DE19726931A1 - Verfahren und Vorrichtung zur interferometrischen Bestimmung der Phasendifferenz zwischen überlagerten optischen Wellen - Google Patents
Verfahren und Vorrichtung zur interferometrischen Bestimmung der Phasendifferenz zwischen überlagerten optischen WellenInfo
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Description
Die Erfindung betrifft ein Verfahren und eine Vorrichtung zur
interferometrischen Bestimmung der Phasendifferenz zwischen überlagerten
optischen Wellen.
Zur Bestimmung der Phase bzw. räumlichen Phasenverteilung einer
Signalwelle bezüglich einer Referenzwelle durch Überlagerung beider
Wellen sind verschiedene Verfahren bekannt. Das aus der kohärenten
Überlagerung der beiden Wellen mit den Intensitäten IS und IR und der
Phasendifferenz Δϕ resultierende Interferenzfeld hat die Intensität
wobei alle Größen im allgemeinen vom Ort und der zeit abhängen.
Wenn die Intensitäten IS und IR bekannt sind, z. B. durch Vorgabe oder durch
direkte Messung vor oder nach der Aufnahme des Interferogramms, kann aus
der Meßgröße IIF die gesuchte Phasendifferenz Δϕ nach obiger Gleichung be
stimmt werden.
Sind die Intensitäten IS und IR bei der Messung von IIF jedoch nicht bekannt,
z. B. wenn die Signalwelle und/oder die Referenzwelle ihre Intensität zeitlich
in unbekannter Weise verändern oder wenn im gepulsten Betrieb jeder Puls
eine andere Intensität bzw. Energie aufweist, ist dieses direkte Verfahren
nicht anwendbar. Mehrere Verfahren ermöglichen dennoch eine Auswertung:
Im Falle eines mindestens eindimensionalen Interferogramms kann bei unbe kannten Intensitäten IS und/oder IR aus der Lage der Maxima und Minima im Interferogramm und durch Interpolation zwischen den Extrema die Phasendifferenz bestimmt werden. Dies setzt jedoch voraus, daß sich die Intensität IS und/oder IR örtlich hinreichend gering ändert [J. Schwieder, Advanced Evaluation Techniques in Interferometry, in: Progress in Optics Vol. 28, ed E. Wolf(North Holland, 1990)].
Im Falle eines mindestens eindimensionalen Interferogramms kann bei unbe kannten Intensitäten IS und/oder IR aus der Lage der Maxima und Minima im Interferogramm und durch Interpolation zwischen den Extrema die Phasendifferenz bestimmt werden. Dies setzt jedoch voraus, daß sich die Intensität IS und/oder IR örtlich hinreichend gering ändert [J. Schwieder, Advanced Evaluation Techniques in Interferometry, in: Progress in Optics Vol. 28, ed E. Wolf(North Holland, 1990)].
Auch beim Fouriertransformationsverfahren [Schwieder] kommt man mit
einem einzigen Interferogramm und ohne die Kenntnis der Intensitäten IS und
IR aus. Der Nachteil hier ist der hohe Rechenaufwand, die willkürliche
Entfernung von Information bei der Filterung in der Fourierebene, Probleme
im Randbereich des Interferogramms. Außerdem kann die Auswertung von
Interferogrammen mit geschlossenen Linien, z. B. kreisähnlichen Strukturen,
problematisch sein. Falls auch die Intensität IS und IR interessieren, so reicht
ein Interferogramm nicht aus, um auf diese Werte zu schließen.
Gute Ergebnisse liefert das Phasenschiebeverfahren [Schwieder], bei dem
mehrere Interferogramme aufgenommen werden, zwischen denen die Phase
mindestens einer Welle in definierter oder undefinierter Weise geschoben
wird. Der Nachteil ist, daß mehrere Aufnahmen in zeitlicher Folge nötig sind,
zwischen denen sich das zu vermessende Objekt nur hinreichend wenig oder
nur in definierter Weise ändern darf. Damit ist z. B. eine Messung mit
gepulster Lichtquelle oftmals nicht möglich.
