DE202013009654U1 - vacuum pump - Google Patents

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Abstract

Vakuumpumpe insbesondere Turbomolekularpumpe, mit einem Pumpengehäuse (10) einer in dem Pumpengehäuse (10) gelagerten mindestens einen Rotor tragenden Rotorwelle, einem in dem Pumpengehäuse (10) angeordneten mit dem mindestens einen Rotor zusammen wirkenden Stator, einem saugseitig angeordneten Einlass (12), einem druckseitig angeordneten Auslass (14), einer an einer Außenseite (20) des Vakuumpumpengehäuses angeordneten Kühlfläche (22), einem an der Kühlfläche (22) anliegenden Kühlelement (16), wobei das Kühlmittelelement (16) zwei Kühlmittelanschlüsse (18) zur Zu- und Abfuhr von Kühlmittel aufweist und einer Befestigungseinrichtung (24, 26, 28) zur Befestigung des Kühlelements (16) an dem Gehäuse (10) der Vakuumpumpe dadurch gekennzeichnet, dass die Befestigungseinrichtung (24, 26, 28) derart ausgebildet und/oder angeordnet ist, dass ein Befestigen des Kühlelements (16) in zumindest zwei unterschiedlichen Lagen möglich ist.Vacuum pump, in particular turbomolecular pump, with a pump housing (10) mounted in the pump housing (10) at least one rotor rotor shaft, one in the pump housing (10) arranged with the at least one rotor cooperating stator, a suction side arranged inlet (12), a on the pressure side arranged outlet (14), arranged on an outer side (20) of the vacuum pump housing cooling surface (22), on the cooling surface (22) adjacent cooling element (16), wherein the coolant element (16) has two coolant connections (18) to the supply and Removal of coolant and a fastening means (24, 26, 28) for fixing the cooling element (16) on the housing (10) of the vacuum pump characterized in that the fastening means (24, 26, 28) is formed and / or arranged such in that fastening of the cooling element (16) in at least two different layers is possible.

Description

Die Erfindung betrifft eine Vakuumpumpe insbesondere eine Turbomolekularpumpe.The invention relates to a vacuum pump, in particular a turbomolecular pump.

Vakuumpumpen wie bspw. Turbomolekularpumpen weisen ein Gehäuse auf, in dem eine Rotorwelle gelagert ist. Die Rotorwelle trägt mindestens einen Rotor. Bei dem Rotor kann es sich um den Rotor einer Turbomolekularstufe handeln. Dieser weist mehrere Flügel aufweisende Rotorscheiben auf. Ebenso kann es sich um den Rotor einer Holweckstufe handeln. Ein derartiger Rotor ist über ein scheibenförmiges Trägerelement mit der Rotorwelle verbunden, wobei das Trägerelement rohrförmige Rotorelemente trägt. Ferner ist in dem Pumpengehäuse zumindest ein mit dem Rotor zusammenwirkender Stator vorgesehen. Bei einer Turbomolekularstufe handelt es sich um Statorscheiben, die ebenfalls Flügel aufweisen und jeweils zwischen benachbarten Rotorscheiben angeordnet sind. Eine Holweckstufe weist als Stator mit dem rohrförmigen Element zusammenwirkende schraubenlinienförmige Nuten auf. Ferner weist das Pumpengehäuse einen saugseitigen Einlass auf. Hierbei handelt es sich insbesondere um einen einen Flansch aufweisenden Einsatz, der bspw. mit einer zu evakuierenden Kammer oder einem Rohr verbunden ist. Druckseitig weist das Pumpengehäuse einen Auslass auf. Dieser kann über einen Auslassstutzen insbesondere mit einer weiteren Pumpe wie einer Vorvakuumpumpe verbunden sein.Vacuum pumps such as turbomolecular pumps have a housing in which a rotor shaft is mounted. The rotor shaft carries at least one rotor. The rotor may be the rotor of a turbomolecular stage. This has several blades having rotor disks. It can also be the rotor of a Holweck stage. Such a rotor is connected via a disk-shaped carrier element with the rotor shaft, wherein the carrier element carries tubular rotor elements. Furthermore, at least one stator cooperating with the rotor is provided in the pump housing. A turbomolecular stage is a stator disk, which also has wings and are each arranged between adjacent rotor disks. A Holweck stage has as a stator with the tubular member cooperating helical grooves. Furthermore, the pump housing has a suction-side inlet. This is in particular a flange having an insert, which is, for example. Connected to a chamber to be evacuated or a pipe. On the pressure side, the pump housing has an outlet. This can be connected via an outlet, in particular with another pump such as a backing pump.

