DE19738190C2 - Process for the deposition of macromolecular light-emitting layers - Google Patents

Description

Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Abscheidung makromolekularer lichtemittierender Schichten, das insbesondere zur Herstellung großflächiger lichtemittierender Dioden geeignet ist.The invention relates to a method for the deposition of macromolecular light-emitting layers, especially for the production of large areas light emitting diodes is suitable.

Seit langem besteht an der Entwicklung von lichtemittierenden Festkörpern reges Interesse. Effiziente Lichtquellen wurden über anorganische Halbleiter mit direkten Bandlücken, wie z. B. GaAs erzielt, lassen sich aber nur aufwendig und nicht ökonomisch vertretbar in großen Flächen herstellen. Zu diesem Zweck entwickelte man ein System basierend auf polykristallinem ZnS, bei dem aber die geringe Effizienz und unzureichende Zuverlässigkeit eine großtechnische Nutzung verhindert.The development of light-emitting solids has existed for a long time keen interest. Efficient light sources were made using inorganic semiconductors direct band gaps, such as B. GaAs achieved, but can only be complex and not economically viable in large areas. To this end a system based on polycrystalline ZnS was developed, but the low efficiency and insufficient reliability a large-scale Use prevented.

Auf Grund der hohen Photolumineszenz-Quantenausbeute bekannter organischer Halbleiter, wurden diese Materialien auch dahingehend untersucht, ob sie bei Ladungseinbringung unter hohen Feldern Elektrolumineszenz zeigen.Known due to the high photoluminescence quantum yield organic semiconductors, these materials have also been investigated whether they show electroluminescence when charging under high fields.

Dünne amorphe Schichten lichtemittierender organischer Materialien wurden durch Vakuumsublimation hergestellt. Deren Effizienz und Farbselektivität der Emission zeigt zufriedenstellende Werte. Das generelle Problem ist bis heute jedoch die Langzeitbeständigkeit der Schichten gegen Rekristallisation, andere physikalische Strukturänderungen oder chemischen Abbau; dies alles kann mit einem Verlust der Lichtemission verbunden sein. Thin amorphous layers of light-emitting organic materials have been developed produced by vacuum sublimation. Their efficiency and color selectivity Emission shows satisfactory values. The general problem remains until today however, the long-term resistance of the layers to recrystallization, others physical structure changes or chemical degradation; all of this can be done with loss of light emission.  

Ein Weg, die Stabilität der Strukturen zu erhöhen ist der Übergang von einfachen molekularen zu makromolekularen Strukturen, z. B. konjugierten Polymeren, die sowohl einen guten Ladungstransport, als auch gute Quantenausbeuten bei der Lumineszenz zeigen. Überwiegendes Interesse bei diesen Materialien wurde zunächst der Leitfähigkeit entgegengebracht, und nur vereinzelt interessierte man sich für die Lumineszenzerscheinung. Dies lag darin begründet, daß das Poly(acetylen) als am meisten untersuchtes elektrisch leitfähiges Polymer nur sehr schwache Lumineszenz zeigte. Konjungierte Polymere mit einer größeren Halbleiter-Bandlücke zeigen hohe Photolumineszenz-Quantenausbeuten, wenn sie mit genügend hoher Reinheit hergestellt werden können (Verunreinigungen ermöglichen nicht-strahlende Übergänge vom angeregten Zustand zum Grundniveau). So läßt sich zum Beispiel p-Phenylenvinylen (PPV) leicht in hoher Qualität als dünne Schicht abscheiden, die starke Photolumineszenz zeigt (R. W. Friend et al., J. Phys. D20, 1367 (1987); D. D. C. Bradley, R. W. Friend, J. Phys.: Condensed Matter 1,3671 (1989); B. W. Burroughes et al., Nature 347, 539 (1990)).One way to increase the stability of the structures is to switch from simple molecular to macromolecular structures, e.g. B. conjugated Polymers that have good charge transport as well as good ones Show quantum yields in luminescence. Predominant interest in These materials were first introduced to conductivity, and only occasionally one was interested in the luminescence phenomenon. That was in it justifies that the poly (acetylene) is the most studied electrical conductive polymer showed only very weak luminescence. Conjugated Polymers with a larger semiconductor band gap show high Photoluminescence quantum yields if they are of sufficiently high purity can be produced (impurities enable non-radiating Transitions from the excited state to the basic level). So can be Example p-phenylene vinylene (PPV) easily in high quality as a thin layer deposit, which shows strong photoluminescence (R. W. Friend et al., J. Phys. D20, 1367 (1987); D. D.C. Bradley, R.W. Friend, J. Phys .: Condensed Matter 1,3671 (1989); B. W. Burroughes et al., Nature 347, 539 (1990)).

