DE19703662A1 - Sauerstoffkonzentrations-Meßvorrichtung und Verfahren zu deren Herstellung - Google Patents
Sauerstoffkonzentrations-Meßvorrichtung und Verfahren zu deren HerstellungInfo
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Description
Diese Erfindung betrifft eine Sauerstoffkonzentrations-Meß
vorrichtung, welche bei der Regelung der Verbrennung in
Verbrennungsmotoren eingesetzt werden kann, und ebenfalls
ein Verfahren zur Herstellung einer solchen wie oben er
wähnten Vorrichtung.
Für die Messung der Konzentration an Sauerstoff in
einem Abgas aus Verbrennungsmotoren von Automobilen wurden
in Gasmeßvorrichtungen oft feste ZrO₂-Elektrolyte verwen
det. Zum Beispiel sind Sauerstoffmeßvorrichtungen von
Sauerstoffkonzentrations-EMK-(elektromotorische Kraft)-Typ
gut bekannt und werden auch in großem Umfang verwendet.
Die Sauerstoffmeßvorrichtungen enthalten ein Sauer
stoffkonzentrations-Meßelement oder eine Sauerstoffkonzen
trations-Meßvorrichtung. Die Sauerstoffkonzentrations-Meß
vorrichtung schließt einen festen Elektrolytkörper ein,
welcher zum Beispiel aus einem Sauerstoffionen-leitenden
Metalloxid wie einem ZrO₂-Y₂O₃-Mischkristall hergestellt
ist. Eine äußere Elektrode ist an einer Außenoberfläche des
festen Elektrolytkörpers vorgesehen und wird einem zu mes
senden Gas ausgesetzt. Eine innere Elektrode ist an einer
Innenoberfläche des Körpers vorgesehen und wird einem
Referenzgas ausgesetzt. Im allgemeinen werden die äußere
und innere Elektrode beide aus einem Metall hergestellt,
welches als eine Art Katalysator dient, z. B. Pt.
Um die äußere Elektrode zu schützen, wird auf der äuße
ren Elektrode eine poröse Schutzschicht ausgebildet, welche
das zu messende Gas durchdringen kann. Solch eine Schutz
schicht wird zum Beispiel aus einem wärmebeständigen Me
talloxid hergestellt.
Um zu verhindern, daß sich nicht verbrannte Substanzen
in dem zu messenden Abgas auf der Außenelektrode abschei
den, und um die Gleichgewichtsreaktionen von in dem Abgas
enthaltenem Kohlenmonoxid und Kohlenwasserstoffen mit dem
restlichen Sauerstoff auf der Außenelektrode zu fördern,
sollte die Schutzschicht der Meßvorrichtung so angebracht
sein, daß sie eine geeignet dichte Struktur besitzt. Da
durch wird ein ausreichend kontrollierter Durchgang des zu
messenden Gases erreicht, wodurch, wie ausführlicher unter
Bezug auf Fig. 4 beschrieben, eine scharfe Ausgabecharak
teristik sichergestellt wird. Im besonderen sollte die
Schutzschicht eine Porosität und eine mittlere Porengröße
aufweisen, welche beide ausreichend gering sind, um den
Durchgang des zu messenden Gases geeignet zu kontrollieren.
Im Stand der Technik, wie er durch die japanische
offengelegte Patentanmeldung Nr. 51-145 390 festgelegt ist,
wird die Schutzschicht gemäß einem Plasma-Sprühbeschich
tungsverfahren ausgebildet, bei welchem das Pulver eines
wärmebeständigen Metalloxids wie Spinell bei hohen Tempera
turen auf die Oberfläche der äußeren Elektrode Plasma-sprüh
aufbeschichtet und abgeschieden wird.
Die nach dem Verfahren nach dem Stand der Technik aus
gebildete Schutzschicht birgt jedoch die folgenden Proble
me.
