die Erlaubnis haben, den Versorgungsbereich hauptsächlich für Service und Wartung zu betreten. Die Trennung und die Größe der Bereiche sollten angepasst werden, wenn die Ausrüstung oder Teile davon so aufgebaut sind, dass Versorgungseinrichtungen in der Ausrüstung selbst integriert sind. Dies bedeutet in der Regel, dass einige Vorrichtungen mehrfach in dem Zentrum vorhanden sind – z. B. Wasserversorgung für das Beschichtungssystem, für die Reinigungseinheit und die Entschichtungseinheit –, Maßnahmen, die einerseits den für den Versorgungsbereich benötigten Bauraum minimieren können, aber andererseits die Herstellkosten der Ausrüstung erhöhen. Ein Fachmann wird in der Lage sein, über die angemessene Ausgewogenheit von Ausrüstungsintegration und Raumbedarf eines Versorgungsbereichs entsprechend der benötigten Ausrüstungsbauart und den zu befolgenden Sicherheitsvorschriften zu entscheiden.The Most centers are divided into at least two main subareas: a production area where parts are handled and one Supply area, in which the utilities required to operate the equipment are housed. These areas are usually for the sake of Safety of operating personnel, waste heat, noise and cleanliness through walls from each other separated. While the operator works in the production area most of the time, Maintenance personnel will have permission to access the service area mainly for service and to enter maintenance. The separation and the size of the areas should be adjusted if the equipment or Parts of it are constructed so that utilities in the equipment themselves are integrated. This usually means that some devices several times in the center are present - z. B. water supply for the coating system, for the Cleaning unit and the stripping unit - measures, on the one hand, for the supply area required Minimize space, but on the other hand increase the manufacturing cost of the equipment. A specialist will be in the Be able to over the appropriate balance of equipment integration and space requirements a supply area according to the required equipment type and the one to be followed Safety rules to decide.

Weitere Bereiche können ein Lagerbereich sein, in dem Verbrauchsstoffe und Ersatzteile gelagert werden, ein Eingangs-/Ausgangsbereich für Waren, ein Aufenthaltsraum und sonstiges. Diese Bereiche können aus vormontierten Modulen oder – soweit kein Bedarf an Vormontage besteht- aus abnehmbaren Wänden oder auch aus Transportwänden bestehen, die nach dem Zusammenbau der Module nicht mehr benötigt werden. Letzteres ermöglicht eine Reduzierung des Transportvolumens und der Kosten des Zentrums, ohne eine wesentliche Verzögerung der Aufbauzeit zu verursachen.Further Areas can be a storage area where consumables and spare parts are stored become, an entrance / exit area for goods, a lounge and others. These areas can from pre-assembled modules or - if not Need for pre-assembly consists of removable walls or also consist of transport walls, which are no longer needed after assembly of the modules. The latter allows a reduction of the transport volume and the costs of the center, without a significant delay in the To cause build-up time.

Wenn weiterer Bedarf an Baumaterial besteht, können zusätzliche Wand-, Boden- oder Dachelemente während des Transports in den Modulen untergebracht werden, und später an der Produktionsstätte zusammengesetzt werden.If Further demand for building material, additional wall, floor or roof elements while the transport in the modules are housed, and later at the Production facility be assembled.

Um ein solches schlüsselfertiges PVD-Beschichtungszentrum aufzubauen, werden nur geringe örtliche Vorkehrungen benötigt, darunter ein Fundament zum Tragen des modularen Zentrums, ein Trinkwasseranschluss, eine Abwasserleitung, ein Stromanschluss und vielleicht eine Telefonleitung. Ein zusätzlicher Dieselgenerator und ein Wassertank könnten je nach örtlichen Gegebenheiten benötigt werden. Was das Fundament angeht, dürfte eine Fläche mit der Tragkraft eines ordentlichen Parkplatzes, z. B. mit einer Beton-Grundplatte, genügen, um den Stützbedarf eines Moduls, der ein Gewicht von 10 bis 30 Tonnen haben kann, zu erfüllen.Around such a turnkey Build PVD coating center, are only low local Precautions needed including a foundation for supporting the modular center, a drinking water connection, a sewer, a power connection and maybe a telephone line. One additional Diesel generator and a water tank could vary depending on the local Conditions are needed. As far as the foundation is concerned, it is likely an area with the capacity of a proper parking lot, z. B. with a Concrete base plate, suffice, for the support needs a module that can have a weight of 10 to 30 tons, too fulfill.

Kurzbeschreibung der ZeichnungenSummary the drawings

Das Folgende ist eine Beschreibung einiger spezieller Ausführungsformen der Erfindung unter Bezug auf die Beispiel-Zeichnungen, die zeigen:The The following is a description of some specific embodiments of the invention with reference to the example drawings, which show:

1 eine schematische Ansicht eines Einmodul-Beschichtungszentrums, 1 a schematic view of a single-module coating center,

2 einen Modul mit einer Haube, 2 a module with a hood,

3 einen Querschnitt durch eine vormontierte Ausrüstung, 3 a cross section through a pre-assembled equipment,

4 einen Grundriss von vier Modulen im Transportzustand, 4 a floor plan of four modules in the transport state,

5 einen Grundriss von vier Modulen im Produktionszustand, 5 a floor plan of four modules in the production state,

6 eine Bereichsunterteilung innerhalb eines Viermodul-Zentrums, 6 an area division within a four-module center,

7 eine aufgebaute Transportwand, 7 a constructed transport wall,

8 ein Beispiel eines Befestigungssystems, 8th an example of a fastening system,

9 Module mit abgenommenen Transportwänden, 9 Modules with removed transport walls,

10 Module mit Zentrierelementen, 10 Modules with centering elements,

11 Module mit Montagevorrichtungen, 11 Modules with mounting devices,

12 Verbrauchszahlen eines Viermodul-Zentrums, 12 Consumption figures of a four-module center,

13 ein modulares Beschichtungszentrum für Gebäudeeinsatz. 13 a modular coating center for building use.

