DE19929648A1 - Antriebsanordnung für Meßinstrumente und Meßinstrument mit einer derartigen Antriebsanordnung - Google Patents

Abstract

Die Erfindung betrifft eine Antriebsanordnung, die für ein Meßinstrument vorgesehen ist, das ein bewegbares Element aufweist, das relativ zu dem Meßinstrumentenkörper bewegbar ist. Die Messung eines Objektes, das zu messen ist, wird durch die Bewegung des bewegbaren Elementes ausgeführt. Eine Antriebs- und Führungsvorrichtung ist an dem Meßinstrumentenkörper montiert und schließt einen Antriebszylinder ein, der einen darin für eine axiale Bewegung aufgenommenen Kolben aufweist. Das bewegbare Element wird synchron mit der axialen Bewegung des Kolbens bewegt. Eine Steuervorrichtung für Hydraulikflüssigkeit ist an einer Stelle entfernt von dem Meßinstrumentenkörper angeordnet, um Hydraulikflüssigkeit zu dem Antriebszylinder der Antriebs- und Führungsvorrichtung zu liefern, um die axiale Bewegung des Kolbens des Antriebszylinders zu bewirken.

Description

Die vorliegende Erfindung betrifft eine Antriebsanordnung für Meßinstrumente, die ein bewegliches Element aufweisen, das relativ zu dem Hauptkörper des Meßinstrumentes bewegbar ist, um somit eine Messung eines zu messenden Ob­ jektes durch Bewegung des bewegbaren Elementes durchzuführen und ein Meßin­ strument, das die Antriebsanordnung eingebaut hat.

Es sind üblicherweise Meßinstrumente bekannt, die ein bewegbares Element auf­ weisen, das relativ zu dem Körper des Meßinstrumentes bewegbar ist, um somit eine Messung eines zu messenden Objektes durch Bewegung des bewegbaren Elementes auszuführen. Die bekannten Meßinstrumente schließen ein Oberflä­ chenrauhigkeits-Meßinstrument ein, das einen Taststift als das bewegbare Element aufweist, der entlang einer Meßfläche eines Objektes so geführt wird, daß eine Auslenkung des Taststiftes in einer Richtung orthogonal zu der Richtung der Be­ wegung des Taststiftes erfaßt wird, um dadurch die Oberflächenrauhigkeit des Objektes zu messen. Das bekannte Oberflächenrauhigkeits-Meßinstrument weist eine Antriebseinheit zum Bewegen des Taststiftes entlang der Meßoberfläche des Objektes, mit einer Zugspindel, die von einer Basis über ein Wälzlager oder der­ gleichen in einer Weise getragen wird, die sich parallel mit der Bewegungsrich­ tung des Taststiftes erstreckt, einem Motor der antreibend mit der Zugspindel ge­ koppelt ist, einem mutterförmigen Element, das an die Zugspindel in einer Weise gewindemäßig angepaßt ist, die nur eine axiale Bewegung der Zugspindel zuläßt und einem Rauhigkeitssensor, bei welchem die Tastspitze mit dem mutterförmi­ gen Element gekoppelt ist.

Mit dieser Anordnung wird, wenn die Zugspindel durch den Motor gedreht wird, das mutterförmige Element axial zu der Zugspindel bewegt, während es am Dre­ hen gehindert wird, wodurch der Taststift des Rauhigkeitssensors entlang der Meßfläche des Objektes synchron mit der Bewegung des mutterförmigen Ele­ ments bewegt wird. Zu dieser Zeit wird der Taststift des Rauhigkeitssensors in einer Richtung orthogonal zu der Bewegungsrichtung davon aufgrund der Ober­ flächenrauhigkeit des Objektes ausgelenkt. Durch Erfassung der Auslenkung kann die Oberflächenrauhigkeit des Objektes gemessen werden.

In der Antriebseinheit des bekannten Oberflächenrauhigkeits-Meßinstruments werden jedoch Vibrationen von mechanischen Komponenten, wie dem Motor, der Zugspindel, dem Wälzlager und dem mutterförmigen Element erzeugt. Deshalb müssen Einrichtungen zum Absorbieren derartiger Vibrationen bereitgestellt wer­ den, die eine Erhöhung der Kosten und der Zeit verursachen. Schlimmer ist es, daß derartige Vibrationen insbesondere in dem Oberflächenrauhigkeits-Meß­ instrument ein ernst zu nehmendes Hindernis für die Meßgenauigkeit dar­ stellen, und es unmöglich machen, den Grad der Meßpräzision zu erhöhen.

Daneben ist die Antriebseinheits-Struktur, die aus dem Motor der Zugspindel, dem Wälzlager, dem mutterförmigen Element und anderen Teilen besteht, schwer, indem es den Gewichtsausgleich für das gesamte Meßinstrument verschlechtert.

Deshalb ist es eine Aufgabe der vorliegenden Erfindung eine Antriebsanordnung für Meßinstrumente zu schaffen, die sowohl zum Erhöhen des Grades der Meß­ präzision durch Verminderung der erzeugten Vibrationen als auch zum Erreichen eines guten Gewichtsausgleichs des gesamten Meßinstrumentes beitragen kann und ein Meßinstrument zu schaffen, in das die Antriebsanordnung eingebaut ist.

Um die obige Aufgabe zu lösen, schafft die vorliegende Erfindung eine An­ triebsanordnung für ein Meßinstrument mit einem Körper und ein bewegbares Element, das relativ zu dem Körper bewegbar ist, wobei eine Messung eines zu messenden Objekts durch die Bewegung des bewegbaren Elements mit einer An­ triebs- und Führungseinrichtung ausgeführt wird, die an dem Körper des Meßin­ struments angebaut ist, wobei die Antriebs- und Führungseinrichtung einen An­ triebszylinder, der einen darin für eine axiale Bewegung aufgenommenen Kolben aufweist, einschließt, wobei die Antriebs- und Führungseinrichtung zum Bewegen des bewegbaren Elements synchron mit der axialen Bewegung des Kolbens be­ treibbar ist und eine Steuereinrichtung für Hydraulikflüssigkeit an einem Ort, der entfernt von dem Körper des Meßinstrumentes angeordnet ist, um Hydraulikflüs­ sigkeit zu dem Antriebszylinder der Antriebs- und Führungseinrichtung zu liefern, um die axiale Bewegung des Kolbens des Antriebszylinders zu bewirken.

