DE212005000023U1 - Mobile PVD / CVD coating center - Google Patents
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Abstract
PVD- und/oder CVD-Beschichtungszentrum mit mindestens einem PVD- und/oder CVD-System (12) sowie mit weiteren Ausrüstungen und Versorgungseinrichtungen zum Versorgen des Beschichtungssystems und weiterer Ausrüstung, dadurch gekennzeichnet, dass das Beschichtungssystem (12) und die weitere Ausrüstung (13 bis 15) und/oder Versorgungseinrichtungen (16 bis 19') vormontiert innerhalb mindestens eines industriellen Moduls (1 bis 6) untergebracht sind, und dass Mittel (27, 29 bis 34, 38 bis 41 bis 45, 50) vorgesehen sind, um das Beschichtungszentrum aus einem Transportzustand in einen Produktionszustand umzubauen und umgekehrt.PVD and / or CVD coating center with at least one PVD and / or CVD system (12) as well as other equipment and utilities for supplying the coating system and other equipment, characterized in that the coating system (12) and the further equipment (13 to 15) and / or utilities (16 to 19 ') pre-assembled housed within at least one industrial module (1 to 6) are, and that means (27, 29 to 34, 38 to 41 to 45, 50) are provided are to the coating center from a transport state in one Convert production state and vice versa.
Description
Hintergrundinformationbackground information
Diese Erfindung bezieht sich auf ein PVD- und/oder CVD-Beschichtungszentrum nach Anspruch 1 und Anspruch 10 und auf ein Verfahren zum Aufbauen eines Beschichtungszentrums aus einem Industriemodul entsprechend dem Anspruch 15. Der Aufbau von Produktionszentren für das Geschäft mit PVD- oder CVD-Beschichtungsaufträgen ist heutzutage eine kostspielige und langwierige Aufgabe für jeden Investor. Die Kostenuntergrenzen für kleine Unternehmen mit einer einzigen PVD/CVD-Anlage und einem Minimum an peripherer Ausrüstung belaufen sich normalerweise auf mindestens 1,3 bis 2 Millionen Euro für ein Zentrum mit nur einer PVD/CVD-Anlage, einschließlich Betriebsgebäuden und Standard-Produktionsausrüstung.These This invention relates to a PVD and / or CVD coating center according to claim 1 and claim 10 and to a method of building a coating center from an industrial module accordingly claim 15. The establishment of production centers for the PVD business or CVD coating jobs is a costly and tedious task for everyone today Investor. The lower cost limits for small businesses with one single PVD / CVD system and a minimum of peripheral equipment usually at least 1.3 to 2 million euros for a center with only one PVD / CVD plant, including farm buildings and Standard production equipment.
Dieser hohe Investitionsbetrag entsteht aus der Tatsache, dass der Bau neuer Beschichtungszentren in den meisten Fällen eine Anpassung der Arbeitsabläufe, der Infrastruktur und manchmal sogar der Beschichtungsausrüstung an die lokalen Räumlichkeiten verlangt, vor allem wenn die Beschichtungszentren in vorhandene Gebäude integriert werden sollen.This high amount of investment arises from the fact that the construction new coating centers in most cases an adjustment of work processes, infrastructure and sometimes even the coating equipment to the local premises especially when the coating centers in existing building to be integrated.
Darüber hinaus liegt der Zeitbedarf zum Planen und Fertigstellen eines Beschichtungszentrums bis zum Produktionsstart normalerweise bei mindestens 4 Monaten bis zu einem Jahr und mehr, abhängig von lokalen Anforderungen und Standardisierungsbedarfen.Furthermore is the time required to plan and finish a coating center until to start production normally at least 4 months to to a year and more, depending of local requirements and standardization requirements.
Weil für Beschichtungsaufträge kurze Auslieferzeiten entscheidend sind, müssen Beschichtungszentren innerhalb des geographischen Umkreises ihrer wichtigsten Kunden angesiedelt werden, damit wettbewerbsfähige Dienstleistungen und Preise gewährleistet werden können. Deshalb können viele kleinere (unterkritische) Märkte mit einem festgestellten Bedarf an Beschichtungsdienstleistungen nicht in einer zufrieden stellenden Weise bedient werden, weil das Marktpotenzial deutlich unterhalb einer wirtschaftlich machbaren Schwelle liegt, die es erlauben würde, ein neues Beschichtungszentrum zu bauen. Bestehende Beschichtungszentren sind dagegen zu weit entfernt, um eine kostengünstige Belieferung mit beschichteten Normwerkzeugen oder Bauteilen zu ermöglichen.Because short for coating jobs Delivery times are critical, coating centers must be within the geographical area of their most important customers become competitive Services and prices guaranteed can be. That's why many smaller (subcritical) markets with one detected Need for coating services not satisfied because the market potential is significant below an economically feasible threshold, it is would allow to build a new coating center. Existing coating centers On the other hand, they are too far away to provide a cost-effective supply of coated ones Standard tools or components.
