DE19943135A1 - Magneto-optical recording substrate, e.g. for a high density rewritable optical mini-disk, comprises a metal layer between its magnetic reproduction layer and its magnetic recording layer - Google Patents

Abstract

A magneto-optical recording substrate includes a metal layer (4) between its magnetic reproduction layer (3) and its magnetic recording layer (6). A magneto-optical recording substrate comprises, in succession, starting at the light reception side, a magnetic reproduction layer (3) exhibiting planar magnetization at room temperature and perpendicular magnetization at elevated temperature, a metal layer (4), a dielectric layer (5) and a magnetic recording layer (6) exhibiting perpendicular magnetization. Independent claims are also included for the following: (i) a similar magneto-optical recording substrate in which the dielectric layer (5) is omitted and the metal layer (4) is <= 6 nm thick; (ii) a similar magneto-optical recording substrate in which the metal layer (4) is omitted and the dielectric layer (5) has an increased metal content at the side facing the reproduction layer (3); and (iii) production of the above magneto-optical recording substrate in which the metal layer (4) is formed by sputtering of an aluminum target of <= 99.9% purity.

Description

Die Erfindung betrifft einen magnetooptischen Aufzeichnungs­ träger, auf dem Licht dadurch aufgezeichnet wird und von dem Information dadurch ausgelesen wird, dass Licht eingestrahlt wird. Außerdem betrifft die Erfindung ein Verfahren zum Her­ stellen eines derartigen Trägers.The invention relates to magneto-optical recording carrier on which light is recorded and from which Information is read out by irradiating light becomes. The invention also relates to a method for manufacturing provide such a carrier.

Magnetooptische Aufzeichnungsträger werden als umschreibbare optische Aufzeichnungsträger verwendet. Bei derartigen ma­ gnetooptischen Aufzeichnungsträgern zeigt sich ein Mangel dahingehend, dass sich die Wiedergabeeigenschaften ver­ schlechtern, wenn die Größe eines Aufzeichnungsbits, das eine Einheitsmagnetfläche für den Aufzeichnungsvorgang bil­ det, und das Intervall zwischen Aufzeichnungsbits kleiner als der Durchmesser des Flags eines Lichtstrahls werden, der von einem Halbleiterlaser emittiert wird und auf den magne­ tooptischen Aufzeichnungsträger konvergiert wird.Magneto-optical recording media are rewritable optical recording media used. With such ma gneto-optical recording media shows a deficiency in that the playback characteristics change worse if the size of a recording bit that a unit magnetic surface for the recording process bil  det, and the interval between recording bits is smaller than the diameter of the flag of a beam of light that is emitted by a semiconductor laser and onto the magne tooptic record carrier is converged.

Der Grund für diesen Mangel besteht darin, dass Aufzeich­ nungsbits, die an ein Ziel-Aufzeichnungsbit angrenzen, in den Fleck des auf das Ziel-Aufzeichnungsbit konvergierten Lichtstrahls fallen, weswegen einzelne Aufzeichnungsbits nicht gesondert ausgelesen werden können.The reason for this lack is that record voltage bits adjacent to a target record bit in the spot of the converged on the target record bit Light beam fall, which is why individual recording bits cannot be read out separately.

Um diesem Mangel abzuhelfen, schlägt das Dokument JP-A-6(1994)-150418 einen magnetooptischen Aufzeichnungsträger vor, der so aufgebaut ist, dass er über die folgenden Schichten verfügt: eine Wiedergabeschicht, die bei Raumtem­ peratur in der Ebene liegende Magnetisierung aufweist und bei ansteigender Temperatur in einen Zustand mit rechtwink­ liger Magnetisierung übergeht; eine Aufzeichnungsschicht so­ wie eine unmagnetische Zwischenschicht, die zwischen der Wiedergabeschicht und der Aufzeichnungsschicht vorhanden ist, um diese beiden Schichten magnetostatisch zu koppeln. In diesem Aufzeichnungsträger wird, unter Ausnutzung der Wärmeverteilung im Lichtstrahlfleck, Information nur aus einem einzelnen Aufzeichnungsbit bei einer Temperatur über einer Schwellentemperatur von der Aufzeichnungsschicht in die Wiedergabeschicht übertragen. Wenn sich bei diesem Auf­ bau benachbarte Aufzeichnungsbits innerhalb des Flecks des konvergierten Lichtstrahls befinden, kann Information aus dem Ziel-Aufzeichnungsbit gesondert ausgelesen werden.To remedy this shortcoming, the document suggests JP-A-6 (1994) -150418 discloses a magneto-optical recording medium before, which is structured so that it has the following Layers: a playback layer that is at room temperature has in-plane temperature and into a right-angled state when the temperature rises magnetization passes; a recording layer like this like a non-magnetic intermediate layer between the Reproducing layer and the recording layer is to magnetostatically couple these two layers. In this record carrier, using the Heat distribution in the light beam spot, information only from a single record bit at a temperature above a threshold temperature from the recording layer in broadcast the playback layer. If at this on build adjacent record bits within the patch of the converged light beam can find information be read out separately from the target recording bit.

Das Dokument JP-A-9(1997)-231631 schlägt eine Konstruktion vor, bei der eine Schicht aus einem Metallfilm oder eine Schicht aus einem dielektrischen Film und einem Metallfilm zwischen der Wiedergabeschicht und der Aufzeichnungsschicht vorhanden ist. Durch diesen Aufbau ist es möglich, ein ma­ gnetisches Streufeld zu kontrollieren, wie es von in der Aufzeichnungsschicht vorhandener Magnetisierung erzeugt wird, und es ist auch möglich, vom Metallfilm reflektiertes Licht auszunutzen. Daher können günstige Wiedergabeeigen­ schaften erzielt werden.Document JP-A-9 (1997) -231631 proposes a construction before, where a layer of a metal film or a Layer of a dielectric film and a metal film between the reproducing layer and the recording layer is available. With this structure it is possible to create a ma  to control the stray magnetic field, as seen in the Recording layer of existing magnetization generated becomes, and it is also possible, reflected from the metal film Exploiting light. Therefore, cheap playback can be used be achieved.

Jedoch können die Aufzeichnungsträger gemäß den beiden oben genannten Dokumenten dann für keine guten Aufzeichnungs- und Wiedergabeeigenschaften sorgen, wenn sehr kleine Aufzeich­ nungsbits und sehr kleine Intervalle zwischen diesen verwen­ det werden. Demgemäß besteht ein Problem dahingehend, dass es unmöglich ist, Aufzeichnungs- und Wiedergabevorgänge bei höherer Bitdichte als bisher zu realisieren, weswegen die Speicherkapazität nicht vergrößerbar ist.However, the recording media can be according to the two above then mentioned documents for no good recording and Playback characteristics ensure when recording very small use bits and very small intervals between them be det. Accordingly, there is a problem that it is impossible to record and play back higher bit density than before, which is why the Storage capacity is not expandable.

Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrund, einen magnetoopti­ schen Aufzeichnungsträger mit guter Qualität von Wiedergabe­ signalen, der Aufzeichnungs- und Wiedergabevorgänge mit ho­ her Bitdichte ermöglicht, sowie ein Verfahren zum Herstellen eines derartigen Trägers zu schaffen.The invention has for its object a magnetoopti recording media with good quality of reproduction signals, the recording and playback processes with ho forth bit density enables, as well as a method for manufacturing to create such a carrier.

Diese Aufgabe ist hinsichtlich des Aufzeichnungsträgers durch die Lehren der unabhängigen Ansprüche 1, 7 und 8 sowie hinsichtlich des Verfahrens zu seiner Herstellung durch die Lehre des Anspruchs 9 gelöst.This task is with regard to the record carrier by the teachings of independent claims 1, 7 and 8 as well regarding the process for its manufacture by the Doctrine of claim 9 solved.

Diese und andere Aufgaben der Erfindung werden aus der nach­ folgenden detaillierten, anhand von Figuren veranschaulich­ ten Beschreibung besser ersichtlich.These and other objects of the invention will be apparent from the following detailed, illustrated with reference to figures ten description more clearly.

Fig. 1 bis 3 sind schematische Schnittdiagramme zum Veran­ schaulichen der Abfolge von Filmen bei einem magnetoopti­ schen Aufzeichnungsträger gemäß einem Beispiel 1, 2 bzw. 3 der Erfindung; Figs. 1 to 3 are schematic sectional diagrams to illustrate the sequence Veran of films in a magneto-optical recording medium according to a rule Example 1, 2 and 3 of the invention;

Fig. 4 ist eine graphische Wiedergabe von Messergebnissen zur Toleranz der Abspielleistung beim Beispiel 1; und Fig. 4 is a graphic representation of measurement results to the tolerance of the reproducing power in Example 1; and

Fig. 5 ist ein schematisches Schnittdiagramm zum Veranschau­ lichen der Abfolge von Filmen bei einem magnetooptischen Aufzeichnungsträger gemäß einem Vergleichsbeispiel, d. h. bei einem herkömmlichen magnetooptischen Aufzeichnungsträ­ ger. Fig. 5 is a schematic sectional diagram for illustrating the sequence of films in a magneto-optical recording medium union according to a comparative example, ie ger in a conventional magneto-optical Aufzeichnungsträ.

Die Erfindung wurde dadurch realisierbar, dass erstmals er­ kannt wurde, dass bei einem magnetooptischen Aufzeichnungs­ träger mit einer magnetischen Wiedergabeschicht, die bei Raumtemperatur in der Ebene liegende Magnetisierung zeigt und bei Erwärmung auf mindestens eine kritische Temperatur rechtwinklige Magnetisierung zeigt, hervorragende Eigen­ schaften, die das Erzielen hoher Aufzeichnungsdichte ermög­ lichen, dadurch erhalten werden, dass ein Metallfilm (insbe­ sondere ein Metallfilm, der so dünn ist, dass er kaum als Reflexionsfilm wirkt) oder dergleichen in Kontakt mit der magnetischen Wiedergabeschicht oder in der Nähe derselben angebracht wird. Auch wurde erstmals herausgefunden, dass gute Aufzeichnungs- und Wiedergabeeigenschaften bei einem Aufbau erzielt werden, bei dem ein Metallfilm oder derglei­ chen und ein dielektrischer Film vorhanden sind, die ausge­ hend von der magnetischen Wiedergabeschicht in dieser Rei­ henfolge ausgebildet sind.The invention was realizable in that for the first time he was known that in a magneto-optical recording carrier with a magnetic reproduction layer, which at Room temperature shows magnetization lying in the plane and when heated to at least a critical temperature right-angled magnetization shows excellent eigen which enable high recording density to be achieved lichen, are obtained by a metal film (esp in particular a metal film that is so thin that it is hardly considered Reflection film acts) or the like in contact with the magnetic reproduction layer or in the vicinity thereof is attached. It was also found for the first time that good recording and playback properties at one Structure can be achieved in which a metal film or the like Chen and a dielectric film are present, the out starting from the magnetic reproduction layer in this row are trained.

Der Aufbau eines erfindungsgemäßen magnetooptischen Auf­ zeichnungsträgers unterscheidet sich völlig von dem herkömm­ licher derartiger Träger, wie sie für Minidisks (MDs) und dergleichen verwendet werden. Wie es in Fig. 5 dargestellt ist, sind bei einem herkömmlichen magnetooptischen Aufzeich­ nungsträger auf einem Substrat 100 aufeinanderfolgend eine transparente dielektrische Schicht 101, eine magnetooptische Aufzeichnungs- und Wiedergabeschicht 102, eine transparente dielektrische Schicht 103 und eine reflektierende Metall­ schicht 104 ausgebildet. Die reflektierende Metallschicht 104 ist vorhanden, um solches Licht zu reflektieren, das durch die magnetooptische Aufzeichnungs- und Wiedergabe­ schicht 102 hindurchgelaufen ist, um den Kerr-Rotationswin­ kel durch einen Interferenzeffekt mit Licht, das auf die Aufzeichnungs- und Wiedergabeschicht 102 fällt, zu erhöhen. Die transparente dielektrische Schicht 103 ist vorhanden, um den Interferenzeffekt zu verstärken.The structure of a magneto-optical recording medium according to the invention is completely different from the conventional carrier of this type, as used for mini discs (MDs) and the like. As shown in Fig. 5, a transparent dielectric layer 101, a magneto-optical recording and reproducing layer 102, a transparent dielectric layer 103 and a reflective metal are in a conventional magneto-optical Aufzeich drying carrier on a substrate 100 sequentially layer 104 is formed. The reflective metal layer 104 is present, in order to reflect such light, the layer through the magneto-optical recording and reproduction has passed 102 to the Kerr Rotationswin kel by an interference effect of light, incident on the recording and reproducing layer 102 to increase . The transparent dielectric layer 103 is provided to enhance the interference effect.

Dagegen verfügt ein erfindungsgemäßer magnetooptischer Auf­ zeichnungsträger im Wesentlichen über Folgendes: 1) eine ma­ gnetische Aufzeichnungsschicht, eine Metallschicht, eine di­ elektrische Schicht und eine magnetische Aufzeichnungs­ schicht, in dieser Reihenfolge; 2) eine magnetische Wieder­ gabeschicht, eine Metallschicht und eine magnetische Auf­ zeichnungsschicht, in dieser Reihenfolge; oder 3) eine ma­ gnetische Wiedergabeschicht, eine dielektrische Schicht und eine magnetische Aufzeichnungsschicht, in dieser Reihenfol­ ge. Zusätzlich zu diesen Grundaufbauten kann der magnetoop­ tische Aufzeichnungsträger wahlweise über ein Substrat und/oder eine transparente dielektrische Schicht und/oder eine dielektrische Schicht und/oder eine Wärmeabstrahlungsschicht und/oder eine Überzugsschicht und/oder dergleichen an einer beliebigen Position verfügen.In contrast, a magneto-optical opening according to the invention Drawing medium essentially about the following: 1) a ma magnetic recording layer, a metal layer, a di electrical layer and a magnetic recording layer, in that order; 2) a magnetic re layer, a metal layer and a magnetic layer drawing layer, in that order; or 3) a ma magnetic reproduction layer, a dielectric layer and a magnetic recording layer, in that order ge. In addition to these basic structures, the magnetoop table recording media optionally over a substrate and / or a transparent dielectric layer and / or a dielectric layer and / or a heat radiation layer and / or a coating layer and / or the like on one any position.

