DE19718769A1 - Verfahren und Vorrichtung zur Behandlung, insbesondere zum Ätzen, von plattenförmigen Gegenständen, insbesondere von Leiterplatten - Google Patents
Verfahren und Vorrichtung zur Behandlung, insbesondere zum Ätzen, von plattenförmigen Gegenständen, insbesondere von LeiterplattenInfo
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Description
Die Erfindung betrifft ein Verfahren und eine Vorrichtung
zur Behandlung, insbesondere zum Ätzen, von plattenförmigen
Gegenständen, insbesondere von Leiterplatten, nach dem
Oberbegriff des Anspruches 1 bzw. des Anspruches 3.
Eine Vorrichtung der eingangs genannten Art ist aus der
DE 195 19 211 A1 bekannt. Hier sind in einem Maschinenge
häuse mehrere eng benachbarte und rotierende Transportwal
zen angeordnet, welche sich über die gesamte Breite der
Vorrichtung erstrecken und die zu behandelnden Gegen
stände während der Behandlung vorwärtsbewegen und führen.
Diese Transportwalzen ersetzen dabei die früher üblichen
Rollen, welche den Nachteil hatten, daß sie zu einer
gewissen "Schattenbildung" auf den zu behandelnden Werk
stücken führten. Die langen, die Gesamtbreite der zu be
handelnden Gegenstände abdeckenden Walzen erschweren zwar
den Zutritt der Behandlungsflüssigkeit zu den Gegenständen,
lassen jedoch eine vollständig gleichmäßige Behandlung des
gesamten Werkstückes zu.
Eine ähnliche Vorrichtung ist in der DE 195 19 210 A1
beschrieben, die sich hauptsächlich durch die Art unter
scheidet, in welcher die Behandlungsflüssigkeit auf die
zu behandelnden Gegenstände gerichtet wird.
Bei beiden bekannten Vorrichtungen ergibt sich das Problem,
daß aufgrund der sehr eng stehenden, in axialer Richtung
verhältnismäßig langen Walzen die Abfuhr der Behandlungs
flüssigkeit erschwert ist. Kommt es zu lokalen Staus im
Abfließen der Behandlungsflüssigkeit, kann auch hierdurch
die Gleichmäßigkeit der Behandlung gefährdet werden, was
insbesondere beim Ätzen der immer feiner werdenden Struk
turen auf Leiterplatten negative Auswirkungen haben kann.
Aufgabe der vorliegenden Erfindung ist es daher, ein
Verfahren und eine Vorrichtung der eingangs genannten Art
zu schaffen, mit welchem bzw. bei welcher die Behandlungs
flüssigkeit, insbesondere die Ätzflüssigkeit, zuverlässig
von den zu behandelnden Gegenständen abgeführt werden
kann.
Diese Aufgabe wird, was das Verfahren angeht, durch
die im Anspruch 1 beschriebene Erfindung gelöst.
Eine vorteilhafte Weiterbildung dieses Verfahrens ist
im Anspruch 2 angegeben.
Was die Vorrichtung betrifft, wird die obige Aufgabe
durch die im Anspruch 3 beschriebene Erfindung gelöst.
Transportwalzen, welche in der erfindungsgemäßen Weise
mit einer schraubenförmigen Nut ausgestattet sind, er
füllen eine Doppelfunktion. Zum einen dienen sie in der
bekannten Weise als Teil des Transportsystemes; zum ande
ren stellen sie eine Art "Pumpe" dar, welche entsprechend
ihrer Drehrichtung und entsprechend dem Drehsinn der
schraubenförmigen Nut die Behandlungsflüssigkeit zu einem
axialen Ende der Transportwalze aktiv abtransportiert.
Die schraubenförmige Nut in verschiedenen Transportwalzen
kann, in Bewegungsrichtung der zu behandelnden Gegenstände
gesehen, abwechseln, derart, daß die Behandlungsflüssigkeit
zu gegenüberliegenden Seiten der Vorrichtung weggefördert
wird.