Kurzfassung der Erfindungshort version the invention
Deshalb ist es die Aufgabe der Erfindung, ein „mobiles", kompaktes und kostengünstiges PVD- und/oder CVD-Beschichtungszentrum zu schaffen, das aus einem Transportzustand innerhalb einer sehr kurzen Zeitspanne in einen Produktionszustand zusammengesetzt oder umgekehrt rasch demontiert werden kann, wenn aus wirtschaftlichen oder sonstigen Gründen ein Ortswechsel notwendig sein sollte.Therefore It is the object of the invention, a "mobile", compact and inexpensive PVD and / or CVD coating center to create that from a Transport state within a very short period of time in one Production state assembled or vice versa quickly disassembled can, if for economic or other reasons a Change of location should be necessary.
Ein solches Beschichtungszentrum kann in mindestens einem transportablen industriellen Modul untergebracht werden, in dem zumindest Teile der Produktionsausrüstung unter Einschluss einer PVD/CVD-Anlage, Reinigungs-, Abblas- und Entschichtungsvorrichtungen, sowie grundlegende technische Infrastruktur wie Was seraufbereitung und -wiedergewinnung, Druckluftversorgung, Gasversorgung, Energieverteilung, Klimatisierung und dergleichen vormontiert und, so weit notwendig, mit einer Transportverriegelung versehen sind. Dasselbe kann vorgesehen werden für zusätzliche Produktionserfordernisse wie Wareneingang und -ausgang, Lagerregale, Aufenthaltsraum/Empfang oder dergleichen. Darüber hinaus können Teile der industriellen Module (z. B. Transportwände) dazu ausgelegt werden, zusätzliche Räume und/oder ein erhöhtes Dach über der PVD-Anlage zu bilden, wenn diese aus dem Transportzustand in den Produktionszustand umgebaut wird. Abhängig vom Anteil vormontierter Komponenten kann ein solches Beschichtungszentrum innerhalb nur eines oder weniger Tage in den Produktionszustand umgebaut werden, indem im Wesentlichen Transportverriegelungen entfernt werden, einige Gas-, Druckluft-, Wasser- und Stromleitungen innerhalb des Zentrums zusammengesteckt werden, und das Zentrum an die öffentliche Strom- und Wasserversorgung angeschlossen wird. Infolge eines hohen Anteils standardisierter Elemente können die Investitionskosten im Vergleich mit einem konventionellen Zentrum gering sein, das heißt zwischen 0,5 und 1 Million Euro für ein Zentrum mit einer PVD-/CVD-Ausrüstung.One Such coating center may be in at least one transportable industrial module are housed, in which at least parts the production equipment including a PVD / CVD system, cleaning, blow-off and Decoating devices, as well as basic technical infrastructure such as water treatment and recovery, compressed air supply, Gas supply, power distribution, air conditioning and the like pre-assembled and, as far as necessary, with a transport lock are provided. The same can be provided for additional production requirements such as goods receipt and exit, storage shelves, lounge / reception or similar. About that can out Parts of the industrial modules (eg transport walls) are designed to additional Rooms and / or an elevated one Roof over the PVD plant form, if this from the transport state in the Production state is rebuilt. Depending on the proportion of pre-assembled Components can be such a coating center within only one or a few days to be converted into the production state, by removing some transport latches, some Gas, compressed air, water and power lines within the center and the center to the public electricity and water supply is connected. Due to a high proportion of standardized Elements can the investment costs compared to a conventional center be low, that is between 0.5 and 1 million euro for a center with PVD / CVD equipment.
Dementsprechend ist die vorliegende Erfindung auf ein PVD- und/oder CVD-Beschichtungszentrum gerichtet, das mindestens ein PVD- und/oder CVD-System sowie andere Ausrüstungen und Versorgungseinrichtungen umfasst, um das Beschichtungssystem und die weiteren Ausrüstungen zu versorgen, wobei das Beschichtungssystem und die weiteren Ausrüstungen und/oder Versorgungseinrichtungen vormontiert innerhalb mindestens eines industriellen Moduls und/oder auf einer industriellen Plattform zusammengefasst sind, und Mittel zum Umbauen des Beschichtungszentrums aus dem Transport- in den Produktionszustand und umgekehrt vorgesehen sind.Accordingly For example, the present invention is directed to a PVD and / or CVD coating center directed, the at least one PVD and / or CVD system and others equipment and utilities includes to the coating system and the other equipments to supply, with the coating system and other equipment and / or utilities premounted within at least an industrial module and / or on an industrial platform and means for rebuilding the coating center from the transport to the production state and vice versa are.