Mit der obigen Anordnung wird, wenn die Hydraulikflüssigkeit zu dem Antriebs­ zylinder der Antriebs und Führungseinrichtung durch die Steuereinrichtung für Hydraulikflüssigkeit geliefert wird, der Kolben des Antriebszylinders durch die Hydraulikflüssigkeit bewegt, wodurch das bewegbare Element synchron mit der Bewegung des Kolbens bewegt wird. Entsprechend der vorliegenden Antriebsan­ ordnung ist in dem Körper des Meßinstruments der Faktor zur Vibrationserzeu­ gung auf ein maximal mögliches Maß vermindert. Das bedeutet, der Meßinstru­ mentenkörper ist nur mit der Antriebs- und Führungseinrichtung einschließlich eines darin für eine axiale Bewegung aufgenommenen Kolbens ausgestattet. Folglich ist der Meßinstrumentenkörper geeignet, Vibrationen wesentlich vergli­ chen mit der Konstruktion der üblichen Antriebseinheit zu vermindern, wodurch ein bedeutend höherer Grad der Meßpräzision erreicht werden kann.

Während weiterhin die übliche Antriebseinheit viele Bauelemente mit großem Gewicht aufweist, wie den Motor, die Zugspindel, das Wälzlager und ein mutter­ förmiges Element, weist die Antriebsanordnung gemäß der vorliegenden Erfin­ dung ein vermindertes Gewicht auf, was den Gewichtsausgleich des gesamten Meßinstrumentes verbessern kann.

Vorzugsweise umfaßt die Antriebs- und Führungseinrichtung eine Basis, eine Führungseinrichtung, die auf der Basis in einer Weise montiert ist, die sich paral­ lel mit der Bewegungsrichtung des bewegbaren Elementes erstreckt und das be­ wegbare Element für eine axiale Bewegung trägt, den Antriebszylinder, der durch die Basis in einer Weise getragen wird, die sich parallel mit der Führungsein­ richtung erstreckt und einen darin für eine axiale Bewegung aufgenommenen Kolben aufweist und eine Synchronbewegungseinrichtung zum Bewegen des be­ wegbaren Elementes synchron mit der axialen Bewegung des Kolbens des An­ triebszylinders.

Mit dieser Anordnung wird das bewegbare Element durch die Führungseinrich­ tung für die axiale Bewegung derart getragen, daß es sich synchron mit der axia­ len Bewegung des Kolbens des Antriebszylinders bewegt. Folglich hat die An­ triebsanordnung eine einfache Struktur, kann aber das bewegbare Element in sta­ biler Weise bewegen.

Vorzugsweise umfaßt die Führungseinrichtung einen Führungsschaft, der auf der Basis in einer Weise montiert ist, die sich parallel mit der Bewegungsrichtung des bewegbaren Elements erstreckt, und eine Halteeinrichtung, die bewegbar an dem Führungsschaft montiert ist und das bewegbare Element hält.

Weiterhin bilden der Führungsschaft und das Halteelement bevorzugt einen Posi­ tionssensor zum Messen einer Position des bewegbaren Elements während einer Bewegung.

Vorzugsweise umfaßt die Synchronbewegungseinrichtung ein rohrförmiges Mit­ nehmerelement, das bewegbar an dem Antriebszylinder befestigt ist und im Gleichlauf für eine Bewegung mit dem Halteelement damit gekoppelt ist, wobei das rohrförmige Mitnehmerelement aus einem magnetischen Material gebildet ist und synchron mit der axialen Bewegung des Kolbens des Antriebszylinders be­ wegbar ist, der aus einem Magnet gebildet ist, um dadurch das bewegbare Ele­ ment zu bewegen.

Alternativ kann die die Synchronbewegungseinrichtung umfassen: eine Kolben­ stange, von der ein Ende mit dem Kolben des Steuerzylinders für eine Bewegung im Gleichlauf damit gekoppelt ist, und deren anderer Endabschnitt auswärts aus dem Steuerzylinder herausragt, und eine Kupplungsstange, die das mutterförmige Element mit dem anderen Endabschnitt der Kolbenstange zur Bewegung im Gleichlauf damit koppelt, wobei die Synchronbewegungseinrichtung synchron mit der axialen Bewegung des mutterförmigen Elements bewegbar ist, um damit den Kolben des Steuerzylinders zu bewegen.

Vorzugsweise umfaßt die Steuereinrichtung für die Hydraulikflüssigkeit eine Ba­ sis, eine Zugspindel, die drehbar von der Basis getragen wird, einen Motor zum bewegbaren Antreiben der Zugspindel, ein mutterförmiges Element, das gewin­ demäßig an der Zugspindel zur axialen Bewegung im Gleichlauf mit der Rotation der Zugspindel befestigt ist, einen Steuerzylinder, der auf der Basis in einer Weise montiert ist, daß er sich parallel mit der Zugspindel erstreckt und einen darin für eine axiale Bewegung aufgenommenen Kolben aufweist, eine Synchronbewe­ gungseinrichtung zum Bewegen des Kolbens des Steuerzylinders synchron mit der axialen Bewegung des mutterförmigen Elements und eine Flüssigkeitslei­ tungseinrichtung, die den Steuerzylinder mit dem Antriebszylinder der Antriebs- und Führungseinrichtung verbindet, um Hydraulikflüssigkeit- die von dem Steuer­ zylinder durch die axiale Bewegung des Kolbens des Steuerzylinders abgegeben wird, an den Antriebszylinder zu liefern, um die axiale Bewegung des Kolbens des Antriebszylinders zu bewirken.

Mit der obigen Anordnung kann das mutterförmige Element axial mit hoher Ge­ nauigkeit durch Drehen der Zugspindel bewegt werden und das bewegbare Ele­ ment wird axial synchron mit der axialen Bewegung des mutterförmigen Elements bewegt, wodurch die Position und die Bewegungsgeschwindigkeit des bewegba­ ren Elements in einer feinen und genauen Weise gesteuert werden kann.

Deshalb kann, wenn die Antriebsanordung gemäß der vorliegenden Erfindung in einem Oberflächenrauhigkeits-Meßinstrument oder einem derartigen Meßinstru­ ment verwendet wird, eine hohe Meßgenauigkeit sicher gestellt werden.

Vorzugsweise umfaßt die Synchronbewegungseinrichtung der Steuereinrichtung für Hydraulikflüssigkeit ein ringförmiges Mitnehmerelement, das bewegbar an dem Steuerzylinder befestigt ist und mit dem mutterförmigen Element für die Bewegung im Gleichlauf damit gekoppelt ist, wobei das Mitnehmerelement aus einem magnetischen Material gebildet ist und synchron mit der axialen Bewegung des mutterförmigen Elements bewegbar ist, um dadurch den Kolben des Steuer­ zylinders, der aus einem Magneten gebildet ist, zu bewegen.

