DE19708658A1 - Verfahren und Vorrichtung zur Manipulation von Partikeln sowie Verwendung eines derartigen Verfahrens bzw. einer derartigen Vorrichtung - Google Patents
Verfahren und Vorrichtung zur Manipulation von Partikeln sowie Verwendung eines derartigen Verfahrens bzw. einer derartigen VorrichtungInfo
- Publication number
- DE19708658A1 DE19708658A1 DE19708658A DE19708658A DE19708658A1 DE 19708658 A1 DE19708658 A1 DE 19708658A1 DE 19708658 A DE19708658 A DE 19708658A DE 19708658 A DE19708658 A DE 19708658A DE 19708658 A1 DE19708658 A1 DE 19708658A1
- Authority
- DE
- Germany
- Prior art keywords
- particle
- particles
- energy
- adsorbate
- molecules
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 239000002245 particle Substances 0.000 title claims abstract description 116
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 13
- 239000002156 adsorbate Substances 0.000 claims abstract description 33
- 238000003795 desorption Methods 0.000 claims description 24
- 230000005484 gravity Effects 0.000 claims description 5
- 238000009825 accumulation Methods 0.000 claims 1
- 230000003116 impacting effect Effects 0.000 claims 1
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 abstract description 2
- 230000002153 concerted effect Effects 0.000 abstract 1
- 230000001960 triggered effect Effects 0.000 description 3
- 230000036540 impulse transmission Effects 0.000 description 2
- 238000001179 sorption measurement Methods 0.000 description 2
- IKOKHHBZFDFMJW-UHFFFAOYSA-N 2-[4-[2-(2,3-dihydro-1H-inden-2-ylamino)pyrimidin-5-yl]-3-(2-morpholin-4-ylethoxy)pyrazol-1-yl]-1-(2,4,6,7-tetrahydrotriazolo[4,5-c]pyridin-5-yl)ethanone Chemical compound C1C(CC2=CC=CC=C12)NC1=NC=C(C=N1)C=1C(=NN(C=1)CC(=O)N1CC2=C(CC1)NN=N2)OCCN1CCOCC1 IKOKHHBZFDFMJW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000001133 acceleration Effects 0.000 description 1
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 1
- 238000002474 experimental method Methods 0.000 description 1
- 238000010297 mechanical methods and process Methods 0.000 description 1
- 230000005226 mechanical processes and functions Effects 0.000 description 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05H—PLASMA TECHNIQUE; PRODUCTION OF ACCELERATED ELECTRICALLY-CHARGED PARTICLES OR OF NEUTRONS; PRODUCTION OR ACCELERATION OF NEUTRAL MOLECULAR OR ATOMIC BEAMS
- H05H3/00—Production or acceleration of neutral particle beams, e.g. molecular or atomic beams
- H05H3/04—Acceleration by electromagnetic wave pressure
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N15/00—Investigating characteristics of particles; Investigating permeability, pore-volume or surface-area of porous materials
- G01N15/10—Investigating individual particles
- G01N15/14—Optical investigation techniques, e.g. flow cytometry
- G01N15/149—Optical investigation techniques, e.g. flow cytometry specially adapted for sorting particles, e.g. by their size or optical properties
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Physical Or Chemical Processes And Apparatus (AREA)
- Lasers (AREA)
- Other Investigation Or Analysis Of Materials By Electrical Means (AREA)
- Sorting Of Articles (AREA)
Description
Die Erfindung betrifft ein Verfahren und eine Vorrichtung
zur Manipulation von Partikeln, insbesondere unter
reduzierter Schwerkraft und/oder in einer Umgebung mit
lediglich geringem Gasdruck, sowie die Verwendung eines
derartigen Verfahrens bzw. einer derartigen Vorrichtung.
Für eine Vielzahl von Experimenten mit Partikeln ist es
oftmals wünschenswert, diese gezielt manipulieren, ins
besondere gezielt bewegen zu können. Mechanische Verfahren
scheitern zum einen wegen der lediglich geringen Größe der
Partikel und zum anderen auch deshalb, weil die Verweil
dauer der Partikel in einem Beobachtungsvolumen nur gering
ist.
Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, ein Verfahren
und eine Vorrichtung zur Manipulation von Partikeln zu
schaffen, die es erlauben, die Partikel gezielt bewegen zu
können.
Zur Lösung dieser Aufgabe wird mit der Erfindung ein Ver
fahren zum Manipulieren eines Partikels, insbesondere
unter reduzierter Schwerkraft und/oder in einer Umgebung
mit lediglich geringem Gasdruck vorgeschlagen, bei dem
- - auf der Oberfläche des Partikels Adsorbat-Atome und/oder -Moleküle entstehen und
- - durch gezielte Einbringung von Energie innerhalb eines begrenzten Bereichs der Oberfläche des Partikels sich dort befindende Adsorbat-Atome und/oder -Moleküle desorbieren, wobei durch die Desorption ein auf das Partikel wirkender Gesamtimpuls zur Bewegung des Partikels entsteht.
Ein derartiges Verfahren läßt sich insbesondere unter
Zurhilfenahme einer Vorrichtung realisieren, die
erfindungsgemäß versehen ist mit
- - einer Kammer zur Aufnahme des Partikels, wobei in die Kammer ein Gas einleitbar ist, das unter Entstehung von Adsorbat-Atomen und/oder -Molekülen auf der Ober fläche des Partikels adsorbiert, und
- - einer Energie-Erzeugungsvorrichtung zur Erzeugung eines auf einen lokal begrenzten Bereich der Oberfläche des Partikels richtbaren Teilchenstrahls, dessen Teilchen eine zur Desorption mindestens einiger der sich in diesem Bereich der Partikeloberfläche befindenden Adsorbat-Atome und/oder -Moleküle aus reichende Energie aufweisen, wobei ein auf das Partikel wirkender Gesamtimpuls zur Bewegung des Partikels entsteht.
Der Grundgedanke der Erfindung besteht darin, die Hand
habung von Partikeln durch Impulsübertragung nach dem
Rückstoßprinzip durchzuführen. Erfindungsgemäß erfolgt die
Impulsübertragung auf das Partikel durch induzierte
Desorption von an der Partikeloberfläche adsorbierten
Atomen oder Molekülen. Die Desorption dieses Adsorbats
wird erfindungsgemäß durch gezieltes Einbringen von
Energie auf die Partikeloberfläche ausgelöst. Damit die
Desorption des Adsorbats zu einer Bewegung des Partikels
führt, muß der auf das Partikel wirkende Gesamtimpuls zu
einer Bewegung des Partikels in der gewünschten Richtung
führen. Dies läßt sich erfindungsgemäß dadurch erreichen,
daß die Desorption des Adsorbats nur in einem Teilbereich
der Partikeloberfläche ausgelöst wird. Dieser Teilbereich
der Oberfläche ist der gewünschten Bewegungsrichtung des
Partikels abgewandt. Durch entsprechende Ausrichtung der
auf die Oberfläche des Partikels auftreffenden Energie
kann somit dem Partikel eine Bewegung in einer gewünschten
Richtung verliehen werden. Auf diese Weise lassen sich
einzelne Partikel gezielt ansprechen.
Durch die induzierte Desorption verursachte Verluste an
Adsorbat-Atomen bzw. -Molekülen können durch Adsorption
aus einer das Partikel umgebenden Gasphase ausgeglichen
werden. Induzierte Desorption und somit Impuls
übertragungen können somit mehrfach hintereinander aus
geführt werden (isotrope Adsorption und anisotrope
Desorption).
In vorteilhafter Weiterbildung der Erfindung ist vor
gesehen, die (Desorptions-)Energie zur Induzierung der
Desorption von Adsorbat-Atomen und/oder -Molekülen durch
Auftreffen von Teilchen auf die Oberfläche des Partikels
einzubringen. Die Teilchen weisen eine für die Desorption
des Adsorbats ausreichende Energie auf. Insbesondere wird
die Energie durch einen Photonen-, Elektronen- oder Laser
strahl aufgebracht.
