DE19948026A1 - Schaltung und Verfahren zur Feststellung eines magnetischen Feldes - Google Patents
Schaltung und Verfahren zur Feststellung eines magnetischen FeldesInfo
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Abstract
Schaltung zur Feststellung eines äußeren magnetischen Feldes, insbesondere im Rahmen eines Winkelsensors oder Winkelgebers, mit ersten bis vierten magnetoresistiven Elementen, welche unter Bildung zweier Spannungsteiler miteinander zu einer Brücke verschaltbar sind, mit Mitteln zur flexiblen Verschaltung der magnetoresistiven Elemente (3a, 3b, 3c, 3d), derart, daß in einem ersten Betriebzustand ein erstes und ein zweites magnetoresistives Element (3a, 3b) einen ersten Spannungsteiler, und ein drittes und ein viertes magnetoresistives Element (3c, 3d) einen zweiten Spannungsteiler bilden, und in einem zweiten Betriebszustand das erste und das vierte magnetoresistive Element (3a, 3d) einen ersten, und das zweite und das dritte magnetoresistive Element (3b, 3c) einen zweiten Spannungsteiler bilden.
Description
Die vorliegende Erfindung betrifft eine Schaltung und ein
Verfahren zur Feststellung eines magnetischen Feldes nach
dem Oberbegriff des Patentanspruchs 1 bzw. dem Oberbegriff
des Patentanspruchs 4.
Eine Schaltung zur Feststellung eines magnetischen Feldes,
bei welcher magnetoresistive Elemente in Form einer Brücke
zusammengeschaltet werden, ist beispielsweise aus der
DE 196 14 460 A1 bekannt. Hierzu eingesetzte
magnetoresistive Elemente sind beispielsweise unter
Verwendung sogenannter Spin-Valve-Materialien realisierbar.
Spin-Valve-Elemente sind im einfachsten Falle ultradünne
Dreischichtsysteme, bei denen zwei magnetische Schichten,
welche jeweils eine Dicke von 0,1 bis 10 nm aufweisen, von
einer nicht magnetischen Zwischenschicht einer ähnlichen
Schichtdicke getrennt sind. Eine der beiden magnetischen
Schichten ist extrem weichmagnetisch und richtet sich
leicht in einem äußeren Magnetfeld aus. Die zweite
magnetische Schicht weist eine magnetisch harte
Charakteristik auf und hängt im Idealfall auch bei
betragsmäßig großen äußeren magnetischen Feldern nicht von
deren Richtung ab. Die zweite magnetische Schicht wirkt
hierbei als Referenzmagnetisierung. Bei entsprechender Wahl
der jeweiligen Schichtdicken tritt eine magnetfeldabhängige
Widerstandsänderung auf, die von der Richtung α des äußeren
Magnetfelds abhängt. Der Widerstand Ri(α), d. h. der
Widerstand eines derartigen magnetoresistiven Elements,
läßt sich ausdrücken durch die Formel Ri(α) = R0 + ΔRcos(a + ϕi).
Hierbei ist R0 ein Offset-Widerstand, welcher vom
spezifischen Widerstand des Materials sowie der Länge und
Breite der Widerstandsbahn abhängt, ΔR die Amplitude der
Widerstandsänderung und ϕi der Winkel zwischen einer
Eichrichtung des äußeren Feldes und der Ausrichtung der
magnetischen Momente in der Referenzschicht. Die
Cosinusfunktion ist eindeutig bestimmt im Bereich zwischen
0° und 180°, und somit können mit einem Sensor, welcher im
einfachsten Fall aus nur einem einzigen Stteifen eines
derartigen Spin-Valve-Materials besteht, Winkel von 0° bis
180° gemessen werden.
Um einen von R0 unabhängigen Widerstand zu generieren,
verschaltet man in der Regel vier Widerstandsstreifen in
einer Brücke zusammen. Dies kann sowohl auf einem Chip
geschehen (die Sensorstruktur besteht hierbei aus vier
Widerstandsbahnen) oder in der Form von vier unabhängigen
Bauelementen. Hierbei müssen die Referenzmagnetisierungen
in den magnetoresistiven Elementen der Brücke wenigstens
teilweise unterschiedlich sein.