Detaillierte Beschreibungdetailed description

Abhängig vom Ausrüstungsbedarf des Beschichtungszentrums, werden ein bis n Module zum Aufbau eines Beschichtungszentrum benötigt. 1 stellt einen Grundriss eines kleinen Zentrums im Produktionszustand dar, das nur einen Modul 1 und die damit verbundene für die Produktion benötigte Infrastruktur umfasst. Öffnungen für Türen 24 und Fenster 25 können für den Transport durch abnehmbare Wände oder Schutzschilde 25' wie unten erwähnt geschlossen werden. Der Modul ist in zwei Bereiche unterteilt:

  • – einen Produktionsbereich 7, der mit einem Beschichtungssystem 12, einer Lade-/Entladestation 20 und Regalen 22 zum Lagern von ein- und ausgehenden Stücken und Halterungen für die zu beschichtenden Teile ausgestattet ist,
  • – einen Versorgungsraum 8, der in der Zeichnung nicht im Detail gezeigte Versorgungseinrichtungen 26 für das Beschichtungssystem enthält, wie eine Pumpeneinheit, einen Systemschaltschrank und dergleichen, sowie gemeinsame Versorgungseinrichtungen wie eine Prozessgasversorgung 16, einen Hauptschaltschrank 17 zum Versorgen des gesamten Moduls 1, Druckluftversorgung 18 und eine Wasserverteil- und -aufbereitungseinheit 19.
Depending on the equipment requirements of the coating center, one to n modules are needed to set up a coating center. 1 represents a floor plan of a small center in the production state, the only one module 1 and associated infrastructure needed for production. Openings for doors 24 and windows 25 Can be transported through removable walls or shields 25 ' be closed as mentioned below. The module is divided into two sections:
  • - a production area 7 that with a coating system 12 , a loading / unloading station 20 and shelves 22 is equipped for storing in and outgoing pieces and supports for the parts to be coated,
  • - a supply room 8th , The utilities not shown in detail in the drawing 26 for the coating system includes, such as a pump unit, a system cabinet and the like, as well as common utilities such as a process gas supply 16 , a main switchboard 17 to supply the entire module 1 , Compressed air supply 18 and a water distribution and processing unit 19 ,

Bezüglich der Abmessungen eines Industriemoduls 1 muss berücksichtigt werden, dass die Innenhöhe den Produktionsanforderungen entsprechen muss, ebenso wie allgemeinen örtlichen Vorschriften, damit das Zentrum als eine Standard-Produktionseinheit betrieben werden kann. Deshalb liegt die typische Innenhöhe eines solchen Moduls zwischen 2,5 und 2,9 m. Kleinere Abmessungen können für Versorgungsmodule oder andere Elemente genommen werden, wenn der Zugang z. B. auf Servicepersonal beschränkt ist. Zugleich sollten die Außenabmessungen im Hinblick auf die Transportfähigkeit auf eine Maximallänge von üblicherweise 12,2 m und eine Maximalhöhe und/oder Breite von 3 m (oder 40 Fuß·10 Fuß·10 Fuß) beschränkt werden, was ISO-Normabmessungen von Transportcontainern für Land-, Schiffs- und Luftfracht sind. Das bedeutet, dass die typische Fläche eines solchen Moduls etwa 36 m2 beträgt. Gewichtsbeschränkungen können ebenfalls ein zu berücksichtigender Gesichtspunkt sein, aber normalerweise ist Übergröße der Hauptgrund, der Transporte sehr viel schwieriger und teurer macht.Regarding the dimensions of an industrial module 1 It must be taken into account that the internal height must comply with the production requirements, as well as general local regulations, so that the center can be operated as a standard production unit. Therefore, the typical internal height of such a module is between 2.5 and 2.9 m. Smaller dimensions may be taken for utility modules or other items when access is restricted to e.g. B. is limited to service personnel. At the same time, the outer dimensions should be limited in terms of transportability to a maximum length of usually 12.2 m and a maximum height and / or width of 3 m (or 40 feet x 10 feet x 10 feet), which is the ISO standard dimensions of transport containers for land -, ship and air freight are. This means that the typical area of such a module is about 36 m 2 . Weight restrictions may also be an issue to consider, but usually oversize is the main reason that makes transportation much more difficult and expensive.

Allgemein gesagt ist es sinnvoll, sich an Standard-Containerabmessungen zu halten, und da sowohl der Modul als auch die Plattform im Produktionszustand oder zu Wartungszwecken zugänglich sein sollten, sollten die Außenabmessungen nicht deutlich unter einem 3 m·2,4 m·2,4 m (oder 10 Fuß·8 Fuß·8 Fuß) ISO-Normcontainer bzw. 3 m·2,4 m (oder 10 Fuß·8 Fuß) liegen.Generally said it makes sense to adhere to standard container dimensions and both the module and the platform are in production or accessible for maintenance purposes should, should the outside dimensions not significantly below a 3m x 2.4 m x 2.4 m (or 10 feet x 8 feet x 8 feet) ISO standard containers or 3 m · 2.4 m (or 10 feet x 8 feet).

Aufgrund von Abmessungsvorgaben wie vorerwähnt sollten zumindest die Transportabmessungen der Ausrüstung an die Innenabmessungen des Containers angepasst werden. Weil im Falle von PVD-/CVD-Beschichtungszentren normalerweise das Beschichtungssystem 12 das Ausrüstungsteil mit dem größten Höhenmaß ist, ist die Auswahl eines vergleichsweise kleinen Beschichtungssystems mit hoher Produktivität wesentlich, um die Anforderungen an ein modulares Zentrum zu erfüllen. Geeignete Beschichtungssysteme wären beispielsweise die kommerziell verfügbaren RCS-, BAI 830- oder BAI 730-Systeme.Due to dimensional specifications as mentioned above, at least the transport dimensions of the equipment should be adapted to the inner dimensions of the container. Because in the case of PVD / CVD coating centers, usually the coating system 12 As the largest height piece of equipment is concerned, the selection of a relatively small coating system with high productivity is essential to meet the requirements of a modular center. Suitable coating systems would be, for example, the commercially available RCS, BAI 830 or BAI 730 systems.