Es wurde bereits von mehreren konjugierten Polymeren mit hohen Elektrolumineszenz-Quantenausbeuten, die als LED eingesetzt werden können, berichtet. Aus verschiedenen Gründen ist es aber wünschenswert, Polymere synthetisieren zu können, die im Blauen emittieren. Bis heute sind nur wenige Systeme, z. B. Poly(alkylfluoren) und Poly(p-phenylen) mit derartigen Eigenschaften bekannt (Y. Ohmori et al., Jpn. J. Appl.. Phys. 30, L 1941 (1991); G. Gremetal., Adv. Mater. 4,36 (1992)).It has been used by several conjugated polymers with high Electroluminescence quantum yields that can be used as LEDs reported. For various reasons, however, it is desirable to use polymers to be able to synthesize that emit in the blue. To date, there are only a few Systems, e.g. B. poly (alkyl fluorene) and poly (p-phenylene) with such Properties known (Y. Ohmori et al., Jpn. J. Appl. Phys. 30, L 1941 (1991); G. Gremetal., Adv. Mater. 4.36 (1992)).

Konjugierte Polymere sind potentielle organische Halbleiter, deren halbleitende Eigenschaften auf dem delokalisierten π-Elektronensystem entlang der Polymerkette beruhen. Die Einbringung eines Elektron-Loch-Paares in die konjugierte Kette kann zu einem selbst-lokalisierten angeregten Zustand führen, welcher sich im Idealfall über Strahlungsemission desaktivieren kann. Dies eröffnet die Möglichkeit, diese Materialien für Elektrolumineszenz- Anwendungen zu nutzen. Conjugated polymers are potential organic semiconductors, their semiconducting ones Properties on the delocalized π electron system along the Polymer chain based. The introduction of an electron-hole pair in the conjugated chain can lead to a self-localized excited state which can ideally deactivate via radiation emission. This opens up the possibility of using these materials for electroluminescence Applications.  

Die Kombination der Struktureigenschaften der Polymere und deren einfache Herstellung mit einer Licht-Emission hoher Effizienz macht die Polymere zu einer interessanten Werkstoffklasse für die Entwicklung von großflächigen LED's (licht-emittierende Diode).The combination of the structural properties of the polymers and their simple Manufacture with a high efficiency light emission closes the polymers an interesting class of materials for the development of large areas LEDs (light-emitting diode).

Bekannt ist, daß die Kombination der Inertgasverdampfung von Metallen mit einem Plasmapolymerisationsprozeß zu metallgefüllten makromolekularen Schichten enger Partikelgrößenverteilung und damit verbunden zu sehr interessanten elektrischen und optischen Eigenschaften führt (E. Kay, Proc. 5th Int. Conf. Ion Plasma Ass. Techn. (IPAT 85), 1985, Hrsg. W. Oechsner, S. 258).It is known that the combination of inert gas evaporation of metals with a plasma polymerization process to metal-filled macromolecular Layers of narrow particle size distribution and associated with it too much interesting electrical and optical properties (E. Kay, Proc. 5th Int. Conf. Ion Plasma Ass. Techn. (IPAT 85), 1985, ed. W. Oechsner, p. 258).

