DE19860506A1 - Programming system for EEPROMs, flash-EEPROMs, etc. - Google Patents

Abstract

The system has several memory cells, each with a FET and a charge capacitor. Three voltage sources (11,12,15) apply preset voltages, in connection with a threshold voltage, to each gate in each memory cell. A monitor (13) acts on the current flowing in the channel in each memory cell. A switch-off element acts on at least one voltage applied to each gate in each cell, when the current through the channel in the cell reaches a reference level. An Independent claim is given for a programming method using the system.

Description

Die Erfindung betrifft ein System und ein Verfahren zum Pro­ grammieren eines nichtflüchtigen Speichers.The invention relates to a system and a method for the pro program a non-volatile memory.

Im Allgemeinen besteht bei der Verwendung nichtflüchtiger Halbleiterspeicher, wie EEPROMs und Flash-EEPROMs, für Mas­ senspeichermedien der am schwierigsten zu überwindende Nach­ teil darin, daß die Kosten der Speicher pro Bit zu hoch sind. Um dieses Problem zu überwinden, wurden Studien an Speichern mit mehreren Bits pro Zelle ausgeführt. Die Pa­ ckungsdichte eines bekannten nichtflüchtigen Speichers ent­ spricht der Anzahl der Speicherzellen auf eineindeutige Wei­ se. Indessen werden bei einer Mehrbitzelle Daten von mehr als zwei Bits in einer Speicherzelle gespeichert, was die Datendichte bei Beibehaltung der Chipfläche erhöht. Bei Mehrbitzellen sollten für jede Zelle mehr als drei Schwel­ lenspannungen programmiert werden. Um z. B. Daten von mehr als zwei Bits pro Zelle zu speichern, müssen die jeweiligen Zellen mit 22, d. h. vier Schwellenspannungen, programmiert werden. Hierbei entsprechen die vier Schwellenspannungen den logischen Zuständen 00, 01, 10 bzw. 11.Generally, when using non-volatile Semiconductor memories, such as EEPROMs and Flash EEPROMs, for Mas sensor storage media the most difficult to overcome part in that the cost of memory per bit is too high are. To overcome this problem, studies have been undertaken Store with multiple bits per cell. The pa density of a known non-volatile memory ent speaks the number of memory cells in a clear way se. Meanwhile, in a multi-bit cell, data of more stored as two bits in a memory cell, which is the  Data density increased while maintaining the chip area. At Multi-bit cells should have more than three smoldering cells for each cell lens voltages can be programmed. To z. B. Data from more to save as two bits per cell, the respective Cells with 22, d. H. four threshold voltages, programmed become. Here the four threshold voltages correspond to logical states 00, 01, 10 or 11.

Bei einem Mehrpegelprogramm besteht das kritischste Problem darin, daß die jeweiligen Schwellenspannungen eine statis­ tische Verteilung aufweisen. Der Verteilungswert beträgt un­ gefähr 0,5 V. Wenn die Verteilung durch genaues Einstellen der jeweiligen Schwellenspannungen verringert wird, können mehr Pegel programmiert werden, was wiederum die Anzahl von Bits pro Zelle erhöht. Um die Spannungsverteilung zu verrin­ gern, existiert ein Verfahren zum Ausführen eines Program­ miervorgangs durch wiederholtes Programmieren und Verifizie­ ren. Gemäß diesem Verfahren wird eine Reihe von Programm­ spannungsimpulsen an die Zellen angelegt, um die nichtflüch­ tige Speicherzelle mit vorgesehenen Schwellenspannungen zu programmieren. Um zu verifizieren, ob die Zelle vorgesehene Schwellenspannung erreicht hat, erfolgt zwischen den jewei­ ligen Spannungsimpulsen ein Lesevorgang. Während der Verifi­ zierung endet die Programmierung, wenn die verifizierte Schwellenspannung die vorgesehene Schwellenspannung erreicht hat. Beim Schritt des Wiederholens von Programmier- und Ve­ rifiziervorgängen ist es schwierig, die Fehlerverteilung der Schwellenspannung zu verringern, und zwar wegen der be­ schränkten Impulsbreite der Programmierspannung. Außerdem ist der Algorithmus des Wiederholens von Programmier- und Verifiziervorgängen durch eine Schaltung realisiert, was die Fläche von Peripherieschaltungen auf einem Chip erhöht. Fer­ ner verlängert das wiederholte Verfahren die Programmier­ zeit. Um diesen Nachteil zu überwinden, schlug R. Cernea von SunDisk Co., Ltd. im am 6. Juni 1995 erteilten US-Patent Nr. 5,442,842 ein Verfahren zum gleichzeitigen Ausführen von Programmier- und Verifiziervorgängen vor.The most critical problem is with a multi-level program in that the respective threshold voltages a statis table distribution. The distribution value is un dangerous 0.5 V. If the distribution by precise adjustment of the respective threshold voltages can be reduced more levels are programmed, which in turn is the number of Bits per cell increased. To reduce the voltage distribution gladly, there is a procedure for executing a program programming process through repeated programming and verification ren. According to this procedure, a number of program voltage pulses applied to the cells to keep the non-cursed term memory cell with provided threshold voltages program. To verify if the cell is intended Threshold voltage has reached, takes place between each voltage pulses a read process. During the verifi The programming ends when the verified Threshold voltage reaches the intended threshold voltage Has. At the step of repeating programming and Ve it is difficult to determine the error distribution of the Reduce threshold voltage, because of the be limited pulse width of the programming voltage. Furthermore is the algorithm of repeating programming and Verification processes through a circuit realizes what the Area of peripheral circuits on a chip increased. Fer The repeated procedure then extends the programming time. To overcome this disadvantage, R. Cernea of SunDisk Co., Ltd. in U.S. Patent issued June 6, 1995  No. 5,442,842 a method for simultaneously executing Programming and verification processes.

Fig. 1A zeigt das Symbol- und Schaltdiagramm des von Cernea offenbarten nichtflüchtigen Speichers (EEPROM), und Fig. 1B ist ein Kurvenbild, das ein Programmierprinzip für den nichtflüchtigen Speicher von Fig. 1A veranschaulicht. FIG. 1A shows the symbol and circuit diagram of the non-volatile memory (EEPROM) disclosed by Cernea, and FIG. 1B is a graph illustrating a programming principle for the non-volatile memory of FIG. 1A.

Gemäß Fig. 1A besteht die nichtflüchtige Speicherzelle aus einem Steuergate, einem potentialungebundenen Gate, einer Source, einem Kanalbereich und einem Drain. Wenn eine Span­ nung an das Steuergate und den Drain angelegt wird, die dazu ausreicht, eine Programmierung zu verursachen, fließt Strom zwischen dem Drain und der Source. Wenn die so fließenden Ströme mit einem Bezugsstrom verglichen werden und ein Wert erreicht wird, der einem Bezugsstrom entspricht oder kleiner ist, wird ein Programmierabschlußsignal erzeugt. Gemäß die­ ser bekannten Technik wird die Verifizierung automatisch während der Programmierung ausgeführt, wodurch die Nachteile des Wiederholungsverfahrens kompensiert sind, bei dem Pro­ grammier- und Verifiziervorgänge wiederholt werden. Jedoch werden beim Verfahren gemäß Cernea die Schwellenspannungen nicht durch die Spannungen kontrolliert, wie sie an jeweili­ ge Elektroden von Feldeffekttransistoren an die Speicherzel­ le angelegt werden. Außerdem wurde gemäß dem am 27. August 1991 erteilten US-Patent Nr. 5,043,940 eine Mehrpegelpro­ grammierung auf solche Weise ausgeführt, daß die an jewei­ lige Ports einer Speicherzelle angelegte Spannung fixiert wird und den jeweiligen Pegeln entsprechende Bezugsströme variiert werden. Bei diesem Verfahren haben, wie es in Fig. 1B dargestellt ist, Bezugsströme zur Erfassung keine expli­ zite Beziehung zu den Schwellenspannungen der Zelle, und sie stehen in nichtlinearem Zusammenhang mit diesen.Referring to FIG. 1A, the non-volatile memory cell from a control gate, a floating gate, a source, a channel region and a drain. When a voltage is applied to the control gate and drain sufficient to cause programming, current flows between the drain and the source. When the currents thus flowing are compared with a reference current and a value is reached that is equal to or less than a reference current, a program completion signal is generated. According to this known technique, the verification is carried out automatically during the programming, which compensates for the disadvantages of the repetition method in which the programming and verification processes are repeated. However, in the method according to Cernea, the threshold voltages are not controlled by the voltages as they are applied to the respective electrodes of field effect transistors in the memory cells. In addition, according to US Patent No. 5,043,940 issued on August 27, 1991, multi-level programming was carried out in such a way that the voltage applied to the respective ports of a memory cell is fixed and reference currents corresponding to the respective levels are varied. In this method, as shown in FIG. 1B, reference currents for detection have no explicit relationship to the threshold voltages of the cell and are non-linearly related to them.

Außerdem wird, wie es in Fig. 2A veranschaulicht ist, dann, wenn Programmier- und Löschvorgänge einer Speicherzelle ge­ mäß dem zweiten Verfahren der bekannten Technik häufig wie­ derholt werden, ein Tunneloxidfilm zwischen dem potentialun­ gebundenen Gate und dem Kanal der Zelle physikalisch beein­ trächtigt, wobei immer mehr Ladungen dort festgehalten wer­ den, was allmählich den Programmpegel herabsetzt. Außerdem ist, wie es in Fig. 2B dargestellt ist, die Wahrscheinlich­ keitsdichteverteilung dafür, daß jede Schwellenspannung einem jeweiligen Mehrfachpegel entspricht, nicht gleichmä­ ßig, sondern sie wird breiter, wenn die Programmzeiten län­ ger sind, was zu einer Verringerung der Lesetoleranz führt.In addition, as illustrated in FIG. 2A, if programming and erasing operations of a memory cell are often repeated according to the second method of the prior art, a tunnel oxide film between the floating gate and the channel of the cell is physically impaired, with more and more charges being held there, which gradually lowers the program level. In addition, as shown in Fig. 2B, the probability density distribution that each threshold voltage corresponds to a respective multiple level is not uniform, but becomes wider as the program times are longer, which leads to a reduction in the reading tolerance.

Das oben genannte bekannte Verfahren zum Programmieren eines nichtflüchtigen Speichers zeigt die folgenden Schwierigkei­ ten.The above known method for programming a Non-volatile memory shows the following difficulty ten.

Erstens nimmt beim Verfahren zum Programmieren durch Wieder­ holen von Programmier- und Verifiziervorgängen die Beein­ trächtigung des Tunneloxidfilms mit zunehmender Anzahl von Programmier-/Löschvorgängen zu, wodurch sich eine allmähli­ che Verringerung des Programmierpegels und eine breitere Verteilung jeder Schwellenspannung, wie sie jedem Mehrfach­ pegel entspricht, ergibt, was die Lesetoleranz herabsetzt und die Programmierzuverlässigkeit verringert.First, the process of programming takes through again get the legs of programming and verification processes Prevention of tunnel oxide film with increasing number of Programming / deleting operations, which results in a gradual che reduction of the programming level and a wider Distribution of every threshold voltage, like any multiple level corresponds to what reduces the reading tolerance and reduces programming reliability.

Zweitens ist beim Verfahren zum Programmieren durch Variie­ ren eines jedem Pegel entsprechenden Bezugsstroms keine wir­ kungsvolle Programmierung möglich, da eine direkte und wir­ kungsvolle Mehrpegelsteuerung schwierig ist.Second, the procedure for programming by Variie no reference current corresponding to each level programming is possible because it is direct and we multi-level control is difficult.

Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, ein System und ein Verfahren zum Programmieren eines nichtflüchtigen Speichers zu schaffen, durch die jeder Pegel unmittelbar und wirkungs­ voll gesteuert werden kann. The invention is based, a system and a task Method of programming non-volatile memory to create through which each level is immediate and effective can be fully controlled.  

Eine andere Aufgabe der Erfindung ist es, ein System und ein Verfahren zum Programmieren eines nichtflüchtigen Speichers zu schaffen, die unabhängig von der Anzahl wiederholter Pro­ grammier- und Löschvorgänge zu einem gleichmäßigen Program­ mierzustand führen, wodurch sich verbesserte Programmierzu­ verlässigkeit ergibt.Another object of the invention is a system and a Method of programming non-volatile memory to create that regardless of the number of repeated pro gramming and deleting processes into a uniform program lubrication, which leads to improved programming reliability results.

Eine weitere Aufgabe der Erfindung ist es, ein System und ein Verfahren zum Programmieren eines nichtflüchtigen Spei­ chers zu schaffen, die übermäßiges Löschen von Zellen ver­ hindern können.Another object of the invention is a system and a method of programming a non-volatile memory chers to create the excessive cell deletion ver can hinder.

Diese Aufgaben sind durch die Systeme und Verfahren gemäß den beigefügten unabhängigen Ansprüchen gelöst.These tasks are according to the systems and procedures solved the attached independent claims.

Zusätzliche Vorteile, Aufgaben und andere Merkmale der Er­ findung werden teilweise in der folgenden Beschreibung dar­ gelegt, und teilweise werden sie dem Fachmann bei der Unter­ suchung des Folgenden oder beim Ausüben der Erfindung er­ kennbar. Die Aufgaben und Vorteile der Erfindung werden spe­ ziell durch die Maßnahmen erzielt, wie sie in den beigefüg­ ten Ansprüchen dargelegt sind.Additional advantages, tasks and other characteristics of the Er Invention are shown in part in the following description placed, and in part they are the specialist at the sub looking for the following or in practicing the invention recognizable. The objects and advantages of the invention will be discussed achieved through the measures as set out in the attached th claims are set out.

Die Erfindung wird aus der nachfolgenden detaillierten Be­ schreibung und den beigefügten Zeichnungen, die nur zur Ver­ anschaulichung dienen und demgemäß für die Erfindung nicht beschränkend sind, vollständiger zu verstehen sein.The invention will be apparent from the detailed Be description and the accompanying drawings, which are only for ver serve illustrative and therefore not for the invention restrictive, should be understood more fully.

Fig. 1A ist ein Schaltbild einer nichtflüchtigen Speicher­ zelle gemäß einem ersten beispielhaften bekannten Verfahren; Fig. 1A is a circuit diagram of a nonvolatile memory cell according to a first exemplary known method;

Fig. 1B ist ein Kurvenbild zum Erläutern eines Programmier­ prinzips des nichtflüchtigen Speichers von Fig. 1A; Fig. 1B is a graph for explaining a programming principle of the non-volatile memory of Fig. 1A;

Fig. 2A ist ein Kurvenbild, das ein Programmier-/Löschfen­ ster zeigt, das allmählich absinkt, wenn die Anzahl von Pro­ grammier-/Löschvorgängen gemäß einem zweiten beispielhaften bekannten Verfahren mit wiederholter Programmierung und Ve­ rifizierung zunimmt; Fig. 2A is a graph showing a programming / Löschfen art, which decreases gradually as the number of Pro grammier- / erase operations increases according to a second exemplary prior art method with repeated programming and Ve rifizierung;

Fig. 2B ist ein Kurvenbild, das die Verteilung von Schwel­ lenspannungen beim zweiten beispielhaften bekannten Verfah­ ren zeigt; Fig. 2B is shows a graph showing the distribution of lenspannungen smoldering ren the second exemplary known procedural;

Fig. 3 ist ein Blockdiagramm eines automatischen Verifizier- und Programmiersystems für einen nichtflüchtigen Speicher gemäß einem ersten bevorzugten Ausführungsbeispiel der Er­ findung; Fig. 3 is a block diagram of an automatic programming system for verification and a non-volatile memory according to a first preferred exemplary embodiment of the invention;

Fig. 4A-4G zeigen Signalverläufe an jedem Knoten in Fig. 3; Figures 4A-4G show waveforms at each node in Figure 3;

Fig. 5 ist ein Flußdiagramm, das einen Einzelpegel-Program­ mierprozeß gemäß dem ersten bevorzugten Ausführungsbeispiel der Erfindung zeigt; Fig. 5 is a flowchart showing a single level programming process according to the first preferred embodiment of the invention;

Fig. 6 zeigt eine Kapazitätsersatzschaltung einer Speicher­ zelle mit Ladungsspeichereinrichtung; Fig. 6 shows a capacity replacement circuit of a memory cell with charge storage device;

Fig. 7A ist ein Kurvenbild, das die Verteilung von Schwel­ lenspannungen zeigt, wenn das Programmierverfahren des ers­ ten Ausführungsbeispiels der Erfindung auf eine Speicherzel­ le mit Ladungsspeichereinrichtung angewandt wird; FIG. 7A is a graph showing the distribution of lenspannungen smoldering when the method of programming is used to charge storage means le ers th embodiment of the invention to a Speicherzel;

Fig. 7B ist ein Kurvenbild für die Verteilung von Schwellen­ spannungen über der Anzahl von Programmier-/Löschvorgängen, wenn das Programmierverfahren des ersten Ausführungsbei­ spiels der Erfindung auf eine Speicherzelle mit Ladungsspei­ chereinrichtung angewandt wird; FIG. 7B is a graph of the distribution of threshold voltages in excess of the number of program / erase operations when the programming method of the first Ausführungsbei is applied chereinrichtung game of the invention, a memory cell with Ladungsspei;

