DE19727094A1 - Verfahren zur Abstandsmessung zwischen einem Werkzeugendteil einer Manipulatoreneinheit und einer mit dem Werkzeugendteil zu bearbeitenden Objektoberfläche oder eines zu manipulierenden Objektes - Google Patents
Verfahren zur Abstandsmessung zwischen einem Werkzeugendteil einer Manipulatoreneinheit und einer mit dem Werkzeugendteil zu bearbeitenden Objektoberfläche oder eines zu manipulierenden ObjektesInfo
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Description
Die Erfindung bezieht sich auf ein Verfahren zur Abstandsmessung zwischen einem
Werkzeugendteil einer Manipulatoreinheit und einer mit dem Werkzeugendteil zu be
arbeitenden Objektoberfläche oder eines zu manipulierenden Objektes, wobei das
Werkzeugendteil sowie die Objektoberfläche bzw. das Objekt wenigstens einen
elektrisch leitenden Bereich aufweisen.
Für die Durchführung vollautomatischer, roboterunterstützter Arbeitsschritte, die die
Handhabung bzw. Bearbeitung von Objektoberflächen oder von zu manipulierenden
Objekten vorsehen, bedarf es einer hochgenauen Abstandsregelung zwischen der
Manipulatoreinheit, die in üblicher Form am Ende eines Roboterarms angebracht ist
und zumeist eine Vielzahl kinematischer Freiheitsgraden aufweist, und dem jeweils
zu bearbeitenden Objekt.
Handelt es sich bei den Werkzeugendteilen um Greiferwerkzeuge, so ist die Ab
standsmessung bzw. -regelung auch dadurch erschwert, daß der tatsächliche Ab
stand von der jeweiligen Lage und Anordnung des Greiferwerkzeuges abhängt. So
ist festzustellen, wieweit beispielsweise eine Greifebacke geöffnet ist und in welchem
Winkel die Greifereinrichtung zu dem zu manipulierenden Objekt respektive zu der
Objektoberfläche ausgerichtet ist. Dies setzt aufwendige Steuer- und Kontrollme
chanismen voraus, die eine Abstandsmessung technisch sehr aufwendig und kost
spielig machen.
Neben der geschilderten Problematik der Abstandsmessung zwischen Greifwerk
zeugen und den jeweils mit diesen zu manipulierenden Objekten besteht insbeson
dere beim Erfassen und Regeln des Abstandes einer Dispensernadel zu einer Ob
jektoberfläche das Problem, daß häufig die mit Dispensermaterial zu beaufschlagen
den Objektoberflächen wellig sind. Um den Abstand konstant zu halten, muß die
Dispensernadel gemäß dem Höheprofil verfahren werden, dies erfordert jedoch eine
hochgenaue Messung und Regelung. Derzeit sind für das Erfassen und Regeln des
Abstandes eine Dispensernadel zu einer Objektoberfläche folgende Abstandsmeß
verfahren bekannt:
- 1. Mechanisches Abtasten: Mit einem mechanischen Tastkopf wird die Objektober
fläche des zu behandelnden Werkstückes an bestimmten Stellen vermessen,
woraus anhand gewonnener Meßpunkte eine imaginäre Ebene ermittelt wird. Auf
diese Ebene wird im weiteren der Verfahrweg der Dispensernadel abgestimmt.
Der Nachteil dieses Verfahrens besteht darin, daß die ermittelte, imaginäre Ebe ne nur eine Näherung der Werkstückoberfläche darstellt und bereits aus diesem Grund kein konstanter Nadelspalt bzw. keine exakte Dosierung des Dispenser materials für alle Punkte der Objektoberfläche gewährleistet ist. Darüberhinaus ist bei diesem Verfahren ein großer Rechenaufwand erforderlich, der zu einem großen technischen und finanziellen Aufwand führt. Zwar läßt sich diese Vorge hensweise für Objektoberflächen mit ebener Ausdehnung anwenden, doch ist sie für Oberflächen mit Vertiefungen und Erhöhungen nicht geeignet. - 2. Lasertriangulation: Eine Laserdiode ist in einem bestimmten Winkel zur Werk stückoberfläche respektive Objektoberfläche angeordnet. Der Abstand der Dis pensernadel zur Oberfläche kann anhand der vorher eingestellten Winkel durch die Stelle, an der der reflektierte Strahl auf die Photozelle auftritt, berechnet wer den. Weist die Objektoberfläche jedoch mehrere, unmittelbar nebeneinander lie gende, erhöhte Bereiche auf, so treten Abschattungseffekte auf, die nur zu einer ungenauen Erfassung der Topographie der Objektoberfläche mit Hilfe des Trian gulationsverfahrens führt.