Alternativ kann die Synchronbewegungseinrichtung der Steuereinrichtung für Hydraulikflüssigkeit eine Kolbenstange deren eines Ende mit dem Kolben des Steuerzylinders für die Bewegung im Gleichlauf damit gekoppelt ist und deren anderer Endabschnitt auswärts aus dem Steuerzylinder herausragt und eine Kupplungsstange umfassen, die das mutterförmigen Element auf dem anderen Endabschnitt der Kolbenstange zur Bewegung im Gleichlauf damit koppelt, wobei die Synchronbewegungseinrichtung synchron mit er axialen Bewegung des mut­ terförmigen Elements bewegbar ist, um dadurch den Kolben des Steuerzylinders zu bewegen.

Auch kann alternativ die Steuereinrichtung für Hydraulikflüssigkeit eine Versor­ gungsquelle für die Hydraulikflüssigkeit umfassen, die an einem Ort entfernt von dem Körper des Meßinstrumentes angeordnet ist, wobei eine Flüssigkeitsleitungs­ einrichtung, welche dem Antriebszylinder der Antriebs- und Führungseinrichtung mit der Versorgungsquelle für Hydraulikflüssigkeit verbindet, um Hydraulikflüs­ sigkeit von der Versorgungsquelle für Hydraulikflüssigkeit zu dem Antriebszylin­ der zu liefern, um die axiale Bewegung von dessen Kolben zu bewirken, und wo­ bei eine Drosseleinrichtung in die Flüssigkeitsleitungseinrichtung eingefügt ist.

Mit dieser alternativen Anordnung kann eine Versorgungsquelle für Hydraulik­ flüssigkeit, die bereits in eine Anlage oder dergleichen existiert zum axialen Be­ wegen des bewegbaren Elements verwendet werden. Weiterhin kann die axiale Bewegungsgeschwindigkeit des bewegbaren Elementes durch Betreiben der Drosseleinrichtung variiert werden.

Um weiterhin die obige Aufgabe zu lösen, schafft die vorliegende Erfindung ein Meßinstrument, das umfaßt: einen Körper, ein bewegbares Element, das bewegbar relativ zum Körper ist, und eine Antriebsanordnung für ein Bewegen des beweg­ baren Elementes zum Durchführen einer Messung an einem zu messenden Objekt aufweisend eine Antriebs- und Führungseinrichtung- die auf dem Körper des Meßinstrumentes angebracht ist, wobei die Antriebs- und Führungseinrichtung einen Antriebszylinder, der einen darin für eine axiale Bewegung aufgenommenen Kolben einschließt, und die Antriebs- und Führungseinrichtung zum Bewegen des bewegbaren Elementes synchron mit der axialen Bewegung des Kolbens betreib­ bar ist, und eine Steuereinrichtung für Hydraulikflüssigkeit, an einem Ort ange­ ordnet ist, der entfernt von dem Körper des Meßinstrumentes ist, um Hydraulik­ flüssigkeit zu dem Antriebszylinder der Antriebs- und Führungseinrichtung zu liefern, um die axiale Bewegung des Kolbens des Antriebszylinders zu bewirken.

Die obigen und andere Aufgaben, Merkmale und Vorteile der Erfindung werden von der folgenden Beschreibung, die in Zusammenhang mit den zugehörigen Zeichnungen vorgenommen wird, deutlicher.

Fig. 1 ist ein Blockdiagramm, das die gesamte Konstruktion einer An­ triebsanordnung für ein Meßinstrument gemäß einer Ausführungs­ form der vorliegenden Erfindung zeigt;

Fig. 2 zeigt schematisch die Konstruktion einer Antriebs- und Führungs­ einrichtung für die Antriebsanordnung gemäß der Ausführungs­ form;

Fig. 3 ist eine Ansicht, welche die Konstruktion einer Steuereinrichtung für Hydraulikflüssigkeit der Antriebseinrichtung gemäß der Aus­ führungsform zeigt;

Fig. 4 ist eine schematische Ansicht, die die Konstruktion einer Steuerein­ richtung für Hydraulikflüssigkeit gemäß einer anderen Ausfüh­ rungsform der vorliegenden Erfindung zeigt; und

Fig. 5 ist eine schematische Ansicht, die die Konstruktionen einer An­ triebs- und Führungseinrichtung und einer Steuereinrichtung für Hydraulikflüssigkeit einer Antriebseinrichtung für ein Meßinstru­ ment gemäß einer weiteren Ausführungsform der vorliegenden Er­ findung zeigt.

Die vorliegende Erfindung wird im Detail mit Bezug auf die zugehörigen Zeich­ nungen, die bevorzugte Ausführungsformen zeigen, beschrieben.

Zuerst bezugnehmend auf die Fig. 1, ist dort die gesamte Konstruktion einer Antriebsanordnung für ein Meßinstrument mit einer Ausführungsform der vorlie­ genden Erfindung gezeigt. In dieser Ausführungsform wird die Antriebsanord­ nung gemäß der vorliegenden Erfindung als eine Antriebsanordnung für ein Ober­ flächenrauhigkeits-Meßinstrument verwendet. Das Oberflächenrauhigkeits-Meß­ instrument besteht aus einer Basis (Körper) 11, einem auf der auf der Basis 11 angeordneten Tisch 12 zum Halten eines Objektes oder Werkstücks W, das zu messen ist, einem Träger 13, der auf der Basis 11 errichtet ist, einer Antriebsvor­ richtung 13A in Z-Richtung, welche an an dem Träger 13 vorgesehenen Schienen befestigt ist, zur Bewegung in einer vertikalen Richtung (Z-Richtung), einer An­ triebs- und Führungsvorrichtung 14, die durch die Antriebsvorrichtung 13A in Z-Richtung getragen wird, einen Rauhigkeitssensor 15, als bewegbares Element, das durch die Antriebs- und Führungsvorrichtung in einer Weise getragen wird, die vorwärts und rückwärts in einer Richtung (X-Richtung) orthogonal zu der Rich­ tung in welcher der Träger 13 sich erstreckt, bewegt wird, einer Steuervorrichtung für Hydraulikflüssigkeit zum Antreiben der Antriebs- und Führungsvorrich­ tung 14, einer Steuereinheit 17 für die elektrische Ausstattung zur Verarbeitung von Positionsdaten (für Daten, die für die Position des Rauhigkeitssensors 15 während der Bewegung in X-Richtung kennzeichnend sind), die von der Antriebs- und Führungsvorrichtung 14 gehalten werden, und einem Ausgangssignal (kenn­ zeichnend für die Position eines Taststiftes des Rauhigkeitssensors 15 in Z-Richtung) von dem Rauhigkeitssensor 15 und einer Datenverarbeitungseinheit 18 zum Empfangen der Positionsdaten und des Sensorausgangssignals, das von der Steuereinheit 17 für die elektrische Ausstattung verarbeitet und geliefert wird, und die basierend auf diesen Daten die Oberflächenrauhigkeit des Werkstücks W be­ stimmt.

