DE19926036C1

DE19926036C1 - Anordnung zur Messung optischer Strahlung von Strahlungsquellen

Info

Publication number: DE19926036C1
Application number: DE19926036A
Authority: DE
Inventors: Steffen Dubnack; Stefan Ernsperger; Frank Luemkemann; Heino Weigand
Original assignee: Carl Zeiss Jena GmbH
Current assignee: Jenoptik AG
Priority date: 1999-05-31
Filing date: 1999-05-31
Publication date: 2001-03-22
Anticipated expiration: 2019-06-01
Also published as: US6177988B1

Abstract

Die Erfindung betrifft eine Anordnung zur Messung der Leistung oder Energie optischer Strahlung von Strahlungsquellen, insbesondere von Laserstrahlung. Sie umfaßt ein, einen offenen oder mindestens teilweise geschlossenen Hohlraum eingrenzendes Modul, dessen Innen- oder Außenwände ganz oder teilweise mit Detektoren zur Erzeugung von den zu messenden Parametern der Strahlungsquellen proportionalen Meßsignalen belegt sind. Die Detektoren sind so zusammengeschaltet, daß deren generierte Meßsignale zu mindestens einem resultierenden Summensignal weiterverarbeitet werden oder die Detektoren mit einer nachgeschalteten Verarbeitungseinrichtung zur Bildung von mindestens einem resultierenden Summensignal verbunden sind. Dieses mindestens eine resultierende Summensignal ist relativ unabhängig von der Lage, von der Gestalt und von der Abstrahlcharakteristik der zu untersuchenden, im Modul eingeführten Strahlungsquelle. Im Modul ist mindestens eine Öffnung oder Durchführung zum Einführen der zu untersuchenden Strahlungsquelle vorgesehen.

Description

Die Erfindung betrifft eine Anordnung zur Messung optischer Strahlung von Strahlungsquellen, insbesondere der Strahlungsleistung.

Leistungsmeßgeräte zur Messung optischer Strahlung von Strahlungsquellen, insbesondere auch von Laserstrahlungsquellen, können beispielsweise unterschieden werden in Leistungsmeßgeräte für gerichtet abstrahlende Quellen, sogenannte Powermeter, wie Bolometer, Fotodioden, und in Leistungsmeßgeräte für diffus abstrahlende Quellen (Quellen hoher Divergenz) wie Ulbricht'sche Kugeln.

In der photodynamischen Therapie (PDT) werden beide Arten eingesetzt, sowohl diffus als auch gerichtet abstrahlende Faserapplikatoren mit Längen bis zu 10 cm und Durchmessern bis zu 20 mm. Die Kenntnis der über den verwendeten Applikator abgegebenen Strahlungsleistung ist ausschlaggebend für den erfolgreichen Verlauf und Abschluß der Behandlung. Gegenwärtig wird hierbei zur Leistungsmessung das Prinzip der Ulbricht'schen Kugel verwandt.

Eine solche Ulbricht'sche Kugel ist im "ABC der Optik", VEB Brockhaus Verlag Leipzig 1961, Seiten 484 und 485, im Zusammenhang mit Lichtstrommessern beschrieben, welche so aufgebaut ist, daß eine möglichst gleichmäßige Verteilung der emittierten Strahlung im Kugelinneren stattfindet. Ein Teil der diffus reflektierten Strahlung wird durch einen geeigneten Detektor, dessen Empfängerfläche klein gegenüber die Kugelinnenfläche ist, z. B. durch eine Fotodiode, in ein elektrisches Signal umgewandelt, welches der Strahlungsleistung proportional ist. Nachteilig bei einem solchen Meßgerät ist ferner, daß auch die Meßwerte abhängig sind von der Größe der zu vermessenden Strahlungsquellen und deren Lage in der Kugel.

Deshalb muß zur Unterdrückung möglicher Abstrahlungscharakteristiken ausgedehnter Strahlungsquellen die Ulbricht'sche Kugel möglichst groß sein, die innere Oberfläche möglichst diffus reflektieren und der Empfänger in Vergleich zur inneren Oberfläche klein sein und vor direkter Strahlung geschützt werden. Unter Berücksichtigung der Forderung nach Vermessung obengenannter Applikatoren mit 10 cm Länge und 20 mm Durchmesser läßt sich eine hierfür notwendige Ulbricht'sche Kugel schon von ihrer Größe her schwer in ein bestehendes Gerät oder Gerätedesign integrieren und bedingt außerdem einen hohen Fertigungsaufwand.