- 3. Fokussierende Verfahren: Der Strahl, vorzugsweise von Laserdioden, wird auf die Objektoberfläche fokussiert. Der Abstand zwischen einem Werkstückendteil und der Objektoberfläche wird mittels eines Bildverarbeitungssystems über die jeweilige Größe des Fokuspunktes auf der Objektoberfläche bestimmt und gere gelt. Problematisch könnte dieses Abstandsverfahren jedoch, wenn man unter schiedliche Dispensernadellängen verwenden möchte, da sie jeweils auf die Meßapparatur individuell abgestimmt werden müssen. Auch hängt die Genauig keit dieses Verfahrens von den individuellen Reflexionseigenschaften der Objekt oberfläche ab. Ein weiterer Nachteil ist auch bei diesem Verfahren die Abschat tung einzelner Stellen durch Nachbarkomponenten.
- 4. Verfahren mit Einsatz von Kameras: Der Abstand von Dispensernadeln zur Ob jektoberfläche kann beispielsweise durch den Einsatz von Videosystemen mit seitlich angeordneten Kameras ermittelt werden. Dadurch ist eine Kontrolle des Abstandes möglich. Nachteilhaft bei diesem Verfahren ist jedoch, daß ein großer freier seitlicher Bereich neben der Dispensernadel notwendig ist, um diese Mes sung durchführen zu können. Auch läßt sich diese Art des Verfahrens nur sehr schwer automatisieren.
Mit den bekannten vorstehend aufgezeigten Verfahren ist insbesondere beim Dis
pensen von viskosen Flüssigkeiten infolge von Unebenheiten an der zu beaufschla
genden Objektoberfläche nicht möglich, das zu dispensende Material in hochgenauer
Dosierung exakt zu deponieren. Bedingt durch die Unebenheiten der Objektoberflä
chen wird entweder kein, zu wenig, oder auch zu viel Material aufgetragen oder die
Dispensernadel wird direkt auf den Träger aufgesetzt, was zudem zu mechanischen
Schäden führen kann.
Um eine möglichst exakte Dosierung zu erreichen, ist ein konstanter Nadelspalt, d. h.
der Abstand zwischen der Dispensernadel zur Werkstückoberfläche muß exakt ein
gestellt sein, notwendig. Bei vielen Anwendungen ist es erforderlich, nicht den ab
soluten Betrag des Abstandes zwischen Dispensernadel zur Werkstückoberfläche zu
erfassen, sondern eine zuverlässige Aussage darüber treffen zu können, ob das zu
dispensende Material die Werkstückoberfläche berührt oder nicht.
Insbesondere bei der Montage von Kleinstteilen ist das hochpräzise Erfassen des
Abstandes des Werkzeugendteiles zu einem Objekt bzw. Objektoberfläche erforder
lich, um einerseits Beschädigungen des Objektes bzw. der Objektoberfläche durch
das Werkstückendteil zu vermeiden und andererseits eine genau definierte Lage des
Objektes relativ zum Werkzeugendteil zu erreichen. So ist es beispielsweise ausrei
chend beim Ergreifen von Bauteilen festzustellen, ob der Kontakt zwischen einer
Greifereinheit und einem Bauteil hergestellt ist. Mit den bekannten Verfahren ist
zwar eine Absolutmessung des Abstandes möglich, doch erfordern sie auch zum Teil
sehr technisch aufwendige Komponenten und sind daher sehr kostenintensiv.
Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde ein Verfahren zur Abstandsmessung zwi
schen einem Werkzeugendteil einer Manipulatoreinheit und einer mit dem Werkzeu
gendteil zu bearbeitenden Objektoberfläche oder eines zu manipulierenden Objek
tes, wobei das Werkzeugendteil sowie die Objektoberfläche bzw. das Objekt wenig
stens einen elektrisch leitenden Bereich aufweisen, derart weiterzubilden, daß die
Abstandsmessung sowohl quantitativ als auch qualitativ mit geringem technischen
und finanziellen Aufwand durchführbar ist. Insbesondere soll es möglich sein, den
tatsächlichen Abstand der Dispensernadel und der jeweiligen Objektoberfläche zu
erfassen. Die bei den bekannten Verfahren verbundenen Nachteile sollen mit dem
erfindungsgemäßen Verfahren weitgehend vermieden werden.
Erfindungsgemäß wird ein Verfahren gemäß dem Oberbegriff des Anspruchs 1 der
art angegeben, daß das Werkezugendteil unmittelbar als Meßmedium für eine elek
trische Spannungs-, Strom-, Kapazitäts- und/oder Frequenzmessung verwendet
wird, und daß eine Eichkurve erstellt wird, die den Zusammenhang der elektrischen
Meßgrößen und den Abstand zwischen Werkzeugendteil und der Objektoberfläche
bzw. des Objektes wiedergibt.
So werden gemäß einer erfindungsgemäßen Verfahrensvariante die elektrisch leiten
den Bereiche des Werkzeugendteils und/oder die der Objektoberfläche bzw. des
Objektes mit einer elektrischen Ladung Q beaufschlagt. In der sich gegenüberlie
genden Konfiguration aus Werkzeugendteil und Objektoberfläche bildet sich eine
Kondensatoranordnung, bei der eine elektrische Spannung zwischen den elektrisch
leitenden Bereichen des Werkzeugendteils und der Objektoberfläche bzw. des Ob
jektes gemessen wird. Durch Abstandsänderung erfährt die elektrische Spannung
gemäß der zugrundliegenden Kondensatorbeziehung eine Änderung, so daß bei ge
eigneter Abstandsvariation eine Eichkurve erstellt werden kann, anhand der konkret
ermittelte Spannungswerte den jeweiligen Abstandswerten, die vorzugsweise mit
üblichen Wegmeßverfahren ermittelt werden können, in Zusammenhang gebracht
werden. Bei nachfolgenden Abstandsmessungen, die jeweils gleichen oder ver
gleichbaren Meßkonfigurationen entsprechen, zu denen man Eichkurven ermittelt
hat, ist es möglich mit einer einfachen Spannungsmessung und unter zu Hilfenahme
der Eichkurve den jeweiligen Abstand zu ermitteln.
Ein besonderer Vorteil des erfindungsgemäße Verfahrens besteht insbesondere
darin, daß bei Verwendung elektrisch leitfähigen Dispensermaterials, das durch ein
Dispensernadel auf die jeweilige Objektoberfläche aufgetragen werden soll, der tat
sächliche Abstand zwischen der Dispensernadel und der Objektoberfläche ermittelt
werden kann.
Alternativ zu dem vorstehend beschriebenen Spannungsmeßverfahren ist das Werk
zeugendteil mit einer bestimmten elektrischen Ladung Q zu beaufschlagen, so daß
unter Verwendung eines geeigneten Referenzkondensators die Kapazität zwischen
dem Werkzeugendteil und der Objektoberfläche bzw. dem Objekt ermittelbar ist.
Auch hier dient zur Abstandsermittlung die Erstellung einer Eichkurve, aus der der
Zusammenhang aus den ermittelten Kapazitätswerten C und exakt vermessenen
Abstandswerten entnommen werden kann.
Als weitere Alternative zur Abstandsmessung wird zwischen den elektrisch leitenden
Bereichen des Werkezeugendteils sowie der Objektoberfläche bzw. dem Objekt eine
elektrische Wechselspannung U angelegt, und der zwischen dem Werkzeugendteil
und der Objektoberfläche bzw. dem Objekt fließende Wechselstrom i(t) gemessen.
Mit der Erfassung des Wechselstromes i(t) ist es ebenso möglich, eine entspre
chenden Eichkurve wie vorstehend beschrieben zu erstellen.
