DE202013102043U1

DE202013102043U1 - Oberflächenmikrostrukturmessgerät mit Referenzprofil

Info

Publication number: DE202013102043U1
Application number: DE201320102043
Authority: DE
Original assignee: Breitmeier Messtechnik GmbH
Current assignee: Breitmeier Messtechnik GmbH
Priority date: 2013-05-10
Filing date: 2013-05-10
Publication date: 2013-05-21
Anticipated expiration: 2023-05-11

Abstract

Rauheits- oder Oberflächenmikrostrukturprofil-Messgerät zur Messung der Rauheit oder eines Oberflächenmikrostrukturprofils einer Messobjekt-Oberfläche eines Messobjekts (9), enthaltend: einen an einem Tasthebel (4) befestigten Oberflächen-Antastkörper (10) zur berührenden oder berührungslosen Erfassung der Rauheit oder des Oberflächenmikrostrukturprofils der Messobjekt-Oberfläche; einen motorisierten oder mit einem Aktor versehenen Vorschub zum Bewegen des Oberflächen-Antastkörpers (10) entlang eines Verfahrweges über eine Abtastweglänge; ein Meßsystem (6) zur Erfassung einer Stellung des Oberflächen-Antastkörpers (10) relativ zu der Messobjekt-Oberfläche; und eine Treiber-, Datenerfassungs- und/oder Auswerteelektronik (12) und/oder eine Rechnerschnittstelle, dadurch gekennzeichnet, dass ein sich mit einer Referenz-Oberfläche über die Abtastweglänge oder einen Teil der Abtastweglänge erstreckendes Referenzprofil (3) an einem Trägerelement angebracht ist und dass ein Referenzoberflächen-Abtastkörper (11) zum Abtasten der Referenz-Oberfläche des Referenzprofils (3) vorgesehen ist.

Description

Die Erfindung betrifft ein Rauheits- oder Oberflächenmikrostrukturprofil-Messgerät zur Messung der Rauheit oder eines Oberflächenmikrostrukturprofils einer Messobjekt-Oberfläche eines Messobjekts, enthaltend einen an einem Tasthebel befestigten Oberflächen-Antastkörper zur berührenden oder berührungslosen Erfassung der Rauheit oder des Oberflächenmikrostrukturprofils der Messobjekt-Oberfläche, einen motorisierten oder mit einem Aktor versehenen Vorschub zum Bewegen des Oberflächen-Antastkörpers entlang eines Verfahrweges über eine Abtastweglänge, ein Meßsystem zur Erfassung einer Stellung des Oberflächen-Antastkörpers relativ zu der Messobjekt-Oberfläche und eine Treiber-, Datenerfassungs- und/oder Auswerteelektronik und/oder eine Rechnerschnittstelle.
Rauheits- und Profilmesstaster sind bewährte und weit verbreitete Messinstrumente zur Beurteilung der geometrischen Oberflächenqualität von Werkstücken, zur Erfassung der Mikrostruktur und der Oberflächenrauheit. Diese Instrumente besitzen eine Tastspitze aus Diamant oder, im Falle eines Profilmesstasters, eine Metall- oder Glaskugel, mit welcher die Werkstückoberfläche abgetastet wird, indem der Taster mittels eines motorisierten Vorschubs über die Oberfläche bewegt, insbesondere gezogen, wird. Letzterer kann als separates Gerät oder im Taster integriert sein. Normalerweise sind keine weiteren Funktionen in den heute handelsüblichen Messgeräten integriert.
Das Funktionsprinzip ist immer ähnlich: Die Tastnadel ist an einem Hebel befestigt, welcher geeignet gelagert ist, zum Beispiel mittels eines Drehlagers, und um einen bestimmten Winkel ausgelenkt werden kann. Die durch die Werkstückoberfläche über die Tastspitze induzierte Auslenkung wird von einem Meßsystem, meist induktiv, kapazitiv oder optisch, gemessen, digitalisiert und an die Auswerteelektronik ausgegeben.