Ferner weist das Pumpengehäuse an einer Außenseite eine Kühlfläche auf. Über diese insbesondere ebene Kühlfläche erfolgt eine Wärmeabfuhr. Zur Wärmeabfuhr ist es bekannt, an der Kühlfläche ein Kühlelement anzuordnen, dass von einem Kühlmittel wie Wasser durchströmt wird. Hierbei wird nur das Kühlelement selbst von Wasser durchströmt. Die Wärmeübertragung zwischen der Kühlfläche und dem Kühlelement erfolgt auf Grund der insbesondere flächigen Anlage zwischen dem Kühlelement und der Kühlfläche. Das Kühlelement weist zwei Kühlmittelanschlüsse auf, über die das Kühlmittel dem Kühlelement zu- und abgeführt wird. Je nach Anordnung der Vakuumpumpe, beispielsweise in einem Pumpenstand oder einer Anlage, besteht nur wenig Platz für den Anschluss von Kühlmittelschläuchen bzw. Kühlmittelleitungen an die Kühlmittelanschlüsse. Es ist daher erforderlich, unterschiedliche Kühlelemente vorzuhalten die beispielsweise im eingebauten Zustand in unterschiedliche Richtungen weisende Kühlmittelanschlüsse aufweisen.Furthermore, the pump housing has a cooling surface on an outer side. About this particular flat cooling surface is a heat dissipation. For heat dissipation it is known to arrange on the cooling surface a cooling element that is flowed through by a coolant such as water. In this case, only the cooling element itself is flowed through by water. The heat transfer between the cooling surface and the cooling element is due to the particular flat contact between the cooling element and the cooling surface. The cooling element has two coolant connections, via which the coolant is supplied to and removed from the cooling element. Depending on the arrangement of the vacuum pump, for example in a pump stand or a system, there is little space for the connection of coolant hoses or coolant lines to the coolant connections. It is therefore necessary to provide different cooling elements that have, for example, in the installed state in different directions facing coolant connections.

Aufgabe der Erfindung ist es eine Vakuumpumpe zu schaffen, bei der auch in engen Einbaulagen auf einfache Weise ein Kühlelement angeschlossen werden kann.The object of the invention is to provide a vacuum pump in which a cooling element can be easily connected even in tight mounting positions.

Die Lösung der Aufgabe erfolgt erfindungsgemäß durch die Merkmale des Anspruchs 1.The object is achieved according to the invention by the features of claim 1.

Die Vakuumpumpe weist ein Pumpengehäuse auf in dem eine Rotorwelle gelagert ist. Die Rotorwelle trägt mindestens einen Rotor. Ferner ist in dem Pumpengehäuse mindestens ein Stator angeordnet, der mit dem Rotor zusammen wirkt. Zur Kühlung der Vakuumpumpe weist das Pumpengehäuse eine insbesondere ebene Kühlfläche auf, an der vorzugsweise ein eine ebenfalls ebene Fläche aufweisendes Kühlelement angeordnet ist. Erfindungsgemäß ist es möglich, dasselbe Kühlelement in unterschiedlichen Lagen zu befestigen. Dies hat den Vorteil, dass auf Grund der entsprechend ausgebildeten Befestigungseinrichtung die Kühlmittelanschlüsse je nach Befestigungslage in unterschiedliche Richtungen weisen. Der Anschluss von Kühlmittelschläuchen oder Kühlmittelleitungen an die Kühlmittelanschlüsse ist somit erheblich einfacher.The vacuum pump has a pump housing in which a rotor shaft is mounted. The rotor shaft carries at least one rotor. Further, at least one stator is arranged in the pump housing, which cooperates with the rotor. For cooling the vacuum pump, the pump housing has a particularly flat cooling surface, on which preferably a likewise flat surface exhibiting cooling element is arranged. According to the invention it is possible to fix the same cooling element in different positions. This has the advantage that, due to the correspondingly formed fastening device, the coolant connections point in different directions, depending on the fastening position. The connection of coolant hoses or coolant lines to the coolant connections is thus considerably easier.