Zur Erstellung eines Schwingkreises ist schließlich als vierte alternative Verfahrens
variante parallel zu der aus Werkzeugendteil und Objektoberfläche bzw. Objekt ge
bildeten Kapazität eine Induktivität zu schalten, die nach entsprechender Versorgung
mit Wechselspannung eine bestimmte Schwingkreisresonanzfrequenz in Abhängig
keit der Kapazität und Induktivität aufweist. Durch Änderung des Abstandes zwi
schen Werkzeugendteil und Objektoberfläche ändert sich die Kapazität, wodurch
sich eine Änderung der Resonanzfrequenz des Schwingkreises ergibt. Durch ent
sprechende Frequenzerfassung ist es möglich eine abstandsabhängige Meßgröße
zu erfassen, die nach entsprechender Erstellung einer Eichkurve zur Abstandsmes
sung herangezogen werden kann.
Grundsätzlich lassen sich die alternativen erfindungsgemäßen Verfahren auf allge
meine Konfigurationen von Werkzeugendteilen anwenden.
Die Erfindung wird nachstehend ohne Beschränkung des allgemeinen Erfindungsge
dankens anhand von Ausführungsbeispielen unter Bezugnahme auf die Zeichnung
exemplarisch beschrieben. Es zeigen:
Fig. 1 Abstandsbestimmung über Spannungsmessung
Fig. 2 Abstandsbestimmung über Kapazitätsmessung,
Fig. 3 Kapazitive Abstandsregelung unter Einsatz einer Wechselspannungs
quelle,
Fig. 4 Schaltung für einen Versuchsaufbau, sowie
Fig. 5 Kontaktierung einer Dispensernadel auf einer Objektoberfläche.
Zum Verständnis der nachfolgenden Ausführungsbeispiele ist es wichtig darauf hin
zuweisen, daß das Werkstückendteil, das vorzugsweise als Dispensernadel bzw. als
Greifwerkzeug ausgebildet ist, zusammen mit der Objektoberfläche bzw. dem Objekt
idealisiert einen Kondensator bildet. Wird an dieser Kondensatorkonfiguration eine
externe elektrische Spannung U angelegt, so bildet sich auf der Grundlage der Ma
xwell-Gleichung
ein elektrisches Feld E zwischen den idealisierten Kondensatorplatten aus, das in
Abhängigkeit des Abstandes d zwischen beiden Kondensatorhälften, die dem Ab
stand des Werkzeugendteiles zu der elektrisch leitenden Objektoberfläche entspricht,
variiert. Für die sich im Kondensator ausbildenden Kapazität C gilt die Beziehung,
wobei Q die aufgebrachte Ladung und U die meßbare Spannung darstellt. Weiterhin
gilt für die Kapazität die nachfolgende Beziehung:
Hierbei ist i(t) der Strom, C die Kapazität und der Quotient dU(t)/dt die zeitliche Än
derung der elektrischen Spannung.
Zur Bestimmung des Abstandes zwischen dem Werkzeugendteil, respektive Dispen
sernadel oder Dispensermaterial zu beispielsweise einer auf der Objektoberfläche
befindlichen Leiterbahn oder des Greifwerkzeuges zu einem Bauteil über die Erfas
sung der Kapazität können folgende zwei prinzipielle Meßverfahren eingesetzt wer
den:
In Fig. 1 befindet sich über der als Träger T bezeichneten Objektoberfläche eine Dis pensernadel 1, an der dem Träger T gegenüberliegenden Nadelöffnung ein zu dis pensendes Material 2 ausgetragen wird. Beispielsweise wird auf diese Weise Kleb stoff zur Fixierung von Leiterbahnen 3 auf Trägern T aufgebracht. Mit Hilfe eines Spannungsmeßgerätes 4 wird die Spannungsdifferenz zwischen der Dispenserspitze 1 und der metallischen Werkstückfläche T bzw. des Greiferwerkzeuges vom Bauteil gemessen. Wenn sich die Dispensernadel der metallischen Oberfläche oder der Greifer dem Bauteil nähert, steigt die Kapazität an. Grundsätzlich kann nach der Be ziehung C=Q/U die Kapazität berechnet werden. Aus Praktikabilitätsgründen wird jedoch eine Eichkurve für eine spezielle Meßkonfiguration erstellt, in der der Meß wertezusammenhang zwischen der gemessenen elektrischen Spannung U und dem auf konventionelle Weise ermittelten Abstand zwischen Dispensernadel und der Werkstückoberfläche hergestellt wird.