Zur Bereitstellung eines 360°-Winkelgebers ist es bislang
notwendig, eine weitere, gegenüber der ersten Brücke um 90°
gedrehte Brücke zur Verfügung zu stellen. Durch diese
Maßnahme können gleichzeitig Sinus- und Cosinussignale
gemessen werden. Auf der Grundlage bekannter Sinus- und
Cosinussignale ist es dann in einfacher Weise möglich, über
eine Arcustangensbildung einen eindeutigen Winkel im
Bereich von 0° bis 360° zu bestimmen.
Es wird jedoch aufgrund der immer weiter fortschreitenden
Miniaturisierung angestrebt, derartige Sensoren möglichst
platzsparend zur Verfügung zu stellen. Ferner stellt man
fest, daß mit einer verkleinerten Gesamtfläche eines
derartigen Sensors der Sensor weniger anfällig bezüglich
lokaler Feldrichtungsinhomogenitäten ist und somit exakter
arbeiten kann.
Aufgabe der Erfindung ist es, einen Winkelgeber bzw. -
sensor zur Verfügung zu stellen, welcher möglichst klein
gebaut ist und über einen Winkelbereich von 0° bis 360°
eindeutige Winkelbestimmungen ermöglicht.
Diese Aufgabe wird gelöst durch eine Schaltung zur
Feststellung eines magnetischen Feldes mit den Merkmalen
des Patentanspruchs 1 sowie ein entsprechendes Verfahren
mit den Merkmalen des Patentanspruchs 4.
Erfindungsgemäß ist es nun möglich, unter Verwendung
lediglich einer Brückenschaltung, welche vier
magnetoresistive Widerstände aufweist, die Richtung eines
äußeren magnetischen Feldes über einen Bereich von 360°
eindeutig anzugeben. Die erfindungsgemäße Schaltung baut
gegenüber herkömmlichen Schaltungen wesentlich kleiner, da
nur noch vier anstelle von bisher acht magnetoresistiven
Elementen benötigt werden.
Vorteilhafte Ausgestaltungen der erfindungsgemäßen
Schaltung bzw. des erfindungsgemäßen Verfahrens sind
Gegenstand der Unteransprüche.
Gemäß einer bevorzugten Ausgestaltung des erfindungsgemäßen
Verfahrens werden während des ersten und zweiten
Betriebszustandes jeweils um 90° zueinander
phasenverschobene Signale erzeugt. Auf der Grundlage
derartiger Signale sind sequentiell Meßwerte generierbar,
aus welchen die Ausrichtung eines äußeren magnetischen
Feldes in einfacher Weise ermittelbar ist. Es ist hierbei
beispielsweise möglich, während des ersten
Betriebszustandes ein dem Cosinus des Winkels der
Ausrichtung des festzustellenden magnetischen Feldes, und
während des zweiten Betriebszustandes ein dem Sinus des
Winkels der Ausrichtung des magnetischen Feldes
entsprechendes Signal zu ermitteln.
Zweckmäßigerweise wird der Winkel der Ausrichtung des zu
bestimmenden magnetischen Feldes mittels einer
Arcustangensfunktion unter Quotientenbildung der um 90°
phasenverschobenen Signale bestimmt. Eine Winkelbestimmung
unter Verwendung der Arcustangensfunktion auf der Grundlage
bekannter Sinus- und Cosinuswerte ist an sich bekannt und
mit relativ geringem Rechenaufwand durchzuführen.
Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform der
erfindungsgemäßen Schaltung weisen die magnetoresistiven
Elemente unterschiedlich ausgerichtete
Referenzmagnetisierungen auf. Als Referenzmagnetisierung
wird, wie bereits erwähnt, beispielsweise bei aus drei
Schichten aufgebauten magnetoresistiven Elementen die
magnetische Ausrichtung einer magnetisch harten Schicht
bezeichnet, welche im Idealfall auch bei betragsmäßig
großen äußeren magnetischen Feldern ihre ursprüngliche
Magnetisierungsrichtung beibehält.
