DE19712331B4 - Crystal pulling system - Google Patents

Abstract

Kontinuierlich arbeitende Kristall-Ziehanlage zur Erzeugung eines Kristallblockes, welche in einem Behälter einen Tiegel aus Quarz für den Kristallblock bildendes, schmelzbares Material hat, bei der der Tiegel durch ein Trennrohr in einen zentralen Ziehraum und einen ringförmigen Nachchargierraum unterteilt ist, in welchen eine Granulatzuführung mündet und der innerhalb des Schmelzbades eine Verbindung zu dem Ziehraum hat, und bei der Mittel zum Führen eines Schutzgasstromes über das Schmelzbad nach außen vorgesehen sind, wobei das Trennrohr (10) an seiner oberen Seite von einem den Nachchargierraum (12) abdeckenden und von dem Behälter (1) getragenen Abdeckring (9) gehalten ist, dadurch gekennzeichnet, dass der Abdeckring (9) unter Bildung eines Freiraumes (15) mit Abstand unterhalb einer bis über den Ziehraum (11) und an den Kristallblock (13) heranreichenden Tiegelabdeckung (14) angeordnet ist und eine Schutzgas-Strömungsverbindung (1. Schutzgasstrom 19) von einem Raum (16) oberhalb der Tiegelabdeckung (14) über die Oberfläche des Schmelzbades im Ziehraum (11) und durch den Freiraum...A continuous crystal pulling apparatus for producing a crystal block having in a container a crucible of quartz for the crystal block forming, fusible material, wherein the crucible is divided by a separating tube in a central drawing room and an annular Nachchargierraum into which a Granulatzuführung and which has a connection to the drawing room within the molten bath and in which means are provided for guiding an inert gas flow outwards through the molten bath, the dividing pipe (10) being surrounded on its upper side by a recharging compartment (12) and by the container (1) supported cover ring (9) is held, characterized in that the cover ring (9) to form a free space (15) at a distance below about the drawing room (11) and the crystal block (13) zoom reaching crucible cover (14) is arranged and a protective gas flow connection (1st inert gas flow 19) from a space (1 6) above the crucible cover (14) over the surface of the molten bath in the drawing room (11) and through the free space ...

Description

Die Erfindung betrifft eine kontinuierlich arbeitende Kristall-Ziehanlage zur Erzeugung eines Kristallblockes, welche in einem Behälter einen Tiegel aus Quarz für den Kristallblock bildendes, schmelzbares Material hat, bei der der Tiegel durch ein Trennrohr in einen zentralen Ziehraum und einen ringförmigen Nachchargierraum unterteilt ist, in welchen eine Granulatzuführung mündet und der innerhalb des Schmelzbades eine Verbindung zu dem Ziehraum hat, und bei der Mittel zum Führen eines Schutzgasstromes über das Schmelzbad nach außen vorgesehen sind, wobei das Trennrohr an seiner oberen Seite von einem den Nachchargierraum abdeckenden und von dem Behälter getragenen Abdeckring gehalten ist.The The invention relates to a continuous crystal pulling apparatus for producing a crystal block, which in a container a Crucible made of quartz for has the crystal block forming, fusible material, in the the crucible through a separating tube in a central drawing room and an annular Nachchargierraum is divided, in which a Granulatzuführung opens and within the Melting bath has a connection to the drawing room, and the means to lead a protective gas flow over the molten bath to the outside are provided, wherein the separating tube at its upper side of a Nachchargierraum covering and carried by the container Cover ring is held.