Die magnetische Wiedergabeschicht verfügt über eine magneti­ sche Schicht mit in der Ebene liegender Magnetisierung bei Raumtemperatur und rechtwinkliger Magnetisierung bei höherer Temperatur, d. h. bei mindestens einer kritischen Tempera­ tur. Für Materialien zum Herstellen der magnetischen Wieder­ gabeschicht besteht keine spezielle Beschränkung; als Bei­ spiele können einzelne Schichten und Mehrfachschichten aus GdFeCO, TbFeCo, DyFeCo, HoFeCo, GdTbFe, GdDyFeCo, GdTbFeCo und dergleichen genannt werden. Hinsichtlich dieser Legie­ rungen können die Zusammensetzungen in zweckdienlicher Weise eingestellt werden, da ihre Kompensationstemperaturen (und/­ oder ihre Curietemperaturen) abhängig von der Zusammenset­ zung variieren. Für eine weitere Verbesserung der Wiederga­ beeigenschaften kann eine weitere magnetische Schicht hinzu­ gefügt werden, die bei Raumtemperatur in der Ebene liegende Magnetisierung zeigt und über eine so niedrige Curietempera­ tur verfügt, dass sie ihre Magnetisierung in der Nähe einer Wiedergabetemperatur verliert.The magnetic reproduction layer has a magneti layer with magnetization lying in the plane Room temperature and right-angled magnetization at higher Temperature, d. H. at least one critical tempera door. For materials used to manufacture magnetic re there is no particular limitation; as bei games can consist of single layers and multiple layers GdFeCO, TbFeCo, DyFeCo, HoFeCo, GdTbFe, GdDyFeCo, GdTbFeCo and the like. Regarding this alloy  The compositions can conveniently can be set because their compensation temperatures (and / or their Curie temperatures) depending on the composition vary. For a further improvement of the replay Another magnetic layer can be added be added, the one lying at room temperature in the plane Magnetization shows and over such a low Curie tempera has that its magnetization near a Playback temperature loses.

Der Metallfilm besteht aus einem Material mit höherer Wärme­ leitfähigkeit als derjenigen der magnetischen Wiedergabe­ schicht. Als Beispiele können Einzelschichten und Mehrfach­ schichten aus Metallen wie Al, Au, Ti, Ag, Cu und derglei­ chen, Einzelschichten oder Mehrfachschichten von Legierungen wie AlNi, AlTi, AlSi, AgTi und dergleichen sowie Mehrfach­ schichten dieser Metalle mit diesen Legierungen genannt wer­ den. Die Dicke der Metallschicht beträgt vorzugsweise 30 nm oder weniger, bevorzugter 6 nm oder weniger. Außerdem kann der Metallfilm beim Aufbau 1) entweder in Form eines geson­ derten "Films" mit klarer Grenze oder in Form eines Bereichs hoher Konzentration in der dielektrischen Schicht, was unten im Einzelnen beschrieben wird, ausgebildet werden. Dieser Bereich hoher Konzentration liegt auf der Seite der dielek­ trischen Schicht zur magnetischen Wiedergabeschicht hin, und in diesem Bereich liegt ein Metall, das nicht das die magne­ tische Wiedergabeschicht bildende Metall ist, mit höherer Konzentration als in anderen Teilen der dielektrischen Schicht.The metal film consists of a material with higher heat conductivity than that of magnetic reproduction layer. Single layers and multiple layers can be used as examples layers of metals such as Al, Au, Ti, Ag, Cu and the like layers, single layers or multiple layers of alloys such as AlNi, AlTi, AlSi, AgTi and the like as well as multiple layers of these metals with these alloys called who the. The thickness of the metal layer is preferably 30 nm or less, more preferably 6 nm or less. Besides, can the metal film when building 1) either in the form of a geson most "films" with a clear border or in the form of an area high concentration in the dielectric layer what is below is described in detail. This The area of high concentration lies on the side of the dielek layer towards the magnetic reproduction layer, and in this area there is a metal that is not magne table forming metal is, with higher Concentration than in other parts of the dielectric Layer.

Die magnetische Aufzeichnungsschicht zeigt von der Raumtem­ peratur bis zur Curietemperatur rechtwinklige Magnetisie­ rung. Für die Materialien für diese magnetische Aufzeich­ nungsschicht besteht keine spezielle Beschränkung, und als Beispiele können Einzelschichten und Mehrfachschichten von DyFeCo, TbFeCo, GdTbFe, NdDyFeCo, GdDyFeCo, GdTbFeCo und dergleichen genannt werden. Hinsichtlich dieser Legierungen können die Anteile ihrer Komponenten in zweckdienlicher Wei­ se eingestellt werden, da ihre Curietemperaturen abhängig von der Zusammensetzung variieren. Auch kann zur weiteren Verbesserung der Aufzeichnungseigenschaften eine weitere magnetische Schicht (Aufzeichnungsunterstützungsschicht) hinzugefügt werden, die rechtwinklige Magnetisierung zeigt und um die Aufzeichnungstemperatur eine kleinere Koerzitiv­ feldstärke als die magnetische Aufzeichnungsschicht zeigt.The magnetic recording layer shows from the room perpendicular magnetisie up to Curie temperature tion. For the materials for this magnetic record There is no particular limitation on the layer of the Examples can be single layers and multiple layers of  DyFeCo, TbFeCo, GdTbFe, NdDyFeCo, GdDyFeCo, GdTbFeCo and the like. Regarding these alloys can the proportions of their components in appropriate Wei se, because their Curie temperatures depend vary in composition. Can also for further Another improvement of the recording properties magnetic layer (recording support layer) added, which shows perpendicular magnetization and a smaller coercive around the recording temperature shows field strength as the magnetic recording layer.

Für die Materialien für die dielektrische Schicht besteht keine spezielle Beschränkung, und als Beispiele können Ein­ zelschichten und Mehrfachschichten von AlN, SiN, AlSiN, AlTaN, SiAlON, TiON, BN, ZnS, TiO₂, BaTiO₃, SrTiO₃ und der­ gleichen genannt werden. Die Dicke der dielektrischen Schicht beträgt vorzugsweise ungefähr 1 bis 10 nm. Insbeson­ dere wird die dielektrische Schicht beim Aufbau 3) vorzugs­ weise aus einem Material mit einer solchen Zusammensetzung hergestellt, dass ein Metall, das kein die magnetische Auf­ zeichnungsschicht bildendes Metall ist, auf der Seite zur magnetischen Wiedergabeschicht mit höherer Konzentration als in anderen Teilen der dielektrischen Schicht vorhanden ist, da beim magnetooptischen Aufzeichnungsträger mit dem Aufbau 3) keine Metallschicht vorhanden ist. Hierbei bedeutet ein Metall, das kein die magnetische Wiedergabeschicht bildendes Metall ist, ein Material mit besserer Wärmeleitfähigkeit (Material zum Verbessern des Wärmeansprechverhaltens) als der der magnetischen Wiedergabeschicht.There is no particular limitation on the materials for the dielectric layer, and single layers and multilayers of AlN, SiN, AlSiN, AlTaN, SiAlON, TiON, BN, ZnS, TiO ₂ , BaTiO ₃ , SrTiO ₃ and the like can be mentioned as examples . The thickness of the dielectric layer is preferably about 1 to 10 nm. In particular, the dielectric layer in the structure 3) is preferably made of a material with a composition such that a metal that is not the metal forming the magnetic recording layer is on the Side to the magnetic reproduction layer is present with a higher concentration than in other parts of the dielectric layer, since no metal layer is present in the magneto-optical recording medium with the structure 3). Here, a metal that is not a metal constituting the magnetic reproducing layer means a material with better thermal conductivity (material for improving the thermal response) than that of the magnetic reproducing layer.

Beim magnetooptischen Aufzeichnungsträger gemäß der Erfin­ dung werden die oben angegebenen Schichten, einschließlich der magnetischen Wiedergabeschicht, vorzugsweise auf einem Substrat hergestellt. Für ein solches Substrat besteht keine spezielle Beschränkung auf irgendeinen Typ, vorausgesetzt, dass es sich um ein transparentes Substrat mit einem Licht­ transmissionsvermögen von 90% oder mehr handelt. Z. B. sind Substrate aus Glas, Quarzglas, chemisch behandeltem Glas, Glas mit einem Film aus einem durch Ultraviolettstrahlung härtbaren Harz auf einer Fläche sowie aus Kunststoff, wie aus Polycarbonat, Polymethylmethacrylat, amorphem Polyole­ fin, Polystyrol, Polybiphenylchlorid und Epoxidharz, ver­ wendbar. Vorzugsweise verfügt das Substrat über eine Füh­ rungsspur zum Führen eines Lichtstrahls sowie über erhabene Bereiche und Gräben zum Erhalten von Information wie eines Adressensignals, wie dies herkömmlich bekannt ist. Für die Breite und die Tiefe der Führungsspur, für die Breite des erhabenen Bereichs sowie für die Breite und die Tiefe des Grabens besteht keine spezielle Beschränkung, sondern diese Werte können abhängig von vorgesehenen Eigenschaften des magnetooptischen Aufzeichnungsträgers konzipiert werden.In the magneto-optical recording medium according to the Erfin The above layers, including the magnetic reproduction layer, preferably on one Substrate. There is no such substrate special limitation to any type, provided  that it is a transparent substrate with a light transmissivity of 90% or more. For example Substrates made of glass, quartz glass, chemically treated glass, Glass with a film of one by ultraviolet radiation curable resin on a surface as well as plastic, such as made of polycarbonate, polymethyl methacrylate, amorphous polyols fin, polystyrene, polybiphenyl chloride and epoxy resin, ver reversible. The substrate preferably has a guide track for guiding a light beam as well as over raised Areas and trenches for receiving information like one Address signal, as is conventionally known. For the Width and depth of the guide track, for the width of the raised area and for the width and depth of the There is no special restriction, but this Values can vary depending on the intended properties of the magneto-optical recording medium can be designed.

Auf dem Substrat kann eine transparente dielektrische Schicht hergestellt werden. Dafür ist jedes der oben genann­ ten dielektrischen Materialien verwendbar, das bei der mög­ lichen Dicke für ein Lichttransmissionsvermögen von 90% oder mehr sorgen kann. Im Allgemeinen wird die magnetische Wiedergabeschicht auf der transparenten dielektrischen Schicht hergestellt.A transparent dielectric can be placed on the substrate Layer. For this, each of the above is th dielectric materials can be used, which at the poss thickness for a light transmittance of 90% or more can worry. Generally the magnetic Playback layer on the transparent dielectric Layer.

Ferner kann zwischen dem Metallfilm und der magnetischen Aufzeichnungsschicht und/oder der letzteren eine dielektri­ sche Schicht hergestellt werden. Diese dielektrische Schicht kann ebenfalls aus dem oben genannten dielektrischen Mate­ rial hergestellt werden.Furthermore, between the metal film and the magnetic Recording layer and / or the latter a dielectri cal layer. This dielectric layer can also be made from the dielectric mate rial are produced.

Auf der magnetischen Aufzeichnungsschicht kann auch eine Wärmeabstrahlungsschicht hergestellt werden, unabhängig da­ von, ob eine dielektrische Schicht dazwischen vorhanden ist oder nicht. Für die Materialien für die Wärmeabstrahlungs­ schicht sowie für ihre Dicke besteht keine spezielle Be­ schränkung, vorausgesetzt, dass für höhere Wärmeleitfähig­ keit als derjenigen der magnetischen Aufzeichnungsschicht gesorgt ist.On the magnetic recording layer, a Heat radiation layer are made regardless of of whether there is a dielectric layer in between or not. For the materials for heat radiation  layer and for its thickness there is no special description restriction provided that for higher thermal conductivity speed than that of the magnetic recording layer is taken care of.

Vorzugsweise wird auf der magnetischen Aufzeichnungsschicht eine Überzugsschicht hergestellt, unabhängig davon, ob eine dielektrische Schicht vorhanden ist oder nicht, und unabhän­ gig davon, ob eine Wärmeabstrahlungsschicht vorhanden ist oder nicht. Die Überzugsschicht kann z. B. aus einem durch Ultraviolettstrahlung härtbaren Harz hergestellt werden.Preferably on the magnetic recording layer a coating layer is produced, regardless of whether one dielectric layer is present or not, and independent regardless of whether there is a heat radiation layer or not. The coating layer may e.g. B. from one Ultraviolet radiation curable resin can be produced.

BEISPIELEEXAMPLES

Nun wird die Erfindung durch Beispiele unter Bezugnahme auf die beigefügten Zeichnungen detaillierter erläutert.Now the invention is illustrated by examples with reference to FIG the accompanying drawings are explained in more detail.

Beispiel 1example 1

Wie es in Fig. 1 dargestellt ist, wurde eine magnetooptische Platte gemäß diesem Beispiel so aufgebaut, dass sie über Folgendes verfügt: ein Substrat 1, eine transparente dielek­ trische Schicht 2, eine magnetische Wiedergabeschicht 3, ei­ ne Metallschicht 4, eine dielektrische Schicht 5, eine ma­ gnetische Aufzeichnungsschicht 6, eine dielektrische Schicht 7, eine Wärmeabstrahlungsschicht 8 und eine Überzugsschicht 9, die in dieser Reihenfolge ausgehend von einer Lichtemp­ fangsfläche auflaminiert sind. Es wird darauf hingewiesen, dass das Substrat 1 und die Überzugsschicht 9 gegeneinander ausgetauscht sind, wenn eine magnetooptische Platte vor­ liegt, die Licht aus der entgegengesetzten Richtung emp­ fängt. As shown in FIG. 1, a magneto-optical disk according to this example was constructed to have: a substrate 1 , a transparent dielectric layer 2 , a magnetic reproducing layer 3 , a metal layer 4 , a dielectric layer 5 , a magnetic recording layer 6 , a dielectric layer 7 , a heat radiation layer 8, and a coating layer 9 , which are laminated in this order from a light receiving surface. It should be noted that the substrate 1 and the cladding layer 9 are interchanged when there is a magneto-optical disk that receives light from the opposite direction.

