DE19803990A1

DE19803990A1 - Measurement of proportion of paramagnetic gas particles, e.g. oxygen, in gas

Info

Publication number: DE19803990A1
Application number: DE1998103990
Authority: DE
Inventors: Guenter Dipl Ing Marcaux
Original assignee: Siemens AG
Current assignee: Siemens AG
Priority date: 1998-02-02
Filing date: 1998-02-02
Publication date: 1999-06-02

Abstract

In the determination of the proportion of paramagnetic gas particles, e.g. oxygen, nitrogen dioxide or nitrogen monoxide in a gas, paramagnetic particles are drawn to and dampen the surface of an oscillating body. In the measurement of the proportion of paramagnetic gas particles in a mixture of gases, a body (8) is caused to oscillate by a surrounding alternating magnetic field (6). One oscillation parameter is selected to determine the concentration of the gas. The body (8) is located in a non-homogenous part of the magnetic field, and the magnetic field strength is varied periodically. The periodic variation of the magnetic field are corrected by the frequency of the body (8). The magnetic field (6) is varied in pulses, and the oscillation parameters are registered during the pulse pauses. The oscillation parameters registered are the frequency, amplitude, nature and duration of the oscillation.

Description

Die Erfindung betrifft ein Verfahren nach dem Oberbegriff des Anspruchs 1 sowie eine Vorrichtung nach dem Oberbegriff des Anspruchs 7.The invention relates to a method according to the preamble of Claim 1 and a device according to the preamble of Claim 7.

Ein derartiges Verfahren bzw. eine derartige Vorrichtung sind aus der US-A-5 369 980 bekannt. Dort ist zur Messung der Kon zentration eines paramagnetischen Gasanteils, z. B. Sauer stoff, Stickstoffdioxid oder Stickstoffmonoxid, in einem Gas gemisch ein von dem Gasgemisch umgebener Körper schwingungs fähig in dem Magnetfeld eines Permanentmagneten angeordnet. Der Körper wird dabei an einem Metallstreifen gehalten, der das Magnetfeld quer zur Feldrichtung durchkreuzt und von ei nem Wechselstrom durchflossen wird. Als Folge davon schwingt der Metallstreifen mit dem daran befestigten Körper mit der Frequenz des Wechselstromes, wobei die Schwingung durch das den schwingenden Körper umgebende Gasgemisch gedämpft wird. Im Unterschied zu den übrigen Gasanteilen des Gasgemischs, die wie die meisten Gase diamagnetisch sind, werden die para magnetischen Gasanteile durch das Magnetfeld angezogen und um den Körper herum verdichtet, so daß die Dämpfung der Schwin gung von der Konzentration der paramagnetischen Gasanteile abhängig ist. Die meßtechnische Bestimmung dieser Konzentra tion erfolgt dementsprechend durch Erfassung und Auswertung geeigneter Schwingungsparameter, wie z. B. der Schwingungs frequenz, der Güte des Schwingungssystems, der Schwingungs amplitude oder der Energie, die notwendig ist, um die Schwin gung des Körpers aufrechtzuerhalten. Dazu wird die in dem schwingenden Metallstreifen induzierte Spannung erfaßt und ausgewertet. Such a method or device are known from US-A-5 369 980. There is the Kon concentration of a paramagnetic gas component, e.g. B. Sauer substance, nitrogen dioxide or nitrogen monoxide, in a gas mix a body vibrated by the gas mixture capable of being arranged in the magnetic field of a permanent magnet. The body is held on a metal strip that the magnetic field crosses perpendicular to the field direction and from egg through an alternating current. As a result, it swings the metal strip with the body attached to it with the Frequency of the alternating current, the oscillation by the gas mixture surrounding the vibrating body is damped. In contrast to the other gas fractions in the gas mixture, which, like most gases, are diamagnetic, become para magnetic gas components attracted by the magnetic field and around compacted the body around, so that the damping of the Schwin the concentration of the paramagnetic gas components is dependent. The metrological determination of this concentration accordingly takes place through recording and evaluation suitable vibration parameters, such as. B. the vibration frequency, the quality of the vibration system, the vibration amplitude or the energy that is necessary to the Schwin maintenance of the body. For this, the in the vibrating metal strips and induced voltage evaluated.