Ziel der Erfindung ist die Bereitstellung eines Verfahrens, mit dem es möglich ist, in einem Plasmapolymerisationsprozeß Substrate mit einer makromolekularen, lichtemittierenden Schicht zu versehen, die dauerhaft ist und ihre lichtemittierende Eigenschaft, insbesondere im blauen Spektralbereich, über lange Zeit beibehält.The aim of the invention is to provide a method by which it is possible is, in a plasma polymerization process substrates with a to provide macromolecular, light-emitting layer that is permanent and their light-emitting property, especially in the blue spectral range, maintained for a long time.

Dieses Ziel wird mit einem Verfahren der eingangs genannten Art erreicht, bei dem ein hochkonjugiertes Polymer bei einer Temperatur von mehr als 300°C und einem Druck von weniger als 50 mbar verdampft und aus einem mit einem Mikrowellen- oder Hochfrequenzgenerator erzeugten Niederdruckplasma unter Polymerisationsbedingungen zusammen mit einem zur Plasmapolymerisation geeigneten Monomer auf einem Substrat abgeschieden wird.This goal is achieved with a method of the type mentioned at the beginning which is a highly conjugated polymer at a temperature of more than 300 ° C and evaporates a pressure of less than 50 mbar and from a low pressure plasma generated with a microwave or high frequency generator Polymerization conditions together with one for plasma polymerization suitable monomer is deposited on a substrate.

Im erfindungsgemäßen Verfahren ist es bevorzugt, das Polymer bei einem Druck von 10^-2 bis 10 mbar zu verdampfen und in das Plasma einzuführen. Dies geschieht insbesondere bei Temperaturen im Bereich von 400 bis 600°C.In the process according to the invention, it is preferred to evaporate the polymer at a pressure of 10 ^-2 to 10 mbar and to introduce it into the plasma. This happens especially at temperatures in the range of 400 to 600 ° C.

Im erfindungsgemäßen Verfahren kommen insbesondere hochkonjugierte Polymere zum Einsatz, wie beispielsweise auch Polythiophene. Besonders bevorzugt sind aber Poly(p-phenylen) und Poly(p-phenylenvinylen). Die zum Einsatz kommenden plasmapolymerisationsfähigen Monomere sind geradkettige, verzweigte oder zyklische gesättigte oder ungesättigte aliphatische 7 oder aromatische Kohlenwasserstoffe, die Substituenten und/oder Heteroatome enthalten können. Bevorzugt sind aliphatische oder aromatische Kohlenwasserstoffe mit bis zu 10 Kohlenstoffatomen, die bis zu 3 Sauerstoff-, Schwefel- und/oder Stickstoffatome enthalten können. Besonders bevorzugt sind aromatische Ausgangsverbindungen dieser Art, die Heteroatome enthalten können.In the method according to the invention, especially highly conjugated ones are used Polymers are used, such as polythiophenes. Especially however, poly (p-phenylene) and poly (p-phenylene vinylene) are preferred.  The monomers suitable for plasma polymerization are used straight-chain, branched or cyclic saturated or unsaturated aliphatic 7 or aromatic hydrocarbons, the substituents and / or heteroatoms can contain. Aliphatic or aromatic are preferred Hydrocarbons with up to 10 carbon atoms, up to 3 oxygen, May contain sulfur and / or nitrogen atoms. Are particularly preferred aromatic starting compounds of this type which contain heteroatoms can.

Die Plasmapolymerisation wird vorzugsweise in Gegenwart eines Trägergases durchgeführt. Das Trägergas dient dabei auch dazu, das verdampfte hochkonjugierte Polymere der Plasmapolymerisation zuzuführen, und dort in einer geeigneten Konzentration zur Verfügung zu stellen. Im allgemeinen werden hierfür Edelgase verwandt, insbesondere Helium oder Argon.The plasma polymerization is preferably carried out in the presence of a carrier gas carried out. The carrier gas also serves to evaporate to supply highly conjugated polymers to plasma polymerization, and there in to provide a suitable concentration. In general Noble gases are used for this, especially helium or argon.