Die erfindungsgemäße Befestigungseinrichtung weist in besonders bevorzugter Ausführungsform an der Vakuumpumpe angeordnete Aufnahmen zur Aufnahme jeweils eines Befestigungsmittels auf. Bei der Aufnahme handelt es sich insbesondere um Gewindebohrungen, die Schrauben als Befestigungsmittel aufnehmen. Die Aufnahmen sind vorzugsweise in der von der Pumpe vorgesehenen Kühlfläche angeordnet, sodass eine flächige Anlage zwischen dem Kühlelement und der Kühlfläche und dabei eine gute Wärmeübertragung auf einfache Weise möglich ist. Die Aufnahmen sind vorzugsweise derart angeordnet und/oder ausgebildet, dass zumindest ein Teil der Aufnahmen in unterschiedlichen Lagen des Kühlelements nutzbar ist.In a particularly preferred embodiment, the fastening device according to the invention has receptacles arranged on the vacuum pump for receiving a respective fastening means. The receptacle is in particular threaded holes, which receive screws as fasteners. The receptacles are preferably arranged in the cooling surface provided by the pump, so that a flat contact between the cooling element and the cooling surface and thereby a good heat transfer in a simple manner possible. The receptacles are preferably arranged and / or formed such that at least part of the receptacles can be used in different positions of the cooling element.

Das Kühlelement selbst weist vorzugsweise Elemente auf die zu den Aufnahmen korrespondieren. Bei den Elementen kann es sich beispielsweise um Ansätze oder Stifte handeln, die in die Aufnahmen an der Vakuumpumpe einsteckbar sind. Auch kann es sich bei den Elementen um Durchgangsbohrungen oder Durchgangsöffnungen handeln, die mit den Aufnahmen in der Vakuumpumpe je nach Lage des Kühlelements korrespondieren, sodass durch die Öffnungen Befestigungsmittel wie Schrauben eingeführt und in den insbesondere ein Gewinde aufweisenden Aufnahmen befestigt werden können. Selbstverständlich können unterschiedliche Ausgestaltungen an Aufnahmen und korrespondierenden Elementen miteinander kombiniert werden.The cooling element itself preferably has elements corresponding to the receptacles. The elements may be, for example, lugs or pins which can be inserted into the receptacles on the vacuum pump. The elements may also be through holes or through openings which correspond with the receptacles in the vacuum pump, depending on the position of the cooling element, so that fastening means such as screws can be introduced through the openings and fastened in the receptacles which have a thread in particular. Of course, different configurations of receptacles and corresponding elements can be combined.

Vorzugsweise sind je Befestigungslage mindestens zwei Paare an Aufnahmen und korrespondierenden Elementen vorgesehen. Ein Paar weist jeweils eine Aufnahme und ein korrespondierendes Element sowie gegebenenfalls ein Befestigungsmittel einer Schraube auf. Zumindest eines dieser Paare ist in unterschiedlichen Befestigungslagen des Kühlelements identisch. So wird beispielsweise ein Paar aus einer mit einem Gewinde versehenen Bohrung in der Kühlfläche zusammen mit der korrespondierenden Bohrung und einer Schraube in zwei unterschiedlichen Befestigungslagen genutzt.Preferably, at least two pairs of receptacles and corresponding elements are provided per mounting position. A pair each has a receptacle and a corresponding element and optionally a fastening means of a screw. At least one of these pairs is in different mounting positions of the Cooling element identical. For example, a pair of a threaded bore in the cooling surface is used together with the corresponding bore and a screw in two different mounting positions.

Desweitern ist es bevorzugt, dass zwei in der Kühlfläche vorgesehene Aufnahmen zu einer dritten Aufnahme denselben Abstand aufweisen. Diese dritte Aufnahme kann sodann in zwei unterschiedlichen Befestigungslagen genutzt werden. Dies ist beispielsweise dadurch realisiert, dass die drei Aufnahmen derart angeordnet sind, dass sie jeweils an einer Ecke eines gleichseitigen Dreiecks liegen.Furthermore, it is preferred that two receptacles provided in the cooling surface have the same distance to a third receptacle. This third recording can then be used in two different mounting positions. This is realized, for example, in that the three receptacles are arranged in such a way that they respectively lie on a corner of an equilateral triangle.