Gemäß der Erfindung erfolgt die Konzentrationsmessung para magnetischer Gasanteile durch das in Anspruch 1 angegebene Verfahren bzw. die in Anspruch 7 angegebene Vorrichtung. Da bei wird durch das sich ändernde Magnetfeld in der Umgebung des schwingungsfähigen Körpers ein sich entsprechend ändern der Partialdruck der paramagnetischen Gasanteile erzeugt, wobei aufgrund des in der Umgebung des Körpers inhomogenen Magnetfeldes an unterschiedlichen Stellen des Körpers unter schiedliche Kräfte auf diesen wirken. In Abhängigkeit von den Umgebungsdruckverhältnissen wird daher der Körper mehr oder weniger aus seiner Ruhelage verdrängt und zum Schwingen an geregt. Dabei wird die Konzentration der paramagnetischen Gasanteile durch Erfassung und Auswertung geeigneter Schwin gungsparameter bestimmt.According to the invention, the concentration measurement is carried out para magnetic gas fractions by that specified in claim 1 Method or the device specified in claim 7. There at is due to the changing magnetic field in the area of the vibrating body change accordingly generates the partial pressure of the paramagnetic gas components, being due to the inhomogeneous around the body Magnetic field at different parts of the body different forces act on them. Depending on the The body therefore becomes more or more ambient pressure conditions less displaced from its rest position and start to vibrate excited. The concentration of paramagnetic Gas fractions by recording and evaluating suitable Schwin determined parameters.

Die Feldstärke des Magnetfeldes kann im Rahmen der Erfindung periodisch variiert werden, wobei das Magnetfeld vorzugsweise als Wechselmagnetfeld erzeugt wird. Als Magnetanordnung dient hierbei ein aus einer Wechselstromquelle gespeister Elektro magnet.The field strength of the magnetic field can be within the scope of the invention be varied periodically, the magnetic field preferably is generated as an alternating magnetic field. Serves as a magnet arrangement in this case, an electric powered from an alternating current source magnet.

Das sich ändernde Magnetfeld bewirkt nicht nur die zu er fassende Schwingung des Körpers, sondern kann zusätzlich un erwünschte Wechselspannungen in der zur Erfassung und Aus wertung der Schwingungen dienenden Einrichtung induzieren. Der Einfluß dieser Wechselspannungen auf die Erfassung der Schwingung des Körpers kann durch geeignete Filter- oder Kompensationsmaßnahmen beseitigt werden. Solche Maßnahmen sind in vorteilhafter Weise nicht erforderlich, wenn die Feldstärke des Magnetfeldes pulsweise verändert wird und die Schwingungsparameter in den Pulspausen erfaßt werden.The changing magnetic field does not only effect it gripping vibration of the body, but can also un desired alternating voltages in the for detection and off induce evaluation of the vibrating device. The influence of these AC voltages on the detection of the Vibration of the body can be done by suitable filter or Compensation measures are eliminated. Such measures are advantageously not required if the Field strength of the magnetic field is changed in pulses and the Vibration parameters can be recorded in the pulse pauses.

Bezüglich der schwingungsfähigen Anordnung des Körpers und der Erfassung und Auswertung geeigneter Schwingungsparameter bestehen im Rahmen der Erfindung unterschiedliche Möglich keiten. So kann der Körper an einem biegeelastischen Element gehalten sein, dessen Durchbiegung mit Hilfe geeigneter Mit tel, wie ein an dem biegeelastischen Element angeordnetes oder dieses bildende Piezoelement oder ein Dehnungsmeß element, erfaßt wird.Regarding the vibratory arrangement of the body and the acquisition and evaluation of suitable vibration parameters there are different possibilities within the scope of the invention keiten. So the body can work on a flexible element be kept, the deflection with the help of suitable Mit tel, such as one arranged on the flexible element or this piezo element or a strain gauge element that is detected.