Ein Modul oder industrieller Modul gemäß der vorliegenden Erfindung ist ein Container, der zumindest Teile der technischen Ausrüstung und/oder Versorgungseinrichtungen eines PVD- und/oder CVD-Beschichtungszentrums in einem vormontierten Zustand trägt und zum Transport verwendet werden kann, sowie nach dem Umbau in den Produktionszustand zum Betreiben zumindest der vormontierten Ausrüstung und/oder Versorgungseinrichtungen verwendbar ist. Der Modul ist zugänglich, wenn er im Produktionszustand ist, um Zutritt zur Ausrüstung und/oder zu den Versorgungseinrichtungen zu erlauben, und um den Modul als Beschichtungszentrum oder als Teil des Beschichtungszentrums zu betreiben.A module or industrial module according to the present invention is a container that carries at least parts of the technical equipment and / or supply facilities of a PVD and / or CVD coating center in a pre-assembled state and can be used for transport, as well as after conversion into the producti onszustand for operating at least the pre-assembled equipment and / or utilities is usable. The module is accessible when in production condition to allow access to equipment and / or utilities, and to operate the module as a coating center or as part of the coating center.
Eine modulare Plattform gemäß der vorliegenden Erfindung ist eine Plattform, die zumindest Teile der technischen Ausrüstung und/oder Versorgungseinrichtungen eines PVD- und/oder CVD-Beschichtungszentrums in einem vormontierten Zustand trägt und zum Transport verwendet werden kann, sowie nach dem Umbau in den Produktionszustand zum Betreiben zumindest der vormontierten Ausrüstung und/oder Versorgungseinrichtungen verwendbar ist. Die Plattform ist zugänglich, wenn sie im Produktionszustand ist, um Zutritt zur Ausrüstung und/oder zu den Versorgungseinrichtungen zu erlauben. Transportwände und Decken, eine Planenabdeckung oder dergleichen können zum Schutz der technischen Ausrüstung und/oder Versorgungseinrichtungen während des Transports vorgesehen werden. Eine modulare Plattform kann die Basis eines industriellen Moduls sein. Die Plattform ist im Produktionszustand zugänglich, um Zutritt zur Ausrüstung und/oder zu den Versorgungseinrichtungen zu erlauben, und um den Modul als Teil des Beschichtungszentrums zu betreiben.A modular platform according to the present Invention is a platform that at least parts of the technical equipment and / or supply facilities of a PVD and / or CVD coating center in a pre-assembled state and used for transport can be, as well as after the conversion into the production state for Operating at least the pre-assembled equipment and / or utilities is usable. The platform is accessible when in production is to gain access to equipment and / or to allow the utilities. Transport walls and Ceilings, a tarpaulin cover or the like can protect the technical equipment and / or utilities provided during transportation become. A modular platform can be the basis of an industrial Be module. The platform is accessible in the production state, to access the equipment and / or to allow the utilities, and the module as Operate part of the coating center.
Weiteres Zubehör eines Beschichtungszentrum kann Ausrüstungen zur Vor- oder Nachbehandlung umfassen, wie Bürst-, Abblas- oder Mikrostrahl-Einheiten zum mechanischen Behandeln, Reinigungs- und/oder Entschichtungseinheiten für die chemische Behandlung, einen Entgasungsofen zur thermischen Behandlung und dgl. sowie Qualitätskontrolle, Analyseausrüstungen sowie Wareneingang/-ausgang oder dergleichen.additional equipment A coating center can equip equipment for pre- or post-treatment include, as brush, Blow-off or micro-jet units for mechanical treatment, cleaning and / or stripping units for the chemical treatment, a degassing furnace for thermal treatment and the like as well as quality control, analysis equipment as well as incoming / outgoing goods or the like.
Als eine Infrastruktur zum Betreiben der Ausrüstung ist üblicherweise mindestens eine der folgenden Vorrichtungen oder Peripheriegeräte in ein modulares Beschichtungszentrum integriert:
- a) eine Prozessgasversorgung für Gase wie Argon oder andere Inertgase, für Wasserstoff, Stickstoff, Methan, Ethan, Ethylen, Acetylen, Silane und dergleichen;
- b) eine Energieversorgung wie einen Hauptschaltschrank, eine Energieverteilung wie ein modulares Stromnetz und andere elektrische Versorgungseinrichtungen wie Transformatoren oder Spannungsstabilisatoren;
- c) eine Druckluftversorgung zum Abblasen, Säubern, zur Ventilsteuerung oder anderes;
- d) eine Wasserverteilungs- und/oder -aufbereitungseinheit zur Temperatursteuerung des Beschichtungssystems oder der Ausrüstung, zum Bereitstellen einer Reinigungs- und/oder Entschichtungseinheit;
- e) weitere Versorgungseinrichtungen wie eine Steuerkonsole, ein Telefonsystem und -leitungen und sonstiges.