Fig. 2 zeigt Einzelheiten der Konstruktion der Antriebs- und Führungsvorrich­ tung 14. Wie die Figur zeigt, besteht die Einrichtung 14 aus einer Basis 21 in der Form eines an dem Träger 13 montierten Rahmens zur vertikalen Bewegung dort entlang, einem Führungsschaft 22, der sich in dem Rahmen 21 in einer Weise parallel zu der Richtung der Bewegung (X-Richtung) des Rauhigkeitssensors 15 erstreckt, ein Halteelement 23, das gleitbar an dem Führungsschaft 22 befestigt und das den Rauhigkeitssensor 15 zum Bewegen im Gleichlauf damit hält, einen Antriebszylinder 24, der durch den Rahmen 21 in einer Weise, die sich parallel zu dem Führungsschaft 22 erstreckt, getragen wird und einen Kolben 24A aufweist, der gleitbar für eine axiale oder Vorwärts- und Rückwärtsbewegung darin aufge­ nommen ist, und eine Synchronbewegungseinrichtung 25, die angeordnet ist, um den Rauhigkeitssensor 15 synchron mit der axialen Bewegung des Kolbens 24A des Antriebszylinders 24 zu bewegen.

Der Führungsschaft 22 und das Halteelement 23 bilden zusammen eine Führungs­ einrichtung, die den Rauhigkeitssensor 15 in einer Weise trägt, die demselben ermöglicht, sich axial in X-Richtung zu bewegen. Obwohl nicht gezeigt, ist der Führungsschaft 22 mit einer Skala versehen und das Halteelement 23 ist mit ei­ nem Detektor versehen, der die Position des Rauhigkeitssensor 15 während der Bewegung in Kooperation mit der Skala erfaßt, was somit einen Positionssensor für das Erfassen der Position des Rauhigkeitssensors 15 während der Bewegung in der X-Richtung bildet.

Die Synchronbewegungseinrichtung 25 kann in irgendeiner Weise insoweit ge­ staltet sein, als sie den Rauhigkeitssensor 15 synchron mit der axialen Bewegung des Kolbens 24A des Antriebszylinders 24 in einer Weise die demselben nach­ folgt, bewegen kann. Zum Beispiel, wie in Fig. 2 gezeigt, kann der Kolben 24A aus einem Magnet gebildet sein (in diesem Fall ist der Antriebszylinder 24 aus einem nicht magnetischen Material gebildet), einem Mitnehmerrohr 25A, das aus einem magnetischen Material ist, ist gleitbar auf dem Antriebszylinder 24 befe­ stigt, und das Rohr 25 ist mit dem Halteelement 23 zur Bewegung im Gleichlauf damit gekoppelt.

Fig. 3 zeigt Einzelheiten der Konstruktion der Steuervorrichtung 16 für Hydrau­ likflüssigkeit. Wie in der Figur zu sehen ist, besteht die Steuervorrichtung 16 für Hydraulikflüssigkeit aus einer Basis 31 in der Form eines Rahmens, einer Zugspindel 32, die drehbar durch den Rahmen 31 getragen wird, einem Motor 34, der antreibend an einem Ende der Zugspindel 32 über eine Kupplung 33 gekop­ pelt ist, einem mutterförmigen Element 35, das gewindemäßig auf der Zugspindel zur axialen oder Vorwärts- und Rückwärtsbewegung befestigt ist, wenn die Zugspindel 32 sich dreht, einem Steuerzylinder 36, der in dem Rahmen 31 in ei­ ner Weise, die sich parallel mit der Zugspindel 32 erstreckt montiert ist, und ei­ nen Kolben 36A aufweist, der gleitbar darin für eine axiale oder Vorwärts- und Rückwärtsbewegung aufgenommen ist, einer Synchronbewegungseinrichtung 37, die zum Bewegen des Kolbens 36A des Steuerzylinders 36 synchron mit der axialen Bewegung des mutterförmigen Elements 35 angeordnet ist und Flüssig­ keitsleitungen 38 und 39, die den Steuerzylinder 36 mit dem Antriebszylinder 24, der Antriebs- und Steuereinrichtung 14 verbinden, um Hydraulikflüssigkeit, wel­ che von dem Steuerzylinder 36 durch die axiale Bewegung des Kolbens 36A des Steuerzylinders 36 ausgegeben wurde, dem Antriebszylinder 24 zuzuführen, um eine axiale Bewegung des Kolbens 24A davon zu bewirken.

Die Synchronbewegungseinrichtung 37 kann in irgendeiner Form insoweit ge­ staltet werden, als sie den Kolben 36A des Steuerzylinders 36 synchron mit der axialen Bewegung des mittelförmigen Elements 35 in einer Weise, die demselben nachfolgt, bewegen kann. Zum Beispiel, wie in der Fig. 3 gezeigt, kann der Kol­ ben 36A aus einem Magneten gebildet sein (in diesem Fall ist der Steuerzylinder 36 aus einem nichtmagnetischen Material gebildet), ein Mitnehmerrohr 37A, das aus einem magnetischen Material gebildet ist, ist gleitbar an dem Steuerzylinder 36 befestigt und das Rohr 37A ist mit dem mutterförmigen Element 37 zur Bewe­ gung im Gleichlauf damit gekoppelt.

In Fig. 3 bezeichnet die Bezugsnummer 40 ein Drehverhinderungselement (Drehverhinderungseinrichtung), das das mutterförmige Element 35 am Drehen hindert, während es demselben ermöglicht, sich axial entlang der Zugspindel 32 zu bewegen.

Als nächstes wird die Arbeitsweise der vorliegenden Ausführungsform, die wie oben konstruiert ist, beschrieben.

Zum Messen der Oberflächenrauhigkeit wird zuerst der Motor 34 der Steuervor­ richtung 16 für Hydraulikflüssigkeit eingeschaltet und dann wird die Zugspindel 32 gedreht, um das mutterförmige Element 35 zu veranlassen, sich axial entlang der Zugspindel 32 zu bewegen. Zur gleichen Zeit wird der Kolben 36A des Steu­ erzylinders 36 über die synchrone Antriebseinrichtung 37 synchron der axialen Bewegung des mutterförmigen Elements 35 bewegt, so daß Hydraulikflüssigkeit (Öl) in eine Kammer, die in dem Steuerzylinder 36 auf einer Seite definiert ist, zu welcher der Kolben 36A bewegt wird, ausgeben wird.