Aus US 5 251 004; US 5 057 682; US 4 580 557; US 4 710 642; DE 40 29 637 C1; DE 28 34 982 A1 und DE 28 32 847 A1 sind ferner Anordnungen bekannt, welche einen Hohlkörper mit einer diffus reflektierenden inneren Oberfläche umfassen, in dessen Wand Öffnungen zur Einführung einer zu untersuchenden Strahlungsquelle, beispielsweise eine Licht aussendende Lichtleitfaser, und zur Entnahme von Strahlung für die Erzeugung von von elektrischen Meßwerten mittels eines oder mehrerer fotoelektrischer Empfänger vorgesehen sind. Bei diesen Anordnungen wird innerhalb des Hohlkörpers durch eine entsprechende Ausgestaltung des reflektierenden Innenwand eine homogene Strahlungsverteilung erzeugt, so daß die durch eine Öffnung nach außen geführte und auf einen Empfänger geleitete Strahlung ebenfalls eine homogene Intensitätsverteilung besitzt und dieser herausgeleitete Strahlungsanteil zur Erzeugung von Meßwerten verwendet wird. Nachteilig ist zum einen die Größe der meist kugelförmig ausgebildeten Hohlkörper, die sich in andere Einrichtungen schwer integrieren lassen und zum anderen die Tatsache, daß nur ein kleiner Teil der Strahlung der Strahlungsquelle zur Gewinnung von Meßwerten Verwendung findet.

So liegt der Erfindung die Aufgabe zugrunde, eine Meßanordnung zu schaffen, die es mit geringem technischen Aufwand, bei geringem Raumbedarf und ohne diffus reflektierende, innere Oberfläche ermöglicht, die optische Strahlung einer Strahlungsquelle unabhängig von der Position der Strahlungsquelle in der Meßanordnung und unabhängig oder abhängig von ihrer Abstrahlungscharakteristik mit hoher Genauigkeit zu messen.

Erfindungsgemäß wird die Aufgabe mit den im kennzeichnenden Teil des ersten Patentanspruchs offenbarten Mitteln gelöst. In den weiteren Ansprüchen sind nähere Ausführungen und Einzelheiten der Erfindung dargelegt.

So beruht die erfindungsgemäße Meßanordnung im Gegensatz zur bekannten Ulbricht'schen Kugel auf dem Prinzip der Erfassung und der Umwandlung aller auf die Anordnung einwirkenden Strahlungsleistung, in dem nahezu die gesamte, von der Strahlungsquelle emittierte Strahlungsleistung durch entsprechende Detektoren oder Wandler in proportionale elektrische Meßsignale umgewandelt wird.

Eine günstige Ausführungsform der Anordnung ergibt sich, wenn die besagten Detektoren zur Erzeugung der Meßsignale aus einem oder mehreren fotoelektrischen Detektoren oder Empfängern aufgebaut sind, mit denen die innere Oberfläche des Moduls weitestgehend belegt ist. Vorteilhaft sind großflächige Fotodetektoren im Modul vorgesehen. Mit einer solchen Anordnung erfolgt eine direkte Umwandlung der emittierten Strahlung der Strahlungsquelle in verarbeitbare elektrische Meßsignale. Die Detektoren sind so zusammengeschaltet, daß sich die durch sie erzeugten Meßsignale addieren und eine möglichst linear proportionale Strahlungsleistung-(elektrische) Signal-Wandlung vorgenommen wird. Damit wird erreicht, daß nahezu die gesamte Leistung der Strahlungsquelle zur Signalbildung beitragen kann. Das so gebildete Summensignal wird an den Eingang der Auswerteeinrichtung weitergeleitet.

Als Detektoren können auch auf Wärme reagierende Meßfühler oder durch Wärme bedingte Ausdehnungen in elektrische Meßsignale umwandelnde Detektoren, wie z. B. Dehnmeßstreifen, im oder am Modul angeordnet werden. Die Detektoren oder Meßfühler sind so geschaltet, daß sich die durch sie erzeugten elektrischen Signale summieren. Diese elektrischen Signale werden dann ebenfalls der Auswerteeinrichtung zur Weiterverarbeitung zugeleitet.

