DE202013009657U1 - vacuum pump - Google Patents

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Abstract

Vakuumpumpe, insbesondere Turbomolekularpumpe, mit
einer in einem Gehäuse (10) angeordneten mindestens einen Rotor tragenden Rotorwelle (12),
mindestens einem mit dem mindestens einen Rotor zusammen wirkenden Stator,
einer mit der Rotorwelle (12) verbundenen elektrischen Antriebseinrichtung (14),
mit der Antriebseinrichtung (14) verbundenen Leitungen (18) zur Energiezufuhr,
gekennzeichnet durch
ein Fixierelement (30) zur Verbindung der Leitungen (18) mit einem Kontaktelement (24),
wobei das Fixierelement (30) Leitungsenden (20) der Leitungen (18) aufnimmt und am Kontaktelement (24) fixiert.Vacuum pump, in particular turbomolecular pump, with
a rotor shaft (12) which is arranged in a housing (10) and carries at least one rotor;
at least one stator cooperating with the at least one rotor,
an electric drive device (14) connected to the rotor shaft (12),
power supply lines (18) connected to the drive means (14);
marked by
a fixing element (30) for connecting the lines (18) to a contact element (24),
wherein the fixing element (30) receives line ends (20) of the lines (18) and fixed on the contact element (24).

Figure DE202013009657U1_0001
Figure DE202013009657U1_0001

Description

Die Erfindung betrifft eine Vakuumpumpe, insbesondere eine Turbomolekularpumpe.The invention relates to a vacuum pump, in particular a turbomolecular pump.

Vakuumpumpen wie Turbomolekularpumpen weisen eine in einem Gehäuse gelagerte Rotorwelle auf. Die Rotorwelle trägt mindestens einen Rotor. Bei einer Turbomolekularstufe weist der Rotor mehrere Rotorscheiben mit Flügeln auf. Handelt es sich um einen Rotor einer Holweckstufe ist der Rotor als zylindrisches Rohr ausgebildet, das über ein scheibenförmiges Trägerelement mit der Rotorwelle verbunden ist. Ferner ist innerhalb des Pumpengehäuses mindestens ein Stator angeordnet, der mit dem mindestens einen Rotor zusammen wirkt. Bei einer Turbomolekularstufe sind mehrere Statorscheiben zwischen den Rotorschreiben angeordnet. Bei einer Holweckstufe weist der Rotor eine schraubenlinienförmige Nut auf.Vacuum pumps such as turbomolecular pumps have a rotor shaft mounted in a housing. The rotor shaft carries at least one rotor. In a turbomolecular stage, the rotor has a plurality of rotor disks with vanes. If it is a rotor of a Holweck stage, the rotor is designed as a cylindrical tube which is connected to the rotor shaft via a disk-shaped carrier element. Further, at least one stator is arranged within the pump housing, which cooperates with the at least one rotor. In a turbomolecular stage, a plurality of stator disks are disposed between the rotor letters. In a Holweck stage, the rotor has a helical groove.