Beim Heterodynverfahren [P.Hariharan, Interferometry with lasers, in: Pro
gress in Optics Vol. 24, ed E. Wolf (North Holland, 1987)] wird eine Welle
frequenzverschoben und die Schwebung im Interferenzfeld ausgewertet. Dies
erfordert zusätzlichen apparativen Aufwand zur Erzeugung der Frequenzver
schiebung und zur Bestimmung der Phase der Schwebungswelle. Das
Verfahren benötigt eine gewisse Meßzeit, innerhalb der sich das zu
vermessende Objekt nur hinreichend wenig ändern darf. Zur zeit kann es nur
zur punktweisen Auswertung des Interferenzfeldes angewendet werden.
Es ist weiterhin bekannt [z. B. DD-PS 1441 85], Signalwelle und
Referenzwelle als Doppelbelichtungshologramm mit räumlich getrennten
Hologramm-Referenzwellen zu speichern. Damit können zu einem anderen
Zeitpunkt beide Wellen einzeln, zur Bestimmung der Intensitäten IS und IR,
oder gleichzeitig zur Bestimmung der Intensitätsverteilung IIF rekonstruiert
werden. Nachteilig ist allerdings der zusätzliche mechanische und zeitliche
Aufwand für die Aufzeichnung bzw. Rekonstruktion der Hologramme sowie
für die zeitlich sequentielle Intensitäts-Detektion der getrennt und gemeinsam
rekonstruierten Wellen.
Beim Shearing-Interferometer [D.Malacara, Optical Shop Testing, John Wi
ley & Sons, 1992] wird die Referenzwelle aus der Signalwelle ausgekoppelt
und räumlich um den Vektor ν(χ) verschoben mit dieser überlagert, wobei χ
den Ort auf dem Detektor angibt. Der Vektor ν kann z. B. eine laterale
Translation, eine Drehung des Strahlbündels um die Ausbreitungsrichtung
oder eine Aufweitung beschreiben. Damit erhält man die Phasendifferenz für
jeden Ort χ in Form der Differenz Δϕ(χ)-Δϕ(χ-ν). Um den Verlauf Δϕ(χ)
selbst zu erhalten muß die Verschiebung ν hinreichend klein gehalten
werden, so daß die Näherung
gilt und
eine Integration möglich ist. Dies schränkt jedoch die Genauigkeit der
Bestimmung von Δϕ(χ) ein. Bei größeren Verschiebungen ν müssen vorab
gewisse Annahmen über den Phasenverlauf gemacht werden, indem man z. B.
einen polynomischen Ansatz für Δϕ (χ) zur Lösung wählt. Räumliche
Intensitätsschwankungen in der Signalwelle führen zu Fehlern im Ergebnis.
Bereiche, die nicht überlappt sind, können nicht ausgewertet werden.
Aufgabe der Erfindung ist es den apparativen bzw. verfahrenstechnischen
Aufwand zur Ermittlung der Phasendifferenzen zu verringern. Insbesondere
sollen alle zur Berechnung der Phasendifferenz nach Formel (1) nicht
bekannten Größen unmittelbar mit Aufnahme des aus Signal- und
Referenzwelle zu bildenden Interferogramms durch eine relativ einfache
Apparatur und auf möglichst einfache Weise gewonnen werden können.
Erfindungsgemäß wird aus der Signalwelle und/oder aus mindestens einer
Referenzwelle, aus denen das überlagerte Interferogramm gebildet wird,
durch einen Strahlteiler ein Teilstahl ausgekoppelt und über
Strahlumlenkelemente separat von der Detektion der zusammengeführten
Signal- und Referenzwellen auf eine andere Detektorteilfläche desselben
Detektors oder auf einen anderen Detektor gelenkt. Das Interferogramm der
überlagerten Signal- und Referenzwellen sowie die Intensität des oder der
ausgekoppelten Teilstrahlen können somit auf einem einzigen oder auf
mehreren Detektoren zeitgleich erfaßt und einer Auswerteeinheit zugeführt
werden. Auf diese Weise werden mit der Auswertung des Interferogramms
auch die noch unbekannten Größen aus der Formel (1) ermittelt, um die
Phasendifferenz von Signal- und Referenzwellen berechnen zu können. Zur
Ermittlung dieser unbekannten Intensitätsgrößen sind keine zusätzlichen
Meßverfahren und keine aufwendige Apparatur erforderlich. Der Aufwand
besteht lediglich in der Auskopplung des oder der Teilstrahlen sowie deren
separate Detektion.