In einer besonders bevorzugten Ausführungsform ist die Anzahl der Aufnahmen in der Kühlmittelfläche kleiner als die Anzahl der korrespondierenden Elemente oder umgekehrt. Je nach Lage des Kühlelements korrespondieren somit unterschiedliche Elemente des Kühlelements mit stets denselben Aufnahmen. Beispielsweise sind in der Kühlfläche zwei Gewindebohrungen und in dem Kühlelement drei Bohrungen vorgesehen. Jeweils zwei der Bohrungen werden zur Befestigung des Kühlelements mittels Schrauben genutzt, sodass hier einfacherweise das Kühlelement in zumindest zwei unterschiedlichen Lagen mit der Vakuumpumpe verbunden werden kann.In a particularly preferred embodiment, the number of receptacles in the coolant surface is smaller than the number of corresponding elements or vice versa. Depending on the position of the cooling element thus different elements of the cooling element correspond with always the same recordings. For example, two threaded bores are provided in the cooling surface and three bores are provided in the cooling element. In each case two of the holes are used for fastening the cooling element by means of screws, so that here simply the cooling element can be connected in at least two different positions with the vacuum pump.

Bei einer weiteren bevorzugten Ausführungsform ist das Kühlelement derart ausgestalten, dass es zumindest zwei Anlageflächen aufweist die in unterschiedlichen Befestigungslagen an der Kühlfläche der Vakuumpumpe anliegen. Hierbei handelt es sich beispielsweise um zwei einander gegenüberliegende Flächen des Kühlelements die insbesondere parallel zueinander verlaufen. Das Kühlelement kann somit gewendet werden. Auch hierbei ist es auf einfache Weise möglich im montierten Zustand die Lage der Kühlmittelanschlüsse zu verändern. Bei dieser Ausführungsform können gegebenenfalls sogar dieselben Befestigungseinrichtungen für beide Lagen vorgesehen werden. Dieselben in der Kühlfläche vorgesehenen Aufnahmen korrespondieren somit beispielsweise in zwei Lagen, in denen unterschiedliche Anlageflächen des Kühlelements an der Kühlfläche anliegen jeweils mit entsprechenden Elementen wie Stiften und/oder Bohrungen in dem Kühlelement. Eine Vakuumpumpe in Verbindung mit einem Kühlelement das zumindest zwei Anlageflächen aufweist, stellt eine selbständige Erfindung dar.In a further preferred embodiment, the cooling element is designed such that it has at least two contact surfaces which abut in different mounting positions on the cooling surface of the vacuum pump. These are, for example, two opposing surfaces of the cooling element which extend in particular parallel to one another. The cooling element can thus be turned. Again, it is possible in a simple manner in the assembled state to change the position of the coolant connections. In this embodiment, if necessary, even the same fastening devices can be provided for both layers. The same receptacles provided in the cooling surface thus correspond for example to two layers in which different abutment surfaces of the cooling element bear against the cooling surface, in each case with corresponding elements such as pins and / or bores in the cooling element. A vacuum pump in conjunction with a cooling element having at least two contact surfaces, represents an independent invention.

Nachfolgend wird die Erfindung anhand einer bevorzugten Ausführungsform unter Bezugnahme auf die anliegenden Zeichnungen näher erläutert.The invention will be explained in more detail with reference to a preferred embodiment with reference to the accompanying drawings.

Es zeigen:Show it:

1 eine schematische Seitenansicht einer Vakuumpumpe mit Kühlelement in einer ersten Lage, 1 a schematic side view of a vacuum pump with cooling element in a first position,

2 eine schematische Seitenansicht einer Vakuumpumpe mit Kühlelement in einer zweiten Lage, 2 a schematic side view of a vacuum pump with cooling element in a second position,

3 eine schematische Ansicht einer Vakuumpumpe mit demontiertem Kühlelement und 3 a schematic view of a vacuum pump with disassembled cooling element and

4 eine schematische perspektivische Ansicht des Kühlelements. 4 a schematic perspective view of the cooling element.