In einer weiteren Ausführungsform kann auch eine Verarbeitung der einzelnen Meßsignale der Detektoren derart erfolgen, daß Rückschlüsse auf die Abstrahlcharakteristiken der Strahlungsquelle gezogen werden können. Hierbei werden die Meßsignale einzeln ausgewertet unter Berücksichtigung der Lage der betreffenden Detektoren innerhalb des Moduls.

Gemäß einer weiteren erfindungsgemäßen Anordnung sind die Wände des Moduls reflektierend ausgebildet, indem sie mit einem oder mehreren Reflektoren belegt sind. So umfaßt beispielsweise das Modul eine Basisplatte, eine Platte zur Aufnahme der zu untersuchenden Strahlungsquelle und einen mit der Basisplatte verbundenen Reflektor, wobei die dem Reflektor zugewandte Oberfläche der Basisplatte und die innere Fläche der 21 Aufnahmeplatte weitestgehend mit besagten Detektoren zur Erzeugung von Meßsignalen belegt sind. Damit wird u. a. erreicht, daß ein relativ großer Anteil der auf die Detektoren fallenden Strahlung direkt oder auch über wertere optische Elemente zur Meßsignalbildung beitragen kann.

Der Reflektor selbst ist vorteilhafter Weise aus einer reflektierenden Zylinderfläche und aus einer gegen die Basisfläche geneigten ebenen reflektierenden Fläche zusammengesetzt.

Die Auswerteschaltung umfaßt eine an sich bekannte elektronische Summensschaltung zur Summenbildung der durch die Empfänger erzeugten Signale. Damit wird für die gesamte, im Innern des Moduls freigesetzte Strahlung ein einziges elektrisches Signal erzeugt, welches z. B. der Strahlungsleistung proportional und selbst unabhängig von der örtlichen Position der Strahlungsquelle innerhalb des Moduls, ihrer Größe und ihrer Abstrahlcharakteristik ist.

Es ist vorteilhaft, wenn das die gesamte Anordnung umschließende Gehäuse und das Modul in mindestens einer seiner Begrenzungsflächen eine Öffnung besitzt, in die Aufnahmemittel zur Aufnahme der zu vermessenden Strahlungsquelle hineinragen. Diese Aufnahmemittel schützen vor allem das Innere des Modul, welches der eigentliche Meßraum der Anordnung ist, vor schädlichen äußeren Umwelteinflüssen.

Vorteilhafterweise ist das Aufnahmemittel für die zu vermessende Strahlungsquelle eine für die Strahlung transparente, erste Röhre, die fest mit dem Gehäuse verbunden und auswechselbar ist.

Um die Anordnung zu eichen und zu kalibrieren, sind im Innern des Moduls Justier- und/oder Kalibriermittel zur Kontrolle der physikalischen Verhältnisse im Meßvolumen des Moduls vorgesehen. Diese Mittel können raumsparend beispielsweise an einer der Innenflächen oder an der Aufnahmeplatte des Moduls angeordnet werden, um so möglichst wenig von der reflektierenden Fläche im Innern des Moduls zu verdecken.

Diese Justier- und Kalibriermittel können mindestens eine direkte Strahlungsquelle, wie z. B. ein Laser, eine Glühlampe, oder auch eine Leuchtdiode sein. Diese Strahlungsquelle kann auch eine indirekte Quelle sein, wie z. B. eine Lichtleitfaser oder ein Lichtwellenleiter.

Vorteilhaft ist es ferner, wenn eine zweite Röhre in der ersten Röhre auswechselbar angeordnet ist. Damit besteht auch die Möglichkeit eine sterilisierte zweite Röhre, in der die zu untersuchende Strahlungsquelle angeordnet wird, unkompliziert in die erste Röhre einzusetzen. Diese beiden Röhren bestehen aus einem für die betreffende Strahlung transparenten Werkstoff, vorzugsweise aus Glas oder aus einem transparenten Kunststoff.

Vorteilhaft ist ferner, daß die durch die Anordnung gewonnen Meßsignale direkt weiterverarbeitet und derart verwendet werden, daß die Strahlungsquelle selbst auf einen durch den Nutzer voreingestellten Wert automatisch oder manuell abgeglichen (kalibriert) wird.