Die Desorptionseigenschaften und damit die Impuls
übertragung auf das Partikel sind abhängig von den Eigen
schaften des Adsorbat-Partikel-Systems und der die
induzierte Desorption auslösenden Energie. Dies kann aus
genutzt werden, um unterschiedliche Partikel zu sortieren
und zu selektieren. Durch geeignete Wahl der Adsorbate
und/oder der die Desorption aus lösenden Energien können
also Partikel nach ihrer Masse, ihrer Größe und/oder ihrer
Oberflächeneigenschaften unterschiedlich manipuliert und
somit prinzipiell auch selektiert werden.
Mit der Erfindung lassen sich also Partikel beispielsweise
gezielt positionieren, um sie z. B. zusammenzulagern.
Ferner können Partikel gezielt aus einem vorgegebenen
Bereich entfernt werden. Schließlich lassen sich unter
schiedliche Partikel aussortieren und selektieren. Die
Erfindung ist vorzugsweise geeignet zur Handhabung von
Partikeln unter reduzierter Schwerkraft und/oder in einer
Umgebung mit lediglich geringem Gasdruck (beispielsweise
10-6 mbar).
All die vorgenannten Verwendungsmöglichkeiten der
Erfindung basieren darauf, daß Adsorbat von der Oberfläche
eines Partikels gezielt abgelöst wird, und zwar durch eine
durch Einbringung von Energie induzierte Desorption. Die
Desorption von Adsorbat von einer Oberfläche durch Ein
bringen von Energie auf die Oberfläche ist an sich
bekannt. Bei der Erfindung jedoch wird die Desorption
gezielt in einem lokal begrenzten Bereich der Oberfläche
ausgelöst, so daß es zu einem Gesamt- bzw. Nettoimpuls
kommt, der ungleich 0 ist und dem Partikel eine
Beschleunigung und Bewegung in einer gewünschten Richtung
verleiht.
Sofern im Rahmen dieser Erfindung davon die Rede ist, daß
die Partikel durch Impulsübertragung gezielt bewegt
werden, so ist damit der Gesamtimpuls gemeint, der sich
aus den beim Desorbieren des Adsorbats entstehenden
Einzelimpulsen zusammensetzt. Selbstverständlich wird den
Partikeln beim Auftreffen der energiegeladenen Teilchen
zur Einbringung von Energie ebenfalls ein Impuls ver
liehen. Die Größe dieses Impulses soll aber im Vergleich
zu dem sich aus dem Ablösen des Adsorbats ergebenden
Gesamtimpuls verschwindend sein, so daß erfindungsgemäß
die Manipulation der Partikel nahezu ausschließlich durch
die gezielte, örtlich begrenzte, induzierte Desorption
erfolgt.
Nachfolgend werden anhand der Figuren die Grundlagen der
Erfindung nochmals verdeutlicht und als ein Beispiel für
eine Anwendung der Erfindung eine Sortiervorrichtung
erläutert. Im einzelnen zeigen:
Fig. 1 eine zeichnerische Darstellung des der
Erfindung zugrundeliegenden Prinzips der
Impulsübertragung auf ein Partikel durch
gezielte induzierte Desorption von Adsorbat
auf der Oberfläche des Partikels und
Fig. 2 schematisch eine Sortiervorrichtung zum
Sortieren eines Stroms von Partikeln zweier
unterschiedlicher Arten.
Fig. 1 zeigt ein Partikel 10, das sich in einer Gas
atmosphäre geringen Drucks innerhalb einer Kammer 11
befindet. Die Gasmoleküle 12 adsorbieren auf der Ober
fläche 14 des Partikels 10 und bilden dort Adsorbat-Atome
bzw. -Moleküle 16 (nachfolgend Adsorbat genannt). Mittels
eines Photonen- oder Teilchen-Strahls 17 wird Energie in
einen lokal begrenzten Bereich 18 der Partikel
oberfläche 14 eingebracht. Aufgrund des Energieeintrags
löst sich das Adsorbat 16 in diesem Partikeloberflächen
bereich 18 ab; die desorbierten Adsorbat-Atome bzw.