Die Unteransprüche 2-10 beinhalten vorteilhafte Ausgestaltungsmerkmale
der Erfindung für die Strähldetektion, die Detektor-Signalauswertung sowie
für die Festlegung der optischen Wege von Haupt- und ausgekoppeltem
Teilstrahl der Signal und/oder Referenzwellen.
Die Erfindung ist prinzipiell bei verschiedenen Interferometer-Grundtypen
anwendbar, z. B. Mach-Zehnder-Interferometer, Michelson-Interferometer
oder Sagnac-Interferometer, und soll nachstehend anhand von drei in der
Zeichnung dargestellten Ausführungsbeispielen als Mach-Zehnder-
Interferometer näher erläutert werden.
Es zeigen:
Fig. 1 Prinzipaufbau des erfindungsgemäßen Interferometers, bei dem
Signal und Referenzwelle auf einunddemselben Intensitätsdetektor
abgebildet werden
Fig. 2 Prinzipaufbau gemäß Fig. 1 mit zusätzlicher Auskopplung eines
Teiles der Referenzwelle auf einen weiteren Intensitätsdetektor
Fig. 3 Prinzipaufbau nach Fig. 1, bei dem zusätzlich ein Teil der Refe
renzwelle separat auf den einzig vorhandenen Intensitätsdetektor
ausgekoppelt wird.
In Fig. 1 ist der Prinzipaufbau des Interferometers dargestellt. Eine Eingangs
welle 1 wird mittels eines Strahlteilers 2 in eine Signalwelle 3 mit einer
Intensität IS und in eine Referenzwelle 4 mit einer als bekannt
vorausgesetzten Intensität IR aufgeteilt, die über ein Strahlumlenkelement 5
bzw. ein Strahlumlenkelement 6 sowie nach Zusammenführung über einen
halbdurchlässigen Spiegel 7 auf eine Detektorfläche 8 von einer
Detektoreinheit 9 geleitet werden. Die Signalwelle 3 kann nach dem
Strahlteiler 2 durch ein (hier nicht dargestelltes) Objekt in der Phasen- und
Intensitätsverteilung modifiziert werden und trägt die gesuchte Information
in der Intensitätsverteilung und in der Phasenverteilung bezüglich der
bekannten Eigenschaften der Referenzwelle 4.
Die zusammengeführten Wellen treffen dabei auf eine Detektorteilfläche 8a
eines mindestens eindimensionalen Intensitätsdetektors 10 auf. Das auf diese
Weise detektierte Interferogramm wird über eine Leitung 11 einer
Auswerteeinheit 12 zugeführt.
Erfindungsgemäß wird ein Teil der Signalwelle 3 mit einem Strahlteiler 13
ausgekoppelt und über zwei Strahlumlenkelemente 14, 15 auf eine
Detektorteilfläche 8b der Detektoreinheit 9 geleitet.
Die Interferometeranordnung ist so aufgebaut, daß die optischen Wege ab
dem Strahlteiler 13 einerseits über den halbdurchlässigen Spiegel 7 zur
Detektorteilfläche 8a sowie andererseits über die Strahlumlenk
elemente 14, 15 zur Detektorteilfläche 8b jeweils gleichlang sind. Dadurch
sind die Teilwellenfronten der Signalwelle 3 auf den Detektorteilflächen 8a
und 8b jeweils gleich und eine in der Signalwelle 3 enthaltene Struktur hat
somit auf beiden Detektorteilflächen 8a, 8b eine ähnliche Intensitäts
verteilung. Mit der gleichzeitig auf die Detektoreinheit 9 auftreffenden
Referenzwelle 4 erhält man auf der Detektorteilfläche 8a das Interferogramm
mit einer Intensitätsverteilung IIF.