Bei der in Anspruch 4 beschriebenen Ausführungsform der
Erfindung wird durch die schräggestellten Düsen die
Förderwirkung der schraubenförmigen Nut in der Transport
walze unterstützt.
Im allgemeinen ist es zwar möglich, durch geeignete Düsen
systeme, wie sie z. B. in den eingangs genannten Druck
schriften beschrieben sind, die Behandlungsflüssigkeit
in ausreichender Menge an die zu behandelnden Gegenstände
heranzubringen. Wenn jedoch im Einzelfalle eine noch bes
sere Zufuhr der Behandlungsflüssigkeit erwünscht ist,
kann die in Anspruch 5 beschriebene Ausführungsform der
Erfindung eingesetzt werden, bei welcher mindestens eine
mit einer schraubenförmigen Nut versehene Transportwalze
als Düsenwalze ausgebildet ist. In diesem Falle tritt
für die Transportwalze zu den oben bereits erwähnten
beiden Funktionen, nämlich der Transport- und der "Pump"-
Funktion, eine dritte Funktion hinzu, nämlich diejenige
einer dem zu behandelnden Gegenstand unmittelbar benach
barten Düse.
Besonders empfehlenswert ist dabei die Ausgestaltung nach
Anspruch 6, bei welcher sich der Walzenkörper um ein
feststehendes Rohr drehen kann. Jedesmal, wenn eine der
Öffnungen in der Mantelfläche des Walzenkörpers vor
einer Öffnung im stationären Rohr vorbeistreicht, ist
die entsprechende Öffnung in der Mantelfläche des Walzen
körpers mit der unter Druck stehenden Behandlungsflüssig
keit verbunden, so daß ein Flüssigkeitsstrahl, welcher
auf den zu behandelnden Gegenstand ausgerichtet ist, aus
dieser Öffnung austritt. Die Richtung, in welcher die
Behandlungsflüssigkeit das Werkstück beaufschlagt, ist
dabei stets genau definiert, was in vielen Fällen wünschens
wert ist.
Ausführungsbeispiele der Erfindung werden nachfolgend
anhand der Zeichnung näher erläutert; es zeigen
Fig. 1 schematisch einen senkrechten Schnitt durch
ein Ausführungsbeispiel einer Vorrichtung
zum Ätzen von dünnen elektronischen Leiterplatten
(Multilayern);
Fig. 2 eine Draufsicht auf eine mit einer Schraubennut
versehene Transportwalze aus Fig. 1;
Fig. 3 die Seitenansicht eines Düsenstockes aus der
Vorrichtung von Fig. 1;
Fig. 4 eine perspektivische Ansicht einer Transport-
und Düsenwalze;
Fig. 5 einen Schnitt durch die Transport- und Düsen
walze von Fig. 4.
In Fig. 1 ist eine Vorrichtung zum Ätzen von Leiterplatten
insgesamt mit dem Bezugszeichen 110 versehen. Sie umfaßt
ein Maschinengehäuse 112, durch welches ein Transportsystem
114, 116 verläuft. Dieses umfaßt oberhalb und unterhalb
der Bewegungsebene der zu ätzenden Leiterplatten 118
Transportwalzen 120, 136, welche sich im wesentlichen
über die gesamte Breite der Vorrichtung 110 erstrecken
und einander eng benachbart sind. Außenliegende Transport
walzen 120 führen die zu ätzende Leiterplatte 118 einer
Behandlungszone 122 zu. Dort wird diese Leiterplatte 118
an modifizierte Transportwalzen 136 übergeben, die weiter
unten näher beschrieben werden. Diese Transportwalzen 136
führen die Leiterplatte 118 durch die Behandlungszone 122
hindurch, von wo aus (in Fig. 1 rechts) wieder die
"normalen" Transportwalzen 120, wie sie auch in den
eingangs genannten Druckschriften benutzt werden, den
Weitertransport übernehmen.