Solche Kristall-Ziehanlagen sind zur Durchführung von CCZ-Ziehprozessen (Continuierliche Czochralski-Ziehverfahren) bekannt. Als Beispiel für den Stand der Technik sei auf die DE-A-28 21 481 verwiesen. Bei der in dieser Schrift gezeigten Kristall-Ziehanlage sind der zentrale Ziehraum und der Nachchargierraum nicht voneinander getrennt. Dadurch besteht die Gefahr, dass mit dem Chargieren von Granulat feine Teilchen in den Ziehraum gelangen und dort zu Fehlern bei dem gezogenen Kristall führen. Deshalb setzt man in der Praxis oftmals ein Trennrohr aus Quarz in den Tiegel ein, welches den Nachchargierraum vom zentralen Ziehraum abtrennt. Nach oben hin ist der Nachchargierraum offen, so dass das Schutzgas vom zentralen Ziehraum über den Nachchargierraum nach außen strömen kann, um Verunreinigungen, insbesondere Siliziumoxid, abzuführen.Such crystal drawing machines are known for performing CCZ drawing processes (Continuous Czochralski drawing methods). As an example of the prior art is on the DE-A-28 21 481 directed. In the crystal drawing apparatus shown in this document, the central drawing room and the recharging room are not separated from each other. As a result, there is a risk that with the charging of granules fine particles enter the drawing room and there lead to errors in the pulled crystal. Therefore, in practice, a quartz separating tube is often inserted into the crucible, which separates the recharging chamber from the central drawing chamber. Towards the top, the recharging chamber is open, so that the protective gas can flow outward from the central drawing chamber via the recharging chamber in order to remove impurities, in particular silicon oxide.

Es hat sich gezeigt, dass auch bei Kristall-Ziehanlagen mit einem in das Schmelzbad ragenden Trennrohr, welches den Nachchargierraum vom zentralen Ziehraum trennt, trotz der Schutzgasströmung nicht auszuschließen ist, dass geringe Mengen feiner Partikel des einchargierten Granulates über das Trennrohr in den zentralen Ziehraum zu gelangen und dort Schaden anzurichten vermögen. Deshalb wird der Vorteil höherer Produktivität kontinuierlich arbeitender Kristall-Ziehanlagen gegenüber solchen Anlagen, die zum Chargieren stillgesetzt werden müssen, mit einem wesentlich höheren Risiko von Fehlern im Kristallblock erkauft.It has been shown that even with crystal drawers with an in the melt bath projecting separator tube, which the Nachchargierraum does not separate from the central drawing room, despite the inert gas flow excluded is that small amounts of fine particles of einchargierten granules on the Separation pipe to enter the central drawing room and there damage to be able to do. Therefore, the advantage becomes higher productivity continuous working crystal drawers over such Plants that need to be shut down for charging a much higher one Risk of mistakes in the crystal block bought.

Die vorliegende Erfindung geht aus von der JP 06-340 493 , die ebenfalls eine Kristallziehanlage zeigt, bei der sowohl ein Ziehraum als auch ein Nachchargierraum vorhanden ist, die durch ein Trennrohr voneinander getrennt sind, das darüber hinaus von einem den Nachchargierraum abdeckenden Abdeckring gehalten ist. Sowohl durch den Ziehraum als auch den Nachchargierraum strömt ein Schutzgas in einem einzigen Schutzgasstrom.The present invention is based on the JP 06-340493 , which also shows a crystal pulling apparatus, in which both a drawing room and a Nachchargierraum is present, which are separated by a separating tube, which is also held by a Nachchargierraum covering cover ring. Both through the drawing room and the recharging a protective gas flows in a single protective gas flow.

Aber auch diese Anordnung kann eine Staubübertragung auf den Kristall nicht vollständig verhindern.But Also this arrangement can be a dust transfer to the crystal not completely prevent.

Der Erfindung liegt das Problem zugrunde, eine kontinuierlich arbeitende Kristall-Ziehanlage der eingangs genannten Art so zu gestalten, dass ein Eindringen von Partikeln von dem nachchargierten Granulat in den Ziehraum mit möglichst großer Sicherheit vermieden wird.Of the Invention is based on the problem, a continuously working Crystal pulling system of the type mentioned above to be designed in such a way that an ingress of particles from the nachgrangierten granules in the drawing room with as possible greater Safety is avoided.