- a) a process gas supply for gases such as argon or other inert gases, for hydrogen, nitrogen, methane, ethane, ethylene, acetylene, silanes and the like;
- b) a power supply such as a main cabinet, a power distribution such as a modular power grid and other electrical utilities such as transformers or voltage stabilizers;
- c) a compressed air supply for blowing off, cleaning, for valve control or other;
- d) a water distribution and / or treatment unit for controlling the temperature of the coating system or equipment, for providing a cleaning and / or stripping unit;
- e) other utilities such as a control console, a telephone system and lines and others.
Zusätzlich werden jedenfalls für die Punkte a) bis c) schnell füg- und lösbare Verbindungssysteme für Stromleitungen, Druckluft- und/oder Gasrohre von Vorteil sein, um schnelle Verbindungen zwischen den Modulen oder Plattformen bereitzustellen.In addition will be at least for the points a) to c) quickly add and detachable Connection systems for Power lines, compressed air and / or gas pipes be beneficial to provide fast connections between the modules or platforms.
Mittel zum Umbau des Beschichtungszentrums aus dem Transport- in den Produktionszustand können zumindest eines der folgenden umfassen: eine abnehmbare Wand, einen Transportdeckel, eine Decke, eine Abdeckplane, eine Abdichtung, eine Haube, einen Schutzschild, Zentriermittel, Montagevorrichtungen, eine Transportverriegelung oder dergleichen.medium for the conversion of the coating center from the transport to the production state can at least one of the following: a removable wall, a transport lid, a blanket, a tarpaulin, a seal, a hood, a Protective shield, centering, mounting devices, a transport lock or similar.
Das Beschichtungszentrum kann in seiner Minimalausstattung nur einen einzigen Modul umfassen, wird aber normalerweise 2 oder mehr Module entsprechend dem Bedarf an der jeweiligen Produktionsstätte umfassen. Ein später im Detail beschriebenes, aus vier Modulen bestehendes Zentrum kann ein guter Kompromiss sein, wenn die vollständige Ausrüstung für eine kleine Insellösung benötigt wird. Kleinere Zentren sind eher angebracht, wenn die Vor- und/oder Nachbehandlung wie Reinigungs-, Abblas- oder Entschichtungsvorgänge an anderen Produktionsstätten ausgeführt werden kann. Es ist anzumerken, dass solche Zentren infolge ih res modularen Aufbaus rasch in Anpassung an wachsende Geschäfte und Umsätze ausgebaut werden können. Durch Schnellverbindungssysteme für Stromleitungen, Druckluft- und/oder Gasrohre zum Herstellen der gegenseitigen Verbindungen wird rasches Aufbauen ebenso wie der Ausbau bestehender Zentren ermöglicht. Zusätzlich können abnehmbare Wände vorgesehen werden, um bei Bedarf mehr Raum für Betriebsgebäude zu schaffen.The Coating center can only one in its minimal equipment single module, but will normally be 2 or more modules accordingly the needs of the respective production site. A later in detail described, consisting of four modules center can be a good Compromise if the complete equipment for a small one stand-alone solution need becomes. Smaller centers are more appropriate if the pros and / or Post-treatment such as cleaning, blow-off or de-coating processes on others manufacturing accomplished can be. It should be noted that as a result of such res modular design rapidly adapting to growing businesses and revenues can be expanded. By Quick connection systems for Power lines, compressed air and / or gas pipes for producing the Mutual connections will build quickly as well as the Expansion of existing centers allows. additionally can removable walls provided to create more space for factory buildings when needed.
Im Falle von an Ort und Stelle vorhandenen Betriebsgebäuden können industrielle Plattformen anstelle von oder zusammen mit industriellen Modulen verwendet werden, sofern kein Bedarf mehr besteht, eine Umhausung zum Schutz des Zentrums vor Umgebungseinflüssen vorzusehen. Jedoch können gleich wie bei den Industriemodulen Wände vorgesehen werden, um weiteren Platz für Betriebsgebäude schaffen zu können, wenn dies notwendig ist.in the Traps of existing on-site industrial buildings can be industrial Platforms instead of or together with industrial modules used, if there is no more need, a housing to protect the center from environmental influences. However, you can do the same as with the industrial modules walls be provided to create more space for business premises to be able to if necessary.