-Moleküle sind in Fig. 1 mit 20 bezeichnet. Durch das
Ablösen des Adsorbats 16 aus dem Bereich 18 der Partikel
oberfläche 14 kommt es in Folge des Rückstoßes zu einer
Vielzahl von auf das Partikel 10 wirkenden Impulsen, die
zu einem Gesamtimpuls führen. Aufgrund dieses Gesamtimpuls
bewegt sich das Partikel 10 in Richtung des Pfeils 22.
Damit es also zu einer Bewegung des Partikels in Richtung
des Pfeils 22 kommt, wird in demjenigen Bereich 18 der
Partikeloberfläche 14, der der Bewegungsrichtung 22
abgewandt ist, gezielt Energie (und zwar durch den von der
Energieerzeugungsvorrichtung 24 ausgesandten Photonen-
oder Teilchen-Strahls 17) eingebracht, die zu einer
induzierten Desorption des Oberflächenadsorbats 16 führt.
Das anhand von Fig. 1 erläuterte Prinzip kann beispiels
weise eingesetzt werden, um einen aus zwei unterschied
lichen Arten von Partikeln bestehenden Partikelstrom in
zwei Teilströme jeweils gleichartiger Partikel zu unter
teilen. Die hierfür verwendete und in Fig. 2 schematisch
gezeigte Sortiervorrichtung 30 weist ein Gehäuse 32 auf,
in dem sich eine Kammer 34 befindet. In die Kammer 34
führt ein Einlaßkanal 35 hinein. Ferner gehen von der
Kammer 34 zwei Auslaßkanäle 36, 38 ab. Der zu sortierende
Partikelstrom 40 gelangt über den Einlaßkanal 35 in die
Kammer 34 hinein. Der Partikelstrom 40 weist zwei unter
schiedliche Arten 42, 44 von Partikeln auf. Sämtliche
Partikel 42, 44 durchlaufen einen Photonen- oder
Teilchenstrahl 46, dessen Teilchen auf die der Photonen-
oder Teilchenstrahl-Erzeugungsvorrichtung 48 zugewandten
Bereiche der Partikeloberflächen auftreffen. Der Strahl 46
trifft in einem Winkel ungleich Null Grad (im gezeigten
Fall etwa 90°) zur Strömungsrichtung des Partikelstroms 40
auf die Partikel 42, 44 auf.
Die Unterteilung des Partikelstroms 40 in die beiden
Teilströme 50, 52, die ausschließlich Partikel 42 bzw. 44
aufweisen, erfolgt beispielsweise dadurch, daß die Energie
der Teilchen des Strahls 46 ausreichend ist, um Adsorbat,
welches sich auf der Oberfläche der Partikel 42 befindet,
gezielt zu desorbieren. Demgegenüber ist die Energie der
Teilchen des Strahls 46 zu gering, um das Oberflächen
adsorbat der Partikel 44 abzulösen. Als Folge davon
wiederum erfahren lediglich die Partikel 42 eine
Ablenkung, da lediglich bei diesen Partikeln 42 Adsorbat
desorbiert und es damit zu die Partikel 42 auslenkenden
Impulsen kommt. Die Partikel 42 strömen über den ersten
Auslaßkanal 36 ab, während die Partikel 44 über den
zweiten Auslaßkanal 38 abströmen. Damit ist es zu einer
Aufteilung des Partikelstroms 40 in die beiden Teil
ströme 50, 52 gekommen.