Desweitern ist die Rotorwelle mit einer elektrischen Antriebseinrichtung wie einem Elektromotor verbunden. Hierbei können einzelne Bestandteile des Elektromotors wie beispielsweise Magnete auch in der Rotorwelle angeordnet bzw. in diese integriert sein. Die Antriebseinrichtung ist zur Energiezufuhr mit Leitungen verbunden. Da der Antriebsmotor insbesondere aus Platzgründen gegebenenfalls in einem Bereich angeordnet ist in dem Vakuum herrscht, ist es erforderlich, die Leitungen aus diesem Bereich heraus zu führen. Dies erfolgt über eine Stromdurchführung die in der Trennwand des Vakuumbereichs angeordnet ist. Die Stromdurchführung weist üblicherweise stiftförmige Elemente auf die in die Trennwand beispielsweise über eine Glasvergussmasse eingegossen sind. Mit den Stiften sind somit auf einer Seite die mit dem Elektromotor verbundenen Leitungen, und auf der gegenüber liegenden Seite die mit einer Steuereinrichtung verbundenen Leitungen verbunden. Die Steuereinrichtung kann hierbei in einem Bereich mit geringerem Vakuum oder in einem Bereich in dem Atmosphärendruck herrscht oder auch außerhalb der Vakuumpumpe angeordnet sein. Entsprechende Kontaktelemente sind auch bei Vakuumpumpen vorgesehen deren Antriebseinrichtung gegebenenfalls in einem Bereich angeordnet ist in dem Atmosphärendruck herrscht. Insbesondere bei Antriebseinrichtungen die in einem Vakuumbereich angeordnet sind, ist der zur Verfügung stehende Bauraum sehr gering. Dies birgt die Gefahr in sich, dass die Leitungsenden der mit der Antriebseinrichtung verbundenen Leitungen, die mit dem Kontaktelement verlötet sind, mit metallischen Bauteilen der Vakuumpumpe in Kontakt kommen. Dies kann zu Kurzschlüssen, Beschädigung und dergleichen führen.Furthermore, the rotor shaft is connected to an electric drive device such as an electric motor. Here, individual components of the electric motor such as magnets may also be arranged in the rotor shaft or integrated into it. The drive device is connected to lines for power supply. Since the drive motor, in particular for reasons of space, is optionally arranged in an area in which there is a vacuum, it is necessary to guide the lines out of this area. This is done via a current feedthrough which is arranged in the partition wall of the vacuum region. The current feedthrough usually has pin-shaped elements which are cast into the partition, for example via a glass casting compound. The pins are thus connected on one side connected to the electric motor lines, and on the opposite side connected to a control device lines. The control device may in this case be in a region with a lower vacuum or in a region in the atmospheric pressure or may also be arranged outside the vacuum pump. Corresponding contact elements are also provided in vacuum pumps whose drive device is optionally arranged in a region in which atmospheric pressure prevails. In particular, in drive devices which are arranged in a vacuum region, the available space is very small. This entails the risk that the line ends of the lines connected to the drive device, which are soldered to the contact element, come into contact with metallic components of the vacuum pump. This can lead to short circuits, damage and the like.

Aufgabe der Erfindung ist es eine Vakuumpumpe zu schaffen, bei der auch bei geringem Platzbedarf ein sicherer Kontakt zwischen den mit der Antriebseinrichtung verbundenen Leitungen und einem Kontaktelement gewährleistet ist.The object of the invention is to provide a vacuum pump, in which a secure contact between the lines connected to the drive device and a contact element is ensured even in a small footprint.

Die Lösung der Aufgabe erfolgt erfindungsgemäß durch die Merkmale des Anspruchs 1.The object is achieved according to the invention by the features of claim 1.

Bei der erfindungsgemäßen Vakuumpumpe ist ein Fixierelement vorgesehen, das anstelle eines Verbindens der Leitungsenden mit dem Kontaktelement durch Löten die Leitungsenden aufnimmt, und an dem Kontaktelement fixiert. Hierdurch kann ein sicherer, zuverlässiger Kontakt zwischen den Leitungsenden und einzelnen Stiften des Kontaktelements gewährleistet werden. Desweiteren erfolgt vorzugsweise eine Isolierung der Leitungsenden und der Kontaktelemente gegeneinander. Ferner ist die Montage erheblich vereinfacht, da der Lötvorgang entfällt und ein Befestigen der Leitungsenden durch das Fixierelement erfolgt. Hierdurch ist ferner die Gefahr vermieden, dass sich das Leitungsende von dem Kontaktelement auf Grund eines mangelhaften Lötkontakts löst.In the case of the vacuum pump according to the invention, a fixing element is provided which, instead of connecting the line ends to the contact element, receives the line ends by soldering, and fixes them to the contact element. In this way, a secure, reliable contact between the line ends and individual pins of the contact element can be ensured. Furthermore, it is preferably an isolation of the line ends and the contact elements against each other. Furthermore, the assembly is considerably simplified, since the soldering process is eliminated and a fixing of the line ends by the fixing takes place. In this way, the risk is further avoided that the line end of the contact element due to a faulty solder contact triggers.

Vorzugsweise weist das Fixierelement je Leitungsende einen insbesondere durchgehenden Schlitz auf. Das Leitungsende kann somit in den Schlitz des Fixierelements eingelegt und das Fixierelement sodann zusammen mit den Leitungsenden auf das Kontaktelement gesteckt werden. Da die Schlitze vorzugsweise durchgehend sind, ist es möglich die Leitungen von beiden Seiten, dass heißt gegebenenfalls auch von unterschiedlichen Seiten in die Schlitze einzuführen. Insbesondere sind drei Schlitze vorgesehen.Preferably, the fixing element per line end on a particular continuous slot. The line end can thus be inserted into the slot of the fixing element and the fixing element can then be inserted together with the line ends on the contact element. Since the slots are preferably continuous, it is possible to introduce the lines from both sides, that is possibly also from different sides into the slots. In particular, three slots are provided.