In Fig. 1 befindet sich über der als Träger T bezeichneten Objektoberfläche eine Dis pensernadel 1, an der dem Träger T gegenüberliegenden Nadelöffnung ein zu dis pensendes Material 2 ausgetragen wird. Beispielsweise wird auf diese Weise Kleb stoff zur Fixierung von Leiterbahnen 3 auf Trägern T aufgebracht. Mit Hilfe eines Spannungsmeßgerätes 4 wird die Spannungsdifferenz zwischen der Dispenserspitze 1 und der metallischen Werkstückfläche T bzw. des Greiferwerkzeuges vom Bauteil gemessen. Wenn sich die Dispensernadel der metallischen Oberfläche oder der Greifer dem Bauteil nähert, steigt die Kapazität an. Grundsätzlich kann nach der Be ziehung C=Q/U die Kapazität berechnet werden. Aus Praktikabilitätsgründen wird jedoch eine Eichkurve für eine spezielle Meßkonfiguration erstellt, in der der Meß wertezusammenhang zwischen der gemessenen elektrischen Spannung U und dem auf konventionelle Weise ermittelten Abstand zwischen Dispensernadel und der Werkstückoberfläche hergestellt wird.
Eine weitere alternative Meßmöglichkeit ist in Fig. 2 dargestellt. Mit Hilfe eines Refe
renzkondensators 5, wird die Kapazität zwischen der Dispensernadel 1 und dem
Werkstückträger T, auf dem beispielsweise Leiterbahnen 3 aufgebracht sind, erfaßt
und gemessen. Die Kapazität des Kondensators, bestehend aus der Dispensernadel
und dem Substratträger oder dem Greifwerkzeug und dem Bautteil, steigt beim An
nähern der Dispenserspitze an die metallische Oberfläche oder des Greifers an das
Bauteil an. Die Änderung der Kapazität des Kondensators, bestehend bspw. aus
Dispensernadel und Objektoberfläche ist bedingt durch die Variation des Luftspaltes
zwischen Dispensernadel und Träger.
Durch diese entstehenden Änderungen kann die Kapazität C bestimmt werden.
Unter Einsatz eines elektrischen Wechselfeldes kann mit der in Fig. 3 dargestellten
Meßanordnung ebenso der Abstand ermittelt werden. Bei diesem Verfahren wird ein
elektrisches Wechselfeld zwischen der Dispensernadel 1 und der elektrisch leitenden
Werkstückfläche T oder zwischen einem Greifer und einem Bauteil mit einer Wech
selspannungsquelle 5 erzeugt. Dabei bildet die Dispensernadel 1 und die leitende
Werkstückoberfläche T oder das Greifwerkzeug und das Bauteil einen Kondensator
mit dem kapazitiven Blindwiederstand XC, der der nachfolgenden Beziehung folgt:
ω stellt die Winkelfrequenz 2πf dar, wobei f die Frequenz der Spannung U ist. C ist
die Kapazität des Kondensators. Durch die Variation des Abstandes der Dispenser
nadel vom leitenden Werkstückmaterials oder des Greiferwerkzeuges vom Bauteil,
verändert sich die Kapazität und somit der Blindwiderstand XC des Kondensators bei
konstanter Frequenz und Spannung des Spannungs- bzw. Wechselspannungsquelle
6. Durch die Änderung des Blindwiderstandes variieren der durch den Kondensator
fließende Wechselstrom, der mit einem Strommeßgerät 7 erfaßbar ist sowie die
meßbare Spannung.