Zum Beispiel, wenn der Kolben 36A nach rechts, wie in Fig. 3 zu sehen ist, be­ wegt wird, wird die Hydraulikflüssigkeit (Öl) in einer rechten Kammer des Steu­ erzylinders 36 durch die Flüssigkeitsleitung 39 in eine linke Kammer des An­ triebszylinders 24 der Antriebs- und Führungsvorrichtung 14 geliefert. Folglich wird der Kolben 24A des Antriebszylinders 24 nach rechts, wie in Fig. 2 zu se­ hen ist, bewegt und der Rauhigkeitssensor 15 wird entsprechend nach rechts, wie in Fig. 2 zu sehen ist, bewegt. Somit wird der Rauhigkeitssensor 15 in der glei­ chen Richtung und mit der gleichen Geschwindigkeit, wie die Richtung und die Geschwindigkeit der Bewegung des mutterförmigen Elements 35, bewegt.

Während der Bewegung des Rauhigkeitssensors 15, empfängt die Datenverarbei­ tungseinheit 18 die Daten der Position des Rauhigkeitssensors 15 während der Bewegung in X-Richtung, die durch die Antriebs- und Führungsvorrichtung 14 erhalten wird, und das Rauhigkeitssignals das kennzeichnend für die Auslenkung des Taststiftes in Z-Richtung ist, von dem Rauhigkeitssensor 15 über die Steuer­ einheit 17, um dadurch die Oberflächenrauhigkeit des zu messenden Werkstücks W, zu bestimmen.

Wie oben beschrieben, wird gemäß der vorliegenden Ausführungsform die An­ triebs- und Führungsvorrichtung 14 auf dem Träger 13 vorgesehen, der auf der Basis 11 errichtet ist, die einschließt: den Antriebszylinders 24 mit dem Kolben 24A, der gleitbar darin für eine axiale oder Vorwärts- und Rückwärtsbewegung aufgenommen ist und die Synchronbewegungseinrichtung 25, die den Rauhig­ keitssensor 15 synchron mit der Vorwärts- und Rückwärtsbewegung des Kolbens 24A des Antriebszylinders 24 bewegt, wobei die Steuervorrichtung 16 für Hy­ draulikflüssigkeit an einer Stelle angeordnet ist, die von der Antriebs- und Füh­ rungsvorrichtung 14 entfernt ist, welche Hydraulikflüssigkeit zu dem Antriebszy­ linder 24 der Antriebs- und Führungsvorrichtung 14 liefert, um somit eine Vor­ wärts- oder Rückwärtsbewegung des Kolbens 24A zu bewirken. Folglich unter­ liegt der Körper des Meßinstrumentes verminderten Vibrationen verglichen mit Konstruktionen der herkömmlichen Antriebseinheit, wodurch eine höhere Meß­ genauigkeit erreicht wird. Weiterhin hat die Antriebsanordnung, gemäß der vor­ liegenden Ausführungsform ein vermindertes Gewicht verglichen mit der übli­ chen Antriebseinheit, die einen guten Gewichtsausgleich des gesamten Meßin­ struments sicherstellen kann.

Weiterhin umfaßt, gemäß der vorliegenden Erfindung, die Antriebs- und Füh­ rungseinrichtung 14 den Rahmen 21, den Führungsschaft 22, der in dem Rahmen 21 in einer Weise, die sich parallel zu der X-Richtung erstreckt, montiert ist, das Halteelement 23, das gleitbar an dem Führungsschaft 22 befestigt ist und den Rauhigkeitssensor 15 zur Bewegung im Gleichlauf damit hält, den Antriebszylin­ der 24, der durch den Rahmen 21 in einer Weise, die sich parallel zu dem Füh­ rungsschaft 22 erstreckt, getragen ist und den Kolben 24A gleitbar darin für eine axiale oder Vorwärts- und Rückwärtsbewegung aufgenommen hat und die Syn­ chronbewegungseinrichtung 25, die zum Bewegen des Rauhigkeitssensors 15 synchron mit der axialen Bewegung des Kolbens 24A angeordnet ist. Folglich hat die Antriebsanordnung, gemäß der vorliegenden Ausführungsform, eine einfache Struktur, aber ist in der Lage den Rauhigkeitssensor 15 in der X-Richtung in sta­ biler Weise zu bewegen.

Weiterhin umfaßt gemäß der vorliegenden Ausführungsform die Steuereinrich­ tung 16 für Hydraulikflüssigkeit den Rahmen 31, die Zugspindel 32, die drehbar durch den Rahmen 31 getragen wird, den Motor 34, der antreibend mit der Zugspindel 32 gekoppelt ist, das mutterförmige Element 35, das gewindemäßig an der Zugspindel 32 befestigt ist, den Steuerzylinder 36, der in dem Rahmen 31 in einer Weise, die sich parallel mit der Zugspindel 32 erstreckt, montiert ist und den Kolben 36A gleitbar darin für eine axiale oder Vorwärts- und Rückwärtsbe­ wegung aufgenommen hat, die Synchronbewegungseinrichtung 37, die angeord­ net ist, um den Kolben 36A des Steuerzylinders 36 synchron mit der axialen Be­ wegung des mutterförmigen Elements 35 zu bewegen, und die Flüssigkeitsleitun­ gen 38 und 39, die den Steuerzylinder 36, mit dem Antriebszylinder 24, der An­ triebs- und Führungsvorrichtung 14 verbinden. Mit dieser Anordnung kann das mutterförmige Element 35 axial mit hoher Genauigkeit bewegt werden, wenn die Zugspindel 32 gedreht wird, so daß der Rauhigkeitssensor 15 vorwärts- oder rückwärts bewegt wird, wenn das mutterförmige Element 35 vorwärts- oder rückwärts bewegt wird. Folglich kann die Position und die Bewegungsgeschwin­ digkeit des Rauhigkeitssensors 15 in einer feinen und höchst genauen Weise ge­ steuert werden.

Die Konstruktion der Steuereinrichtung 16 für Hydraulikflüssigkeit soll nicht auf die oben beschriebene begrenzt werden, sondern die Vorrichtung 16 kann durch andere Konstruktionen verwirklicht werden.