Fig. 8 zeigt ein Blockdiagramm eines automatischen Verifi­ zier- und Programmiersystems für einen nichtflüchtigen Spei­ cher gemäß einem zweiten Ausführungsbeispiel der Erfindung unter Verwendung einer angelegten variablen Spannung mit gleichzeitiger Stromerfassung; Fig. 8 shows a block diagram of an automatic verification and programming system for a non-volatile memory according to a second embodiment of the invention using an applied variable voltage with simultaneous current detection;

Fig. 9A-9H zeigen Signalverläufe an jedem Knoten, die den Mehrpegel-Programmierprozeß unter Verwendung einer variab­ len Steuergatespannung in Fig. 8 veranschaulichen; FIG. 9A-9H show waveforms at each node, which illustrate the multilevel programming process using a variab len control gate voltage in Fig. 8;

Fig. 10 zeigt ein Flußdiagramm für den Mehrpegel-Program­ mierprozeß unter Verwendung einer variablen Steuergatespan­ nung gemäß Fig. 8; Fig. 10 shows a flowchart for the multi-level program ming process using a variable control gate voltage clamping according to FIG. 8;

Fig. 11A zeigt ein Kurvenbild einer zu programmierenden Schwellenspannung über einer angelegten, zur Schwellenspan­ nung gehörigen Steuergatespannung; FIG. 11A is a graph showing a threshold voltage to be programmed over an applied, the threshold voltage clamping associated control gate voltage;

Fig. 11B zeigt ein Kurvenbild zur Änderung eines Drainstroms vom Anfang bis zum Ende des Programmiervorgangs für jeden Pegel; Fig. 11B shows a graph for changing a drain current from the beginning to the end of the programming process for each level;

Fig. 12A zeigt ein Kurvenbild der zu programmierenden Schwellenspannung über einer angelegten, zur Schwellenspan­ nung gehörigen Drainspannung; FIG. 12A shows a graph of the threshold voltage to be programmed over an applied, the threshold voltage clamping associated drain voltage;

Fig. 12B zeigt ein Kurvenbild einer zu programmierenden Schwellenspannung über einer angelegten, zur Schwellenspan­ nung gehörigen Sourcespannung; Fig. 12B shows a graph of a threshold voltage to be programmed versus an applied source voltage associated with the threshold voltage;

Fig. 12C zeigt ein Kurvenbild einer zu programmierenden Schwellenspannung über einem zugeführten, zur Schwellenspan­ nung gehörigen Bezugsstrom; FIG. 12C shows a graph of a threshold voltage to be programmed via a supplied, the threshold voltage clamping associated reference current;

Fig. 13A zeigt ein Kurvenbild der Verteilung der Schwellen­ spannungen beim Programmieren und Löschen, wenn das erfin­ dungsgemäße Verfahren auf einen Löschvorgang angewandt wird; und FIG. 13A is a graph showing the distribution of threshold voltages for programming and erasing, when the dung OF INVENTION modern method is applied to an erase operation; and

Fig. 13B zeigt ein Kurvenbild der Variation von Schwellen­ spannungen abhängig von der Anzahl von Programmier-/Lösch­ vorgängen, wenn das erfindungsgemäße Verfahren auf einen Löschvorgang angewandt wird. Fig. 13B shows a graph of the variation of threshold voltages depending on the number of programming / erase operations when the inventive method is applied to an erase operation.

Gemäß Fig. 3 enthält das Programmiersystem für einen nicht­ flüchtigen Speicher gemäß dem ersten bevorzugten Ausfüh­ rungsbeispiel der Erfindung mehrere Speicherzellen mit je­ weils einem Feldeffekttransistor (FET) mit einer Source, einem Drain, einem Steuergate und einer Ladungsspeicherein­ richtung, eine erste Spannungsquelle 11, die mit dem Steuer­ gate verbunden ist, eine dritte Spannungsquelle 15, die mit der Source verbunden ist, eine zweite Spannungsquelle 12, die mit dem Drain verbunden ist, eine Stromüberwachungsein­ heit 13 zum Überwachen des zwischen dem Drain und der Source fließenden Stroms sowie eine Bitleitungs-Auswähleinheit 14 zum Auswählen des Drains einer speziellen Zelle zur Program­ mierung. Jede nichtflüchtige Speicherzelle in Fig. 3 verfügt über einen Kanal für Stromfluß zwischen der Quelle und dem Drain, und ein Rechteck zwischen dem Kanal und dem Steuer­ gate kennzeichnet eine Ladungsspeichereinrichtung. Die La­ dungsspeichereinrichtung hat statische Kapazitätsbeziehungen zur Source, zum Drain und zum Steuergate, wobei das Ladungs­ niveau in ihr durch Spannungen kontrolliert wird, wie sie an der Source, dem Drain und dem Steuergate anliegen. Außerdem hängen die Kanalleitfähigkeit und die Schwellenspannung vom Ladungspegel in der Ladungsspeichereinrichtung ab. Die La­ dungsspeichereinrichtung kann ein potentialungebundenes Gate, eine Grenzfläche von Sauerstoff und Stickstoff oder ein Kondensator sein, und sie ist an einer Position angeord­ net, an der sie statische Kapazitätsbeziehungen zum Drain, zur Source und zum Steuergate haben kann. Wenn die Maßnahme zum Überwachen einer Änderung der Ladung die Leitfähigkeit des Kanals ist, sollte die Ladungsspeichereinrichtung zumin­ dest in einem Teil des Kanals vorhanden sein. Wenn die Maß­ nahme zum Überwachen einer Änderung des in der Ladungsspei­ chereinrichtung gespeicherten Ladungspegels direkt oder in­ direkt mit der Ladungsspeichereinrichtung verbunden ist, um die Spannung derselben zu überwachen, braucht die Ladungs­ speichereinrichtung nicht in einem Teil des Kanals vorhanden zu sein. Wenn die Ladungsspeichereinrichtung der nichtflüch­ tigen Speicherzelle von Fig. 3 ein potentialungebundenes Gate ist, hat sie das in Fig. 1A dargestellte Symbol. Das auf die erste, zweite und dritte Spannungsquelle 11, 12 und 15 gegebene Signal Ps bezeichnet ein von außen zugeführtes Programmierstartsignal, und Vstop ist ein Programmierstopp­ signal.Referring to FIG. 3, the programming system for a non-volatile memory includes in the first preferred exporting approximately example of the invention, a plurality of memory cells, each weils a field effect transistor (FET) device having a source, a drain, a control gate and a charge spoke Rein, a first voltage source 11, the is connected to the control gate, a third voltage source 15 which is connected to the source, a second voltage source 12 which is connected to the drain, a current monitoring unit 13 for monitoring the current flowing between the drain and the source, and a bit line Selection unit 14 for selecting the drain of a specific cell for programming. Each non-volatile memory cell in Fig. 3 has a channel for current flow between the source and the drain, and a rectangle between the channel and the control gate indicates a charge storage device. The charge storage device has static capacitance relationships to the source, the drain and the control gate, the charge level in it being controlled by voltages such as are present at the source, the drain and the control gate. In addition, the channel conductivity and the threshold voltage depend on the charge level in the charge storage device. The charge storage device may be a floating gate, an oxygen-nitrogen interface, or a capacitor, and is located at a position where it can have static capacitance relationships to the drain, source, and control gate. If the measure for monitoring a change in charge is the conductivity of the channel, the charge storage device should be present in at least part of the channel. If the measure for monitoring a change in the charge level stored in the charge storage device is directly or directly connected to the charge storage device to monitor the voltage thereof, the charge storage device need not be present in a part of the channel. If the charge storage device of the non-volatile memory cell of FIG. 3 is a floating gate, it has the symbol shown in FIG. 1A. The signal Ps given to the first, second and third voltage sources 11 , 12 and 15 denotes an externally supplied programming start signal, and Vstop is a programming stop signal.

Es sei angenommen, daß die Ladungsspeichereinrichtungen in allen nichtflüchtigen Speicherzellen durch Ultraviolett­ strahlung oder eine elektrische Maßnahme gelöscht wurden, bevor ein Programmiervorgang unter Verwendung des in Fig. 3 dargestellten Programmiersystems für einen nichtflüchtigen Speicher gestartet wird. In diesem Fall variieren die Lö­ schungszustände der nichtflüchtigen Speicherzellen im Allge­ meinen abhängig von Herstellprozeßbedingungen der Zellen, der elektrischen Löschintensität sowie Änderungen der elek­ trischen und physikalischen Eigenschaften der Zelle durch wiederholtes Programmieren und Löschen derselben. Der Ein­ fachheit der Erläuterung halber sei angenommen, daß der FET in jeder Zelle über ein p-Substrat und einen n-Kanal ver­ fügt, die Ladungsspeichereinrichtung in jeder Zelle zwischen dem Steuergate und dem Kanal vorhanden ist und der Strom durch den Kanal von der Ladungsmenge in der Ladungsspeicher­ einrichtung abhängt. Die Bitleitungs-Auswähleinheit 14 ver­ bindet den Drain einer speziellen, zu programmierenden Zelle mit der Stromüberwachungseinheit 13. Anstelle der Bitlei­ tungs-Auswähleinheit 14 kann eine Wortleitungs-Auswählein­ heit vorhanden sein, die beim Auswählen einer speziellen Speicherzelle das Steuergate auswählt.It is assumed that the charge storage devices in all non-volatile memory cells have been erased by ultraviolet radiation or an electrical measure before starting a programming operation using the non-volatile memory programming system shown in FIG. 3. In this case, the erase states of the non-volatile memory cells generally vary depending on the manufacturing process conditions of the cells, the electrical erase intensity, and changes in the electrical and physical properties of the cell by repeated programming and erasing thereof. For simplicity of explanation, assume that the FET has a p-type substrate and an n-channel in each cell, the charge storage device is present in each cell between the control gate and the channel, and the current through the channel from the amount of charge depends in the charge storage facility. The bit line selection unit 14 connects the drain of a special cell to be programmed to the current monitoring unit 13 . Instead of the bit line selection unit 14, there may be a word line selection unit which selects the control gate when a specific memory cell is selected.

Nun wird ein Verfahren zum Programmieren eines nichtflüchti­ gen Speichers unter Verwendung dieses Programmiersystems an­ hand der Fig. 3, 4A-4G und 5 erläutert.A method of programming a non-volatile memory using this programming system will now be explained with reference to FIGS. 3, 4A-4G and 5.

Gemäß diesen Figuren wird ein der Adresse einer speziellen Zelle entsprechendes Signal an den Bitleitungs-Auswählab­ schnitt 14 angelegt, um die spezielle, zu programmierende Zelle auszuwählen. Dann wird, wie es in Fig. 4A dargestellt ist, ein Programmierstartsignal Ps an die erste, zweite und dritte Spannungsquelle 11, 12 und 15 angelegt. Dabei werden, wie es in den Fig. 4B und 4C dargestellt ist, Spannungen Vc, V_D und Vs an die erste, zweite bzw. dritte Spannungsquelle 11, 12 bzw. 15 angelegt, so daß diese mit dem Steuergate, dem Drain bzw. der Source der ausgewählten speziellen Zelle verbunden werden. Diese Spannungen entsprechen den Schwel­ lenspannungen, die auf das Programmierstartsignal Ps hin zu programmieren sind. Beim Anlegen der Spannungen Vc, V_D und Vs wird der Programmiervorgang für die ausgewählte Zelle ge­ startet, und zwischen dem Drain und der Source derselben entsteht, wenn zwischen diesen ein Strom zu fließen beginnt, ein Inversionsbereich. Das Programmieren einer Zelle umfaßt die Bewegung von Ladung von/zu der Ladungsspeichereinrich­ tung zum Ändern der in derselben gespeicherten Ladungsmenge. In dieser Erläuterung ist angenommen, daß die Programmie­ rung in einer Bewegung von Elektronen, also negativen Ladun­ gen, durch Injektion heißer Ladungsträger in den Kanal oder durch Tunneln zur Ladungsspeichereinrichtung erfolgt. Vcsm(t) in Fig. 4D bezeichnet die Spannungsänderung in der Ladungsspeichereinrichtung über die Zeit, und Vcsm,_REF be­ zeichnet die Spannung der Ladungsspeichereinrichtung, bei der ein Programmierstoppsignal ausgegeben wird. Wie es in Fig. 4D dargestellt ist, fällt, wenn ein Elektron in die Ladungsspeichereinrichtung der ausgewählten Zelle injiziert wird, die Spannung Vcsm der Ladungsspeichereinrichtung der­ selben, was den Abfall eines durch den Kanal fließenden Stroms verursacht. Außerdem überwacht die Stromüberwachungs­ einheit 13 dauernd den durch den Kanal der ausgewählten Zel­ le fließenden Strom I_D(t), bis derselbe einen Bezugsstrom I_REF erreicht, wenn die Stromüberwachungseinheit 13 ein Pro­ grammstoppsignal Vstop ausgibt, um zumindest eine der Span­ nungen abzuschalten, wie sie an den Drain, die Source und das Steuergate der ausgewählten Zelle gelegt werden. Danach wird derselbe Vorgang für jede Zelle wiederholt. Aus Fig. 4G ist erkennbar, daß alle Zellen mit anfangs voneinander ver­ schiedenen Schwellenspannungen zu Zellen mit Schwellenspan­ nungen werden, die durch den genannten Vorgang auf denselben Wert programmiert sind.In these figures, a signal corresponding to the address of a particular cell is applied to the bit line selector section 14 to select the particular cell to be programmed. Then, as shown in Fig. 4A, a program start signal Ps is applied to the first, second and third voltage sources 11 , 12 and 15 . In this case, as shown in FIGS. 4B and 4C, voltages Vc, V _D and Vs to the first, second and third voltage source 11, applied 12 and 15, respectively, so that these with the control gate, the drain, or the source of the selected special cell. These voltages correspond to the threshold voltages which are to be programmed in response to the programming start signal Ps. When the voltages Vc, V _D and Vs are applied, the programming process for the selected cell is started, and an inversion region arises between the drain and the source thereof when a current begins to flow between them. Programming a cell involves moving charge from / to the charge storage device to change the amount of charge stored therein. In this explanation it is assumed that the programming takes place in a movement of electrons, that is to say negative charges, by injecting hot charge carriers into the channel or by tunneling to the charge storage device. Vcsm (t) in FIG. 4D denotes the voltage change in the charge storage device over time, and Vcsm, _REF denotes the voltage of the charge storage device at which a programming stop signal is output. As shown in Fig. 4D, when an electron is injected into the charge storage device of the selected cell, the voltage Vcsm of the charge storage device thereof drops, causing a current flowing through the channel to drop. In addition, the current monitoring unit 13 continuously monitors the current I _D (t) flowing through the channel of the selected cell until the same reaches a reference current I _REF when the current monitoring unit 13 outputs a program stop signal Vstop to switch off at least one of the voltages, such as they are placed on the drain, source and control gate of the selected cell. Then the same process is repeated for each cell. From Fig. 4G it can be seen that all cells with initially different ver threshold voltages become cells with threshold voltages, which are programmed to the same value by the aforementioned process.

Beziehungen der an den Drain, die Source und das Steuergate gelegten Spannungen V_D, Vs bzw. Vc und der Schwellenspannung vor und nach dem Programmieren werden nun unter Bezugnahme auf Fig. 6 erläutert, die eine Kapazitätsersatzschaltung einer Speicherzelle mit Ladungsspeichereinrichtung zeigt.Relationships between the voltages V _D , Vs and Vc, respectively, applied to the drain, the source and the control gate and the threshold voltage before and after programming will now be explained with reference to FIG. 6, which shows a capacitance replacement circuit of a memory cell with a charge storage device.

In Fig. 6 bezeichnet C die Kapazität zwischen dem Steuergate und der Ladungsspeichereinrichtung, C_D bezeichnet die Kapa­ zität zwischen dem Drain und der Ladungsspeichereinrichtung, und Cs bezeichnet die Kapazität zwischen der Source (ein­ schließlich des Substrats) und der Ladungsspeichereinrich­ tung. Die Summe C_T der Kapazitäten kann wie folgt wiederge­ geben werden:
In Fig. 6, C denotes the capacitance between the control gate and the charge storage device, C _D denotes the capacitance between the drain and the charge storage device, and Cs denotes the capacitance between the source (including the substrate) and the charge storage device. The total C _{T of} the capacities can be represented as follows:

C_T = Cc + C_D + Cs (1).C _T = Cc + C _D + Cs (1).

Ein Kopplungskoeffizient ist für jede Kapazität so defi­ niert, wie es in der folgenden Gleichung (2) wiedergegeben ist:
A coupling coefficient is defined for each capacitance as shown in the following equation (2):

αc = Cc/C_T, α_D = C_D + C_T, αs = Cs/C_T (2).αc = Cc / C _T , α _D = C _D + C _T , αs = Cs / C _T (2).

Außerdem ist die Spannung in der Ladungsspeichereinrichtung während eines Programmiervorgangs allgemein durch die fol­ gende Gleichung (3) wiedergebbar:
In addition, the voltage in the charge storage device during a programming process can generally be represented by the following equation (3):

Vcsm(t) = αcVc + α_DV_D + αsVs + Qcsm(t)/C_T (3).Vcsm (t) = αcVc + α _D V _D + αsVs + Qcsm (t) / C _T (3).