Das wärmebeständige Metalloxid besitzt einen so hohen
Schmelzpunkt, daß es schwierig ist, das Oxid in einer Plas
maflamme zu schmelzen. Dies macht es schwierig, eine gerin
ge Porengröße in der Schutzschicht auszubilden. Somit gibt
es die Auffassung, daß die in der Schutzschicht ausgebilde
ten Poren relativ groß sind, und daß es unwahrscheinlich
ist, daß eine relativ dichte Schutzschicht ausgebildet
wird. Um eine geeignet kontrollierte "Gasdurchgangs-redu
zierende Wirkung" (d. h. einen Gasdiffusions-beständige
Wirkung) unter Verwendung einer wie oben erwähnten Schutz
schicht zu erzielen, muß die Schutzschicht dick genug sein,
um eine reduzierende Wirkung zu erzielen.
Im allgemeinen ist das Plasma-Sprühbeschichtungsver
fahren ein Verfahren mit einer geringen Ausbeute, bei wel
chem ein eingesetztes Metalloxid nicht in ausreichendem
Maße verwertet wird, und es wird für die Plasma-Sprühbe
schichtung eine viel größere elektrische Energie benötigt.
Zusätzlich besitzt eine Vorrichtung zur Ausführung des Ver
fahrens unerwünschterweise große Abmessungen, und es sind
daher hohe Kosten notwendig.
Die japanische offengelegte Patentanmeldung Nr. 1-227 955
hat eine Sauerstoffkonzentrations-Meßvorrichtung
vorgeschlagen, welche eine Schutzschicht einschließt. Die
Schutzschicht wird ausgebildet, indem zuerst eine Schicht
aus groben Teilchen ausgebildet wird, welche durch Plasma-Sprüh
beschichten erhalten wird und eine große Porosität be
sitzt. Die Abstände oder Zwischenräume in der Schicht aus
groben Teilchen werden mit ultrafeinen Teilchen durch
Vakuumimprägnierung oder durch Imprägnierung unter Druck
ausgefüllt. Die erhaltene Schutzschicht besitzt eine gerin
ge Porosität.
Um zu ermöglichen, daß die Abstände in der Schicht aus
groben Teilchen im wesentlichen gleichförmig mit den ultr
afeinen Teilchen aufgefüllt werden, sollte die durch
schnittliche Größe der ultrafeinen Teilchen jedoch im Be
reich von 0,01 bis 0,5 µm liegen. Bei ultrafeinen Teilchen,
deren mittlere Teilchengröße kleiner als 0,1 µm ist,
besteht die große Möglichkeit, daß die erhaltene Schutz
schicht dazu neigt, beim Gebrauch zu brechen.
Natürlich benötigt die Vakuumimprägnierung oder die
Imprägnierung unter Druck zusätzliche spezielle Arbeits
schritte und Vorrichtungen. Zusätzlich ist es schwierig,
auf verläßliche Weise die ultrafeinen Teilchen in die Zwi
schenräume der am Anfang gebildeten Schicht aus groben
Teilchen zu füllen, wobei es ferner schwierig ist sicher
zustellen, daß die Zwischenräume aufgefüllt wurden.
Die Schicht aus den groben Teilchen, welche durch Plas
ma-Sprühbeschichten ausgebildet wird, ist so angeordnet,
daß die groben Teilchen miteinander schmelzverbunden sind.
Mit anderen Worten, die groben Teilchen werden während des
Vorgangs des Schmelzverbindens flach und wirken als eine
Art Aggregat für die Schutzschicht. Dies bedeutet, daß sich
die groben Teilchen und die ultrafeinen Teilchen in der
Schutzschicht hinsichtlich deren Mischzustandes lokal
voneinander unterscheiden, so daß die Zusammensetzung der
Schutzschicht über die Schicht nicht gleichförmig ausfallen
kann. Dies führt zur Ausbildung einer Schutzschicht, deren
Porosität lokal variiert, wodurch eine instabile Ausgabe
charakteristik verursacht wird.
Im allgemeinen enthält ein Abgas elementare Bestand
teile wie P, Ca, Zn, Si und dergleichen, welche aus Ölen
stammen, und aus Benzin stammende Bestandteile wie K, Na,
Pb und dergleichen (beide Bestandteile werden nachfolgend
der Einfachheit halber als Vergiftungsbestandteile bezeich
net). Bekannte Sauerstoffkonzentrations-Meßvorrichtungen,
welche eine Plasma-sprühaufbeschichtete Schicht verwenden,
besitzen das Problem, daß die Vergiftungsbestandteile sich
auf der Oberfläche der Meßvorrichtung abscheiden, was
bewirkt, daß sich die Oberfläche der Schutzschicht damit
zusetzt. Dies verschlechtert die Ausgabecharakteristik der
Meßvorrichtung.