Die Vakuumpumpe weist ein Pumpengehäuse 10 auf. Innerhalb des Pumpengehäuses ist eine Rotorwelle gelagert die mindestens ein Rotorelement trägt. Ferner ist in dem Pumpengehäuse mindestens ein Statorelement angeordnet das mit dem mindestens einen Rotorelement zusammen wirkt. Ferner können in dem Pumpengehäuse 10 eine Antriebseinrichtung wie ein Elektromotor sowie Steuerelemente angeordnet sein. Das zu pumpende Medium wird über einen Pumpeneinlass 12 angesaugt und über einen Pumpenauslass 14 ausgestoßen. Der Pumpeneinlass 12 kann unmittelbar mit einem zu evakuierenden Raum oder einer Rohrleitung oder dergleichen verbunden sein. Der Pumpenauslass 14 kann beispielsweise über ein Rohrelement mit einer Vorvakuumpumpe verbunden sein. Zur Kühlung der Pumpe insbesondere der Antriebseinrichtung und von Elektronikbauteilen, die im dem in 1 unteren Bereich der Pumpe angeordnet sind, ist mit der Pumpe ein Kühlelement 16 verbunden. Das Kühlelement 16 weist zwei Kühlmittelanschlüsse 18 auf, die mit Kühlmittelleitungen oder Kühlmittelschläuchen verbindbar sind. Über einen der Anschlüsse 18 wird Kühlmittel dem Kühlelement 16 zugeführt und über das andere wieder abgeführt.The vacuum pump has a pump housing 10 on. Within the pump housing, a rotor shaft is mounted which carries at least one rotor element. Furthermore, at least one stator element is arranged in the pump housing which cooperates with the at least one rotor element. Further, in the pump housing 10 a drive device such as an electric motor and control elements can be arranged. The medium to be pumped is via a pump inlet 12 aspirated and via a pump outlet 14 pushed out. The pump inlet 12 may be directly connected to a room to be evacuated or a pipeline or the like. The pump outlet 14 For example, it can be connected via a pipe element to a backing pump. For cooling the pump, in particular the drive device and of electronic components, which in the in 1 Lower portion of the pump are arranged with the pump is a cooling element 16 connected. The cooling element 16 has two coolant connections 18 on, which are connectable with coolant lines or coolant hoses. About one of the connections 18 Coolant is the cooling element 16 supplied and discharged via the other again.

Zur Wärmeübertragung ist an einer Außenseite 20 des Pumpengehäuses 10 eine insbesondere eben ausgebildete Kühlfläche 22 (3) vorgesehen.For heat transfer is on an outside 20 of the pump housing 10 a particular newly formed cooling surface 22 ( 3 ) intended.

Mit der Kühlfläche 22 kann erfindungsgemäß in unterschiedlichen Lagen das Kühlelement 16 verbunden werden. Das Kühlelement 16 kann beispielsweise in den beiden in den 1 und 2 dargestellten Lagen mit der Vakuumpumpe verbunden werden.With the cooling surface 22 can according to the invention in different layers, the cooling element 16 get connected. The cooling element 16 For example, in the two in the 1 and 2 shown layers are connected to the vacuum pump.

Zur Verbindung des Kühlelements 16 mit der Vakuumpumpe sind Befestigungseinrichtungen vorgesehen. Im dargestellten Ausführungsbeispiel umfassen die Befestigungseinrichtungen zwei als Gewindebohrungen ausgebildete Aufnahmen 24 die in der Kühlmittelfläche 22 angeordnet sind. Zu den Aufnahmen 24 korrespondierend weist im dargestellten Ausführungsbeispiel das Kühlelement 16 drei Bohrungen 26 auf. In 4 sind in zwei der Bohrungen 26 Befestigungsmittel in Form von Schrauben 28 angeordnet. Bei der Anordnung der Schrauben 28, wie in 4 dargestellt, ist auf einfache Weise eine Befestigung des Kühlelements 16 entsprechend 2 möglich. Hierzu müssen die beiden Schrauben 28 lediglich in die beiden Gewindebohrungen 24 eingeschraubt werden.To connect the cooling element 16 Fasteners are provided with the vacuum pump. In the illustrated embodiment, the fasteners comprise two trained as threaded holes shots 24 in the coolant area 22 are arranged. To the recordings 24 Corresponding, in the illustrated embodiment, the cooling element 16 three holes 26 on. In 4 are in two of the holes 26 Fasteners in the form of screws 28 arranged. When arranging the screws 28 , as in 4 is shown, is a simple way of attachment of the cooling element 16 corresponding 2 possible. For this you need the two screws 28 only in the two threaded holes 24 be screwed.