Einer der Hauptvorteile eines Zentrums mit wenigstens einigen der vorerwähnten Merkmale ist, dass bei Verwendung von vormontierten Modulen oder Plattformen, die aus mindestens einem, aber meistens mehreren trennbaren Elementen zusammengesetzt sind, in denen alle für eine Teil- oder Vollproduktion erforderlichen Ausrüstungen ebenso wie die diesbezügliche Infrastruktur – wie erwähnt, Versorgungseinrichtungen oder Peripheriegeräte – untergebracht sind, diese Module oder Plattformen derart voneinander getrennt werden können, dass sie als Container per Lastwagen, Schiffsfracht oder gegebenenfalls per Flugzeug transportiert werden können.One of the main advantages of a center having at least some of the aforementioned features is that when using pre-assembled modules or platforms composed of at least one, but mostly multiple separable elements, all of which are part or full production equipment, as well as the related infrastructure - as mentioned utilities or peripherals - are housed, these modules or platforms can be separated so that they can be transported as containers by truck, ship or possibly by air.
Infolge dieses modularen Konzeptes ist es möglich, ein schlüsselfertiges Zentrum für eine PVD-/CVD-Beschichtung bei Bedarf innerhalb einiger Tage an jeder Produktionsstätte aufzubauen.As a result This modular concept makes it possible to have a turnkey Center for a PVD / CVD coating if needed within a few days every production facility build.
Die meisten Zentren sind in mindestens zwei Haupt-Teilbereiche unterteilt: einen Produktionsbereich, in dem Teile behandelt werden, und einen Versorgungsbereich, in dem die zum Betreiben der Ausrüstung benötigten Versorgungseinrichtungen untergebracht sind. Diese Bereiche sind normalerweise aus Gründen der Sicherheit des Bedienpersonals, Abwärme, Lärm und Sauberkeit durch Wände voneinander getrennt. Während das Bedienpersonal in der meisten Zeit im Produktionsbereich arbeitet, wird Wartungspersonal die Erlaubnis haben, den Versorgungsbereich hauptsächlich für Service und Wartung zu betreten. Die Trennung und die Größe der Bereiche sollten angepasst werden, wenn die Ausrüstung oder Teile davon so aufgebaut sind, dass Versorgungseinrichtungen in der Ausrüstung selbst integriert sind. Dies bedeutet in der Regel, dass einige Vorrichtungen mehrfach in dem Zentrum vorhanden sind – z. B. Wasserversorgung für das Beschichtungssystem, für die Reinigungseinheit und die Entschichtungseinheit –, Maßnahmen, die einerseits den für den Versorgungsbereich benötigten Bauraum minimieren können, aber andererseits die Herstellkosten der Ausrüstung erhöhen. Ein Fachmann wird in der Lage sein, über die angemessene Ausgewogenheit von Ausrüstungsintegration und Raumbedarf eines Versorgungsbereichs entsprechend der benötigten Ausrüstungsbauart und den zu befolgenden Sicherheitsvorschriften zu entscheiden.The Most centers are divided into at least two main subareas: a production area where parts are handled and one Supply area, in which the utilities required to operate the equipment are housed. These areas are usually for the sake of Safety of operating personnel, waste heat, noise and cleanliness through walls from each other separated. While the operator works in the production area most of the time, Maintenance personnel will have permission to access the service area mainly for service and to enter maintenance. The separation and the size of the areas should be adjusted if the equipment or Parts of it are constructed so that utilities in the equipment themselves are integrated. This usually means that some devices several times in the center are present - z. B. water supply for the coating system, for the Cleaning unit and the stripping unit - measures, on the one hand, for the supply area required Minimize space, but on the other hand increase the manufacturing cost of the equipment. A specialist will be in the Be able to over the appropriate balance of equipment integration and space requirements a supply area according to the required equipment type and the one to be followed Safety rules to decide.
Weitere Bereiche können ein Lagerbereich sein, in dem Verbrauchsstoffe und Ersatzteile gelagert werden, ein Eingangs-/Ausgangsbereich für Waren, ein Aufenthaltsraum und sonstiges. Diese Bereiche können aus vormontierten Modulen oder – soweit kein Bedarf an Vormontage besteht- aus abnehmbaren Wänden oder auch aus Transportwänden bestehen, die nach dem Zusammenbau der Module nicht mehr benötigt werden. Letzteres ermöglicht eine Reduzierung des Transportvolumens und der Kosten des Zentrums, ohne eine wesentliche Verzögerung der Aufbauzeit zu verursachen.Further Areas can be a storage area where consumables and spare parts are stored become, an entrance / exit area for goods, a lounge and others. These areas can from pre-assembled modules or - if not Need for pre-assembly consists of removable walls or also consist of transport walls, which are no longer needed after assembly of the modules. The latter allows a reduction of the transport volume and the costs of the center, without a significant delay in the To cause build-up time.
