DE19917429A1 - Impulsschallwandler - Google Patents
ImpulsschallwandlerInfo
- Publication number
- DE19917429A1 DE19917429A1 DE19917429A DE19917429A DE19917429A1 DE 19917429 A1 DE19917429 A1 DE 19917429A1 DE 19917429 A DE19917429 A DE 19917429A DE 19917429 A DE19917429 A DE 19917429A DE 19917429 A1 DE19917429 A1 DE 19917429A1
- Authority
- DE
- Germany
- Prior art keywords
- block
- unit cell
- pulse transducer
- collar
- transducer according
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Withdrawn
Links
- 230000010287 polarization Effects 0.000 claims description 8
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 7
- 238000007493 shaping process Methods 0.000 claims 1
- 238000013016 damping Methods 0.000 description 6
- 230000005684 electric field Effects 0.000 description 6
- 238000010276 construction Methods 0.000 description 5
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 5
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 3
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 2
- 208000023514 Barrett esophagus Diseases 0.000 description 1
- 240000006829 Ficus sundaica Species 0.000 description 1
- 241000405217 Viola <butterfly> Species 0.000 description 1
- 230000006978 adaptation Effects 0.000 description 1
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 1
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 1
- 230000002411 adverse Effects 0.000 description 1
- 230000002238 attenuated effect Effects 0.000 description 1
- 230000009286 beneficial effect Effects 0.000 description 1
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 1
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 1
- 230000008030 elimination Effects 0.000 description 1
- 238000003379 elimination reaction Methods 0.000 description 1
- 230000005284 excitation Effects 0.000 description 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 1
- 238000009659 non-destructive testing Methods 0.000 description 1
- 230000010355 oscillation Effects 0.000 description 1
- 239000011295 pitch Substances 0.000 description 1
- 230000001902 propagating effect Effects 0.000 description 1
- 238000002604 ultrasonography Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B06—GENERATING OR TRANSMITTING MECHANICAL VIBRATIONS IN GENERAL
- B06B—METHODS OR APPARATUS FOR GENERATING OR TRANSMITTING MECHANICAL VIBRATIONS OF INFRASONIC, SONIC, OR ULTRASONIC FREQUENCY, e.g. FOR PERFORMING MECHANICAL WORK IN GENERAL
- B06B1/00—Methods or apparatus for generating mechanical vibrations of infrasonic, sonic, or ultrasonic frequency
- B06B1/02—Methods or apparatus for generating mechanical vibrations of infrasonic, sonic, or ultrasonic frequency making use of electrical energy
- B06B1/06—Methods or apparatus for generating mechanical vibrations of infrasonic, sonic, or ultrasonic frequency making use of electrical energy operating with piezoelectric effect or with electrostriction
- B06B1/0644—Methods or apparatus for generating mechanical vibrations of infrasonic, sonic, or ultrasonic frequency making use of electrical energy operating with piezoelectric effect or with electrostriction using a single piezoelectric element
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Transducers For Ultrasonic Waves (AREA)
- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Ultrasonic Waves (AREA)
- Piezo-Electric Transducers For Audible Bands (AREA)
- Surgical Instruments (AREA)
Abstract
Die Erfindung bezieht sich auf einen Impulsschallwandler im Ultraschallbereich. Wandler der bekannten Bauart verlangen aufwendige und damit kostspielige Technologie, falls sie wirklich gute Impulse generieren sollen. Aufgabe der Erfindung ist, ein Schallwandler für den Ultraschallbereich zu schaffen, der starke und kurze Impulse aussendet, eine große Empfindlichkeit aufweist und eine Wiederholbarkeit der Parameter garantiert. Diese Aufgabe wird durch einen Schallwandler für den Ultraschallbereich zum Einsatz sowohl als Sender wie auch als Empfänger mit einem Elementarblock aus piezokeramischem Material erreicht, wobei die Höhe des aus piezoelektrischem Material bestehenden Elementarblocks größer ist als dessen Breite und der Block am Austrittsende der Impulse einen angeformten Bund aufweist, so daß der Elementarblock im Längsschnitt eine T-Form aufweist, wobei die eine Elektrode auf der Austrittsfläche vorgesehen ist, während die andere oberhalb des Bundes an dem Block verläuft.
Description
Die Erfindung bezieht sich auf einen Impulsschallwandler im Ultraschallbereich.
Solche Wandler werden auf vielen Gebieten der Technik benötigt, wo kurze
Impulse notwendig sind. An erster Stelle steht dabei die Defektoskopie, woran sich
die Sonographie im medizinischen Bereich anschließt.