Dieses Problem wird erfindungsgemäß dadurch gelöst, dass der Abdeckring unter Bildung eines Freiraumes mit Abstand unterhalb einer bis über den Ziehraum und an den Kristallblock heranreichenden Tiegelabdeckung angeordnet ist und eine Schutzgas-Strömungsverbindung von einem Raum oberhalb der Tiegelabdeckung über die Oberfläche des Schmelzbades im Ziehraum und durch den Freiraum hindurch nach außen besteht, und dass der Abdeckring mit Abstand zur Oberkante des Tiegels angeordnet ist, wobei durch die Tiegelabdeckung und den Abdeckring Schutzgasdurchlässe geführt sind und eine zweite Schutzgas-Strömungsverbindung vom Nachchargierraum nach außen besteht.This Problem is inventively characterized solved, that the cover ring to form a free space at a distance below one to over the Drawing room and crucible cover reaching to the crystal block is arranged and a protective gas flow connection from a space above the crucible cover over the surface of the Melt pool in the drawing room and through the free space to the outside, and that the cover ring arranged at a distance from the top edge of the crucible is, are guided by the crucible cover and the cover inert gas passages and a second shielding gas flow connection from Recharging space to the outside consists.

Durch diese Gestaltung hat der Nachchargierraum nur unterhalb des Flüssigkeitsspiegels des Schmelzbades zum zentralen Ziehraum hin eine Verbindung. Dadurch können beim Nachchargieren entstehende, feine und noch kalte Partikel nicht unmittelbar über das Trennrohr hinweg in den Ziehraum gelangen und dort zu einer Verunreinigung des Kristallblockes führen. Vielmehr erfolgt die Abführung von Verunreinigungen durch einen über das Schmelzbad im zentralen Ziehraum streichenden Schutzgasstrom. Das Schmelzbad hat die Funktion eines Siphons und verhindert dadurch, dass über die einzigen, bestehenden Verbindungen zwischen dem Nachchargierraum und dem Ziehraum solche Partikel übertreten können. Des Weiteren werden durch die erfindungsgemäße Gestaltung die im Nachchargierraum freiwerdenden Stoffe und dort auftretenden Stäube zuverlässig nach außen transportiert, weil im Nachchargierraum eine gleiche Schutzgasströmung wie im Ziehraum vorliegt.By This configuration has the Nachchargierraum only below the liquid level the fusion pool to the central drawing room towards a connection. Thereby can when recharging, fine and still cold particles not immediately above the separating pipe get into the drawing room and there to a Lead contamination of the crystal block. Rather, the removal from impurities through a via the molten pool in the central Ziehraum stroking protective gas flow. The molten bath has the function a siphon, thereby preventing over the only existing ones Connections between the recharging room and the drawing room such Particles transgress can. Furthermore, by the design according to the invention in the Nachchargierraum Released substances and dust occurring there reliably transported to the outside, because in Nachchargierraum an equal protective gas flow as present in the drawing room.

Das Trennrohr darf den Tiegel nicht berühren, weil dieser rotieren können muss. Einen Übertritt der Schmelze vom Nachchargierraum in den Ziehraum erzielt man auf einfach Weise, wenn gemäß einer vorteilhaften Weiterbildung der Erfindung das Trennrohr mit für den Durchlass der Schmelze ausreichendem Abstand vom Boden des Tiegels endet.The The separator tube must not touch the crucible because it is rotating can got to. A transfer of Melt from Nachchargierraum in the drawing room can be achieved on easy Way, if according to one advantageous development of the invention, the separation pipe with for the passage the melt ends a sufficient distance from the bottom of the crucible.