(1) Aufbau(1) Structure

Als Substrat 1 wurde ein solches aus Polycarbonat mit einer Dicke von 0,6 mm verwendet. Die oben genannten Schichten i wurden, mit Ausnahme der Überzugsschicht, durch Sputtern auf das Substrat 1 auflaminiert.As substrate 1 , one made of polycarbonate with a thickness of 0.6 mm was used. The above-mentioned layers i, with the exception of the coating layer, were laminated onto the substrate 1 by sputtering.

Als transparente dielektrische Schicht 2 wurde auf derjeni­ gen Seite des Substrats 1, auf der eine Führungsspur ausge­ bildet war, ein Film aus AlN mit einer Dicke von 65 nm her­ gestellt. Als magnetische Wiedergabeschicht 3 wurde auf der transparenten dielektrischen Schicht 2 eine zweischichtige magnetische Schicht aus GdFeCo und GdFe hergestellt. Als Erstes wurde die GdFeCo-Schicht mit einer Dicke von 25 nm hergestellt, und dann wurde die GdFe-Schicht mit einer Dicke von 15 nm hergestellt. Die letztere Schicht ist vorhanden, um die Wiedergabeeigenschaften zu verbessern. Die Magneti­ sierungsrichtung der GdFeCo-Schicht lag bei Raumtemperatur im Wesentlichen in der Ebene (d. h. in der Richtung der Ebe­ ne der magnetischen Wiedergabeschicht 3), und sie wechselte bei einer Temperatur von ungefähr 160 bis 180°C auf recht­ winklige Magnetisierung. Die GdFe-Schicht hielt ihre in der Ebene liegende Magnetisierung von der Raumtemperatur bis zu ihrem Curie-Punkt, der ungefähr 150°C betrug.As a transparent dielectric layer 2 , a film made of AlN with a thickness of 65 nm was produced on the side of the substrate 1 on which a guide track was formed. As the magnetic reproducing layer 3 has a two-layered magnetic layer of GdFeCo, GdFe, and was formed on the transparent dielectric layer. 2 First, the GdFeCo layer was made with a thickness of 25 nm, and then the GdFe layer was made with a thickness of 15 nm. The latter layer is present to improve the playback properties. The direction of magnetization of the GdFeCo layer was substantially in-plane at room temperature (ie, in the direction of the plane of the magnetic reproducing layer 3 ), and it changed to quite angular magnetization at a temperature of about 160 to 180 ° C. The GdFe layer maintained its in-plane magnetization from room temperature to its Curie point, which was approximately 150 ° C.

Auf der magnetischen Wiedergabeschicht 3 wurde ein Al-Film mit einer Dicke von 2 nm als Metallfilm 4 hergestellt. Die­ ser Al-Film wurde durch Sputtern eines Al-Targets mit 3N-Reinheit hergestellt. Es wird darauf hingewiesen, dass eine Metallschicht 4 mit derart geringer Dicke kaum als Reflexi­ onsfilm wirkt.On the magnetic reproducing layer 3 , an Al film with a thickness of 2 nm was produced as the metal film 4 . This Al film was produced by sputtering an Al target with 3N purity. It is pointed out that a metal layer 4 with such a small thickness hardly acts as a reflection film.

Als dielektrische Schicht 5 wurde auf der Metallschicht 4 ein AlN-Film mit einer Dicke von 3 nm hergestellt. An AlN film with a thickness of 3 nm was produced as the dielectric layer 5 on the metal layer 4 .

Als Aufzeichnungsschicht 6 wurde auf der dielektrischen Schicht 5 eine zweischichtige magnetische Schicht aus TbFeCo und GdFeCo hergestellt. Als Erstes wurde die magnetische TbFeCo-Schicht mit einer Dicke von 50 nm hergestellt, und dann wurde die GdFeCo-Schicht mit einer Dicke von 15 nm her­ gestellt. Die Letztere war vorhanden, um die Empfindlichkeit hinsichtlich des Aufzeichnungsmagnetfelds zu verbessern. Die TbFeCo-Schicht war ein Film mit rechtwinkliger Magnetisie­ rung bei Raumtemperatur, und ihr Curie-Punkt lag bei unge­ fähr 240°C. Die GdFeCo-Schicht war ein. Film mit rechtwinkli­ ger Magnetisierung bei Raumtemperatur, und ihr Curie-Punkt betrug ungefähr 280°C.As the recording layer 6 , a two-layer magnetic layer made of TbFeCo and GdFeCo was produced on the dielectric layer 5 . First, the magnetic TbFeCo layer was made with a thickness of 50 nm, and then the GdFeCo layer was made with a thickness of 15 nm. The latter was present to improve the sensitivity to the recording magnetic field. The TbFeCo layer was a film with perpendicular magnetization at room temperature and its Curie point was around 240 ° C. The GdFeCo layer was a. Rectangular magnetization film at room temperature and its Curie point was approximately 280 ° C.

Auf der magnetischen Aufzeichnungsschicht 6 wurde als di­ elektrische Schicht 7 ein AlN-Film mit einer Dicke von 10 nm hergestellt. Auf dieser dielektrischen Schicht 7 wurde als Wärmeabstrahlungsschicht 8 ein AlNi-Film mit einer Dicke von 20 nm hergestellt. Auf diese Wärmeabstrahlungsschicht 8 wur­ de durch Schleuderbeschichten ein durch Ultraviolettstrah­ lung härtbares Harz aufgetragen, das dann mit Ultraviolett­ strahlung bestrahlt wurde, um die Überzugsschicht 9 auszu­ bilden.An AlN film with a thickness of 10 nm was produced on the magnetic recording layer 6 as the electrical layer 7 . An AlNi film with a thickness of 20 nm was produced on this dielectric layer 7 as the heat radiation layer 8 . On this heat radiation layer 8 , an ultraviolet radiation curable resin was applied by spin coating, which was then irradiated with ultraviolet radiation to form the coating layer 9 .

(2) Aufzeichnungs- und Wiedergabeeigenschaften(2) Recording and playback properties

Die vorstehend beschriebene magnetooptische Platte wurde hinsichtlich ihrer Aufzeichnungs- und Wiedergabeeigenschaf­ ten ausgewertet, nämlich: (a) T/R-Verhältnis, (b) minimale Aufzeichnungsleistung, (c) Toleranz der Aufzeichnungsleis­ tung und (d) Toleranz der Wiedergabeleistung. Als Ver­ gleichsbeispiel wurde eine magnetooptische Platte ohne die Metallschicht 4 ebenfalls hinsichtlich der Aufzeichnungs- und Wiedergabeeigenschaften bewertet. Die Ergebnisse sind in der Tabelle 1 dargestellt. Das Vergleichsbeispiel war das­ selbe wie die magnetooptische Platte des Beispiels 1, mit der Ausnahme, dass kein Metallfilm 4 vorlag und die dielek­ trische Schicht 7 aus AlN eine Dicke von 5 nm statt von 10 nm hatte.The above-described magneto-optical disk was evaluated for its recording and reproducing properties, namely: (a) T / R ratio, (b) minimum recording performance, (c) tolerance of recording performance and (d) tolerance of reproduction performance. As a comparative example, a magneto-optical disk without the metal layer 4 was also evaluated for the recording and reproducing properties. The results are shown in Table 1. The comparative example was the same as the magneto-optical disk of Example 1, except that there was no metal film 4 and the dielectric layer 7 made of AlN had a thickness of 5 nm instead of 10 nm.

Tabelle 1 Table 1

Bedingungen beim Bewerten der Eigenschaften waren die fol­ genden:
Conditions when evaluating the properties were as follows:

• - Optischer Aufnehmer: Wellenlänge eines Halbleiterlasers = 640 nm, numerische Apertur einer Objektivlinse = 0,6;- Optical sensor: wavelength of a semiconductor laser 640 nm, numerical aperture of an objective lens = 0.6;
• - Lineargeschwindigkeit der Platte = 5,0 m/s;- linear speed of the plate = 5.0 m / s;
• - Spurform auf dem Substrat: Breite des erhabenen Bereichs und des Grabens jeweils 0,5 µm, Grabentiefe = 50 nm;- Track shape on the substrate: width of the raised area and the trench each 0.5 µm, trench depth = 50 nm;
• - Aufzeichnungsverfahren: Magnetfeldmodulation mit optischen Impulsen (Tastverhältnis der optischen Impulse = 30%, Stär­ ke des Aufzeichnungsmagnetfelds = 200 Oe); Modulationsver­ fahren mit Aufzeichnung in erhabenen Bereichen/Gräben (mini­ male Aufzeichnungsmarkierungslänge bei NRZI = 0,21 µm).- Recording method: magnetic field modulation with optical Impulses (duty cycle of the optical impulses = 30%, strength ke of the recording magnetic field = 200 Oe); Modulation ver drive with recording in raised areas / trenches (mini male recording mark length at NRZI = 0.21 µm).

Die drei Eigenschaften, mit Ausnahme des T/R-Verhältnisses, beruhten auf Ergebnissen, die dadurch erhalten wurden, dass ein NRZI-Zufallsmodulationsmuster mit einer minimalen Auf­ zeichnungsmarkierungslänge von 0,21 µm aufgezeichnet wurde und die BER (bit error rate = Bitfehlerrate) eines Wieder­ gabesignals bestimmt wurde. Der Schwellenwert zum Bewerten der BER wurde auf 1 × 10^-4 gesetzt, und der Bereich von Leistungen, die für bessere BERs, als diesem Schwellenwert entsprechend, sorgten, ist als Toleranz für die Aufzeich­ nungsleistung und als Toleranz für die Wiedergabeleistung angegeben.The three properties, except for the T / R ratio, were based on results obtained by recording an NRZI random modulation pattern with a minimum record mark length of 0.21 µm and the BER (bit error rate) one Again there were signals. The threshold for evaluating the BER was set to 1 × 10 ^-4 , and the range of performances that provided better BERs than this threshold is given as a tolerance for recording performance and as a tolerance for playback performance.

(a) T/R(a) T / R

Es wurden wiederholt Aufzeichnungsbits von 0,4 µm Länge auf­ gezeichnet, und es wurde das zugehörige T/R-Verhältnis be­ stimmt. Für eine magnetooptische Platte gemäß dem Beispiel der Erfindung wurde eine Verbesserung von ungefähr 1,5 dB gegenüber dem Vergleichsbeispiel beobachtet.Record bits 0.4 µm in length were repeated drawn, and it was the associated T / R ratio be Right. For a magneto-optical disk according to the example the invention became an improvement of approximately 1.5 dB observed over the comparative example.

Es wird angenommen, dass das Einfügen des Metallfilms 4 das T/R-Verhältnis aus dem folgenden Grund (dem folgenden Prin­ zip) verbesserte.It is believed that the insertion of the metal film 4 improved the T / R ratio for the following reason (the following principle).

Ein von der Lichtempfangsfläche des Aufzeichnungsträgers einfallender Lichtstrahl wird als Erstes von der magneti­ schen Wiedergabeschicht 3 absorbiert und in dieser in Wärme umgesetzt. Es besteht die Tendenz, dass sich Wärme, die sich in der magnetischen Wiedergabeschicht 3 angesammelt hat, so­ wohl in der Ebene des Films aus auch in der Dickenrichtung des Films ausbreitet. Da jedoch der Metallfilm 4 an der Rückseite der magnetischen Wiedergabeschicht 3 angebracht wurde, läuft mehr Wärme zum Metallfilm 4 (d. h. in der Di­ ckenrichtung des Films). Demgemäß unterdrückt das Anbringen des Metallfilms 4 in der magnetischen Wiedergabeschicht 3 die Wärmeausbreitung in der Ebene des Films. Daher wird da­ von ausgegangen, dass die Temperaturverteilung im Träger ei­ nen plötzlichen Übergang erfährt, wenn ein Lichtstrahl ein­ gestrahlt wird, wodurch das T/R-Verhältnis verbessert wird. An incident from the light receiving surface of the recording medium light beam is first absorbed by the magnetic reproduction layer 3 and converted into heat in this. Heat that has accumulated in the magnetic reproducing layer 3 tends to spread in the plane of the film as well in the thickness direction of the film. However, since the metal film 4 is attached to the back of the magnetic reproducing layer 3 , more heat runs to the metal film 4 (ie in the thickness direction of the film). Accordingly, the attachment of the metal film 4 in the magnetic reproducing layer 3 suppresses the heat spread in the plane of the film. Therefore, it is considered that the temperature distribution in the carrier undergoes a sudden transition when a light beam is irradiated, thereby improving the T / R ratio.

Dies wird noch detaillierter erläutert.This is explained in more detail.

