DE19840071A1 - Shapiro-Stufen-SQUID - Google Patents
Shapiro-Stufen-SQUIDInfo
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Abstract
Die Erfindung betrifft ein dc-SQUID mit zwei Josephson-Kontakten, wobei Mittel zum Betrieb des SQUIDs im Bereich innerhalb der ersten Shapiro-Stufe vorgesehen sind. Auf diese Weise wird gegenüber herkömmlichen SQUIDs ein sehr viel empfindlicheres SQUID erhalten.
Description
Die Erfindung betrifft ein Shapiro-Stufen-SQUID zur Messung ei
nes Magnetfelds oder eines magnetischen Flusses.
Als Stand der Technik sind Supraleitende Quanten Interferenz De
tektoren (SQUIDs) bekannt, deren Wirkungsweise auf der Nichtli
nearität von Josephson-Kontakten (JK) beruht. Es handelt sich
dabei um extrem empfindliche Detektoren für Magnetfelder oder
für magnetischen Fluß. Aufgrund ihrer gegenüber anderen Sensoren
überlegenen Empfindlichkeit bei der Messung von Magnetfeldern
bzw. magnetischem Fluß bei niedrigen Frequenzen (bis zu einigen
kHz) kommen SQUIDs in vielen Anwendungen zum Einsatz. Die der
zeit vielversprechendsten Anwendungen liegen in den Bereichen
Biomagnetismus (Messung der Gehirn- und Herz-Aktivität), zerstö
rungsfreie Materialprüfung (z. B. Detektion von Korrosion oder
Rissen in Flugzeug-Rümpfen oder von magnetischen Einschlüssen in
Turbinen-Rädern), und Geologie (z. B. Suche nach Mineralien).
Die wissenschaftliche Arbeit vieler Forschergruppen zielte auf
die Verbesserung der SQUID-Empfindlichkeit ab und führte zu der
Entwicklung verschiedener Typen von SQUIDs. Zu den bekanntesten
Typen gehören rf-SQUIDs, dc-SQUIDs (mit zwei Josephson-
Kontakten), Doppel-(D)-rf-SQUIDs und Relaxations-Oszillations-
SQUIDs. Nach der Entdeckung der Hochtemperatur-Supraleitung
(HTS) im Jahr 1986 wurden zudem empfindliche HTS SQUIDs entwik
kelt. Die Vorteile von HTS-SQUIDs gegenüber Tieftemperatur-
SQUIDs durch den Einsatz bei erheblich höheren Betriebstempera
turen eröffneten neue Perspektiven für den Einsatz von SQUIDs in
praktischen Anwendungen.
Die bekannten HTSL dc-SQUIDs mit zwei Josephson-Kontakten zeigen
eine begrenzte Empfindlichkeit bei der Temperatur T = 77K, im
Bereich um zum Beispiel drei bis vier Größenordnungen von der
Quantengrenze entfernt.
Es ist deshalb Aufgabe der Erfindung einen dc-SQUID mit zwei Jo
sephson-Kontakten mit erhöhter Empfindlichkeit bereitzustellen.
Die Aufgabe wird gelöst durch ein dc-SQUID mit zwei Josephson-
Kontakten gemäß der Gesamtheit der Merkmale nach Anspruch 1.
Weitere zweckmäßige oder vorteilhafte Ausführungsformen finden
sich in den auf den Patentanspruch 1 mittelbar oder unmittelbar
rückbezogenen Unteransprüchen.
Der erfindungsgemäße dc-SQUID mit zwei Josephson-Kontakten weist
Mittel zum Anlegen eines Mikrowellenstroms zum Betrieb im Be
reich innerhalb einer einzigen Shapiro-Stufe auf. Zwar sind Sha
piro-Stufen als solche bekannt. Es wurde jedoch überraschend ge
funden, solche Shapiro-Stufen vorteilhaft zum Betrieb eines dc-
SQUIDs einzusetzen. Auf diese Weise wird die Empfindlichkeit des
dc-SQUID stark heraufgesetzt. Beispielsweise kann auf diese Wei
se bei Fluß- oder Feldmessungen die Empfindlichkeit um einen
Faktor 10 bis 100 gesteigert werden. Während die bekannten HTSL
SQUIDs bei 77K noch um etwa drei Größenordnungen von der Quan
tengrenze entfernt sind, werden, kann man mit dem erfindungsge
mäßen dc-SQUID bei der selben Temperatur beispielsweise bis auf
eine oder zwei Größenordnungen an diese Grenze herankommen.