Zwischen jeweils zwei Transportwalzen 136 sind innerhalb
der Behandlungszone 122 oberhalb und unterhalb der Bewe
gungsebene der Leiterplatten 118 jeweils zwei Düsenstöcke
154 angeordnet, welche die Leiterplatte 118 durch den Spalt
zwischen den Transportwalzen 136 hindurch mit Ätzflüssig
keit 148 beaufschlagen. Näheres zu dieser Art, die zu
ätzende Leiterplatte 118 zu besprühen, ist der oben
genannten DE 195 19 210 A1 zu entnehmen.
Mittels einer Pumpe 156 wird einem Flüssigkeitssumpf 152,
der sich im unteren Bereich des Maschinengehäuses 112
befindet, Ätzflüssigkeit 148 entnommen und den Düsenstöcken
154 zugeführt. Abtropfende Ätzflüssigkeit 148 sammelt sich
wieder im Sumpf 152 des Maschinengehäuses 112.
Soweit bisher beschrieben, ist die Vorrichtung im wesent
lichen aus der DE 195 19 210 A1 bekannt.
Unterschiedlich gegenüber dieser Druckschrift ist jedoch
die detaillierte Ausgestaltung der verschiedenen Transport
walzen 136, die sich innerhalb der Behandlungszone 122
befinden. Zur Beschreibung wird nunmehr auf die Fig. 2
Bezug genommen, welche eine derartige Transportwalze 136
schematisch in der Draufsicht zeigt. Wie dort ersichtlich,
ist in die Mantelfläche 138 der Transportwalze 136 eine Nut
140 eingebracht, die helixförmig von einer Stirnseite 144
(in Fig. 2 links) zu der gegenüberliegenden Stirnseite 146
verläuft.
Die Funktionsweise der Vorrichtung 110 ist folgende:
Über eine Öffnung 158 in der Wand des Maschinengehäuses 112 tritt die Leiterplatte 118 in Pfeilrichtung 160 in das Maschinengehäuse 112 ein. Über die äußeren Transport walzen 120 wird die Leiterplatte 118 zur Behandlungs zone 122 gefördert, in welcher sie durch die modifizierten Transportwalzen 136 weiterbewegt wird. Dabei werden Ober- und Unterseite der Leiterplatte 118 von der Ätzflüs sigkeit 148 beaufschlagt, welche aus den Düsenstöcken 154 unter Druck austritt. Die Abfuhr der zugeführten Ätzflüs sigkeit 148 wird nun durch die in die Mantelflächen 138 der modifizierten Transportwalzen 136 eingebrachten Nuten 140 aktiv gefördert: Aufgrund der Rotation, welche diesen Transportwalzen 136 in ihrer Eigenschaft als Teil des Transportsystemes verliehen wird, wirken die Nuten 140 als Pumpen, welche die Ätzflüssigkeit 148 entsprechend dem Drehsinn der Nut 140 zu einem der beiden stirnseitigen Enden 144, 146 der Transportwalzen 136 hin befördert, von wo aus die Ätzflüssigkeit 148 nach unten in den Sumpf 152 abfließen kann. Der angesprochene Drehsinn der Nuten 140 wechselt dabei, in Förderrichtung der Leiterplatten 118 gesehen, von Transportwalze 136 zu Transportwalze 136 ab, so daß also die Ätzflüssigkeit 148 von diesen Transport walzen 136, erneut in Förderrichtung gesehen, abwechselnd nach links und nach rechts wegtransportiert wird. Auf diese Weise kann die Ätzflüssigkeit 148 ohne Stau zuver lässig aus der Behandlungszone 122 in der Nähe der zu ätzenden Leiterplatte 118 abgezogen werden, wodurch Verarmungseffekte in der Ätzflüssigkeit und hierdurch bedingte Ungleichmäßigkeiten des Ätzvorganges zuverlässig vermieden werden.