Claims (7)
1. Verfahren zum Manipulieren eines Partikels, ins
besondere unter reduzierter Schwerkraft und/oder in
einer Umgebung mit geringem Gasdruck, bei dem
- - auf der Oberfläche (14) des Partikels (10) Adsorbat-Atome und/oder -Moleküle (16) entstehen und
- - durch gezielte Einbringung von Energie innerhalb eines begrenzten Bereichs (18) der Oberfläche (14) des Partikels (10) sich dort befindende Adsorbat- Atome und/oder -Moleküle (16) desorbieren, wobei durch die Desorption ein auf das Partikel (10) wirkender Gesamtimpuls zur Bewegung des Partikels (10) entsteht.
2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß
die Einbringung der Energie durch Auftreffen von
Teilchen mit einer für die Desorption der Adsorbat-
Atome und/oder -Moleküle (16) geeigneten Energie
erfolgt.
3. Verfahren nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekenn
zeichnet, daß die Energie durch einen Photonen-,
Elektronen- oder Laserstrahl (17) aufgebracht wird.
4. Vorrichtung zum Manipulieren eines Partikels, ins
besondere unter reduzierter Schwerkraft und/oder in
einer Umgebung mit geringem Gasdruck, mit
- - einer Kammer (11; 34) zur Aufnahme des Partikels (10; 42; 44), wobei in die Kammer (11; 34) ein Gas (12) einleitbar ist, das unter Entstehung von Adsorbat-Atomen und/oder -Molekülen (16) auf der Oberfläche (14) des Partikels (10; 42; 44) adsorbiert, und
- - einer Energie-Erzeugungsvorrichtung (24; 48) zur Erzeugung eines auf einen lokal begrenzten Bereich (18) der Oberfläche (14) des Partikels (10; 42; 44) richtbaren Teilchen strahls (17, 46), dessen Teilchen eine zur Desorption mindestens einiger der sich in diesem Bereich (18) der Partikeloberfläche (14) befinden den Adsorbat-Atome und/oder -Moleküle (16) aus reichende Energie aufweisen, wobei ein auf das Partikel (10; 42; 44) wirkender Gesamtimpuls zur Bewegung des Partikels (10; 42; 44) entsteht.
5. Vorrichtung nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet,
daß die Energie-Erzeugungsvorrichtung (24; 48) einen
Photonen-, einen Elektronen- oder einen Laser
strahl (17; 46) erzeugt.
6. Verwendung des Verfahrens nach einem der Ansprüche 1
bis 3 oder der Vorrichtung nach Anspruch 4 oder 5 zum
gezielten Positionieren von Partikeln (10; 42; 44)
zwecks Ansammlung derselben, indem die Energie
einbringung auf ausgewählte der Partikel (10; 42; 44)
erfolgt.
7. Verwendung des Verfahrens nach einem der Ansprüche 1
bis 3 oder der Vorrichtung nach Anspruch 4 oder 5 zum
Sortieren und/oder Selektieren von bezüglich ihrer
Masse, ihrer Größe und/oder ihrer Oberflächen
eigenschaften unterschiedlichen Partikeln (10; 42; 44),
wobei die Partikel (10; 42; 44) in einem Partikel
strom (40) strömen und die Energieeinbringung in einer
zur Richtung des Partikelstrahls (40) winklig ver
laufenden Richtung erfolgt.