Um das Zusetzen mit den Vergiftungsbestandteilen zu
verhindern, schlägt die Japanische offengelegte Patentan
meldung Nr. 6-174 683 die Bereitstellung einer sogenannten
Abfangschicht (trap layer) auf der Oberfläche einer Schutz
schicht vor. Die Abfangschicht ist als eine poröse Schicht
ausgebildet, welche aus zum Beispiel einem wärmebeständigen
Metalloxid wie γ-Al₂O₃ hergestellt ist. Die Abfangschicht
kann die Vergiftung verhindern, ist jedoch dahingehend
unvorteilhaft, daß die Sauerstoffkonzentrations-Meß
vorrichtung eine komplizierte Struktur besitzt, zusammen
mit der Notwendigkeit eines zusätzlichen Herstellungs
schrittes. Dies führt das Problem steigender Herstellungs
kosten nach sich.
Es ist folglich eine Aufgabe der vorliegenden Erfin
dung, eine Sauerstoffkonzentrations-Meßvorrichtung zur Ver
fügung zu stellen, welche die Probleme nach dem Stand der
Technik überwindet und welche eine Schutzschicht mit einer
gleichförmigen Porosität und einer gleichförmigen mittleren
Porengröße einschließt, während gleichzeitig eine kon
trollierte Diffusion eines zu messenden Gases durch die
Schutzschicht zusammen mit- einer guten Beständigkeit ge
genüber Vergiftung aufrecht erhalten wird.
Es ist eine weitere Aufgabe der Erfindung, eine ver
besserte Sauerstoffkonzentrations-Meßvorrichtung zur Ver
fügung zu stellen, welche eine gute Ausgabecharakteristik
besitzt.
Es ist ferner eine Aufgabe der vorliegenden Erfindung,
eine Sauerstoffkonzentrations-Meßvorrichtung zur Verfügung
zu stellen, bei welcher auf eine spezielle Weise eine
Schutzschicht ausgebildet ist, wodurch eine weiter verbes
serte Meßvorrichtung erhalten wird.
Es ist eine weitere Aufgabe der vorliegenden Erfindung,
ein Verfahren zur Herstellung einer Sauerstoffkon
zentrations-Meßvorrichtung zur Verfügung zu stellen, wel
ches wirkungsvoll Ausgangsmaterial für eine Schutzschicht
verwerten kann, und welches hinsichtlich der Verfahrens
weise einfach ist und eine einfache und kostengünstige
Herstellung der Meßvorrichtung sicherstellt.
Gemäß eines breiten Aspekts der Erfindung wird eine
Sauerstoffkonzentrations-Meßvorrichtung zur Verfügung ge
stellt, welche einen festen Elektrolytkörper, eine auf
einer Innenseite des festen Elektrolytkörpers ausgebildete
und einem von außen zugeführten Referenzgas ausgesetzte
innere Elektrode, eine auf einer Außenseite des festen
Elektrolytkörpers ausgebildete und einem zu messenden Gas
ausgesetzte äußere Elektrode und eine auf der äußeren Elek
trode ausgebildete Schutzschicht umfaßt, wobei die
Schutzschicht eine Struktur besitzt, welche grobe Teilchen
und in die zwischen den groben Teilchen gebildeten Zwi
schenräumen gepackte feine Teilchen umfaßt, wobei die gro
ben Teilchen und die feinen Teilchen durch ein von einem
anorganischen Bindemittel abgeleitetes Metalloxid mitein
ander verbunden sind, wobei im wesentlichen die ursprüngli
che Form der groben Teilchen und der feinen Teilchen beibe
halten wird, ein Verhältnis der mittleren Teilchengröße RB
der groben Teilchen zu einer mittleren Teilchengröße RA der
feinen Teilchen so ist, daß der Wert von RB/RA gleich 30
oder größer ist, und ein Gehalt WA der feinen Teilchen in
der Schutzschicht, bezogen auf der Gesamtheit W aus dem
Gehalt WA der feinen Teilchen und dem Gehalt WB der groben
Teilchen gewichtsbezogen im Bereich von 15 bis 80% liegt.