Dessen ungeachtet könnte es notwendig oder von praktischem Nutzen sein, die Höhe wenigstens von Teilen eines Moduls nach dem Aufbau zu vergrößern. Dies kann dazu dienen, für Service-/Wartungszwecke einen besseren Zugang zum Oberteil des Beschichtungssystems zu schaffen, oder um einen verfahrbaren Förderwagen einzubauen, oder für jegliche andere Bedarfe der Produktion. 2 zeigt ein Beispiel, wie die Höhenabmessungen eines Moduls mittels einer Haube 27 vergrößert werden können. Für den Transport kann die Haube 27 innerhalb eines Moduls 1 bis 6 untergebracht werden, während die Öffnung durch einen Transportdeckel 28 verschlossen wird. Als Alternative können solche Erweiterungen auch mittels abnehmbarer Transportwände geschaffen werden, die nicht mehr benötigt werden, wenn das Beschichtungszentrum für eine Produktion aufgebaut ist. Der Transportdeckel kann während des Transports entsprechend den Ausführungen zu den 6/7 gehalten werden.Nevertheless, it might be necessary or of practical use to increase the height of at least portions of a module after assembly. This may serve to provide better access to the top of the coating system for service / maintenance purposes, or to install a traveling trolley, or for any other production needs. 2 shows an example, such as the height dimensions of a module by means of a hood 27 can be increased. For transportation, the hood can 27 within a module 1 to 6 be housed while opening through a transport lid 28 is closed. As an alternative, such extensions can also be provided by means of removable transport walls, which are no longer needed when the coating center is set up for production. The transport cover can during transport according to the comments on the 6 / 7 being held.

Um die Erfordernisse des Transports zu erfüllen, wie eine wasserdichte Außenhülle, Stabilität und sonstiges ebenso wie für Betriebserfordernisse wie Öffnungen für Türen, Fenster, Erweiterungen, statischer Aufbau, vormontierte Produktionseinrichtungen wie Stromleitungen, Druckluftleitungen, Gasleitungen und vorbestimmte Anschlüsse für externe Versorgungen und falls notwendig für weitere Module usw. können mehrere Anpassungen der Module vorgesehen werden.Around to meet the requirements of transportation, such as a waterproof Outer shell, stability and others as well as for Operating requirements such as openings for doors, windows, Extensions, static structure, pre-assembled production facilities such as power lines, compressed air lines, gas lines and predetermined connections for external supplies and if necessary for other modules, etc. can several adjustments of the modules are provided.

3 zeigt eine beispielhafte Konstruktion zum Befestigen eines Ausrüstungsstücks 46 auf dem Boden 48 eines Moduls 1. Ein Stahlgerüst 49 mit Bohrlöchern, Roststruktur oder anderen Mitteln zum Ermöglichen einer stabilen Verbindung mit dem bodenfesten Ausrüstungsstück 46 ist auf einer Unterrahmenstruktur 53 des Containers/Moduls 1 befestigt, was durch lösbare Mittel wie Schrauben und Muttern oder nicht lösbare Mittel wie Schweißraupen oder Nieten ausgeführt werden kann. Die bodenfeste Ausrüstung 46 kann dann mit Bodenschrauben 47 oder gleichwertigen Mitteln befestigt werden. Zusätzlich können weitere Boden-, Wand- oder Dachstrukturen dazu ausgelegt werden, z. B. Ausrüstungsstücke permanent daran festzulegen, bloß eine Transportverriegelung zu schaffen oder eine stabile und sichere Platzierung der Ausrüstung während der Produktion zu schaffen. Derartige Vorkehrungen sind für die Integration von schweren vormontierten Ausrüstungen und/oder die Beschichtungsanlage mit einem hoch liegenden Schwerpunkt innerhalb des Moduls von besonderer Bedeutung. 3 shows an exemplary construction for attaching a piece of equipment 46 on the ground 48 a module 1 , A steel scaffolding 49 with drilled holes, rust structure or other means to allow a stable connection to the ground-based piece of equipment 46 is on a subframe structure 53 of the container / module 1 attached, which can be carried out by releasable means such as screws and nuts or non-releasable means such as weld beads or rivets. The floor-mounted equipment 46 can then with ground screws 47 or equivalent means. Zusätz Lich further floor, wall or roof structures can be designed to z. For example, to permanently designate pieces of equipment merely to provide a transport lock or to provide a stable and secure placement of the equipment during production. Such arrangements are of particular importance for the integration of heavy preassembled equipment and / or the high center of gravity coating equipment within the module.

4 stellt einen Grundriss von vier verschiedenen Modulen 1 bis 4 im Transportzustand dar, die vor Ort zusammengebaut werden können, um ein Viermodul-Zentrum zu bilden, wie es in 5 dargestellt ist. Ein Transportdeckel 28 kann während der Produktion durch eine Haube 27 ersetzt werden, um die Höhe des Zentrums zu vergrößern, damit man leichten Zugang zum Oberteil des Beschichtungssystems 12 und zu Teilen der Geräte 26 des Beschichtungssystems hat. Schutzschilde 25' sind während des Transports abnehmbar an Sicherheitsfenstern 25 angebracht. Zusätzlich zu der zu 1 erwähnten Ausstattung sind bei dem vorliegenden Viermodul-Zentrum zwei Abblaseinheiten 13, eine Entschichtungseinheit 14, eine Reinigungseinheit 15, Möblierung 21, weitere Lagerregale 22, eine Sanitärausstattung 23 sowie Sitzgelegenheiten und Computerausrüstung in einer vormontierten Konfiguration vorgesehen. 4 presents a floor plan of four different modules 1 to 4 in the transport state, which can be assembled on-site to form a four-module center, as in 5 is shown. A transport cover 28 can through a hood during production 27 be replaced to increase the height of the center, allowing easy access to the top of the coating system 12 and to parts of the devices 26 of the coating system has. shields 25 ' are removable on security windows during transport 25 appropriate. In addition to the too 1 mentioned equipment are in the present four-module center two Abblaseinheiten 13 , a stripping unit 14 , a cleaning unit 15 , Furnishing 21 , other storage shelves 22 , a sanitary equipment 23 as well as seating and computer equipment in a preassembled configuration.

Transportwände 29 bis 34 können von den Modulen 1 bis 4 rasch abgenommen werden, um die Grundfläche des Viermodul-Zentrums zu erweitern. Bei dem speziellen Beispiel der 5 wurden Transportwände 29 bis 31, zusammen mit der Tür 24 sowie mit vorgefertigten Decken- und Bodenelementen -wobei die letzteren in der Zeichnung nicht weiter dargestellt sind- benutzt, um ein Magazin 9 aufzubauen, während Transportwände 32 bis 34 einschließlich Doppeltür 24' dazu benutzt werden, einen Eingangsbereich/Empfang 10 aufzubauen. Wenn zusätzliche Wände benötigt werden sollten, so können diese, wie andere vorgefertigte Elemente auch, während des Transports innerhalb der Module untergebracht und dann an der Produktionsstätte zusammengebaut werden.transport walls 29 to 34 can from the modules 1 to 4 be removed rapidly to expand the footprint of the four-module center. In the specific example of 5 were transport walls 29 to 31 , along with the door 24 and with prefabricated ceiling and floor elements - the latter being not shown in the drawing - used to a magazine 9 build while transport walls 32 to 34 including double door 24 ' be used to an entrance area / reception 10 build. If additional walls are needed, these, like other prefabricated elements, can be accommodated during transport within the modules and then assembled at the production facility.