Konstruktiv besonders einfach ist es, wenn der Abdeckring von einem zwischen dem Behälter und einem dem Tiegel seitlich umgebenden Heizer angeordneten Schutzrohr gehalten ist. Ein solches Schutzrohr, welches ohnehin vorteilhaft ist, um den Behälter vor zu hohen Temperaturen zu schützen, vermag dadurch zusätzlich zu dieser Schutzfunktion die Funktion des Haltens des Abdeckringes auszuüben.It is structurally particularly simple if the cover ring is held by a protective tube arranged between the container and a heater laterally surrounding the crucible. Such a protective tube, which is in any case advantageous to the To protect containers from excessively high temperatures, in addition to this protective function, can thus perform the function of holding the cover ring.

Das Schutzgas vermag zugleich den Behälter zu kühlen, wenn die Schutzgas-Strömungsverbindung von dem Freiraum zwischen dem Behälter und dem Schutzrohr nach unten und von dort nach außen führt.The Shielding gas at the same time can cool the container when the protective gas flow connection from the space between the container and the protective tube down and out there.

Zum weiteren Schutz des Behälters vor zu hohen Temperaturen trägt es bei, wenn die zweite Schutzgas-Strömungsverbindung zwischen der Außenseite des seitlichen Heizers und dem Schutzrohr führt und unterhalb des Heizers im Schutzrohr Durchlässe angeordnet sind, über welche die zweite Schutzgas-Strömungsverbindung in die erste Schutzgas-Strömungsverbindung mündet. Die Erfindung lässt verschiedene Ausführungsformen zu. Zur weiteren Verdeutlichung ihres Grundprinzips sind zwei davon in der Zeichnung dargestellt und werden nachfolgend beschrieben. Die Zeichnung zeigt inTo the further protection of the container carries too high temperatures when the second shielding gas flow connection between the outside the side heater and the protective tube leads and below the heater in the protective tube passages are arranged over which the second shielding gas flow connection in the first shielding gas flow connection empties. The invention leaves different embodiments to. To further clarify their basic principle are two of them shown in the drawing and are described below. The drawing shows in

1 einen senkrechten Schnitt durch eine Kristall-Ziehanlage nach der Erfindung, 1 a vertical section through a crystal pulling system according to the invention,

2 einen im Maßstab gegenüber 1 vergrößerten, senkrechten Schnitt durch einen Teilbereich einer zweiten Ausführungsform einer Kristall-Ziehanlage. 2 one on a scale opposite 1 enlarged, vertical section through a portion of a second embodiment of a crystal pulling system.

Die 1 zeigt einen Behälter 1, dessen Wand 2 doppelwandig ausgeführt ist, so dass in ihr Kühlkanäle 3 für ein Kühlmedium, üblicherweise Wasser, vorhanden sind. In dem Behälter 1 ist ein Tiegel 4 angeordnet, welcher von einem elektrischen Heizer 5 umgeben ist. Dieser Heizer 5 ist außenseitig mit geringem Abstand von einem inneren Schutzrohr 6 und einem äußeren Schutzrohr 7 umschlossen. Hierdurch entsteht zwischen den Schutzrohren 6, 7 ein Ringraum 8.The 1 shows a container 1 whose wall 2 double-walled, so that in it cooling channels 3 for a cooling medium, usually water, are present. In the container 1 is a crucible 4 arranged, which of an electric heater 5 is surrounded. This heater 5 is on the outside with a small distance from an inner protective tube 6 and an outer protective tube 7 enclosed. This results between the protective tubes 6 . 7 an annulus 8th ,

Das innere Schutzrohr 6 trägt mit seinem oberen Ende einen Abdeckring 9, welcher mit Abstand über den Tiegel 4 greift und an seinem inneren Rand ein Trennrohr 10 trägt, welches von oben her in den Tiegel 4 ragt und kurz vor dem Boden des Tiegels 4 endet. Durch dieses Trennrohr 10 wird das Innere des Tiegels 4 in einen zentralen Ziehraum 11 und einen ringförmigen Nachchargierraum 12 unterteilt.The inner protective tube 6 carries with its upper end a cover ring 9 , which at a distance above the crucible 4 grips and at its inner edge a separating tube 10 carries, which from above into the crucible 4 protrudes and just before the bottom of the crucible 4 ends. Through this separation pipe 10 becomes the inside of the crucible 4 in a central drawing room 11 and an annular recharging compartment 12 divided.