Über eine Öffnung 158 in der Wand des Maschinengehäuses 112 tritt die Leiterplatte 118 in Pfeilrichtung 160 in das Maschinengehäuse 112 ein. Über die äußeren Transport walzen 120 wird die Leiterplatte 118 zur Behandlungs zone 122 gefördert, in welcher sie durch die modifizierten Transportwalzen 136 weiterbewegt wird. Dabei werden Ober- und Unterseite der Leiterplatte 118 von der Ätzflüs sigkeit 148 beaufschlagt, welche aus den Düsenstöcken 154 unter Druck austritt. Die Abfuhr der zugeführten Ätzflüs sigkeit 148 wird nun durch die in die Mantelflächen 138 der modifizierten Transportwalzen 136 eingebrachten Nuten 140 aktiv gefördert: Aufgrund der Rotation, welche diesen Transportwalzen 136 in ihrer Eigenschaft als Teil des Transportsystemes verliehen wird, wirken die Nuten 140 als Pumpen, welche die Ätzflüssigkeit 148 entsprechend dem Drehsinn der Nut 140 zu einem der beiden stirnseitigen Enden 144, 146 der Transportwalzen 136 hin befördert, von wo aus die Ätzflüssigkeit 148 nach unten in den Sumpf 152 abfließen kann. Der angesprochene Drehsinn der Nuten 140 wechselt dabei, in Förderrichtung der Leiterplatten 118 gesehen, von Transportwalze 136 zu Transportwalze 136 ab, so daß also die Ätzflüssigkeit 148 von diesen Transport walzen 136, erneut in Förderrichtung gesehen, abwechselnd nach links und nach rechts wegtransportiert wird. Auf diese Weise kann die Ätzflüssigkeit 148 ohne Stau zuver lässig aus der Behandlungszone 122 in der Nähe der zu ätzenden Leiterplatte 118 abgezogen werden, wodurch Verarmungseffekte in der Ätzflüssigkeit und hierdurch bedingte Ungleichmäßigkeiten des Ätzvorganges zuverlässig vermieden werden.
Fig. 3 zeigt schematisch die Seitenansicht eines Düsen
stockes 154, beispielsweise in Bewegungsrichtung der
Leiterplatten 118 gesehen. Er umfaßt ein Sammelrohr 166,
welches kreisförmigen oder rechteckigen Querschnitt auf
weist. An der Unterseite des Sammelrohres 166 ist eine
Vielzahl von Düsen 168 vorgesehen, die so ausgerichtet
sind, daß ihre Sprührichtung zur Seite zeigt, die Ätz
flüssigkeit 148 also unter einem von 90° abweichenden
Winkel auf die zu ätzenden Leiterplatten 118 auftrifft. An
stelle der dargestellten, das Sammelrohr 166 überragenden
rohrförmigen Düsen 168 können selbstverständlich auch
entsprechend geneigte Bohrungen in dem Sammelrohr 166
vorgesehen sein. Durch die geschilderte Neigung der
Düsen 168 wird in der Ätzflüssigkeit 148 bereits von Anfang
an eine Strömungsrichtungskomponente zur Seite hin bewirkt,
wobei darauf geachtet wird, daß diese Richtungskomponente
der Strömung die von der benachbarten Transportwalze 136
erzeugte Förderwirkung unterstützt.
Durch die oben beschriebene Ausgestaltung der Transport
walzen 136 mit einer schraubenförmigen Nut 140 wird, wie
bereits mehrfach betont, erreicht, daß die Ätzflüssigkeit
148 gut abgeführt werden kann. In Einzelfällen kann durch
die langen Transportwalzen 136 auch die Zufuhr von Ätz
flüssigkeit 148 zu den zu ätzenden Gegenständen 118
erschwert sein. Dies gilt insbesondere dann, wenn Innen
lagen (Multilayer) geätzt werden sollen, die einer beson
ders guten Führung durch sehr eng stehende Transportwalzen
bedürfen. In diesen Fällen kann für die Ätzflüssigkeits
zufuhr eine modifizierte Transportwalze 236 eingesetzt
werden, wie diese in den Fig. 4 und 5 dargestellt ist.