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE19708658A DE19708658B4 (de) | 1997-03-04 | 1997-03-04 | Verfahren zum Sortieren und/oder Selektieren von bezüglich ihrer Masse, Größe und/oder Oberflächenbeschaffenheiten unterschiedlichen Partikeln |
PCT/EP1998/000948 WO1998039567A1 (de) | 1997-03-04 | 1998-02-19 | Verfahren und vorrichtung zum bewegen von partikeln sowie verwendung eines derartigen verfahrens bzw. einer derartigen vorrichtung |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE19708658A DE19708658B4 (de) | 1997-03-04 | 1997-03-04 | Verfahren zum Sortieren und/oder Selektieren von bezüglich ihrer Masse, Größe und/oder Oberflächenbeschaffenheiten unterschiedlichen Partikeln |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE19708658A1 true DE19708658A1 (de) | 1998-09-10 |
DE19708658B4 DE19708658B4 (de) | 2004-08-05 |
Family
ID=7822122
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE19708658A Expired - Fee Related DE19708658B4 (de) | 1997-03-04 | 1997-03-04 | Verfahren zum Sortieren und/oder Selektieren von bezüglich ihrer Masse, Größe und/oder Oberflächenbeschaffenheiten unterschiedlichen Partikeln |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
DE (1) | DE19708658B4 (de) |
WO (1) | WO1998039567A1 (de) |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE3224801C2 (de) * | 1982-07-02 | 1986-04-30 | Edward William Prof. Dr. 8000 München Schlag | Verfahren und Einrichtung zum Erzeugen von gepulsten Molekularstrahlen, die große, thermisch instabile Moleküle enthalten |
DE4017805A1 (de) * | 1989-08-22 | 1991-03-07 | Finnigan Mat Gmbh | Verfahren, praeparat und vorrichtung zur bereitstellung eines analytes fuer eine untersuchung |
DE4017804C2 (de) * | 1989-08-22 | 1994-11-24 | Finnigan Mat Gmbh | Verfahren und Verwendung einer Vorrichtung zur matrix-unterstützten Laserdesorption von Analytmolekülen, insbesondere Biomolekülen |
DE19529717A1 (de) * | 1995-08-11 | 1997-02-13 | Finnigan Mat Gmbh | Verfahren und Vorrichtung zur Präparation einer anorganischen oder organischen Probe für die Isotopenverhältnisanalyse |
Family Cites Families (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE1282199B (de) * | 1966-07-28 | 1968-11-07 | Bbc Brown Boveri & Cie | Verfahren zum Beschleunigen von Materie |
DE3728011A1 (de) * | 1987-08-22 | 1989-03-02 | Deutsche Forsch Luft Raumfahrt | Ionentriebwerk |
DE3728115C1 (en) * | 1987-08-22 | 1988-10-27 | Erno Raumfahrttechnik Gmbh | Device and method for the vibration-free fixing or movement of material under conditions of micro-gravity |
DE69321748T2 (de) * | 1992-02-20 | 1999-06-17 | Canon K.K., Tokio/Tokyo | Verfahren und Messapparatur zur Handhabung von Teilchen |
DE69413470T2 (de) * | 1993-07-08 | 1999-03-04 | Canon K.K., Tokio/Tokyo | Verfahren und Vorrichtung zum Trennen von Teilchen |
US5542247A (en) * | 1994-06-24 | 1996-08-06 | Lockheed Corporation | Apparatus powered using laser supplied energy |
-
1997
- 1997-03-04 DE DE19708658A patent/DE19708658B4/de not_active Expired - Fee Related
-
1998
- 1998-02-19 WO PCT/EP1998/000948 patent/WO1998039567A1/de active Application Filing
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE3224801C2 (de) * | 1982-07-02 | 1986-04-30 | Edward William Prof. Dr. 8000 München Schlag | Verfahren und Einrichtung zum Erzeugen von gepulsten Molekularstrahlen, die große, thermisch instabile Moleküle enthalten |
DE4017805A1 (de) * | 1989-08-22 | 1991-03-07 | Finnigan Mat Gmbh | Verfahren, praeparat und vorrichtung zur bereitstellung eines analytes fuer eine untersuchung |
DE4017804C2 (de) * | 1989-08-22 | 1994-11-24 | Finnigan Mat Gmbh | Verfahren und Verwendung einer Vorrichtung zur matrix-unterstützten Laserdesorption von Analytmolekülen, insbesondere Biomolekülen |