Aus dem Ziehraum 11 wird ein teilweise dargestellter Kristallblock 13 entsprechend der Kristallisierungsgeschwindigkeit gezogen. Eine Tiegelabdeckung 14 verläuft unter Bildung eines Freiraumes 15 oberhalb des Abdeckringes 9 und reicht bis unmittelbar vor den Kristallblock 13. In einem Raum 16 oberhalb dieser Tiegelabdeckung 14 sind Schutzgaseinlässe 17, 18 vorgesehen, aus denen Schutzgas in diesen Raum 16 strömt. Von dort gelangt es in einem ersten Schutzgasstrom 19 zwischen dem Kristallblock 13 und der Tiegelabdeckung 14 in den Ziehraum 11 oberhalb des Flüssigkeitsspiegels des Schmelzbades, dann entlang dem Trennrohr 10 nach oben in den Freiraum 15 und durch den Ringraum 8 nach unten zu einem Schutzgasauslass 20.From the drawing room 11 becomes a partially represented crystal block 13 pulled according to the crystallization rate. A crucible cover 14 runs under formation of a free space 15 above the cover ring 9 and reaches right up to the crystal block 13 , In a room 16 above this crucible cover 14 are inert gas inlets 17 . 18 provided, from which inert gas in this room 16 flows. From there it enters a first protective gas flow 19 between the crystal block 13 and the crucible cover 14 in the drawing room 11 above the liquid level of the molten bath, then along the separator tube 10 up into the open space 15 and through the annulus 8th down to a protective gas outlet 20 ,

Mehrere Schutzgasdurchlässe 21 führen durch die Tiegelabdeckung 14, durch den Freiraum 15 und durch den Abdeckring 9 in den Nachchargierraum 12 bis oberhalb des Flüssigkeitsspiegels des Schmelzbades. Dieses Schutzgas strömt als ein zweiter Schutzgasstrom 22 aus dem Nachchargierraum 12 nach oben aus dem Tiegel 4 heraus, zwischen dem Abdeckring 9 und der Oberkante des Tiegels 4 nach außen und dann zwischen dem Heizer 5 und der Innenseite des inneren Schutzrohres 6 nach unten. Durchlässe 23 im inneren Schutzrohr 6 nahe seiner Unterkante ermöglichen es dem zweiten Schutzgasstrom 22, sich mit dem ersten Schutzgasstrom 19 vor dem Schutzgasauslass 20 zu vereinen.Several inert gas outlets 21 lead through the crucible cover 14 through the open space 15 and through the cover ring 9 in the recharging room 12 to above the liquid level of the molten bath. This protective gas flows as a second protective gas stream 22 from the recharging room 12 upwards out of the crucible 4 out, between the cover ring 9 and the top of the crucible 4 to the outside and then between the heater 5 and the inside of the inner protective tube 6 downward. passages 23 in the inner protective tube 6 near its lower edge allow the second inert gas flow 22 , with the first protective gas flow 19 in front of the protective gas outlet 20 to unite.

Bei der Ausführungsform nach 1 ist eine thermische Isolation 24 zwischen der Wand des Behälters 1 und dem äußeren Schutzrohr 7 vorgesehen. Das innere Schutzrohr 6 ist bei dieser Ausführungsform ohne eine Isolation ausgebildet.In the embodiment according to 1 is a thermal insulation 24 between the wall of the container 1 and the outer protective tube 7 intended. The inner protective tube 6 is formed without insulation in this embodiment.

