DE2062574B2 - Method of manufacturing an electric gas sensor - Google Patents

Description

Silikathydrosol getränkt und dann erhitzt, um das angegebene Lösung eingetaucht und. anschließend inSoaked in silicate hydrosol and then heated to the specified solution and immersed. then in

Silikathydrosol in Silikagel umzuwandeln, Der resul- der beschriebenen Weise langsam auf 600° C whitzt,To convert silicate hydrosol into silica gel, The result- the described way slowly wheats to 600 ° C,

tierende Gasföhler ist fest, hart und widerstandsfähig Nach dem Abkühlen in Luft hat der Körperl eineAn animal gas sensor is firm, hard and resilient. After cooling down in air, the body has a

gegen Vibration, Stoß, Verkratzung und andere sehr hohe mechanische Festigkeit und eine wesent-against vibration, shock, scratches and other very high mechanical strength and a substantial

Umweltseinflüsse. 5 jjch höhere Gas- bzw. Rauchempfindlichkeit als vor-Environmental influences. 5 jjch higher gas or smoke sensitivity than previous

Im folgenden werden einige Durchführungen des her.The following are some implementations of the.

Verfahrens gemäß der Erfindung an Hand der Zeich- In Fig. 2 ist ein Gasfühler besonders kleinerMethod according to the invention with reference to the drawing In Fig. 2, a gas sensor is particularly smaller

nungen näher erläutert, es zeigt Abmessungen dargestellt, der sich besonders fürExplained in more detail, it shows dimensions shown, which are particularly suitable for

Fig.! eine schematische Schnittansicht eines tragbare Spürgeräte eignet, die wenig Strom vsr-Fig.! a schematic sectional view of a portable detection device suitable for low power vsr-

ersten Ausführungsbeispiels eines Gasfühlers, der io brauchen und durch eine Batterie gespeist werdenfirst embodiment of a gas sensor that need io and are powered by a battery

gemäß der Erfindung hergestellt ist, können. Der in Fig. 2 dargestellte Gasföhler ent-is made according to the invention, can. The gas sensor shown in Fig. 2 is

Fig. 2 eine schemalische Schnittansicht eines hält im Gegensatz zu dem Gasfühler gemäß Fig. 1FIG. 2 shows a schematic sectional view of a stop in contrast to the gas sensor according to FIG. 1

zweiten Ausführungsbeispiels und keinen Abstandshalter. Da der Körper X wegen dessecond embodiment and no spacer. Since the body X because of the

F i g. 3 ein Sehaltbild eines Gas- oder Rauchmel- Fehlens des Abstandshalters 4 beim Sintern freiF i g. 3 shows a visual image of a gas or smoke alarm absence of the spacer 4 during sintering

ders, der einen Gasfühler gemäß Fig. I enthält 15 schrumpfen kann, können auch die bei Fig. 1 zumders, which contains a gas sensor according to FIG

Der in Fig. 1 dargestellte Gasfühler enthält einen Verhindern des Springern verwendeten Teilchen 6 Halbleiterkörper 1, zwei in diesen eingebettete Elek- weggelassen werden. Die Elektroden bestehen bei troden2 und 3 sowie einen zwischen den Elektroden dem Ausführungsbeispiel gemäß Fig. 2 vorzugsangeordneten Abstandshalter 4. Der Halbleiterkör- weise aus verdrehtem oder verseikem feinen GoIdper 1 besteht aus einem gas- und rauchempfindlichen 20 draht. Gasfühler dieser Art lassen sich ohne halbleitenden Metalloxid 5 und Teilchen 6, wie Alu- Schwierigkeiten mit einem Durchmesser von weniger miniumoxid- oder Quarzpulver, die ein Springen des als 1 mm herstellen. Zur Heruellung kann man die Körpers 1 verhindern sollen. Die Elektroden 2 oben beschriebenen Halbleiter- und Tränkmateria- und 3 sind gerade oder gewendelte Drähte aus Gold, lien verwenden und in der angegebenen Weise verPlatin, Iridium, Palladium, Nickel, Chrom oder 25 fahren.The gas sensor shown in Fig. 1 contains particles 6 used to prevent jumping Semiconductor body 1, two electronics embedded in this can be omitted. The electrodes persist electrodes 2 and 3 and one between the electrodes in the exemplary embodiment according to FIG. 2 Spacers 4. The semiconductor grains made of twisted or verseikem fine goldper 1 consists of a gas and smoke sensitive wire. Gas sensors of this type can be used without semiconducting metal oxide 5 and particles 6, such as aluminum difficulties with a diameter of less minium oxide or quartz powders that produce a jump of more than 1 mm. You can use the Body 1 are supposed to prevent. The electrodes 2 semiconductor and impregnation materials described above and 3 are straight or coiled wires made of gold, use lien and verPlatinum in the manner indicated, Iridium, Palladium, Nickel, Chromium or 25 drive.