Die Plasmapolymerisation wird in einem auf herkömmliche Weise durch elektrische Entladung erzeugten Niederdruck-Plasma durchgeführt. Ein Mikrowellengenerator mit 0,1 bis 1000 GHZ oder ein HF-Generator mit 13.56 MHz können verwandt werden, wobei der Druck zweckmäßigerweise bei 10^-2 bis 10 mbar liegt. Das zu beschichtende Substrat wird dabei im Fall der HF- Anregungen vorzugsweise im Zentrum des Plasmas angeordnet.The plasma polymerization is carried out in a low pressure plasma generated in a conventional manner by electrical discharge. A microwave generator with 0.1 to 1000 GHZ or an HF generator with 13.56 MHz can be used, the pressure expediently being 10 ^-2 to 10 mbar. In the case of HF excitations, the substrate to be coated is preferably arranged in the center of the plasma.

Es ist ebenfalls möglich, das Substrat im After-Glow des Plasmas anzuordnen. Gerade bei Mikrowellenplasmen ist dies aufgrund der hohen Intensität von Vorteil.It is also possible to arrange the substrate in the after-glow of the plasma. This is particularly the case with microwave plasmas due to the high intensity of Advantage.

Es ist zweckmäßig, daß verdampfte Polymer und das Monomer über verschiedene Einlässe in die Plasmapolymerisationskammer einzuführen und erst im Bereich des Plasmas zu mischen, um eine vorzeitige Reaktion zu verhindern. It is appropriate that the vaporized polymer and the monomer over insert different inlets into the plasma polymerization chamber and only mix in the area of the plasma to prevent a premature reaction prevent.  

Als zu beschichtendes Substrat können beliebige Materialien verwandt werden. Das erfindungsgemäße Verfahren erlaubt die Herstellung dünner bis ultradünner leitfähiger Polymerschichten mit einer Dicke von beispielsweise 10 bis 1000 nm. Die Polymerschichten können auf plane wie auf unregelmäßig geformte Bauteile aufgebracht werden. Die Schichtdicke kann im allgemeinen über die Beschichtungszeit eingestellt werden.Any materials can be used as the substrate to be coated. The method according to the invention allows the production of thin to ultra-thin conductive polymer layers with a thickness of, for example 10 to 1000 nm. The polymer layers can be flat or irregular molded components are applied. The layer thickness can in general can be set via the coating time.

Der Erfindung liegt die Kombination von der Vakuumabscheidung von Polymeren und der Plasmapolymerisation zur Erzeugung einer amorphen Matrix zu Grunde. Bei der Plasmapolymerisation handelt es sich um eine Fragmentpolymerisation, d. h. Monomere werden in einem Niederdruckplasma in der Gasphase angeregt und fragmentiert. Die Molekülstrukturen bleiben im Gegensatz zur klassischen Polymerisation im allgemeinen nicht erhalten. Der Grad, der Fragmentierung ist in erster Näherung eine Funktion der Plasmaparameter, wie Leistung, Druck und Monomerfluß. Die hochreaktiven Molekülbruchstücke scheiden sich dann als sog. Plasmapolymere ab. Die Struktur und die Zusammensetzung sind von den Prozeßparametern abhängig.The invention lies in the combination of the vacuum deposition of Polymers and plasma polymerization to produce an amorphous matrix to the bottom. Plasma polymerization is a Fragment polymerization, d. H. Monomers are in a low pressure plasma excited and fragmented in the gas phase. The molecular structures remain in the Contrary to classic polymerization, generally not preserved. The degree, fragmentation is, in a first approximation, a function of the plasma parameters, like performance, pressure and monomer flow. The highly reactive molecular fragments then separate out as so-called plasma polymers. The structure and the The composition depends on the process parameters.