6 zeigt die Bereichsunterteilung des vorliegenden Viermodul-Zentrums mit einem Produktionsbereich 7, Versorgungsraum 8, Magazin 9, Empfang 10 und Aufenthaltsraum 11. 6 shows the area division of the present four-module center with a production area 7 , Supply room 8th , Magazine 9 , Reception 10 and lounge 11 ,

Um eine hohe Mobilität zu erhalten und rasches Auf- und Abbauen des Zentrums zu ermöglichen, ist es ratsam, einen hohen Anteil oder sogar alle wesentlichen Teile der zum Betreiben des Beschichtungszentrums erforderlichen Ausstattung innerhalb der Transportmodule 1 bis 4 für die Produktion vormontiert vorzuhalten, und wo nötig mit Transportverriegelungen zu versehen. Sind die Module einmal hergestellt, so können alle Ausrüstungsteile getrennt in die Module eingebaut und befestigt werden. Gleichwohl könnte es von Vorteil sein, teilvorgerüstete Module zu verwenden, wenn örtliche Lieferanten für Basisgerätschaften wie Möblierung, Reinigungs- oder Sandstrahlausrüstungen und dgl. verfügbar sind, beispielsweise um Steuern zu sparen oder von Niedrigpreisen am Produktionsort profitieren zu können.In order to obtain high mobility and to enable rapid assembly and disassembly of the center, it is advisable to have a high proportion or even all essential parts of the equipment required for operating the coating center within the transport modules 1 to 4 pre-assembled for production and, where necessary, provided with transport locks. Once the modules have been manufactured, all equipment can be installed and fastened separately in the modules. However, it could be beneficial to use partially pre-equipped modules when local suppliers of basic equipment such as furniture, cleaning or sandblasting equipment and the like are available, for example, to save taxes or benefit from low prices at the production site.

Zusätzlich sollte, um elektrische und Gasversorgungsschnittstellen zu begrenzen, und um die Länge von Leitungen oder Rohren zu reduzieren, jedes Ausrüstungsteil zu nur einem Modul gehören, und Versorgungseinrichtungen wie Prozessgasversorgung 16 und Druckluftversorgung 18 ebenso wie Hauptschaltschrank 17 und Systemenergieschrank (beim vorliegenden Beispiel integriert in die Beschichtungssystem-Versorgung 26) sollten in demjenigen Modul angeordnet sein, in dem der höchste Bedarf an Gas, Druckluft, hoher elektrischer Leistung und sonstigem anfällt. Darum sind beim vorliegenden Beispiel die Gasversorgung 16, der Hauptschaltschrank 17 ebenso wie die Beschichtungssystem-Versorgung 26 im Modul 1 angeordnet, um das Beschichtungssystem 12 zu versorgen, während die Druckluftversorgung 18 in demselben Modul 2 wie die Abblas- oder Mikrostrahleinheiten 13 angeordnet ist.Additionally, in order to limit electrical and gas supply interfaces, and to reduce the length of conduits or pipes, each piece of equipment should belong to only one module, and utilities such as process gas supply 16 and compressed air supply 18 as well as main control cabinet 17 and System Energy Cabinet (integrated into the coating system supply in the present example 26 ) should be located in the module in which the highest demand for gas, compressed air, high electrical power and others is required. Therefore, in the present example, the gas supply 16 , the main switchboard 17 as well as the coating system supply 26 in the module 1 arranged the coating system 12 to supply while the compressed air supply 18 in the same module 2 like the blow-off or micro-jet units 13 is arranged.

Aus Gründen des raschen und einfachen Handlings sind die Versorgungs-Leitungs- und Rohrverbindungen zwischen den Modulen minimiert und werden mit in den Figuren nicht weiter gezeigten Schnelltrennverbindungen ausgestattet. Als ein Beispiel für die Energieversorgung ist der Hauptschaltschrank im Modul 1 angeordnet, während innerhalb jedes weiteren Moduls 2 bis 4 sekundäre Verteilerschränke -in den Figuren nicht gezeigt- vorgesehen sind. Während des Zusammenbaus des Zentrums können dann die Module 2 bis 4 einfach an die elektrische Versorgung angeschlossen werden, indem pro Modul nur ein Stecker gesteckt wird. Gleichartige Vorkehrungen können für die Wasser-, Gas- und Druckluftversorgung getroffen werden, da Schnelltrennverbindungen für jeglichen Typ von Gebäudeleitungen und -rohren heute leicht verfügbar sind. Für kritische Teile wie Vakuumrohre, Prozessgasleitungen, Bussysteme für die automatische Steuerung des Beschichtungssystems 12 und dergleichen müssen Schnittstellen zwischen den Modulen 1 bis 6 so weit wie möglich vermieden werden, um die Aufbauzeit vor Ort zu minimieren.For reasons of quick and easy handling, the supply line and pipe connections between the modules are minimized and are equipped with quick disconnect connections (not shown in the figures). As an example of the power supply, the main cabinet is in the module 1 arranged while within each further module 2 to 4 secondary distribution cabinets -not shown in the figures- are provided. During the assembly of the center then the modules can 2 to 4 Simply connect to the electrical supply by plugging only one plug per module. Similar arrangements can be made for water, gas and compressed air supply as quick disconnect connections for any type of building piping and pipes are readily available today. For critical parts such as vacuum tubes, process gas lines, bus systems for the automatic control of the coating system 12 and the like must have interfaces between the modules 1 to 6 be avoided as far as possible to minimize on-site assembly time.