Die Schlitze sind vorzugsweise im montierten Zustand in Richtung des Kontaktelements offen. Hierdurch ist es auf einfache Weise möglich das Fixierelement zusammen mit den Leitungsenden von oben auf das Kontaktelement aufzustecken.The slots are preferably open in the assembled state in the direction of the contact element. This makes it possible in a simple manner aufzustecken the fixing together with the line ends from above on the contact element.

Da es sich bei den Leitungen vorzugsweise um Litzen handelt, ist es bevorzugt an den Leitungsenden Kontakthülsen vorzusehen. Diese können beispielsweise durch Verquetschen oder Verlöten mit den Leitungsenden sicher verbunden werden. Bevorzugt ist es ferner, dass die Kontakthülsen eine Breite aufweisen die im Wesentlichen der Schlitzbreite entspricht. Hierdurch ist ein sicheres Halten der Leitungsenden in den Schlitzen auch bereits während der Montage insbesondere während des Aufsteckens des Fixierelements auf das Kontaktelement gewährleistet. Hierdurch ist insbesondere ein Verrutschen der Leitungsenden in den Schlitzen vermieden, sodass ein zuverlässiger Kontakt gewährleistet ist. Gegebenenfalls ist die Breite der Kontakthülsen geringfügig größer als die Breite der Schlitze, sodass die Kontakthülsen klemmend in den Schlitzen gehalten sind.Since the lines are preferably strands, it is preferable to provide contact sleeves at the line ends. These can be securely connected, for example by squeezing or soldering with the cable ends. It is further preferred that the contact sleeves have a width which substantially corresponds to the slot width. In this way, a secure holding of the line ends in the slots is already ensured during assembly, in particular during the attachment of the fixing element to the contact element. As a result, in particular slippage of the cable ends is avoided in the slots, so that a reliable contact is ensured. Optionally, the width of the contact sleeves is slightly larger than the width of the slots, so that the contact sleeves are clamped in the slots.

Zur Vermeidung eines elektrischen Kontakts zwischen den Leitungsenden und anderen metallischen Bauteilen der Vakuumpumpe weist das Fixierelement vorzugsweise ein Deckelteil auf. Durch das Deckelteil sind die Leitungsenden und auch das Kontaktelement gegenüber umliegenden Metallteilen abgedeckt. Insbesondere ist das Fixierelement somit vorzugsweise deckelartig ausgebildet, sodass auch eine seitliche Abdeckung gewährleistet ist. Hierdurch ist die Sicherheit weiter verbessert. In order to avoid an electrical contact between the line ends and other metallic components of the vacuum pump, the fixing element preferably has a cover part. By the cover part, the line ends and the contact element are covered with respect to surrounding metal parts. In particular, the fixing element is thus preferably designed lid-like, so that a lateral cover is ensured. As a result, the security is further improved.

Bei einer besonders bevorzugten Ausführungsform des Fixierelements liegt dessen Deckelteil an einem Pumpenbauteil an. Bei dem Pumpenbauteil handelt es sich beispielsweise um den Gewindestator einer Holweckstufe. Hierdurch ist gewährleistet, dass das Fixierelement im montierten Zustand beispielsweise nicht verrutscht, sondern zuverlässig auf dem Kontaktelement gehalten ist. Es ist desweiteren bevorzugt, dass das Deckelteil mindestens einen Ansatz oder Noppen aufweist. Bei an dem Pumpenbauteil anliegenden Ansätzen oder Noppen ist es möglich einen Toleranzausgleich vorzusehen. Dies ist besonders bevorzugt dann möglich, wenn der mindestens eine Ansatz und/oder das Deckelteil selbst elastisches Material aufweisen.In a particularly preferred embodiment of the fixing element, the cover part abuts against a pump component. The pump component is, for example, the threaded stent of a Holweck stage. This ensures that the fixing in the assembled state, for example, does not slip, but is reliably held on the contact element. It is further preferred that the lid part has at least one lug or nubs. When attaching to the pump component lugs or nubs it is possible to provide a tolerance compensation. This is particularly preferably possible if the at least one projection and / or the cover part itself comprise elastic material.