Gemessen wird mit einem derartigen Taster ein so genannter Tastschnitt, also ein Linienprofil. Aufgrund der verschiedensten Einflüsse ist es ratsam, von Zeit zu Zeit eine Kalibrierüberprüfung der Messgerätekomponenten bzw. Funktionen durchzuführen. Während sich die Funktion der Elektronikmodule leicht durch geeignete elektronische oder programmierte Prüfsequenzen testen lässt, ist dies bei den mechanischen Funktionen etwas umständlicher. Die ordnungsgemäße Kalibrierung sollte für die folgenden Messgerätekomponenten regelmäßig überprüft werden: ordnungsgemäße Funktion und Steigung der Meßsystemkennlinie, geometrische Integrität der Tastspitze sowie gegebenenfalls die Linearität der Referenzebene für den Tastervorschub.
Es ist eine Aufgabe der Erfindung, einen Messtaster der eingangs genannten Art zur Verfügung zu stellen, der eine integrierte Kalibrierüberprüfung insbesondere für die oben genannten Komponenten ermöglicht.
Diese Aufgabe wird durch die Merkmale des Anspruches 1 insbesondere dadurch gelöst, dass ein sich mit einer Referenz-Oberfläche über die Abtastweglänge oder einen Teil der Abtastweglänge erstreckendes Referenzprofil an einem Trägerelement angebracht ist und dass ein Referenzoberflächen-Abtastkörper zum Abtasten der Referenz-Oberfläche des Referenzprofils vorgesehen ist.
Die Kalibrierüberprüfung kann programmgesteuert erfolgen ohne weitere externe Hilfsmittel. Somit eignet sie sich insbesondere für Messgeräte, die in der Produktion eingesetzt werden sollen.
Die Erfindung betrifft insbesondere ein Oberflächenprofil-Messgerät, bei welchem alle Komponenten in einem Gehäuse vereint sind.
Die erfindungsgemäße Erweiterung des Standes der Technik gilt genauso für solche Meßsysteme, bei denen Messtaster und Vorschub getrennte Einheiten sind.
Gemäß einer bevorzugten Ausgestaltung kann vorgesehen sein, dass die Referenz-Oberfläche des Referenzprofils derart in Reichweite des Referenzoberflächen-Abtastkörpers angebracht ist, dass die Referenz-Oberfläche des Referenzprofils von dem Referenzoberflächen-Abtastkörper abtastbar ist.
Gemäß einer Weiterbildung kann vorgesehen sein, dass Mittel vorhanden sind, um den zu der Referenz-Oberfläche des Referenzprofils zeigenden Referenzoberflächen-Abtastkörper in Richtung der Referenz-Oberfläche des Referenzprofils zu lenken und/oder an der Referenz-Oberfläche des Referenzprofils anzulegen.
Ferner kann vorgesehen sein, dass die Referenz-Oberfläche des Referenzprofils oder das Referenzprofil Kalibriermerkmale aufweist. Die Kalibriermerkmale können geometrischer, optischer, elektrischer, elektromagnetischer, magnetischer und/oder chemischer Natur sein.
Gemäß einer ganz besonders bevorzugten Ausführungsvariante kann vorgesehen sein, dass das Messgerät ein Gehäuse aufweist, aus dem der den Oberflächen-Antastkörper tragende Tasthebel heraus ragt, wobei ein sich außerhalb des Gehäuses über dem oder oberhalb des Tasthebels erstreckender Schutzkörper zum Schutz des Tasthebels und/oder des Oberflächen-Antastkörpers gegen Beschädigungen an dem Gehäuse befestigt ist, und wobei das Referenzprofil mit seiner Referenz-Oberfläche auf einer dem Tasthebel gegenüber liegenden Innenseite des Schutzkörpers angebracht ist.
Zweckmäßigerweise kann der Referenzoberflächen-Abtastkörper an dem Tasthebel befestigt sein.