Bei einem Träger mit MSR (magnetic super resolution = magne­ tische Superauflösung) wird unter Verwendung einer magneti­ schen Wiedergabeschicht 3, deren Magnetisierungsrichtung von der in der Ebene liegenden auf die rechtwinklige wechselt, wie bei diesem Beispiel, die Temperaturverteilung im Licht­ strahlfleck dazu genutzt, dass Daten in Aufzeichnungsbits, die von der magnetischen Aufzeichnungsschicht 6 in die ma­ gnetische Wiedergabeschicht 3 übertragen werden, nur in ei­ nem Bereich ausgelesen werden, der eine Temperatur (effekti­ ve Apertur) über einer vorgegebenen Schwellentemperatur auf­ weist. In einem Bereich unter der Schwellentemperatur (mas­ kierter Bereich) können magnetische Daten in der magneti­ schen Aufzeichnungsschicht 6 nicht erkannt werden, da die magnetische Wiedergabeschicht 3 in der Ebene liegende Magne­ tisierung aufweist.In a carrier with MSR (magnetic super resolution = magnetic super resolution), the temperature distribution in the light beam spot is used using a magnetic reproduction layer 3 , the magnetization direction of which changes from the in-plane to the rectangular, as in this example Data in recording bits, which are transferred from the magnetic recording layer 6 into the magnetic reproducing layer 3 , can only be read out in a region which has a temperature (effective aperture) above a predetermined threshold temperature. In a range below the threshold temperature (masked range), magnetic data cannot be recognized in the magnetic recording layer 6 , since the magnetic reproduction layer 3 has in-plane magnetization.

Jedoch wechselt die Magnetisierung der magnetischen Wieder­ gabeschicht 3 in einem bestimmten Temperaturbereich von in der Ebene liegender Magnetisierung auf rechtwinklige Magne­ tisierung. Dieser Wechsel tritt nicht digital auf. Aus die­ sem Grund verläuft in einem Bereich zwischen der effektiven Apertur und dem maskierten Bereich, d. h. in einem die ef­ fektive Apertur umgebenden Torusbereich, die Magnetisie­ rungsrichtung der magnetischen Wiedergabeschicht 3 diagonal. Dies führt während der Wiedergabe zu Störsignalen und beein­ trächtigt die Signalqualität. Dieser Bereich wird im Allge­ meinen als Graubereich bezeichnet.However, the magnetization of the magnetic replay layer 3 changes in a certain temperature range from in-plane magnetization to rectangular magnetization. This change does not occur digitally. For this reason, in a region between the effective aperture and the masked region, ie in a toroidal region surrounding the effective aperture, the direction of magnetization of the magnetic reproduction layer 3 runs diagonally. This leads to interference signals during playback and affects the signal quality. This area is generally referred to as the gray area.

Es wird angenommen, dass beim Beispiel 1 dieser Graubereich flächenmäßig verkleinert war, da die Temperaturverteilung im Träger abrupter, wie oben beschrieben, ausgebildet werden konnte, weswegen Störsignale unterdrückt waren und das T/R-Verhältnis verbessert war. It is assumed that in example 1 this gray area was reduced in area since the temperature distribution in the Carriers are formed more abruptly as described above could, why interference signals were suppressed and that T / R ratio was improved.  

Ferner kann der folgende Effekt erwartet werden.Furthermore, the following effect can be expected.

Wenn im Träger eine abrupte Temperaturverteilung realisiert werden kann, kann eine Wärmeansammlung innerhalb der magne­ tischen Wiedergabeschicht 3 verhindert werden, und Wärme kann wirkungsvoll an die magnetische Aufzeichnungsschicht übertragen werden. Demgemäß ist das zeitliche Wärmeansprech­ verhalten verbessert. Daher kann auch das T/R-Verhältnis verbessert sein.If an abrupt temperature distribution can be realized in the carrier, heat accumulation within the magnetic reproducing layer 3 can be prevented, and heat can be effectively transferred to the magnetic recording layer. Accordingly, the temporal heat response is behaviorally improved. Therefore, the T / R ratio can also be improved.

Der Grund hierfür ist der folgende.The reason for this is as follows.

Wenn aufgezeichnete Daten wiedergegeben werden, läuft ein Lichtstrahlfleck über eine sich drehende Platte. Wenn das Wärmeansprechverhalten verbessert ist, kann der Abstand zwi­ schen dem Zentrum des Lichtstrahlflecks und dem Wärmezentrum des Aufzeichnungsträgers (in dem die Temperatur des Auf­ zeichnungsträgers am höchsten ist) verringert werden. Z. B. werden beim im Dokument JP-A-6(1994)-150418 offenbarten MSR-Träger Daten in der magnetischen Aufzeichnungsschicht aus dem Wärmezentrum ausgelesen, und die Lichtintensität ist im Zentrum des Lichtstrahlflecks am höchsten. Demgemäß wird durch Verbessern des Wärmeansprechverhaltens das Zentrum des Lichtstrahlflecks nahe an das Wärmezentrum gebracht, so dass ein Signal mit größerer Intensität erhalten werden kann und dadurch das T/R-Verhältnis verbessert werden kann.When recorded data is played back, shrinking Beam spot over a rotating plate. If that Thermal response is improved, the distance between between the center of the light beam spot and the heat center of the record carrier (in which the temperature of the recording drawing medium is the highest) can be reduced. E.g. are disclosed in JP-A-6 (1994) -150418 MSR carrier data in the magnetic recording layer the heat center, and the light intensity is in the Center of the beam spot highest. Accordingly by improving the heat response, the center of the Beams of light brought close to the heat center so that a signal with greater intensity can be obtained and thereby the T / R ratio can be improved.

(b) Minimale Aufzeichnungsleistung(b) Minimum recording performance

Je kleiner die minimale Aufzeichnungsleistung ist, die dazu erforderlich ist, für eine BER von 1 × 10^-4 oder weniger zu sorgen, desto weniger Ausgangsleistung muss ein Laser erzeu­ gen, und demgemäß wird der Aufzeichnungsträger vorteilhaf­ ter. Dies ist auch dann von Vorteil, wenn höhere Datenüber­ tragung erforderlich ist, d. h., wenn die Lineargeschwindig­ keit einer Platte hoch ist.The smaller the minimum recording power required to provide a BER of 1 × 10 ^-4 or less, the less output power a laser needs to produce, and accordingly the record carrier becomes more advantageous. This is also advantageous when higher data transmission is required, ie when the linear speed of a disk is high.

Die Tabelle 1 zeigt, dass die magnetooptische Platte des Beispiels 1 den Effekt zeigt, dass eine Verbesserung um 1 mW gegenüber dem Vergleichsbeispiel möglich ist.Table 1 shows that the magneto-optical disk of the Example 1 the effect shows that an improvement of 1 mW compared to the comparative example is possible.

Der Grund für diese Verbesserung kann wie folgt auf Grundla­ ge des im obigen Punkt (a) T/R-Verhältnis angegebenen Prin­ zips erläutert werden.The reason for this improvement can be as follows ge of the Prin given in point (a) T / R ratio above zips are explained.

Da der Metallfilm 4 vorhanden ist, kann die Wärme, die sich in der magnetischen Aufzeichnungsschicht 3 ansammelt, zu diesem Metallfilm 4 (in der Dickenrichtung der Schicht) ge­ leitet werden. Der Metallfilm 4 ist so dünn und verfügt über eine so kleine Wärmekapazität, dass die zur Metallschicht 4 geleitete Wärme nicht innerhalb derselben verbleibt, sondern zur magnetischen Aufzeichnungsschicht 6 läuft. D. h., dass, da der Metallfilm 4 so wirkt, dass er überschüssige Wärme in der magnetischen Aufzeichnungsschicht 3 zur magnetischen Wiedergabeschicht 6 leitet, die zum Aufzeichnen erforderli­ che Wärme durch einen Lichtstrahl kleinerer Leistung erziel­ bar ist. Aus diesem Grund fällt die minimale Aufzeichnungs­ leistung.Since the metal film 4 is present, the heat accumulated in the magnetic recording layer 3 can be conducted to this metal film 4 (in the thickness direction of the layer). The metal film 4 is so thin and has such a small heat capacity that the heat conducted to the metal layer 4 does not remain within it, but instead runs to the magnetic recording layer 6 . That is, since the metal film 4 acts to conduct excess heat in the magnetic recording layer 3 to the magnetic reproducing layer 6 , the heat required for recording can be obtained by a light beam of lower power. For this reason, the minimum recording power drops.

(c) Toleranz für die Aufzeichnungsleistung(c) Tolerance for recording performance

Dieser Versuch beruhte auf einem Aufzeichnungsvorgang mit erhabenen Bereichen/Gräben, der für Aufzeichnen mit hoher Dichte am günstigsten ist. Als Erstes erfolgte ein Aufzeich­ nungsvorgang für einen beliebigen erhabenen Bereich mit ei­ ner bestimmten Aufzeichnungsleistung Pwa. Dann erfolgte ein Aufzeichnungsvorgang in beiden benachbarten Gräben mit der­ selben Aufzeichnungsleistung. Anschließend wurde die BER für den zuerst bespielten erhabenen Bereich bestimmt. Dieser Satz von Prozeduren wurde für verschiedene Aufzeichnungs­ leistungen wiederholt. Die Untergrenze der Aufzeichnungs­ leistung wurde im obigen Punkt (b) für die minimale Auf­ zeichnungsleistung erläutert. Die zugehörige Obergrenze wur­ de wie folgt bestimmt. Im Allgemeinen tritt Überschreiben auf, wenn die Aufzeichnungsleistung zu hoch ist. D. h., dass dann, wenn ein Aufzeichnungsvorgang für die Gräben erfolgt, die zuvor im erhabenen Bereich aufgezeichneten Daten gestört werden. Wenn diese Störung groß wird, verschlechtert sich die BER für den erhabenen Bereich. Bei diesem Beispiel wurde die Aufzeichnungsleistung, bei der die BER für den erhabenen Bereich 1 × 10^-4 überschritt, als maximale Aufzeichnungs­ leistung angesehen.This attempt was based on a raised area / trench recording process that is most favorable for high density recording. First, there was a recording operation for any raised area with a certain recording power Pwa. Then a recording process was carried out in both adjacent trenches with the same recording power. The BER was then determined for the first raised area. This set of procedures was repeated for different recording performances. The lower limit of the recording performance was explained in the above item (b) for the minimum recording performance. The associated upper limit was determined as follows. In general, overwriting occurs when the recording performance is too high. That is, when the trenches are recorded, the data previously recorded in the raised area is disturbed. When this disturbance becomes large, the BER for the raised area deteriorates. In this example, the recording performance at which the BER exceeded 1 × 10 ^-4 for the raised area was regarded as the maximum recording performance.

Die Tabelle 1 zeigt, dass die magnetooptische Platte des Beispiels 1 dazu in der Lage war, eine Toleranz für die Auf­ zeichnungsleistung zu realisieren, die so groß ist wie die bei der magnetooptischen Platte des Vergleichsbeispiels. So zeigte das Beispiel 1 den Vorteil einer Verringerung der minimalen Aufzeichnungsleistung (siehe den obigen Punkt (b)), während gleichzeitig die Toleranz für die Aufzeich­ nungsleistung nicht beeinflusst war.Table 1 shows that the magneto-optical disk of the Example 1 was able to set a tolerance for the on to realize drawing performance that is as big as that in the magneto-optical disk of the comparative example. So Example 1 demonstrated the benefit of reducing the minimum recording power (see point above (b)) while maintaining the tolerance for the record performance was not affected.

Im Allgemeinen besteht die Tendenz, dass ein Träger, der ge­ ringe Aufzeichnungsleistung benötigt, bei hoher Aufzeich­ nungsleistung leicht Überschreiben zeigt. Jedoch wurde bei der magnetooptischen Platte des Beispiels 1 keine derartige Tendenz beobachtet. Es wird angenommen, dass wegen der ge­ ringen Dicke des Metallfilms 4 von 2 nm die Wärmeübertragung in der Dickenrichtung des Films dominierend war und der Ef­ fekt eines Überschreibens durch Wärmeausbreitung in der Ebe­ ne nicht leicht auftrat. Es ist ersichtlich, dass der Über­ schreibeffekt dann auffälliger ist, wenn die Spurganghöhe kleiner ist. In general, a medium requiring low recording power tends to overwrite easily at high recording power. However, no such tendency was observed in the magneto-optical disk of Example 1. It is believed that because of the small thickness of the metal film 4 of 2 nm, the heat transfer in the thickness direction of the film was dominant and the effect of overwriting by heat propagation in the plane did not easily occur. It can be seen that the overwrite effect is more noticeable if the track aisle height is smaller.

Die Tabelle 2 liefert ein Beispiel zum Erläutern der Bezie­ hung zwischen der Spurganghöhe und der Toleranz für die Auf­ zeichnungsleistung.Table 2 provides an example to explain the relationship hung between the track height and the tolerance for the opening drawing performance.

Tabelle 2 Table 2

Die obige Tabelle zeigt, dass mit einer Spurganghöhe von 0,60 µm eine Toleranz für die Aufzeichnungsleistung erziel­ bar war, die doppelt so groß wie die bei einer Spurganghöhe von 0,50 µm war.The table above shows that with a track height of 0.60 µm achieved a tolerance for the recording performance bar, which was twice as large as that at a track aisle height was 0.50 µm.

Ferner wurde, wie dies später (beim Beispiel 2) beschrieben wird, die Obergrenze für die Dicke des Metallfilms 4 aus dem Gesichtspunkt der Toleranz für die Aufzeichnungsleistung heraus bestimmt, da der durch Wärmeleitung in der Ebene her­ vorgerufene Überschreibeffekt auffälliger wird, wenn die Di­ cke des Metallfilms 4 zunimmt. Jedoch kann die Obergrenze der Dicke des Metallfilms 4 stark abhängig von der beim Auf­ zeichnungsträger verwendeten Spurganghöhe variieren. Es ist auch ersichtlich, dass die Obergrenze für die Dicke des Me­ tallfilms 4 vom Material desselben und von der Wärmeleitfä­ higkeit desselben abhängt.Further, as will be described later (in Example 2), the upper limit for the thickness of the metal film 4 was determined from the viewpoint of the tolerance for the recording performance, because the overwrite effect caused by in-plane heat conduction becomes more noticeable when the thickness of the metal film 4 increases. However, the upper limit of the thickness of the metal film 4 can vary greatly depending on the track height used in the recording medium. It can also be seen that the upper limit for the thickness of the metal film 4 depends on the material thereof and on the thermal conductivity thereof.