Darin bezeichnet Qcsm die Ladungsmenge, wie sie im Über­ schuß durch Ultraviolettstrahlung in Bezug auf den neutra­ len Zustand der Ladungsspeichereinrichtung innerhalb einer Zeitperiode (t) gelöscht wird. Für die Schwellenspannungs­ verschiebung ausgehend von der Schwellenspannung der La­ dungsspeichereinrichtung im neutralen Zustand, hervorgerufen durch die vom Steuergate her gemessene gespeicherte Ladung, gilt ΔV_T,UV = -Qcsm(t)/Cc. Außerdem kann die Gleichung (3) für ΔV_T,UV so umgeschrieben werden, wie es in der folgenden Gleichung (4) angegeben ist:
In it, Qcsm denotes the amount of charge as it is deleted in excess by ultraviolet radiation with respect to the neutral state of the charge storage device within a period of time (t). For the threshold voltage shift based on the threshold voltage of the charge storage device in the neutral state, caused by the stored charge measured by the control gate, ΔV _{T, UV} = -Qcsm (t) / Cc applies. In addition, the equation (3) for ΔV _{T, UV can} be rewritten as given in the following equation (4):

ΔV_T,UV(t) = Vc + [α_DV_D + αsVs - Vcsm(t)]/αc (4).ΔV _{T, UV} (t) = Vc + [α _D V _D + αsVs - Vcsm (t)] / αc (4).

D.h., daß ΔV_T,UV(t) in der Gleichung (4) die Verschiebung der Schwellenspannung repräsentiert, wie zum Zeitpunkt t ausgehend vom Steuergate gemessen. Die Verschiebung der Schwellenspannung ist eine vom Steuergate aus gemessene Schwellenspannung, die durch in der Ladungsspeichereinrich­ tung angesammelte Ladungen verursacht ist. Die Verschiebung der Schwellenspannung ist bei einer festen Vorspannung pro­ portional zur Menge der in der Ladungsspeichereinrichtung gespeicherten Elektronen.This means that ΔV _{T, UV} (t) in equation (4) represents the shift in the threshold voltage, as measured at time t starting from the control gate. The shift in the threshold voltage is a threshold voltage measured from the control gate, which is caused by charges accumulated in the charge storage device. The shift in the threshold voltage is proportional to the amount of electrons stored in the charge storage device at a fixed bias.

Außerdem kann dann, wenn der Wert der Spannung Vcsm(t_PGM) der Ladungsspeichereinrichtung zum Zeitpunkt t_PGM, zu dem die Programmierung endet, als V^csm _REF definiert wird, die durch diese Spannung hervorgerufene Verschiebung der Schwel­ lenspannung, wie sie vom Steuergate aus gesehen wird, durch die folgende Gleichung (5) wiedergegeben werden:
In addition, if the value of the voltage Vcsm (t _PGM ) of the charge storage device at time t _PGM , at which the programming ends, is defined as V ^csm _REF , the shift in the threshold voltage caused by this voltage, as seen from the control gate is represented by the following equation (5):

ΔV_T,UV = Vc + [α_DV_D + αsVs - V^csm _REF]/αc (5).ΔV _{T, UV} = Vc + [α _D V _D + αsVs - V ^csm _REF ] / αc (5).

Außerdem kann ein durch einen Kanal des FET fließender Strom I_D für alle Betriebsbereiche einschließlich eines Sätti­ gungszustands und eines Triodenzustands als folgende Glei­ chung (6) wiedergegeben werden:
In addition, a current I _D flowing through a channel of the FET can be represented for all operating ranges including a saturation state and a triode state as the following equation (6):

I_D = f(Vcsm - V^csm _T) (6).I _D = f (Vcsm - V ^csm _T ) (6).

Die Gleichung (6) repräsentiert eine Funktion betreffend die Differenz zwischen der Spannung Vcsm und der an ihr über­ wachten Schwellenspannung V^csm _T. In der Gleichung (6) setzt die Funktion f im Allgemeinen I_D und (Vcsm - V^csm _T) in ein­ eindeutiger Weise in Beziehung, und zwar unabhängig davon, ob sie eine einfach ansteigende Funktion (mit linearem Ver­ hältnis Eingangssignal/Ausgangssignal) oder nicht aufweist. Wie bei der Gleichung (5) kann bei der Gleichung (6) eine Spannung V^csm _REF an der Ladungsspeichereinrichtung nach dem Programmieren aufgrund der Gleichung (6) als Gleichung (7) wiedergegeben werden, wenn für die Spannung an der Ladungs­ speichereinrichtung beim Programmierungsstopp Vcsm = V^csm _REF gilt und der Strom zu diesem Zeitpunkt I_D = I_REF ist:
Equation (6) represents a function relating to the difference between the voltage Vcsm and the threshold voltage V ^csm _T ^{monitored thereon} . In equation (6), the function f generally relates I _D and (Vcsm - V ^csm _T ) in a unique way, regardless of whether it is a simple increasing function (with a linear input signal / output signal ratio) or does not have. As in equation (5), in equation (6), a voltage V ^csm _REF on the charge storage ^device after programming can be represented as equation (7) based on equation (6) if, for the voltage on the charge storage device at the programming stop, Vcsm = V ^csm _REF applies and the current at this time I _D = I _REF is:

V^csm _REF = V^csm _T + f¹(I_REF) (7).V ^csm _REF = V ^csm _T + f ¹ (I _REF ) (7).

Die Schwellenspannung am Steuergate kann im Allgemeinen als Summe aus einer Schwellenspannung V^csm _T/αc im neutralen Zu­ stand der Ladungsspeichereinrichtung und einer Schwellen­ spannung ausgedrückt werden, die durch die in der Ladungs­ speichereinrichtung gespeicherte Ladung verschoben ist, wie es in der folgenden Gleichung (8) angegeben ist:
The threshold voltage at the control gate can generally be expressed as the sum of a threshold voltage V ^csm _T / αc in the neutral state of the charge storage device and a threshold voltage which is shifted by the charge stored in the charge storage device, as is shown in the following equation (8 ) is given:

V_T = V^csm _T/αc + ΔV_T,UV (8).V _T = V ^csm _T / αc + ΔV _{T, UV} (8).

In diesem Fall enthält die Schwellenspannung V^csm _T im neu­ tralen Zustand der Ladungsspeichereinrichtung eine Schwel­ lenspannung, die durch Injektion von Kanalionen verschoben ist. Demgemäß kann die Gleichung (8) unter Verwendung der Gleichungen (7) und (5) für die am Steuergate gemessene Spannung zu einer Gleichung (9) wie folgt umgeschrieben wer­ den:
In this case, the threshold voltage V ^csm _T in the neutral state of the charge storage device contains a threshold voltage which is shifted by injection of channel ions. Accordingly, using equations (7) and (5) for the voltage measured at the control gate, equation (8) can be rewritten to an equation (9) as follows:

V_T = Vc + [α_DV_D + αsVs - f¹(I_REF)]/αc (9).V _T = Vc + [α _D V _D + αsVs - f ¹ (I _REF )] / αc (9).

Aus der Gleichung (9) ist erkennbar, daß die am Steuergate überwachte Schwellenspannung keine Beziehung zur Schwellen­ spannung V^csm _T/αc im neutralen Zustand der Ladungsspeicher­ einrichtung hat. Die Anfangsschwellenspannung der Ladungs­ speichereinrichtung, die eine Variable ist, die beim FET- Herstellungsprozeß festgelegt wird, hängt von solchen Hauptfaktoren wie der Dotierungskonzentration im Kanal sowie dem Material und der Dicke des Isolators zwischen der La­ dungsspeichereinrichtung und dem Kanal ab.From equation (9) it can be seen that the threshold voltage monitored at the control gate has no relation to the threshold voltage V ^csm _T / αc in the neutral state of the charge storage ^device . The initial threshold voltage of the charge storage device, which is a variable set in the FET manufacturing process, depends on such major factors as the doping concentration in the channel and the material and thickness of the insulator between the charge storage device and the channel.

Nun wird das Ergebnis einer Anwendung des Programmierverfah­ rens anhand der Fig. 7A und 7B erläutert.The result of using the programming method will now be explained with reference to FIGS . 7A and 7B.

Wenn das erfindungsgemäße Programmierverfahren für einen einzelnen Pegel auf mehrere Speicherzellen mit Steuergates mit Schwellenspannungen V^c _T.E0 - V^c _T.E(n-1) im Löschungszu­ stand, in dem die Spannung am Steuergate, der Source und am Drain beibehalten werden, angewandt wird, zeigen alle an den Steuergates überwachten Schwellenspannungen V^c _T.PGM nach dem Programmieren dieselben Werte, wenn f¹(I_REF) jeweils gleich ist, wie es in Fig. 7A dargestellt ist. Das oben genannte Prinzip kann auf in Löschvorgängen gelöschte Zellen mit von­ einander verschiedenen Schwellenspannungen oder dann ange­ wandt werden, wenn ein Programmier- und Löschvorgang jeweils für jede Zelle angewandt wird. Dies beinhaltet, daß selbst bei Anwendung des erfindungsgemäßen Programmierverfahrens auf einen nichtflüchtigen Speicher mit Zellen, dessen La­ dungsspeichereinrichtungen voneinander verschiedene, von Null abweichende Anfangsladungsmengen Q_INIT aufweisen, und die eine große Verteilung der Schwellenspannung aufweisen, die Zellen nach dem Programmieren dieselben Schwellenspan­ nungen zeigen. Dies, weil selbst dann, wenn die Ladungsspei­ chereinrichtungen voneinander verschiedene Anfangsladungs­ mengen Q_INIT nach dem Löschen aufweisen, Ladung in jede La­ dungsspeichereinrichtung so eingespeichert wird, daß die Schwellenspannungen an den Steuergates am Ende dieselben sind, wenn das Programmieren bei derselben Vorspannung und bei einem festen Bezugsstrom im Verlauf unterbrochen wird, wie in Fig. 9 dargestellt. Daraus ergibt sich, daß die Zel­ len selbst bei Programmierung auf einen einzelnen Pegel die­ selbe Schwellenspannung ohne jede Verteilung aufweisen kön­ nen, wie in Fig. 7A dargestellt, wenn das erfindungsgemäße Programmierverfahren auf den Fall angewandt wird, in dem die Ladungsspeichereinrichtungen in mehreren Zellen Löschzustän­ de mit einer großen Verteilung der Schwellenspannung zeigen. Auch sind bei Programmier- und Löschvorgängen für eine Zel­ le, wie in Fig. 7B veranschaulicht, die Verteilungen aller Schwellenspannungen V^c _T.PGM nach dem Programmieren gleichmä­ ßig, und zwar unabhängig von Wirkungsgraden der programmier­ ten Zellen oder einer physikalischen oder elektrischen Be­ einträchtigung der Tunneloxidfilme von Zellen, wie bei wie­ derholten Programmier- und Löschprozessen hervorgerufen.When the programming method according to the invention for a single level on several memory cells with control gates with threshold voltages V ^c _T.E0 - V ^c _{TE (n-1) was} in the erasure state, in which the voltage at the control gate, the source and at the drain are maintained, is applied all indicate the control gates of the monitored threshold voltages V ^c _T.PGM after programming the same values, if f ¹ (I _REF) is the same, as shown in Fig. 7A. The above principle can be applied to cells erased in erasures with different threshold voltages, or when a program and erase operation is applied to each cell. This means that even when the programming method according to the invention is applied to a nonvolatile memory with cells, the charge storage devices of which have different, non-zero initial charge quantities Q _INIT and which have a large distribution of the threshold voltage, the cells show the same threshold voltages after programming. This is because even if the charge storage devices have different initial charge amounts Q _INIT after erasure, charge is stored in each charge storage device such that the threshold voltages at the control gates are ultimately the same when programming with the same bias and one fixed reference current is interrupted in the course, as shown in Fig. 9. As a result, even when programmed to a single level, the cells can have the same threshold voltage without any distribution, as shown in Fig. 7A when the programming method of the present invention is applied to the case where the charge storage devices in multiple cells are erased show de with a large distribution of the threshold voltage. Also, in programming and erasing operations for a cell, as illustrated in FIG. 7B, the distributions of all threshold voltages V ^c _T.PGM after programming are uniform, regardless of the efficiency of the programmed cells or a physical or electrical impairment of the tunnel oxide films of cells, as in repeated programming and erasing processes.

Die Beziehung zwischen an die Source und den Drain angeleg­ ten Spannungen und der Schwellenspannung kann unter Verwen­ dung der Gleichung (9) durch die folgenden Gleichungen (10) und (11) wiedergegeben werden:
The relationship between the voltages applied to the source and the drain and the threshold voltage can be represented using the following equations (10) and (11) using the equation (9):

αcV_T/αs = Vc + [α_DV_D + αsVs - f¹(I_REF)]/αs (10)
αcV _T / αs = Vc + [α _D V _D + αsVs - f ¹ (I _REF )] / αs (10)

αcV_T/αs = Vc + [α_sV_s + αcVc - f¹(I_REF)]/α_D (11).αcV _T / αs = Vc + [α _s V _s + αcVc - f ¹ (I _REF )] / α _D (11).

Als Nächstes wird eine Mehrpegelanwendung des erfindungsge­ mäßen Programmierverfahrens erläutert.Next, a multi-level application of the fiction programming procedure explained.

Bei einer Mehrpegelanwendung des erfindungsgemäßen Program­ miervorfahrens sollte jede Schwellenspannung innerhalb eines sehr engen Bereichs liegen. D.h., daß dann, wenn die Ver­ teilung einer jeweiligen Schwellenspannung eng gemacht wird, Zellen so programmiert werden können, daß sie jeweils meh­ rere Schwellenspannungen (mehrere Pegel) aufweisen. Die Mehrpegelanwendung des erfindungsgemäßen Programmierverfah­ rens kann, für automatisches Programmieren und Verifizieren, auf zwei Arten ausgeführt werden. Die erste Art ist eine Mehrpegelprogrammierung, bei der an die Source, den Drain und das Steuergate einer Zelle, die im Programmsystem eines nichtflüchtigen Speichers, wie in Fig. 3 dargestellt, pro­ grammiert werden soll, variiert werden. Die zweite ist eine Mehrpegelprogrammierung, bei der ein Bezugsstrom variiert wird, wie er der Stromüberwachungseinheit 13 im in Fig. 3 dargestellten Programmiersystem eines nichtflüchtigen Spei­ chers zugeführt wird. Die erste kann auf drei Arten abhängig davon ausgeführt werden, ob die variable Spannung an das Steuergate, den Drain oder die Source angelegt wird. Bezie­ hungen für mehrere Schwellenspannungen mit mehreren an jeden Knoten (Steuergate, Drain und Source) angelegten, den Schwellenspannungen entsprechenden Spannungen sind in den Gleichungen (9), (10) und (11) angegeben. Außerdem können Beziehungen für mehrere Schwellenspannungen und dem Bezugs­ strom durch die folgenden Gleichungen (12), (13), (14) und (15) wiedergegeben werden:
In a multi-level application of the programming method according to the invention, each threshold voltage should be within a very narrow range. That is, if the distribution of a respective threshold voltage is made narrow, cells can be programmed so that they each have several threshold voltages (several levels). The multi-level application of the programming method according to the invention can be carried out in two ways for automatic programming and verification. The first type is multi-level programming in which the source, drain and control gate of a cell to be programmed in the program system of a non-volatile memory, as shown in FIG. 3, are varied. The second is multi-level programming, in which a reference current is varied as it is supplied to the current monitoring unit 13 in the programming system of a non-volatile memory shown in FIG. 3. The first can be carried out in three ways depending on whether the variable voltage is applied to the control gate, the drain or the source. Relationships for multiple threshold voltages with multiple voltages applied to each node (control gate, drain and source) corresponding to the threshold voltages are given in equations (9), (10) and (11). In addition, relationships for multiple threshold voltages and the reference current can be represented by the following equations (12), (13), (14) and (15):

V_T,i = V_c,i + K1 (12)
V _{T, i} = V _{c, i} + K1 (12)

V_T,j = X1×V_D,j + K2 (13)
V _{T, j} = X1 × V _{D, j} + K2 (13)

V_T,m = X2×V_s,m + K3 (14)
V _{T, m} = X2 × V _{s, m} + K3 (14)

V_T,n = X3×f¹ (I_REF) + K4 (15).V _{T, n} = X3 × f ¹ (I _REF ) + K4 (15).

Dabei sind i, j, m und n ganze Zahlen (0, 1, 2, . . .), die Mehrfachpegel bezeichnen, und K1, K2, K3, K4, X1, X2 und X3 sind Konstanten, die durch die folgenden Gleichungen (16) bis (20) ausgedrückt sind:
Here, i, j, m and n are integers (0, 1, 2,...) That denote multiple levels, and K1, K2, K3, K4, X1, X2 and X3 are constants that are given by the following equations ( 16) to (20) are expressed:

K1 = [α_DV_D + αsVs + f¹(I_REF)]/αc (16)
K1 = [α _D V _D + αsVs + f ¹ (I _REF )] / αc (16)

K2 = Vc + [αsVs + f¹(I_REF)]/αc (17)
K2 = Vc + [αsVs + f ¹ (I _REF )] / αc (17)

K3 = Vc + [α_DV_D + f¹(I_REF)]/αc (18)
K3 = Vc + [α _D V _D + f ¹ (I _REF )] / αc (18)

K4 = Vc + [α_DV_D + αsVs]/αc (19)
K4 = Vc + [α _D V _D + αsVs] / αc (19)

X1 = C_D/Cc, X2 = Cs/Cc, X3 = 1/Cc (20).X1 = C _D / Cc, X2 = Cs / Cc, X3 = 1 / Cc (20).