Im Gegensatz zu den oben genannten Eigenschaften der Niederdruckplasmen zeigt sich bei geeigneter Prozeßführung und dem Einsatz spezieller Monomere, daß sie sich unter weitgehendem Strukturerhalt abscheiden lassen. Diese Monomere sind überwiegend aromatische Verbindungen, die bei niedrigeren Leistungsdichten vorzugsweise eine Ringanregung neben einem geringen Fragmentierungsgrad (Abspaltung von Wasserstoff) zeigen. Sie sind damit im Plasma stabiler als nicht-aromatische Monomere und können genutzt werden, um z. B. plasmapolymere elektrisch leitfähige Schichten zu erzeugen.In contrast to the properties of low-pressure plasmas mentioned above is shown with suitable process control and the use of special monomers, that they can be separated while largely maintaining the structure. This Monomers are predominantly aromatic compounds, the lower ones Power densities are preferably ring excitation in addition to low Show degree of fragmentation (elimination of hydrogen). You are in the Plasma is more stable than non-aromatic monomers and can be used at z. B. to generate plasma polymer electrically conductive layers.

Die Plasmapolymerisate sind im allgemeinen amorph. Sie zeichnen sich durch in ihrer Struktur begründete besondere Eigenschaften aus. Sie sind bereits ab Schichtdicken von 20 nm porenfrei, chemisch sehr inert und daher sehr alterungsstabil. Zudem sind sie wesentlich temperaturstabiler als klassische Polymere und zeigen auch bessere Beständigkeit gegenüber mechanischen Beanspruchungen.The plasma polymers are generally amorphous. They are characterized by in their structure gave rise to special properties. You are already off Layer thicknesses of 20 nm non-porous, chemically very inert and therefore very age stable. In addition, they are much more temperature-stable than classic ones  Polymers and also show better resistance to mechanical Stresses.

Im Falle von Plasmapolymeren LED's kommt der Matrix besondere Bedeutung zu. Es ist darauf zu achten, daß sie neben den für Plasmapolymere typischen Eigenschaften das delokalisierte Elektronensystem zumindest partiell enthält, d. h., daß unter weitestgehendem Strukturerhalt abgeschieden wird, um eine unterstützende Wirkung auf die lumineszierenden Eigenschaften der verdampften Polymere zu gewährleisten.In the case of plasma polymer LEDs, the matrix is of particular importance to. Care should be taken to ensure that, in addition to those typical for plasma polymers Properties that the delocalized electron system contains at least partially, d. that is, while largely maintaining the structure, is deposited to a supportive effect on the luminescent properties of the to ensure evaporated polymers.

Im Gegensatz zur Vakuumabscheidung von konjugierten Polymeren, wie sie für PPP bekannt ist, besitzt die Verdampfung in Kombination mit der Plasmapolymerisation basierend auf dem Prozessdruck einen grundsätzlich verschiedenen Schichtbildungsmechanismus. Während bei der einfachen Vakuumabscheidung bei Drücken von < 10^-5 mbar gearbeitet wird und somit das Schichtwachstum einzig auf dem Substrat erfolgt, wird bei der Kombination mit der Plasmapolymerisation bei relativ hohen Drücken, vorzugsweise im Bereich von 10^-2 bis 10 mbar gearbeitet. Bedingt durch die relativ hohen Drücke kommt es bereits in der Gasphase zur Bildung von clusterartigen Partikeln die anschließend im Plasmapolymerisationsprozeß in eine Matrix eingebettet werden. Die Cluster scheiden sich mit dem Matrixmaterial auf dem Substrat ab und werden durch die Einwirkung der Plasmabestandteile untereinander zu einer dreidimensionalen, amorphen Schicht vernetzt. Diese Schicht zeigt zum einen die für Plasmapolymere typischen Eigenschaften, zum anderen basierend auf den eingelagerten Clustern die Photo- bzw. Elektrolumineszens der klassischen konjugierten Polymere. Die Verdünnung der Chromophoren in einer amorphen Matrix ist dabei durchaus erwünscht. Durch das der Erfindung zugrundeliegende Verfahren gelingt die Abscheidung lichtemittierender makromolekularer Schichten aus der Gasphase, die eine deutlich bessere Alterungsstabilität zeigen, als die mit den bekannten chemischen Verfahren erzeugten Polymerschichten. In contrast to the vacuum deposition of conjugated polymers, as is known for PPP, the evaporation in combination with the plasma polymerization has a fundamentally different layer formation mechanism based on the process pressure. While simple vacuum deposition is carried out at pressures of <10 ^-5 mbar and thus the layer growth takes place solely on the substrate, in combination with plasma polymerization work is carried out at relatively high pressures, preferably in the range from 10 ^-2 to 10 mbar. Due to the relatively high pressures, cluster-like particles are formed in the gas phase, which are then embedded in a matrix in the plasma polymerization process. The clusters deposit with the matrix material on the substrate and are cross-linked to one another by the action of the plasma components to form a three-dimensional, amorphous layer. On the one hand, this layer shows the properties typical of plasma polymers, and on the other hand, based on the embedded clusters, the photo- or electroluminescence of the classic conjugated polymers. The dilution of the chromophores in an amorphous matrix is quite desirable. The process on which the invention is based enables the deposition of light-emitting macromolecular layers from the gas phase, which show significantly better aging stability than the polymer layers produced using the known chemical processes.