Alternativ kann die Auslenkung des schwingenden Körpers optisch erfaßt werden, wozu beispielsweise ein Lichtstrahl von einem an dem schwingenden Körper angeordneten Spiegel auf einen Lichtsensor mit örtlicher Auflösung gelenkt wird.Alternatively, the deflection of the vibrating body be optically detected, for example a light beam from a mirror arranged on the vibrating body a light sensor with local resolution is steered.

Schließlich kann der Körper so wie beim Stand der Technik an einem das Magnetfeld kreuzenden Metallband aufgehängt sein, wobei der in dem Metallband induzierte Strom erfaßt und aus gewertet wird. Darüber hinaus sind weitere, z. B. kapazitive und induktive, Meßverfahren denkbar.After all, the body can do as in the prior art a metal band crossing the magnetic field, the current induced in the metal strip being sensed and off is evaluated. In addition, other, e.g. B. capacitive and inductive, measuring methods conceivable.

Zur weiteren Erläuterung der Erfindung wird im folgenden auf die Figuren der Zeichnung Bezug genommen; im einzelnen zei gen:To further explain the invention, the following is based on the figures of the drawing are referred to; in detail gene:

Fig. 1 ein Ausführungsbeispiel der erfindungsgemäßen Vor richtung mit einem an einem biegeelastischen Element gehaltenen Körper, dessen Schwingungen mittels eines Piezoelements oder Dehnungsmeßelements erfaßt wer den, Fig. 1 shows an embodiment of the pre direction with a maintained at a flexurally elastic element body whose vibrations detected according to the invention by means of a piezo element or the Dehnungsmeßelements who,

Fig. 2 ein Beispiel für eine optische Erfassung der Schwin gungen des Körpers, Fig. 2 shows an example for an optical detection of the oscillations of the body movements,

Fig. 3 ein alternatives Beispiel für die Aufhängung des Körpers an einem Metallband und die Erfassung der Schwingungen des Körpers durch die in dem Metallband induzierte Spannung und Fig. 3 shows an alternative example of the suspension of the body on a metal band and the detection of the vibrations of the body by the tension induced in the metal band and

Fig. 4 ein Blockschaltbild einer Einrichtung zur Magnet felderzeugung und zur Erfassung und Auswertung der Schwingungen des Körpers. Fig. 4 is a block diagram of a device for magnetic field generation and for detecting and evaluating the vibrations of the body.

Fig. 1 zeigt eine Magnetanordnung, die aus einem Elektro magneten 1 mit zwei einander gegenüberliegenden Polschuhen 2 und 3, einer Wicklung 4 und einer daran angeschlossenen Stromquelle 5, hier einer Wechselspannungsquelle, besteht. Im Bereich des zwischen den beiden Polschuhen 2 und 3 erzeugten Magnetfeldes 6 ist eine hier nur angedeutete Meßkammer 7 an geordnet, die ein Gasgemisch mit bezüglich ihrer Konzentra tion zu bestimmenden paramagnetischen Gasanteilen, z. B. Sauerstoff, enthält. In der Meßkammer 7 ist in einem Bereich zwischen den Polschuhen 2 und 3, in dem das Magnetfeld 6 in homogen ist, ein Körper 8, hier eine Glaskugel, schwingungs fähig angeordnet. Dazu ist der Körper 8 an dem freien Ende eines biegeelastischen Elements 9 gehalten, das an seinem anderen Ende in einer Halterung 10 fest eingespannt ist. An dem biegeelastischen Element 9 ist ein Piezoelement 11 oder alternativ ein hier nicht gezeigtes Dehnungsmeßelement ge halten, an dem eine Einrichtung 12 zur Erfassung und Aus wertung von Schwingungen des Körpers 8 angeschlossen ist. Fig. 1 shows a magnet arrangement consisting of an electric magnet 1 with two opposing pole pieces 2 and 3 , a winding 4 and a current source 5 connected to it , here an AC voltage source. In the area of the magnetic field 6 generated between the two pole pieces 2 and 3 , a measurement chamber 7 , which is only indicated here, is arranged, which contains a gas mixture with parametric gas fractions to be determined with regard to their concentration, e.g. B. contains oxygen. In the measuring chamber 7 in a region between the pole pieces 2 and 3 , in which the magnetic field 6 is homogeneous, a body 8 , here a glass ball, is arranged capable of vibrating. For this purpose, the body 8 is held at the free end of a flexible element 9 , which is firmly clamped in a holder 10 at its other end. On the flexurally elastic element 9 is a piezo element 11 or alternatively a strain gauge element, not shown here, to which a device 12 for detecting and evaluating vibrations of the body 8 is connected.