Der Oberflächen-Abtastkörper oder der Referenzoberflächen-Abtastkörper können an einem Ende eines Stiftes oder eines Gewindestiftes befestigt sein. Gemäß einer besonders bevorzugten Ausgestaltung kann vorgesehen sein, dass der Oberflächen-Antastkörper an einem ersten Ende eines Stiftes oder eines Gewindestiftes befestigt ist und dass der Referenzoberflächen-Abtastkörper an einem zweiten Ende des Stiftes oder des Gewindestiftes befestigt ist. Dadurch kann im Falle eines Verschleißes eines der An- bzw. Abtastkörper, der verschlissene An- bzw. Abtastkörper besonders einfach und schnell ausgewechselt bzw. ausgetauscht werden. Auch kann man durch einfaches Umdrehen des als Tastkörperträger fungierenden Stifts oder Gewindestifts einen der beiden Tastkörper kalibrieren und/oder zur Werkstückabtastung benutzen.
Wenn der Referenzoberflächen-Abtastkörper baugleich bzw. geometriegleich wie der Oberflächen-Antastkörper gewählt ist, eignet sich der Referenzoberflächen-Abtastkörper in besonderer Weise als Referenzkörper.
Gemäß einer Weiterbildung kann vorgesehen sein, dass der Oberflächen-Antastkörper und der Referenzoberflächen-Abtastkörper sich in unterschiedliche Richtungen erstrecken oder sich in entgegen gesetzte Richtungen voneinander weg erstrecken. Es versteht sich jedoch, dass der Oberflächen-Antastkörper und der Referenzoberflächen-Abtastkörper sich auch in die gleiche Richtung erstrecken können. Es versteht sich ferner, dass der Oberflächen-Antastkörper und/oder der Referenzoberflächen-Abtastkörper in beliebiger Orientierung an dem Stift befestigt sein kann bzw. können.
Gemäß einem bevorzugten Ausführungsbeispiel kann vorgesehen sein, dass es sich bei dem Oberflächen-Antastkörper um einen durch seine Geometrie für eine berührende Erfassung der Rauheit oder des Oberflächenmikrostrukturprofils der Messobjekt-Oberfläche bestimmten oder wirkenden Antastkörper handelt und/oder dass es sich bei dem Referenzoberflächen-Abtastkörper um einen durch seine Geometrie für eine berührende Erfassung der Rauheit oder eines Oberflächenmikrostrukturprofils der Referenz-Oberfläche bestimmten oder wirkenden Abtastkörper handelt.
Gemäß einer bevorzugten Weiterbildung kann vorgesehen sein, dass der Oberflächen-Antastkörper und/oder der Referenzoberflächen-Abtastkörper eine Nadelspitze einer Tastnadel umfasst bzw. umfassen oder als eine Tastnadel mit einer Nadelspitze ausgebildet ist bzw. sind oder eine Kugel oder eine Schneide umfasst bzw. umfassen.
Ferner kann vorgesehen sein, dass es sich bei dem Oberflächen-Antastkörper um einen durch seine elektrischen oder durch seine elektromagnetischen Eigenschaften für eine berührungslose Erfassung der Rauheit oder des Oberflächenmikrostrukturprofils der Messobjekt-Oberfläche bestimmten oder aktiv oder passiv wirkenden Antastkörper handelt und/oder dass es sich bei dem Referenzoberflächen-Abtastkörper um einen durch seine elektrischen oder durch seine elektromagnetischen oder durch seine magnetischen Eigenschaften für eine berührungslose Erfassung der Rauheit oder eines Oberflächenmikrostrukturprofils der Referenz-Oberfläche bestimmten oder aktiv oder passiv wirkenden Abtastkörper handelt.
Bei dem Oberflächen-Antastkörper und/oder bei dem Referenzoberflächen-Abtastkörper kann es sich um einen Kondensator, eine Spule oder um ein eine elektromagnetische Strahlung emittierendes Objekt handeln.