Um nach Gleichung (1) die gesuchte Phasendifferenz Δϕ für jeden Punkt auf
der Detektorteilfläche 8a zu berechnen, wird die noch fehlende Intensität IS
der Signalwelle 3 aus der an der Detektorteilfläche 8b gemessenen Intensität
IS' des am Strahlteiler 13 ausgekoppelten Teils der Signalwelle 3 bestimmt.
Dazu müssen sowohl der zu jedem Ort r auf der Detektorteilfläche 8a durch
das optische System (Strahlumlenkelemente 14, 15, Strahlteiler 13 sowie
halbdurchlässiger Spiegel 7) vorgegebene konjugierte Ort r' = τS (r) auf der
Detektorteilfläche 8b als auch das Teilungsverhältnis βS = IS'/IS der
entsprechenden konjugierten Strahlen bekannt sein.
Die Ortstransformation τS ist entweder aus der genauen Kenntnis der Form
und Position der Elemente des optischen Systems bekannt oder kann aus
einer (einmaligen oder in gewissen Intervallen stattfindenden)
Kalibrierungsmessung bestimmt werden, indem räumliche definierte
Strukturen in den Strahlengang der Signalwelle 3 eingebracht werden (oder
schon vorhanden sind), wobei die Referenzwelle 4 ausgeblendet ist. Diese
definierten Strukturen werden in den Bildern sowohl der
Detektorteilfläche 8a als auch der Detektorteilfläche 8b identifiziert, womit
eine Zuordnung erfolgt. Die Zuordnung könnte auch durch Kreuzkorrelation
der Bilder auf den Detektorteilflächen 8a und 8b oder durch andere geeignete
Verfahren erfolgen.
Die Ortstransformation τS liegt der Auswerteeinheit 12 beispielsweise als
Tabelle oder als analytische Funktion vor (z. B. konstanter oder
ortsabhängiger Translationsvektor).
Das Teilungsverhältnis βS ist aus der genauen Kenntnis der Eigenschaften
des optischen Systems (Strahlumlenkelemente 14, 15, Strählteiler 13 sowie
halbdurchlässiger Spiegel 7) bekannt oder kann aus einer (einmaligen oder in
gewissen Intervallen stattfindenden) Kalibrierungsmessung bestimmt
werden, indem bei der vorgenannten Kalibriermessung zur Bestimmung der
Ortstransformation τS das Intensitätsverhältnis für konjugierte Punkte oder
konjugierte Bereiche bestimmt wird. Es ist ebenfalls möglich, das
Teilungsverhältnis βS aus einer (einmaligen oder in gewissen Intervallen
stattfindenden) Kalibrierungsmessung zu bestimmen, indem die
Signalwelle 3 ohne besagte definierte Strukturen im Signalstrahlengang und
bei ausgeblendeter Referenzwelle 4 auf beiden Detektorteilflächen 8a und 8b
registriert und ausgewertet wird.
Das Teilungsverhältnis βS liegt der Auswerteeinheit 12 beispielsweise als
konstanter Faktor, ortsabhängige Funktion oder als Tabelle vor.
In Fig. 2 ist der erfindungsgemäße Prinzipaufbau nach Fig. 1 erweitert,
indem eine weitere Detektoreinheit 19 vorgesehen ist, die einen
Intensitätsdetektor 21 mit einer Detektorfläche 20 besitzt. Ein Teil der
Referenzwelle 4 wird über einen Strahlteiler 16 ausgekoppelt sowie über
zwei Strahlumlenkelemente 17, 18 auf eine Detektorteilfläche 20b der
Detektoreinheit 19 geleitet. Gleichzeitig wird ein am halbdurchlässigen
Spiegel 7 ausgekoppelter Teil der Signalwelle 3 auf eine Detektorteil
fläche 20a der Detektorfläche 20 geleitet, wobei die optischen Wege ab dem
Strahlteiler 16 einerseits über den halbdurchlässigen Spiegel 7 zur
Detektorteilfläche 20a sowie andererseits über die Strahlumlenk
elemente 17, 18 zur Detektorteilfläche 20b jeweils gleichlang sind.