Diese Anordnung kann auch unter Verwendung von kalibrierten, diffus oder gerichtet abstrahlenden Strahlungsquellen kalibriert und hinsichtlich der lokalen Meßgenauigkeit der zuvor genannten Detektoren zur Erzeugung der interessierenden Meßsignale überprüft werden. Zur Kalibrierung und Kontrolle der Kalibrierung bzw. der lokalen Meßempfindlichkeit der in der Anordnung genutzten Meßmittel wird die genutzte Strahlungsquelle relativ zur Anordnung oder in der Anordnung selbst bewegt.

Die Erfindung soll nachstehend an einem Ausführungsbeispiel näher erläutert werden. In der zugehörigen Zeichnung zeigen

Fig. 1 eine perspektivische Ansicht der erfindungsgemäßen Anordnung,

Fig. 2 eine Draufsicht auf einen Schnitt F-F durch die Anordnung,

Fig. 3 einen Schnitt A-A durch die Anordnung,

Fig. 4 einen Schnitt G-G durch die Anordnung,

Fig. 5 einen Querschnitt B-B durch die Anordnung,

Fig. 6 eine Anordnung mit einem Modul mit Reflektor,

Fig. 7 einen Schnitt D-D durch das Modul gemäß Fig. 6 und

Fig. 8 einen Schnitt C-C durch das Modul.

Die in Fig. 1 in perspektivischer Ansicht dargestellte Anordnung zur Messung der Leistung der optischen Strahlung von Strahlungsquellen umfaßt ein erstes äußeres Gehäuse 1, welches beispielsweise mittels Schrauben 2 an einer Grundplatte 3 (Fig. 3) befestigt ist und an dessen einer Stirnfläche 4 ein Aufnahmestutzen 5 angeordnet ist. Innerhalb des Gehäuses 1 ist ein Modul 6 vorgesehen, welches die Elemente zur Messung der Strahlung umfaßt.

Dieses Modul 6 umfaßt ein vorzugsweise quaderförmiges, zweites, inneres Gehäuse 7, welches an allen inneren Umfangflächen und an mindestens einer inneren Stirnfläche 8 weitestgehend vollflächig mit großflächigen Detektoren 9 bis 16, vorteilhaft mit Fotodetektoren, belegt ist, womit auch eine Kompensation der Abstrahlcharakteristiken von den zu untersuchenden Strahlungsquellen weitestgehend erreicht wird (Fig. 2, 3 und 5). Diese nahezu vollflächige Belegung der inneren Oberfläche des Moduls 6 mit Detektoren 9 bis 16, die auf die einfallende Strahlung in irgendeiner Weise reagieren, sei es, daß Fotoströme erzeugt werden, oder die Strahlung in Wärme gewandelt wird, welche dann beispielsweise durch Wärmefühler oder Dehnmeßstreifen in weiterverarbeitbare elektrische Signale umgewandelt wird oder in einer anderen geeigneten Weise, bewirkt, daß nahezu die gesamte, von der zu vermessenden Strahlungsquelle emittierte Strahlung unabhängig von ihrer räumlichen Verteilung zur Messung erfaßt wird. Diese Detektoren 9 bis 16 sind so geschaltet, daß ihre elektrischen Signale durch Summation zusammengefaßt sind und über eine geeignete elektronische Auswerteschaltung aufbereitet werden können. Diese Auswerteschaltung (nicht dargestellt) kann u. a. eine Summenschaltung zur Summenbildung der durch die Detektoren und Empfänger erzeugten elektrischen Signale umfassen. Eine elektronische Schaltung, welche unter anderem einen Strom-Spannungs- Wandler umfaßt, kann ebenfalls Bestandteil der Auswerteeinrichtung sein und ist gleichzeitig so ausgelegt, daß eine entsprechende wellenlängenabhängige Kalibrierung des gesamten Leistungsmeßgerätes (Powermeter) erfolgen kann. Hierzu wird ein am Eingang eines Wandlers anliegender, leistungsabhängiger Strom, beispielsweise in eine proportionale, leistungsabhängige Spannung am Ausgang des Wandlers umgesetzt.