(d) Toleranz für die Wiedergabeleistung(d) Tolerance for playback performance

Zunächst erfolgt eine Erläuterung zur Art der Bestimmung der Toleranz für die Wiedergabeleistung. Für einen Aufzeich­ nungsvorgang in einem erhabenen Bereich und den zwei benach­ barten Gräben wurde eine mittlere Aufzeichnungsleistung ver­ wendet, die durch Bestimmen der Toleranz für die Aufzeich­ nungsleistung erhalten wurde. Die BER für den erhabenen Be­ reich wurde unter Änderung der Wiedergabeleistung bestimmt, und es wurde ein Bereich von Wiedergabeleistungen ermittelt, in dem die BER besser als 1 × 10^-4 war. Dabei wurde heraus­ gefunden, dass die Toleranz für die Wiedergabeleistung grö­ ßer als beim Vergleichsbeispiel war. Fig. 4 ist eine grafi­ sche Wiedergabe der Ergebnisse aus der Tabelle 1.First, an explanation is given of the manner in which the tolerance for the reproduction performance is determined. For a recording operation in a raised area and the two adjacent trenches, an average recording power was used, which was obtained by determining the tolerance for the recording power. The BER for the raised area was determined by changing the rendering performance, and a range of rendering performance was determined in which the BER was better than 1 × 10 ^-4 . It was found that the tolerance for the playback performance was greater than in the comparative example. Fig. 4 is a grafi specific reproduction of the results from Table 1.

Es wird angenommen, dass die folgenden Gründe für vergrößer­ te Toleranz bei der Erfindung verantwortlich sind: gemäß dem im obigen Punkt (a) beschriebenen Prinzip ist erstes das T/R-Verhältnis erhöht (siehe den obigen Punkt (a)), und da­ durch ist die BER selbst erhöht (siehe Fig. 4); zweitens un­ terdrückt das verbesserte Wärmeansprechverhalten die Wärme­ übertragung in der Ebene, und im Ergebnis ist Überschreiben aus benachbarten Gräben verringert. Da bei MSR-Bauteilen die effektive Apertur bei Erhöhen der Wiedergabeleistung größer wird, nimmt das Ausmaß des Einmischens von in benachbarten Spuren (Gräben) in diesem Fall aufgezeichneten Signalen bei höherer Wiedergabeleistung zu. Anders gesagt, nimmt das Überschreiben zu, und die BER nimmt ab. Jedoch zeigt die Platte des Beispiels 1, wie es deutlich in Fig. 4 darge­ stellt ist, bei höheren Wiedergabeleistungen bessere BERs als das Vergleichsbeispiel. D. h., dass der Effekt einer Verringerung des Überschreibens größer als bei der Platte des Vergleichsbeispiels war. Daraus ist deutlich, dass der Metallfilm 4 bei der Erfindung die Wirkung einer Verringe­ rung des Überschreibens während der Wiedergabe zeigt.It is believed that the following reasons are responsible for the increased tolerance in the invention: according to the principle described in the above item (a), the T / R ratio is first increased (see the above item (a)), and so on the BER itself is increased (see Fig. 4); second, the improved thermal response suppresses in-plane heat transfer, and as a result, overwriting from adjacent trenches is reduced. In this case, since the effective aperture increases in the case of measurement and control components as the reproducing power increases, the degree of mixing in of signals recorded in adjacent tracks (trenches) increases with higher reproducing power. In other words, the overwrite increases and the BER decreases. However, as clearly shown in FIG. 4, the disc of Example 1 shows better BERs than the comparative example at higher playback performances. That is, the effect of reducing the overwriting was larger than that of the plate of the comparative example. It is clear from this that the metal film 4 shows the effect of reducing the overwriting during reproduction in the present invention.

Wie oben beschrieben, konnten bei diesem Beispiel das T/R-Verhältnis, die minimale Aufzeichnungsleistung sowie die To­ leranzen für die Aufzeichnungsleistung und die Wiedergabe­ leistung verbessert werden. Es wird davon ausgegangen, dass das zu diesen Effekten führende Prinzip im Metallfilm 4 liegt, der über bessere Wärmeleitfähigkeit als die magneti­ sche Wiedergabeschicht 3 verfügt, so dass er Wärmeübertra­ gung in der magnetischen Wiedergabeschicht 3 unterdrücken kann.As described above, the T / R ratio, the minimum recording performance and the tolerances for the recording performance and the reproduction performance could be improved in this example. It is assumed that the principle leading to these effects lies in the metal film 4 , which has better thermal conductivity than the magnetic reproduction layer 3 , so that it can suppress heat transfer in the magnetic reproduction layer 3 .

Beim obigen Beispiel ist die dielektrische Schicht 5 vorhan­ den, um die Beständigkeit gegen Umwelteinflüsse zu verbes­ sern. Wenn jedoch die dielektrische Schicht 5 weggelassen wird, kann, gemäß dem oben erläuterten Prinzip die Wärme in der magnetischen Schicht 3 leichter nach außen zur magneti­ schen Aufzeichnungsschicht 6 geleitet werden, was zur Mög­ lichkeit einer weiteren Verbesserung des Effekts führt.In the above example, the dielectric layer 5 is provided to improve the environmental resistance. However, if the dielectric layer 5 is omitted, according to the principle explained above, the heat in the magnetic layer 3 can be more easily conducted outside to the magnetic recording layer 6 , which leads to the possibility of further improving the effect.

Beispiel 2Example 2

Magnetooptische Platten dieses Beispiels hatten denselben Aufbau wie die des Beispiels 1 (wie in Fig. 1 dargestellt), mit der Ausnahme, dass die Dicke des Metallfilms 4 im Be­ reich von 2 bis 30 nm variiert wurde und die Dicke des Sub­ strats 0,6 mm oder 1,2 mm betrug. Es wurden die Eigenschaf­ ten der magnetooptischen Platten bewertet. Die Ergebnisse sind in der Tabelle 3 dargestellt. Zugehörige Bedingungen sind in der Tabelle 4 angegeben.Magneto-optical disks of this example had the same construction as that of Example 1 (as shown in Fig. 1), except that the thickness of the metal film 4 was varied in a range from 2 to 30 nm and the thickness of the substrate 0.6 mm or 1.2 mm. The properties of the magneto-optical disks were evaluated. The results are shown in Table 3. Associated conditions are shown in Table 4.

Tabelle 3 Table 3

Tabelle 4 Table 4

Ein erster großer Unterschied zwischen den Bedingungen A und B liegt in der Schrittweite der Aufzeichnungsmarkierungen. Die Bedingungen A stimmen mit denen beim oben angegebenen Beispiel 1 überein. Die Breite der erhabenen Bereiche und der Gräben beträgt jeweils ungefähr 0,5 µm. Da ein Aufzeich­ nungsvorgang sowohl in erhabenen Bereichen als auch Gräben ausgeführt wurde, betrug das Intervall von Aufzeichnungsmar­ kierungen in radialer Richtung 0,5 µm. Unter den Bedingungen B betrugen die Breiten erhabener Bereiche und von Gräben un­ gefähr 0,6 µm bzw. ungefähr 0,35 µm. Es handelt sich also um ein Beispiel eines Substrats mit größerer Breite der erhabe­ nen Bereiche als derjenigen der Gräben, wobei nur die erha­ benen Bereiche als Datenbereiche verwendet wurden. Da in Gräben kein Aufzeichnungsvorgang ausgeführt wurde, betrug das Intervall von Aufzeichnungsmarkierungen in radialer Richtung 0,95 µm, was viel größer als unter den Bedingungen A war.A first big difference between conditions A and B lies in the step size of the recording marks. Conditions A are the same as those given above Example 1 match. The width of the raised areas and the trenches are approximately 0.5 µm each. Because a record process in both raised areas and trenches was carried out, the interval of recording mar was in the radial direction 0.5 µm. Under the conditions B were the widths of raised areas and trenches approximately 0.6 µm or approximately 0.35 µm. So it's about an example of a substrate with a larger width of the raised areas than that of the trenches, only the areas were used as data areas. There in Trenches, no recording was performed the interval of record marks in radial Towards 0.95 µm, which is much larger than under the conditions A was.

Der nächste Unterschied liegt in der Lineargeschwindigkeit der Platte und dem Tastverhältnis der Aufzeichnungsimpulse. Im Allgemeinen ist umso weniger Leistung zum Aufzeichnen er­ forderlich, je langsamer die Lineargeschwindigkeit ist und je größer das Tastverhältnis der Aufzeichnungsimpulse ist. Anders gesagt, wird die Wärmeverteilung im Träger größer, wenn die Lineargeschwindigkeit geringer ist, und demgemäß ist es wahrscheinlicher, dass der Überschreibeffekt auf­ tritt.The next difference is the linear velocity the disk and the duty cycle of the recording pulses. In general, the less power it has to record required, the slower the linear speed is and the greater the duty cycle of the recording pulses. In other words, the heat distribution in the carrier increases, if the linear velocity is lower, and accordingly  it is more likely that the overwrite effect is on occurs.

Bei beiden Bedingungen A und B war die Toleranz für die Auf­ zeichnungsleistung verringert, und es war die minimale Auf­ zeichnungsleistung erhöht, wenn die Dicke des Metallfilms 10 nm überschritt. Der Grund für die Abnahme der Toleranz der Aufzeichnungsleistung liegt vermutlich darin, dass dann, wenn der Metallfilm 4 dicker ist, die Wärmeverteilung in der Ebene des Metallfilms 4 groß wird und der Überschreibeffekt größer wird.In both conditions A and B, the tolerance for recording performance was reduced, and the minimum recording performance was increased when the thickness of the metal film exceeded 10 nm. The reason for the decrease in the tolerance of the recording performance is presumably because when the metal film 4 is thicker, the heat distribution in the plane of the metal film 4 becomes large and the overwrite effect becomes larger.

Es wird davon ausgegangen, dass die minimale Aufzeichnungs­ leistung zunahm, da die Wärmeabsorption im Metallfilm 4, einschließlich der oben beschriebenen Wärmeverteilung im Film, bei einer Zunahme der Dicke des Metallfilms 4 zunahm. Was die Toleranz der Wiedergabeleistung betrifft, war diese bei jeder Dicke des Metallfilms 4 größer als bei der Platte des Vergleichsbeispiels, die nicht mit dem Metallfilm 4 ver­ sehen war (die Dicke des Metallfilms beträgt 0 nm in der Ta­ belle 3). Es wird davon ausgegangen, dass der Grund dafür, weswegen die Toleranz der Wiedergabeleistung bei Dicken von 20 nm und 30 nm bei den Bedingungen A in gewissem Ausmaß fiel, darin lag, dass die Wärmeverteilung in der Ebene zu­ nahm und dadurch das Übersprechen zunahm. Es wird davon aus­ gegangen, dass die Toleranz der Wiedergabeleistung bei den Bedingungen B selbst dann nicht fiel, wenn die Dicke des Me­ tallfilms 20 nm oder 30 nm betrug, da die Schrittweite der Aufzeichnungsmarkierungen groß war.It is believed that the minimum recording power increased because the heat absorption in the metal film 4 , including the above-described heat distribution in the film, increased with an increase in the thickness of the metal film 4 . Regarding the tolerance of the reproduction performance, it was larger for each thickness of the metal film 4 than for the plate of the comparative example which was not seen with the metal film 4 (the thickness of the metal film is 0 nm in Table 3 ). It is believed that the reason why the tolerance of the playback power at 20 nm and 30 nm thicknesses decreased to some extent in the A condition was that the in-plane heat distribution increased, thereby increasing the crosstalk. It is considered that the tolerance of the reproducing performance did not decrease under the condition B even if the thickness of the metal film was 20 nm or 30 nm because the step size of the recording marks was large.

Die Obergrenze für den Metallfilm 4 bei der Erfindung kann aus den folgenden zwei Gesichtspunkten abgeschätzt werden: in der Praxis sind Toleranzen von ungefähr ± 8% für die Aufzeichnungsleistung bevorzugt, und außerdem ist die maxi­ male Aufzeichnungsleistung zu berücksichtigen, über die der Lichtaufnehmer verfügt. Hinsichtlich der maximalen Aufzeich­ nungsleistung war z. B. im Fall des unter den Bedingungen A verwendeten Lichtaufnehmers ein an diesem angebrachter Laser ein solcher, der die größte derzeit verfügbare Nennausgangs­ leistung zeigte (mit einer maximalen Ausgangsleistung von 30 mW, wenn er im Dauerstrich betrieben wurde). Jedoch be­ trug seine maximale Aufzeichnungsleistung bei Lichterzeugung mit Impulsen von 30% ungefähr 13,5 mW, da durch eine Linse und andere optische Komponenten Lichtverluste auftragen. Aus demselben Grund betrug die maximale Aufzeichnungsleistung des Lichtaufnehmers unter den Bedingungen B ungefähr 8 mW. Bei den Beispielen der Erfindung wurde kein Aufzeichnungs­ vorgang über der maximalen Aufzeichnungsleistung ausgeführt, da ein derartiger Vorgang zu einer Zerstörung des Lasers führen kann. Bei einer Probenplatte mit schlechter Empfind­ lichkeit hinsichtlich der Aufzeichnungsleistung ist die Obergrenze für die Toleranz der Aufzeichnungsleistung nicht durch Überschreiben sondern durch die maximale Aufzeich­ nungsleistung bestimmt.The upper limit for the metal film 4 in the invention can be estimated from the following two points of view: in practice, tolerances of approximately ± 8% are preferred for the recording power, and also the maximum recording power which the light sensor has has to be taken into account. With regard to the maximum recording performance z. B. in the case of the light sensor used under conditions A, a laser attached to this one, which showed the largest nominal output power currently available (with a maximum output power of 30 mW if it was operated in continuous wave). However, its maximum recording power when light was generated with pulses of 30% was approximately 13.5 mW due to loss of light through a lens and other optical components. For the same reason, the maximum recording power of the light pickup under the B condition was about 8 mW. In the examples of the invention, no recording operation was carried out above the maximum recording power, since such an operation can lead to destruction of the laser. In the case of a sample plate with poor sensitivity to the recording performance, the upper limit for the tolerance of the recording performance is determined not by overwriting but by the maximum recording performance.