Nach Kenntnisnahme von Beispielen für Beschichtungszentren wie in 1, 4 und 5 gezeigt wird jeder Fachmann in der Lage sein, in Größe und Ausstattung unterschiedliche industrielle Module zu konstruieren, um mobile Beschichtungszentren entsprechend den örtlichen Bedarfen und Kunden zu planen. Jedoch wird der Hauptschwerpunkt für jegliches kostengünstiges mobiles Beschichtungszentrum die Vormontage der Ausstattung und Geräte dahingehend sein, dass die Anzahl von Verbindungen und Schnittstellen zwischen den Modulen ebenso wie die Länge von Leitungen und Verkabelungen innerhalb der Module minimiert wird.After taking note of examples of coating centers as in 1 . 4 and 5 As will be shown, any person skilled in the art will be able to design different industrial modules in size and equipment to be mobile coating centers according to local needs and customers. However, for any low cost mobile coating center, the primary focus will be to pre-assemble the equipment and devices so as to minimize the number of interconnections and interfaces between the modules as well as the length of wires and cabling within the modules.

Wie oben erwähnt, müssen die Module so aufgebaut werden, dass sie für alle Transportarten geeignet sind, und die üblichen statischen Anforderungen und Widerstandskräfte eines Norm-Transportcontainers erfüllen. Das bedeutet auch, dass der Transportdeckel 28, die abnehmbaren Transportwände 29 bis 34 ebenso wie die Schutzschilde 25' vergleichbare Widerstandskräfte haben müssen und wasserdicht geschlossen werden können.As mentioned above, the modules must be designed to suit all types of transport and to meet the usual static and drag requirements of a standard shipping container. This also means that the transport cover 28 , the removable transport walls 29 to 34 as well as the shields 25 ' comparable resistance forces must have and can be closed watertight.

7 stellt eine aufgebaute Transportwand in der Transportstellung dar, während 8 ein Beispiel für ein Schnellbefestigungssystem zeigt. Vorzugsweise wird die Transportwand 50 an oberen und unteren Rahmenstrukturen 52, 53 eines Container-Modulsn 5 mit Befestigungsmitteln 51 (welche Schrauben, steckbare Auslösehebel oder dgl. sein können) befestigt. Eine Dichtung 35 ist zwischen die Transportwand 50 und die Rahmenstrukturen 52, 53 und den Container-Modul 5 eingelegt. Die Dichtung 35 kann als ein- oder mehrteilige Dichtung konzipiert sein und aus einem Elastomer, einem geeigneten Gewebe wie Neopren oder gleichartigen Materialien hergestellt sein. 7 represents a constructed transport wall in the transport position, while 8th an example of a quick-release system shows. Preferably, the transport wall 50 on upper and lower frame structures 52 . 53 a container module n 5 with fasteners 51 (which screws, pluggable release lever or the like. May be) attached. A seal 35 is between the transport wall 50 and the frame structures 52 . 53 and the container module 5 inserted. The seal 35 can be designed as a single or multi-part seal and be made of an elastomer, a suitable fabric such as neoprene or similar materials.

9 bis 11 geben ein Beispiel an, wie zwei Module, nämlich Moduln 5 und Moduln+1 6 zu kombinieren und aus dem Transport- in den Produktionszustand umzubauen sind. Für ein Zentrum mit n Modulen ist dieser Vorgang n-1 Mal zu wiederholen. Wenn die Module 5 und 6 aufeinander ausgerichtet wurden, umfassen erste Zusammenbauschritte, wie in 9 dargestellt, den Abbau der Transportwände 50 und das Einlegen der Dichtung 38 an ihre Stelle nahe dem Außenumriss der Verbindungs-Seitenwand des Moduls 5. Hinsichtlich Konstruktion und Material der Dichtung 38 kann auf die Transportdichtung 35 verwiesen werden. 9 to 11 give an example of how two modules, namely module n 5 and module n + 1 6 to be combined and converted from the transport to the production state. For a center with n modules, repeat this procedure n-1 times. If the modules 5 and 6 have been aligned with each other, include first assembly steps, as in 9 shown, the dismantling of the transport walls 50 and the insertion of the seal 38 in place near the outer contour of the connecting sidewall of the module 5 , Regarding construction and material of the seal 38 can on the transport seal 35 to get expelled.

Danach müssen der Moduln 5 und der Moduln+1 6 mittels eines Krans, durch Schieben oder dergleichen positioniert werden, um die Feinpositionierung mithilfe von Zentriermitteln 39 und 40 zu ermöglichen und die Module in ihrer Relativstellung vor dem endgültigen Verbinden zu zentrieren. Entsprechend dem in 10 gezeigten Beispiel wird die Feinpositionierung mithilfe einer Gewindestange 40 durchgeführt, die mit zwei an den Modulen 5 und 6 festlegbaren Ösen 39 mit gegenläufigen Gewinden zusammenwirkt, oder unter Verwendung zusätzlicher Muttern anstelle gegenläufiger Gewinde oder dergleichen. Nach der Feinpositionierung der Module 5, 6 können die Zentrierelemente 39 und 40 abgebaut werden.After that, the module n 5 and the module n + 1 6 be positioned by means of a crane, by pushing or the like, to the fine positioning by means of centering 39 and 40 and to center the modules in their relative position prior to final joining. According to the in 10 shown example, the fine positioning using a threaded rod 40 performed with two on the modules 5 and 6 fixable eyelets 39 cooperates with opposing threads, or using additional nuts instead of opposing threads or the like. After the fine positioning of the modules 5 . 6 can the centering elements 39 and 40 be reduced.

In 11 ist gezeigt, wie die endgültige Verbindung zweier Module 5, 6 montiert werden kann, um die Relativstellung der Module beizubehalten und eine zum Bilden einer wasserdichten Verbindung angemessene Kompression der Dichtung 38 zu schaffen. Zwei Beispiele für unterschiedliche Montageanordnungen werden beschrieben, die bedarfsentsprechend allein oder wie gezeigt gemeinsam verwendet werden können.In 11 is shown as the final connection of two modules 5 . 6 can be mounted to maintain the relative position of the modules and a compression of the seal which is adequate to form a watertight connection 38 to accomplish. Two examples of different mounting arrangements will be described, which may be used alone or as shown, as needed.

Eine flache Montagehilfsvorrichtung umfasst Gewindelöcher 41 in der unteren oder oberen Rahmenstruktur 53 (52) beider Module 5, 6, eine Montageplatte 42 und Montageschrauben 43. Sie kann wegen ihres flachen Aufbaus als Innenverbindung oder -im Dachbereich- auch als Außenverbindung benutzt werden.A flat mounting accessory includes threaded holes 41 in the lower or upper frame structure 53 ( 52 ) of both modules 5 . 6 , a mounting plate 42 and mounting screws 43 , It can also be used as an external connection because of its flat construction as internal connection or in the roof area.