Die Realisierung der beschriebenen Lösungen ermöglicht beim Dispensen eine
hochgenaue Regelung des Nadelspaltes und bei der Montage von Kleinstteilen ein
präzises Greifen von Bauteilen. Durch dieses Verfahren ist eine Online-Steuerung
des Prozesses möglich. Kurze Bearbeitungszeit, schneller Verfahrensablauf, Erhö
hung der Zuverlässigkeit des Abstandsmeßprozesses, Qualitätssteigerungen auf
grund der höheren realisierbaren Genauigkeiten und eine Verringerung des Aus
schusses bei den Produktionsverfahren des Dispensens und der Montage können auf
dies Weise erreicht werden.
Die kapazitive Regelung des Abstandes ist erforderlich, um die in Zukunft verschärf
ten Anforderungen an die Montage bzw. das Dispensen bezogen auf eine zuneh
mende Miniaturisierung der Bauelemente und der erhöhten geforderten Positionier
genauigkeiten in den Bereichen der Feinwerktechnik, Mikroelektronik und der Mikro
systemtechnik erfüllen zu können. Ferner bietet dieses Verfahren eine kostengünsti
ge Lösung, sofern keine absolute Abstandsmessung erforderlich ist, sondern eine
qualitative Bestimmung des Abstandes Nadel bzw. Greifer zur Werkstückoberfläche
ausreicht.
Eine vorteilhafte Meßanordnung ist in Fig. 4 dargestellt. Der Aufbau einer elektri
schen Meßschaltung besteht aus einer Wechselspannungsquelle 6, einem durch die
Dispensernadel und der leitfähigen Substratoberfläche gebildeten Kondensator C
und einem mit dem Kondensator C in Reihe geschalteten Vorwiderstand R. Der am
Vorwiderstand R entstehende Spannungsabfall ist mittels eines Voltmeters (V) meß
bar. Der fließende Strom i(t) ist über die Größen Spannung und Widerstand bere
chenbar. Anschließend ist durch Rechenalgorythmen der Abstand der Dispenserna
del bzw. Werkzeugspitze von der Substratoberfläche zu bestimmen. Alternativ zur
Bestimmung des Abstandes mit Hilfe von Rechenalgorythmen können ebenso Eich
kurven verwendet werden, die einen Zusammenhang zwischen den aktuell vermes
senen Meßgrößen sowie dem Abstand angeben.
In Fig. 5 ist die Kontaktierung der Dispensernadel 1 und des Werkstückträgers T
dargestellt. Die elektrisch kontaktierte Nadel ist an einer Achse A befestigt, unter der
sich der Werkstückträger T befindet. Der Werkstückträger T ist im angegebenen Fall
geerdet und mit einer Zuleitung L verbunden.
Die zeitliche veränderliche Versorgungsspannung, die zwischen der Dispensernadel
und dem Werkstückträger T anliegt, wird durch ein, nicht dargestelltes, parallel ge
schaltetes Oszilloskop gemessen. Die am Meßwiderstand abfallende Spannung, die
Meßgröße V, wird entsprechend parallel zu dem zweiten Kanal des Oszilloskop ge
messen.
1
Dispensernadel
2
dispensendes Material
3
Leitbahn
4
Spannungsmeßgerät
5
Referenzkondensator
6
Wechselspannungsquelle
7
Strommeßgerät
T Träger, Objektoberfläche
L Zuleitung
T Träger, Objektoberfläche
L Zuleitung
Claims (7)
1. Verfahren zur Abstandsmessung zwischen einem Werkzeugendteil einer Ma
nipulatoreinheit und einer mit dem Werkzeugendteil zu bearbeitenden Objektoberflä
che oder eines zu manipulierenden Objektes, wobei das Werkzeugendteil sowie die
Objektoberfläche bzw. das Objekt wenigstens einen elektrisch leitenden Bereich
aufweisen,
dadurch gekennzeichnet, daß das Werkzeugendteil unmittelbar als Meßmedium für
eine elektrische Spannungs-, Strom-, Kapazitäts- oder Frequenzmessung verwendet
wird, und daß eine Eichkurve erstellt wird, die den Zusammenhang der elektrischen
Meßgrößen und dem Abstand zwischen Werkzeugendteil und der Objektoberfläche
bzw. des Objektes wiedergibt.