Die klassische Konstruktion eines solchen Wandlers besteht aus einer planparalle
len Platte aus piezoelektrischem Material, die an den beiden flachen Ober- und
Unterseiten Elektroden aufweist, wobei die Platte senkrecht zu den mit Elektroden
belegten Seiten polarisiert ist. Diese Platte ist auf einen Block aufgeklebt, der die
Ultraschallwelle dämpft und akustische Impedanz hat, die an die Piezoplatte
angepaßt ist. An der Austrittsseite sind sogenannte Anpassungsschichten
vorgesehen, die eine reflexionsfreie Schallübertragung und im Impulsbetrieb sehr
kurze Impulse erzielen lassen. Wandler dieser Art gehören zum bekannten
Stand der Technik, und eine gute Erörterung darüber und der dabei auftretenden
Probleme findet sich z. B. in dem Buch von M.G. Silk, Ultrasonic Transducers for
Nondestructive Testing, Adam Hilger 1984.
Wandler der bekannten Bauart verlangen eine aufwendige und damit kostspielige
Technologie, falls sie wirklich gute Impulse generieren sollen. Ferner sind die be
kannten Wandler relativ dick (mindestens 5 mm) und es ist so gut wie unmöglich,
sie für Frequenzen zu fertigen, die größer als 30 MHz sind. Auch werden bei
Impulsanregung nur relativ lange Pulse erzeugt, die sich nachteilig auf die
Messungen auswirken. Ein weiterer Nachteil besteht darin, daß sie sich nicht für
automatische Massenanfertigung eignen und auch ihre Parameter nicht in einem
engen Toleranzbereich gehalten werden können.
Relativ gute Impulsformen und auch gute Wiederholbarkeit besitzen Wandler mit
linsenförmigen Elementarblöcken, jedoch produzieren sie nur schwache Signale
und sind im Vergleich zu den klassischen Wandlern erheblich weniger empfindlich.
Die gleichen Nachteile wurden auch an Wandlern festgestellt, die durch spezielle
Elektrodengestaltung oder inhomogene Polarisation des Piezoelementes in der Lage
sind, relativ kurze Signale zu liefern.
Die der Erfindung zugrunde liegende Aufgabe besteht darin, einen Schallwandler
für den Ultraschallbereich zu schaffen, der starke und kurze Impulse aussendet,
eine große Empfindlichkeit aufweist und eine Wiederholbarkeit der Parameter bei
der Serienherstellung garantiert. Die gestellte Aufgabe wird erfindungsgemäß
durch die im kennzeichnenden Teil des Anspruches 1 enthaltenen Merkmale des
Impulsschallwandlers gelöst.
Der im Längsschnitt T-förmige Block, der Säulen-, Kegel- oder Pyramidenform mit
rundem, ovalem oder mehreckigem Querschnitt haben kann, ist so bemessen,
daß eine Dämpfung der Welle erfolgt, die sich ins Innere der Säule bewegt um zu
verhindern, daß sie an der freien Säulenwand reflektiert und als eine Nachschwin
gung nach außen tritt, die die Impulsqualität verschlechtert. Es kann somit auf
weitere Dämpfungsmittel verzichtet werden. Außerdem wird die Herstellung als
Massenartikel durch den Wegfall von zusätzlichen Dämpfungsmitteln und
Klebeverbindungen wesentlich erleichtert. Essentiell für die Erfindung ist die
Anformung eines Bundes an den Block zur Bildung der Elementarzelle. Diese
Formgebung, die gewählten Proportionen sowie die Anordnung der Elektroden, die
an der Austrittsfläche und um den Block herum oberhalb des Bundes angeordent
sind, sind ausschlaggebend für die Grundschwingung, die dadurch dreidimen
sional gestaltet ist. Es ist auch wichtig, daß infolge der erfindungsgemäßen Kon
struktion der Elementarzelle sich das elektrische Feld innerhalb der Elementarzelle
schließt und somit ein starker Impuls nach außen gesendet werden kann. Die
Grundpolarisationsrichtung des Piezomaterials soll senkrecht zu der Fußfläche,
also der Austrittsfläche des Impulses der T-förmigen Elementarzelle verlaufen.