Besonders bevorzugt ist es, dass der mindestens eine Ansatz und das Deckelteil einstückig ausgebildet sind. Insbesondere kann das ganze Fixierelement einstückig ausgebildet sein. Insbesondere ist das Material des mindestens einen Ansatzes und/oder des Deckelteils und/oder des gesamten Fixierelements elastischer Kunststoff, insbesondere Gummi.It is particularly preferred that the at least one projection and the cover part are integrally formed. In particular, the entire fixing element may be integrally formed. In particular, the material of the at least one projection and / or the cover part and / or the entire fixing element is elastic plastic, in particular rubber.

Vorzugsweise ist das Kontaktelement in einer Trennwand der Vakuumpumpe als Stromdurchführung ausgebildet. Durch die Trennwand erfolgt ein Abtrennen eines Vakuumbereichs, in dem die Antriebseinrichtung angeordnet ist, von einem Bereich in dem ein geringeres Vakuum oder Atmosphärendruck herrscht. In diesem Bereich ist üblicherweise zumindest ein Teil der Steuereinrichtung vorgesehen.Preferably, the contact element is formed in a partition wall of the vacuum pump as a current feedthrough. Through the partition wall, a separation of a vacuum region, in which the drive device is arranged, from a region in which a lower vacuum or atmospheric pressure prevails. In this area, usually at least a part of the control device is provided.

Nachfolgend wird die Erfindung anhand einer bevorzugten Ausführungsform unter Bezugnahme auf die anliegenden Zeichnungen näher erläutert.The invention will be explained in more detail with reference to a preferred embodiment with reference to the accompanying drawings.

Es zeigen:Show it:

1 eine schematische Schnittansicht eines Teils einer Vakuumpumpe, 1 a schematic sectional view of a part of a vacuum pump,

2 einen schematischen Längsschnitt des Fixierelements, und 2 a schematic longitudinal section of the fixing, and

3 eine schematische perspektivische Ansicht des Fixierelements. 3 a schematic perspective view of the fixing.

In einem in 1 angedeuteten Pumpengehäuse 10 ist eine Rotorwelle 12 angeordnet. Die Rotorwelle trägt mindestens einen Rotor. Ferner ist mit der Rotorwelle 12 eine Antriebseinrichtung wie ein Elektromotor verbunden. Der Elektromotor 14 ist über ein Haltelement 16 in dem Pumpengehäuse 10 gehalten. Mit dem Elektromotor 14 sind elektrische Leitungen 18 verbunden, wobei an den Leitungsenden 20 Kontakthülsen 22 vorgesehen sind. Die Kontakthülsen 22 sind beispielsweise auf die Leitungsenden 20 aufgequetscht. Zur Herstellung eines elektrischen Kontakts liegen die Kontakthülsen 22 an Stiften 24 eines Kontaktelements 26 an. Bei dem Kontaktelement 26 handelt es sich im dargestellten Ausführungsbeispiel um eine Stromdurchführung die in einer Trennwand 28 angeordnet ist. Durch die Trennwand 28 ist ein Vakuumbereich, in dem Vakuum herrscht und in dem unter anderem der Elektromotor 14 angeordnet ist, von einem in 1 unter der Trennwand 28 liegenden Bereich, in dem beispielsweise Atmosphärendruck herrscht, abgetrennt. Die Stromdurchführung ist vakuumdicht mit der Trennwand 28 verbunden, beispielsweise eingegossen.In an in 1 indicated pump housing 10 is a rotor shaft 12 arranged. The rotor shaft carries at least one rotor. Furthermore, with the rotor shaft 12 a drive device connected as an electric motor. The electric motor 14 is about a holding element 16 in the pump housing 10 held. With the electric motor 14 are electrical cables 18 connected, being at the line ends 20 contact sleeves 22 are provided. The contact sleeves 22 are for example on the cable ends 20 crimped. To make an electrical contact are the contact sleeves 22 on pens 24 a contact element 26 at. In the contact element 26 is in the illustrated embodiment, a current feedthrough in a partition 28 is arranged. Through the partition 28 is a vacuum area in which vacuum prevails and in which among other things the electric motor 14 is arranged by one in 1 under the partition 28 lying region in which, for example, atmospheric pressure prevails, separated. The current feedthrough is vacuum-tight with the dividing wall 28 connected, for example, poured.