Zweckmäßigerweise sind die Referenzmagnetisierungen der
jeweiligen magnetoresistiven Elemente jeweils um 90°
zueinander verdreht ausgebildet. Werden die
Referenzmagnetisierungen der vier magnetoresistiven
Elemente einer Brücke beispielsweise auf 0°, 90°, 180° und
270° ausgerichtet, ist eine besonders einfache rechnerische
Auswertung erhaltener Signale möglich.
Die Erfindung wird nun anhand der beigefügten Zeichnung
weiter beschrieben. In dieser zeigt
Fig. 1 eine schematische Darstellung zur Erläuterung
einer herkömmlichen Schaltung zur Feststellung
der Ausrichtung eines äußeren magnetischen
Feldes, welche zwei nebeneinander angeordnete
Brücken aufweist,
Fig. 2 eine bevorzugte Ausführungsform der
erfindungsgemäßen Schaltung während eines ersten
und während eines zweiten Betriebszustandes.
In der Fig. 1 ist eine Schaltung zur Feststellung der
Ausrichtung eines äußeren magnetischen Feldes dargestellt.
Die Schaltung weist eine erste Brücke 1, und eine bezüglich
dieser Brücke 1 um 90° verdrehte zweite Brücke 2 auf. Die
erste Brücke 1 weist vier magnetoresistive Elemente, welche
insbesondere als Widerstandsstreifen ausgebildet sind, auf.
Die vier magnetoresistiven Elemente, welche mit 1a, 1b, 1d
bezeichnet sind, können sowohl auf einem Chip ausgebildet
sein als auch aus vier unabhängigen Bauelementen bestehen.
Die magnetoresistiven Elemente 1a, 1b, 1c, 1d weisen
jeweils unterschiedliche Referenzmagnetisierungen Φ1, Φ2, Φ3,
Φ4 auf, wie in der Figur dargestellt ist. Hierbei sind die
Referenzmagnetisierungen zweier gegenüberliegender
Widerstände 1a, 1c bzw. 1b, 1d um 180° gegeneinander
verdreht bzw. phasenverschoben.
Die magnetoresistiven Elemente 1a, 1b bilden einen ersten
Spannungsteiler, und die magnetoresistiven Elemente 1c, 1d
einen zweiten Spannungsteiler innerhalb der Brücke 1.
Durch Anlegen einer äußeren Spannung U0 und Vergleich der
Teilspannungen der beiden Spannungsteiler zum Erhalt einer
Spannung UBr1 erhält man entsprechend der Ausrichtung des
festzustellenden äußeren magnetischen Feldes einen
cosinusartigen Signalverlauf UBr1, wie er in Fig. 1, unten,
dargestellt ist. Mit einer derartigen, als Winkelsensor
bzw. Winkelgeber eingesetzten Brücke erhält man über einen
Winkelbereich von 0° bis 180° eindeutig zuordnenbare
Winkel.
Ein 360°-Winkelsensor bzw. -geber kann dadurch realisiert
werden, daß man den beschriebenen Aufbau um eine weitere
Brücke, welche bezüglich der bereits dargestellten Brücke
um 90° gedreht ist, ergänzt. Eine derartige Brücke ist in
Fig. 1 insgesamt mit 2 bezeichnet. Die Brücke 2 weist
magnetoresistive Widerstandselemente 2a, 2b, 2c, 2d auf,
welche jeweils Widerstandswerte R1, R2, R3, R4 bzw.
Referenzmagnetisierungen Φ1, Φ2, Φ3, Φ4 aufweisen. Der
Aufbau dieser zweiten Brücke entspricht dem Aufbau der
ersten Brücke 1, so daß auf eine Wiederholung der
Beschreibung der Funktionsweise verzichtet werden kann.