Es wurde festgestellt, daß es besonders vorteilhaft ist, wenn die folgenden
Abmessungsverhältnisse eingehalten werden, nämlich a/b/h = 1/4-6/10,
wobei a die Dicke des Bundes, b der Durchmesser des Blocks bzw. dessen Breite
und h die Höhe der Elementarzelle ist. Die Größenverhältnisse der schallerzeugen
den Elementen, hier der Elementarzelle, sind bei allen schallwellenerzeugenden
Konstruktionen von ganz besonderer Bedeutung, wie Beispiele aus der Musikwelt
zeigen. So erzeugen die Violine, die Bratsche, das Cello und der Kontrabaß auf
grund ihrer unterschiedlichen Größenverhältnisse unterschiedliche Tonhöhen und
-tiefen.
Es hat sich ebenfalls gezeigt, daß eine zusätzliche radiale Polarisierung durch Anle
gen einer hohen Spannung die Stärke des Impulses verbessert. Höchstwahrschein
lich wirkt sich diese Polarisierung durch die Ausnutzung der zusätzlichen Piezoef
fekte vorteilhaft aus.
Weitere Einzelheiten der Erfindung werden anhand der beigefügten Zeichnungen
erläutert. Dabei zeigen:
Fig. 1 eine perspektivische Darstellung der Elementarzelle,
Fig. 2 den Verlauf des Impulses,
Fig. 3 das elektrische Feld innerhalb der Elementarzelle.
Fig. 1 zeigt die Elementarzelle 1 in perspektivischer Darstellung. Diese besteht
aus dem Block 2 und dem daran angeformten Bund 3. Der Bund ragt über den
Block heraus. In der gezeigten Darstellung ist die Elementarzelle 1 im Schnitt
dreieckförmig gehalten, sie kann aber auch jede andere Form besitzen. Sie kann
rund, oval und mehreckig sein, sowie nach obenhin spitz als Kegel oder Pyramide
zulaufen. Die eine Elektrode 4 ist an der geraden Austrittsfläche des Impulses an
geordnet, während die andere Elektrode 5 sich seitlich entlang dem Block 2 er
streckt. Es ist nicht erforderlich, daß die Elektrode 5 um den ganzen Block herum
läuft und auch nicht, daß die untere Elektrode die gesamte untere Fläche bedeckt.
Die Dicke des Bundes ist mit a, die Höhe des Blocks mit b, die Breite des Blocks
mit c und die Gesamthöhe der Elementarzelle 1 mit h gekennzeichnet. Der aktive
Bereich der Elementarzelle befindet sich im unteren Teil des Blocks und innerhalb
des Bundes. Wie schon erwähnt, sind die Proportionen der Elementarzelle von
essentieller Bedeutung. Es hat sich dabei gezeigt, daß die Dicke des Bundes im Ver
hältnis zu der Höhe des Blocks aus piezoelektrischem Material zu der Gesamthöhe,
also a/b/h im Verhältnis 1/4-6/10 zu halten ist, um optimale Ergebnisse zu
erzeugen. Optimale Ergebnisse heißt, daß starke und kurze Impulse ausgesendet
werden, und der Wandler eine große Empfindlichkeit aufweist. In Fig. 2 ist die mit
dem erfindungsgemäßen Schallwandler erreichte Impulskurve dargestellt.
Die erfindungsgemäße T-Form der Elementarzelle 1 ist von sehr großer Bedeutung,
da sie ermöglicht, daß das elektrische Feld zwischen den Elektroden innerhalb der
Elementarzelle geschlossen wird. In Fig. 3 ist das Bild des elektrischen Feldes in der
Elementarzelle wiedergegeben. Wie daraus ersichtlich, verläuft dieses nur
innerhalb der Elementarzelle des Wandlers. Diese Form ermöglicht außerdem eine
Volumenschwingung und dazu noch alle nach oben s. Fig. 1 gerichteten Wellen,
also entgegen der Impulsaustrittsfläche sich fortpflanzenden Wellen so dämpft, daß
sie nicht mehr an dem oberen Ende der Elementarzelle reflektiert werden können.
Von großer Bedeutung sind - wie schon ausgeführt - die Proportionen der Elemen
tarzelle. Das Verhältnis der einzelnen Teile der Elementarzelle ist bereits angegeben
worden. Die Höhe der Zelle h soll mindestens 10 mal größer als die der Höhe des
Bundes a sein. Die tatsächlichen Abmessungen können beispielsweise folgende
Werte haben: a = 0,2 mm, b = 1 mm und h = 2 mm. Ein solcher Wandler produziert
Impulse, die 20 ns lang sind und hat als Empfänger eine Bandbreite von
4-35 MHz.