Gemäß Patentanspruch 2 kann eine Ausführungsform des erfindungs
gemäßen dc-SQUIDs Mittel zum Anlegen eines Mikrowellenstroms zum
Betrieb im Bereich innerhalb der ersten Shapiro-Stufe aufweisen,
die besonders ausgeprägt bildbar ist und damit die Empfindlich
keit des SQUIDs besonders begünstigt.
Gemäß Patentanspruch 3 weist der dc-SQUID vorteilhaft eine Am
plitude des Mikrowellenstroms oder eine Mikrowellenleistung auf,
bei der die gewählte Shapiro-Stufe maximal ausgebildet ist.
Gemäß Patentanspruch 4 wird zur Optimierung des Betriebsmodus
ein dc-SQUID mit einer Mikrowellenfrequenz ν im Bereich von 2 bis
5 νc vorgeschlagen.
Die Erfindung ist im weiteren an Hand von Figuren und Ausfüh
rungsbeispielen näher erläutert. Es zeigt:
Fig. 1: I-V-Kennlinien eines auf der ersten Shapiro-Stufe be
triebenen erfindungsgemäßen SQUIDs für drei verschiedene
Flußstärken: nΦο, 1/2(2n+1) Φο und 1/4 (2n+1) Φο
Fig. 2: Vergleich der Transferfunktion für einen erfindungsgemä
ßen Typ von Shapiro-Stufen-SQUID und einen gewöhnlichen
dc-SQUID als Funktion der normierten SQUID-Induktivität;
Fig. 3: Vergleich der Energieauflösung für einen erfindungsgemä
ßen Typ von Shapiro-Stufen-SQUID und einen gewöhnlichen
dc-SQUID als Funktion der normierten SQUID-Induktivität;
In der Fig. 1 sind die I-V-Kennlinien eines auf der ersten Sha
piro-Stufe betriebenen erfindungsgemäßen SQUIDs für drei ver
schiedene Flußstärken: nΦο, 1/2 (2n+1) Φο und 1/4 (2n+1) Φοdargestellt.
Dabei ist der Strom I auf 2(ν/νc)Ic und die Spannung auf νΦο nor
miert.
In der Fig. 2 ist der Vergleich der Transferfunktion für einen
erfindungsgemäßen Typ von Shapiro-Stufen-SQUID und einen gewöhn
lichen dc-SQUID als Funktion der normierten SQUID-Induktivität
gezeigt. Dabei ist die Transferfunktion normiert auf πIcR/Φ0.
In der Fig. 3 ist der Vergleich der Energieauflösung für einen
erfindungsgemäßen Typ von Shapiro-Stufen-SQUID und einen gewöhn
lichen dc-SQUID als Funktion der normierten SQUID-Induktivität
gezeigt. Diese Daten sind für die Temperatur T = 77K darge
stellt.
Es wurde im Rahmen der Erfindung erkannt, ein gegenüber bekann
ten SQUID empfindlicheres Bauelement für die Messung von klein
sten Magnetfeldern oder magnetischem Fluß bereit zu stellen. Im
folgenden wird dieses erfindungsgemäße SQUID auch als "Shapiro-
Stufen-SQUID" oder "Shapiro-SQUID" bezeichnet.
Ebenso wie bei sämtlichen bekannten SQUID-Typen beruht das Funk
tionsprinzip des Shapiro-Stufen-SQUIDs auf der Nichtlinearität
der Josephson-Kontakte. Jedoch wurde erkannt, das Auftreten ei
ner solchen Shapiro-Stufe zum Betrieb des SQUIDs zu nutzen. Da
bei soll mit geeigneten Mitteln, der Betrieb eines solchen Sha
piro-Stufen-SQUID im Bereich nur einer einzigen Shapiro-Stufe
erfolgen. Sehr vorteilhaft ist dabei die Wahl der ersten Shapi
ro-Stufe zum Betrieb des erfindungsgemäßen SQUIDs.