Wie es aus den in der Tabelle 3 angegebenen Versuchsergeb­ nissen erkennbar ist, ist als Obergrenze für den Metallfilm 4 aus dem Gesichtspunkt der Toleranz für die Aufzeichnungs­ leistung (± 8% oder mehr) unter den Bedingungen A ein Wert von ungefähr 20 nm anzusehen. Genauer gesagt, wird im Fall einer sehr kleinen Schrittweite der Aufzeichnungsmarkierung, d. h. von 0,5 µm die Obergrenze von ungefähr 20 nm durch das Überschreiben als Hauptfaktor bestimmt.As can be seen from the test results shown in Table 3, the upper limit for the metal film 4 from the viewpoint of the tolerance for the recording performance (± 8% or more) under the conditions A is about 20 nm. More specifically, in the case of a very small step size of the recording mark, that is, 0.5 µm, the upper limit of about 20 nm is determined by overwriting as the main factor.

Unter den Bedingungen B wird dagegen die Obergrenze nicht durch das Überschreiben sondern durch die maximale Aufzeich­ nungsleistung bestimmt. Selbst dann, wenn der Metallfilm eine Dicke von 30 nm aufwies, war eine Beeinträchtigung der BER durch Überschreiben während des Aufzeichnens mit der ma­ ximalen Aufzeichnungsleistung von 8 mW gering, und es wurde kein schlechterer Wert als ein solcher von 1 × 10^-4 erhal­ ten. Daher können dann, wenn die Schrittweite der Aufzeich­ nungsmarkierungen relativ groß ist, z. B. 0,95 µm beträgt, wie unter den Bedingungen B, günstige Eigenschaften selbst dann erzielt werden, wenn die Dicke des Metallfilms 30 nm beträgt. Jedoch ist es ersichtlich, dass es aus den Ge­ sichtspunkten eines geringen Energieverbrauchs und erhöhter Lebensdauer des Halbleiterlasers bevorzugter ist, dass die zum Aufzeichnen erforderliche Leistung geringer ist, voraus­ gesetzt, dass dasselbe Funktionsvermögen gewährleistet ist. Wenn ungefähr 10% Verluste hinsichtlich der Aufzeichnungs­ leistung im Vergleich zur Aufzeichnungsleistungs-Empfind­ lichkeit der Platte des Vergleichsbeispiels ohne Metallfilm 4 annehmbar sind, kann die Dicke des Metallfilms 4 vorzugs­ weise ungefähr 20 nm oder weniger betragen.Under conditions B, however, the upper limit is not determined by the overwriting but by the maximum recording power. Even if the metal film had a thickness of 30 nm, deterioration of the BER by overwriting during recording with the maximum recording power of 8 mW was small, and no worse value than that of 1 × 10 ^{-4 was} obtained Therefore, if the step size of the recording marks is relatively large, e.g. B. 0.95 microns, as under the conditions B, favorable properties can be achieved even if the thickness of the metal film is 30 nm. However, it can be seen that from the viewpoint of low power consumption and increased life of the semiconductor laser, it is more preferable that the power required for recording is lower, provided that the same performance is ensured. If about 10% loss in recording performance is acceptable compared to the recording performance sensitivity of the plate of the comparative example without the metal film 4 , the thickness of the metal film 4 may preferably be about 20 nm or less.

Zusätzlich hierzu ist aus den in der Tabelle 3 dargestellten Ergebnissen erkennbar, dass der Metallfilm 4 am bevorzugtes­ ten über eine Dicke von ungefähr 6 nm oder weniger verfügt. Im Vergleich zum Fall, in dem der Metallfilm 4 nicht vorhan­ den ist, können erheblich günstige Effekte ohne Verluste hinsichtlich der Aufzeichnungsleistung sowie mit größerer Toleranz der Wiedergabeleistung erzielt werden.In addition to this, it can be seen from the results shown in Table 3 that the metal film 4 most preferably has a thickness of about 6 nm or less. Compared to the case in which the metal film 4 is not present, considerably favorable effects can be achieved without losses in the recording performance and with greater tolerance of the reproduction performance.

Die oben angegebenen Ergebnisse gelten für den Aufbau ohne die dielektrische Schicht 5. Die wünschenswerteste Dicke des Metallfilms 4 beträgt 6 nm oder weniger.The results given above apply to the structure without the dielectric layer 5 . The most desirable thickness of the metal film 4 is 6 nm or less.

Beispiel 3Example 3

Magnetooptische Platten dieses Beispiels hatten denselben Aufbau wie die des Beispiels 1 (in Fig. 1 dargestellt) mit der Ausnahme, dass das Material des Metallfilms variiert wurde. Die Dicke des Metallfilms 4 betrug 2 nm. Es wurden die Eigenschaften von magnetooptischen Platten bestimmt. Die Bedingungen zur Bestimmung waren dieselben, wie sie in der Tabelle 4 für das Beispiel 2 angegeben sind. Die Ergebnisse sind in der Tabelle 5 dargestellt.Magneto-optical disks of this example had the same construction as that of Example 1 (shown in Fig. 1) except that the material of the metal film was varied. The thickness of the metal film 4 was 2 nm. The properties of magneto-optical disks were determined. The conditions for the determination were the same as those shown in Table 4 for Example 2. The results are shown in Table 5.

Tabelle 5 Table 5

Als Aluminiumfilme wurden solche verwendet, die durch Sput­ tern dreier Arten von Al-Targets mit Reinheiten von 4 N (99,99%) und 3 N (99,9%) sowie eines Al-Targets gemäß dem JIS-Standard (Aluminiumreinheit von 99,5% oder mehr) zum Vergleich unter Verwendung von Ar-Gas hergestellt wurden. Filme aus AlNi, AlSi, AlTi und AgTi enthielten 5 Atom-% Ni, 5 Atom-% Si, 5 Atom-% Ti bzw. 5 Atom-% Ti.As aluminum films, those used by sput three types of Al targets with purities of 4 N (99.99%) and 3 N (99.9%) as well as an Al target according to the JIS standard (aluminum purity of 99.5% or more) for Comparison were made using Ar gas. Films made of AlNi, AlSi, AlTi and AgTi contained 5 atomic% Ni, 5 atomic% Si, 5 atomic% Ti or 5 atomic% Ti.

Betreffend Eigenschaften bei wiederholten Aufzeichnungsvor­ gängen wird allgemein davon ausgegangen, dass ein Tempera­ turanstieg während des Aufzeichnens zu örtlicher Kristalli­ sierung in Aluminiumfilmen führt und dass dann, wenn Auf­ zeichnungsvorgänge immer wieder ausgeführt werden, der Kris­ tallisationsgrad fortschreitet und die Größe von Kristall­ körnern zunimmt, was zu einer allmählichen Zunahme von Stör­ signalen während der Wiedergabe und damit zu verschlechter­ ter Signalqualität führt. Dieser Effekt war bei Aluminium­ filmen höherer Reinheit merklicher. Im Fall der Verwendung eines 4N-Al-Films wurde eine Beeinträchtigung um ungefähr 1 dB beim T/R-Verhältnis nach 103 Aufzeichnungs-/Löschvor­ gängen beobachtet. Im Fall der Verwendung eines 3N-Al-Films wurde selbst nach mehr als 105 wiederholten Aufzeichnungs­ vorgängen nur eine geringe Abnahme des T/R-Verhältnisses be­ obachtet, und im Fall der Verwendung von Filmen aus AlNi, AlSi, AlTi und AgTi war die Abnahme des T/R-Verhältnisses noch kleiner. Es wurde herausgefunden, dass für den prakti­ schen Gebrauch Filme aus Al, AlNi, AlSi und AlTi unter Ver­ wendung eines Targets geringerer Reinheit als 3 N bevorzugt waren.Regarding properties for repeated recordings It is generally assumed that a tempera rise during recording to local crystals sation in aluminum films and that when on drawing operations are carried out again and again, the kris Degree of tallization progresses and the size of crystal  grains increases, resulting in a gradual increase in sturgeon signals during playback and thus deteriorate signal quality. This effect was with aluminum film higher purity more noticeably. In case of use of 4N-Al film became about an impairment 1 dB at T / R ratio after 103 record / erase gears observed. In the case of using a 3N-Al film even after more than 105 repeated recordings only a small decrease in the T / R ratio and, in the case of using AlNi films, AlSi, AlTi and AgTi was the decrease in the T / R ratio even smaller. It was found that for the practi Use films from Al, AlNi, AlSi and AlTi under Ver using a target of less purity than 3 N is preferred were.

Bei AlNi, AlSi und AlTi fällt das Wärmeleitvermögen, wenn die Zusatzmenge an Ni, Si bzw. Ti zunimmt. Eine kleinere Zusatzmenge ist bevorzugter, vorausgesetzt, dass sie dazu ausreicht, eine Beeinträchtigung der Al-Filme zu verhindern. Dies, da die magnetische Wiedergabeschicht 3 umso weniger Wärme zurückhält, je höher das Wärmeleitvermögen des Metall­ films über dem dieser magnetischen Wiedergabeschicht 3 liegt. Jedoch ist es, wie beschrieben, deutlich, dass der Effekt gemäß der Erfindung dadurch erzielbar ist, dass ein Film mit höherem Wärmeleitvermögen als dem der magnetischen Wiedergabeschicht 3 als Metallfilm 4 angebracht wird. Für die Zusatzmenge und das Material der Metallschicht besteht keine Beschränkung auf die oben angegebenen Versuchsdaten.With AlNi, AlSi and AlTi, the thermal conductivity drops as the amount of Ni, Si and Ti increases. A smaller amount is more preferable provided that it is sufficient to prevent the Al films from being deteriorated. This is because the magnetic reproduction layer 3 retains less heat, the higher the thermal conductivity of the metal film is above that of this magnetic reproduction layer 3 . However, as described, it is clear that the effect according to the invention can be obtained by applying a film having a higher thermal conductivity than that of the magnetic reproducing layer 3 as a metal film 4 . The amount and the material of the metal layer are not limited to the test data given above.

In einigen Fällen wurde bei durch Sputtern unter Verwendung eines Al-Targets von 4N-Reinheit hergestellten Al-Filmen ein Anstieg der Störsignale im Vergleich zum Fall beobachtet, bei dem kein Al-Film vorlag, und zwar unabhängig von wieder­ holten Aufzeichnungsvorgängen, wobei der Anstieg jedoch klein war. Das Folgende wird als Grund für diesen Anstieg angenommen: wenn die Reinheit des Aluminiums zu hoch ist, wird der erzeugte Al-Film manchmal abhängig von den Sputter­ bedingungen wolkig (z. B. Druck des Sputtergases, Endvakuum, Unterschied zwischen HF-/Gleichspannungsentladung usw.). Der Film sieht wolkig aus, da Licht wegen örtlicher Kristallisa­ tion gestreut wird. Dieser Wolkigkeitseffekt führt zu einem Anstieg von Störsignalen während der Wiedergabe, und zwar selbst dann, wenn der Film die geringe Dicke von 2 nm auf­ weist. Aus diesem Grund wird ein derartiger Anstieg von Störsignalen bei Filmen aus AlNi, AlSi und AITi nicht beob­ achtet, bei denen Fremdstoffe zugesetzt wurden, um den Wol­ kigkeitseffekt zu verhindern. Auch wurde kein Anstieg von Störsignalen bei Al-Filmen beobachtet, die unter Verwendung von 3N-Al und Aluminium gemäß dem JIS-Standard mit niedriger Reinheit hergestellt wurden.In some cases it was used by sputtering of an Al target made of 4N purity Increase in noise compared to the case observed where there was no Al film, regardless of again caught recordings, but the increase  was small. The following is the reason for this increase assumed: if the purity of the aluminum is too high, the Al film produced sometimes becomes dependent on the sputter conditions cloudy (e.g. pressure of the sputtering gas, final vacuum, Difference between HF / DC voltage discharge, etc.). The Film looks cloudy because of light due to local crystallisa tion is spread. This cloudy effect leads to one Increase in noise during playback, namely even if the film has the thin thickness of 2 nm points. For this reason, such an increase of Do not observe interference signals in films made of AlNi, AlSi and AITi in which foreign substances have been added to the Wol to prevent effect. Also, there was no increase in Interference signals observed with Al films using of 3N-Al and aluminum according to the JIS standard with lower Purity were made.