Mittels der Brücke 2 erhält man einen zweiten Signalverlauf
UBr2, welcher sinusartig verläuft. Mittels
Arcustangensbildung auf der Grundlage der erhaltenen
Sinussignale und Cosinussignale sind die Winkel der
Ausrichtung des äußeren magnetischen Feldes in einfacher
Weise berechenbar.
Die erfindungsgemäße Schaltung, mit welcher insbesondere
das erfindungsgemäße Verfahren durchführbar ist, wird nun
anhand der Fig. 2 beschrieben. Die erfindungsgemäße
Schaltung ist insgesamt mit 3 bezeichnet. Hierbei ist in
Fig. 2 links ein erster Betriebszustand, und in Fig. 2
rechts ein zweiter Betriebstzustand der Schaltung 3
dargestellt. Der wesentliche Unterschied zu der unter
Bezugnahme auf Fig. 1 beschriebenen Schaltung gemäß dem
Stand der Technik liegt darin, daß erfindungsgemäß nur vier
Widerstandselemente, welche mit 3a, 3b, 3c, 3d bezeichnet
sind, vorgesehen sind. Die magnetoresistiven
Widerstandselemente 3a, 3b, 3c, 3d weisen jeweils
Widerstandswerte R1, R2, R3, R4 bzw.
Referenzmagnetisierungen Φ1, Φ2, Φ3, Φ4 auf, wie in den
Fig. 2a, 2b dargestellt ist. Die
Referenzmagnetisierungen sind zueinander jeweils um 90°
gedreht bzw. phasenverschoben (0°, 90°, 180°, 270°). In dem
ersten Betriebszustand bilden die magnetoresistiven
Elemente 3a, 3b einen ersten, und die magnetoresistiven
Elemente 3c, 3d einen zweiten Spannungsteiler. Bei Anlegen
einer äußeren Spannung U0 erhält man, entsprechend der
ersten Brücke der Fig. 1, ein cosinusartiges
Spannungssignal UBr1.
Die Brücke 3 ist nun ferner zur Darstellung eines zweiten
Betriebszustandes derartig verschaltbar, daß die
magnetoresistiven Elemente 3a, 3d einen ersten, und die
magnetoresistiven Widerstandselemente 3b, 3c einen zweiten
Spannungsteiler bilden. Auf der Grundlage dieser
Verschaltung der Brücke 3 erhält man, unter
Berücksichtigung der jeweiligen Referenzmagnetisierungen,
ein sinusartiges Signal UBr2. Die jeweiligen Signalverläufe
für unterschiedliche Ausrichtungen eines äußeren
magnetischen Feldes sind in Fig. 2, unten, dargestellt.
Die dargestellte flexible Verschaltung der
magnetoresistiven Elemente ist beispielsweise mittels
Dioden realisierbar. Man ist so in der Lage, sequentiell
unterschiedliche Brücken bereitzustellen, die einerseits
einen cosinusartigen Signalverlauf, und andererseits einen
sinusartigen Signalverlauf liefern. Mit dieser Maßnahme ist
es möglich, aus nur vier Widerstandselementen einen über
360° eindeutigen Winkelgeber bzw. -sensor zu konstruieren.
Obwohl man bei der Wahl der Referenzmagnetisierungen der
magnetoresistiven Elemente 3a, 3b, 3c, 3d der Brücke
relativ frei ist, erweist es sich als zweckmäßig, wie
dargestellt um 90° phasenverschobene
Referenzmagnetisierungen zu wählen. Derartige Signale sind,
wie bereits unter Bezugnahme auf Fig. 1 erläutert, über
eine Arcustangens-Bildung ihres Quotienten leicht
auszuwerten.