Die Zufuhr des den Kristallblock 13 bildenden Materials erfolgt über eine Granulatzuführung 25, welche die Tiegelabdeckung 14 und den Abdeckring 9 durchdringt und im Nachchargierraum 12 unmittelbar oberhalb des Flüssigkeitsspiegels endet.The supply of the crystal block 13 forming material via a granule feed 25 which the crucible cover 14 and the cover ring 9 penetrates and in the Nachchargierraum 12 ends immediately above the liquid level.

Die Ausführungsform nach der 2 unterscheidet sich von der zuvor beschriebenen im wesentlichen dadurch, dass das innere Schutzrohr 6 zur Seite des Tiegels 4 hin mit einer Isolation 26 versehen ist, während es außenseitig aus einem Quarzrohr 27 besteht. Genau wie bei der zuvor erläuterten Ausführungsform führt der erste Schutzgasstrom 19 vom Freiraum 15 außenseitig entlang dem inneren Schutzrohr 6 nach unten, während der zweite Schutzgasstrom 22 zwischen dem Heizer 5 und der Innenseite des inneren Schutzrohres 6 nach unten geleitet ist und sich über die Durchlässe 23 wieder mit dem ersten Schutzgasstrom 19 vereinigt.The embodiment of the 2 differs from the previously described essentially in that the inner protective tube 6 to the side of the crucible 4 out with an isolation 26 is provided while it is outside of a quartz tube 27 consists. Just as in the previously explained embodiment, the first protective gas flow 19 from the open space 15 on the outside along the inner protective tube 6 down, while the second inert gas flow 22 between the heater 5 and the inside of the inner protective tube 6 is directed down and over the passages 23 again with the first protective gas flow 19 united.

11

Behältercontainer

22

Wandwall

33

Kühlkanalcooling channel

44

Tiegelcrucible

55

Heizerstoker

66

inneres Schutzrohrinner thermowell

77

äußeres Schutzrohrouter protective tube

88th

Ringraumannulus

99

Abdeckringcover ring

1010

Trennrohrseparation tube

1111

Ziehraumdrawing room

1212

NachchargierraumNachchargierraum

1313

Kristallblockcrystal block

1414

TiegelabdeckungA crucible cover

1515

Freiraumfree space

1616

Raumroom

1717

SchutzgaseinlassInert gas inlet

1818

SchutzgaseinlassInert gas inlet

1919

erster Schutzgasstromfirst Protective gas flow

2020

SchutzgasauslassSchutzgasauslass

2121

SchutzgasdurchlassProtective gas passage

2222

zweiter Schutzgasstromsecond Protective gas flow

2323

Durchlässepassages

2424

Isolierunginsulation

2525

Granulatzuführunggranulate feed

2626

Isolationisolation

2727

Quarzrohrquartz tube

Claims (5)