Es ist bekannt, daß die Strom-Spannungs-Kennlinie eines mit ei
nem Gleichstrom I betriebenen Josephson-Kontaktes bei Anlegen
eines Mikrowellen-Stroms Imw Stufen konstanter Spannung, soge
nannte Shapiro-Stufen, aufweist. Das gilt auch für zwei parallel
geschaltete identische Kontakte, also auch für den dc-SQUID.
Die beiden Josephson-Kontakte können in vorteilhafter Weise
identisch ausgebildet sein und symmetrisch im SQUID-Ring mit ei
ner Induktivität L angeordnet sein.
Diese Shapiro-Stufen beruhen auf dem ac-Josephson-Effekt und
treten bei Spannungen V auf, die durch Vn = nνΦ0 gegeben sind.
Hierbei ist n eine ganze Zahl und indiziert die Stufen-Nummer, ν
ist die Frequenz der eingestrahlten Mikrowelle und Φ0 ist das
Flußquant. Die Form, insbesondere die Schärfe der Shapiro-Stufen
wird durch den zu messenden, niederfrequenten, angelegten Fluß
Φx, und durch die Mikrowellenleistung moduliert.
Es wurde im Rahmen der Erfindung erkannt, beim erfindungsgemäßen
Shapiro-Stufen SQUID, das SQUID mit einem Gleichstrom (dc Strom)
I auf der ersten (n = 1) Shapiro-Stufe (Bias Level in der Fig. 1)
zu betreiben. Es ist aber auch vorstellbar, den erfindungsgemä
ßen SQUID auf einer der nächsten Shapiro-Stufen zu betreiben.
Die Mikrowellen-Frequenz ν sollte oberhalb der sogenannten cha
rakteristischen Frequenz der Josephson-Kontakte liegen, typi
scherweise in der Größenordnung einiger Gigahertz (GHz)bis über
100 GHz, beispielsweise im Bereich von 1 bis 150 GHz, wenn auch
andere Werte ebenfalls vorstellbar sind. Die Mikrowellen-
Leistung oder die Amplitude des Mikrowellen-Stroms Imw sollte so
gewählt sein, daß die jeweilige zum Betrieb vorgesehene Shapiro-
Stufe, vorzugsweise die erste (n = 1) Shapiro-Stufe, maximal wird.
Da die Struktur der Shapiro-Stufe empfindlich von einer Variati
on des zu messenden, niederfrequenten, angelegten Flusses ab
hängt, ist es möglich, verschiedene Transferfunktionen für die
sen SQUID-Typ zu definieren. Dabei beeinflußt thermisches Rau
schen, das in den Josephson-Kontakten erzeugt wird, ebenfalls
die Struktur der Shapiro-Stufen. Im folgenden wird der Einfluß
von thermischem Rauschen auf den Betrieb eines Shapiro-Stufen-
SQUIDs näher erläutert.
Es ist gut bekannt, daß thermisches Rauschen einen entscheiden
den Einfluß auf den Wert der Spannungs-Transferfunktion eines
SQUIDs hat. Je größer der Wert für L/LF, desto stärker nimmt die
Transferfunktion ab. Hierbei ist L die SQUID-Induktivität,
LF = (Φ0/2π)2/kBT ist die sogenannte thermische Grenzinduktivi
tät, kB ist die Boltzmann-Konstante und T ist die absolute Tempe
ratur. Bei T = 77 Kelvin gilt LF = 100pH. Allerdings ermöglicht eine
höhere SQUID-Induktivität eine bessere Fluß-Einkopplung in das
SQUID, was für die Messung von Magnetfeldern entscheidend ist.
Aus diesen Gründen ist eine Optimierung bezüglich L erforder
lich. Für ein gewöhnliches dc-SQUID wurde dieses Problem aus
führlich analysiert, und es wurde gefunden, daß für den geeig
neten Betrieb eines optimalen Systems die dc-SQUID-Induktivität
vorzugsweise nicht über einen Wert von 1 LF bis 1,5 LF liegen
sollte.
Im folgenden ist im Rahmen der Erfindung dieses Problem für ein
erfindungsgemäßes Shapiro-Stufen-SQUID erläutert.