In einer weiteren Lage (1) wird ebenfalls die in 4 linke Schraube 28 genutzt. Die zweite Schraube 28 wird in die in 4 untere Bohrung 26 eingesteckt. Anschließend wird das Kühlelement 16, wie in 1 dargestellt, mit der Kühlfläche 22 der Vakuumpumpe 10 verbunden.In another location ( 1 ) is also the in 4 left screw 28 used. The second screw 28 will be in the in 4 lower hole 26 plugged in. Subsequently, the cooling element 16 , as in 1 shown with the cooling surface 22 the vacuum pump 10 connected.

In den beiden in 1 und 2 dargestellten unterschiedlichen Befestigungslagen des Kühlelements 16 liegt eine Anlagefläche 30, die in 4 nicht sichtbar ist, an der Kühlfläche 22 an. Ebenso ist es möglich das Kühlelement 16 in umgekehrter Lage anzuordnen, sodass eine Außenfläche 32 als Anlagefläche dient. Durch ein derartiges Wenden wäre es beispielsweise möglich das Kühlelement 16 derart mit der Kühlfläche 22 zu verbinden, dass verglichen mit der in 2 dargestellten Befestigungslage die Anschlüsse 18 nach links weisen. Bei einem derartigen Wenden zum Montieren des Kühlelements 16 in unterschiedlichen Einbaulagen, wären sogar zwei Befestigungselemente, d. h. lediglich zwei Durchgangsbohrungen 26 in dem Kühlelement 16, ausreichend. Diese Ausführungsform stellt eine selbständige Erfindung dar.In the two in 1 and 2 shown different mounting positions of the cooling element 16 lies a contact surface 30 , in the 4 is not visible on the cooling surface 22 at. It is also possible the cooling element 16 to arrange in reverse, leaving an outer surface 32 serves as a contact surface. By such a turn it would be possible, for example, the cooling element 16 such with the cooling surface 22 to connect that compared with the in 2 illustrated mounting position the connections 18 to the left. In such a turn for mounting the cooling element 16 in different mounting positions, would even be two fasteners, ie only two through holes 26 in the cooling element 16 , sufficient. This embodiment represents an independent invention.

Claims (9)