Wie es in den Gleichungen (12) bis (15) wiedergegeben ist, kann eine Mehrpegelprogrammierung mit vier verschiedenen Verfahren abhängig davon ausgeführt werden, ob die Drain­ spannung, die Sourcespannung, die Steuergatespannung oder der Bezugsstrom als Variable verwendet wird. In Fig. 8 ist ein erfindungsgemäßes Programmiersystem eines nichtflüchti­ gen Speichers für die oben genannten Verfahren dargestellt. D.h., daß Fig. 8 ein Blockdiagramm zum Erläutern automati­ scher Verifizierung und Programmierung unter Verwendung ei­ ner angelegten variablen Spannung ist, wobei gemäß einem zweiten Ausführungsbeispiel der Erfindung gleichzeitig ein Strom überwacht wird.As shown in equations (12) to (15), multi-level programming can be carried out with four different methods depending on whether the drain voltage, the source voltage, the control gate voltage or the reference current is used as a variable. In FIG. 8 shows an inventive programming system is shown a nichtflüchti gen memory for the above-mentioned method. That is, FIG. 8 is a block diagram for explaining automatic verification and programming using an applied variable voltage, and a current is simultaneously monitored according to a second embodiment of the invention.

Gemäß Fig. 8 umfaßt das erfindungsgemäße System zum Pro­ grammieren eines nichtflüchtigen Speichers gemäß dem zweiten Ausführungsbeispiel der Erfindung eine Vielzahl von Spei­ cherzellen mit jeweils einem FET mit einer Source, einem Drain und einem Steuergate sowie einer Ladungsspeicherein­ richtung, eine erste Spannungsquelle 21, die mit dem Steuer­ gate verbunden ist, eine dritte Spannungsquelle 25, die mit der Source verbunden ist, eine zweite Spannungsquelle 22, die mit dem Drain verbunden ist, eine Stromüberwachungsein­ heit 23 zum Überwachen des zwischen dem Drain und der Source fließenden Stroms sowie eine Bitleitungs-Auswähleinheit 24 zum Auswählen des Drains einer speziellen Zelle zum Ausfüh­ ren eines Programmiervorgangs.According to Fig. 8, the inventive system includes, for Pro-program a nonvolatile memory according to the second embodiment of the invention, a plurality of SpeI cherzellen with one FET having a source, a drain and a control gate and a charge spoke device, a first voltage source 21, with the control gate, a third voltage source 25 which is connected to the source, a second voltage source 22 which is connected to the drain, a current monitoring unit 23 for monitoring the current flowing between the drain and the source, and a bit line selection unit 24 for selecting the drain of a particular cell to perform a programming operation.

Nun wird ein Verfahren zum Ausführen eines Mehrpegel-Pro­ grammiervorgangs erläutert, wobei die Drainspannung, die Sourcespannung, die Steuerspannung oder der Bezugsstrom aus­ gewählt wird.Now there is a procedure for executing a multi-level pro programming process explained, the drain voltage, the Source voltage, the control voltage or the reference current is chosen.

Als Erstes liefert beim Ausführen eines Mehrpegel-Program­ miervorgangs unter Verwendung der Steuergatespannung, wie durch die Gleichungen (12) und (16) angegeben, die erste Spannungsquelle 21 eine Spannung Vc,i (i = 0, 1, 2, . . ., n-1) entsprechend jeder Schwellenspannung V^c _T,i an das Steu­ ergate einer ausgewählten nichtflüchtigen Speicherzelle. Außerdem legt die zweite Spannungsquelle 22 eine feste Span­ nung V_D an den Drain an, und die dritte Spannungsquelle 25 legt eine feste Spannung Vs an die Source an. Der Zweckdien­ lichkeit der Erläuterung halber ist angenommen, daß sich die Spannungsquelle auf Massepegel (Vs = 0 V) befindet. Wenn sich der FET in einem Sättigungsmodus befindet, in dem sein Kanalstrom während der Programmierung keine Beziehung zur Drainspannung hat, oder wenn die Drainkopplungskonstante sehr klein ist, kann die Drainspannung mit vorgegebener Va­ riation angelegt werden. Das Bezugssymbol I_D,i(t) bezeichnet den im Drain einer ausgewählten Zelle fließenden Strom, wenn auf den Schwellenpegel i programmiert wird. Wie es in der Gleichung (16) dargestellt ist, bezieht sich die Stromüber­ wachungseinheit 23 auf einen festen Bezugsstrom I_REF, und sie gibt ein Programmierstoppsignal Vstop aus, wenn der durch den Drain fließende Drainstrom I_D,i(t) während des Programmierens auf den Schwellenpegel i den Bezugsstrom I_REF erreicht. Der Zeitpunkt t_P,i bezeichnet einen solchen Zeit­ punkt, zu dem die Programmierung auf den Schwellenpegel i abgeschlossen ist. Der Bezugsstrom I_REF der Stromüberwa­ chungseinheit 23 wird entsprechend einer elektrischen Eigen­ schaft der nichtflüchtigen Speicherzelle unter Verwendung des erfindungsgemäßen Programmierverfahrens bestimmt. Wenn der Drainstrom I_D,i(t) erneut definiert wird, handelt es sich um einen zeitabhängigen Strom. Dieser Strom I_D,i(t) ist der Strom durch den Drain einer ausgewählten Zelle, ausge­ löst durch eine Spannung Vcsm,i(t) an der Ladungsspeicher­ einrichtung während der Programmierung auf den Pegel i, wo­ bei derselbe am Anfang des Programmiervorgangs am größten ist und während des Ablaufs des Programmiervorgangs dauernd fällt. Auch gibt die Stromüberwachungseinheit 23 ein Pro­ grammierstoppsignal Vstop dann aus, wenn der abnehmende Strom den Bezugsstrom I_REF der Stromüberwachungseinheit 23 erreicht.First, when performing a multilevel programming operation using the control gate voltage as indicated by equations (12) and (16), the first voltage source 21 supplies a voltage Vc, i (i = 0, 1, 2,...,. n-1) corresponding to each threshold voltage V ^c _{T, i} to the control gate of a selected non-volatile memory cell. In addition, the second voltage source 22 applies a fixed voltage V _D to the drain, and the third voltage source 25 applies a fixed voltage Vs to the source. For the sake of explanation, it is assumed that the voltage source is at ground level (Vs = 0 V). If the FET is in a saturation mode in which its channel current has no relation to the drain voltage during programming, or if the drain coupling constant is very small, the drain voltage can be applied with a predetermined variation. The reference symbol I _{D, i} (t) denotes the current flowing in the drain of a selected cell when programming to the threshold level i. As shown in equation (16), the current monitoring unit 23 relates to a fixed reference current I _REF and outputs a programming stop signal Vstop when the drain current I _{D, i} (t) flowing through the drain during programming the threshold level i reaches the reference current I _REF . The time t _{P, i} denotes such a point in time at which the programming to the threshold level i is completed. The reference current I _{REF of} the current monitoring unit 23 is determined according to an electrical property of the non-volatile memory cell using the programming method according to the invention. If the drain current I _{D, i} (t) is redefined, it is a time-dependent current. This current I _{D, i} (t) is the current through the drain of a selected cell, triggered by a voltage Vcsm, i (t) on the charge storage device during programming to the level i, where the same at the beginning of the programming process is largest and keeps falling during the course of the programming process. The current monitoring unit 23 also outputs a programming stop signal Vstop when the decreasing current reaches the reference current I _{REF of} the current monitoring unit 23 .

Nun wird Zwei- oder Mehrpegelprogrammierung im oben genann­ ten Zustand anhand der Fig. 8, 9A-9H sowie 10 erläutert.Two- or multi-level programming in the above-mentioned state will now be explained with reference to FIGS . 8, 9A-9H and 10.

Es wird angenommen, daß sich die durch die Bitleitungs-Aus­ wähleinheit ausgewählte Zelle vor dem Programmierstart im gelöschten Zustand befindet. Der gelöschte Zustand ent­ spricht dem niedrigsten Pegel, d. h. dem Pegel Null. Ferner ist angenommen, daß der in dieser Zelle enthaltene FET über einen auf einem p-Substrat ausgebildeten n-Kanal verfügt, zwischen dem Steuergate und dem Kanal eine Ladungsspeicher­ einrichtung vorhanden ist und der Kanalstrom abhängig von der in der Ladungsspeichereinrichtung gespeicherten Ladung variiert.It is believed that the bit line out unit selected cell before programming in deleted state. The deleted state ent speaks the lowest level, i.e. H. the level zero. Further it is assumed that the FET contained in this cell is above has an n-channel formed on a p-substrate, a charge store between the control gate and the channel device is available and the duct current depends on the charge stored in the charge storage device varies.

Als Erstes wird für Zwei- oder Mehrpegelprogrammierung, nach dem Anlegen mehrerer Adressen für eine spezielle Zelle an die Drainauswähleinheit von außen, um die zu programmierende spezielle Zelle auszuwählen, eine Spannung Vc,i zum Anlegen an das Steuergate für Programmierung auf den Pegel i einge­ stellt, wenn ein Programmierstartsignal Ps, wie in Fig. 9A dargestellt, an die erste, zweite und dritte Spannungsquelle 21, 22 und 23 geliefert wird. Außerdem werden Spannungen Vc,i und V_D, wie in den Fig. 9B und 9C dargestellt, von der ersten Spannungsquelle 21 und der zweiten Spannungsquelle 22 an das Steuergate bzw. den Drain gelegt, was gleichzeitig mit dem Anlegen des Programmierstartsignals Ps erfolgt, wie in Fig. 9A dargestellt. Nach dem Anlegen der Spannungen Vc,i und V_D an das Steuergate bzw. den Drain wird die Stromüber­ wachungseinheit 23 aktiviert, um eine Ladungsänderung in der Ladungsspeichereinrichtung zu überwachen. Beim Anlegen der Spannungen Vc,i und V_D an das Steuergate bzw. den Drain wird eine Spannung Vcsm,i(t), wie in Fig. 9D dargestellt, zum Ausführen des Programmierens auf den Schwellenpegel i an die Ladungsspeichereinrichtung gelegt, und im Kanalbereich des FET bildet sich eine Inversionsschicht aus. Da sich die Source, der Drain und der Kanalbereich tatsächlich innerhalb eines Halbleitersubstrats befinden, beginnt, wenn einmal die Inversionsschicht ausgebildet ist, ein Strom vom Drain durch den Kanalbereich zur Source zu fließen. In diesem Fall fließt ein Drainstrom I_D,i(t) durch den Drain, der anfangs am größten ist und im Verlauf der Programmierung abnimmt, da Elektronen in die Ladungsspeichereinrichtung injiziert wer­ den, wodurch die Spannung an derselben abfällt. So überwacht die Stromüberwachungseinheit 23 während des Programmierens auf den Schwellenpegel i den Drainstrom I_D,i(t). Wenn dieser Drainstrom I_D,i(t) den Bezugsstrom I_REF erreicht, wie in Fig. 9E dargestellt, wird dies als Abschluß der Programmie­ rung auf den Schwellenpegel i angesehen, und die Stromüber­ wachungseinheit 23 gibt ein Programmierstoppsignal Vstop aus, wie in Fig. 9F dargestellt. Hierbei ist zwar die Strom­ überwachungseinheit 23 so ausgebildet, daß sie den Drain­ strom I_D,i(t) überwacht, jedoch kann sie so ausgebildet sein, daß sie während des Programmierens die Spannung oder Ladung in der Ladungsspeichereinrichtung überwacht, wie es in den Fig. 9G bzw. 9H dargestellt ist. D.h., daß dann, wenn der Drainstrom I_D,i(t) den Bezugsstrom I_REF erreicht, die Spannung an der Ladungsspeichereinrichtung eine Bezugs­ spannung V^csm _REF für dieselbe erreicht, die dem Bezugsstrom I_REF entspricht. Anstatt daß der Strom I_D,i(t) überwacht wird, kann die Leitfähigkeit der im Kanalbereich ausgebilde­ ten Inversionsschicht überwacht werden. Das Ziel der Überwa­ chung ist ein beliebiges Signal, das sich abhängig von La­ dungen in der Ladungsspeichereinrichtung ändert. Z. B. kann das Überwachungsziel der Sourcestrom oder ein Substratstrom außer dem Drainstrom sein, sowie ein Spannungssignal aus kapazitiver Kopplung. Gemäß Fig. 8 wird das Programmier­ startsignal an die erste und zweite Spannungsquelle 21 und 22 geliefert. Von diesen empfängt mindestens eine das Pro­ grammierstoppsignal Vstop, und es werden die an das Steuer­ gate und den Drain angelegten Spannungen Vc,i bzw. V_D, wie in den Fig. 9B und 9C dargestellt, abgeschaltet. D.h., daß dann, wenn der Strom I_D,i(t) zum Zeitpunkt t = t_P,i dem Be­ zugsstrom I_REF entspricht, oder niedriger ist als dieser, die Programmierung auf den Schwellenpegel i abgeschlossen wird. Demgemäß repräsentiert t = t_P,i den Zeitpunkt, zu dem die Programmierung auf den Schwellenpegel i abgeschlossen wird.First, for two-level or multi-level programming, after applying multiple addresses for a particular cell to the drain selection unit from outside to select the particular cell to be programmed, a voltage Vc, i is set to the level i for application to the control gate for programming when a program start signal Ps as shown in Fig. 9A is supplied to the first, second and third voltage sources 21 , 22 and 23 . In addition, voltages Vc, i and V _D , as shown in FIGS. 9B and 9C, are applied from the first voltage source 21 and the second voltage source 22 to the control gate and the drain, respectively, which occurs simultaneously with the application of the programming start signal Ps, such as shown in Fig. 9A. After the voltages Vc, i and V _{D are applied} to the control gate or the drain, the current monitoring unit 23 is activated in order to monitor a charge change in the charge storage device. When voltages Vc, i and V _{D are applied} to the control gate and drain, respectively, a voltage Vcsm, i (t), as shown in Fig. 9D, is applied to the charge storage device for executing programming to the threshold level i, and in the channel region of the FET an inversion layer is formed. Because the source, drain and channel region are actually within a semiconductor substrate, once the inversion layer is formed, a current begins to flow from the drain through the channel region to the source. In this case, a drain current I _{D, i} (t) flows through the drain, which is initially the largest and decreases in the course of programming, since electrons are injected into the charge storage device, causing the voltage across it to drop. The current monitoring unit 23 thus monitors the drain current I _{D, i} (t) during the programming to the threshold level i. When this drain current I _{D, i} (t) reaches the reference current I _REF , as shown in FIG. 9E, this is regarded as the completion of the programming to the threshold level i, and the current monitoring unit 23 outputs a programming stop signal Vstop, as in FIG FIG. 9F. Here, the current monitoring unit 23 is designed such that it monitors the drain current I _{D, i} (t), but it can be designed such that it monitors the voltage or charge in the charge storage device during programming, as is shown in FIGS . 9G is shown and 9H. That is, when the drain current I _{D, i} (t) reaches the reference current I _REF , the voltage across the charge storage ^device reaches a reference voltage V ^csm _REF for the same which corresponds to the reference ^current I _REF . Instead of the current I _{D, i} (t) being monitored, the conductivity of the inversion layer formed in the channel region can be monitored. The goal of the monitoring is any signal that changes depending on charges in the charge storage device. For example, the monitoring target can be the source current or a substrate current besides the drain current, as well as a voltage signal from capacitive coupling. According to Fig. 8, the programmer will start signal supplied to the first and second voltage sources 21 and 22. Of these, at least one receives the programming stop signal Vstop, and the voltages Vc, i and V _D applied to the control gate and the drain are turned off, as shown in FIGS. 9B and 9C. That is, when the current I _{D, i} (t) at the time t = t _{P, i is} equal to or less than the reference current I _REF , the programming to the threshold level i is completed. Accordingly, t = t _{P, i represents} the time at which programming to threshold level i is completed.