Der Analyse wurde eine rigorose und leistungsstarke Methode, der
sogenannte Fokker-Plank-Ansatz, zugrunde gelegt. Dieser Ansatz
ist angemessen, wenn thermische Fluktuationen wichtig sind. Auf
dieser Grundlage wurde die zeitlich gemittelte Spannung V unter
Berücksichtigung des Einflusses von thermischen Fluktuationen
berechnet. Durch Bildung der Ableitung ∂V/∂Φx der Spannung V nach
dem zu messenden, angelegten Fluß Φx erhält man die Spannungs-
Transferfunktion. Der Vergleich mit einem optimalen bekannten
dc-SQUID, dessen Werte als gestrichelte Linie in der Fig. 2
dargestellt wurden, zeigt, daß ein optimales Shapiro-Stufen
SQUID (durchgezogene Linie in der Fig. 2) eine bessere Span
nungs-Transfer-funktion (im Durchschnitt etwa zehn mal höher)
hat. Dies gilt für Induktivitäten in einem Wertebereich von
praktischem Interesse, also 0,5LF <L< 3LF, bzw. 50 pH < L < 300 pH.
Es ist gut bekannt, daß die Energieauflösung ε die wesentliche
Kenngröße (figure of merit) eines SQUIDs darstellt. Wird nur
thermisches Rauschen berücksichtigt, dann ist ε für einen gewöhn
lichen dc-SQUID näherungsweise wie folgt gegeben:
Hierbei ist R der Normalwiderstand der beiden identischen Jo
sephson-Kontakte, Rdyn der dynamische Widerstand des SQUIDs und
die Größe in Klammern: (VΦ) voltage = ∂V/∂Φx, ist die Spannungs-
Transferfunktion des dc-SQUIDs. Die Berechnungen ergeben in gu
ter Näherung Rdyn = R/2.
Darüber hinaus wurde gefunden, daß in dem Frequenzbereich in dem
niederfrequentes 1/f-Rauschen nicht dominiert, wie beim bekann
ten dc-SQUID, auch für ein Shapiro-SQUID die wichtigste Quelle
für Rauschen durch thermisches Rauschen gegeben ist. Deshalb
konnte die Gleichung (1) in guter Näherung auf beide Typen von
2-JK SQUIDs angewandt werden. Durch Einsetzen der berechneten
Werte für die Spannungs-Transferfunktion der zwei 2-JK SQUID-
Typen aus der Fig. 2 in der Gleichung (1) erhält man die Ener
gieauflösung als eine Funktion der normierten SQUID-
Induktivität.
Aus der Fig. 3 ist in diesem Zusammenhang ersichtlich, daß die
Energieauflösung eines optimalen Shapiro-Stufen SQUIDs (durchge
zogene Linie in der Fig. 3) für alle in der Praxis relevanten
Induktivitäten, die Energieauflösung eines optimalen dc-SQUIDs
(gestrichelte Linie in der Fig. 3) übertrifft, wenn die Tempe
ratur 77K ist. Zwei relevante Beispiele sind aus der Figur im
Ergebnis ohne weiteres ersichtlich. Bei L = LF = 100 pH ist die
Energieauflösung eines Shapiro-Stufen-SQUIDs etwa fünf mal bes
ser. Bei L = 2LF = 200 pH ist der Wert sogar zehn mal besser als die
eines dc-QUIDs, bei gleichen Werten für die Parameter R, L, and
Ic (Ic ist der kritische Strom der beiden identischen Josephson-
Kontakte).
Ein besonderer Satz optimaler Parameter-Werte für ein erfin
dungsgemäßes Shapiro-Stufen-SQUID ist im folgenden gegeben.
Die Parameter für ein bei T = 77 Kelvin betriebenes, erfindungsge
mäßes Shapiro-Stufen SQUID sind:
- - Mikrowellen-Frequenz ν = (2-5)νc, wobei die charakteristische Frequenz der beiden identischen Josephson-Kontakte durch 2πνc = ωc = 2πIcR/Φ0 gegeben ist;
- - SQUID-Induktivität L = (0,5-3) LF = (50-300)pH;
- - Rauschparameter Γ = 0,2, wobei Γ = 2πkBT/IcΦ0; daraus folgt ein Wert für den kritischen Strom Ic = 15 µA;
Es gibt keine Begrenzung für den Wert des Normalwiderstands R
der Josephson-Kontakte; daher sollte R typische Werte besitzen,
d. h. etwa mehrere Ohm oder ein Mehrfaches von 0,1 Ohm.