Die Detektoreinheit 19 steht über eine Leitung 22 ebenfalls mit der Auswer
teeinheit 12 in Verbindung. Auf der Detektorteilfläche 20a der
Detektorfläche 20, auf die ein am halbdurchlässigen Spiegel 7
ausgekoppelter Teil der Signalwelle 3 geleitet wird, registriert man ein
Interferogramm mit einer Intensitätsverteilung IIF'. Somit werden auf der
ersten Detektoreinheit 9 βS.IS sowie IIF und auf der zweiten Detektor
einheit 19 βR.IR sowie IIF' registriert. IIF' verläuft nach (2) gegenphasig zu IIF.
Mit den Meßgrößen, den Werten τS, βS, βR und βR sowie den Gleichungen
(1) und (2) kann die Phasendifferenz Δϕ bestimmt werden, wobei die
Redundanz durch die Überbestimmtheit der Gleichungen (1) und (2) eine
Korrektur von Fehlern, z. B. Nichtlinearität der Detektoren oder Störeffekte,
erlaubt und damit die Robustheit des Systems erhöht.
Fig. 3 zeigt ein weiteres Ausführungsbeispiel, bei dem in Erweiterung des
Prinzipaufbaus nach Fig. 1 zusätzlich ein Teil der Referenzwelle 4 durch
einen Strahlteiler 23 ausgekoppelt sowie über zwei Strählumlenk
elemente 24, 25 auf eine dritte Detektorteilfläche 8c der Detektorfläche 8 von
der Detektoreinheit 9 geleitet wird, so daß alle in der Gleichung (1)
benötigten Größen zur Bestimmung der Phasendifferenz Δϕ von einer
einzigen Detektoreinheit (z. B. CCD- oder CMOS-Kamera) registriert werden.
Zur Auswertung müssen wiederum die Ortstransformation τS und das
Teilungsverhältnis βS für die Signalwelle 3 sowie die Ortstransformation τR
und das Teilungsverhältnis βR für die Referenzwelle 4 bekannt sein. Die
Ortstransformation τR und das Teilungsverhältnis βR werden prinzipiell so
wie im ersten Ausführungsbeispiel zu Fig. 1 gewonnen.
Die am Beispiel der Zweistrahlinterferometrie beschriebene Erfindung ist
prinzipiell auch bei Mehrstrahl-Interferometern anwendbar, wobei an
geeigneter Stelle ein Teil einer oder mehrerer Wellen ausgekoppelt und in
ihrer Intensität bestimmt werden (nicht in der Zeichnung dargestellt).
Anstelle der Detektoreinheiten 9, 19 können auch photoempfindliche
Materialien zur Speicherung der Intensitätsverteilung (z. B. Fotoplatte) oder
des Wellenfeldes (holographische Speicher) verwendet werden. Die
gespeicherten Informationen können dann zu einem späteren Zeitpunkt (nach
den nötigen Prozeßschritten wie Entwicklung der Fotoplatte) abgerufen und
in eine für die Auswerteeinheit geeignete Form gebracht werden, z. B. mittels
Intensitätsdetektor.
Das optische System, insbesondere mit dem halbdurchlässigen Spiegel 7,
dem Strahlteiler 13 und den Strahlumlenkelementen 14, 15, kann vorteilhaft
als Modul mit einem Anschlußgewinde für eine Standard-CCD-Kamera
realisiert werden.
Auf die Messung und Auswertung der Teilbilder sowie auf die Zwischener
gebnisse in der Berechnung, z. B. bei der Berechnung von cos (Δϕ), können
vielfältige an sich bekannte Filteroperationen angewendet werden, z. B. Glät
tung, Kantenanhebung, Spin-Filterung.