Fig. 9G ist ein Kurvenbild, das Änderungen von Schwellen­ spannungen V^c _T,1 und V^c _T,2 am Steuergate zu Zeitpunkten zeigt, zu denen sich die Schwellenpegel i auf dem ersten und zweiten Pegel befinden, woraus erkennbar ist, daß die Schwellenspannung mit zunehmender Programmierzeit ansteigt. Auch ist erkennbar, daß die Schwellenspannung V^c _T,i mit der Größenordnung des Anstiegs des Pegels der Mehrpegelprogram­ mierung zunimmt, wobei Vc,i auf diesen Pegel erhöht wird, um die Programmierung auszuführen. Die Zeitperioden für die Programmierungen auf den ersten und zweiten Pegel sind wegen Variationen der Steuergatespannungen verschieden, und da die Schwellenspannungen für jeden dieser Pegel differieren. Fig. 9H ist ein Kurvenbild, das Änderungen von Ladungen in der Ladungsspeichereinrichtung ausgehend von einer Anfangsladung Qcsm,₀(0) am potentialungebundenen Gate auf Qcsm,₁(t_P,1) zeigt, bei welchem Wert die Programmierung auf die erste Schwellenspannung abgeschlossen wird, und auf Qcsm,₂(t_P,2), bei welchem Wert die Programmierung auf die zweite Schwel­ lenspannung abgeschlossen wird, wenn die Schwellenspannungen i der ersten bzw. zweiten Schwellenspannung entsprechen. Aus Fig. 9H ist erkennbar, daß Ladungen in der Ladungsspeicher­ einrichtung dann, wenn beide Spannungen Vcsm,₁(t) und Vcsm,₂(t) die Bezugsspannung V^csm _REF in der Ladungsspeicher­ einrichtung entsprechend dem Bezugsstrom I_REF erreichen, vom Anfangswert Qcsm,₀(0) auf Qcsm,₁(t_P,1) bzw. Qcsm,₂(t_P,2) an­ steigen. Wenn die Anfangsschwellenspannungen dieselben sind, steigt, da der Wert V^csm _REF für alle Programmierpegel gleich ist und Vc,i für höhere Pegel ansteigt, auch der Anfangswert des Drainstroms I_D,i(0) an, wenn es sich um einen höheren Pegel handelt. Dieser Prozeß ist durch die Fig. 11A und 11B veranschaulicht. Der Programmierendzeitpunkt für jeden Pegel hängt von einer elektrischen Eigenschaft der Speicherzelle und der an jeden Knoten angelegten Spannung ab. D.h., daß das Programmierverfahren unter Verwendung des Programmier­ systems eines nichtflüchtigen Speichers gemäß der Erfindung keine Beziehung zum Wirkungsgrad beim Programmieren des Bau­ teils hat. Fig. 9G is a graph showing changes in threshold voltages V ^c _{T, 1} and V ^c _{T, 2} at the control gate at times when the threshold levels i are at the first and second levels, from which it can be seen that the threshold voltage increases with increasing programming time. It can also be seen that the threshold voltage V ^c _{T, i increases} with the magnitude of the increase in the level of the multi-level programming, Vc, i being increased to this level in order to carry out the programming. The time periods for programming at the first and second levels are different due to variations in the control gate voltages, and because the threshold voltages differ for each of these levels. Figure 9H is a graph showing changes in charges in the charge storage device from an initial charge Qcsm, ₀ (0) on the floating gate to Qcsm, ₁ (t _{P, 1} ) at which value the programming to the first threshold voltage is completed , and on Qcsm, ₂ (t _{P, 2} ), at which value the programming to the second threshold voltage is completed when the threshold voltages i correspond to the first and second threshold voltage, respectively. From Fig. 9H it can be seen that charges in the charge storage device when both voltages Vcsm, ₁ (t) and Vcsm, ₂ (t) reach the reference voltage V ^csm _REF in the charge storage ^device according to the reference current I _REF , from the initial value Qcsm , ₀ (0) increase to Qcsm, ₁ (t _{P, 1} ) or Qcsm, ₂ (t _{P, 2} ). If the initial ^{threshold voltages} are the same, since the V ^csm _REF value is the same for all programming levels and Vc, i increases for higher levels, the initial value of drain current I _{D, i} (0) also increases if it is a higher level . This process is illustrated by Figures 11A and 11B. The end of programming for each level depends on an electrical property of the memory cell and the voltage applied to each node. That is, the programming method using the programming system of a non-volatile memory according to the invention has no relation to the efficiency in programming the construction part.

Als Nächstes werden die Steuergatespannung Vc,₀ und der Be­ zugsstrom I_REF zum Ausführen des Programmierens auf den niedrigen Pegel wie folgt bestimmt. Wenn der gewünschte niedrigste Schwellenpegel V^c _T,0 eine feste Drainspannung V_D und eine feste Sourcespannung Vs für eine gegebene Speicher­ zelle bestimmt sind, existieren zwei Parameter V_c,0 und f¹(I_REF), als Funktion des Bezugsstroms, in den Gleichungen (10) und (14). Da die Drainspannung V_D und die Sourcespan­ nung Vs fixiert sind, entspricht V^csm _REF gemäß den Gleichun­ gen (6) und (7) I_REF auf eineindeutige Weise. Dann werden, nachdem die gegebene Speicherzelle mittels V^c _T,0 reguliert wurde, V_c,0, V_D und Vs an die Speicherzelle angelegt, und es wird der Drainanfangsstrom I_D,0(0) gemessen. Dieser Wert entspricht tatsächlich I_REF. V_c,0 wird dadurch bestimmt, daß die Programmierzeitperiode und die maximale Steuergate­ spannung V_c,n-1 berücksichtigt werden. Wenn V_c,0 einmal be­ stimmt ist, kann I_REF durch den oben genannten Vorgang er­ halten werden. I_REF kann durch ein anderes Verfahren als dieses gemessen werden. Wie bereits erläutert, ist es für Mehrpegelprogrammierung nicht erforderlich, den durch den Kanal der ausgewählten Speicherzelle fließenden Strom in der Stromüberwachungseinheit 23 mit dem Bezugsstrom zu verglei­ chen und die Programmierung zum selben Zeitpunkt zu beenden. Der Strom I_REF kann vor dem Zuführen zur Stromüberwachungs­ einheit 23 verstärkt oder geschwächt werden. In diesem Fall sind, vorausgesetzt, daß alle Programmiervorgänge bei der­ selben festen, wahlfreien Stromstärke für alle Pegel bei der Mehrpegelprogrammierung gestoppt werden, eine Schwellen­ spannungsverschiebung und eine Steuergateverschiebung iden­ tisch.Next, the control gate voltage Vc, ₀ and the reference current I _REF for performing the low level programming are determined as follows. If the desired lowest threshold level V ^c _{T, 0} a fixed drain voltage V _D and a fixed source voltage Vs are determined for a given memory cell, there are two parameters V _{c, 0} and f ¹ (I _REF ), as a function of the reference current, in the Equations (10) and (14). Since the drain voltage V _D and source voltage Vs are fixed tension, V _REF corresponds ^csm according to Gleichun gen (6) and (7) I _REF to-one manner. Then, after the given memory cell has been regulated by V ^c _{T, 0} , V _{c, 0} , V _D and Vs are applied to the memory cell and the initial drain current I _{D, 0} (0) is measured. This value actually corresponds to I _REF . V _{c, 0} is determined by taking into account the programming time period and the maximum control gate voltage V _{c, n-1} . Once V _{c, 0} is determined, I _REF can be obtained by the above process. I _REF can be measured by a method other than this. As already explained, it is not necessary for multi-level programming to compare the current flowing through the channel of the selected memory cell in the current monitoring unit 23 with the reference current and to end the programming at the same time. The current I _REF can be amplified or weakened before being fed to the current monitoring unit 23 . In this case, provided that all programming operations are stopped at the same fixed, optional current level for all levels in multi-level programming, a threshold voltage shift and a control gate shift are identical.

Außerdem kann zur Mehrpegelprogrammierung angesichts der Gleichungen (13) und (14) eine Spannung verwendet werden, die entweder an den Drain oder die Source angelegt wird, wo­ bei diese Spannung im Prozeß als variabel angenommen wird, wie beim Programmierverfahren unter Verwendung des Steuer­ gates. Nun werden unter Bezugnahme auf die Fig. 12A bis 12C Beziehungen zwischen den zu programmierenden Schwellenspan­ nungen und der Drainspannung, der Sourcespannung und der Be­ zugsspannung, wie sie entsprechend den Schwellenspannungen angelegt werden, erläutert.In addition, in view of equations (13) and (14), a voltage can be used for multi-level programming, which voltage is applied either to the drain or to the source, where this voltage is assumed to be variable in the process, as in the programming method using the control gate. Relationships between the threshold voltages to be programmed and the drain voltage, the source voltage and the reference voltage as applied in accordance with the threshold voltages will now be explained with reference to FIGS . 12A to 12C.

Gemäß Fig. 12A kann bei Mehrpegelprogrammierung, wenn die Drainspannung als Variable genutzt wird, die Verschiebungs­ steigung einer Drainspannungsverschiebung zu einer Schwel­ lenspannungsverschiebung als Verhältnis α_D/αc eines Steuer­ gate-Kopplungsparameters αc zu einem Drainkopplungsparameter α_D ausgedrückt werden. Wenn die zwei Kopplungsparameter gleich sind, hat die Steigung den Wert 1.Referring to FIG. 12A may be multi-level programming, when the drain voltage is used as a variable, the displacement slope of a drain voltage shifting to a smoldering lenspannungsverschiebung as the ratio α _D / .alpha.C a control gate coupling parameter .alpha.C be expressed to a drain coupling parameter α _D. If the two coupling parameters are the same, the slope has the value 1.

Als Nächstes wird angenommen, bevor eine Erläuterung für den Fall erfolgt, daß Mehrpegelprogrammierung mit der Source­ spannung als Variable ausgeführt wird, daß die Sourcespan­ nung, die die Bezugsspannung beim Lesen der Schwellenspan­ nung ist, den Wert Null hat. Beim Ausführen des Programmier­ vorgangs unter Verwendung der Sourcespannung existiert ein Punkt, der zu beachten ist; wie es in Fig. 12B dargestellt ist, ist eine Schwellenspannungs-Verschiebungssteigung für einen Sperrvorspannungseffekt der Sourcespannung des FET zu­ sätzlich zu einem Sourcekopplungsparameter (αs/αc) verant­ wortlich. Wenn der Programmiervorgang beim selben Bezugs­ strom gestoppt wird, ist eine Schwellenspannungsverschie­ bung, wie sie dann auftritt, wenn die Sourcespannung nicht angelegt wird, kleiner als dann, wenn die Sourcespannung an­ gelegt wird. Wegen des Anhaltens des Programmierens beim identischen Bezugsstrom, während das Programmieren mit einer an die Source angelegten Spannung ausgeführt wird, ergibt sich derselbe Effekt wie dann, wenn das Programmieren bei geerdeter Sourcespannung ausgeführt wird und der Bezugsstrom höher angehoben wird. In diesem Fall sind die Sourcespannung und die Schwellenspannungsverschiebung nicht linear, sondern umgekehrt proportional.Next, before an explanation is given for the case where multi-level programming is carried out with the source voltage as a variable, it is assumed that the source voltage, which is the reference voltage when reading the threshold voltage, is zero. When executing the programming process using the source voltage, there is a point to be considered; As shown in FIG. 12B, a threshold voltage shift slope is responsible for a reverse bias effect of the source voltage of the FET in addition to a source coupling parameter (αs / αc). If the programming is stopped at the same reference current, a threshold voltage shift as occurs when the source voltage is not applied is less than when the source voltage is applied. Because programming stops at the identical reference current while programming is performed with a voltage applied to the source, the same effect results when programming is performed with the source voltage grounded and the reference current is raised higher. In this case, the source voltage and the threshold voltage shift are not linear, but are inversely proportional.

Gemäß Fig. 12C sind bei Mehrpegelprogrammierung mit dem Be­ zugsstrom als Variable eine Änderung des Bezugsstroms und eine Schwellenspannungsverschiebung proportional. Daher sind in diesem Fall mehrere Schwellenspannungen, die ,die Diffe­ renz der Schwellenspannungen konstant machen, fixiert, und es können der Schwellenspannung entsprechende Stromstärken experimentell oder unter Verwendung eines Schaltungsverfah­ rens erhalten werden. Da alle Schwellenspannungen und Diffe­ renzen zwischen Schwellenspannungen unabhängig von der An­ zahl von Zykluszeiten von Programmier- und Löschvorgängen für eine Zelle unter mehreren Zellen fixiert werden können, wenn das oben genannte Verfahren angewandt wird, ist dieses für Mehrpegelprogrammierung besser geeignet als das bekannte Programmieren mit wiederholter Impulsanlegung und Verifizie­ rung unter Verwendung des Bezugsstroms.Referring to FIG. 12C are a multi-level programming using the Be zugsstrom as a variable, a change of the reference current and a threshold voltage shift proportional. Therefore, in this case, a plurality of threshold voltages that make the difference of the threshold voltages constant are fixed, and currents corresponding to the threshold voltage can be obtained experimentally or by using a circuit method. Since all threshold voltages and differences between threshold voltages can be fixed independently of the number of cycle times of programming and erasing processes for one cell among several cells, if the above-mentioned method is used, this is more suitable for multi-level programming than the known programming with repeated Pulse application and verification using the reference current.

Da der Gegenstand der Erfindung keinen Zusammenhang mit ei­ nem Programmiermechanismus hat, ist es ersichtlich, daß dieser Gegenstand auf jeden Typ von Programmiermechanismus anwendbar ist. Wenn Injektion heißer Ladungsträger verwendet wird, wird die Sourcespannung geerdet, und als Drainspannung und Steuergatespannung werden positive Spannungen angelegt, die dazu ausreichen, die Injektion heißer Ladungsträger zu programmieren. In diesem Fall wird die Programmierung ange­ halten, wenn der Strom zwischen dem Drain und der Source, bei dem es sich um den überwachten Programmierstrom handelt, den Wert I_REF erreicht. Wenn ein Tunnelvorgang verwendet wird, wird das Steuergate auf eine positive Spannung gelegt, und der Drain und die Source werden auf Spannungen von 0 V oder darunter gelegt, so daß ein elektrisches Feld ent­ steht, das dazu ausreicht, Tunneln zwischen der Ladungsspei­ chereinrichtung und dem Drain, der Source und dem Kanalbe­ reich zu verursachen. In diesem Fall wird eine Drainspannung über der Sourcespannung angelegt, um für Stromfluß zwischen dem Drain und der Source zu sorgen, wobei dieser Strom über­ wacht wird, um die Programmierung zu beenden, wenn der Strom die Stärke I_REF erreicht. Wenn negative Spannungen an den Drain oder die Source angelegt werden, sollte an das Sub­ strat eine Spannung angelegt werden, die den an den Drain und die Source angelegten Spannungen entspricht oder niedri­ ger ist, wenn der Drain und die Source n-Fremdstoffbereiche sind und das Substrat ein p-Halbleiter ist.Since the subject of the invention is unrelated to a programming mechanism, it can be seen that this subject is applicable to any type of programming mechanism. When hot carrier injection is used, the source voltage is grounded and positive voltages are applied as drain voltage and control gate voltage sufficient to program the hot carrier injection. In this case, programming is stopped when the current between the drain and the source, which is the monitored programming current, reaches the value I _REF . If tunneling is used, the control gate is placed at a positive voltage, and the drain and source are set at voltages of 0 V or below, so that an electric field is sufficient to create a tunnel between the charge storage device and the Drain, the source and the Kanalbe rich cause. In this case, a drain voltage is applied across the source voltage to provide current flow between the drain and the source, and this current is monitored to complete programming when the current reaches I _REF . If negative voltages are applied to the drain or source, a voltage should be applied to the substrate which corresponds to or is lower than the voltages applied to the drain and source if the drain and source are n-impurity regions and that Substrate is a p-type semiconductor.

Bisher wurden Einzelpegel- und Mehrpegel-Programmierverfah­ ren erläutert. Nun werden ein Löschzustand und ein Program­ mierzustand erläutert, wie sie durch das erfindungsgemäße Programmierverfahren verursacht werden.So far, single-level and multi-level programming methods have been used ren explained. Now a delete state and a program Mier status explained, as by the invention Programming procedures are caused.

Bei einem Löschvorgang werden Spannungen, die Felder aufbau­ en, die dazu ausreichen, die in der Ladungsspeichereinrich­ tung gespeicherten Ladungen zwischen der Ladungsspeicherein­ richtung und der Source, dem Drain und dem Kanalbereich zu löschen, an jeden Anschluß für die Source, den Drain und den Kanalbereich angelegt, um die Ladungen durch Tunneln zur Source, zum Drain oder zum Kanalbereich hin zu löschen. Bei der Erfindung können zwei Löschzustände existieren. Der ers­ te Löschzustand zeigt eine breite Verteilung der Wahrschein­ lichkeitsdichte beim Löschen, wie in Fig. 13A dargestellt. Dieser erste Löschzustand tritt dann auf, wenn ein Löschim­ puls unter einer Schwellenspannung für einen zweiten Lösch­ zustand angelegt wird, um ausreichend Ladungen aus der La­ dungsspeichereinrichtung der Zelle zu entfernen, wobei der Zustand breiter wird, wenn die Zelle schlechter wird. Der zweite Löschzustand verfügt über einen Minimalzustand oder einen solchen ohne Löschen, wie in Fig. 13A dargestellt, der dann auftritt, wenn dafür gesorgt wird, daß alle Schwellen­ spannungen von Speicherzellen mit fester Löschverteilung denselben niedrigsten Schwellenpegel V^c _T,0 aufweisen.In an erase operation, voltages that build up fields sufficient to erase the charges stored in the charge storage device between the charge storage device and the source, drain, and channel region are applied to each source, drain, and channel region terminal designed to erase the charges by tunneling to the source, drain or channel area. Two erasure states may exist in the invention. The first erase state shows a wide distribution of the probability density when erasing, as shown in Fig. 13A. This first erase condition occurs when an erase pulse is applied under a threshold voltage for a second erase condition to remove sufficient charges from the cell's charge storage device, the condition becoming wider as the cell deteriorates. The second erase state has a minimum state or one without erase, as shown in Fig. 13A, which occurs when it is ensured that all threshold voltages of memory cells with a fixed erase distribution have the same lowest threshold level V ^c _{T, 0} .