Eine dachseitige Montagehilfsvorrichtung umfasst Verbindungsplatten 44, die an der oberen Rahmenstruktur 52 oder seitlich an den Außenwänden beider Module 5, 6 angebracht werden, wobei sie jeweils mittels mindestens einer Schraube 45 befestigt werden. Wegen ihrer abragenden Konstruktion ist die dachseitige Vorrichtung eher für Außen- als für Innenverwendung geeignet.A roofside mounting auxiliary device includes connection plates 44 attached to the upper frame structure 52 or laterally on the outer walls of both modules 5 . 6 be attached, each by means of at least one screw 45 be attached. Because of its protruding construction, the roof-side device is more suitable for outdoor than indoor use.

Wenn bei Mehrmodul-Zentren alle Module zusammengebaut und fest miteinander verschraubt sind, können die elektrischen, Gas- und/oder Druckluft-Schnittstellen mit Schnellverbindungsmitteln angeschlossen werden, entsprechend den vorstehend erörterten vormontierten Strukturen.If For multi-module centers, all modules are assembled and fixed together are bolted, can the electrical, gas and / or compressed air interfaces with quick connectors be connected, according to those discussed above pre-assembled structures.

Verbrauchsangaben unter Einschluss aller Geräte eines Viermodul-Zentrums sind in 12 angegeben.Consumption data including all devices of a four-module center are in 12 specified.

13 zeigt ein Beispiel eines modularen Beschichtungszentrums für den Innenraum-Einsatz in dem Fall, dass das Mieten oder Kaufen eines örtlichen Betriebsgebäudes 61 eine interessante Alternative im Hinblick auf Kostengesichtspunkte, anlässlich eines Gelegenheitskaufs oder dergleichen, sein sollte. Gleich wie bei den vorstehend erörterten Beschichtungszentren sind die Ausstattung und die Gerätelei tungen und -rohre vor dem Transport in einem Modul oder auf einer Plattform integriert und vormontiert, um so die Aufbauzeit in der Werkhalle zu verkürzen. 13 shows an example of a modular coating center for indoor use in the case of renting or buying a local business building 61 an interesting alternative in terms of cost considerations, on the occasion of a bargain purchase or the like should be. As with the coating centers discussed above, the equipment and equipment and tubes are integrated and pre-assembled in a module or on a platform prior to transport, thus shortening assembly time in the factory floor.

Jedoch werden in diesem Fall Transportmodule 54 bis 58 nicht mehr benötigt, um eine Gesamtumhausung für das Beschichtungszentrum zu bilden, sondern werden nur gebraucht, um Produktionsbereiche, wenn nötig, voneinander abzuteilen. Als Beispiel können sämtliche Geräte wie Prozessgas-Versorgung 16, Hauptschaltschrank 18, Wasserverteilung und -aufbereitung 19, Steuerkonsole 19' ebenso wie zusätzliche Geräte 62 wie Klimaanlage oder sonstiges nun in einem Modul 54 untergebracht werden. Dieser Modul sollte vom Rest der Betriebsgebäude wegen Lärm- und Hitzeentwicklung sowie aus Sicherheitsgründen getrennt bleiben. Alternativ könnte der Modul außerhalb der Gebäude 61 aufgestellt werden. Ein ähnlicher Fall liegt beim Abblasraum 56 infolge der Entwicklung von Staub und Lärm vor.However, in this case, transport modules will 54 to 58 no longer needed to form a total enclosure for the coating center, but are only needed to divide production areas apart if necessary. As an example, all devices such as process gas supply 16 , Main switchboard 18 , Water distribution and treatment 19 , Control panel 19 ' as well as additional devices 62 like air conditioning or other now in a module 54 be housed. This module should be kept separate from the rest of the premises due to noise and heat generation and for safety reasons. Alternatively, the module could be outside the building 61 be set up. A similar case lies with the blow-off room 56 as a result of the development of dust and noise.

Andere Module des vorliegenden Beispiels werden vormontiert entsprechend den üblichen Prozessschritten eines Beschichtungszentrums, die im Reinigen im Modul 58, Beschichten im Modul 55, Entschichten im Modul 57 und Abblasen im Modul 56 bestehen. Der Waren-Ein- und -Ausgang kann außerhalb der Module innerhalb des Gebäudes 61 vorgesehen werden.Other modules of the present example are preassembled according to the usual process steps of a coating center, which in cleaning in the module 58 , Coating in the module 55 , Stripping in the module 57 and blowing off in the module 56 consist. The goods entry and exit can be outside the modules within the building 61 be provided.

Eine vorgefertigte Medienleitung 60 bringt alle benötigten Medien (Wasser, elektrische Energie, Gas, Druckluft und sonstiges nach Bedarf) aus dem Versorgungs-Container 54 zu der in den Modulen 55 bis 58 aufgebauten Ausrüstung über Verbindungseinrichtungen 59, die aus Schnellverbindungen entsprechend den Anforderungen der jeweiligen Medien bestehen. Die Medienleitung 60 kann für den Transport demontiert und während des Transports in einem oder mehreren Containern untergebracht werden. Wenn mehrere Versorgungseinrichtungen für ein Ausrüstungsteil benötigt werden, können nur zusammengehörige Versorgungseinrichtungen innerhalb desselben Moduls untergebracht werden. Beispielsweise die Prozessgas-Versorgung 16, die in den Modul 55 integriert werden könnte, da sie allein für die Versorgung des Beschichtungssystems 12 gebraucht wird. Gleiche Uberlegun gen können z. B. für die Druckluftversorgung 18 ebenso wie für die Wasserverteilung und -aufbereitung 19 angestellt werden.A prefabricated media line 60 Brings all the required media (water, electrical energy, gas, compressed air and other as needed) from the supply container 54 to the in the modules 55 to 58 built-up equipment via connecting devices 59 , which consist of quick connections according to the requirements of the respective media. The media management 60 can be disassembled for transport and housed in one or more containers during transport. If multiple utilities are needed for a piece of equipment, only co-owned utilities can be accommodated within the same module. For example, the process gas supply 16 that in the module 55 could be integrated, since they are alone for the supply of the coating system 12 is needed. Same Uberlegun gene can z. B. for the compressed air supply 18 as well as for water distribution and treatment 19 be employed.