Die paramagnetischen Gasanteile des Gasgemischs in der Meß kammer 7 werden von dem Magnetfeld 6 angezogen und dort ver dichtet, so daß im Bereich des Magnetfeldes 6 ein höherer Partialdruck vorliegt, der um so höher ist, je größer die Feldstärke ist. Da der Körper 8 in einem Bereich des Magnet feldes 6 angeordnet ist, in dem dieses inhomogen ist, wirken an unterschiedlichen Stellen des Körpers 8 auf diesen unter schiedlich hohe, durch den Partialdruck der paramagnetischen Gasanteile hervorgerufene Kräfte. Der Körper 8 wird daher aus dem Magnetfeld 6 herausgedrängt, was zu einer Biegung des biegeelastischen Elements 9 führt, die mittels des Piezo elements 11 und der daran angeschlossenen Einrichtung 12 erfaßt wird. Da der Elektromagnet 1 aus der Spannungsquelle 5 mit einem periodisch variierenden Strom, hier einem Wechsel strom I∼, gespeist wird, ist das Magnetfeld 6 ein Wechsel magnetfeld, so daß auch die Partialdruckverhältnisse in der Meßkammer 7 zwischen den Polschuhen 2 und 3 periodisch vari ieren und somit den Körper 8 zu einer Schwingung anregen. Die Stärke dieser Schwingung ist von der Konzentration der para magnetischen Gasanteile in dem Gasgemisch abhängig, was über die Biegung des biegeelastischen Elements 9 erfaßt und aus gewertet wird.The paramagnetic gas components of the gas mixture in the measuring chamber 7 are attracted by the magnetic field 6 and there sealed ver, so that in the area of the magnetic field 6 there is a higher partial pressure, which is higher, the greater the field strength. Since the body 8 is arranged in a region of the magnetic field 6 , in which it is inhomogeneous, act on the body 8 at different points on this under differently high forces caused by the partial pressure of the paramagnetic gas components. The body 8 is therefore pushed out of the magnetic field 6 , which leads to a bending of the flexible element 9 , which is detected by means of the piezo element 11 and the device 12 connected to it. Since the electromagnet 1 is fed from the voltage source 5 with a periodically varying current, here an alternating current I∼, the magnetic field 6 is an alternating magnetic field, so that the partial pressure conditions in the measuring chamber 7 between the pole pieces 2 and 3 vary periodically and thus stimulate the body 8 to vibrate. The strength of this vibration is dependent on the concentration of the para magnetic gas components in the gas mixture, which is detected and evaluated from the bending of the flexible element 9 .