Zum Fixieren der Kontakthülsen 22 an dem Kontaktelement 26 und somit zum Gewährleisten eines zuverlässigen elektrischen Kontakts ist erfindungsgemäß ein Fixierelement 30 vorgesehen. Bei dem Fixierelement 30 handelt es sich um ein deckelartiges insbesondere aus Gummi hergestelltes Element. Das Fixierelement 30 weist im dargestellten Ausführungsbeispiel drei Schlitze 32 auf die durchgehend sind und sich somit über die gesamte Länge des Fixierelements 30 erstrecken. In den Schlitzen 32 sind die im dargestellten Ausführungsbeispiel zwei Kontakthülsen 22 angeordnet. Hierzu weisen die Kontakthülsen 22 eine Breite auf, die vorzugsweise geringfügig größer als die Breite der Schlitze 32 ist, sodass die Kontakthülsen 22 klemmend in dem jeweiligen Schlitz 32 fixiert sind.For fixing the contact sleeves 22 on the contact element 26 and thus to ensure a reliable electrical contact according to the invention is a fixing 30 intended. At the fixing element 30 it is a lid-like, in particular made of rubber element. The fixing element 30 has three slots in the illustrated embodiment 32 on the continuous and thus over the entire length of the fixing 30 extend. In the slots 32 are in the illustrated embodiment, two contact sleeves 22 arranged. For this purpose, the contact sleeves 22 a width that is preferably slightly larger than the width of the slots 32 so that the contact sleeves 22 clamped in the respective slot 32 are fixed.

Das Fixierelement 30 weist ein Deckelteil 34 (2) auf, sodass die Leitungsenden 20 bzw. die Kontakthülsen 22 abgedeckt sind. Hierdurch ist gewährleistet, dass kein ungewollter elektrischer Kontakt beispielsweise zu dem Halteteil 16 entsteht.The fixing element 30 has a lid part 34 ( 2 ) so that the cable ends 20 or the contact sleeves 22 are covered. This ensures that no unwanted electrical contact, for example, to the holding part 16 arises.

An einer Oberseite 36 des Deckelteils 34 sind im dargestellten Ausführungsbeispiel drei im Wesentlichen halbkugelförmig ausgebildete Ansatze 38 vorgesehen. In montiertem Zustand liegen die Ansätze 38 an einer Unterseite 40 des Halteteils 16 an. Da sowohl die Ansätze 38 als auch das übrige Fixierelement aus einem elastischen Material wie Gummi hergestellt sind, kann insbesondere durch die Ansätze 38 ein Toleranzausgleich erfolgen. Ferner ist durch ein geringfügiges Zusammendrücken des Fixierelements oder zumindest der Ansätze 38 ein Rutschen des Fixierelements vermieden. Die Lage des Fixierelements 30 ist im montierten Zustand somit eindeutig definiert.On a top 36 of the lid part 34 are in the illustrated embodiment, three substantially hemispherical trained approaches 38 intended. In the assembled state, the approaches are 38 at a bottom 40 of the holding part 16 at. Because both the approaches 38 as well as the rest of the fixing element are made of an elastic material such as rubber, in particular by the approaches 38 a tolerance compensation done. Furthermore, by a slight compression of the fixing element or at least the lugs 38 slipping the fixing avoided. The location of the fixing element 30 is thus clearly defined in the mounted state.

Durch das Vorsehen des erfindungsgemäßen Fixierelements 30 ist einerseits die Montage deutlich vereinfacht, da ein Verlöten der Leitungsenden 20 mit Kontaktstiften 24 nicht mehr notwendig ist, und ferner ist durch das Fixierelement 30 sichergestellt, dass kein ungewollter elektrischer Kontakt zu anderen Bauteilen erfolgt.By providing the fixing element according to the invention 30 On the one hand, the assembly is significantly simplified, since a soldering of the cable ends 20 with contact pins 24 is no longer necessary, and further is by the fixing 30 ensures that no unwanted electrical contact with other components takes place.