Der Aufnahmestutzen 5 und die ihn tragende Stirnfläche 4 des Gehäuses 1 und die stirnseitige Abschlußplatte 17 des Moduls 6 (Fig. 3 und 4) besitzen eine Öffnung, in die eine durch Strahlung, Wärme oder chemische Mittel in Form von Gasen oder Flüssigkeiten sterilisierbare, zweite Röhre 18 eingebracht werden kann. Diese Röhre 18 wird durch den Aufnahmestutzen 5 gehalten und ragt in eine erste Röhre 19 aus für Strahlung transparentem Material ein, welche in der Stirnfläche 4 des Gehäuses 1 gelagert ist (Fig. 3).

Wie in den Fig. 3 bis 5 dargestellt, ist das Modul 6 innerhalb des äußeren Gehäuses 1 unter Zwischenschaltung von Dämpfungsgliedern 20 durch Befestigungsmittel 21 mit der Grundplatte 3 stoßgedämpft verbunden.

Wie in den Fig. 3 und 5 veranschaulicht, sind an der Innenseite der Abschlußplatte 17 des Moduls 6 Justier- und Kalibriermittel 21 angeordnet, mit welchen die physikalischen Verhältnisse innerhalb des Moduls 6 ermittelt werden können, um diese bei den Strahlungsmessungen entsprechend berücksichtigen zu können und um gegebenenfalls Korrekturen an diesen Messungen vorzunehmen.

In den Fig. 6 bis 8 ist in Draufsicht und in Schnitten eine Ausführungsform der erfindungsgemäßen Anordnung zur Messung optischer Strahlung von Strahlungsquellen dargestellt, bei welcher beispielsweise ein Modul 23 eine Basisplatte 24, eine Aufnahmeplatte 25 zur Aufnahme der zu untersuchenden Strahlungsquelle und einen mit der Basisplatte 24 verbundenen Reflektor 26 umfaßt. Um möglichst die gesamte Strahlung für die Messungen zu erfassen, besitzt der Reflektor 26 vorteilhaft eine reflektierende zylindrische Fläche 26.1 und eine gegen die Basisplatte 24 geneigte, ebene, reflektierende Fläche 26.2. Damit ist gewährleistet, daß sowohl der direkte als auch der reflektierte, also indirekte Strahlungsanteil der zu untersuchenden Strahlungsquelle (nicht dargestellt) zur Erzeugung von auswertbaren elektrischen Signalen durch die auf der dem Reflektor 26 zugewandten Oberfläche der Basisplatte 24 angeordneten Detektoren 27 bis 29 beiträgt.

In der Aufnahmeplatte 25 ist eine Öffnung 30 vorgesehen, in welche die zu untersuchende Strahlungsquelle in das Modul 23 eingeführt werden kann.

Auf der Innenfläche der Aufnahmeplatte 25 können vorteilhaft ebenfalls Justier- oder Kalibriermittel angeordnet werden, mit denen, wie bei der in den Fig. 1 bis 5 dargestellten Ausführung der Erfindung, die physikalischen Verhältnisse innerhalb des Moduls 23 zwecks Berücksichtigung bei den Strahlungsmessungen ermittelt werden.

Es auch möglich, unter Verwendung von kalibrierten, diffus oder gerichtet abstrahlenden Strahlungsquellen diese Anordnung zu kalibrieren und hinsichtlich der lokalen Meßgenauigkeit der Detektoren zur Erzeugung der interessierenden Meßsignale zu überprüfen.

Zur Kalibrierung und Kontrolle der Kalibrierung und/oder der fokalen Meßempfindlichkeit der in der Anordnung genutzten Meßmittel (Detektoren) kann auch die genutzte Strahlungsquelle relativ zur Anordnung oder in der Anordnung selbst bewegt werden.

Claims

1. Anordnung zur Messung der Leistung oder Energie optischer Strahlung von Strahlungsquellen, insbesondere von Laserstrahlung, mit einem Gehäuse, dadurch gekennzeichnet,

- daß ein, einen offenen oder mindestens teilweise geschlossenen Hohlraum eingrenzendes Modul vorgesehen ist, dessen Innen- oder Außenwände ganz oder teilweise mit Detektoren zur Erzeugung von den zu messenden Parametern der Strahlungsquellen proportionalen Meßsignalen belegt sind,
- daß die Detektoren so zusammengeschaltet sind, daß deren generierte Meßsignale zu mindestens einem resultierenden Summensignal weiterverarbeitet werden oder die Detektoren mit einer nachgeschalteten Verarbeitungseinrichtung zur Bildung von mindestens einem resultierenden Summensignal verbunden sind, wobei dieses mindestens eine resultierende Summensignal relativ unabhängig von der Lage, von der Gestalt und von der Abstrahlcharakteristik der zu untersuchenden Strahlungsquelle im Modul ist,
- und daß im Modul mindestens eine Öffnung oder Durchführung zum Einführen der zu untersuchenden Strahlungsquelle vorgesehen ist.