Fig. 2 zeigt ein Beispiel für eine alternative Erfassung der Schwingung des Körpers 8, der hier in gleicher Weise wie bei dem Ausführungsbeispiel nach Fig. 1 an einem biegeelasti schen Element 9 gehalten ist, das in einer Halterung 10 fest eingespannt ist. Anstelle des Piezoelements 11 oder des dazu alternativen Dehnungsmeßelements ist hier an dem biegeelasti schen Element 9 ein Spiegel 13 angeordnet, der einen von einer Lichtquelle 14 kommenden Lichtstrahl 15 auf einen aus mehreren nebeneinanderliegenden Sensorelementen 16 bestehen den Lichtsensor 17 reflektiert, dem eine Auswerteeinrichtung 18 nachgeordnet ist. Je nach Auslenkung des Körpers 8 wird der Lichtstrahl 15 auf unterschiedliche Sensorelemente 16 des Lichtsensors 17 reflektiert. Der Spiegel 13 kann natürlich auch unmittelbar an dem Körper 8 oder als Teil des Körpers 8 ausgebildet sein. Fig. 2 shows an example of an alternative detection of the vibration of the body 8 , which is held here in the same way as in the embodiment of FIG. 1 on a flexurally elastic element 9, which is firmly clamped in a holder 10 . Instead of the piezo element 11 or the alternative strain measuring element, a mirror 13 is arranged here on the flexurally elastic element 9 , which reflects a light beam 15 coming from a light source 14 onto a light sensor 17 consisting of several sensor elements 16 lying next to one another, to which an evaluation device 18 is arranged . Depending on the deflection of the body 8 , the light beam 15 is reflected on different sensor elements 16 of the light sensor 17 . The mirror 13 can of course also be formed directly on the body 8 or as part of the body 8 .

Bei dem Ausführungsbeispiel nach Fig. 3 ist der Körper 8 an einem Metallband 19 gehalten, das das Magnetfeld 6 quer zur Feldrichtung durchkreuzt. Das Metallband 19 ist an seinen beiden Enden an elastischen Aufhängungen 20 und 21 gehalten, so daß es quer zu seiner Längsrichtung auslenkbar ist. An den beiden Enden des Metallbandes 19 ist eine Auswerteeinrichtung 22 angeschlossen, die in dem Metallband 19 induzierte Span nungen erfaßt, die von Schwingungen des Körpers 8 und damit Schwingungen des Metallbandes 19 hervorgerufen werden.In the exemplary embodiment according to FIG. 3, the body 8 is held on a metal band 19 which crosses the magnetic field 6 transversely to the field direction. The metal band 19 is held at its two ends on elastic suspensions 20 and 21 so that it can be deflected transversely to its longitudinal direction. At the two ends of the metal strip 19 an evaluation device 22 is connected, detects voltages induced in the metal band 19 clamping the vibration of the body 8 and thus vibrations of the metal strip are caused nineteenth