Vakuumpumpe insbesondere Turbomolekularpumpe, mit einem Pumpengehäuse (10) einer in dem Pumpengehäuse (10) gelagerten mindestens einen Rotor tragenden Rotorwelle, einem in dem Pumpengehäuse (10) angeordneten mit dem mindestens einen Rotor zusammen wirkenden Stator, einem saugseitig angeordneten Einlass (12), einem druckseitig angeordneten Auslass (14), einer an einer Außenseite (20) des Vakuumpumpengehäuses angeordneten Kühlfläche (22), einem an der Kühlfläche (22) anliegenden Kühlelement (16), wobei das Kühlmittelelement (16) zwei Kühlmittelanschlüsse (18) zur Zu- und Abfuhr von Kühlmittel aufweist und einer Befestigungseinrichtung (24, 26, 28) zur Befestigung des Kühlelements (16) an dem Gehäuse (10) der Vakuumpumpe dadurch gekennzeichnet, dass die Befestigungseinrichtung (24, 26, 28) derart ausgebildet und/oder angeordnet ist, dass ein Befestigen des Kühlelements (16) in zumindest zwei unterschiedlichen Lagen möglich ist.Vacuum pump, in particular turbomolecular pump, with a pump housing ( 10 ) one in the pump housing ( 10 ) mounted at least one rotor rotor shaft, one in the pump housing ( 10 ) arranged with the at least one rotor cooperating stator, a suction side arranged inlet ( 12 ), a pressure side arranged outlet ( 14 ), one on an outside ( 20 ) of the vacuum pump housing arranged cooling surface ( 22 ), one on the cooling surface ( 22 ) adjacent cooling element ( 16 ), wherein the coolant element ( 16 ) two coolant connections ( 18 ) for the supply and removal of coolant and a fastening device ( 24 . 26 . 28 ) for fastening the cooling element ( 16 ) on the housing ( 10 ) of the vacuum pump, characterized in that the fastening device ( 24 . 26 . 28 ) is designed and / or arranged such that a fastening of the cooling element ( 16 ) is possible in at least two different layers. Vakuumpumpe nach Anspruch 1 dadurch gekennzeichnet, dass die Befestigungseinrichtung an der Vakuumpumpe Aufnahmen (24) zur Aufnahme jeweils eines Befestigungsmittels (28) aufweist.Vacuum pump according to claim 1, characterized in that the fastening device on the vacuum pump recordings ( 24 ) for receiving in each case a fastening means ( 28 ) having. Vakuumpumpe nach Anspruch 2 dadurch gekennzeichnet, dass zumindest ein Teil der Aufnahmen (24) in unterschiedlichen Lagen nutzbar ist.Vacuum pump according to claim 2, characterized in that at least a part of the recordings ( 24 ) is usable in different positions. Vakuumpumpe nach Anspruch 2 oder 3 dadurch gekennzeichnet, dass die Befestigungseinrichtung zu den Aufnahmen (24) in dem Kühlelement (16) korrespondierende Elemente (26) insbesondere Stifte und/oder Öffnungen aufweist.Vacuum pump according to claim 2 or 3, characterized in that the fastening device to the receptacles ( 24 ) in the cooling element ( 16 ) corresponding elements ( 26 ) in particular pins and / or openings. Vakuumpumpe nach einem der Ansprüche 2–4 dadurch gekennzeichnet, dass je Befestigungslage mindestens zwei Paare an Aufnahmen (24) und korrespondierenden Elementen (26) vorgesehen ist, wobei zumindest ein Paar (24, 26) in unterschiedlichen Befestigungslagen identisch ist.Vacuum pump according to one of claims 2-4, characterized in that each mounting position at least two pairs of recordings ( 24 ) and corresponding elements ( 26 ), wherein at least one pair ( 24 . 26 ) is identical in different mounting positions. Vakuumpumpe nach einem der Ansprüche 2–5 dadurch gekennzeichnet, dass zwei Aufnahmen zu einer dritten Aufnahme, die in zwei unterschiedlichen Befestigungslagen genutzt wird, denselben Abstand aufweisen.Vacuum pump according to one of claims 2-5, characterized in that two receptacles to a third recording, which is used in two different mounting positions, the same distance. Vakuumpumpe nach einem der Ansprüche 2–6 dadurch gekennzeichnet, dass zwei Elemente (26) zu einem dritten Element (26), das in zwei unterschiedlichen Befestigungslagen genutzt wird, denselben Abstand aufweisen.Vacuum pump according to one of claims 2-6, characterized in that two elements ( 26 ) to a third element ( 26 ), which is used in two different mounting positions, have the same distance. Vakuumpumpe nach einem der Ansprüche 1–7 dadurch gekennzeichnet, dass die Anzahl der Aufnahmen (24) kleiner ist als die Anzahl der korrespondierenden Elemente (26).Vacuum pump according to one of claims 1-7, characterized in that the number of recordings ( 24 ) is smaller than the number of corresponding elements ( 26 ). Vakuumpumpe nach einem der Ansprüche 1–8 dadurch gekennzeichnet, dass das Kühlelement (16) zumindest zwei Anlageflächen (30, 32) aufweist, die in unterschiedlichen Befestigungslagen an der Kühlfläche (22) der Vakuumpumpe anliegen.Vacuum pump according to one of claims 1-8, characterized in that the cooling element ( 16 ) at least two contact surfaces ( 30 . 32 ), which in different mounting positions on the cooling surface ( 22 ) abut the vacuum pump.
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2021234363A1 (en) * 2020-05-20 2021-11-25 Edwards Limited Cooling element
EP3805567A4 (en) * 2018-05-30 2021-12-22 Edwards Japan Limited Vacuum pump and cooling component therefor

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE2841906C2 (en) * 1978-09-26 1980-02-21 Siemens Ag, 1000 Berlin Und 8000 Muenchen Liquid ring compressor or vacuum pump
DE102010012952A1 (en) * 2010-03-26 2011-09-29 Hydac Ag Fluid Cooler

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE2841906C2 (en) * 1978-09-26 1980-02-21 Siemens Ag, 1000 Berlin Und 8000 Muenchen Liquid ring compressor or vacuum pump
DE102010012952A1 (en) * 2010-03-26 2011-09-29 Hydac Ag Fluid Cooler

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP3805567A4 (en) * 2018-05-30 2021-12-22 Edwards Japan Limited Vacuum pump and cooling component therefor
WO2021234363A1 (en) * 2020-05-20 2021-11-25 Edwards Limited Cooling element

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