Claims (9)

Vakuumpumpe, insbesondere Turbomolekularpumpe, mit einer in einem Gehäuse (10) angeordneten mindestens einen Rotor tragenden Rotorwelle (12), mindestens einem mit dem mindestens einen Rotor zusammen wirkenden Stator, einer mit der Rotorwelle (12) verbundenen elektrischen Antriebseinrichtung (14), mit der Antriebseinrichtung (14) verbundenen Leitungen (18) zur Energiezufuhr, gekennzeichnet durch ein Fixierelement (30) zur Verbindung der Leitungen (18) mit einem Kontaktelement (24), wobei das Fixierelement (30) Leitungsenden (20) der Leitungen (18) aufnimmt und am Kontaktelement (24) fixiert.Vacuum pump, in particular turbomolecular pump, with one in a housing ( 10 ) arranged at least one rotor rotor shaft ( 12 ), at least one stator cooperating with the at least one rotor, one with the rotor shaft ( 12 ) connected electric drive device ( 14 ), with the drive device ( 14 ) connected lines ( 18 ) for supplying energy, characterized by a fixing element ( 30 ) for connecting the lines ( 18 ) with a contact element ( 24 ), wherein the fixing element ( 30 ) Line ends ( 20 ) of the lines ( 18 ) and at the contact element ( 24 ) fixed. Vakuumpumpe nach Anspruch 1 dadurch gekennzeichnet, dass das Fixierelement (30) je Leitungsende (20) einen insbesondere durchgehenden Schlitz (32) aufweist.Vacuum pump according to claim 1, characterized in that the fixing element ( 30 ) per line end ( 20 ) a particular continuous slot ( 32 ) having. Vakuumpumpe nach Anspruch 2 dadurch gekennzeichnet, dass die Schlitze (32) im montierten Zustand in Richtung des Kontaktelements (24) offen sind.Vacuum pump according to claim 2, characterized in that the slots ( 32 ) in the mounted state in the direction of the contact element ( 24 ) are open. Vakuumpumpe nach einem der Ansprüche 1–3 dadurch gekennzeichnet, dass die Leitungsenden (20) mit Kontakthülsen (22) verbunden sind deren Breite vorzugsweise im Wesentlichen einer Schlitzbreite entspricht.Vacuum pump according to one of claims 1-3, characterized in that the line ends ( 20 ) with contact sleeves ( 22 ) whose width preferably corresponds substantially to a slot width. Vakuumpumpe nach einem der Ansprüche 1–4 dadurch gekennzeichnet, dass das Fixierelement (30) ein die Leitungsenden (20) und das Kontaktelement (24) abdeckendes Deckelteil (34) aufweist.Vacuum pump according to one of claims 1-4, characterized in that the fixing element ( 30 ) the line ends ( 20 ) and the contact element ( 24 ) Covering cover part ( 34 ) having. Vakuumpumpe nach Anspruch 5 dadurch gekennzeichnet, dass das Deckelteil (34) im montierten Zustand an einem Pumpenbauteil (16) anliegt und vorzugsweise die Leitungsenden (20) und/oder die Kontakthülsen (22) gegenüber dem Pumpenbauteil (16) isoliert.Vacuum pump according to claim 5, characterized in that the cover part ( 34 ) in the mounted state on a pump component ( 16 ) and preferably the line ends ( 20 ) and / or the contact sleeves ( 22 ) relative to the pump component ( 16 ) isolated. Vakuumpumpe nach Anspruch 5 oder 6 dadurch gekennzeichnet, dass das Deckelteil (34) mindestens einen im montierten Zustand in Richtung des Pumpenbauteils (16) weisenden insbesondere an dem Bauteil (16) anliegenden Ansatz (38) aufweist.Vacuum pump according to claim 5 or 6, characterized in that the cover part ( 34 ) at least one in the mounted state in the direction of the pump component ( 16 ) pointing in particular to the component ( 16 ) approach ( 38 ) having. Vakuumpumpe nach Anspruch 7 dadurch gekennzeichnet, dass der mindestens eine Ansatz (38) und/oder das Deckelteil (34) elastisches Material aufweisen.Vacuum pump according to claim 7, characterized in that the at least one approach ( 38 ) and / or the cover part ( 34 ) comprise elastic material. Vakuumpumpe nach einem der Ansprüche 1–8 dadurch gekennzeichnet, dass das Kontaktelement (24) als Stromdurchführung in einer einen Vakuumbereich abtrennenden Trennwand (28) angeordnet ist.Vacuum pump according to one of claims 1-8, characterized in that the contact element ( 24 ) as a current feedthrough in a partition wall separating a vacuum region ( 28 ) is arranged.
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