einer Legierung zweier oder mehrerer dieser Metalle. Ein Gasfühler gemäß Fig. 1, der in der obenan alloy of two or more of these metals. A gas sensor according to FIG. 1, in the above

Im Prinzip können die Elektroden 2 und 3 ver- beschriebenen Weise hergestellt worden war, wurdeIn principle, electrodes 2 and 3 can be manufactured in the manner described

schieden geformt sein und aus verschiedenen Mate- mit einem entsprechenden Gasfühler, der nicht mitdifferently shaped and made of different mate- rials with a corresponding gas sensor that is not with

rialien bestehen, zweckmäßigerweise s^:nd jedoch dem Silikathydrosol getränkt worden war, in derrialien exist, expediently s ^: nd, however, the silicate hydrosol had been soaked in the

Material und Form der Elektroden gleich. Bei dem 30 Schaltung gemäß F i g. 3 verglichen. Die SchaltungThe material and shape of the electrodes are the same. In the 30 circuit according to FIG. 3 compared. The circuit

in F i g. 1 dargestellten Beispiel bestehen beide Elek- enthält einen Transformator 7, dessen Primärwick-in Fig. 1, the example shown consists of both elec- contains a transformer 7, the primary winding of which

troden 2 und 3 aus einem 0,09 mm dicken Draht lung ζ. B. an ein Wechselstromnetz von 100 V ange-electrodes 2 and 3 made of a 0.09 mm thick wire ζ. B. connected to an alternating current network of 100 V

aus einer 80 % Pd und 20 % Ir enthaltenden Pal- schlossen ist. Die Enden der einen Elektrode 2 desis made of a lock containing 80% Pd and 20% Ir. The ends of one electrode 2 of the

ladium-Iridium-Legierung, mit einem gewendelten Gasfühlers 1 sind mit dem einen Ende und einemLadium-Iridium alloy, with a coiled gas sensor 1 are with one end and one

Teil, der zwölf Windungen mit einem Innendurch- 35 Abgriff einer Sekundärwicklung des Transforma-Part, the twelve windings with an inside 35 tap of a secondary winding of the transformer

messer von 0,6 mm aufweist. Der Widerstand einer tors 7 verbunden, deren anderes Ende über einendiameter of 0.6 mm. The resistance of a gate 7 connected, the other end via a

gewendelten Elektrode beträgt 2 Ω. Der Abstands- Summer 8 an das eine Ende der anderen Elektrode 3coiled electrode is 2 Ω. The distance buzzer 8 to one end of the other electrode 3

halter 4 kann aus Keramik oder Glas bestehen, und angeschlossen ist. Das andere Ende der Elektrode 3holder 4 can be made of ceramic or glass, and is connected. The other end of the electrode 3

hat bei -iesem Beispiel die Form eines 1,5 χ bleibt frei. Der Summer hatte eine Impedanz vonIn this example it has the shape of 1.5 χ remains free. The buzzer had an impedance of

2x3 mm großen rechteckigen Parallelepipeds. 4° 4 kQ und seine Ansprechspannung wurde auf2x3 mm rectangular parallelepiped. 4 ° 4 kΩ and its response voltage was on

Zur Herstellung des in F i g. 1 dargestellten Gas- 40 V eingestellt. Der Transformator 7 lieferte anTo produce the in F i g. 1 gas 40 V is set. The transformer 7 delivered

fühlers werden die Elektroden 2 und 3 an die beiden die Elektrode 2 eine Heizspannung von 1 V undsensor, electrodes 2 and 3 are connected to both electrode 2 and a heating voltage of 1 V

Seiten des Abstandshalters 4 angelegt und durch zwischen den Enden der Sekundärwicklung einePages of the spacer 4 applied and through between the ends of the secondary winding one