Beispiel 4Example 4

Magnetooptische Platten dieses Beispiels wiesen denselben Aufbau wie die des Beispiels 1 (wie in Fig. 1 dargestellt) auf, mit der Ausnahme, dass für den Metallfilm 4 AlNi ver­ wendet wurde und dass die Dicke des Metallfilms und der Ni-Gehalt desselben variiert wurden. Es wurden die Eigenschaf­ ten der magnetooptischen Platten bestimmt. Die Ermittlungs­ bedingungen waren dieselben wie die in der Tabelle 4 z. B. zwei angegebenen Bedingungen A. Es wurde erwartet, dass die Wärmeleitfähigkeit von AlNi geringer als die der anderen Ma­ terialien AlSi und AlTi ist, vorausgesetzt, dass die Gehalte an Ni, Si bzw. Ti gleich sind. Demgemäß wurden die Versuche bei diesem Beispiel unter Verwendung von AlNi ausgeführt. Es wurde erwartet, dass dann, wenn die Wärmeleitfähigkeit nied­ rig ist, die Tendenz dafür erhöht ist, dass Wärme im Film verbleibt, wodurch das Übersprechen beim Aufzeichnen nach­ teilig beeinflusst wird, insbesondere dann, wenn die Schrittweite der Aufzeichnungsmarkierungen (in radialer Richtung) klein ist. Aus diesem Grund wurde AlNi als Mate­ rial ausgewählt, und es wurde auch ein Film bewertet, der 10 Atom-% Ni enthält, d. h. für den angenommen wurde, dass er das kleinste Wärmeleitvermögen aufweist. Die Ergebnisse sind in der Tabelle 6 angegeben.Magneto-optical disks of this example had the same structure as that of Example 1 (as shown in Fig. 1), except that AlNi was used for the metal film 4 and that the thickness of the metal film and the Ni content thereof were varied. The properties of the magneto-optical disks were determined. The determination conditions were the same as those in Table 4 z. B. Two specified conditions A. The thermal conductivity of AlNi was expected to be lower than that of the other materials AlSi and AlTi, provided that the contents of Ni, Si and Ti are the same. Accordingly, the experiments in this example were carried out using AlNi. It was expected that when the thermal conductivity is low, the tendency for heat to remain in the film is increased, thereby adversely affecting the crosstalk when recording, particularly when the step size of the recording marks (in the radial direction) is small is. For this reason, AlNi was selected as the material, and a film containing 10 atomic% of Ni, which is believed to have the lowest thermal conductivity, was also evaluated. The results are shown in Table 6.

Tabelle 6 Table 6

Es wurden im Wesentlichen gute Ergebnisse erzielt. Jedoch fiel die Toleranz für die Aufzeichnungsleistung geringfügig unter ± 8%, wenn ein AlNi-Film mit 10 Atom-% Ni und einer Dicke von 20 nm verwendet wurde. Dieser Versuch zeigt, dass günstige Ergebnisse selbst für einen Träger unter Verwendung eines AlNi-Films (der 10 Atom-% Ni enthielt) erhalten werden konnten, für den schlechte Wärmeleitfähigkeit anzunehmen war, wobei eine extrem kurze Schrittweite der Aufzeichnungs­ markierungen von 0,5 µm vorlag, vorausgesetzt, dass die Di­ cke des Metallfilms 20 nm oder weniger betrug.Essentially, good results have been achieved. However the tolerance for recording performance fell slightly below ± 8% if an AlNi film with 10 atomic% Ni and one Thickness of 20 nm was used. This attempt shows that  favorable results even using a vehicle of an AlNi film (containing 10 atomic% of Ni) can be obtained could assume for the poor thermal conductivity was an extremely short increment of recording markings of 0.5 µm were present, provided that the Di of the metal film was 20 nm or less.

Ferner ist zu erwarten, dass gute Ergebnisse dann erzielbar sind, wenn die Dicke ungefähr 30 nm oder weniger beträgt, wenn das Material höhere Wärmeleitfähigkeit als AlNi (das 10 Atom-% Ni enthält) aufweist.Furthermore, it can be expected that good results can then be achieved if the thickness is about 30 nm or less, if the material has higher thermal conductivity than AlNi (the Contains 10 atomic% Ni).

Außerdem zeigt die Tabelle 6, dass ein guter Effekt unter Verwendung eines Metallfilms erhalten werden kann, der 20 Atom-% eines Fremdstoffs enthält, von dem angenommen wird, dass er über schlechte Wärmeleitfähigkeit verfügt, vorausge­ setzt, dass der Metallfilm eine Dicke von 6 nm oder weniger aufweist. Diese Ergebnisse gelten für einen Aufbau ohne die dielektrische Schicht 5.In addition, Table 6 shows that a good effect can be obtained by using a metal film containing 20 atomic% of a foreign substance which is believed to have poor thermal conductivity, provided that the metal film has a thickness of 6 nm or less. These results apply to a structure without the dielectric layer 5 .

Beispiel 5Example 5

Wie es in Fig. 2 dargestellt ist, wurde eine magnetooptische Platte gemäß diesem Beispiel so aufgebaut, dass sie ausge­ hend von der Lichtempfangsseite die folgenden Laminatschich­ ten aufweist: ein Substrat 1, eine transparente dielektri­ sche Schicht 2, eine magnetische Wiedergabeschicht 3, einen Metallfilm 4, eine dielektrische Schicht 5, eine magnetische Aufzeichnungsschicht 6, eine dielektrische Schicht 7 und eine Überzugsschicht 9. Es wird darauf hingewiesen, dass das Substrat und die Überzugsschicht 9 bei einer magnetoopti­ schen Platte vertauscht sind, die Licht von derjenigen Seite her empfängt, auf der die Filme ausgebildet sind.As shown in Fig. 2, a magneto-optical disk according to this example was constructed to have the following laminate layers from the light receiving side: a substrate 1 , a transparent dielectric layer 2 , a magnetic reproduction layer 3 , a metal film 4 , a dielectric layer 5 , a magnetic recording layer 6 , a dielectric layer 7 and a coating layer 9 . It should be noted that the substrate and the cladding layer 9 are interchanged in a magneto-optical disk which receives light from the side on which the films are formed.

Die Platte dieses Beispiels hatte denselben Aufbau wie die des Beispiels 1, jedoch mit der Ausnahme, dass die Wärmeab­ strahlungsschicht 8 nicht verwendet wurde, das Substrat 1 eine Dicke von 1,2 nm aufwies und als Metallfilm 4 AlNi (das 5 Atom-% Ni enthielt) mit einer Dicke von 2 nm verwendet wurde.The plate of this example had the same structure as that of Example 1, except that the heat radiation layer 8 was not used, the substrate 1 had a thickness of 1.2 nm, and as the metal film 4 AlNi (the 5 atomic% Ni contained) was used with a thickness of 2 nm.

Als Vergleichsbeispiel wurde eine Platte mit einer Wärmeab­ strahlungsschicht zwischen der dielektrischen Schicht 7 und der Überzugsschicht 9 der Platte dieses Beispiels verwendet. Dieser Aufbau war dem der Platte beim Beispiel 2 ähnlich, die den Metallfilm 4 von 2 nm Dicke aufwies, jedoch wurde der Metallfilm 4 aus AlNi (das 5 Atom-% Ni enthielt) anstel­ le von Al (mit einer Reinheit von 3 N) hergestellt. Es wurden die Eigenschaften dieser magnetooptischen Platten bestimmt. Die Bedingungen waren dieselben wie die Bedingungen B in der Tabelle 4. Die Ergebnisse sind in der Tabelle 7 angegeben.As a comparative example, a plate having a heat radiation layer between the dielectric layer 7 and the cladding layer 9 of the plate of this example was used. This structure was similar to that of the plate in Example 2, which had the metal film 4 of 2 nm in thickness, but the metal film 4 was made of AlNi (containing 5 atomic% of Ni) instead of Al (with a purity of 3N) . The properties of these magneto-optical disks were determined. The conditions were the same as conditions B in Table 4. The results are shown in Table 7.

Tabelle 7 Table 7

Die Tabelle 7 zeigt, dass der Träger dieses Beispiels eine geringfügig kleinere Toleranz für die Wiedergabeleistung als der Träger des Beispiels 2 aufwies, der mit der Wärmeab­ strahlungsschicht 8 versehen war. Da jedoch die in der Pra­ xis bevorzugte Toleranz für die Wiedergabeleistung ungefähr ± 12% oder mehr beträgt, wird davon ausgegangen, dass der Aufbau dieses Beispiels in der Praxis verwendbar ist.Table 7 shows that the carrier of this example had a slightly smaller tolerance for the playback performance than the carrier of example 2, which was provided with the heat radiation layer 8 . However, since the preferred tolerance for the reproducing performance in practice is approximately ± 12% or more, it is believed that the structure of this example can be used in practice.

Es wird davon ausgegangen, dass der Grund für die verringer­ te Toleranz der Wiedergabeleistung darin liegt, dass durch das Fehlen der Wärmeabstrahlungsschicht 8 die Wärmeübertra­ gung von der magnetischen Wiedergabeschicht 3 in die magne­ tische Aufzeichnungsschicht 6 verringert ist, was zu einer Abnahme des Wärmeansprechverhaltens und im Ergebnis zu einer Abnahme des T/R-Verhältnisses führt.It is believed that the reason for the reduced tolerance of the reproducing performance is that, due to the lack of the heat radiation layer 8, the heat transfer from the magnetic reproducing layer 3 to the magnetic recording layer 6 is reduced, resulting in a decrease in the thermal response and Result leads to a decrease in the T / R ratio.

Die Tabelle 7 zeigt auch, dass die minimale Aufzeichnungs­ leistung um ungefähr 0,5 mW fiel. Es wird davon ausgegangen, dass das Fehlen der Wärmeabstrahlungsschicht 8 die Wärmeka­ pazität des gesamten magnetooptischen Trägers verringerte, weswegen die zum Aufzeichnen erforderliche Wärme schon mit einem Lichtstrahl geringerer Leistung erzielt werden konnte. Der Aufbau dieses Beispiels ist für einen magnetooptischen Träger von Nutzen, der bei Anwendungen eingesetzt wird, die kein Aufzeichnen mit sehr hoher Dichte benötigen oder bei denen die minimale Aufzeichnungsleistung herabgesetzt werden muss (z. B. dann, wenn mehr Nachdruck auf die Lebensdauer des Lasers und/oder den Energieverbrauch gelegt wird).Table 7 also shows that the minimum recording power fell by about 0.5 mW. It is assumed that the absence of the heat radiation layer 8 reduced the heat capacity of the entire magneto-optical carrier, which is why the heat required for recording could already be achieved with a light beam of lower power. The structure of this example is useful for a magneto-optical carrier used in applications that do not require very high density recording or where the minimum recording power needs to be reduced (e.g. when more emphasis is placed on the life of the laser and / or the energy consumption is placed).

Auch bei diesem Beispiel kann die dielektrische Schicht 5 fehlen, wie beim Beispiel 1.In this example too, the dielectric layer 5 can be absent, as in example 1.

Auch bei diesem Beispiel beträgt die Dicke des Metallfilms 4 vorzugsweise 30 nm oder weniger, bevorzugter 6 nm oder weni­ ger.In this example, too, the thickness of the metal film 4 is preferably 30 nm or less, more preferably 6 nm or less.

Beispiel 6Example 6

Wie es in Fig. 3 dargestellt ist, wurde eine magnetooptische Platte gemäß diesem Beispiel so hergestellt, dass sie ausge­ hend von der Lichtempfangsfläche Laminatschichten in der folgenden Reihenfolge aufwies: ein Substrat 1, eine transpa­ rente dielektrische Schicht 2, eine magnetische Wiedergabe­ schicht 3, eine dielektrische Schicht 10, einen Metallfilm 4, eine dielektrische Schicht 5, eine magnetische Aufzeich­ nungsschicht 6, eine dielektrische Schicht 7, eine Wärmeab­ strahlungsschicht 8 und eine Überzugsschicht 9. Im Fall ei­ ner magnetooptischen Platte, die Licht von der Seite emp­ fängt, auf der die Filme ausgebildet sind, sind das Substrat 1 und die Überzugsschicht 9 gegeneinander vertauscht.As shown in FIG. 3, a magneto-optical disk according to this example was manufactured so that, starting from the light receiving surface, it had laminate layers in the following order: a substrate 1 , a transparent dielectric layer 2 , a magnetic reproduction layer 3 , a dielectric layer 10 , a metal film 4 , a dielectric layer 5 , a magnetic recording layer 6 , a dielectric layer 7 , a heat radiation layer 8, and a coating layer 9 . In the case of a magneto-optical disk which receives light from the side on which the films are formed, the substrate 1 and the coating layer 9 are interchanged.

Der Aufbau war bei diesem Beispiel im Wesentlichen derselbe wie beim Beispiel 1, mit der Ausnahme, dass als dielektri­ sche Schicht 10 zwischen der magnetischen Wiedergabeschicht 3 und dem Metallfilm 4 ein AlN-Film von 3 nm Dicke vorhanden war und dass als Metallfilm 4 ein AlNi-Film vorhanden war (der 5 Atom-% Ni enthielt). Das beim Beispiel 1 verwendete Vergleichsbeispiel und eine Platte mit dem Aufbau dieses Beispiels, jedoch ohne die dielektrische Schicht, wurden als Vergleichsbeispiele verwendet. Dieser Aufbau war der des Beispiels 3, wobei der Metallfilm 4 aus AlNi bestand (das 5 Atom-% Ni enthielt). Es wurden die Eigenschaften dieser magnetooptischen Platten bestimmt. Die Bedingungen waren dieselben wie beim Beispiel 1. Die Ergebnisse (Daten für er­ habene Bereiche) sind in der Tabelle 8 angegeben. The structure in this example was substantially the same as in Example 1, except that an AlN film of 3 nm in thickness was provided as the dielectric layer 10 between the magnetic reproducing layer 3 and the metal film 4 , and an AlNi as the metal film 4 Film was present (containing 5 atomic% of Ni). The comparative example used in Example 1 and a plate having the structure of this example but without the dielectric layer were used as comparative examples. This structure was that of Example 3, with the metal film 4 made of AlNi (containing 5 atomic% of Ni). The properties of these magneto-optical disks were determined. The conditions were the same as in Example 1. The results (data for areas thereof) are shown in Table 8.

Tabelle 8 Table 8

Die Tabelle 8 zeigt, dass die Eigenschaften dieses Beispiels in gewissem Ausmaß schlechter als die beim Beispiel 3 waren. Jedoch zeigten sie eine Verbesserung gegenüber dem Ver­ gleichsbeispiel, und sie zeigten ausreichende Werte für den praktischen Gebrauch. Daher zeigte es sich auch, dass der Aufbau gemäß diesem Beispiel in der Praxis verwendbar war.Table 8 shows the properties of this example were to some extent worse than those in Example 3. However, they showed an improvement over the ver same example, and they showed sufficient values for the practical use. Therefore, it also turned out that the Structure according to this example was usable in practice.