Wenn weiterer Bedarf an Baumaterial besteht, können zusätzliche Wand-, Boden- oder Dachelemente während des Transports in den Modulen untergebracht werden, und später an der Produktionsstätte zusammengesetzt werden.If Further demand for building material, additional wall, floor or roof elements while the transport in the modules are housed, and later at the Production facility be assembled.
Um ein solches schlüsselfertiges PVD-Beschichtungszentrum aufzubauen, werden nur geringe örtliche Vorkehrungen benötigt, darunter ein Fundament zum Tragen des modularen Zentrums, ein Trinkwasseranschluss, eine Abwasserleitung, ein Stromanschluss und vielleicht eine Telefonleitung. Ein zusätzlicher Dieselgenerator und ein Wassertank könnten je nach örtlichen Gegebenheiten benötigt werden. Was das Fundament angeht, dürfte eine Fläche mit der Tragkraft eines ordentlichen Parkplatzes, z. B. mit einer Beton-Grundplatte, genügen, um den Stützbedarf eines Moduls, der ein Gewicht von 10 bis 30 Tonnen haben kann, zu erfüllen.Around such a turnkey Build PVD coating center, are only low local Precautions needed including a foundation for supporting the modular center, a drinking water connection, a sewer, a power connection and maybe a telephone line. One additional Diesel generator and a water tank could vary depending on the local Conditions are needed. As far as the foundation is concerned, it is likely an area with the capacity of a proper parking lot, z. B. with a Concrete base plate, suffice, for the support needs a module that can have a weight of 10 to 30 tons, too fulfill.
Kurzbeschreibung der ZeichnungenSummary the drawings
Das Folgende ist eine Beschreibung einiger spezieller Ausführungsformen der Erfindung unter Bezug auf die Beispiel-Zeichnungen, die zeigen:The The following is a description of some specific embodiments of the invention with reference to the example drawings, which show:
Detaillierte Beschreibungdetailed description
Abhängig vom
Ausrüstungsbedarf
des Beschichtungszentrums, werden ein bis n Module zum Aufbau eines
Beschichtungszentrum benötigt.
- – einen
Produktionsbereich
7 , der mit einem Beschichtungssystem12 , einer Lade-/Entladestation20 und Regalen22 zum Lagern von ein- und ausgehenden Stücken und Halterungen für die zu beschichtenden Teile ausgestattet ist, - – einen
Versorgungsraum
8 , der in der Zeichnung nicht im Detail gezeigte Versorgungseinrichtungen26 für das Beschichtungssystem enthält, wie eine Pumpeneinheit, einen Systemschaltschrank und dergleichen, sowie gemeinsame Versorgungseinrichtungen wie eine Prozessgasversorgung16 , einen Hauptschaltschrank17 zum Versorgen des gesamten Moduls1 , Druckluftversorgung18 und eine Wasserverteil- und -aufbereitungseinheit19 .
- - a production area
7 that with a coating system12 , a loading / unloading station20 and shelves22 is equipped for storing in and outgoing pieces and supports for the parts to be coated, - - a supply room
8th , The utilities not shown in detail in the drawing26 for the coating system includes, such as a pump unit, a system cabinet and the like, as well as common utilities such as a process gas supply16 , a main switchboard17 to supply the entire module1 , Compressed air supply18 and a water distribution and processing unit19 ,
Bezüglich der
Abmessungen eines Industriemoduls
Allgemein gesagt ist es sinnvoll, sich an Standard-Containerabmessungen zu halten, und da sowohl der Modul als auch die Plattform im Produktionszustand oder zu Wartungszwecken zugänglich sein sollten, sollten die Außenabmessungen nicht deutlich unter einem 3 m·2,4 m·2,4 m (oder 10 Fuß·8 Fuß·8 Fuß) ISO-Normcontainer bzw. 3 m·2,4 m (oder 10 Fuß·8 Fuß) liegen.Generally said it makes sense to adhere to standard container dimensions and both the module and the platform are in production or accessible for maintenance purposes should, should the outside dimensions not significantly below a 3m x 2.4 m x 2.4 m (or 10 feet x 8 feet x 8 feet) ISO standard containers or 3 m · 2.4 m (or 10 feet x 8 feet).