Zum Beispiel kann, wie in Fig. 4 gezeigt, die Steuereinrichtung 16 für Hydrau­ likflüssigkeit umfassen: Druckwandler 41A und 41B von pneumatischem Druck zu hydraulischem Druck als zwei Versorgungsquellen für Hydraulikflüssigkeit, die an einer Stelle entfernt von dem Körper des Meßinstruments (Basis 11) ange­ ordnet sind, Flüssigkeitsleitungen 42A, 42B, 43A, 43B, 44A, 44B, 45A und 45B, welche die Druckwandler 41A und 41B von pneumatischem Druck zu hydrauli­ schem Druck mit dem Antriebszylinder 24 der Antriebs- und Führungsvorrich­ tung 14 verbinden, um Hydraulikflüssigkeit von den Druckwandlern 41A und 41B zu dem Antriebszylinder 24 zu liefern, um somit den Kolben 24A axial zu bewegen, Drosseln 46A, 46B, 47A, 47B und elektromagnetische Richtungssteu­ erventile 48 und 49, die über die Flüssigkeitsleitungen 43A und 43B, 44A und 44B angeordnet sind und Rückschlagventile 50A, 50B, 51A und 51B, die paral­ lel zu den Drosseln 46A, 46B, 47A und 47B, angeschlossen sind. Mit dieser An­ ordnung kann durch Einstellen der Größe der Drosselung der Drosseln 46A, 46B und der Drosseln 47A und 47B, auf voneinander unterschiedliche Werte, kann die Bewegungsgeschwindigkeit des Rauhigkeitssensors 15 variiert werden. Insbe­ sondere durch Betätigen der Richtungssteuerventile 48 und 49 zur Änderung ihrer gewählten Stellungen kann ein Flüssigkeitsweg durch die Flüssigkeitsleitungen 43A und 43B oder ein Flüssigkeitsweg durch die Flüssigkeitsleitungen 44A und 44B selektiv hergestellt werden. Bei dieser Gelegenheit kann, wenn die Größe der Drosselung der Drosseln 46A und 46B und der Drosseln 47A und 47B auf von­ einander unterschiedliche Werte eingestellt sind, die Bewegungsgeschwindigkeit des Rauhigkeitssensors 15 in Abhängigkeit von dem gewählten Flüssigkeitsweg variiert werden.

Entsprechend der Anordnung der Fig. 4 ist auch die Meßinstrumenten-Kör­ perseite (Basis 11) frei von Faktoren der Erzeugung von Vibrationen, womit ermöglicht ist, eine verschlechterte der Meßgenauigkeit aufgrund des Einflusses von Vibrationen zu verhindern.

In den oben beschriebenen Ausführungsformen ist, da der Antriebszylinder 24 und der Steuerzylinder 36 von einer stangenlosen Art sind, nämlich ohne eine Kolbenstange und die Synchronbewegungseinrichtungen 25, 37 durch einen Kol­ ben gebildet werden, gebildet aus einem Magneten und einem aus magnetischem Material gebildeten, rohrförmigen Mitnehmerelement, kein Kolbenstangen auf­ nehmender Raum erforderlich, der sonst erforderlich wäre, wenn eine bewegbare Kolbenstange mit dem Kolben verbunden wäre, um dadurch ein Entwerfen der Antriebsanordnung mit kompakter Größe zu ermöglichen. Jedoch können der Antriebszylinder 24 und der Steuerzylinder 36 von einer Form sein, die eine Kol­ benstange aufweist. In diesem Fall kann jede der Synchronbewegungseinrichtun­ gen 25, 37 so konstruiert sein, daß ein Abschnitt der Kolbenstange, der aus dem Zylinder 24, 36 herausragt direkt mit dem Halteelement 23 oder dem mutterför­ migen Element 35 verbunden ist.

Fig. 5 zeigt die Konstruktion einer Antriebs- und Führungsvorrichtung und einer Steuervorrichtung für Hydraulikflüssigkeit einer Antriebsanordnung für ein Meßinstrument gemäß einer weiteren Ausführungsform der vorliegenden Erfin­ dung. Bei dieser Ausführungsform werden anstelle des Antriebszylinders 24 und des Steuerzylinders 36, die in den oben beschriebenen Ausführungsformen ver­ wendet werden, Zylinder mit Kolbenstangen für die gleichen Zwecke eingesetzt. In Fig. 5 sind Elemente und Teile, die mit denen der Fig. 2 und 3 korrespon­ dieren durch identische Bezugsziffern bezeichnet.

Die Antriebs- und Führungsvorrichtung 14 beinhaltet einen Antriebszylinder 24' der einen Kolben 24'A aufweist, der gleitbar darin für eine axiale oder Vor­ wärts-und Rückwärtsbewegung aufgenommen ist und ein paar Kolbenstangen 24'B und 24'C, die an deren Enden mit gegenüberliegenden Enden des Kolbens 24'A zur Bewegung im Gleichlauf damit verbunden sind. Die Kolbenstangen 24'B, 24'C weisen andere Endabschnitte davon auf, die auswärts aus den jeweili­ gen gegenüberliegenden Enden des Antriebszylinders 24' herausragen. Das Hal­ teelement 23 ist mit einer Spitze des anderen Endabschnitts der Kolbenstange 24'B zur Bewegung im Gleichlauf damit mittels einer Kupplungsstange 23A ver­ bunden. Die Kolbenstange 24'B und die Kopplungsstange 23A bilden eine Syn­ chronbewegungseinrichtung 25, die der Synchronbewegungseinrichtung, die in Fig. 2 gezeigt ist, entspricht.

Die Steuervorrichtung 16 für Hydraulikflüssigkeit beinhaltet einen Steuerzylinder 36', der einen Kolben 36'A aufweist, der gleitbar darin für eine axiale oder Vor­ wärts- und Rückwärtsbewegung aufgenommen ist und ein Paar Kolbenstangen 36'B und 36'C, das an deren Enden davon mit gegenüberliegenden Enden der Kolben 36' zur Bewegung im Gleichlauf damit verbunden ist. Die Kolbenstangen 36'B, 36'C weisen andere Endabschnitte davon auf, die auswärts aus den jeweili­ gen gegenüberliegenden Enden des Steuerzylinders 36' herausragen. Das mutter­ förmige Element 35 ist mit einer Spitze des anderen Endabschnitts der Kolben­ stange 36'B zur Bewegung im Gleichlauf damit mittels einer Kupplungsstange 35A verbunden. Die Zugspindel 32 auf der das mutterförmige Element 35 ge­ windemäßig befestigt ist, hat ein Ende, das sich durch eine Basis 31' in einer Wei­ se erstreckt, die dadurch drehbar getragen wird. Der Motor 34 ist antreibend mit einem Ende der Zugspindel 32 über die Riemenscheiben 41 und 42 und einem Treibriemen 43 verbunden. Die Kolbenstange 36'B und die Kupplungsstange 35A bilden eine Synchronbewegungseinrichtung, die der Synchronbewegungseinrich­ tung 37, die in Fig. 3 gezeigt wird, entspricht. Außer für solche, die oben be­ schrieben werden, sind die Antriebs- und Führungsvorrichtung 14 und die Steuer­ vorrichtung 16 für die Hydraulikflüssigkeit in ihrer Konstruktion identisch mit denen, die in Fig. 2 und 3 gezeigt werden, und eine weiterführende Beschrei­ bung kann deshalb weggelassen werden.