Claims (6)
1. Schaltung zur Feststellung eines äußeren magnetischen
Feldes, insbesondere zur Bereitstellung eines Winkelsensors
oder Winkelgebers, mit ersten bis vierten magnetoresistiven
Elementen (3a, 3b, 3c, 3d), welche unter Bildung zweier
Spannungsteiler miteinander zu einer Brücke (3)
verschaltbar sind,
gekennzeichnet durch
Mittel zur flexiblen Verschaltung der magnetoresistiven
Elemente (3a, 3b, 3c, 3d) derart, daß in einem ersten
Betriebszustand ein erstes und ein zweites
magnetoresistives Element (3a, 3b) einen ersten
Spannungsteiler, und ein drittes und ein viertes
magnetoresistives Element (3c, 3d) einen zweiten
Spannungsteiler bilden, und in einem zweiten
Betriebszustand das erste und das vierte magnetoresistive
Element (3a, 3d) einen ersten, und das zweite und das dritte
magnetoresistive Element (3b, 3c) einen zweiten
Spannungsteiler bilden.
2. Schaltung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß
die magnetoresistiven Elemente (3a, 3b, 3c, 3d)
unterschiedlich ausgerichtete Referenzmagnetisierungen
aufweisen.
3. Schaltung nach einem der Ansprüche 1 oder 2, dadurch
gekennzeichnet, daß die Referenzmagnetisierungen der
magnetoresistiven Elemente (3a, 3b, 3c, 3d) jeweils um 90°
zueinander verdreht ausgebildet sind.
4. Verfahren zur Feststellung der Ausrichtung eines äußeren
magnetischen Feldes mittels erster bis vierter
magnetoresistiver Elemente (3a, 3b, 3c, 3d), welche unter
Bildung zweier Spannungsteiler miteinander zu einer Brücke
(3) verschaltet sind,
dadurch gekennzeichnet,
daß in einem ersten Betriebszustand zum Erhalt eines ersten
dem magnetischen Feld zuordenbaren Signals ein erstes
magnetoresistives Element (3a) und ein zweites
magnetoresistives Element (3b) zu einem ersten
Spannungsteiler, und ein drittes magnetoresistives Element
(3c) und ein viertes magnetoresistives Element (3d) zu
einem zweiten Spannungsteiler verschaltet werden, und in
einem zweiten Betriebszustand zum Erhalt eines zweiten dem
magnetischen Feld zuordnenbaren Signals das erste
magnetoresistive Element (3a) und das vierte
magnetoresistive Element (3d) zu einem ersten
Spannungsteiler, und das zweite magnetoresistive Element
(3b) und das dritte magnetoresistive Element (3c) zu einem
zweiten Spannungsteiler verschaltet werden.
5. Verfahren nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß
in dem ersten und dem zweiten Betriebszustand jeweils um
90° zueinander phasenverschobene Signale, insbesondere
cosinusartige und sinusartige Signale, erzeugt werden.
6. Verfahren nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, daß
die Ausrichtung des zu bestimmenden äußeren magnetischen
Feldes mittels einer Arcustangensfunktion unter
Quotientenbildung der um 90° phasenverschobenen Signale
bestimmt wird.
Priority Applications (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE19948026A DE19948026B4 (de) | 1999-10-06 | 1999-10-06 | Schaltung und Verfahren zur Feststellung eines magnetischen Feldes |
GB0023954A GB2355077B (en) | 1999-10-06 | 2000-09-29 | Magnetic field detection |
FR0012778A FR2799551A1 (fr) | 1999-10-06 | 2000-10-06 | Circuit et procede pour determiner un champ magnetique |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE19948026A DE19948026B4 (de) | 1999-10-06 | 1999-10-06 | Schaltung und Verfahren zur Feststellung eines magnetischen Feldes |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE19948026A1 true DE19948026A1 (de) | 2001-04-12 |
DE19948026B4 DE19948026B4 (de) | 2009-06-10 |
Family
ID=7924625
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE19948026A Expired - Fee Related DE19948026B4 (de) | 1999-10-06 | 1999-10-06 | Schaltung und Verfahren zur Feststellung eines magnetischen Feldes |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
DE (1) | DE19948026B4 (de) |
FR (1) | FR2799551A1 (de) |
GB (1) | GB2355077B (de) |
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-
2000
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DE19948026B4 (de) | 2009-06-10 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
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8110 | Request for examination paragraph 44 | ||
8364 | No opposition during term of opposition | ||
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