Gemäß einem bevorzugten Ausführungsbeispiel kann vorgesehen sein, dass der Referenzoberflächen-Abtastkörper als ein Abstandsmeßsystem ausgebildet ist.
Es versteht sich, dass der Fachmann die vorstehenden Merkmale und Maßnahmen sowie die aus den Ansprüchen und die aus den Zeichnungen hervorgehenden Merkmale und Maßnahmen im Rahmen der Ausführbarkeit beliebig kombinieren kann.
Weitere Vorteile, Merkmale, Einzelheiten und Gesichtspunkte der Erfindung ergeben sich aus den Ansprüchen sowie aus dem nachfolgenden Beschreibungsteil, in dem ein bevorzugtes Ausführungsbeispiel der Erfindung anhand der einzigen Figur beschrieben ist.
Die 1 zeigt eine schematische Darstellung eines bevorzugten Ausführungsbeispiels einer erfindungsgemäßen Vorrichtung. Die Erfindung betrifft insbesondere eine Rauheits- und/oder Profil- Messvorrichtung mit einem als Freitaster ausgebildeten Messtaster, mit wenigstens einem Oberflächen-Antastelement 10, vorzugsweise in Form einer eine Tastspitze aufweisenden Tastnadel und/oder in Form eines kugelförmigen oder kufenförmigen Antastkörpers, zur berührenden Messung des mikroskopischen Oberflächenprofils eines Messobjekts 9, insbesondere eines Werkstücks, und mit einem Meßsystem 6 zur Erfassung bzw. Messung der Stellung des Oberflächen-Antastelements 10 relativ zu der Oberfläche des Messobjekts 9. Die Erfindung betrifft insbesondere ein Oberflächenprofilmessgerät.
Die Tastnadel 10 ist an einem Hebel 4 befestigt, welcher geeignet gelagert ist, zum Beispiel mittels eines Drehlagers 5 und um einen bestimmten Winkel 7 ausgelenkt werden kann. Die durch die Werkstückoberfläche 9 über die Tastspitze induzierte Auslenkung wird von einem Meßsystem 6, vorzugsweise induktiv, kapazitiv oder optisch, gemessen, digitalisiert und an die Auswerteelektronik 12 ausgegeben.
Ähnlich wie bisher bekannte konventionelle Rauheits- oder Profilmesstaster weist die Vorrichtung eine Tastnadel 10 zur Erfassung des Oberflächenprofils auf. Diese ist am Ende eines Tasthebels 4 angebracht und zeigt in Richtung der Werkstückoberfläche 9. Der Tasthebel 4 weist ein weiteres Antastelement 11 auf, welches entgegengesetzt zur Tastnadel am Hebel 4 befestigt ist. Dabei kann das Antastelement 11 beispielsweise das andere Ende der Tastnadel 10 darstellen oder getrennt auf dem Tasthebel 4 an geeigneter Stelle angebracht sein.
Um auch in Bohrungen messen zu können, ragt der Tasthebel 4 aus dem Tastergehäuse 1 heraus und ist zum Schutz mit einer auch als Schutzkörper bezeichneten Abdeckung 2 versehen. Diese kann zum Beispiel ein Rohr oder eine U-förmig ausgebildete Abdeckung sein. Die Tastnadel samt Tasthebel kann sich aber auch oder nur innerhalb des Gehäuses befinden. Diese Ausführung zeichnet sich insbesondere durch eine hohe Vibrationsunempfindlichkeit aus.
Die Tastnadel wird über die Werkstückoberfläche 9 mittels eines Motors 16 gezogen, welcher zum Beispiel über eine Spindel, einen Seilzug, ein Band oder dergleichen, das Gehäuse, welches das Meßsystem 6 beinhaltet, mittels der Abstützpunkte 15 auf der Führung oder Schiene bzw. Referenzebene 14 linear 8 in Achsrichtung 20 schiebt. Bei der Abtastung der Oberfläche 9 folgt die Tastspitze der Oberflächenkontur. Diese Schwenkbewegung 7 registriert das Meßsystem 6.