Bei dem erfindungsgemäßen Wandler mit den genannten Proportionen wird die
Ultraschallwelle, die in der Zeichnung nach oben geht, total gedämpft. Der
komplette Wandler muß nicht dicker als 2 mm sein. Es ist sogar möglich, ihn
bedeutend dünner zu machen, wenn die Elementarzelle so konstruiert ist, daß
sie nach oben eine Spitze bildet, die die in diese Richtung gehende Welle vorzeitig
ausreichend dämpft.
Von Bedeutung ist es auch, daß bei den gewählten Größenverhältnissen die
Komponente des elektrischen Feldes, die zu dem Fuß der Elementarzelle 1, also den
Querbalken des T parallel ist, vergleichbar mit der dazu senkrechten Komponente
ist.
Infolge dieser Tatsache spielen alle Piezokoeffizienten des Piezomaterials eine im
wesentlichen gleichbedeutende Rolle. Es kommt zu einer Volumenschwingung des
aktiven Bereichs der Elementarzelle, die durch ihre Form und gezielte Anbringung
der Elektroden sowie nachträgliche Polarisierung in der radialen Richtung gestalt
bar ist. Die nachträgliche Polarisierung erfolgt nach Fertigstellung des Wandlers
bzw. der Elementarzelle durch Anlegen einer relativ hohen Spannung an seine
Elektroden. Diese Schwingungsart ermöglicht offensichtlich eine bessere Nutzung
des Piezoeffektes und beeinflußt auch die Dämpfung der nach hinten gehenden
Welle.
Die Eigenschaften des erfindungsgemäßen Wandlers werden dabei nur durch die
Eigenschaften des gewählten piezoelektrischen Materials und die Präzision der
Formgebung der Elementarzelle bestimmt, d. h. mit anderen Worten, der
erfindungsgemäße Wandler läßt sich mit sehr guter Wiederholbarkeit herstellen.
Wandler diesen Typs können eine oder mehrere Elementarzellen enthalten, die
miteinander verbunden werden können.
Der erfindungsgemäße Wandler ist in der Lage sehr kurze und sehr starke Impulse
zu produzieren, die mit anderen Wandlerkonstruktionen nicht erreichbar sind. Die
Amplitude der produzierten Impulse ist mindestens zweimal größer als bei den
klassischen Wandlern. Seine Empfindlichkeit ist mit den klassischen Konstruktio
nen vergleichbar. Der erfindungsgemäße Wandler läßt sich aber mit erheblich
niedrigeren Kosten herstellen und überall dort einsetzen, wo auch klassische
Wandlertypen verwendet werden können.
Zusammenfassend läßt sich sagen, daß mit dem erfindungsgemäßen Wandler im
Vergleich zu anderen nicht klassischen Konstruktionen eine erhebliche Steigerung
der Effektivität erreicht werden kann, da keine Verluste des elektrischen Feldes
nach außenhin auftreten und alle unerwünschten Schallwellen einer fast vollstän
digen Dämpfung unterworfen werden, ohne daß dazu eine große Keramikdicke oder
andere Dämpfungskörper benutzt werden müßten. Im Vergleich zu den klassischen
Konstruktionen ist die Impulslänge kürzer und die Amplitude größer. Keine der
bekannten Konstruktionen ist leichter zu fertigen.
Claims (5)
1. Impulsschallwandler für den Ultraschallbereich zum Einsatz sowohl als Sender
wie auch als Empfänger mit einem Elementarblock aus piezoelektrischem
Material,
dadurch gekennzeichnet,
daß die Höhe des aus piezoelektrischem Material bestehenden Elementarblocks
des Wandlers größer ist als dessen Breite und der Block am Austrittsende der
Impulse einen angeformten Bund derart aufweist, daß eine glatte
Austrittsfläche für die Schallwelle gebildet ist und im Längsschnitt eine T-Form
entsteht, wobei die Grundpolarisation senkrecht zur Austrittsfläche verläuft
und die eine Elektrode auf der Austrittsfläche vorgesehen ist, während die
andere oberhalb des Bundes an dem Block verläuft.
2. Impulsschallwandler nach Anspruch 1,
dadurch gekennzeichnet,
daß der Block als runde oder mehreckige Säule, Kegel oder Pyramide ausgebil
det und der Bund entsprechend angepaßt ist.