Kontinuierlich arbeitende Kristall-Ziehanlage zur Erzeugung eines Kristallblockes, welche in einem Behälter einen Tiegel aus Quarz für den Kristallblock bildendes, schmelzbares Material hat, bei der der Tiegel durch ein Trennrohr in einen zentralen Ziehraum und einen ringförmigen Nachchargierraum unterteilt ist, in welchen eine Granulatzuführung mündet und der innerhalb des Schmelzbades eine Verbindung zu dem Ziehraum hat, und bei der Mittel zum Führen eines Schutzgasstromes über das Schmelzbad nach außen vorgesehen sind, wobei das Trennrohr (10) an seiner oberen Seite von einem den Nachchargierraum (12) abdeckenden und von dem Behälter (1) getragenen Abdeckring (9) gehalten ist, dadurch gekennzeichnet, dass der Abdeckring (9) unter Bildung eines Freiraumes (15) mit Abstand unterhalb einer bis über den Ziehraum (11) und an den Kristallblock (13) heranreichenden Tiegelabdeckung (14) angeordnet ist und eine Schutzgas-Strömungsverbindung (1. Schutzgasstrom 19) von einem Raum (16) oberhalb der Tiegelabdeckung (14) über die Oberfläche des Schmelzbades im Ziehraum (11) und durch den Freiraum (15) hindurch nach außen besteht, und dass der Abdeckring (9) mit Abstand zur Oberkante des Tiegels (4) angeordnet ist, wobei durch die Tiegelabdeckung (14) und den Abdeckring (9) Schutzgasdurchlässe (21) geführt sind und eine zweite Schutzgas-Strömungsverbindung (Schutzgasstrom 22) vom Nachchargierraum (12) nach außen besteht.A continuous crystal pulling apparatus for producing a crystal block having in a container a crucible of quartz for the crystal block forming, fusible material, wherein the crucible is divided by a separating tube in a central drawing room and an annular Nachchargierraum into which a Granulatzuführung and which has a connection to the drawing room within the molten bath and in which means are provided for guiding a flow of protective gas outwards through the molten bath, the separating pipe ( 10 ) at its upper side by a Nachchargierraum ( 12 ) and from the container ( 1 ) worn cover ring ( 9 ), characterized in that the cover ring ( 9 ) forming a free space ( 15 ) at a distance below one to above the drawing room ( 11 ) and the crystal block ( 13 ) sufficient crucible cover ( 14 ) is arranged and a protective gas flow connection (1st inert gas flow 19 ) of a room ( 16 ) above the crucible cover ( 14 ) over the surface of the molten bath in the drawing room ( 11 ) and through the open space ( 15 ) through outwards, and that the cover ring ( 9 ) at a distance from the top edge of the crucible ( 4 ) is arranged, by the crucible cover ( 14 ) and the cover ring ( 9 ) Inert gas passages ( 21 ) are guided and a second inert gas flow connection (inert gas flow 22 ) from the Nachchargierraum ( 12 ) to the outside. Kristall-Ziehanlage nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass das Trennrohr (10) mit für den Durchlass der Schmelze ausreichendem Abstand vom Boden des Tiegels (4) endet.Crystal pulling system according to claim 1, characterized in that the separating tube ( 10 ) with sufficient for the passage of the melt distance from the bottom of the crucible ( 4 ) ends. Kristall-Ziehanlage nach den Ansprüchen 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass der Abdeckring (9) von einem zwischen dem Behälter (1) und einem dem Tiegel (4) seitlich umgebenden Heizer (5) angeordneten inneren Schutzrohr (6) gehalten ist.Crystal pulling system according to claims 1 or 2, characterized in that the cover ring ( 9 ) of one between the container ( 1 ) and a crucible ( 4 ) laterally surrounding heater ( 5 ) arranged inner protective tube ( 6 ) is held. Kristall-Ziehanlage nach zumindest einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Schutzgas-Strömungsverbindung von dem Freiraum (15) zwischen dem Behälter (1) und dem inneren Schutzrohr (6) nach unten und von dort nach außen führt.Crystal pulling system according to at least one of the preceding claims, characterized in that the protective gas flow connection from the free space ( 15 ) between the container ( 1 ) and the inner protective tube ( 6 ) down and out to the outside. Kristall-Ziehanlage nach zumindest einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die zweite Schutzgas-Strömungsverbindung (zweiter Schutzgasstrom 22) zwischen der Außenseite des seitlichen Heizers (5) und dem Schutzrohr (6) führt und unterhalb des Heizers (5) im inneren Schutzrohr (6) Durchlässe (23) angeordnet sind, über welche die zweite Schutzgas-Strömungsverbindung in die erste Schutzgas-Strömungsverbindung mündet.Crystal pulling system according to at least one of the preceding claims, characterized in that the second protective gas flow connection (second protective gas flow 22 ) between the outside of the side heater ( 5 ) and the protective tube ( 6 ) and below the heater ( 5 ) in the inner protective tube ( 6 ) Passages ( 23 ), via which the second protective gas flow connection opens into the first protective gas flow connection.