Aufgrund
von Abmessungsvorgaben wie vorerwähnt sollten zumindest die Transportabmessungen
der Ausrüstung
an die Innenabmessungen des Containers angepasst werden. Weil im
Falle von PVD-/CVD-Beschichtungszentren normalerweise das Beschichtungssystem
Dessen
ungeachtet könnte
es notwendig oder von praktischem Nutzen sein, die Höhe wenigstens
von Teilen eines Moduls nach dem Aufbau zu vergrößern. Dies kann dazu dienen,
für Service-/Wartungszwecke
einen besseren Zugang zum Oberteil des Beschichtungssystems zu schaffen, oder
um einen verfahrbaren Förderwagen
einzubauen, oder für
jegliche andere Bedarfe der Produktion.
Um die Erfordernisse des Transports zu erfüllen, wie eine wasserdichte Außenhülle, Stabilität und sonstiges ebenso wie für Betriebserfordernisse wie Öffnungen für Türen, Fenster, Erweiterungen, statischer Aufbau, vormontierte Produktionseinrichtungen wie Stromleitungen, Druckluftleitungen, Gasleitungen und vorbestimmte Anschlüsse für externe Versorgungen und falls notwendig für weitere Module usw. können mehrere Anpassungen der Module vorgesehen werden.Around to meet the requirements of transportation, such as a waterproof Outer shell, stability and others as well as for Operating requirements such as openings for doors, windows, Extensions, static structure, pre-assembled production facilities such as power lines, compressed air lines, gas lines and predetermined connections for external supplies and if necessary for other modules, etc. can several adjustments of the modules are provided.
Transportwände
Um
eine hohe Mobilität
zu erhalten und rasches Auf- und Abbauen des Zentrums zu ermöglichen,
ist es ratsam, einen hohen Anteil oder sogar alle wesentlichen Teile
der zum Betreiben des Beschichtungszentrums erforderlichen Ausstattung
innerhalb der Transportmodule
Zusätzlich sollte,
um elektrische und Gasversorgungsschnittstellen zu begrenzen, und
um die Länge
von Leitungen oder Rohren zu reduzieren, jedes Ausrüstungsteil
zu nur einem Modul gehören, und
Versorgungseinrichtungen wie Prozessgasversorgung
Aus
Gründen
des raschen und einfachen Handlings sind die Versorgungs-Leitungs- und Rohrverbindungen
zwischen den Modulen minimiert und werden mit in den Figuren nicht
weiter gezeigten Schnelltrennverbindungen ausgestattet. Als ein
Beispiel für
die Energieversorgung ist der Hauptschaltschrank im Modul
Nach
Kenntnisnahme von Beispielen für
Beschichtungszentren wie in
Wie
oben erwähnt,
müssen
die Module so aufgebaut werden, dass sie für alle Transportarten geeignet
sind, und die üblichen
statischen Anforderungen und Widerstandskräfte eines Norm-Transportcontainers
erfüllen.
Das bedeutet auch, dass der Transportdeckel
Danach
müssen
der Moduln
In
Eine
flache Montagehilfsvorrichtung umfasst Gewindelöcher
Eine
dachseitige Montagehilfsvorrichtung umfasst Verbindungsplatten
Wenn bei Mehrmodul-Zentren alle Module zusammengebaut und fest miteinander verschraubt sind, können die elektrischen, Gas- und/oder Druckluft-Schnittstellen mit Schnellverbindungsmitteln angeschlossen werden, entsprechend den vorstehend erörterten vormontierten Strukturen.If For multi-module centers, all modules are assembled and fixed together are bolted, can the electrical, gas and / or compressed air interfaces with quick connectors be connected, according to those discussed above pre-assembled structures.
Verbrauchsangaben
unter Einschluss aller Geräte
eines Viermodul-Zentrums sind in
Jedoch
werden in diesem Fall Transportmodule
Andere
Module des vorliegenden Beispiels werden vormontiert entsprechend
den üblichen
Prozessschritten eines Beschichtungszentrums, die im Reinigen im
Modul
Eine
vorgefertigte Medienleitung
Da
das Bodenniveau der Module
Im
Gegensatz zu früheren
Beispielen können
in diesem Fall modulare Plattformen mit vormontierter Produktionsausrüstung für Produktionsschritte oder
-Bereiche gebraucht werden, die keine geschlossene Umhausung verlangen,
wobei eine solche aus den oben erwähnten Gründen entschieden vorteilhaft
ist für
den Gerätemodul
Der Vollständigkeit halber sollte erwähnt werden, dass es in einigen Fällen sinnvoll sein könnte, nur Teile eines Beschichtungszentrums in einer geschlossenen und/oder offenen modularen Form aufzubauen, und andere Teile der Ausrüstung bei Lieferanten vor Ort zu kaufen, um diese Teile direkt in den Betriebsgebäuden aufzubauen.Of the completeness half should be mentioned that in some cases could be useful only parts of a coating center in a closed and / or open modular form, and other parts of the equipment at suppliers To buy locally to build these parts directly in the factory buildings.