Stromdurchgang auf etwa 1000° C erhitzt, so daß Spannung von 100 V. Die Spannung am Summer 8Current passage heated to about 1000 ° C, so that a voltage of 100 V. The voltage at the buzzer 8

die beiden Seiten des Abstandshalters mit den sie 45 betrug in reiner Luft 10 V und in Luft, die 0,1%the two sides of the spacer with which it was 45 was 10 V in pure air and 0.1% in air

berührenden Teilen der gewendelten Elektroden ver- Isobutan enthielt, 70 V. Bei dem Gasfühler, der nichtthe contacting parts of the coiled electrodes contained isobutane, 70 V. In the case of the gas sensor, which did not

schmelzen. mit Silikathydrosol getränkt worden war, betrug diemelt. had been soaked in silicate hydrosol, was the

Pulverisiertes SnO₂, das eine Teilchengröße von Spannung am Summer 8 in reiner Luft 8 V und in etwa 1 μπι hat und ungefähr 0,3 Gewichtsprozent der 0,1% Isobutan enthaltenden Luft 24 V. Da Palladium enthält, wird mit der gleichen Menge 5° die Spannung am Summer proportional der Gas-Aluminiumoxid- oder Quarzpulver (maximale Teil- empfindlichkeit des Gasfühlers ist, zeigt der Verchengröße etwa 0,15 mm) gemischt und die Mischung gleich, daß der Gasfühler gemäß der Erfindung wird mit Wasser geknetet. Diese Masse wird dann wesentlich empfindlicher ist als der bekannte Gaszur Bildung des gas- bzw. rauchempfindlichen Kör- fühler. Nach 100 Tagen ununterbrochenen Betriebs pers 1 auf den mit den Elektroden versehenen Ab- 55 in der isohutanhaltigen Luft betrug die Spannung am Standshalter aufgebracht. Die Masse wird dann in Summer 8 immer noch 70 ± 2 V, was zeigt, daß Luft getrocknet und anschließend mittels Strom- die Konstanz der Empfindlichkeit des vorliegenden durchgang durch die Elektroden auf etwa 700° C Gasfühlers außerordentlich hoch ist.
erhitzt. Durch die vorliegende Erfindung werden nicht nurPowdered SnO ₂ , which has a particle size of voltage on the buzzer 8 in pure air 8 V and about 1 μm and about 0.3 percent by weight of the 0.1% isobutane-containing air 24 V. Since palladium contains 5 ° the voltage on the buzzer is proportional to the gas-aluminum oxide or quartz powder (maximum partial sensitivity of the gas sensor, the verchen size shows about 0.15 mm) mixed and the mixture equal that the gas sensor according to the invention is kneaded with water. This mass is then much more sensitive than the known gas used to form the gas or smoke-sensitive body. After 100 days of uninterrupted operation pers 1 on the electrodes provided with the electrodes in the isohutane-containing air, the voltage was applied to the stand holder. The mass is then still 70 ± 2 V in buzzer 8, which shows that air is dried and then by means of electricity - the constancy of the sensitivity of the present passage through the electrodes to about 700 ° C gas sensor is extremely high.
heated. The present invention not only

75 Milliliter Tetraäthylsilikat, die mit 25 MiIH- 60 die Empfindlichkeit und die Stabilität der Empfindliter Wasser verdünnt worden sind, werden mit lichkeit erheblich erhöht, sondern auch die mecha-0,3 Milliliter Chlorwasserstoffsäure versetzt und nische Festigkeit des Gasfühlers. Die Brauchbarkeit etwa 30 Minuten gerührt, um eine durchsichtige und Zuveiläsjigkeit sind dementsprechend groß.
Lösung zu erhalten. Das auf diese Weise hergestellte Die beschriebenen Ausführungsbeispiele lassen Silikathydrosol kann durch Trocknen in Silikagel 65 sich in der verschiedensten Weise abwandeln. Das übergeführt werden. Silikathydrosol kann z. B. durch konzentrierte75 milliliters of tetraethylsilicate, which have been diluted with 25 milliliters of the sensitivity and stability of the sensitivitre of water, are considerably increased, but also the mechanical 0.3 milliliters of hydrochloric acid are added and the niche strength of the gas sensor. The usability about 30 minutes stirred to a transparent and reliability are accordingly great.
Get solution. The described exemplary embodiments produced in this way can be modified in the most varied of ways by drying in silica gel 65. That will be convicted. Silicate hydrosol can e.g. B. through concentrated

Der in der oben beschriebenen Weise hergestellte Schwefelsäure anstatt durch Erhitzen hydrolisiertThe sulfuric acid produced in the manner described above is hydrolyzed instead of by heating