3. Impulsschallwandler nach Anspruch 1 oder 2,
dadurch gekennzeichnet,
daß die Proportion der Elementarzelle wie folgt gewählt ist:
a/b/h = 1/4-6/10, wobei a die Dicke des Bundes ist, b der Durchmesser oder die Breite des Blocks und h die Höhe der gesamten Zelle.
a/b/h = 1/4-6/10, wobei a die Dicke des Bundes ist, b der Durchmesser oder die Breite des Blocks und h die Höhe der gesamten Zelle.
4. Impulsschallwandler nach einem oder mehreren der vorhergehenden
Ansprüche,
dadurch gekennzeichnet,
daß die Elementarzelle nach der Formgebung einer zusätzlichen radialen
Polarisierung durch Anlegen einer hohen Spannung ausgesetzt wird.
5. Impulsschallwandler nach einem oder mehreren der Ansprüche 1-4,
dadurch gekennzeichnet,
daß der Wandler aus mehreren Elementarzellen zusammengesetzt ist, wobei
den Zellen um die Säulen oder dgl. längliche Gebilde Elektroden zugeordnet
sind, jedoch die Gesamtheit der Zellen eine Elektrode an der Gesamtaustritts
fläche der Pulse aufweist.
Priority Applications (8)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE19917429A DE19917429A1 (de) | 1999-04-19 | 1999-04-19 | Impulsschallwandler |
EP00929375A EP1169143B1 (de) | 1999-04-19 | 2000-04-18 | Impuls-ultraschallwandler mit einem elementarblock aus piezoelektischem material |
PCT/EP2000/003489 WO2000062946A1 (de) | 1999-04-19 | 2000-04-18 | Impuls-ultraschallwandler mit einem elementarblock aus piezoelektrischem material |
AT00929375T ATE285302T1 (de) | 1999-04-19 | 2000-04-18 | Impuls-ultraschallwandler mit einem elementarblock aus piezoelektischem material |
DE50009032T DE50009032D1 (de) | 1999-04-19 | 2000-04-18 | Impuls-ultraschallwandler mit einem elementarblock aus piezoelektischem material |
US10/070,351 US6720715B1 (en) | 1999-04-19 | 2000-04-18 | Impulse sound transducer with an elementary block made of piezoelectric material |
CA002366956A CA2366956A1 (en) | 1999-04-19 | 2000-04-18 | Impulse sound transducer with an elementary block made of piezoelectric material |
PL00351622A PL351622A1 (en) | 1999-04-19 | 2000-04-18 | Impulse sound transducer with an elementary block made of piezoelectric material |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE19917429A DE19917429A1 (de) | 1999-04-19 | 1999-04-19 | Impulsschallwandler |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE19917429A1 true DE19917429A1 (de) | 2000-10-26 |
Family
ID=7904937
Family Applications (2)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE19917429A Withdrawn DE19917429A1 (de) | 1999-04-19 | 1999-04-19 | Impulsschallwandler |
DE50009032T Expired - Fee Related DE50009032D1 (de) | 1999-04-19 | 2000-04-18 | Impuls-ultraschallwandler mit einem elementarblock aus piezoelektischem material |
Family Applications After (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE50009032T Expired - Fee Related DE50009032D1 (de) | 1999-04-19 | 2000-04-18 | Impuls-ultraschallwandler mit einem elementarblock aus piezoelektischem material |
Country Status (7)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US6720715B1 (de) |
EP (1) | EP1169143B1 (de) |
AT (1) | ATE285302T1 (de) |
CA (1) | CA2366956A1 (de) |
DE (2) | DE19917429A1 (de) |
PL (1) | PL351622A1 (de) |
WO (1) | WO2000062946A1 (de) |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100927493B1 (ko) * | 2001-11-02 | 2009-11-17 | 프로덕트 시스템즈 인코포레이티드 | 방사출력 메가소닉 변환기 |
US6984922B1 (en) * | 2002-07-22 | 2006-01-10 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Composite piezoelectric transducer and method of fabricating the same |
JP4473532B2 (ja) * | 2002-10-10 | 2010-06-02 | 日本碍子株式会社 | 圧電/電歪デバイス及び製造方法 |
Family Cites Families (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3271704A (en) * | 1963-03-25 | 1966-09-06 | Bell Telephone Labor Inc | Ultrasonic delay device |