Auch diese Transportwalze 236 dient primär dem Zweck,
Leiterplatten durch die Vorrichtung hindurchzufördern.
Ähnlich wie die in Fig. 2 dargestellte Transportwalze
136 weist auch die Transportwalze 236 in ihrer Mantelfläche
238 eine schraubenförmige Nut 240 auf, welche in der
beschriebenen Weise der seitlichen Abförderung der Ätz
flüssigkeit dient. Die Nut 240 ist, verglichen mit der
Nut 40 von Fig. 2, verhältnismäßig breit, so daß benach
barte Gänge der Nut 240 durch eine verhältnismäßig schmale
schraubenförmige Erhebung 274 voneinander getrennt sind.
Mit der Mantelfläche dieser Erhebung 274 rollt die Trans
portwalze 236 an der zu ätzenden Leiterplatte ab.
Die Transportwalze 236 der Fig. 4 und 5 ist als kombi
nierte Transport- und Düsenwalze ausgebildet. Hierzu ist
in den Walzenkörper 272 eine Vielzahl von Durchgangsboh
rungen 276 eingebracht. Diese sind im Walzenkörper 272
in axialer Richtung und in Umfangsrichtung etwa gleichmäßig
verteilt. Im Inneren des Walzenkörpers 272 befindet sich
ein kreisförmigen Querschnitt aufweisender Hohlraum 277.
In diesen ist ein Rohr 278 eingeführt, welches ebenfalls
kreisförmigen Querschnitt aufweist und auf dem der Walzen
körper 272 drehbar gelagert ist. In den Mantel des Rohres
278 sind in einem Winkel von etwa 45° zur Senkrechten
ein linker und ein rechter Schlitz 280 eingebracht.
Im Betrieb der Vorrichtung dreht sich der Walzenkörper
272 gegenüber dem Rohr 278, vorzugsweise durch einen
entsprechenden Antrieb. Im Verlaufe dieser Drehung richten
sich die verschiedenen Durchgangsbohrungen 276 nacheinander
auf einen der beiden Schlitze 280 aus. Wenn dies der Fall
ist, kann Behandlungsflüssigkeit 248, welche durch eine
Pumpe (entsprechend der Pumpe 56 von Fig. 1) unter Druck
in den Innenraum 282 des Rohres 278 gepumpt wird, durch
die Schlitze 280 und die entsprechenden Durchgangsbohrungen
276 nach außen auf die Oberfläche der zu ätzenden Leiter
platte gelangen.
Bei Verwendung der in den Fig. 4 und 5 dargestellten
kombinierten Transport- und Düsenwalze 236 sind also, trotz
der räumlichen Enge des im wesentlichen aus langen Trans
portwalzen bestehenden Transportsystemes, Zufuhr und
Abfuhr der Ätzflüssigkeit stets voll gewährleistet.
Claims (6)
1. Verfahren zur Behandlung, insbesondere zum Ätzen,
von plattenförmigen Gegenständen, insbesondere von
Leiterplatten, bei dem die Gegenstände mittels Walzen
durch eine Behandlungszone transportiert und dort mit
einer Behandlungsflüssigkeit, insbesondere Ätzflüssigkeit,
beaufschlagt werden,
dadurch gekennzeichnet, daß
- a) die Abschattung der plattenförmigen Gegenstände (118) gegen die Behandlungsflüssigkeit, die durch die Walzen (136) bewirkt wird, genau quer zur Durchlaufrichtung liegt, derart, daß die Gleichmäßigkeit der Behandlung über die gesamte Breite und Länge der zu behandelnden Gegenstände (118) gewährleistet ist;
- b) die Behandlungsflüssigkeit (148) gezielt zwischen die Walzen (136) gefördert wird und
- c) eine Strömungskomponente in Richtung der Achse der Walzen (136) erzeugt wird.
2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet,
daß die Strömungskomponente in Transportrichtung
gesehen abwechselnd nach links und nach rechts gerichtet
ist.