Um den programmierten Zustand hervorzurufen, wird automati­ sches Verifizieren und Programmieren verwendet, während Spannungen am Drain oder am Steuergate oder der Bezugsstrom so variiert werden, daß Entsprechung zur Schwellenspannung im programmierten Zustand besteht. Wie es in Fig. 2A darge­ stellt ist, wird beim bekannten Programmierverfahren durch Programmieren und Verifizieren das Programmier/Lösch-Fenster durch einen Abfall des Programmierwirkungsgrads herabge­ setzt, wenn die Anzahl von Programmier/Lösch-Vorgängen zu­ nimmt, dagegen wird, wie es in Fig. 13B dargestellt ist, beim erfindungsgemäßen Programmiervorfahren das Programmier/Lösch-Fenster unabhängig vom Programmierwirkungsgrad beibe­ halten, auch wenn die Anzahl von Programmier/Lösch-Vorgängen zunimmt, wobei die Lesetoleranz dieselbe bleibt, was die Le­ bensdauer der Zellen verlängert.To cause the programmed state, automatic verification and programming is used while voltages at the drain or at the control gate or the reference current are varied so that there is correspondence to the threshold voltage in the programmed state. As shown in Fig. 2A, in the known programming method by programming and verifying, the program / erase window is decreased by a decrease in the programming efficiency as the number of program / erase operations increases, as is shown in Fig FIG. 13B is shown, keeping the inventive programming ancestors the program / erase window regardless of the programming efficiency beibe, even if the number of programming / erase operations is increased, whereby the reading margin remains the same, which the Le service life of the cells extended.

Das System und das Verfahren zum Programmieren eines nicht­ flüchtigen Speichers gemäß der Erfindung, wie sie vorstehend erläutert wurden, zeigen die folgenden Vorteile:
The system and method for programming a non-volatile memory according to the invention, as explained above, show the following advantages:

• - Erstens erreichen, wenn ein Einzelpegel-Programmierverfah­ ren gemäß der Erfindung bei einer Vielzahl von Speicherzel­ len angewandt wird, alle Speicherzellen unabhängig von der Anfangsverteilung der Schwellenspannung dieselbe Schwellen­ spannung. D.h., daß das erfindungsgemäße Programmierver­ fahren eine Verteilung der Schwellenspannung beseitigen kann, wie sie von Variationen hinsichtlich Dicken des Gate­ isolators und Konzentrationen der Kanaldotierung aufgrund von Fertigungsprozessen verursacht ist.- Reach first when using a single level programming method ren according to the invention in a variety of storage cells len is applied, all memory cells regardless of the Initial distribution of the threshold voltage the same thresholds tension. That is, the programming ver drive eliminate a distribution of the threshold voltage may vary by variations in gate thickness isolators and channel doping concentrations due to is caused by manufacturing processes.
• - Zweitens zeigt eine programmierte Speicherzelle, wenn ein Programmier- und Löschvorgang für eine Speicherzelle ausge­ führt wird, unabhängig von der Anzahl von Programmier/Lösch- Vorgängen dieselbe Schwellenspannung beim Programmieren, was die Lebensdauer der Speicherzelle verlängert.- Second, a programmed memory cell shows if one Programming and erasing process for a memory cell regardless of the number of programming / deletion Operations the same threshold voltage when programming what extends the life of the memory cell.
• - Drittens kann Mehrpegelprogrammierung dadurch ausgeführt werden, daß Spannungen am Steuergate, am Drain oder der Source oder der Bezugsstrom beim Programmieren auf jeden Schwellenpegel variiert werden. - Third, multi-level programming can be carried out be that voltages at the control gate, at the drain or the Source or the reference current when programming to everyone Threshold levels can be varied.  
• - Viertens kann eine Schwellenspannungsverschiebung jedes Pegels genau kontrolliert werden, da jeder Schwellenspan­ nungspegel und die Steuergatespannung oder die Drainspan­ nung, wie sie dem Schwellenspannungspegel entspricht, in li­ nearer Beziehung stehen und die Schwellenspannungsverschie­ bung und die Verschiebung der Steuergatespannung gleich sind.- Fourth, a threshold voltage shift can be any Levels are controlled precisely because each threshold chip voltage level and the control gate voltage or the drain voltage voltage, as it corresponds to the threshold voltage level, in li are related and the threshold voltage differ Exercise and the shift of the control gate voltage equal are.
• - Fünftens ist eine schnellere Programmierung dadurch mög­ lich, daß keine gesonderte Schaltung zur Verwendung beim Verifizieren eines Programmiervorgangs erforderlich ist, was dadurch herrührt, daß für die nichtflüchtige Speicherzelle Programmier- und Lesevorgänge gleichzeitig ausgeführt wer­ den.- Fifth, this enables faster programming Lich that no separate circuit for use with Verifying a programming operation is what is due to the fact that for the non-volatile memory cell Programming and reading processes carried out simultaneously the.
• - Sechstens ist keine Programmierung vor dem Löschen gespei­ cherter Ladungen erforderlich.- Sixth, no programming is saved before deletion Secure loads required.
• - Siebtens ist die Genauigkeit einer Mehrpegelprogrammie­ rung, d. h. die Fehlerverteilung programmierter Spannungen, einfach durch Vorspannungen genau bestimmt, unabhängig von Parametern, die die Schwellenspannung der Ladungsspeicher­ einrichtung bestimmen, wie sie beim Herstellen des nicht­ flüchtigen Speichers festgelegt werden. Daher hat die Feh­ lerverteilung der Schwellenspannung jedes Pegels beim erfin­ dungsgemäßen nichtflüchtigen Speicher keine Beziehung zur Anzahl von Programmier/Lösch-Vorgängen. Auch können eine La­ dungsfalle in einem Oxidfilm, die Beweglichkeit im Kanal und ein Bitleitungswiderstand sogar während des Programmierens keinerlei instabilen Betrieb verursachen, und keine unerwar­ teten elektrischen Faktoren beeinflussen den Betrieb.- Seventh is the accuracy of a multi-level program tion, d. H. the error distribution of programmed voltages, easily determined by bias, regardless of Parameters that determine the threshold voltage of the charge storage Establish how they don't when making the volatile memory. Hence the mistake distribution of the threshold voltage of each level at the inventor Non-volatile memory according to the invention has no relationship to Number of programming / deletion processes. A La trap in an oxide film, mobility in the channel and a bit line resistance even during programming cause no unstable operation, and none was unexpected Electrical factors affect operation.
• - Achtens verbessert das Beseitigen einer Fehlfunktion der Zelle, wie sie von übermäßigem Löschen und übermäßigem Pro­ grammieren herrührt, die Zuverlässigkeit eines gesamten Chips.- Eighth improves the elimination of a malfunction Cell as they from excessive deletion and excessive pro grammage comes from the reliability of an entire Crisps.
• - Neuntens ermöglicht die Mehrpegelprogrammierung unter Ver­ wendung von Spannungen am Steuergate, am Drain oder an der Source der Speicherzelle eine genaue Kontrolle der Interval­ le der Schwellenspannungen, besser als dies bei der bekann­ ten Mehrpegelprogrammierung unter Verwendung eines Stroms der Fall ist.- Ninth, multi-level programming under Ver application of voltages at the control gate, at the drain or at the Source the memory cell to closely control the interval  le of the threshold voltages, better than that of the multi-level programming using a current the case is.
• - Zehntens kann die Erfindung im Vergleich zur bekannten Technik vom Stromsteuerungstyp unter Verwendung eines Be­ zugsstroms eine Mehrpegelprogrammierung viel genauer als die bekannte Technik mit wiederholter Programmierung und Verifi­ zierung ausführen.- Tenth, the invention compared to the known Current control type technology using a Be multi-level programming much more accurate than that known technology with repeated programming and verifi run ornament.
• - Elftens ist, wenn die Mehrpegelprogrammierung so ausge­ führt wird, daß die Steuergatespannung zunehmend leicht erhöht wird, ein Betrieb mit niedriger Spannung und niedri­ gem Strom möglich.- Eleventh is when the multi-level programming is done so will result in the control gate voltage becoming increasingly light is increased, an operation with low voltage and low possible according to current.
• - Zwölftens ist das erfindungsgemäße Programmierverfahren bei einem nichtflüchtigen Speicher mit potentialungebundenem Gate, einem nichtflüchtigen Speicher von MONOS-Form mit ei­ ner Falle an einer Grenzfläche zwischen einem Oxid und Stickstoff als Ladungsspeichereinrichtung oder bei einem nichtflüchtigen Speicher mit analogem Speichersystem oder einem Kondensator anwendbar.- Twelfth is the programming method according to the invention with a non-volatile memory with non-floating Gate, a MONOS-shaped non-volatile memory with an egg ner trap at an interface between an oxide and Nitrogen as a charge storage device or at one non-volatile memory with analog storage system or a capacitor applicable.

Claims (39)

1. System zum Programmieren eines nichtflüchtigen Spei­ chers mit:

• - einer Vielzahl von Speicherzellen mit jeweils einem Feld­ effekttransistor mit einem Steuergate, einem Drain und einer Source sowie mit einer Ladungsspeichereinrichtung;
• - einer Einrichtung zum Anlegen vorgegebener Spannungen in Zusammenhang mit einer Schwellenspannung an die Source, den Drain und das Steuergate in jeder der Speicherzellen;
• - einer Einrichtung zum Überwachen des durch den Kanal in jeder der Speicherzellen fließenden Stroms; und
• - einer Einrichtung zum Abschalten mindestens einer der an die Source, den Drain und das Steuergate in jeder der Zellen angelegten Spannung, wenn die Einrichtung zur Stromüberwa­ chung erfaßt, daß der durch den Kanal in der Speicherzelle fließende Strom einen Bezugsstrom erreicht.

1. System for programming a non-volatile memory with:

• - A plurality of memory cells, each with a field effect transistor with a control gate, a drain and a source and with a charge storage device;
• - means for applying predetermined voltages in connection with a threshold voltage to the source, the drain and the control gate in each of the memory cells;
• means for monitoring the current flowing through the channel in each of the memory cells; and
• - Means for switching off at least one of the voltage applied to the source, the drain and the control gate in each of the cells when the means for current monitoring detects that the current flowing through the channel in the memory cell reaches a reference current.

2. System zum Programmieren eines nichtflüchtigen Spei­ chers mit:

• - einer Vielzahl von Zellen mit jeweils einem Feldeffekt­ transistor mit einem Steuergate, einem Drain und einer Sour­ ce sowie mit einer Ladungsspeichereinrichtung;
• - einer Einrichtung zum Anlegen mindestens einer von mehre­ ren Schwellenspannungen in Zusammenhang mit mehreren Schwel­ lenspannungen an die Source, den Drain und das Steuergate in jeder der Speicherzellen;
• - einer Einrichtung zum Überwachen des durch den Kanal in jeder der Speicherzellen fließenden Stroms; und
• - einer Einrichtung zum Abschalten mindestens einer der an die Source, den Drain und das Steuergate in jeder der Spei­ cherzellen angelegten Spannungen, wenn die Einrichtung zur Stromüberwachung erfaßt, daß der durch den Kanal fließende Strom mindestens einen von mehreren Bezugsströmen in Zusam­ menhang mit den mehreren Schwellenpegeln der Speicherzelle erreicht.

2. System for programming a non-volatile memory with:

• - A plurality of cells, each with a field effect transistor with a control gate, a drain and a source and with a charge storage device;
• means for applying at least one of a plurality of threshold voltages in connection with a plurality of threshold voltages to the source, the drain and the control gate in each of the memory cells;
• means for monitoring the current flowing through the channel in each of the memory cells; and
• - A means for switching off at least one of the voltages applied to the source, the drain and the control gate in each of the memory cells when the means for current monitoring detects that the current flowing through the channel at least one of several reference currents in connection with the plurality Memory cell threshold levels reached.

3. System zum Programmieren eines nichtflüchtigen Spei­ chers mit:

• - einer Vielzahl von Speicherzellen mit jeweils einem Feld­ effekttransistor mit einem Steuergate, einem Drain und einer Source sowie mit einer Ladungsspeichereinrichtung;
• - einer Einrichtung zum Anlegen von Spannungen in Zusammen­ hang mit einem speziellen Pegel an die Source, den Drain und das Steuergate in mindestens einer ausgewählten der Vielzahl von Speicherzellen;
• - einer Einrichtung zum Überwachen des durch den Kanal in mindestens der ausgewählten Speicherzelle fließenden Stroms zum selben Zeitpunkt, zu dem die Einrichtung zum Anlegen von Spannungen die Spannungen anlegt; und
• - einer Einrichtung zum Abschalten mindestens einer der an die mindestens eine an ausgewählte der mehreren Speicherzel­ len angelegten Spannungen, wenn der durch den Kanal in jeder der Zellen fließende Strom mindestens einen von mehreren Be­ zugsströmen in Zusammenhang mit den speziellen Schwellenpe­ geln erreicht.

3. System for programming a non-volatile memory with:

• - A plurality of memory cells, each with a field effect transistor with a control gate, a drain and a source and with a charge storage device;
• - means for applying voltages associated with a particular level to the source, drain and control gate in at least one selected one of the plurality of memory cells;
• a device for monitoring the current flowing through the channel in at least the selected memory cell at the same time as the device for applying voltages applies the voltages; and
• - A means for switching off at least one of the voltages applied to the at least one of selected ones of the plurality of storage cells when the current flowing through the channel in each of the cells reaches at least one of several reference currents in connection with the special threshold levels.

4. System zum Programmieren eines nichtflüchtigen Spei­ chers mit:

• - einer Vielzahl von Speicherzellen mit jeweils einem Feld­ effekttransistor mit einem Steuergate, einem Drain und einer Source sowie mit einer Ladungsspeichereinrichtung;
• - einer Einrichtung zum Anlegen mindesten einer von mehreren Spannungen in Zusammenhang mit mehreren Schwellenpegeln an die Source, den Drain und das Steuergate in mindestens einer ausgewählten der Vielzahl von Speicherzellen;
• - einer Einrichtung zum Überwachen des durch den Kanal in zumindest eine der ausgewählten der Speicherzellen fließen­ den Stroms gleichzeitig dann, wenn die Einrichtung zum Anle­ gen von Spannungen die Spannungen anlegt, und
• - einer Einrichtung zum Abschalten der an jede der Vielzahl von Speicherzellen angelegten Spannung, wenn der durch den Kanal in jeder der Zellen fließende Strom mindestens einen von mehreren Bezugsströmen in Zusammenhang mit den speziel­ len Schwellenpegeln erreicht.

4. System for programming a non-volatile memory with:

• - A plurality of memory cells, each with a field effect transistor with a control gate, a drain and a source and with a charge storage device;
• means for applying at least one of a plurality of voltages associated with a plurality of threshold levels to the source, drain and control gate in at least one of the plurality of memory cells;
• a device for monitoring the current flowing through the channel into at least one of the selected one of the memory cells at the same time when the device for applying voltages applies the voltages, and
• means for shutting off the voltage applied to each of the plurality of memory cells when the current flowing through the channel in each of the cells reaches at least one of a plurality of reference currents in connection with the specific threshold levels.

5. System zum Programmieren eines nichtflüchtigen Spei­ chers zum Ändern des Speicherzustands auf einen vorgegebenen speziellen Zustand, wobei das nichtflüchtige Speichersystem mindestens eine Speicherzelle mit jeweils einer Source, ei­ nem Drain, einem Steuergate und mit einer Ladungsspeicher­ einrichtung aufweist, um einen speziellen Ladungspegel in Zusammenhang mit einem speziellen Speicher zu speichern, wo­ bei die Ladungsspeichereinrichtung statisch-kapazitive Be­ ziehungen zur Source, zum Drain und zum Steuergate hinsicht­ lich des speziellen Ladungspegels hat; mit

• - einer Einrichtung zum Anlegen einer Spannung an den Drain, die Source und das Steuergate, die dafür sorgen kann, daß in ausgewählten Zellen der mindestens einen Speicherzelle ein Strom im Kanal zwischen dem Drain und der Source fließt, der dazu angemessen ist, die Ladung in jeder der ausgewähl­ ten Zelle in die Ladungsspeichereinrichtung zu verschieben, und der in Zusammenhang mit einem speziellen Speicherzustand steht;
• - einer Einrichtung zum Überwachen des durch den Kanal in jeder der Zellen fließenden Stroms während der Verschiebung der Ladung in die Ladungsspeichereinrichtung in jeder der ausgewählten Zellen; und
• - einer Einrichtung zum Abschalten der Verschiebung der La­ dung in die Ladungsspeichereinrichtung, wenn die Einrichtung zur Stromüberwachung herausfindet, daß der durch den Kanal in jeder der ausgewählten Zellen fließende Strom einen Be­ zugsstrom erreicht.

5. System for programming a non-volatile memory for changing the memory state to a predetermined special state, the non-volatile memory system having at least one memory cell, each having a source, a drain, a control gate and a charge storage device, in relation to a specific charge level store with a special memory, where in the charge storage device has static-capacitive relationships to the source, drain and control gate with regard to the special charge level; With

• - A device for applying a voltage to the drain, the source and the control gate, which can ensure that in selected cells of the at least one memory cell, a current flows in the channel between the drain and the source, which is appropriate to the charge in move each of the selected cell into the charge storage device and is associated with a particular storage condition;
• means for monitoring the current flowing through the channel in each of the cells while the charge is being shifted into the charge storage device in each of the selected cells; and
• - Means for switching off the displacement of the charge in the charge storage device when the device for current monitoring finds that the current flowing through the channel in each of the selected cells reaches a reference current.