Da das Bodenniveau der Module 54, 55, 56, 57, 58 höher als das Bodenniveau der Betriebsgebäude 61 ist, ist es von Nutzen, eine Rampe 63 bereitzuhalten, damit man Teile, insbesondere für die Oberflächenbehandlung vorgesehene Teile, auf einem Rolltisch von einem Modul zum nächsten befördern kann.Because the floor level of the modules 54 . 55 . 56 . 57 . 58 higher than the ground level of the farm buildings 61 is, it is useful, a ramp 63 be prepared so that you can carry parts, especially intended for the surface treatment parts on a rolling table from one module to the next.

Im Gegensatz zu früheren Beispielen können in diesem Fall modulare Plattformen mit vormontierter Produktionsausrüstung für Produktionsschritte oder -Bereiche gebraucht werden, die keine geschlossene Umhausung verlangen, wobei eine solche aus den oben erwähnten Gründen entschieden vorteilhaft ist für den Gerätemodul 58 oder den Abblasmodul 56. In diesem Fall können Decken- und Wandelemente demontiert werden, um einen Transportmodul in den Produktionszustand umzubauen, und seitlichen Zugang zu der Ausrüstung zu vereinfachen. Solche Plattformen könnten beispielsweise vorzugsweise für die Module 55, 57 und 58 genutzt werden.In contrast to previous examples, in this case modular platforms with pre-assembled production equipment can be used for production steps or areas that do not require a closed enclosure, and for the reasons mentioned above, such is decidedly advantageous for the device module 58 or the blow-off module 56 , In this case, ceiling and wall elements can be disassembled to convert a transport module to the production state, and to facilitate lateral access to the equipment. For example, such platforms could be preferred for the modules 55 . 57 and 58 be used.

Der Vollständigkeit halber sollte erwähnt werden, dass es in einigen Fällen sinnvoll sein könnte, nur Teile eines Beschichtungszentrums in einer geschlossenen und/oder offenen modularen Form aufzubauen, und andere Teile der Ausrüstung bei Lieferanten vor Ort zu kaufen, um diese Teile direkt in den Betriebsgebäuden aufzubauen.Of the completeness half should be mentioned that in some cases could be useful only parts of a coating center in a closed and / or open modular form, and other parts of the equipment at suppliers To buy locally to build these parts directly in the factory buildings.

11
Container/Modul 1 Container / module 1
22
Container/Modul 2 Container / module 2
33
Container/Modul 3 Container / module 3
44
Container/Modul 4 Container / module 4
55
Container/Modul nContainer / module n
66
Container/Modul n+1Container / module n + 1
77
Produktionsbereichproduction area
88th
Versorgungsraumsupply room
99
Magazinmagazine
1010
Empfangreception
1111
Aufenthaltsraumsitting room
1212
Beschichtungssystemcoating system
1313
Mikrostrahl-/Abblas-EinheitMikrostrahl- / blow-off unit
1414
EntschichtungseinheitEntschichtungseinheit
1515
Reinigungseinheitcleaning unit
1616
Prozessgas-VersorgungProcess gas supply
1717
Hauptschaltschrankmain cabinet
1818
DruckluftversorgungAir Supply
1919
Wasserverteilungs- und -aufbereitungseinheitwater distribution and processing unit
19'19 '
Steuerkonsole (optional)control panel (Optional)
2020
Lade-/EntladestationLoading / unloading station
2121
Möblierungfurnishing
2222
Regaleshelves
2323
Sanitäreinrichtungsanitary facilities
2424
Türdoor
24'24 '
Doppeltürendouble doors
2525
Fensterwindow
25'25 '
Schutzschildshield
2626
Systemversorgungensystem supplies
2727
HaubeHood
2828
Transportdeckeltransport cover
2929
Transportwandtransport wall
3030
Transportwandtransport wall
3131
Transportwandtransport wall
3232
Transportwandtransport wall
3333
Transportwandtransport wall
3434
Transportwandtransport wall
3535
Transportdichtungtransport seal
3636
Transportstellungtransport position
3737
Halterholder
3838
Dichtungpoetry
3939
Öseeyelet
4040
Gewindestangethreaded rod
4141
Gewindelöcherthreaded holes
4242
Montageplattemounting plate
4343
MontageschraubeMounting screw
4444
Verbindungsplatteconnecting plate
4545
Verbindungsschraubeconnecting screw
4646
Bodenfeste AusrüstungSolid ground equipment
4747
Bodenschraubenground screws
4848
Bodenground
4949
Stahlgerüststeel scaffolding
5050
Transportwandtransport wall
5151
Befestigungsmittelfastener
5252
obere Rahmenstrukturupper frame structure
5353
untere Rahmenstrukturlower frame structure
5454
Versorgungsmodul/-plattformSupply module / platform
5555
Beschichtungsmodul/-plattformCoating module / platform
5656
Abblasmodul/-plattformBlow Off / platform
5757
Entschichtungsmodul/-plattformEntschichtungsmodul / platform
5858
Reinigungsmodul/-plattformCleaning module / platform
5959
Verbindungsvorrichtungconnecting device
6060
Leitungmanagement
6161
BetriebsgebäudeIndustrial buildings
6262
Weitere VersorgungenFurther supplies
6363
Ramperamp

Claims (14)