DE19529717A1 (de) * | 1995-08-11 | 1997-02-13 | Finnigan Mat Gmbh | Verfahren und Vorrichtung zur Präparation einer anorganischen oder organischen Probe für die Isotopenverhältnisanalyse |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
WO1998039567A1 (de) | 1998-09-11 |
DE19708658B4 (de) | 2004-08-05 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
DE3750928T2 (de) | Laufzeit-Massenspektrometrie. | |
DE602005000352T2 (de) | Methode zur Entnahme einer mikroskopischen Probe von einem Substrat | |
DE19822672B4 (de) | Verfahren und Vorrichtung zur Erzeugung eines gerichteten Gasstrahls | |
DE102010052134A1 (de) | Verfahren zur chemischen Analyse und Vorrichtung zur chemischen Analyse | |
DE1187749B (de) | Teilchenbeschleuniger nach Art eines Synchrotrons | |
DE102011002583A1 (de) | Teilchenstrahlgerät und Verfahren zur Bearbeitung und/oder Analyse einer Probe | |
DE102012008259A1 (de) | Ionenerzeugung in Massenspektrometern durch Clusterbeschuss | |
DE2243730A1 (de) | Verfahren und vorrichtung zum trennen von gas- oder dampffoermigen stoffen, insbesondere isotopen | |
EP0098919A2 (de) | Verfahren zum Herstellen von aus Trennkörpern mit Abschlussplatten bestehenden Trenndüsenelementen zur Trennung gas- oder dampfförmiger Gemische | |
DE19708658A1 (de) | Verfahren und Vorrichtung zur Manipulation von Partikeln sowie Verwendung eines derartigen Verfahrens bzw. einer derartigen Vorrichtung | |
DE61906T1 (de) | Verfahren und vorrichtung zur bearbeitung eines werkstueckes mit energiereichen teilchen und ein auf diese weise bearbeitetes produkt. | |
DE10125907A1 (de) | Separation von chiralen Substanzen in einem Ionenmobilitätsspektrometer durch Zuführung selektiv wechselwirkender Kollisionsgase | |
DE2233741C3 (de) | Verfahren zum Trennen eines Molekularstrahls | |
DE2533827A1 (de) | Vorrichtung zum abscheiden von fluessigkeitstropfen und/oder feststoffpartikeln aus einem gasstrom | |
DE2650925C3 (de) | Magnetscheider mit Einrichtungen zum Abreinigen der Matrizen | |
DE1427677B2 (de) | Vorrichtung zum elektrostatischen Farbspritzen | |
DE20214063U1 (de) | C02-Kaltgasdüse | |
Hänel | Bemerkungen zur theorie der düsen-impaktoren | |
DE2019926A1 (de) | Ionenquelle und Verfahren zum schnellen Ausstossen von lonen aus einer Ionenkammer | |
DE1273709B (de) | Verfahren und Vorrichtung zum Erzeugen raeumlich scharf begrenzter Materiestrahlen | |
DE19637710A1 (de) | Verfahren und Vorrichtung zur Trennung eines Atoms in seine Elementarteile und zur Formierung eines Atoms | |
EP0300402A2 (de) | Verfahren zur Erzeugung extrem kleiner Partikel und Anwendung des Verfahrens | |
DE19518185A1 (de) | Vorrichtung und Verfahren zur Strukturierung, insbessondere zur Mikrostrukturierung eines Werkstückes | |
Ali-Khan et al. | Process and device for separating hydrogen from a gas mixture by diffusion | |
DE1269016B (de) | Anzeigeeinrichtung zur laufenden Sichtbarmachung von Bildinformationen |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
OP8 | Request for examination as to paragraph 44 patent law | ||
8127 | New person/name/address of the applicant |
Owner name: DEUTSCHES ZENTRUM FUER LUFT-UND RAUMFAHRT E.V., 51 |
|
8327 | Change in the person/name/address of the patent owner |
Owner name: DEUTSCHES ZENTRUM FUER LUFT- UND RAUMFAHRT E.V. |
|
8364 | No opposition during term of opposition | ||
8327 | Change in the person/name/address of the patent owner |
Owner name: DEUTSCHES ZENTRUM FUER LUFT- UND RAUMFAHRT E.V. |
|
8320 | Willingness to grant licences declared (paragraph 23) | ||
R119 | Application deemed withdrawn, or ip right lapsed, due to non-payment of renewal fee |