Das erfindungsgemäße Verfahren wird durch die Abbildung näher erläutert.The method according to the invention is explained in more detail by the figure.

Das Schema gemäß Abbildung zeigt, daß eine Vorrichtung zur Durchführung des erfindungsgemäßen Verfahrens aus zwei Kammern besteht, einer Plasmapolymerisationkammer und einem Polymerverdampfer. In dem Polymerverdampfer wird das Polymer bei einer Temperatur von 400 bis 600°C unter dem Einfluß eines Vakuums verdampft und über zugeführtes Trägergas (He) in die Plasmapolymerisationskammer geführt. An der Plasmapolymerisationskammer liegt ein Vakuum an, das den Druck auf einen Bereich von 10^-2 bis 10 mbar einstellt. Der Druck setzt sich bis in den Polymerverdampfer hinein fort. Zwischen zwei Elektroden ist das Substrat angeordnet, das aus dem Plasma heraus beschichtet werden soll.The diagram according to the figure shows that an apparatus for carrying out the method according to the invention consists of two chambers, a plasma polymerization chamber and a polymer evaporator. In the polymer evaporator, the polymer is evaporated at a temperature of 400 to 600 ° C. under the influence of a vacuum and fed into the plasma polymerization chamber via the carrier gas (He) supplied. A vacuum is present at the plasma polymerization chamber, which adjusts the pressure to a range from 10 ^-2 to 10 mbar. The pressure continues into the polymer evaporator. The substrate that is to be coated out of the plasma is arranged between two electrodes.

Über einen separaten Einlaß gelangt das für die Plasmapolymerisation vorgesehene Monomer in das Plasma, wird dort angeregt und schlägt sich zusammen mit Clustern, die sich aus dem verdampften Polymer bilden, auf dem Substrat nieder. Das verdampfte Polymer behält unter diesen Bedingungen seine funktionelle Integrität, d. h. das delokalisierte Elektronensystem bleibt im wesentlichen erhalten. Nichtsdestoweniger versteht es sich, daß die Polymerkette zu kleineren Einheiten zerschlagen werden kann. Das Monomer bildet die polymere Matrix unter weitgehendem Strukturverlust aus.A separate inlet is used for the plasma polymerization provided monomer in the plasma, is excited there and beats together with clusters that form from the vaporized polymer on the Substrate down. The vaporized polymer retains its properties under these conditions functional integrity, d. H. the delocalized electron system remains in the get essential. Nonetheless, it is understood that the polymer chain can be smashed into smaller units. The monomer forms the polymer matrix with extensive loss of structure.