2. Verfahren nach Anspruch 1,
dadurch gekennzeichnet, daß die elektrisch leitenden Bereiche des Werkzeugend
teils und/oder die der Objektoberfläche bzw. des Objektes mit elektrischer Ladung Q
beaufschlagt werden, und
daß die elektrische Spannung U zwischen den elektrisch leitenden Bereichen des
Werkzeugendteils und die der Objektoberfläche bzw. des Objektes gemessen wird,
daß eine Eichkurve erstellt wird, anhand der die ermittelten Spannungswerte U Ab
standswerten zugeordnet werden.
3. Verfahren nach Anspruch 1,
dadurch gekennzeichnet, daß die elektrisch leitenden Bereiche des Werkzeugend
teils und/oder die der Objektoberfläche bzw. des Objektes mit elektrischer Ladung Q
beaufschlagt werden,
daß unter Verwendung eines Referenzkondensators die Kapazität C zwischen dem
Werkzeugendteil und der Objektoberfläche bzw. dem Objekt ermittelt wird, und
daß eine Eichkurve erstellt wird, anhand der die ermittelten Kapazitätswerte C Ab
standswerten zugeordnet werden.
4. Verfahren nach Anspruch 1,
dadurch gekennzeichnet, daß zwischen den elektrisch leitenden Bereichen des
Werkzeugendteils sowie der Objektoberfläche bzw. Objekt eine elektrische Wech
selspannung U angelegt wird,
daß der zwischen dem Werkzeugendteil und der Objektoberfläche bzw. dem Objekt
fließende Wechselstrom i(t) gemessen wird, und
daß eine Eichkurve erstellt wird, anhand der der gemessene Wechselstrom i(t) Ab
standswerten zugeordnet werden.
5. Verfahren nach Anspruch 4,
dadurch gekennzeichnet, daß zur Ermittlung des Wechselstromes i(t) eine an einem
Meßwiderstand abfallende elektrische Spannung mit Hilfe eines Zweikanaloszil
loskop gemessen wird, an dessen anderen Meßkanal die Wechselspannung U er
faßt wird.
6. Verfahren nach Anspruch 1
dadurch gekennzeichnet, daß zwischen den elektrisch leitenden Bereichen des
Werkzeugendteils sowie der Objektoberfläche bzw. Objekt eine elektrische Wech
selspannung U angelegt sowie eine Induktivität vorgesehen wird, die zusammen mit
der Kapazität aus Werkzeugendteil und Objektoberfläche bzw. Objekt einen
Schwingkreis bildet,
daß die Änderung der Frequenz des Schwingkreises durch Änderung des Abstandes
ermittelt wird, und
daß eine Eichkurve erstellt wird, anhand der die ermittelten Frequenzänderungen
Abstandswerten zugeordnet werden.
7. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 6,
dadurch gekennzeichnet, daß das Werkzeugendteil ein Greifwerkzeug oder eine
Dispensernadel ist, deren der Objektoberfläche bzw. dem Objekt nächstliegender Teil
der Abstandsmessung zugrundegelegt wird.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE1997127094 DE19727094C2 (de) | 1997-06-25 | 1997-06-25 | Verfahren zur Abstandsmessung zwischen einem Werkzeugendteil einer Manipulatoreinheit und einer mit dem Werkzeugendteil zu bearbeitenden Objektoberfläche oder eines zu manipulierenden Objektes |
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Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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DE1997127094 DE19727094C2 (de) | 1997-06-25 | 1997-06-25 | Verfahren zur Abstandsmessung zwischen einem Werkzeugendteil einer Manipulatoreinheit und einer mit dem Werkzeugendteil zu bearbeitenden Objektoberfläche oder eines zu manipulierenden Objektes |
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DE19727094C2 DE19727094C2 (de) | 2003-10-16 |
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DE1997127094 Expired - Fee Related DE19727094C2 (de) | 1997-06-25 | 1997-06-25 | Verfahren zur Abstandsmessung zwischen einem Werkzeugendteil einer Manipulatoreinheit und einer mit dem Werkzeugendteil zu bearbeitenden Objektoberfläche oder eines zu manipulierenden Objektes |
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Publication number | Publication date |
---|---|
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