- 11
-
Container/Modul
1 Container / module1 - 22
-
Container/Modul
2 Container / module2 - 33
-
Container/Modul
3 Container / module3 - 44
-
Container/Modul
4 Container / module4 - 55
- Container/Modul nContainer / module n
- 66
- Container/Modul n+1Container / module n + 1
- 77
- Produktionsbereichproduction area
- 88th
- Versorgungsraumsupply room
- 99
- Magazinmagazine
- 1010
- Empfangreception
- 1111
- Aufenthaltsraumsitting room
- 1212
- Beschichtungssystemcoating system
- 1313
- Mikrostrahl-/Abblas-EinheitMikrostrahl- / blow-off unit
- 1414
- EntschichtungseinheitEntschichtungseinheit
- 1515
- Reinigungseinheitcleaning unit
- 1616
- Prozessgas-VersorgungProcess gas supply
- 1717
- Hauptschaltschrankmain cabinet
- 1818
- DruckluftversorgungAir Supply
- 1919
- Wasserverteilungs- und -aufbereitungseinheitwater distribution and processing unit
- 19'19 '
- Steuerkonsole (optional)control panel (Optional)
- 2020
- Lade-/EntladestationLoading / unloading station
- 2121
- Möblierungfurnishing
- 2222
- Regaleshelves
- 2323
- Sanitäreinrichtungsanitary facilities
- 2424
- Türdoor
- 24'24 '
- Doppeltürendouble doors
- 2525
- Fensterwindow
- 25'25 '
- Schutzschildshield
- 2626
- Systemversorgungensystem supplies
- 2727
- HaubeHood
- 2828
- Transportdeckeltransport cover
- 2929
- Transportwandtransport wall
- 3030
- Transportwandtransport wall
- 3131
- Transportwandtransport wall
- 3232
- Transportwandtransport wall
- 3333
- Transportwandtransport wall
- 3434
- Transportwandtransport wall
- 3535
- Transportdichtungtransport seal
- 3636
- Transportstellungtransport position
- 3737
- Halterholder
- 3838
- Dichtungpoetry
- 3939
- Öseeyelet
- 4040
- Gewindestangethreaded rod
- 4141
- Gewindelöcherthreaded holes
- 4242
- Montageplattemounting plate
- 4343
- MontageschraubeMounting screw
- 4444
- Verbindungsplatteconnecting plate
- 4545
- Verbindungsschraubeconnecting screw
- 4646
- Bodenfeste AusrüstungSolid ground equipment
- 4747
- Bodenschraubenground screws
- 4848
- Bodenground
- 4949
- Stahlgerüststeel scaffolding
- 5050
- Transportwandtransport wall
- 5151
- Befestigungsmittelfastener
- 5252
- obere Rahmenstrukturupper frame structure
- 5353
- untere Rahmenstrukturlower frame structure
- 5454
- Versorgungsmodul/-plattformSupply module / platform
- 5555
- Beschichtungsmodul/-plattformCoating module / platform
- 5656
- Abblasmodul/-plattformBlow Off / platform
- 5757
- Entschichtungsmodul/-plattformEntschichtungsmodul / platform
- 5858
- Reinigungsmodul/-plattformCleaning module / platform
- 5959
- Verbindungsvorrichtungconnecting device
- 6060
- Leitungmanagement
- 6161
- BetriebsgebäudeIndustrial buildings
- 6262
- Weitere VersorgungenFurther supplies
- 6363
- Ramperamp
Claims (14)
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R163 | Identified publications notified | ||
R207 | Utility model specification |
Effective date: 20070208 |
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R150 | Utility model maintained after payment of first maintenance fee after three years |
Effective date: 20080418 |
|
R081 | Change of applicant/patentee |
Owner name: OERLIKON TRADING AG, TRUEBBACH, CH Free format text: FORMER OWNER: OC OERLIKON BALZERS AG, BALZERS, LI Effective date: 20100303 |
|
R151 | Utility model maintained after payment of second maintenance fee after six years |
Effective date: 20110330 |
|
R152 | Utility model maintained after payment of third maintenance fee after eight years |
Effective date: 20130327 |
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R071 | Expiry of right | ||
R071 | Expiry of right |