Claims (10)

1. Verfahren zur Abscheidung makromolekularer lichtemittierender Schichten, dadurch gekennzeichnet, daß ein hochkonjugiertes Polymer bei einer Temperatur ≧300°C und einem Druck von ≦ 50 mbar verdampft und aus einem mit einem Mikrowellen- oder Hochfrequenz­ generator erzeugten Niederdruckplasma unter Polymerisationsbedingungen zusammen mit einem zur Plasmapolymerisation befähigten Monomer auf einem Substrat niedergeschlagen wird.1. A process for the deposition of macromolecular light-emitting layers, characterized in that a highly conjugated polymer evaporates at a temperature of ≧ 300 ° C and a pressure of ≦ 50 mbar and from a low pressure plasma generated with a microwave or high frequency generator under polymerization conditions together with one for plasma polymerization qualified monomer is deposited on a substrate. 2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß das hochkonjugierte Polymer bei einem Druck von 10^-2 bis 10 mbar verdampft wird.2. The method according to claim 1, characterized in that the highly conjugated polymer is evaporated at a pressure of 10 ^-2 to 10 mbar. 3. Verfahren nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß das hochkonjugierte Polymer bei einer Temperatur von 400 bis 600°C verdampft wird.3. The method according to claim 1 or 2, characterized in that the highly conjugated polymer at a temperature of 400 to 600 ° C is evaporated. 4. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß als hochkonjugiertes Polymer Poly(p-phenylen) und/oder Poly(p- phenylenvinylen) verwandt wird.4. The method according to any one of claims 1 to 3, characterized in that as highly conjugated polymer poly (p-phenylene) and / or poly (p- phenylene vinylene) is used. 5. Verfahren nach einem der vorstehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß das zur Plasmapolymerisation befähigte Monomer ein geradkettiger, verzweigter oder zyklischer, gesättigter oder ungesättiger aliphatischer oder ein aromatischer Kohlenwasserstoff ist, der Substituenten und/oder Heteroatome aufweisen kann. 5. The method according to any one of the preceding claims, characterized characterized in that the monomer capable of plasma polymerization straight chain, branched or cyclic, saturated or unsaturated is aliphatic or an aromatic hydrocarbon which Can have substituents and / or heteroatoms.   6. Verfahren nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, daß das zur Plasmapolymerisation befähigte Monomer ein aliphatischer oder aromatischer Kohlenwasserstoffrest mit bis zu 10 Kohlenstoffatomen ist, der bis zu 3 Sauerstoff-, Schwefel- und/oder Stickstoffatome enthalten kann.6. The method according to claim 5, characterized in that the for Plasma polymerization enabled an aliphatic or aromatic hydrocarbon radical with up to 10 carbon atoms, which can contain up to 3 oxygen, sulfur and / or nitrogen atoms. 7. Verfahren nach einem der vorstehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß das hochkonjugierte Polymer mit Hilfe eines Trägergases aus einem Polymerverdampfer in eine Plasmapolymerisationskammer geführt wird.7. The method according to any one of the preceding claims, characterized characterized in that the highly conjugated polymer using a Carrier gas from a polymer evaporator into a Plasma polymerization chamber is performed. 8. Verfahren nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, daß Helium oder Argon als Trägergas verwandt werden.8. The method according to claim 7, characterized in that helium or Argon can be used as a carrier gas. 9. Beschichtetes Substrat, hergestellt nach dem Verfahren eines der Ansprüche 1 bis 8. 9. Coated substrate, produced by the process of one of the Claims 1 to 8.   10. Verwendung von makromokularen, lichtemittierenden Schichten zur Herstellung lichtemittierender Dioden, dadurch gekennzeichnet, daß das beschichtete Substrat der lichtemittierenden Dioden nach dem Verfahren gemäß eines der Ansprüche 1 bis 8 hergestellt wird.10. Use of macromocular, light-emitting layers for Production of light-emitting diodes, characterized in that the coated substrate of the light emitting diodes according to the method one of claims 1 to 8 is produced.