Mit der obigen Anordnung wird, wenn der Motor 34 betätigt wird, die Zugspindel 32 durch die Riemenscheiben 41, 42 und den Antriebsriemen 43 gedreht, um eine axiale Bewegung des mutterförmigen Elements 35 entlang der Zugspindel 32 zu verursachen. Zur gleichen Zeit wird der Kolben 36'A des Steuerzylinders 36' durch die Kupplungsstange 35A und die Kolbenstange 36'B synchron zu der axialen Bewegung des mutterförmigen Elements 35 bewegt. Dementsprechend fließt die Hydraulikflüssigkeit durch die Flüssigkeitsleitungen 38, 39, um eine Bewegung des Kolbens 24'A des Antriebszylinders 24' zu verursachen, der sei­ nerseits eine Bewegung des Halteelements 23 durch die Kolbenstange 24'B und die Kupplungsstange 23A verursacht, um dadurch den Rauhigkeitssensor 15 zu bewegen.

Gemäß der vorliegenden Ausführungsform ist, da das Halteelement 23 und das mutterförmige Element 35 mit den jeweiligen Kolbenstangen 24'B, 36'B des An­ triebszylinders 24' und und des Steuerzylinders 36' direkt gekoppelt sind, die Todzone zu der Zeit der Umkehrung der Bewegungsrichtung des Kolbens von jedem Zylinder kleiner verglichen mit der magnetischen Kupplung zwischen den Kolben 24A, 36A und den rohrförmigen Mitnehmerelementen 25A, 37A, die in Fig. 2 und 3 gezeigt werden. Zum Beispiel in dem Fall der magnetischen Kopplung zwischen den Kolben 24A, 36A und dem rohrförmigen Mitnehmerele­ ment 25A, 37A, die in den Fig. 2 und 3 gezeigt werden ist die Todzone 6 bis 7 mm, während sie in der vorliegenden Erfindung 2 mm oder weniger ist. Folg­ lich kann die Meßgenauigkeit weiter erhöht werden.

Obwohl in Fig. 5 bei der oben beschriebenen Ausführungsform der Antriebszy­ linder 24' und der Steuerzylinder 36' in der Art eines Doppelstangentyps sind, der ein Paar Kolbenstangen aufweist, ist es ohne zu erwähnen möglich, daß sie auch von einem Einzelstangentyp sein können, der eine einzige Kolbenstange aufweist.

Obwohl weiterhin in den oben beschriebenen Ausführungsformen die Antriebsan­ ordnung gemäß der vorliegenden Erfindung auf ein Oberflächenrauhigkeits-Meß­ instrument angewandt ist, ist das nicht beschränkend, da sie auch für andere Arten von Meßinstrumenten insoweit angewandt werden kann, als diese ein be­ wegbares Element aufweisen, die relativ zu dem Meßinstrumentenkörper beweg­ bar ist und die so angepaßt sind, daß eine Messung eines zu messenden Objektes durch Bewegen des bewegbaren Elements auszuführbar ist. Zum Beispiel kann die Antriebsanordnung gemäß der vorliegenden Erfindung auf ein Formmeßin­ strument, ein Gradlinigkeits-Meßinstrument oder ein Quadratförmigkeits-Meß­ instrument angewandt werden.

Claims (13)

1. Antriebsanordnung für ein Meßinstrument mit einem Körper und ein bewegbares Element, das relativ zu dem Körper bewegbar ist, wobei eine Messung eines zu messenden Objekts durch Bewegung des bewegbaren Elements ausgeführt wird, umfassend:
eine Antriebs- und Führungseinrichtung (14), die an dem Körper des Meßinstruments montiert ist, wobei die Antriebs- und Führungseinrichtung (14) einen Antriebszylinder (24) aufweist, der einen darin für eine axiale Bewegung aufgenommenen Kolben (24A) aufweist, wobei die Antriebs- und Führungseinrichtung (14) so betreibbar ist, daß das bewegbare Element (25A) synchron mit der axialen Bewegung des Kolbens (24A) bewegbar ist;
eine Steuereinrichtung (16) für Hydraulikflüssigkeit, die an einer Stelle entfernt von dem Körper des Meßinstruments angeordnet ist, um Hydraulikflüssigkeit zu dem Antriebszylinder (24) der Antriebs- und Führungseinrichtung (14) zu liefern, um die axiale Bewegung des Kolbens (24A) des Antriebszylinders (24) zu verursachen.

2. Antriebsanordnung nach Anspruch 1, wobei die Antriebs- und Führungseinrichtung (14) umfaßt:
eine Basis, eine Führungseinrichtung (14), die auf der Basis in einer Weise die sich parallel zu einer Bewegungsrichtung des bewegbaren Elementes (25A) erstreckt, angeordnet ist und die das bewegbare Element (25A) für eine axiale Bewegung stützt, einen Antriebszylinder (24), der durch die Basis in einer Weise, die sich parallel zu der Führungseinrichtung (14) erstreckt getragen wird und der einen darin für eine axiale Bewegung aufgenommenen Kolben (24A) aufweist, und
eine Synchronbewegungseinrichtung (25) zum Bewegen des bewegbaren Elementes (25A) synchron mit der axialen Bewegung des Kolbens (24) des Antriebszylinders (24).

3. Antriebsanordnung nach Anspruch 2, wobei die Führungseinrichtung (14) umfaßt: einen Führungsschaft (22), der auf der Basis in einer Weise die sich parallel zu der Bewegungsrichtung des bewegbaren Elementes (25A) erstreckt montiert ist, und ein Halteelement (23), das bewegbar an dem Führungsschaft (22) montiert ist und das bewegbare Element (23) hält.

4. Eine Antriebsanordnung, nach Anspruch 3, wobei der Führungsschaft (22) und das Halteelement (23) einen Positionssensor zum Abfühlen einer Position des bewegbaren Elementes (25A) während der Bewegung bilden.