6. System nach Anspruch 5, bei dem die Ladungsspeicherein­ richtung mindestens ein potentialungebundenes Gate aufweist. The system of claim 5, wherein the charge stores are direction has at least one floating gate.   7. System nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, daß die Ladungsspeichereinrichtung eine Grenzfläche zwischen ei­ ner Sauerstoffschicht und einer Stickstoffschicht aufweist.7. System according to claim 5, characterized in that the charge storage device an interface between egg has an oxygen layer and a nitrogen layer. 8. System nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, daß die Speicherzelle eine Ladungsspeichereinrichtung aufweist, die in mindestens einem Teil des Kanals zwischen der Source und dem Drain vorhanden ist.8. System according to claim 5, characterized in that the memory cell has a charge storage device, that in at least part of the channel between the source and the drain is present. 9. System nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, daß die Speicherzelle ein solches Steuergate aufweist, das auf einer Seite der Ladungsspeichereinrichtung oder unter dieser vorhanden ist.9. System according to claim 5, characterized in that the memory cell has such a control gate that on one side of the charge storage device or under it is available. 10. System nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, daß die Einrichtung zur Stromüberwachung auch die Spannung an der Ladungsspeichereinrichtung überwacht.10. System according to claim 5, characterized in that the device for current monitoring also the voltage monitors the charge storage device. 11. System nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, daß die Einrichtung zur Stromüberwachung mindestens einen der Pegel der in der Ladungsspeichereinrichtung gespeicherten Ladungen überwacht.11. System according to claim 5, characterized in that the device for current monitoring at least one of the Level of those stored in the charge storage device Charges monitored. 12. System nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, daß die Einrichtung zur Stromüberwachung die Leitfähigkeit einer Ladungsinversionsschicht im Kanal zwischen der Source und dem Drain, wie durch die Ladungsspeichereinrichtung hervor­ gerufen, überwacht.12. System according to claim 5, characterized in that the device for current monitoring the conductivity of a Charge inversion layer in the channel between the source and the drain, as evidenced by the charge storage device called, monitored. 13. System nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, daß die Einrichtung zur Stromüberwachung eine Schaltung zum Ver­ gleichen des Bezugsstroms mit in der Source und dem Drain fließenden Strömen aufweist. 13. System according to claim 5, characterized in that the device for current monitoring a circuit for ver same of the reference current with in the source and the drain flowing currents.   14. System nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, daß die Einrichtung zur Stromüberwachung mit mindestens einer Spannungsquelle und dem Drain verbunden ist, um den Zustand der Speicherzelle zu ändern.14. System according to claim 5, characterized in that the device for current monitoring with at least one Voltage source and the drain is connected to the state to change the memory cell. 15. System nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, daß die Einrichtung zur Stromüberwachung mit mindestens einer Spannungsquelle und der Source verbunden ist, um den Zustand der Speicherzelle zu ändern.15. System according to claim 5, characterized in that the device for current monitoring with at least one Voltage source and the source is connected to the state to change the memory cell. 16. System nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, daß die Einrichtung zum Anlegen von Spannungen an den Drain und die Source so ausgebildet ist, daß sie zum Ändern des Zu­ stands der Speicherzelle eine hohe Spannung an den Drain und eine niedrige Spannung an die Source anlegt.16. System according to claim 5, characterized in that the device for applying voltages to the drain and the source is designed so that it is used to change the Zu the memory cell has a high voltage at the drain and applies a low voltage to the source. 17. System nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, daß die an das Steuergate angelegte Spannung vor dem Anlegen ge­ ändert wird.17. System according to claim 5, characterized in that the voltage applied to the control gate prior to application will change. 18. System nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, daß die an den Drain angelegte Spannung vor dem Anlegen geändert wird.18. System according to claim 5, characterized in that the voltage applied to the drain changed before application becomes. 19. System nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, daß die in der Ladungsspeichereinrichtung gespeicherte Ladung eine negative Ladung ist.19. System according to claim 5, characterized in that the charge stored in the charge storage device is a negative charge. 20. System nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, daß zur Verschiebung von Ladung in die Ladungsspeichereinrich­ tung eine Injektion negativer Ladung in dieselbe gehört.20. System according to claim 5, characterized in that for moving cargo into the cargo storage device injection of negative charge into it. 21. System nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, daß der Bezugsstrom mindestens eine feste Stärke entsprechend mindestens einer in der Ladungsspeichereinrichtung gespei­ cherten Ladung aufweist. 21. System according to claim 5, characterized in that the reference current corresponding to at least one fixed strength at least one is stored in the charge storage device secured charge.   22. System nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, daß zum Bezugsstrom eine Schwellenstromstärke gehört.22. System according to claim 5, characterized in that a threshold current belongs to the reference current. 23. System nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, daß die Einrichtung zum Beenden der Verschiebung der Ladung in die Ladungsspeichereinrichtung mindestens eine der Spannun­ gen abschaltet, wie sie an die Source, den Drain und das Steuergate angelegt werden.23. System according to claim 5, characterized in that the device for ending the shifting of the cargo in the charge storage device at least one of the voltages switches off how it connects to the source, the drain and the Tax gate can be created. 24. System zum Programmieren eines nichtflüchtigen Spei­ chers mit einem nichtflüchtigen Speichersystem mit:

• - mindestens einer elektrisch programmierbaren Speicherzelle mit jeweils einer Source, einem Drain, einem Steuergate und mit einer Ladungsspeichereinrichtung zum Speichern mehrerer Ladungspegel in Zusammenhang mit mehreren Speicherzellenzu­ ständen, wobei die mehreren Ladungspegel einen Strom kon­ trollieren, wie er in einem Kanal zwischen der Source und dem Drain fließt, wobei die Ladungsspeichereinrichtung in statisch-kapazitiver Beziehung zur Source, zum Drain und zum Steuergate steht;
• - einer Einrichtung zum jeweiligen Anlegen von Spannungen an den Drain, die Source und das Steuergate in jeder der ausge­ wählten Zellen der mindestens einen Speicherzelle, wobei die Spannungen dazu angemessen sind, für eine Ladungsverschie­ bung zur Ladungsspeichereinrichtung in jeder der ausgewähl­ ten Zellen der mindestens einen Speicherzelle zu sorgen, wo­ bei diese Spannungen linear proportional zu mehreren Schwel­ lenspannungen sind;
• - einer Einrichtung zum Überwachen eines Stroms, während eine Ladungsverschiebung zur Ladungsspeichereinrichtung in jeder der ausgewählten Zellen existiert; und
• - einer Einrichtung zum Beenden der Ladungsverschiebung zur Ladungsspeichereinrichtung, wenn die Einrichtung zur Strom­ überwachung herausfindet, daß der durch den Kanal in jeder der ausgewählten Zellen einen Bezugsstrom erreicht;
• - wodurch die Zustände der Speicherzellen auf mehrere Spei­ cherzustände entsprechend mehreren Zellenspannungen geändert werden.

24. System for programming a non-volatile memory with a non-volatile memory system comprising:

• - At least one electrically programmable memory cell, each with a source, a drain, a control gate and with a charge storage device for storing a plurality of charge levels in conjunction with a plurality of memory cells, the plurality of charge levels controlling a current as it is in a channel between the source and the Drain flows, the charge storage device being in a static-capacitive relationship with the source, the drain and the control gate;
• - A device for applying voltages to the drain, the source and the control gate in each of the selected cells of the at least one memory cell, the voltages being appropriate for a charge shift to the charge storage device in each of the selected cells of the at least one To provide memory cell where at these voltages are linearly proportional to several threshold voltages;
• means for monitoring a current while there is a charge shift to the charge storage device in each of the selected cells; and
• means for terminating the charge transfer to the charge storage device when the device for current monitoring detects that the channel is reaching a reference current in each of the selected cells;
• - whereby the states of the memory cells are changed to a plurality of memory states corresponding to a plurality of cell voltages.

25. System zum Programmieren eines nichtflüchtigen Spei­ chers mit:

• - einer Speicherzelle mit einer Source, einem Drain, einem Steuergate und mit einer Ladungsspeichereinrichtung, die in statisch-kapazitiver Beziehung mit der Source, dem Drain und dem Steuergate verbunden ist;
• - einer Einrichtung zum Anlegen von Spannungen an die Sour­ ce, den Drain und das Steuergate, wobei diese Spannungen an­ gemessen sind, um sowohl für einen Stromfluß in einem Kanal zwischen dem Drain und der Source als auch für eine Ladungs­ verschiebung zur Ladungsspeichereinrichtung zu sorgen; und - einer Einrichtung zum Beenden der Ladungsverschiebung zur Ladungsspeichereinrichtung, wenn die Ladungsmenge in Zusam­ menhang mit der an das Steuergate angelegten Spannung und ein Bezugsstrom überwacht werden, mit Speicherung in der La­ dungsspeichereinrichtung, gleichzeitig mit dem Anlegen der Spannungen an den Drain, die Source und das Steuergate.

25. System for programming a non-volatile memory with:

• a memory cell with a source, a drain, a control gate and with a charge storage device which is connected in a static-capacitive relationship to the source, the drain and the control gate;
• - A means for applying voltages to the Sour ce, the drain and the control gate, these voltages are measured to provide both for a current flow in a channel between the drain and the source and for a charge shift to the charge storage device; and means for terminating the charge transfer to the charge storage device when the amount of charge is monitored in connection with the voltage applied to the control gate and a reference current, with storage in the charge storage device, simultaneously with the application of the voltages to the drain, the source and the control gate.

26. System nach Anspruch 25, dadurch gekennzeichnet, daß die Ladungsspeichereinrichtung in der Speicherzelle flüchtig ist.26. System according to claim 25, characterized in that the charge storage device is volatile in the memory cell is. 27. System zum Programmieren eines nichtflüchtigen Spei­ chers mit:

• - einer Speicheranordnung mit einer Vielzahl von Speicher­ zellen mit jeweils einer Source, einem Drain, einem Steuer­ gate und mit einer Ladungsspeichereinrichtung, die in sta­ tisch-kapazitiver Beziehung mit der Source, dem Drain und dem Steuergate verbunden ist; und
• - einer Einrichtung zum Überwachen, ob sich die in der La­ dungsspeichereinrichtung in der Speicherzelle gespeicherte Ladungsmenge auf einen von mehreren Ladungszuständen ent­ sprechend mehreren Schwellenspannungen ändert, um eine La­ dungsverschiebung zur Ladungsspeichereinrichtung zu beenden, wenn Spannungen linear proportional zu den mehreren Schwel­ lenspannungen an die Drains, die Sources und die Steuergates in den mehreren Speicherzellen der Speicheranordnung ange­ legt werden, um dadurch so zu programmieren, daß mehrere Speicherzustände vorliegen.

27. System for programming a non-volatile memory with:

• - A memory arrangement with a plurality of memory cells, each with a source, a drain, a control gate and with a charge storage device which is connected in a static-capacitive relationship with the source, the drain and the control gate; and
• - A device for monitoring whether the amount of charge stored in the charge storage device in the memory cell changes to one of several charge states accordingly multiple threshold voltages to end a charge shift to the charge storage device when voltages are linearly proportional to the multiple threshold voltages to the drains , the sources and the control gates are placed in the multiple memory cells of the memory array, thereby programming so that multiple memory states exist.

28. Programmierverfahren unter Verwendung eines Program­ miersystems für einen nichtflüchtigen Speicher, der nicht­ flüchtige Speicherzellen mit jeweils einer Source, einem Drain, einem Steuergate und mit einer Ladungsspeicherein­ richtung aufweist, die in statisch-kapazitiver Beziehung mit der Source, dem Drain und dem Steuergate verbunden ist, um mittels einer in der Ladungsspeichereinrichtung gespeicher­ ten Ladung den im Kanal zwischen der Source und dem Drain fließenden Strom zu kontrollieren, wobei das Programmierver­ fahren die folgenden Schritte umfaßt:

• - Anlegen von Spannungen an den Drain, die Source und das Steuergate, wobei diese Spannungen für eine vorgegebene Schwellenspannung einschlägig sind und dazu ausreichen, für eine Ladungsverschiebung zur Ladungsspeichereinrichtung zu sorgen;
• - Überwachen des im Kanal zwischen der Source und dem Drain fließenden Stroms und
• - Abschalten mindestens einer der an die Source, den Drain und das Steuergate angelegten Spannung, wenn überwacht wird, daß der im Kanal fließende Strom einen einer vorgegebenen Schwellenspannung entsprechenden Bezugsstrom erreicht.

28. A programming method using a non-volatile memory programming system having non-volatile memory cells each having a source, a drain, a control gate and a charge storage device connected in a static-capacitive relationship with the source, the drain and the control gate in order to control the current flowing in the channel between the source and the drain by means of a charge stored in the charge storage device, the programming method comprising the following steps:

• - Applying voltages to the drain, the source and the control gate, these voltages being relevant for a predetermined threshold voltage and sufficient to ensure a charge shift to the charge storage device;
• - monitoring the current and flowing in the channel between the source and the drain
• - Switching off at least one of the voltage applied to the source, the drain and the control gate when it is monitored that the current flowing in the channel reaches a reference current corresponding to a predetermined threshold voltage.

29. Programmierverfahren unter Verwendung eines Program­ miersystems für einen nichtflüchtigen Speicher, der nicht­ flüchtige Speicherzellen mit jeweils einer Source, einem Drain, einem Steuergate und mit einer Ladungsspeicherein­ richtung aufweist, die in statisch-kapazitiver Beziehung mit der Source, dem Drain und dem Steuergate verbunden ist, um mittels einer in der Ladungsspeichereinrichtung gespeicher­ ten Ladung den im Kanal zwischen der Source und dem Drain fließenden Strom zu kontrollieren, wobei das Programmierver­ fahren die folgenden Schritte umfaßt:

• - Anlegen von Spannungen an den Drain, die Source und das Steuergate in mindestens einer ausgewählten der Vielzahl nichtflüchtiger Speicherzellen, wobei die Spannungen in Zu­ sammenhang mit einer vorgegebenen Schwellenspannung stehen und
• - Abschalten mindestens einer der an die Source, den Drain und das Steuergate angelegten Spannungen, wenn überwacht wird, daß der im Kanal zwischen der Source und dem Drain in der mindestens einen ausgewählten der Vielzahl nichtflüchti­ ger Speicherzellen fließende Strom einen Bezugsstrom er­ reicht, der einer vorgegebenen Schwellenspannung entspricht.

29. A programming method using a non-volatile memory programming system having non-volatile memory cells each having a source, a drain, a control gate and a charge storage device connected in a static-capacitive relationship with the source, the drain and the control gate in order to control the current flowing in the channel between the source and the drain by means of a charge stored in the charge storage device, the programming method comprising the following steps:

• - Applying voltages to the drain, the source and the control gate in at least one of the plurality of non-volatile memory cells, the voltages being related to a predetermined threshold voltage and
• - Switching off at least one of the voltages applied to the source, the drain and the control gate if it is monitored that the current flowing in the channel between the source and the drain in the at least one selected one of the plurality of non-volatile memory cells reaches a reference current which is one corresponds to the predetermined threshold voltage.

30. Programmierverfahren unter Verwendung eines Program­ miersystems für einen nichtflüchtigen Speicher, der nicht­ flüchtige Speicherzellen mit jeweils einer Source, einem Drain, einem Steuergate und mit einer Ladungsspeicherein­ richtung aufweist, die in statisch-kapazitiver Beziehung mit der Source, dem Drain und dem Steuergate verbunden ist, um mittels einer in der Ladungsspeichereinrichtung gespeicher­ ten Ladung den im Kanal zwischen der Source und dem Drain fließenden Strom zu kontrollieren, wobei das Programmierver­ fahren die folgenden Schritte umfaßt:

• - Anlegen mindestens einer von mehreren Spannungen in Zusam­ menhang mit mehreren Schwellenpegeln an den Drain, die Sour­ ce oder das Steuergate in mindestens einer der Vielzahl nichtflüchtiger Speicherzellen, und Anlegen fester Spannung an den Rest der zwei Elektroden betreffend den Drain, die Source und das Steuergate;
• - Überwachen des im Kanal in mindestens einer ausgewählten der Speicherzellen fließenden Stroms und
• - Abschalten mindestens einer der Spannungen, wie sie an die Source, den Drain und das Steuergate angelegt werden, in mindestens der ausgewählten der Speicherzellen, wenn über­ wacht wird, daß der im Kanal zumindest der ausgewählten der nichtflüchtigen Speicherzellen fließende Strom einen Bezugs­ strom erreicht.

30. Programming method using a programming system for a non-volatile memory, the non-volatile memory cells each having a source, a drain, a control gate and with a charge storage device, which is connected in a static-capacitive relationship with the source, the drain and the control gate in order to control the current flowing in the channel between the source and the drain by means of a charge stored in the charge storage device, the programming method comprising the following steps:

• - Applying at least one of a plurality of voltages associated with a plurality of threshold levels to the drain, the source or the control gate in at least one of the plurality of non-volatile memory cells, and applying a fixed voltage to the rest of the two electrodes relating to the drain, the source and the control gate ;
• Monitoring the current and flowing in the channel in at least one selected one of the memory cells
• - Switch off at least one of the voltages, such as are applied to the source, the drain and the control gate, in at least the selected one of the memory cells, if it is monitored that the current flowing in the channel of at least the selected one of the non-volatile memory cells reaches a reference current.