Erfindungsgemäß ist vorgesehen, auf der dem Werkstück 9 zugewandten Seite der Hebelabdeckung 2 bzw. deren räumlicher virtueller Fortsetzung innerhalb des Gerätegehäuses als Referenzprofil ein physisches Referenznormal 3 anzubringen. Dieses kann im einfachsten Fall ein ebenes Stück poliertes Glas oder Metall sein. Damit kann man dann die Ebenheit bzw. Schmutzfreiheit der eigentlichen Vorschubführung überprüfen und gegebenenfalls korrigieren. Weist das Referenzprofil zusätzlich eine Rille oder Stufe auf, so lässt sich damit die Kalibrierung des Meßsystems 6 überprüfen und gegebenenfalls nachjustieren. Weitergehend kann das Referenzprofil aber mit beliebigen geometrischen Kurvenverläufen ausgebildet sein. Ist der das Referenzprofil 3 abtastende Antastkörper 11 berührend hinsichtlich seiner Funktion, so müssen natürlich geeignete Mittel vorhanden sein, um diesen Antastkörper 11 gegen die Referenzebene 3 zu drücken. Dies kann vorteilhafter Weise mit einem elektrischen, magnetischen oder motorischen Aktor 17 erfolgen. Das Referenzprofil 3 kann zum Beispiel in Messpausen abgetastet werden. Ein solcher Aktor kann zum Beispiel aus einem Magneten 18 sowie einer Spule 17 bestehen. Der Antastkörper 11 ist entsprechend der gewünschten Funktion ausgebildet sein, im einfachsten Fall als Kugel oder Tastspitze.
Man kann nun in einer vorteilhaften Weiterbildung den Abtastvorgang des Referenznormals 3 auch berührungslos durchführen, zum Beispiel mittels eines magnetischen, kapazitiven oder optischen Sensors. Bei geeigneter konstruktiver Auslegung der Anordnung kann dieser Abtastvorgang in einer weiteren Weiterbildung als Differenzabstandsmessung ausgeführt werden zwischen der Werkstückoberfläche 9 und der Referenzstückoberfläche 3. Schließlich kann der Antastkörper im erweiterten Sinn auch ein auf einem chemischen Effekt basierender Sensor sein, dessen Ausgangssignal vom Ort der entsprechend präparierten Referenzstückoberfläche 3 abhängt.
Ebenso kann auch der Tastkörper als chemisch, elektrisch, magnetisch oder optisch wirkender Sensor ausgeführt sein. In diesem Fall werden nicht geometrische, sondern die entsprechenden anderen physikalischen/chemischen Eigenschaften der Werkstückoberfläche erfasst.
Um einen messbaren Effekt zu bewirken, kann es sinnvoll sein, die zu untersuchende Oberfläche mit einem Reagenz, Fremdstoff oder Katalysator zu benetzen, bevor oder während sie abgetastet wird. Diese Benetzung kann über eine geeignete Vorrichtung im oder über den Taster erfolgen.