Wenn der Wert von RB/RA auf 30 oder größer festgelegt
ist, können die feinen Teilchen zufriedenstellend in die in
der Schicht aus groben Teilchen ausgebildeten Zwischenräume
gefüllt werden. Dies führt zu der Ausbildung einer
Schutzschicht, welche eine geringe Porosität und eine ge
ringe mittlere Poren- oder Hohlraumgröße besitzt, die für
den Zweck der Erfindung ausreicht.
Die obere Grenze von RB/RA, innerhalb der eine stabile
und dichte Schutzschicht erhalten werden kann, sollte vor
zugsweise bei 500 oder weniger liegen. Die dichte Schutz
schicht stellt eine gute Wirkung bei der Reduzierung eines
Gasdurchgangs sicher und ist in der Lage, Gleichgewichts
reaktionen an der äußeren Elektrode zu fördern. Wenn der
Wert von RB/RA 500 überschreitet, verringert sich die
Abscheidung der Schutzschicht auf dem festen Elektrolyt
körper, mit der Tendenz zur Ausbildung von Sprüngen in der
Schutzschicht oder deren Abspaltung. Die Schutzschicht kann
nicht dicht ausgebildet werden.
Gemäß einer spezifischeren und bevorzugten Ausfüh
rungsform der Erfindung wird ebenfalls eine Sauerstoffkon
zentrations-Meßvorrichtung von dem Typ zur Verfügung ge
stellt, welcher einen festen Elektrolytkörper, eine auf
einer Innenseite des festen Elektrolytkörpers ausgebildete
und einem von außen zugeführten Referenzgas ausgesetzte
innere Elektrode, eine auf einer Außenseite des festen
Elektrolytkörpers ausgebildete und einem zu messenden Gas
ausgesetzte äußere Elektrode und eine auf der äußeren Elek
trode ausgebildete Schutzschicht umfaßt, wobei die Schutz
schicht eine Struktur besitzt, welche grobe Teilchen und in
die zwischen den groben Teilchen ausgebildeten Zwischen
räume gepackte feine Teilchen umfaßt, und wobei die groben
Teilchen und die feinen Teilchen durch ein von einem anor
ganischen Bindemittel abgeleitetes Metalloxid miteinander
verbunden sind, wobei im wesentlichen die ursprünglichen
Formen der groben Teilchen und der feinen Teilchen erhalten
bleiben. Die Schutzschicht wird dabei durch ein Verfahren
ausgebildet, welches das Abscheiden einer Aufschlämmung,
welche durch das Dispergieren von wärmebeständigen groben
Teilchen und wärmebeständigen feinen Teilchen in einem
flüssigen Medium erhalten wird, auf der äußeren Elektrode,
das Trocknen der abgeschiedenen Aufschlämmung und das
Brennen der erhaltenden Schicht umfaßt, wobei die Schicht
ein Verhältnis einer mittleren Teilchengröße RB der groben
Teilchen zu einer mittleren Teilchengröße RA der feinen
Teilchen von 30 : 1 oder mehr besitzt, wobei vorgesehen ist,
daß der Wert von RB/RA gleich 10 oder mehr ist, wenn der
Wert von (ε × d)/L innerhalb eines Bereichs von 2.0 × 10-5
5 bis 30 × 10-5 liegt, wobei ε, d und L entsprechend eine
Porosität, eine mittlere Porengröße in µm und eine Dicke in
µm der Schutzschicht bezeichnen, und ein Gehalt WA der
feinen Teilchen in der Schutzschicht, basierend auf der
Gesamtheit W aus dem Gehalt WA der feinen Teilchen und dem
Gehalt WB der groben Teilchen, gewichtsbezogen im Bereich
von 15 bis 80% liegt.