31. Programmierverfahren unter Verwendung eines Program­ miersystems für einen nichtflüchtigen Speicher, der nicht­ flüchtige Speicherzellen mit jeweils einer Source, einem Drain, einem Steuergate und mit einer Ladungsspeicherein­ richtung aufweist, die in statisch-kapazitiver Beziehung mit der Source, dem Drain und dem Steuergate verbunden ist, um mittels einer in der Ladungsspeichereinrichtung gespeicher­ ten Ladung einen im Kanal zwischen der Source und dem Drain fließenden Strom zu kontrollieren, wobei das Programmierver­ fahren die folgenden Schritte umfaßt:

• - Anlegen von Spannungen an den Drain, die Source und das Steuergate, wobei diese Spannungen angemessen für einen Pro­ grammiervorgang sind;
• - Überwachen des im Kanal fließenden Stroms und
• - Abschalten mindestens einer der an die Source, den Drain und das Steuergate angelegten Spannungen, wenn überwacht wird, daß der im Kanal fließende Strom einen von mehreren Bezugsstrompegeln erreicht, die mehreren Schwellenpegeln entsprechen.

31. A programming method using a non-volatile memory programming system having non-volatile memory cells each having a source, a drain, a control gate and a charge storage device connected in a static-capacitive relationship with the source, the drain and the control gate in order to control a current flowing in the channel between the source and the drain by means of a charge stored in the charge storage device, the programming method comprising the following steps:

• - Applying voltages to the drain, the source and the control gate, these voltages being appropriate for a programming operation;
• - monitoring the current flowing in the channel and
• Turning off at least one of the voltages applied to the source, drain and control gate when monitoring that the current flowing in the channel reaches one of a plurality of reference current levels corresponding to a plurality of threshold levels.

32. Programmierverfahren unter Verwendung eines Program­ miersystems für einen nichtflüchtigen Speicher, der nicht­ flüchtige Speicherzellen mit jeweils einer Source, einem Drain, einem Steuergate und mit einer Ladungsspeicherein­ richtung aufweist, die in statisch-kapazitiver Beziehung mit der Source, dem Drain und dem Steuergate verbunden ist, um mittels einer in der Ladungsspeichereinrichtung gespeicher­ ten Ladung den im Kanal zwischen der Source und dem Drain fließenden Strom zu kontrollieren, wobei das Programmierver­ fahren die folgenden Schritte umfaßt:

• - Anlegen von Spannungen an den Drain, die Source und das Steuergate in mindestens einer ausgewählten der Vielzahl nichtflüchtiger Speicherzellen, wobei die Spannungen für einen Programmiervorgang angemessen sind;
• - Überwachen des im Kanal in zumindest der ausgewählten der nichtflüchtigen Speicherzellen fließenden Stroms und
• - Abschalten mindestens einer der Spannungen, wie sie an die Source, den Drain und das Steuergate angelegt werden, wenn überwacht wird, daß der im Kanal in der mindestens einen ausgewählten der nichtflüchtigen Speicherzellen mindestens einen von mehreren Bezugsstrompegeln erreicht, die mehreren Schwellenpegeln entsprechen.

32. Programming method using a programming system for a non-volatile memory, the non-volatile memory cells each having a source, a drain, a control gate and with a charge storage device, which is connected in a static-capacitive relationship with the source, the drain and the control gate in order to control the current flowing in the channel between the source and the drain by means of a charge stored in the charge storage device, the programming method comprising the following steps:

• Applying voltages to the drain, source and control gate in at least one of the plurality of non-volatile memory cells, the voltages being appropriate for a programming operation;
• Monitoring the current flowing in the channel in at least the selected one of the non-volatile memory cells and
• Turning off at least one of the voltages applied to the source, drain and control gate when monitoring that the in the channel in the at least one selected one of the non-volatile memory cells reaches at least one of a plurality of reference current levels corresponding to a plurality of threshold levels.

33. Programmierverfahren unter Verwendung eines Program­ miersystems für einen nichtflüchtigen Speicher, der nicht­ flüchtige Speicherzellen mit jeweils einer Source, einem Drain, einem Steuergate und mit einer Ladungsspeicherein­ richtung aufweist, die in statisch-kapazitiver Beziehung mit der Source, dem Drain und dem Steuergate verbunden ist, um mittels einer in der Ladungsspeichereinrichtung gespeicher­ ten Ladung den im Kanal zwischen der Source und dem Drain fließenden Strom zu kontrollieren, wobei das Programmierver­ fahren die folgenden Schritte umfaßt:

• - Anlegen mindestens einer von mehreren Spannungen, die meh­ reren Schwellenpegeln entsprechen, an den Drain, die Source und das Steuergate in zumindest einer ausgewählten der Viel­ zahl nichtflüchtiger Speicherzellen; und
• - Abschalten mindestens einer der Spannungen, wie sie an die Source, den Drain und das Steuergate angelegt werden, wenn überwacht wird, daß der im Kanal in zumindest der ausge­ wählten der nichtflüchtigen Speicherzellen fließende Strom mindestens einen von mehreren Bezugsstrompegeln erreicht, die mehreren Schwellenpegeln entsprechen.

33. Programming method using a programming system for a non-volatile memory, the non-volatile memory cells each having a source, a drain, a control gate and with a charge storage device, which is connected in a static-capacitive relationship with the source, the drain and the control gate in order to control the current flowing in the channel between the source and the drain by means of a charge stored in the charge storage device, the programming method comprising the following steps:

• Applying at least one of a plurality of voltages corresponding to several threshold levels to the drain, source and control gate in at least one of the plurality of non-volatile memory cells; and
• - Switching off at least one of the voltages, such as are applied to the source, the drain and the control gate, if it is monitored that the current flowing in the channel in at least the selected of the non-volatile memory cells reaches at least one of a plurality of reference current levels which correspond to a plurality of threshold levels .

34. Programmierverfahren unter Verwendung eines Program­ miersystems für einen nichtflüchtigen Speicher, wobei das Programmiersystem eine Zelle auswählen kann und der nicht­ flüchtige Speicher eine Speicheranordnung mit zwei oder mehr Speicherzellen mit einem Feldeffekttransistor mit einem Steuergate, einem Drain und einer Source sowie mit einer La­ dungsspeichereinrichtung aufweist, die mit dem Steuergate, dem Drain und der Source in statisch-kapazitiver Beziehung verbunden ist, um eine Schwellenspannung der Speicherzelle entsprechend einer in der Ladungsspeichereinrichtung gespei­ cherten Ladungsmenge zu bestimmen, wobei das Verfahren die folgenden Schritte aufweist:

• - Einstellen von Spannungen linear proportional zu mehreren Schwellenspannungen;
• - Anlegen von Spannungen linear proportional zu mehreren Schwellenspannungen an das Steuergate, die Source oder den Drain in mindestens einer ausgewählten der Vielzahl von Speicherzellen, und Anlegen fester Spannungen, die zur Pro­ grammierung geeignet sind, an die restlichen zwei Elektroden betreffend das Steuergate, die Source und den Drain; und
• - zwangsweises Beenden der Programmierung jeder Zelle, wenn der im Kanal jeder ausgewählten Zelle fließende Strom einen Bezugsstrom erreicht, um dadurch die ausgewählte Zelle zu programmieren.

34. Programming method using a programming system for a non-volatile memory, wherein the programming system can select a cell and the non-volatile memory has a memory arrangement with two or more memory cells with a field effect transistor with a control gate, a drain and a source and with a charge storage device , which is connected to the control gate, the drain and the source in a static-capacitive relationship in order to determine a threshold voltage of the memory cell in accordance with an amount of charge stored in the charge storage device, the method comprising the following steps:

• - Setting voltages linearly proportional to several threshold voltages;
• - Applying voltages linearly proportional to a plurality of threshold voltages to the control gate, the source or the drain in at least one selected one of the plurality of memory cells, and applying fixed voltages, which are suitable for programming, to the remaining two electrodes relating to the control gate, the source and the drain; and
• forcibly terminating the programming of each cell when the current flowing in the channel of each selected cell reaches a reference current, thereby programming the selected cell.

35. Programmierverfahren unter Verwendung eines Program­ miersystems für einen nichtflüchtigen Speicher, wobei das Programmiersystem eine Zelle auswählen kann und der nicht­ flüchtige Speicher eine Speicheranordnung mit einer Vielzahl von Speicherzellen mit jeweils einem Feldeffekttransistor mit einem Steuergate, einem Drain und einer Source sowie mit einer Ladungsspeichereinrichtung aufweist, die mit dem Steu­ ergate, dem Drain und der Source in statisch-kapazitiver Be­ ziehung verbunden ist, wobei das Verfahren die folgenden Schritte aufweist:

• - Einstellen von Spannungen linear proportional zu mehreren Schwellenspannungen;
• - Anlegen mindestens einer der Spannungen linear proportio­ nal zu mehreren Schwellenspannungen an das Steuergate in zumindest einer ausgewählten der Vielzahl von Speicherzellen und
• - zwangsweises Beenden des Programmierens jeder Zelle, wenn überwacht wird, daß die Ladungsspeichereinrichtung in der ausgewählten Zelle einen Ladungspegel erreicht, der in Zu­ sammenhang mit einer Schwellenspannung steht, die der an das Steuergate angelegten Spannung entspricht, um dadurch die ausgewählte Zelle zu programmieren.

35. Programming method using a programming system for a non-volatile memory, wherein the programming system can select a cell and the non-volatile memory has a memory arrangement with a plurality of memory cells, each having a field effect transistor with a control gate, a drain and a source, and with a charge storage device , which is connected to the control gate, the drain and the source in a static-capacitive relationship, the method comprising the following steps:

• - Setting voltages linearly proportional to several threshold voltages;
• - Apply at least one of the voltages linear proportional to a plurality of threshold voltages to the control gate in at least one of the plurality of memory cells and
• forcibly terminating the programming of each cell when it is monitored that the charge storage device in the selected cell reaches a charge level associated with a threshold voltage corresponding to the voltage applied to the control gate, to thereby program the selected cell.

36. Programmierverfahren unter Verwendung eines Program­ miersystems für einen nichtflüchtigen Speicher, wobei das Programmiersystem eine Zelle auswählen kann und der nicht­ flüchtige Speicher eine Speicheranordnung mit einer Vielzahl von Speicherzellen mit jeweils einem Feldeffekttransistor mit einem Steuergate, einem Drain und einer Source sowie mit einer Ladungsspeichereinrichtung aufweist, die mit dem Steu­ ergate, dem Drain und der Source in statisch-kapazitiver Beziehung verbunden ist, wobei das Verfahren die folgenden Schritte aufweist:

• - Einstellen von Spannungen linear proportional zu mehreren Schwellenspannungen, und Einstellen von in der Source und im Drain der Speicherzellen fließenden Stromstärken in Zusam­ menhang mit den mehreren Schwellenspannungen; und
• - Anlegen der Spannungen linear proportional zu mehreren Schwellenspannungen an die Steuergates in ausgewählten Zel­ len der Vielzahl von Speicherzellen und zwangsweises Beenden des Programmierens jeder Zelle unter Verwendung der festen Stromstärken, um dadurch die ausgewählte Zelle zu program­ mieren.

36. Programming method using a programming system for a non-volatile memory, the programming system being able to select a cell and the non-volatile memory having a memory arrangement having a multiplicity of memory cells, each having a field-effect transistor with a control gate, a drain and a source and with a charge storage device , which is connected to the control gate, the drain and the source in a static-capacitive relationship, the method comprising the following steps:

• Setting voltages linearly proportional to a plurality of threshold voltages, and setting currents flowing in the source and drain of the memory cells in association with the plurality of threshold voltages; and
• Applying the voltages linearly proportional to a plurality of threshold voltages to the control gates in selected cells of the plurality of memory cells and forcibly terminating the programming of each cell using the fixed currents, to thereby program the selected cell.

37. Programmierverfahren unter Verwendung eines Program­ miersystems für einen nichtflüchtigen Speicher, wobei das Programmiersystem eine Zelle auswählen kann und der nicht­ flüchtige Speicher eine Speicheranordnung mit einer Vielzahl von Speicherzellen mit jeweils einem Feldeffekttransistor mit einem Steuergate, einem Drain und einer Source sowie mit einer Ladungsspeichereinrichtung aufweist, die mit dem Steu­ ergate, dem Drain und der Source in statisch-kapazitiver Beziehung verbunden ist, wobei das Verfahren die folgenden Schritte aufweist:

• - Einstellen von Spannungen linear proportional zu mehreren Schwellenspannungen, und Einstellen von in der Source und im Drain der Speicherzellen fließenden Stromstärken in Zusam­ menhang mit den mehreren Schwellenspannungen; und
• - Anlegen der Spannungen linear proportional zu mehreren Schwellenspannungen an die Source, den Drain und das Steuer­ gate in ausgewählten Zellen der Vielzahl von Speicherzellen und zwangsweises Beenden des Programmierens jeder Zelle un­ ter Verwendung der festen Stromstärken, um dadurch die aus­ gewählte Zelle zu programmieren.

37. Programming method using a programming system for a non-volatile memory, the programming system being able to select a cell and the non-volatile memory having a memory arrangement having a multiplicity of memory cells, each having a field-effect transistor with a control gate, a drain and a source and with a charge storage device , which is connected to the control gate, the drain and the source in a static-capacitive relationship, the method comprising the following steps:

• Setting voltages linearly proportional to a plurality of threshold voltages, and setting currents flowing in the source and drain of the memory cells in association with the plurality of threshold voltages; and
• Applying the voltages linearly proportional to multiple threshold voltages to the source, the drain and the control gate in selected cells of the plurality of memory cells and forcibly terminating the programming of each cell using the fixed currents, to thereby program the selected cell.

38. Programmierverfahren unter Verwendung eines Program­ miersystems für einen nichtflüchtigen Speicher, wobei das Programmiersystem eine Zelle auswählen kann und der nicht­ flüchtige Speicher eine Speicheranordnung mit einer Vielzahl von Speicherzellen mit jeweils einem Feldeffekttransistor mit einem Steuergate, einem Drain und einer Source sowie mit einer Ladungsspeichereinrichtung aufweist, die mit dem Steu­ ergate, dem Drain und der Source in statisch-kapazitiver Beziehung verbunden ist, wobei das Verfahren die folgenden Schritte aufweist:

• - Einstellen mehrerer Stromstärken von in der Source und dem Drain der Speicherzellen fließenden Strömen in Zusammenhang mit den mehreren Schwellenspannungen; und
• - Anlegen von Spannungen linear proportional zu mehreren Schwellenspannungen an die Source, den Drain und das Steuer­ gabe in ausgewählten Zellen der Vielzahl von Speicherzellen, und zwangsweises Beenden des Programmierens jeder Zelle un­ ter Verwendung der festen Stromstärken, um dadurch die aus­ gewählte Zelle zu programmieren.

38. Programming method using a programming system for a non-volatile memory, the programming system being able to select a cell and the non-volatile memory having a memory arrangement having a multiplicity of memory cells, each having a field-effect transistor with a control gate, a drain and a source and with a charge storage device , which is connected to the control gate, the drain and the source in a static-capacitive relationship, the method comprising the following steps:

• Setting multiple currents of currents flowing in the source and drain of the memory cells in connection with the multiple threshold voltages; and
• - Applying voltages linearly proportional to multiple threshold voltages to the source, drain and control in selected cells of the plurality of memory cells, and forcibly terminating the programming of each cell using the fixed currents to thereby program the selected cell.

39. Programmierverfahren unter Verwendung eines Program­ miersystems für einen nichtflüchtigen Speicher, wobei das Programmiersystem eine Zelle auswählen kann und der nicht­ flüchtige Speicher eine Speicheranordnung mit einer Vielzahl von Speicherzellen mit jeweils einem Feldeffekttransistor mit einem Steuergate, einem Drain und einer Source sowie mit einer Ladungsspeichereinrichtung aufweist, die mit dem Steu­ ergate, dem Drain und der Source in statisch-kapazitiver Beziehung verbunden ist, wobei das Verfahren die folgenden Schritte aufweist:

• - Anlegen von Spannungen in Zusammenhang mit einer speziel­ len Schwellenspannung an die Source, den Drain und das Steu­ ergate in ausgewählten Zellen der Vielzahl von Speicherzel­ len; und
• - zwangsweises Beenden des Programmierens jeder Zelle unter Verwendung eines Bezugsstroms in Zusammenhang mit der spe­ ziellen Schwellenspannung, um dadurch die ausgewählte Zelle zu programmieren.

39. Programming method using a programming system for a non-volatile memory, wherein the programming system can select a cell and the non-volatile memory has a memory arrangement with a plurality of memory cells, each having a field effect transistor with a control gate, a drain and a source, and with a charge storage device , which is connected to the control gate, the drain and the source in a static-capacitive relationship, the method comprising the following steps:

• - Applying voltages in connection with a special len threshold voltage to the source, the drain and the control gate in selected cells of the plurality of memory cells; and
• forcibly terminating the programming of each cell using a reference current related to the specific threshold voltage, thereby programming the selected cell.