Konstruktiv schwieriger zu realisieren ist die Anbringung der Referenzebene 3 in Reichweite des Abtastkörpers 10. Dazu kann man beispielsweise den das Werkstück 9 abtastenden Weg verkürzen und das Referenzstück 3 vorne in der Tasthebelabdeckung 2 positionieren. In alternativer Weise kann die Referenzebene innerhalb oder knapp außerhalb des Gerätegehäuses 1 vor dem Ende der Verfahrstrecke des Tastkörpers 10 angebracht sein. In beiden Fällen ist darauf zu achten, dass die Referenzebene innerhalb des Messbereichs 7 des Tastsystems liegt. Diese Anordnung hat gegenüber derjenigen, bei welcher der Tastkörper 11 die Referenzebene 3 abtastet, den Vorteil, dass man den für die Messung wirklich im Einsatz befindlichen Tastkörper überprüft. Sind die Tastkörper 10, 11 von gleicher Art und an einem Tastkörperträger befestigt und ist dieser Tastkörperträger am Tasthebel befestigt, zum Beispiel durch Klemmen oder Schrauben, so kann man durch einfaches Umdrehen des Tastkörperträgers einen der beiden Tastkörper 10, 11 kalibrieren und/oder zur Werkstückabtastung benutzen. In einem einfachen Fall kann der Tastkörperträger ein Gewindestift sein wobei an jedem Ende ein An- bzw. Abtastkörper, zum Beispiel ein Tastdiamant, aufgebracht bzw. befestigt ist.
Zusammengefasst kann die Erfindung auch wie folgt beschrieben werden: Ein Oberflächen-Mikrostruktur-Messgerät, bei dem vorzugsweise alle funktionell essentiellen Komponenten innerhalb eines Gehäuses angeordnet sind, lässt sich vorteilhaft erweitern, wenn man eine interne Kalibriermöglichkeit für das Abstandsmeßsystem vorsieht. Dazu wird ein Referenzprofilträger innerhalb des Messgerätes an geeigneter Stelle angebracht, beispielsweise auch auf der Innenseite des Tastnadelschutzes, der an dem Gehäuse angebracht ist. In Messpausen lässt sich damit die Tasterkalibrierung sowie gegebenenfalls die Integrität der Tastnadelspitze überprüfen.

Claims

Rauheits- oder Oberflächenmikrostrukturprofil-Messgerät zur Messung der Rauheit oder eines Oberflächenmikrostrukturprofils einer Messobjekt-Oberfläche eines Messobjekts (9), enthaltend: einen an einem Tasthebel (4) befestigten Oberflächen-Antastkörper (10) zur berührenden oder berührungslosen Erfassung der Rauheit oder des Oberflächenmikrostrukturprofils der Messobjekt-Oberfläche; einen motorisierten oder mit einem Aktor versehenen Vorschub zum Bewegen des Oberflächen-Antastkörpers (10) entlang eines Verfahrweges über eine Abtastweglänge; ein Meßsystem (6) zur Erfassung einer Stellung des Oberflächen-Antastkörpers (10) relativ zu der Messobjekt-Oberfläche; und eine Treiber-, Datenerfassungs- und/oder Auswerteelektronik (12) und/oder eine Rechnerschnittstelle, dadurch gekennzeichnet, dass ein sich mit einer Referenz-Oberfläche über die Abtastweglänge oder einen Teil der Abtastweglänge erstreckendes Referenzprofil (3) an einem Trägerelement angebracht ist und dass ein Referenzoberflächen-Abtastkörper (11) zum Abtasten der Referenz-Oberfläche des Referenzprofils (3) vorgesehen ist.
Messgerät nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Referenz-Oberfläche des Referenzprofils (3) derart in Reichweite des Referenzoberflächen-Abtastkörpers (11) angebracht ist, dass die Referenz-Oberfläche des Referenzprofils (3) von dem Referenzoberflächen-Abtastkörper (11) abtastbar ist.
Messgerät nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass Mittel (17, 18) vorhanden sind, um den zu der Referenz-Oberfläche des Referenzprofils (3) zeigenden Referenzoberflächen-Abtastkörper (11) in Richtung der Referenz-Oberfläche des Referenzprofils (3) zu lenken und/oder an der Referenz-Oberfläche des Referenzprofils (3) anzulegen.
Messgerät nach einem der verstehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Referenz-Oberfläche des Referenzprofils (3) oder das Referenzprofil (3) Kalibriermerkmale aufweist.
Messgerät nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, dass die Kalibriermerkmale geometrischer, optischer, elektrischer, elektromagnetischer, magnetischer oder chemischer Natur sind.