3. Vorrichtung zur Behandlung, insbesondere zum Ätzen,
von plattenförmigen Gegenständen, insbesondere von
Leiterplatten, mit
- a) einem Maschinengehäuse;
- b) einem hauptsächlich durch sich über die Breite der Vorrichtung erstreckende, eng parallel angeordnete, rotierende Transportwalzen gebildeten Transportsystem, welches die Gegenstände durch das Maschinengehäuse hindurchführt,
- c) einem Düsensystem, welches die Gegenstände mit einer Behandlungsflüssigkeit, insbesondere Ätzflüssigkeit, beaufschlagt; dadurch gekennzeichnet, daß
- d) in der Mantelfläche (138; 238) mindestens einer der Transportwalzen (136; 236) eine schraubenförmige Nut (140; 240) ausgebildet ist.
4. Vorrichtung nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet,
daß die Düsen (168) des Düsensystems (154) unter schrä
gem Winkel quer zur Transportrichtung derart auf die zu
behandelnden Gegenstände (118) gerichtet sind, daß hier
durch die Förderwirkung der schraubenförmigen Nut (140)
in der Transportwalze (136) unterstützt wird.
5. Vorrichtung nach Anspruch 3 oder 4, dadurch gekenn
zeichnet, daß mindestens eine mit einer schraubenför
migen Nut (240) versehene Transportwalze (236) als Düsen
walze ausgebildet ist und hierzu im Inneren des Walzenkör
pers (272) einen Hohlraum (277) aufweist, welcher mit
unter Druck stehender Behandlungsflüssigkeit (248) beauf
schlagt ist, wobei in der Mantelfläche (270) des
Walzenkörpers (272) mindestens eine mit dem Hohlraum (277)
in Verbindung stehende Öffnung (276) vorhanden ist, durch
welche die Behandlungsflüssigkeit (248) unter Druck zu
den zu behandelnden Gegenständen gelangt.
6. Vorrichtung nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet,
daß der Hohlraum (277) kreisförmigen Querschnitt auf
weist und in dem Hohlraum (277) des Walzenkörpers (272)
ein feststehendes, mit unter Druck stehender Behandlungs
flüssigkeit (248) beaufschlagtes Rohr (278) angeordnet ist,
welches ebenfalls kreisförmigen Querschnitt aufweist und
in dessen Mantelfläche mindestens eine radial im wesent
lichen auf die zu behandelnden Gegenstände und auf die
Öffnung (276) in der Mantelfläche (270) des Walzenkör
pers (272) ausrichtbare Öffnung (280) vorhanden ist, wobei
der Außendurchmesser des Rohres (278) in etwa dem Innen
durchmesser des Hohlraums (277) in dem Walzenkörper (272)
entspricht, so daß sich der Walzenkörper (272) um das Rohr
(278) drehen kann.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE1997118769 DE19718769A1 (de) | 1997-05-04 | 1997-05-04 | Verfahren und Vorrichtung zur Behandlung, insbesondere zum Ätzen, von plattenförmigen Gegenständen, insbesondere von Leiterplatten |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE1997118769 DE19718769A1 (de) | 1997-05-04 | 1997-05-04 | Verfahren und Vorrichtung zur Behandlung, insbesondere zum Ätzen, von plattenförmigen Gegenständen, insbesondere von Leiterplatten |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE19718769A1 true DE19718769A1 (de) | 1998-11-05 |
Family
ID=7828558
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE1997118769 Ceased DE19718769A1 (de) | 1997-05-04 | 1997-05-04 | Verfahren und Vorrichtung zur Behandlung, insbesondere zum Ätzen, von plattenförmigen Gegenständen, insbesondere von Leiterplatten |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
DE (1) | DE19718769A1 (de) |
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1997
- 1997-05-04 DE DE1997118769 patent/DE19718769A1/de not_active Ceased
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
8110 | Request for examination paragraph 44 | ||
R002 | Refusal decision in examination/registration proceedings | ||
R003 | Refusal decision now final |
Effective date: 20130215 |