Halbleiterkörper 1 wird etwa 10 Sekunden in die werden, wenn die Zeit keine Rolle spielt. AnstattSemiconductor body 1 will be in for about 10 seconds if time does not matter. Instead of

orher gesinterten Körper mit Silikathydrosol vermengen. In diesem Falle bereitet man jedoch ken und zu behandeln, kann man das Halblei- vorzugsweise nur die jeweils benötigte Menge zu, da irial auch von vornherein mit Silikathydrosol die Gelierung selbsttätig eintritt.Mix previously sintered body with silicate hydrosol. In this case, however, one prepares ken and treat, you can get the semicon- preferably only the amount required in each case irial, gelation also occurs automatically from the outset with silicate hydrosol.

Hierzu 1 Blatt Zeichnungen1 sheet of drawings

Claims (3)

i 2 leiden zwar durch ein Sinterverfahren keinen Ver- PatentensprOche: j^ jn der wirksamen Gas adsorbierenden Fliehe,i 2 do not suffer from a sintering process. 1. Verfuhren zum Herstellen eines Gasfühlers, sie haben jedoch eine niedrige ^™**νψ*®\> ^eine ettbsUend die Stufe des Formens eines Körpers dementsprechend niedrige Ansprwhempbnflli.hkeU »us einem Halbleitermaterial, insbesondere aus 5 und sie sind ferner relativ kostspielig. Pie deutsche rumindest einem halbleitenden Metalloxid, des- Gebraucbsrauster-Sehnft ⁶⁹²⁵⁷⁴J , „ ,?? ?ⁿ •en elektrischer Widerstand sich bei Absorption Verfahren zum Einmischen von Metallpulver unter von Fremdstoffen, wie Gas oder Rauch, ändert, Metalloxidteilchen und Erhitzen des Gemische zur »nd des Einbettens von zwei Elektroden, da- Oxidation des Metallpulvers zur Verbesserung der ijurch gekennzeichnet, daß der geformte ip Festigkeit und der Porosität des keramischen Kor-Körper mit einer Lösung überzogen wird, die pers. Ein derartiges Verfahren kann zur Verbesserung durch Oxidation, Erhitzen oder Hydrolyse in der Festigkeit und der Porosität von keramischen Siliziumoxid oder Silikagel umgewandelt werden Körpern zwar beitragen, es muß jedoch dann bei kann, und daß anschließend die Umsetzung einer relativ hohen Temperatur gesintert werden, was (Oxidation, Erhitzen oder Hydrolyse) vorge- 15 zvt einer Verschlechterung der Empfindlichkeit des nommen wird. so hergestellten Elements führt 1. Method for manufacturing a gas sensor, but they have a low ^ ™ ** νψ * ® \> ^a ettbsUend the stage of shaping a body, accordingly low demands on a semiconductor material, in particular from 5 and they are also relatively expensive. Pie German rum at least one semiconducting metal oxide, des- Gebraucbsrauster-Sehnft ⁶⁹²⁵⁷⁴ J, ", ?? ? ^The electrical resistance changes during absorption. Process for mixing metal powder with foreign substances, such as gas or smoke, changes metal oxide particles and heating the mixture to embed two electrodes, because oxidation of the metal powder to improve the properties is characterized by that The shaped ip strength and the porosity of the ceramic Kor body is coated with a solution that may contribute to the improvement of the strength and porosity of ceramic silicon oxide or silica gel bodies by oxidation, heating or hydrolysis. However, it must then be possible, and that the reaction must then be sintered at a relatively high temperature, which (oxidation, heating or hydrolysis) is carried out, for example, a deterioration in the sensitivity of the. element produced in this way 2. Verfahren zum Herstellen eines Gasfühlers, Der vorliegenden Erfindung liegt dementsprechend enthaltend die Stufe des Formens eines Körpers die Aufgabe zugrunde, einen ein halbleitendes Meaus einem Halbleitermaterial, insbesondere aus talloxid enthaltenden Gasfühler anzugeben, der eine zumindest einezr. halbleitenden Metalloxid, des- ao hohe mechanische Festigkeit und Formbeständigkeit sen elektrischer Widerstand sich bei Absorption sowie eine hohe Rauch- oder Gasempfindlichkeit von Fremdstoffen, wie Gas oder Rauch, ändert, aufweist.2. Method of making a gas sensor. The present invention is accordingly containing the step of shaping a body with the underlying task of creating a semiconducting meaus to specify a semiconductor material, in particular made of tallow oxide-containing gas sensor, the one at