Messgerät nach einem der vorstehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass dieses ein Gehäuse (1) aufweist, aus dem der den Oberflächen-Antastkörper tragende Tasthebel (4) heraus ragt, wobei ein sich außerhalb des Gehäuses (1) über dem oder oberhalb des Tasthebels (4) erstreckender Schutzkörper (2) zum Schutz des Tasthebels (4) und/oder des Oberflächen-Antastkörpers (10) gegen Beschädigungen an dem Gehäuse (1) befestigt ist, und wobei das Referenzprofil (3) mit seiner Referenz-Oberfläche auf einer dem Tasthebel (4) gegenüber liegenden Innenseite des Schutzkörpers (2) angebracht ist.
Messgerät nach einem der vorstehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass der Referenzoberflächen-Abtastkörper (11) an dem Tasthebel (4) befestigt ist.
Messgerät nach einem der vorstehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass der Oberflächen-Abtastkörper (10) oder der Referenzoberflächen-Abtastkörper (11) an einem Ende eines Stiftes oder eines Gewindestiftes befestigt ist oder dass der Oberflächen-Antastkörper (10) an einem ersten Ende eines Stiftes oder eines Gewindestiftes befestigt ist und dass der Referenzoberflächen-Abtastkörper (11) an einem zweiten Ende des Stiftes oder des Gewindestiftes befestigt ist.
Messgerät nach einem der vorstehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass der Oberflächen-Antastkörper (10) und der Referenzoberflächen-Abtastkörper (11) sich in unterschiedliche Richtungen erstrecken oder sich in entgegen gesetzte Richtungen voneinander weg erstrecken.
Messgerät nach einem der vorstehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass es sich bei dem Oberflächen-Antastkörper (10) um einen durch seine Geometrie für eine berührende Erfassung der Rauheit oder des Oberflächenmikrostrukturprofils der Messobjekt-Oberfläche bestimmten oder wirkenden Antastkörper handelt ist und/oder dass es sich bei dem Referenzoberflächen-Abtastkörper (11) um einen durch seine Geometrie für eine berührende Erfassung der Rauheit oder eines Oberflächenmikrostrukturprofils der Referenz-Oberfläche bestimmten oder wirkenden Abtastkörper handelt.
Messgerät nach einem der vorstehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass der Oberflächen-Antastkörper (10) und/oder der Referenzoberflächen-Abtastkörper (11) eine Nadelspitze einer Tastnadel umfasst oder als eine Tastnadel mit einer Nadelspitze ausgebildet ist oder eine Kugel umfasst oder eine Schneide umfasst.
Messgerät nach einem der Ansprüche 1 bis 9, dadurch gekennzeichnet, dass es sich bei dem Oberflächen-Antastkörper um einen durch seine elektrischen oder durch seine elektromagnetischen Eigenschaften für eine berührungslose Erfassung der Rauheit oder des Oberflächenmikrostrukturprofils der Messobjekt-Oberfläche bestimmten oder aktiv oder passiv wirkenden Antastkörper handelt und/oder dass es sich bei dem Referenzoberflächen-Abtastkörper um einen durch seine elektrischen oder durch seine elektromagnetischen oder durch seine magnetischen Eigenschaften für eine berührungslose Erfassung der Rauheit oder eines Oberflächenmikrostrukturprofils der Referenz-Oberfläche bestimmten oder aktiv oder passiv wirkenden Abtastkörper ausgebildet ist.
Messgerät nach Anspruch 12, dadurch gekennzeichnet, dass es sich bei dem Oberflächen-Antastkörper und/oder bei dem Referenzoberflächen-Abtastkörper um einen Kondensator, eine Spule oder um ein eine elektromagnetische Strahlung emittierendes Objekt handelt.
Messgerät nach einem der vorstehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass der Referenzoberflächen-Abtastkörper (11) als ein Abstandsmeßsystem ausgebildet ist.