In dem Blockschaltbild nach Fig. 4 ist mit 23 eine Einrich tung bezeichnet, die die Schwingungen des Körpers 8 erfaßt und je nach Ausführung dem in Fig. 1 gezeigten Piezoelement 11 oder Dehnungsmeßelement, dem in Fig. 2 gezeigten Licht sensor 17 oder dem in Fig. 3 gezeigten Metallband 19 ent spricht. Der Einrichtung 23 ist eine Auswerteeinrichtung 24 entsprechend den in den Fig. 1, 2 und 3 gezeigten Ein richtungen 12, 18 und 22 nachgeordnet. Die Wechselstrom quelle 5 speist die Wicklung 4 des Elektromagneten 1 mit dem Wechselstrom I∼. Bei den in den Fig. 1 und 3 gezeigten Ausführungsbeispielen der erfindungsgemäßen Vorrichtung be wirkt das Wechselmagnetfeld 6 nicht nur die gewünschte Aus lenkung des Körpers 8, sondern induziert in dem Meßstromkreis zwischen der Einrichtung 23 und der Einrichtung 24, also z. B. im Falle der Fig. 1 zwischen dem Piezoelement 11 und der Auswerteeinrichtung 12, eine unerwünschte Wechselspannung mit der Frequenz des Wechselstromes I∼. Demgegenüber ist die Änderungsfrequenz des Partialdruckes der paramagnetischen Gasanteile im Bereich des Magnetfeldes 6 und damit die Schwingungsfrequenz des Körpers 8 doppelt so groß, so daß der störende Wechselspannungsanteil in dem Meßstromkreis mit ein fachen Mitteln herausgefiltert werden kann. Bei dem in Fig. 4 gezeigten Ausführungsbeispiel geschieht dies dadurch, daß der Wechselstrom I∼ der Einrichtung 24 zugeführt und dort von dem Signal der Einrichtung 23 subtrahiert wird. Die Mes sung der Konzentration der paramagnetischen Gaskomponenten erfolgt durch Auswertung geeigneter Schwingungsparameter, z. B. der Frequenz oder Amplitude der Schwingungen des Kör pers 8. Bei dem gezeigten Ausführungsbeispiel wird die Fre quenz der Wechselspannungsquelle 5 in Abhängigkeit von der erfaßten Schwingungsfrequenz des Körpers 8 gesteuert und auf einen festen Frequenzwert eingestellt. Dazu wird das Aus gangssignal der Einrichtung 24 über einen Signalweg 25 oder alternativ das Ausgangssignal der Einrichtung 23 über einen hier gestrichelt angedeuteten Signalweg 26 der Stromquelle 5 als Steuersignal zugeführt. Die Konzentration der paramagne tischen Gaskomponente in dem Gasgemisch bestimmt sich dabei aus der Amplitude der Schwingung oder der von der Strom quelle 5 zur Aufrechterhaltung der Schwingung abgegebenen Energie.In the block diagram according to FIG. 4, 23 denotes a device that detects the vibrations of the body 8 and, depending on the design, the piezo element 11 or strain gauge shown in FIG. 1, the light sensor 17 shown in FIG. 2 or the one shown in FIG metal strip shown. 3 responds ent 19th The device 23 is an evaluation device 24 corresponding to the one shown in FIGS. 1, 2 and 3 A 12 , 18 and 22 downstream. The alternating current source 5 feeds the winding 4 of the electromagnet 1 with the alternating current I∼. In the embodiments of the device according to the invention shown in FIGS . 1 and 3, the alternating magnetic field 6 acts not only on the desired steering of the body 8 , but also induces in the measuring circuit between the device 23 and the device 24 , that is to say, for. B. in the case of FIG. 1 between the piezo element 11 and the evaluation device 12 , an undesirable AC voltage with the frequency of the AC current I∼. In contrast, the frequency of change of the partial pressure of the paramagnetic gas components in the area of the magnetic field 6 and thus the oscillation frequency of the body 8 is twice as large, so that the disturbing AC voltage component in the measuring circuit can be filtered out with simple means. In the exemplary embodiment shown in FIG. 4, this is done by supplying the alternating current I zugeführt to the device 24 and subtracting it there from the signal from the device 23 . The measurement of the concentration of the paramagnetic gas components is carried out by evaluating suitable vibration parameters, e.g. B. the frequency or amplitude of the vibrations of the body 8. In the embodiment shown, the frequency of the AC voltage source 5 is controlled as a function of the detected vibration frequency of the body 8 and set to a fixed frequency value. For this purpose, the output signal from the device 24 via a signal path 25 or, alternatively, the output signal from the device 23 via a signal path 26 indicated here in dashed lines is supplied to the current source 5 as a control signal. The concentration of the paramagnetic gas component in the gas mixture is determined from the amplitude of the vibration or from the power source 5 to maintain the vibration energy.

Der Einfluß der in dem Meßstromkreis induzierten Wechsel spannung auf die Erfassung und Auswertung der Schwingungen des Körpers 8 läßt sich auch dadurch beseitigen, daß der Wechselstrom I∼ pulsweise erzeugt wird und die Erfassung und Auswertung der Schwingungen in den Pulspausen stattfindet.The influence of the alternating voltage induced in the measuring circuit on the detection and evaluation of the vibrations of the body 8 can also be eliminated in that the alternating current I∼ is generated in pulses and the detection and evaluation of the vibrations takes place in the pulse pauses.

