DE20121634U1 - Mehrkammeranlage zur Behandlung von Gegenständen unter Vakuum und Evakuierungssystem dafür - Google Patents

Mehrkammeranlage zur Behandlung von Gegenständen unter Vakuum und Evakuierungssystem dafür

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Claims (10)

1. Mehrkammeranlage (1) zur Behandlung von Gegenstän­ den unter Vakuum mit einem an die Kammern (2, 3, 4) angeschlossenen Evakuierungssystem (5), dadurch gekennzeichnet, dass Bestandteil des Evakuierungs­ systems (5) eine Vorvakuumpumpe mit mehreren Stu­ fen (11, 12, 13) ist, dass jede der Stufen mit ei­ nem Einlass (14, 15, 16) ausgerüstet ist und dass jeder der Einlässe an eine der Kammern (2, 3, 4) angeschlossen ist.
2. Anlage nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Pumpstufen (11, 12, 13) der Vorvakuumpum­ pe (5) parallel angeordnet sind.
3. Anlage nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekenn­ zeichnet, dass die Anzahl der Kammern (2, 3, 4) und die Anzahl der Pumpstufen (11, 12, 13) der Vorvakuumpumpe (5) gleich ist.
4. Anlage nach Anspruch 1, 2 oder 3, dadurch gekenn­ zeichnet, dass Bestandteile der Mehrkammeranlage (1) eine Prozesskammer (2) und mindestens eine mit der Prozesskammer (2) verbundene Vorkammer (3, 4) sind, dass die Pumpstufen (11, 12, 13) der Vorva­ kuumpumpe (5) unterschiedliche Saugvermögen haben und dass die Stufe mit dem größten Saugvermögen an die Prozesskammer (2) angeschlossen ist.
5. Anlage nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, dass sich in der Verbindungsleitung zwischen der Prozesskammer (2) und dem Einlass (14) der zugehö­ rigen Pumpstufe (11) eine Hochvakuumpumpe (26), vorzugsweise eine Turbomolekularvakuumpumpe, be­ findet.
6. Evakuierungssystem (5) für eine Mehrkammeranlage (1), dadurch gekennzeichnet, dass es als mehrstu­ fige Vorvakuumpumpe (5) ausgebildet ist, dass jede der Stufen einen Einlass (14, 15, 16) aufweist und dass jeder der Einlässe der Verbindung mit einer der Kammern der Mehrkammeranlage (1) dient.
7. Evakuierungssystem (5) nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, dass die Stufen (11, 12, 13) der Pumpe (5) parallel angeordnet sind.
8. Evakuierungssystem (5) nach Anspruch 6 oder 7, da­ durch gekennzeichnet, dass Bestandteil des Systems (5) eine Hochvakuumpumpe (26) ist und dass eine der Stufen (11, 12, 13) der Vorvakuumpumpe (5) der Erzeugung des von der Hochvakuumpumpe (26) benö­ tigten Vorvakuums dient.
9. Evakuierungssystem (5) nach Anspruch 6, 7 oder 8, dadurch gekennzeichnet, dass die Austritte (20, 21, 22) innerhalb eines äußeren Gehäuses (28) der Vorvakuumpumpe (5) zusammengeführt und mit einem gemeinsamen Ölabscheider (47) ausgerüstet sind.
10. Evakuierungssystem (5) nach einem der Ansprüche 6 bis 9, dadurch gekennzeichnet, dass die Vorvaku­ umpumpe (5) eine Drehschiebervakuumpumpe ist.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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DE102022108314A1 (de) 2022-04-06 2023-10-12 Ecoclean Gmbh Verfahren zum Passivieren einer Oberfläche eines Werkstücks und Vorrichtung zum Passivieren von Werkstücken

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* Cited by examiner, † Cited by third party
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R207 Utility model specification

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R150 Term of protection extended to 6 years

Effective date: 20041123

R151 Term of protection extended to 8 years

Effective date: 20071015

R152 Term of protection extended to 10 years

Effective date: 20091118

R071 Expiry of right
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