least one semiconducting metal oxide, therefore high mechanical strength and dimensional stability sen electrical resistance during absorption as well as a high smoke or gas sensitivity of foreign substances, such as gas or smoke, changes. und des Einbettens von zwei Elektroden, da- Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Herstel-and embedding two electrodes, because the invention relates to a method for manufacturing durch gekennzeichnet, daß vor der Stufe des len eines Gasfühlers, enthaltend die Stufe des For-characterized in that before the stage of len a gas sensor containing the stage of the For- Formens das Halbleitermaterial mit einer or- 35 mens eines Körpers aus einem Halbleitermaterial,Shaping the semiconductor material with a form of a body made of a semiconductor material, ganischen Siliziumverbindung vermischt wird, insbesondere aus zumindest einem halbleitendenGanischen silicon compound is mixed, in particular from at least one semiconducting die durch Oxidation, Erhitzen oder Hydrolyse in Metalloxid, dessen elektrischer Widerstand sich beithose by oxidation, heating or hydrolysis in metal oxide, the electrical resistance of which is at Siliziumoxid oder Silikagel umgewandelt werden Absorption von Fremdstoffen, wie Gas oder Rauch,Silicon oxide or silica gel are converted to absorption of foreign substances, such as gas or smoke, kann, und daß nach der Stufe des Formens die ändert, und des Einbettens von zwei Elektroden, undcan, and that after the stage of molding changes and embedding two electrodes, and Umsetzung (Oxidation, Erhitzen oder Hydrolyse) 30 kennzeichnet sich dadurch, daß der geformte KörperImplementation (oxidation, heating or hydrolysis) 30 is characterized in that the shaped body vorgenommen wird. mit einer Lösung überzogen wird, die durch Oxi-is made. is coated with a solution that is 3. Verfahren nach Anspruch 1 oder 2, da- dation, Erhitzen oder Hydrolyse in Siliziumoxid durch gekennzeichnet, daß die organische SiIi- oder Silikagel umgewandelt werden kann, und daß ziumverbindung Alkylsilicid, ^'kylsilikat oder anschließend die Umsetzung (Oxidation, Erhitzen Silanol ist. 35 oder Hydrolyse) vorgenommen wird.3. The method according to claim 1 or 2, dation, heating or hydrolysis in silicon oxide characterized in that the organic SiIi- or silica gel can be converted, and that zium compound alkyl silicide, alkyl silicate or then the reaction (oxidation, heating Is silanol. 35 or hydrolysis) is carried out. Die Erfindung betrifft ferner ein Verfahren zumThe invention also relates to a method for Herstellen eines Gasfühlers, enthaltend die StufeManufacture of a gas sensor containing the stage Die vorliegende Erfindung betrifft die Herstellung des Formens eines Körpers aus einem Halbleiter-The present invention relates to the manufacture of molding a body from a semiconductor fines elektrischen Gasfühlers, der ein Halbleiter- material, insbesondere aus zumindest einem halb-fine electrical gas sensor, which is a semiconductor material, in particular made of at least one semi- tnaterial enthält, dessen elektrischer Widerstand sich 40 leitenden Metalloxid, dessen elektrischer WiderstandContains a material whose electrical resistance is 40 conductive metal oxide, whose electrical resistance bei Absorption von Fremdstoffen, wie Gas oder sich bei Absorption von Fremdstoffen, wie Gas oderwhen absorbing foreign matter, such as gas or when absorbing foreign matter, such as gas or Hauch, ändert. Rauch, ändert, und des Einbettens von zwei Elek-Breath, changes. Smoke, changes, and embedding two elec- Die bekannten elektrischen Gas- und Rauchfüh- troden, und kennzeichnet sich dadurch, daß vor derThe well-known electrical gas and smoke guide electrodes, and is characterized by the fact that in front of the ler, die halbleitende Metalloxide enthalten, deren Stufe des Formens das Halbleitermaterial mit einerLer containing semiconducting metal oxides, the step of forming the semiconductor material with a (elektrischer Widerstand sich bei Absorption von 45 organischen Siliziumverbindung vermischt wird, die(electrical resistance is mixed with absorption of 45 organic