Ferner mischten bei diesem Beispiel keine fremden Atome auf einfache Weise in die magnetische Wiedergabeschicht 3 ein, da die thermisch stabile dielektrische Schicht 10 in Kontakt mit der magnetischen Wiedergabeschicht 3 angeordnet war. Demgemäß waren die Eigenschaften bei wiederholten Aufzeich­ nungsvorgängen und die Langzeitzuverlässigkeit weiter ver­ bessert. Aus den Ergebnissen der Tabelle 5 zum Beispiel 3 ist es erkennbar, dass die Eigenschaften bei wiederholten Aufzeichnungsvorgängen im Fall der Verwendung von Al mit einer Reinheit von 3 N oder weniger ausreichend gut zur prak­ tischen Verwendung waren. Es besteht die Möglichkeit, dass die Eigenschaften bei wiederholten Aufzeichnungsvorgängen und die Langzeitzuverlässigkeit bei schwierigeren Bedingun­ gen wesentlicher werden. In diesem Fall kann der Aufbau ge­ mäß diesem Beispiel von Nutzen sein.Furthermore, in this example, no foreign atoms were easily mixed into the magnetic reproducing layer 3 because the thermally stable dielectric layer 10 was arranged in contact with the magnetic reproducing layer 3 . Accordingly, the properties of repeated recording operations and the long-term reliability were further improved. From the results of Table 5, for example 3, it can be seen that the properties of repeated recording in the case of using Al with a purity of 3 N or less were sufficiently good for practical use. There is a possibility that the characteristics of repeated recordings and the long-term reliability of more difficult conditions may become more important. In this case, the setup according to this example can be useful.

Es wird angenommen, dass der Grund für die in der Tabelle 8 angegebene Verschlechterung der Eigenschaften im Anbringen der dielektrischen Schicht 10 mit schlechter Wärmeleitfähig­ keit zwischen der magnetischen Wiedergabeschicht 3 und dem Metallfilm 4 lag, da sie die Wirkung der Wärmeableitung durch den Metallfilm 4 verschlechterte. Es ist offensicht­ lich, dass der Metallfilm 4 (der Film zum Verbessern des Wärmeansprechverhaltens) umso weniger wirksam wird, je di­ cker die dielektrische Schicht 10 ist. Daher ist die Dicke der dielektrischen Schicht wünschenswerterweise klein (10 nm oder weniger). Auch beträgt die Dicke der dielektri­ schen Schicht 10 wünschenswerterweise 1 nm oder mehr, wenn die Stabilität bei der Filmherstellung berücksichtigt wird. Auch kann bei diesem Beispiel, wie beim Beispiel 1, die di­ elektrische Schicht 5 mit schlechter Wärmeleitfähigkeit weg­ gelassen werden.It is believed that the reason for the deterioration in the properties shown in Table 8 was due to the provision of the dielectric layer 10 with poor thermal conductivity between the magnetic reproducing layer 3 and the metal film 4 because it deteriorated the effect of heat dissipation through the metal film 4 . It is apparent that the thicker the dielectric layer 10 , the less effective the metal film 4 (the film for improving the thermal response). Therefore, the thickness of the dielectric layer is desirably small (10 nm or less). Also, the thickness of the dielectric layer 10 is desirably 1 nm or more if the stability is taken into account in the film production. Also in this example, as in Example 1, the electrical layer 5 with poor thermal conductivity can be omitted.

Auch ist es möglich, die Wärmeabstrahlungsschicht 8 aus dem Aufbau dieses Beispiels wegzulassen. Der Effekt eines derar­ tigen Aufbaus ist derselbe wie der beim Beispiel 5.It is also possible to omit the heat radiation layer 8 from the structure of this example. The effect of such a structure is the same as that in Example 5.

Gemäß der Erfindung kann das Vorhandensein eines Metallfilms in der Nähe des magnetischen Wiedergabefilms die Qualität von Wiedergabesignalen sowie Aufzeichnungs- und Wiedergabe­ eigenschaften eines magnetooptischen Aufzeichnungsträgers verbessern. Daher können Aufzeichnungs- und Wiedergabevor­ gänge mit höherer Bitdichte ausgeführt werden.According to the invention, the presence of a metal film near the magnetic playback film the quality of playback signals as well as recording and playback properties of a magneto-optical recording medium improve. Therefore, recording and playback can be performed gears with a higher bit density.

Wenn die Metallfilmdicke 30 nm oder weniger beträgt, ver­ schlechtern sich der Überschreibeffekt und die maximale Auf­ zeichnungsleistung nicht.If the metal film thickness is 30 nm or less, ver the overwrite effect and the maximum open deteriorate drawing performance not.

Wenn die Dicke des Metallfilms 6 nm oder weniger beträgt, sind kaum Verluste der Aufzeichnungsleistung erkennbar, wes­ wegen sich die Toleranz für die Aufzeichnungsleistung ver­ größert.When the thickness of the metal film is 6 nm or less,  there are hardly any losses in recording performance because of the tolerance for recording performance enlarged.

Wenn eine Wärmeabstrahlungsschicht mit höherer Wärmeleit­ fähigkeit als der der magnetischen Aufzeichnungsschicht auf der Seite derselben, die der magnetischen Wiedergabeschicht abgewandt ist, vorhanden ist, kann dafür gesorgt werden, dass Wärme in der magnetischen Wiedergabeschicht durch die magnetische Aufzeichnungsschicht entweicht, wodurch die Auf­ zeichnungseigenschaften weiter verbessert werden können.If a heat radiation layer with higher thermal conductivity capability than that of the magnetic recording layer the same side as that of the magnetic reproducing layer turned away, is present, can be ensured that heat in the magnetic reproduction layer through the magnetic recording layer escapes, causing the on drawing properties can be further improved.

Wenn zwischen der magnetischen Wiedergabeschicht und der Me­ tallschicht eine thermisch stabile dielektrische Schicht mit einer Dicke von 1 nm oder mehr und 10 nm oder weniger vor­ handen ist, sind die Eigenschaften bei wiederholten Auf­ zeichnungsvorgängen sowie die Langzeitzuverlässigkeit weiter verbessert.If between the magnetic reproduction layer and the Me tallschicht with a thermally stable dielectric layer a thickness of 1 nm or more and 10 nm or less is present, the properties are repeated on drawing processes and long-term reliability improved.

Ferner können durch den erfindungsgemäßen Herstellprozess gute Eigenschaften bei wiederholten Aufzeichnungsvorgängen und gute Wiedergabesignale erzielt werden.Furthermore, through the manufacturing process according to the invention good properties for repeated recordings and good playback signals can be achieved.

Claims (11)

1. Magnetooptischer Aufzeichnungsträger mit den folgenden Schichten, ausgehend von einer Lichtempfangsseite:

• 1. einer magnetischen Wiedergabeschicht (3) mit einer magne­ tischen Schicht mit in der Ebene liegender Magnetisierung bei Raumtemperatur und rechtwinkliger Magnetisierung bei er­ höhter Temperatur;
• 2. einer dielektrischen Schicht (5) und
• 3. einer magnetischen Aufzeichnungsschicht (6) mit einer ma­ gnetischen Schicht, die rechtwinklige Magnetisierung zeigt;

gekennzeichnet durch

• 1. eine Metallschicht (4) zwischen der magnetischen Wiederga­ beschicht und der dielektrischen Schicht.

1. Magneto-optical recording medium with the following layers, starting from a light receiving side:

• 1. a magnetic reproduction layer ( 3 ) with a magnetic table with in-plane magnetization at room temperature and right-angled magnetization at elevated temperature;
• 2. a dielectric layer ( 5 ) and
• 3. a magnetic recording layer ( 6 ) with a magnetic layer showing perpendicular magnetization;

marked by

• 1. a metal layer ( 4 ) coated between the magnetic reproduction and the dielectric layer.

2. Aufzeichnungsträger nach Anspruch 1, dadurch gekenn­ zeichnet, dass die Dicke der Metallschicht (4) 30 nm oder weniger beträgt.2. Record carrier according to claim 1, characterized in that the thickness of the metal layer ( 4 ) is 30 nm or less. 3. Aufzeichnungsträger nach Anspruch 2, dadurch gekenn­ zeichnet, dass die Dicke der Metallschicht (4) 6 nm oder we­ niger beträgt.3. Record carrier according to claim 2, characterized in that the thickness of the metal layer ( 4 ) is 6 nm or less. 4. Aufzeichnungsträger nach einem der vorstehenden Ansprü­ che, dadurch gekennzeichnet, dass die Metallschicht (4) zu­ mindest Al, AlNi, AlSi, AITi und/oder AgTi enthält.4. Record carrier according to one of the preceding claims, characterized in that the metal layer ( 4 ) contains at least Al, AlNi, AlSi, AITi and / or AgTi. 5. Aufzeichnungsträger nach einem der vorstehenden Ansprü­ che, gekennzeichnet durch eine Wärmeabstrahlungsschicht (8) mit höherer Wärmeleitfähigkeit als der magnetischen Auf­ zeichnungsschicht (6) auf der von der magnetischen Wiederga­ beschicht (3) abgewandten Seite der magnetischen Aufzeich­ nungsschicht. 5. Recording medium according to one of the preceding claims, characterized by a heat radiation layer ( 8 ) having a higher thermal conductivity than the magnetic recording layer ( 6 ) on the side of the magnetic recording layer ( 3 ) facing away from the magnetic recording layer. 6. Aufzeichnungsträger nach einem der vorstehenden Ansprü­ che, gekennzeichnet durch eine dielektrische Schicht (10) mit einer Dicke von 1 nm oder mehr und 10 nm oder weniger zwischen der magnetischen Wiedergabeschicht und der Metall­ schicht.6. Recording medium according to one of the preceding claims, characterized by a dielectric layer ( 10 ) with a thickness of 1 nm or more and 10 nm or less between the magnetic reproduction layer and the metal layer. 7. Magnetooptischer Aufzeichnungsträger mit den folgenden Schichten, ausgehend von einer Lichtempfangsseite:

• 1. einer magnetischen Wiedergabeschicht (3) mit einer magne­ tischen Schicht mit in der Ebene liegender Magnetisierung bei Raumtemperatur und rechtwinkliger Magnetisierung bei er­ höhter Temperatur; und
• 2. einer magnetischen Aufzeichnungsschicht (6) mit einer ma­ gnetischen Schicht, die rechtwinklige Magnetisierung zeigt;

7. Magneto-optical recording medium with the following layers, starting from a light receiving side:

• 1. a magnetic reproduction layer ( 3 ) with a magnetic table with in-plane magnetization at room temperature and right-angled magnetization at elevated temperature; and
• 2. a magnetic recording layer ( 6 ) with a magnetic layer showing perpendicular magnetization;

gekennzeichnet durch

• 1. eine Metallschicht (4) mit einer Dicke von 6 nm oder weni­ ger angrenzend an die magnetische Wiedergabeschicht auf der Seite derselben, die der magnetischen Aufzeichnungsschicht zugewandt ist.

marked by

• 1. a metal layer ( 4 ) with a thickness of 6 nm or less adjacent to the magnetic reproducing layer on the same side facing the magnetic recording layer.

8. Magnetooptischer Aufzeichnungsträger mit den folgenden Schichten, ausgehend von einer Lichtempfangsseite:

• 1. einer magnetischen Wiedergabeschicht (3) mit einer magne­ tischen Schicht mit in der Ebene liegender Magnetisierung bei Raumtemperatur und rechtwinkliger Magnetisierung bei er­ höhter Temperatur;
• 2. einer dielektrischen Schicht (5) und
• 3. einer magnetischen Aufzeichnungsschicht (6) mit einer ma­ gnetischen Schicht, die rechtwinklige Magnetisierung zeigt;

8. Magneto-optical recording medium with the following layers, starting from a light receiving side:

• 1. a magnetic reproduction layer ( 3 ) with a magnetic table with in-plane magnetization at room temperature and right-angled magnetization at elevated temperature;
• 2. a dielectric layer ( 5 ) and
• 3. a magnetic recording layer ( 6 ) with a magnetic layer showing perpendicular magnetization;

dadurch gekennzeichnet, dass die dielektrische Schicht auf ihrer der magnetischen Wiedergabeschicht zugewandten Seite mehr an einem Metall, das sich von dem die magnetische Wie­ dergabeschicht aufbauenden Metall unterscheidet, enthält als andere Teile dieser dielektrischen Schicht. characterized in that the dielectric layer on its side facing the magnetic reproduction layer more on a metal that differs from the magnetic like the layer that builds up the metal, contains as other parts of this dielectric layer.   9. Verfahren zum Herstellen eines magnetooptischen Auf­ zeichnungsträgers mit den folgenden Schichten, ausgehend von einer Lichtempfangsseite: einer magnetischen Wiedergabe­ schicht (3) mit einer magnetischen Schicht mit in der Ebene liegender Magnetisierung bei Raumtemperatur und rechtwink­ liger Magnetisierung bei erhöhter Temperatur; einer dielek­ trischen Schicht (5) und einer magnetischen Aufzeichnungs­ schicht (6) mit einer magnetischen Schicht, die rechtwinkli­ ge Magnetisierung zeigt;
gekennzeichnet durch den Schritt des Herstellens der Metall­ schicht durch Sputtern eines Aluminiumtargets mit einer Reinheit von 99, 9% oder weniger.9. A method for producing a magneto-optical recording medium with the following layers, starting from a light receiving side: a magnetic reproduction layer ( 3 ) with a magnetic layer with in-plane magnetization at room temperature and right-angled magnetization at elevated temperature; a dielectric layer ( 5 ) and a magnetic recording layer ( 6 ) having a magnetic layer which shows magnetization at right angles;
characterized by the step of producing the metal layer by sputtering an aluminum target with a purity of 99.9% or less.