Claims

1. Verfahren zur Konzentrationsmessung paramagnetischer Gas anteile in einem Gasgemisch, wobei ein von dem Gasgemisch umgebener Körper (8) in einem Magnetfeld (6) schwingungsfähig angeordnet wird und mindestens ein Schwingungsparameter des schwingenden Körpers (8) zur Bestimmung der Konzentration erfaßt und ausgewertet wird, dadurch gekennzeichnet, daß der Körper (8) in einem Bereich des Magnetfeldes (6) angeordnet wird, in dem dieses inhomogen ist, und daß die Feldstärke des Magnetfeldes (6) zur Schwingungsanregung des Körpers (8) verändert wird.1. A method for measuring the concentration of paramagnetic gas components in a gas mixture, a body ( 8 ) surrounded by the gas mixture being arranged to vibrate in a magnetic field ( 6 ) and at least one vibration parameter of the vibrating body ( 8 ) being detected and evaluated to determine the concentration, characterized in that the body ( 8 ) is arranged in a region of the magnetic field ( 6 ) in which it is inhomogeneous, and in that the field strength of the magnetic field ( 6 ) is changed to excite vibrations of the body ( 8 ).

2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Feldstärke des Magnetfeldes (6) periodisch variiert wird.2. The method according to claim 1, characterized in that the field strength of the magnetic field ( 6 ) is varied periodically.

3. Verfahren nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß das Magnetfeld (6) als Wechselmagnetfeld erzeugt wird.3. The method according to claim 2, characterized in that the magnetic field ( 6 ) is generated as an alternating magnetic field.

4. Verfahren nach Anspruch 2 oder 3, dadurch gekenn zeichnet, daß die periodische Variation des Magnetfeldes mit der Frequenz des schwingenden Körpers (8) korrigiert wird.4. The method according to claim 2 or 3, characterized in that the periodic variation of the magnetic field with the frequency of the vibrating body ( 8 ) is corrected.

5. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Feldstärke des Magnetfeldes (6) pulsweise verändert wird und daß die Schwingungsparameter in den Pulspausen er faßt werden.5. The method according to claim 1, characterized in that the field strength of the magnetic field ( 6 ) is changed in pulses and that the vibration parameters in the pulse pauses it can be summarized.

6. Verfahren nach einem der vorangehenden Ansprüche, da durch gekennzeichnet, daß als Schwingungsparameter die Frequenz, die Amplitude, die Schwingungsgüte und/oder die zur Aufrechterhaltung der Schwingung des Körpers (8) erforder liche Energie erfaßt und ausgewertet werden. 6. The method according to any one of the preceding claims, characterized in that the frequency, the amplitude, the vibration quality and / or the maintenance of the vibration of the body ( 8 ) required energy are detected and evaluated as vibration parameters.

7. Vorrichtung zur Konzentrationsmessung paramagnetischer Gasanteile in einem Gasgemisch mit einer das Gasgemisch ent haltenden Meßkammer (7), mit einer Magnetanordnung zur Er zeugung eines Magnetfeldes (6) in der Meßkammer (7), mit einem in dem Magnetfeld (6) schwingungsfähig angeordneten Körper (8) und mit einer Einrichtung (23, 24) zur Erfassung und Auswertung von Schwingungen des Körpers (8), dadurch gekennzeichnet, daß der Körper (8) in einem Bereich des Magnetfeldes (6) angeordnet ist, in dem dieses inhomogen ist, daß die Magnetanordnung einen Elektromagneten (4) aufweist und daß der Elektromagnet (4) an einer einen sich ändernden Strom (I∼) erzeugenden Stromquelle (5) angeschlossen ist.7. Device for measuring the concentration of paramagnetic gas components in a gas mixture with a measuring chamber ( 7 ) containing the gas mixture, with a magnet arrangement for generating a magnetic field ( 6 ) in the measuring chamber ( 7 ), with a vibrating body arranged in the magnetic field ( 6 ) ( 8 ) and with a device ( 23 , 24 ) for detecting and evaluating vibrations of the body ( 8 ), characterized in that the body ( 8 ) is arranged in a region of the magnetic field ( 6 ) in which it is inhomogeneous, that the magnet arrangement has an electromagnet ( 4 ) and that the electromagnet ( 4 ) is connected to a current source ( 5 ) generating a changing current (I∼).