PVD- und/oder CVD-Beschichtungszentrum mit mindestens einem PVD- und/oder CVD-System (12) sowie mit weiteren Ausrüstungen und Versorgungseinrichtungen zum Versorgen des Beschichtungssystems und weiterer Ausrüstung, dadurch gekennzeichnet, dass das Beschichtungssystem (12) und die weitere Ausrüstung (13 bis 15) und/oder Versorgungseinrichtungen (16 bis 19') vormontiert innerhalb mindestens eines industriellen Moduls (1 bis 6) untergebracht sind, und dass Mittel (27, 29 bis 34, 38 bis 41 bis 45, 50) vorgesehen sind, um das Beschichtungszentrum aus einem Transportzustand in einen Produktionszustand umzubauen und umgekehrt.PVD and / or CVD coating center with at least one PVD and / or CVD system ( 12 ) and other equipment and supplies for supplying the coating system and other equipment, characterized in that the coating system ( 12 ) and the other equipment ( 13 to 15 ) and / or utilities ( 16 to 19 ' ) preassembled within at least one industrial module ( 1 to 6 ) and that funds ( 27 . 29 to 34 . 38 to 41 to 45 . 50 ) are provided to convert the coating center from a transport state to a production state and vice versa. Beschichtungszentrum nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die weitere Ausrüstung mindestens eine der folgenden Einheiten umfasst: eine Reinigungseinheit (15), eine Abblaseinheit (13), eine Mikrostrahleinheit (13), eine Entschichtungseinheit (14), eine Bürsteinheit, einen Ofen.Coating center according to claim 1, characterized in that the further equipment comprises at least one of the following units: a cleaning unit ( 15 ), a blow-off unit ( 13 ), a micro-jet unit ( 13 ), a stripping unit ( 14 ), a brushstones, a stove. Beschichtungszentrum nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Versorgungseinrichtungen mindestens eine der folgenden umfassen: eine Prozessgasversorgung (16), eine Energieversorgung (17), eine Druckluftversorgung (18), eine Wasserverteil- und/oder -aufbereitungseinheit (19), zusätzliche Versorgungen (62).Coating center according to claim 1, characterized in that the supply means comprise at least one of the following: a process gas supply ( 16 ), a power supply ( 17 ), a compressed air supply ( 18 ), a water distribution and / or treatment unit ( 19 ), additional supplies ( 62 ). Beschichtungszentrum nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Mittel mindestens eines der folgenden umfassen: eine demontierbare Wand (29 bis 34, 50), einen Transportdeckel (28), eine Dichtung (35, 38), eine Haube (27), einen Schutzschild (25'), Zentriermittel (39, 40), Montagevorrichtungen (41 bis 45), eine Transportverriegelung.Coating center according to claim 1, characterized in that the means comprise at least one of the following: a removable wall ( 29 to 34 . 50 ), a transport lid ( 28 ), a seal ( 35 . 38 ), a hood ( 27 ), a protective shield ( 25 ' ), Centering means ( 39 . 40 ), Mounting devices ( 41 to 45 ), a transport lock. Beschichtungszentrum nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass das Beschichtungszentrum ein Einmodul-Zentrum (1) ist.Coating center according to claim 1, characterized in that the coating center is a single-module center ( 1 ). Beschichtungszentrum nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass das Beschichtungszentrum mindestens zwei Module (1 bis 6) umfasst.Coating center according to claim 1, characterized in that the coating center comprises at least two modules ( 1 to 6 ). Beschichtungszentrum nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, dass die Module (1 bis 6) mindestens ein schnell lösbares Verbindungssystem für Energieleitungen, Druckluft- und/oder Gasrohre zum Herstellen der gegenseitigen Verbindungen umfassen.Coating center according to claim 6, characterized in that the modules ( 1 to 6 ) comprise at least one quick release connection system for power lines, compressed air and / or gas pipes for establishing the mutual connections. Beschichtungszentrum nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, dass das Beschichtungszentrum vier Module (1 bis 4) umfasst.Coating center according to Claim 6, characterized in that the coating center has four modules ( 1 to 4 ). Beschichtungszentrum nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, dass demontierbare Wände (29 bis 34) und/oder der Transportdeckel (28) so aufgestellt werden können, dass sich weitere Gebäude (9, 10) ergeben.Coating center according to claim 8, characterized in that demountable walls ( 29 to 34 ) and / or the transport lid ( 28 ) can be set up so that further buildings ( 9 . 10 ). PVD- und/oder CVD-Beschichtungszentrum mit mindestens einem PVD- und/oder CVD-System (12) sowie mit weiteren Ausrüstungen und Versorgungseinrichtungen zum Versorgen des Beschichtungssystems und weiterer Ausrüstung, dadurch gekennzeichnet, dass das Beschichtungssystem (12) und die weitere Ausrüstung (13 bis 15) und/oder Versorgungseinrichtungen (16 bis 19') vormontiert auf mindestens einer industriellen Plattform (54 bis 58) aufgebaut sind, und dass Mittel vorgesehen sind, um das Beschichtungszentrum aus einem Transportzustand in einen Produktionszustand umzubauen und umgekehrt.PVD and / or CVD coating center with at least one PVD and / or CVD system ( 12 ) and other equipment and supplies for supplying the coating system and other equipment, characterized in that the coating system ( 12 ) and the other equipment ( 13 to 15 ) and / or utilities ( 16 to 19 ' ) pre-assembled on at least one industrial platform ( 54 to 58 ) are constructed, and that means are provided to convert the coating center from a transport state to a production state and vice versa. Beschichtungszentrum nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet, dass die weitere Ausrüstung mindestens eine der folgenden Einheiten umfasst: ei ne Reinigungseinheit (15), eine Entschichtungseinheit (14), eine Abblaseinheit (13), eine Mikrostrahleinheit (13), eine Bürsteinheit, einen Ofen.Coating center according to claim 10, characterized in that the further equipment comprises at least one of the following units: a cleaning unit ( 15 ), a stripping unit ( 14 ), a blow-off unit ( 13 ), a micro-jet unit ( 13 ), a brushstones, a stove. Beschichtungszentrum nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet, dass die Versorgungseinrichtungen mindestens eine der folgenden umfassen: eine Prozessgasversorgung (16), eine Energieversorgung (17, dies ist eher ein Hauptschaltschrank als eine Energieversorgung), eine Druckluftversorgung (18), eine Wasserverteil- und/oder -aufbereitungseinheit (19).Coating center according to claim 10, characterized in that the supply means comprise at least one of the following: a process gas supply ( 16 ), a power supply ( 17 , this is more like a main cabinet than a power supply), a compressed air supply ( 18 ), a water distribution and / or treatment unit ( 19 ). Beschichtungszentrum nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet, dass die Mittel mindestens eines der folgenden umfassen: demontierbare Transportwände (29 bis 34, 50), eine abnehmbare Transportdecke (das Wort Transportdeckel wurde anstelle abnehmbarer Transportdeckel 28 benutzt), eine Dichtung (38), eine Planenabdeckung, eine Transportverriegelung.Coating center according to claim 10, characterized in that the means comprise at least one of the following: removable transport walls ( 29 to 34 . 50 ), a removable transport cover (the word transport cover was used instead of removable transport cover 28 used), a seal ( 38 ), a tarpaulin cover, a transport lock. Beschichtungszentrum nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet, dass die Transportwände (29 bis 34, 50) oder ein abnehmbarer Transportdeckel (28) zum Aufbau weiterer Gebäude aufgestellt werden können.Coating center according to claim 10, characterized in that the transport walls ( 29 to 34 . 50 ) or a removable transport lid ( 28 ) can be set up to build other buildings.
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