L = LF = 100 pH, R = 1Ω, and Ic = 15 µA; in diesem Fall ergeben sich die
Werte Γ = 0,2 und νc = 10 GHz; dabei liegt die Mikrowellen-Frequenz
im Bereich ν = (20-50) GHz.
Mit L = 100 pH und mit einen typischen Wert für den Normalwider
stand R = 5Ω, weist das erfindungsgemäße HTS-Shapiro-Stufen-SQUID
bei 77K eine berechnete Energieauflösung von 2 × 10-32 J/Hz auf, und
mit L = 200pH, ε = 6 × 10-32 J/Hz. Zum Vergleich ergibt sich für ein bei
77K betriebenes HTS-dc-SQUID mit denselben Parametern für die
beiden identischen Josephson-Kontakte, R und Ic, eine berechnete
Energieauflösung von nur 1 × 10-31 J/Hz mit L = 100 pH, und ε = 6 × 10-31
J/Hz mit L = 200pH.
Im folgenden werden zwei mögliche Betriebsmoden für ein erfin
dungsgemäßes Shapiro-Stufen SQUID erläutert.
In diesem ersten Betriebsmodus ist das gemessene Ausgangssignal
des Shapiro-Stufen SQUIDs die dc-Ausgangsspannung. Die dc-
Ausgangsspannung wird durch das zu messende Eingangssignal, den
angelegten Fluß, verändert. In diesem Fall ist die Auslese-
Elektronik für das Ausgangssignal identisch mit derjenigen,
welche für ein dc-SQUID verwendet wird.
In diesem Betriebsmodus kann man die Spannungs-Transfer-funktion
für ein Shapiro-Stufen SQUID in der üblichen Weise definieren:
(VΦ)voltage = ∂V/∂Φx. Die wesentliche Besonderheit für diesen Fall
liegt in der Tatsache, daß eine leichte Veränderung des Gleich
stroms I in der Nähe einer Shapiro-Stufe (siehe Fig. 1) zu ei
nem Vorzeichenwechsel in der Spannungs-Transferfunktion führt,
wobei die Transferfunktion nur moderate Maxima als Funktion des
Gleichstroms I durchläuft.
In diesem zweiten Betriebsmodus wird dem Mikrowellenstrom Imw und
dem dc-Strom I ein niederfrequenter Strom Iac (mit Frequenzen von
einigen 100 Hz bis einigen 10 kHz - abhängig von der SQUID-
Anwendung) mit kleiner Amplitude überlagert. Daraus ergibt sich
in diesem Betriebsmodus eine Wechselspannung Vac als Ausgangs
signal. Die Amplitude von Vac wird durch den zu messenden, ange
legten Fluß moduliert. Eine standardmäßige Lock-In Technik ist
erforderlich um Änderungen in der Amplitude von Vac zu detektie
ren.
Zwei Bedingungen sollten für diesen zweiten Betriebsmodus er
füllt sein.
Zunächst sollte die Frequenz Vtluß des gemessenen magnetischen
Flusses Φx wesentlich niedriger (etwa um einen Faktor zehn oder
mehr) als die Frequenz νac des angelegten Wechselstroms Iac sein.
Beispielsweise kann zur Messung eines magnetischen Flusses bei
einer Frequenz νac = 100 Hz der Wechselstrom Iac eine Frequenz von
mindestens ca. 1 kHz aufweisen. Die Bezeichnung "niederfre
quent", sollte also dahingehend interpretiert werden, daß diese
Bedingung erfüllt ist.
Desweiteren soll die Amplitude des niederfrequenten Wechsel
stroms Iac nicht größer als der kritische Strom Ic sein. Mit ei
nem typischen Wert für den kritischen Strom von Ic = 15 µA sollte
also die Amplitude von Iac kleiner oder gleich 15 µA betragen.