silicon compound, which Rauch oder bestimmten Gasen ändert, lassen sich durch Oxidation, Erhitzen oder Hydrolyse in SiIi-Smoke or certain gases changes, can by oxidation, heating or hydrolysis in SiIi- In zwei Gruppen einteilen, nämlich solche, die mit ziumoxid oder Silikagel umgewandelt werden kann,Divide into two groups, namely those that can be converted with zium oxide or silica gel, Reduktion arbeiten und z. B. SnO₂, ZnO, Fe₂O₃ und daß nach der btufe des Formens die UmsetzungWork reduction and z. B. SnO ₂ , ZnO, Fe ₂ O ₃ and that after the btufe of shaping the implementation enthalten, und solche, die mit Oxidation arbeiten (Oxidation, Erhitzen oder Hydrolyse) vorgenommenand those that work with oxidation (oxidation, heating or hydrolysis) und z. B. NiO, Cr₂Oj enthalten. Gasfühler dieser 50 wird.and Z. B. NiO, Cr ₂ Oj included. Gas sensor this 50 is. Art werden gewöhnlich durch Sintern der ange- Weiterbildungen der Erfindung sind im Untergebenen Materialien bei sehr hohen Temperaturen anspruch gekennzeichnet.Kind are usually made by sintering the developments of the invention are in the subordinate Materials labeled at very high temperatures. hergestellt, um dem Halbleiterkörper die erforder- Bekanntlich können Silizium und eine Reihe vonManufactured to make the semiconductor body the required- known can be silicon and a number of liehe mechanische Festigkeit zu verleihen. Durch das Siliziumverbindungen durch Erhitzen in Luft leichtlent mechanical strength to give. Due to the silicon compounds by heating in air easily Sintern bei hohen Temperaturen nehmen jedoch die 55 in Siliziumdioxid (SiO₂) umgewandelt werden. Insbe-However, sintering at high temperatures will take the 55 to be converted into silicon dioxide (SiO ₂ ). Especially absorptionsfähige Fläche und damit auch die An- sondere organische Siliziumverbindungen, wie Al-absorbent surface and thus also the special organic silicon compounds, such as aluminum sprechempfindlichkeit für Gas und Rauch erheblich kylsilicit, Silanol und Silandiol, die aus Silizium-Speech sensitivity to gas and smoke considerably kylsilicit, silanol and silanediol, which are made from silicon ab. Es sind auch Gasfühler bekannt, Oie die oben- tetrachlorid (SiCl₄), Silan oder Siliziumwasserstoffaway. Gas sensors are also known, such as those above tetrachloride (SiCl ₄ ), silane or silicon hydrogen genannten Materialien in Form einer dünnen Schicht (SiH₄) u. dgl. gewonnen werden können, hydroly-mentioned materials in the form of a thin layer (SiH ₄ ) and the like can be obtained, hydrolyzing enthalten. Ihre Empfindlichkeit läßt jedoch ebenfalls 60 sieren bei Erhitzung in Luft leicht unter Bildungcontain. However, their sensitivity can also easily be reduced to form when heated in air stark zu wünschen übrig und sie haben sich auch von Siliziumoxid oder Silikagel. Das Reaktionspro-Much to be desired and they also differ from silicon oxide or silica gel. The reaction pro- sonst in der Praxis nicht bewährt. In der deutschen dukt hat eine hohe Gasdurchlässigkeit, erhöht dieotherwise not proven in practice. In the German Dukt has a high gas permeability, which increases Patentschrift 704096 und der USA.-Patentschrift mechanische Festigkeit des Gasfühlers und schaltetU.S. Patent 704096 and U.S. Patent Mechanical strength of the gas sensor and switches 3479257 sind Vorrichtungen zur Gasanalyse be- Änderungen der Gasempfindlichkeit weitestgehend3479257 devices for gas analysis are changes in gas sensitivity as far as possible schrieben, welche einen dünnen Film aus einem «5 aus.wrote which made a thin film of a «5. Metalloxid enthalten, der auf einem Silizium ent- Bei einer Ausführung des Verfahrens gemäß derContain metal oxide that is formed on a silicon. In one embodiment of the method according to haltenden Substrat aufgebracht ist. Derartige EIe- Erfindung wird ein Gasfühler mit einem Körper ausholding substrate is applied. Such EIe invention is made from a gas sensor with a body mente zur Gasanalyse mit einem dünnen Film er- einem gesinterten halbleitenden Metalloxid mitelements for gas analysis with a thin film containing a sintered semiconducting metal oxide