2. Anordnung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet,

- daß besagte Detektoren zur Erzeugung der genannten Meßsignale ein oder eine Anzahl fotoelektrischer Empfänger sind, die auf dem inneren oder äußeren fotoelektrischen Effekt beruhen.

3. Anordnung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet,

- daß besagte Detektoren zur Erzeugung der genannten Meßsignale auf Wärme reagierende Meßfühler oder durch Wärme bedingte Ausdehnungen in elektrische Meßsignale umwandelnde Detektoren sind.

4. Anordnung nach einem der vorgehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Wände des Moduls einen Reflektor oder mehrere Reflektoren umfassen, die einen relativ großen Anteil der auf sie fallenden Strahlung direkt oder über weitere optische Elemente auf die genannten Detektoren zur Erzeugung von Meßsignalen reflektieren.

5. Anordnung nach einem der vorgehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Meßsignale durch eine nachgeschaltete Auswerteschaltung zur Summenbildung der durch die Empfänger erzeugten Signale herangezogen werden, die dann selbst unabhängig von der örtlichen Lage, Größe oder Abstrahlcharakteristik der Strahlungsquelle sind.

6. Anordnung nach einem der vorgehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß in das Gehäuse und/oder in das Modul Aufnahmemittel zur Aufnahme der zu vermessenden Strahlungsquelle hineinragen.

7. Anordnung nach einem der vorgehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet,

- daß das Aufnahmemittel für die zu vermessende Strahlungsquelle eine für die jeweilige Strahlung vollständig oder teilweise transparente, erste Röhre ist, die fest mit dem Gehäuse und/oder Modul verbunden oder auswechselbar ist.

8. Anordnung nach einem der vorgehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet,

- daß im Innern des Moduls Justier und/oder Kalibriermittel zur Kontrolle des Justier- und Kalibrierzustandes der Anordnung vorgesehen sind.

9. Anordnung nach einem der vorhergehenden Ansprüche dadurch gekennzeichnet, daß das oder die Mittel zur Kalibrierung oder Kontrolle des Kalibrierzustandes der Anordnung mindestens eine Strahlungsquelle umfassen.

10. Anordnung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die zur Kalibrierung oder Kontrolle des Kalibrierzustandes verwendete mindestens eine Strahlungsquelle eine aktive Quelle in Form eines Lasers, einer Glühlampe, einer Bogenlampe, einer Wärmequelle, einer Leuchtdiode ist oder eine passive Quelle in Form einer Lichtleitfaser oder eines Lichtwellenleiters ist.

11. Anordnung nach einem der vorgehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet,

- daß eine für die zu vermessende Strahlung ganz oder teilweise transparente zweite Röhre in der ersten Röhre auswechselbar angeordnet ist.

12. Anordnung nach einem der vorgehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet,

- daß die Röhren aus Glas oder Kunststoff bestehen.

13. Anordnung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß mindestens eine der beiden Röhren sterilisierbar ist.

14. Anordnung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die durch die Anordnung gewonnen Meßsignale direkt weiterverarbeitet und derart verwendet sind, daß die Strahlungsquelle selbst auf einen durch den Nutzer voreingestellten Wert automatisch oder manuell abgeglichen (kalibriert) wird.

15. Anordnung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß diese Anordnung unter Verwendung von kalibrierten, diffus oder gerichtet abstrahlenden Strahlungsquellen kalibriert und hinsichtlich der lokalen Meßgenauigkeit der zuvor genannten Mittel zur Erzeugung der interessierenden Meßsignale überprüft werden kann.

16. Verfahren zur Kalibrierung und Kontrolle der Kalibrierung bzw. lokalen Meßempfindlichkeit der in der Anordnung nach dem einem der vorhergehenden Ansprüche genutzten Meßmittel, bei dem die genutzte Strahlungsquelle relativ zur Anordnung oder in der Anordnung selbst bewegt wird.