5. Antriebsanordnung nach Anspruch 3, wobei die Synchronbewegungseinrichtung (25) ein rohrförmiges Mitnehmerelement (25A) aufweist, das bewegbar an dem Antriebszylinder (24) befestigt ist und das mit dem Halteelement (23) zum Bewegen im Gleichlauf damit gekoppelt ist, wobei das rohrförmige Mitnehmerelement (25A) aus einem magnetischen Material gebildet ist und bewegbar synchron mit der axialen Bewegung des aus einem Magneten gebildeten Kolbens (24A) des Antriebszylinders (24), um dadurch das bewegbare Element (25A) zu bewegen.

6. Antriebsanordnung nach Anspruch 3, wobei die Synchronbewegungseinrichtung (25) eine Kolbenstange, deren eines Ende (24'B) mit dem Kolben (24'A) des Antriebszylinders (24') für die Bewegung im Gleichlauf damit verbunden ist und deren anderer Endabschnitt (24'C) auswärts aus dem Antriebszylinder (24'A) herausragt und eine Kupplungsstange umfaßt, die als das Halteelement mit dem anderen Endabschnitt der Kolbenstange für die Bewegung im Gleichlauf damit gekoppelt, wobei die Synchronbewegungseinrichtung synchron mit der axialen Bewegung des Kolbens des Antriebszylinders bewegbar ist, um dadurch das bewegbare Element zu bewegen.

7. Antriebsanordnung nach Anspruch 1 oder 2, wobei die Steuereinrichtung für Hydraulikflüssigkeit umfaßt:
eine Basis, eine Zugspindel, die drehbar durch die Basis getragen ist, einen Motor zum drehenden Antrieb der Zugspindel, ein mutterförmiges Element, das gewindemäßig auf der Zugspindel für eine axiale Bewegung im Gleichlauf mit der Drehung der Zugspindel befestigt ist, einen Steuerzylinder, der auf der Basis in einer Weise die sich parallel mit der Zugspindel erstreckt montiert ist, und einen darin für eine axiale Bewegung aufgenommenen Kolben aufweist,
eine Synchronbewegungseinrichtung zum Bewegen des Kolbens des Steuerzylinders synchron mit der axialen Bewegung des mutterförmigen Elements und eine Flüssigkeitsleitungseinrichtung, die den Steuerzylinder mit dem Antriebszylinder der Antriebs- und Führungseinrichtung zum Versorgen mit Hydraulikflüssigkeit verbindet, welche von dem Steuerzylinder durch die axiale Bewegung des Kolbens des Steuerzylinders an den Antriebszylinder abgegeben wird, um die axiale Bewegung des Kolbens des Antriebszylinders zu bewirken.

8. Antriebsanordnung nach Anspruch 7, wobei die Synchronbewegungseinrichtung der Steuereinrichtung für Hydraulikflüssigkeit ein rohrförmiges Mitnehmerelement umfaßt, das bewegbar auf dem Steuerzylinder befestigt ist und das mit dem mutterförmigen Element zur Bewegung im Gleichlauf damit gekoppelt ist, wobei das Mitnehmerelement aus einem magnetischen Material gebildet ist und synchron mit der axialen Bewegung des mutterförmigen Elements bewegbar ist, um dadurch den aus einem Magnet gebildeten Kolben des Steuerzylinders zu bewegen.

9. Antriebsanordnung nach Anspruch 7, wobei die Synchronbewegungseinrichtung eine Kolbenstange, deren eines Ende mit dem Kolben des Steuerzylinders für die Bewegung im Gleichlauf damit gekoppelt ist und deren anderer Endabschnitt auswärts aus dem Steuerzylinder herausragt und eine Kupplungsstange umfaßt, die das mutterförmige Element mit dem anderen Endabschnitt der Kolbenstange für eine Bewegung im Gleichlauf damit koppelt, wobei die Synchronbewegungseinrichtung synchron mit der axialen Bewegung des mutterförmigen Elements bewegbar ist, um dadurch den Kolben des Steuerzylinders zu bewegen.

10. Antriebsanordnung nach Anspruch 1 oder 2, wobei die Steuereinrichtung für Hydraulikflüssigkeit umfaßt:
eine Versorgungsquelle für die Hydraulikflüssigkeit, die an einer Stelle entfernt von dem Körper des Meßinstruments angeordnet ist, eine Flüssigkeitsleitungseinrichtung, die den Antriebszylinder der Antriebs- und Führungseinrichtung mit der Versorgungsquelle für die Hydraulikflüssigkeit verbindet, um Hydraulikflüssigkeit von der Versorgungsquelle für Hydraulikflüssigkeit zu dem Antriebszylinder zu liefern, um eine axiale Bewegung von dessen Kolben zu verursachen, und eine Drosseleinrichtung, die in die Flüssigkeitsleitungseinrichtung eingefügt ist.

11. Antriebsanordnung nach Anspruch 1 oder 2, wobei das bewegbare Element ein Sensor ist, der zur Bewegung relativ zu dem zu messenden Objekt angeordnet ist, um eine vorbestimmte Eigenschaft des Objektes zu erfassen.

12. Antriebsanordnung nach Anspruch 1 oder 2, wobei das Meßinstrument ein Meßinstrument ist, das aus der Gruppe die aus einem Oberflächenrauhigkeits-Meßinstrument, einem Formmeßinstrument, einem Gradlinigkeitsmeßinstrument oder einem Quadratförmigkeitsmeßinstrument besteht, ausgewählt ist.

13. Meßinstrument, umfassend:
einen Körper;
ein bewegbares Element, das relativ zu dem Körper bewegbar ist; und
eine Antriebsanordnung zum Bewegen des bewegbaren Elementes um eine Messung eines zu messenden Objekt auszuführen, umfassend:
eine Antriebs- und Führungseinrichtung, die auf dem Körper des Meßinstruments angeordnet ist, wobei die Antriebs- und Führungseinrichtung einen Antriebszylinder einschließt, der einen darin für eine axiale Bewegung aufgenommenen Kolben aufweist, wobei die Antriebs- und Führungseinrichtung so betreibbar ist, daß das bewegbare Element synchron mit der axialen Bewegung des Kolbens bewegbar ist;
eine Steuereinrichtung für Hydraulikflüssigkeit, die an einer Stelle entfernt von dem Körper des Meßinstrumentes angeordnet ist, um hydraulische Flüssigkeit zum Antriebszylinder der Antriebs- und Führungseinrichtung zu liefern, um die axiale Bewegung des Kolbens des Antriebszylinders zu bewirken.