8. Vorrichtung nach Anspruch 7, dadurch gekennzeich net, daß die Stromquelle (5) eine Wechselstromquelle ist.8. The device according to claim 7, characterized in that the current source ( 5 ) is an AC power source.

9. Vorrichtung nach Anspruch 7 oder 8, dadurch gekenn zeichnet, daß der Körper (8) an einem biegeelastischen Element (9) gehalten ist und daß die Einrichtung zur Er fassung und Auswertung von Schwingungen des Körpers (8) Mittel zur Erfassung der Durchbiegung des Elements (9) auf weist.9. Apparatus according to claim 7 or 8, characterized in that the body ( 8 ) on a flexible element ( 9 ) is held and that the device for detecting and evaluating vibrations of the body ( 8 ) means for detecting the deflection of the Elements ( 9 ) has.

10. Vorrichtung nach Anspruch 9, dadurch gekennzeich net, daß die Mittel zur Erfassung der Durchbiegung minde stens ein Piezoelement (11) umfassen, das an dem biege elastischen Element (9) angeordnet ist oder dieses bildet.10. The device according to claim 9, characterized in that the means for detecting the deflection at least include a piezo element ( 11 ) which is arranged on the flexible element ( 9 ) or forms it.

11. Vorrichtung nach Anspruch 9, dadurch gekennzeich net, daß die Mittel zur Erfassung der Durchbiegung minde stens ein Dehnungsmeßelement umfassen, das an dem biege elastischen Element (9) angeordnet ist.11. The device according to claim 9, characterized in that the means for detecting the deflection at least comprise a strain gauge element, which is arranged on the flexible element ( 9 ).

12. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 7 bis 9, dadurch gekennzeichnet, daß die Einrichtung zur Erfassung und Auswertung von Schwingungen des Körpers (8) Mittel (14 . . . 17) zur optischen Erfassung der Auslenkung des Körpers (8) aufweist.12. Device according to one of claims 7 to 9, characterized in that the device for detecting and evaluating vibrations of the body ( 8 ) has means ( 14 ... 17 ) for optically detecting the deflection of the body ( 8 ).

13. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 7 bis 9, dadurch gekennzeichnet, daß der Körper (8) an einem das Magnet feld (6) kreuzenden Metallband (19) aufgehängt ist und daß die Einrichtung zur Erfassung und Auswertung der Schwingungen des Körpers (8) Mittel zur Erfassung des in dem Metallband (19) induzierten Stromes aufweist.13. Device according to one of claims 7 to 9, characterized in that the body ( 8 ) on a magnetic field ( 6 ) crossing metal band ( 19 ) is suspended and that the device for detecting and evaluating the vibrations of the body ( 8 ) Has means for detecting the current induced in the metal strip ( 19 ).

14. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 7 bis 13, dadurch gekennzeichnet, daß die Einrichtung zur Erfassung und Auswertung von Schwingungen des Körpers (8) Korrekturmittel enthält, in denen ein die Schwingungen des Körpers (8) re präsentierendes Signal mit der Variation des Stroms (I∼) für den Elektromagneten (4) korrigiert wird.14. Device according to one of claims 7 to 13, characterized in that the device for detecting and evaluating vibrations of the body ( 8 ) contains correction means in which a signal representing the vibrations of the body ( 8 ) re with the variation of the current ( I∼) for the electromagnet ( 4 ) is corrected.