In diesem Betriebsmodus definiert man die dynamische Leitfähig
keit - (Gdyn = 1/Rdyn) - Transferfunktion eines erfindungsgemäßen Shapi
ro-Stufen-SQUIDs mit Hilfe des folgenden Ausdrucks:
(VΦ) conductance = ∂Gdyn /∂Φx = ∂(∂Iac/∂Vac)/∂Φx = ∂(1/Rdyn)/∂Φx.
Die wesentliche Besonderheit für diesen Fall liegt in der Tatsa
che, daß eine leichte Veränderung des dc-Stroms I in der Nähe
einer Shapiro-Stufe (siehe Fig. 1) zu einem scharfen Maximum in
der dynamischen Leitfähigkeits-Transferfunktion führt.
Die Berechnungen im Rahmen der Erfindung haben ergeben, daß es
vorteilhafter ist diese Transferfunktion zu nutzen als die Span
nungs-Transferfunktion eines erfindungsgemäßen Shapiro-Stufen-
SQUIDs. Der Grund hierfür ist von sehr allgemeiner Natur und
wurde bis heute in vielen anderen, gut bekannten Bereichen ge
nutzt, in denen empfindliche Messungen erforderlich waren. In
der Tat ist es vorteilhafter, ein scharfes Maximum der Transfer
funktion (hier die dynamische Leitfähigkeits-Transferfunktion)
eines Sensors (hier das Shapiro-Stufen SQUID) zu detektieren,
als deren monotone Änderung oder ein nur moderates Maximum.
Claims (4)
1. dc-SQUID mit zwei Josephson-Kontakten, gekennzeichnet
durch Mittel zum Anlegen eines Mikrowellenstroms zum Betrieb
im Bereich innerhalb einer einzigen Shapiro-Stufe.
2. dc-SQUID mit zwei Josephson-Kontakten nach Anspruch 1, ge
kennzeichnet durch Mittel zum Anlegen eines Mikrowel
lenstroms zum Betrieb im Bereich innerhalb der ersten Shapiro-
Stufe.
3. dc-SQUID mit zwei Josephson-Kontakten nach einem der vorherge
henden Ansprüche, gekennzeichnet durch eine Amplitude
des Mikrowellenstroms oder eine Mikrowellenleistung, bei der
die gewählte Shapiro-Stufe maximal ausgebildet ist.
4. dc-SQUID mit zwei Josephson-Kontakten nach einem der vorherge
henden Ansprüche, gekennzeichnet durch eine Mikrowel
lenfrequenz ν im Bereich von größer als 1 bis 5 νc.
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE1998140071 DE19840071A1 (de) | 1998-09-03 | 1998-09-03 | Shapiro-Stufen-SQUID |
PCT/DE1999/002720 WO2000014559A2 (de) | 1998-09-03 | 1999-09-01 | Shapiro-stufen-squid |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE1998140071 DE19840071A1 (de) | 1998-09-03 | 1998-09-03 | Shapiro-Stufen-SQUID |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE19840071A1 true DE19840071A1 (de) | 2000-03-23 |
Family
ID=7879619
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE1998140071 Withdrawn DE19840071A1 (de) | 1998-09-03 | 1998-09-03 | Shapiro-Stufen-SQUID |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
DE (1) | DE19840071A1 (de) |
WO (1) | WO2000014559A2 (de) |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4923850A (en) * | 1987-10-20 | 1990-05-08 | Thomson-Csf | Superconducting DC SQUID magnetometer working in liquid nitrogen |
US4985117A (en) * | 1989-02-04 | 1991-01-15 | Kabushiki Kaisha Riken | Method of manufacturing josephson junctions |
US5696392A (en) * | 1992-09-14 | 1997-12-09 | Conductus, Inc. | Barrier layers for oxide superconductor devices and circuits |
-
1998
- 1998-09-03 DE DE1998140071 patent/DE19840071A1/de not_active Withdrawn
-
1999
- 1999-09-01 WO PCT/DE1999/002720 patent/WO2000014559A2/de active Application Filing
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Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
WO2000014559A2 (de) | 2000-03-16 |
WO2000014559A3 (de) | 2000-06-02 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
OP8 | Request for examination as to paragraph 44 patent law | ||
8130 | Withdrawal |