DE2314420C3 (de) * | 1973-03-22 | 1978-03-30 | Siemens Ag, 1000 Berlin Und 8000 Muenchen | Piezoelektrische Taste |
US3891869A (en) * | 1973-09-04 | 1975-06-24 | Scarpa Lab Inc | Piezoelectrically driven ultrasonic generator |
SE455538B (sv) * | 1985-12-06 | 1988-07-18 | Tekniska Roentgencentralen Ab | Ultraljudssond for provning av ett slitsat eller halforsett materialstycke |
GB2225426B (en) * | 1988-09-29 | 1993-05-26 | Michael John Gill | A transducer |
WO1997016260A1 (de) * | 1995-11-02 | 1997-05-09 | Sonident Anstalt | Piezoelektrischer ultraschallwandler |
US5606297A (en) * | 1996-01-16 | 1997-02-25 | Novax Industries Corporation | Conical ultrasound waveguide |
US6777856B2 (en) * | 2001-08-02 | 2004-08-17 | Kistler Holding Ag | Crystal element for piezo sensors |
-
1999
- 1999-04-19 DE DE19917429A patent/DE19917429A1/de not_active Withdrawn
-
2000
- 2000-04-18 CA CA002366956A patent/CA2366956A1/en not_active Abandoned
- 2000-04-18 US US10/070,351 patent/US6720715B1/en not_active Expired - Fee Related
- 2000-04-18 WO PCT/EP2000/003489 patent/WO2000062946A1/de active IP Right Grant
- 2000-04-18 PL PL00351622A patent/PL351622A1/xx unknown
- 2000-04-18 AT AT00929375T patent/ATE285302T1/de not_active IP Right Cessation
- 2000-04-18 EP EP00929375A patent/EP1169143B1/de not_active Expired - Lifetime
- 2000-04-18 DE DE50009032T patent/DE50009032D1/de not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CA2366956A1 (en) | 2000-10-26 |
DE50009032D1 (de) | 2005-01-27 |
EP1169143B1 (de) | 2004-12-22 |
US6720715B1 (en) | 2004-04-13 |
WO2000062946A1 (de) | 2000-10-26 |
ATE285302T1 (de) | 2005-01-15 |
EP1169143A1 (de) | 2002-01-09 |
PL351622A1 (en) | 2003-05-19 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
DE2144892B2 (de) | Vorrichtung zur erzeugung eines troepfchenstrahles, insbesondere fuer tintentroepfchenschreiber | |
EP0421286A2 (de) | Piezoelektrischer Wandler | |
DE2537788A1 (de) | Ultraschallwandler | |
DE3732410A1 (de) | Ultraschallwandler mit astigmatischer sende-/empfangscharakteristik | |
DE3135096C2 (de) | ||
DE3143027C2 (de) | Piezoelektrischer Wandler | |
EP0436809A2 (de) | Ultraschallwandler mit piezoelektrischen Wandlerelementen | |
EP1169143B1 (de) | Impuls-ultraschallwandler mit einem elementarblock aus piezoelektischem material | |
WO2018224325A1 (de) | Ultraschallsensor | |
DE1114957B (de) | Elektromechanische Verzoegerungsvorrichtung | |
EP1145772B1 (de) | Ultraschallwandler und Verfahren zur Herstellung eines Ultraschallwandlers | |
EP1358476A2 (de) | Ultraschall-sensor für die prozesssteuerung beim widerstandspunktschweissen | |
DE2813289C2 (de) | Verfahren und Schaltungsanordnung zur Anregung von Ultraschallschwingern mit elektrischen Impulsen | |
WO1997016260A1 (de) | Piezoelektrischer ultraschallwandler | |
DE1273085B (de) | Elektromechanische Verzoegerungsanordnung | |
DE2712454C3 (de) | ||
DE102005029977A1 (de) | Vorrichtung mit einem adaptiven Biegewandler zur Abgabe eines Signaltons | |
DE102005037724A1 (de) | Piezoelektrischer Ultraschall-Wandler | |
DE10329387B3 (de) | Streifenförmiges mehrschichtiges Element nach Art eines piezokeramischen Bimorphs, mit elektrischen Kontakten zum Anlegen eines Signals zur Auslenkung des Elements | |
DE2613614A1 (de) | Ultraschall-schwinger, geeignet zur fluessigkeitszerstaeubung | |
DE745196C (de) | Einrichtung zur Registrierung oder Messung des Druckverlaufs von akustischen Wellen | |
DE2018571C (de) | Frequenzfilter mit einem piezoelektrischen Wandler | |
DE1814955A1 (de) | Elektroakustische Verzoegerungsleitung | |
DE2434715C3 (de) | Frequenzempfindliches elektromechanisches Filter | |
DE1566858C (de) |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
8139 | Disposal/non-payment of the annual fee |