Bei Verwendung von Intensitätsdetektoren oder photoempfindlicher
Materialien mit nichtlinearer Empfindlichkeitskennlinie kann in der
Auswertung die entsprechende Kenngröße (z. B. der Gamma-Faktor) oder
eine spezifische Kennlinie berücksichtigt werden.
Um zu vermeiden, daß die Maxima im Interferogramm auf der
Detektorteilfläche 8a die Detektoreinheit 9 nicht übersteuern, wird das
Teilungsverhältnis zwischen den aufgeteilten Wellen zweckmäßigerweise so
gewählt, daß die Dynamik der Detektoreinheit 9 optimal genutzt wird. Im
allgemeinen sollte deshalb der Teilstrahl zur Detektorteilfläche 8a dunkler
sein als der Teilstrahl zur Detektorteilfläche 8b.
Mit der durch die Messung bekannten Intensität der Signalwelle 3 und/oder
Referenzwelle 4 kann ein in der Zeichnung nicht dargestellter
Lichtmodulator im jeweiligen Strahlengang der Signal- und/oder
Referenzwellen diesen in definierter Weise derart beeinflussen, daß auf der
Detektoreinheit 9 eine optimale Intensitätsauflösung bzw. optimale
Ausnutzung des Dynamikbereichs des Detektors erfolgt (Anpassung an das
zu vermessende Objekt, Abdunklung besonders heller Bereiche).
Das Vorzeichen der Phasendifferenz Δϕ kann aus der Umkehrung der cos-
Funktion nicht bestimmt werden. Bei der Auswertung von mindestens eindi
mensionalen Interferogrammen kann dieses durch geeignete, hinlänglich be
kannte Verfahren unter Nutzung zusätzlicher Informationen über die Form
der Welle, z. B. bei monotoner Krümmung der Wellenfront, bestimmt werden.
Die in der Zeichnung symbolisch dargestellten Strahlteiler 2, 13, 16, 23 sind
beispielsweise durch teildurchlässige (metallische oder dielektrische)
Spiegel, durch Polarisationsstrahlteiler, durch holographisch-optische
Elemente bzw. durch Beugungsgitter realisierbar.
Zur Anwendung als Strahlumlenkelemente 5, 6, 14, 15, 17, 18, 24, 25 sind
insbesondere (metallische oder dielektrische) Spiegel, Prismen,
holographisch-optische Elemente sowie Beugungsgitter möglich.
1
Eingangswelle
2
,
13
,
16
,
23
Strahlteiler
3
Signalwelle
4
Referenzwelle
5
,
6
,
14
,
15
,
17
,
18
,
24
,
25
Strahlumlenkelement
7
halbdurchlässiger Spiegel
8
,
20
Detektorfläche
8
a,
8
b,
8
c,
20
a,
20
b Detektorteilfläche
9
,
19
Detektoreinheit
10
,
21
Intensitätsdetektor
11
,
22
Leitung
12
Auswerteeinheit
IIF
IIF
,
IIF
' Intensitätsverteilung
Δϕ Phasendifferenz
IS
Δϕ Phasendifferenz
IS
Intensität der Signalwelle
IS
IS
' Intensität des ausgekoppelten Teils der
Signalwelle
IR
IR
Intensität der Referenzwelle
r
r
,
r' Ort auf der Detektorfläche
τS
τS
Ortstransformation der Signalwelle
τR
τR
Ortstransformation der Referenzwelle
βS
βS
Teilungsverhältnis der Signalwelle
βR
βR
Teilungsverhältnis der Referenzwelle
Claims (5)
1. Verfahren zur interferometrischen Bestimmung der Phasendifferenz
zwischen überlagerten optischen Wellen, bei dem eine Signalwelle und
mindestens eine dazu kohärente Referenzwelle zusammengeführt und
gemeinsam interferometrisch gemessen und ausgewertet werden, dadurch
gekennzeichnet, daß gleichzeitig zur interferometrischen Messung bzw.
Auswertung der zusammengeführten Signal- und Referenzwellen die
Intensität mindestens eines aus der Signalwelle und/oder der mindestens
einen Referenzwelle ausgekoppelten Teilstrahls gemessen und zur
Bestimmung der Phasendifferenz zwischen der Signalwelle und der
mindestens einen Referenzwelle herangezogen wird.
2. Vorrichtung zur interferometrischen Bestimmung der Phasendifferenz
zwischen überlagerten optischen Wellen, bei dem eine Signalwelle und
mindestens eine dazu kohärente Referenzwelle, beispielsweise durch einen
halbdurchlässigen Spiegel, wieder zusammengeführt sowie auf einen
Detektor geleitet werden, der zur interferometrischen Auswertung des nach
Zusammenführung von Signal- und Referenzwellen auf den Detektor
auftreffenden Lichtes mit einer Auswerteeinheit in Verbindung steht, dadurch
gekennzeichnet, daß im Strahlengang der Signalwelle (3) und/oder der
mindestens einen Referenzwelle (4) ein Strahlteiler (13 bzw. 23) zur
Auskopplung eines Teilstrahls aus der Signal- bzw. mindestens einen
Referenzwelle (3, 4) angeordnet ist und daß Strahlumlenkelemente
(14, 15, 17, 18, 24, 25) vorgesehen sind, durch die der Teilstrahl zur
Intensitätsmessung auf eine andere Detektorteilfläche (8b, 8c) desselben
Detektors (9) bzw. auf einen weiteren, vorzugsweise ebenfalls an die
Auswerteeinheit (12) angeschlossenen, Detektor (19) gelenkt wird.
3. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß für eine
nichtlineare Empfindlichkeitskennlinie des Detektors dem Detektormeßwert
des ausgekoppelten Teilstrahls ein der Empfindlichkeitskennlinie
entsprechender Korrekturwert angerechnet wird.
4. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß zum Zweck der
Auswahl eines vorteilhaften Dynamikbereiches des Detektors die Intensität
der Signalwelle und/oder der mindestens einen Referenzwelle in
Abhängigkeit der durch den Detektor gemessenen Intensität des
ausgekoppelten Teilstrahls, beispielsweise durch ein LCD-Display als
optischer Modulator, gesteuert wird.
5. Vorrichtung nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß der optische
Weg der geteilten Signalwelle (3) bzw. mindestens einen Referenzwelle (4)
zwischen dem Strahlteiler (13, 16 bzw. 23) und der Detektorteilfläche (8a
bzw. 20a) sowie der optische Weg des ausgekoppelten Teilstrahls zwischen
dem Strahlteiler (13, 16 bzw. 23) und der Detektorteilfläche (8b bzw. 20b
bzw. 8c) jeweils gleichlang ist.
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DE1997126931 DE19726931A1 (de) | 1997-06-25 | 1997-06-25 | Verfahren und Vorrichtung zur interferometrischen Bestimmung der Phasendifferenz zwischen überlagerten optischen Wellen |
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DE1997126931 DE19726931A1 (de) | 1997-06-25 | 1997-06-25 | Verfahren und Vorrichtung zur interferometrischen Bestimmung der Phasendifferenz zwischen überlagerten optischen Wellen |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
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DE19726931A1 true DE19726931A1 (de) | 1999-01-07 |
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Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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DE1997126931 Withdrawn DE19726931A1 (de) | 1997-06-25 | 1997-06-25 | Verfahren und Vorrichtung zur interferometrischen Bestimmung der Phasendifferenz zwischen überlagerten optischen Wellen |
Country Status (1)
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DE (1) | DE19726931A1 (de) |
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---|---|---|---|---|
WO2001075407A1 (en) * | 2000-03-31 | 2001-10-11 | Exfo Electro-Optical Engineering Inc. | Method and apparatus for measuring phase differences between intensity-modulated optical signals |
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