Wie aus dem zuvor genannten ersichtlich ist, wird die
Schutzschicht durch ein einfaches Verfahren ausgebildet,
welches das Abscheiden der Aufschlämmung auf der äußeren
Elektrode, das Trocknen der Aufschlämmung durch Erwärmen,
so daß die Teilchenschicht zurückbleibt, und das Brennen
der Teilchenschicht umfaßt. Die durch dieses Verfahren
ausgebildete Schutzschicht nutzt vollständig die eingesetz
ten Teilchenmaterialien und stellt eine hohe Ausbeute der
Materialien sicher, und kann auf eine einfache Weise ohne
die Verwendung von großtechnischen Anlagen ausgebildet wer
den. Zusätzlich kann diese Schutzschicht viel kostengünsti
ger ausgebildet werden als eine, die nach dem Stand der
Technik durch Plasma-Sprühbeschichten ausgebildet wird.
In dem obigen Verfahren können die groben Teilchen und
die feinen Teilchen gleichmäßig vermischt und in einem
flüssigen Medium dispergiert werden. Diese beiden Teilchen
arten können gleichförmig auf der äußeren Elektrode abge
schieden werden, was zu einer gleichförmigen Porosität und
mittleren Porengröße in der Schutzschicht führt. Diese
beiden Teilchenarten werden durch ein aus einem anorgani
schen Bindemittel abgeleitetes Metalloxid, mit dem sie
vermischt wurde, fest miteinander verbunden, wobei im we
sentlichen die ursprünglichen Formen der eingesetzten gro
ben und feinen Teilchen erhalten bleiben.
Gemäß einer weiteren Ausführungsform der Erfindung wird
ein Verfahren zur Herstellung einer Sauerstoffkonzentra
tions-Meßvorrichtung von dem Typ zur Verfügung gestellt,
welcher einen festen Elektrolytkörper, eine auf einer In
nenseite des festen Elektrolytkörpers ausgebildete und
einer von außen zugeführten Luft ausgesetzte innere Elek
trode, eine auf einer Außenseite des festen Elektrolytkör
pers ausgebildete und einem zu messenden Gas ausgesetzte
äußere Elektrode und eine auf der äußeren Elektrode ausge
bildete Schutzschicht umfaßt, wobei die Schutzschicht eine
Struktur besitzt, welche aus groben Teilchen und in zwi
schen den groben Teilchen ausgebildeten Zwischenräumen
gepackte feine Teilchen besteht, wobei das Verfahren das
auf einer äußeren Elektrode Anwenden oder Abscheiden einer
Aufschlämmung, welche durch Dispergieren von wärmebeständi
gen groben Teilchen und feinen Teilchen in einem flüssigen
Medium erhalten wird, das Trocknen der auf diese Weise
angewendeten Aufschlämmung und das Brennen der erhaltenden
Schicht umfaßt, wobei die Schutzschicht eine Struktur
besitzt, in welcher die groben Teilchen und die feinen
Teilchen durch ein von einem organischen Bindemittel abge
leitetes Metalloxid miteinander verbunden sind, wobei im
wesentlichen die ursprünglichen Formen der groben Teilchen
und der feinen Teilchen erhalten bleiben.
Weitere Vorteile und Merkmale der vorliegenden Erfin
dung ergeben sich aufgrund der Beschreibung von Ausfüh
rungsbeispielen, sowie anhand der Zeichnungen.
Es zeigt:
Fig. 1 eine schematische Schnittansicht einer Sauerstoff
konzentrations-Meßvorrichtung gemäß einer Ausfüh
rungsform der Erfindung;
Fig. 2 eine vergrößerte Schnittansicht, welche einen Teil
einer Schutzschicht der Vorrichtung aus Fig. 1 auf
zeigt;
Fig. 3 eine schematische Schnittansicht einer Sauerstoff
meßvorrichtung, auf welche die Vorrichtung der Er
findung angewendet ist;
Fig. 4 ein Diagramm, welches das Verhältnis zwischen der
Ausgabespannung und dem Luftverhältnis der Vorrich
tung aufzeigt;
Fig. 5 eine schematische Schnittansicht einer Sauerstoff
konzentrations-Meßvorrichtung gemäß einer anderen
Ausführungsform der Erfindung, in welcher eine
sprühaufbeschichtete Schicht in der Vorrichtung
enthalten ist;
Fig. 6 eine schematische Schnittansicht einer Sauerstoff
konzentrations-Meßvorrichtung gemäß einer weiteren
Ausführungsform der Erfindung, in welcher eine Ab
fangschicht in der Vorrichtung enthalten ist;
Fig. 7 eine schematische Schnittansicht einer Sauerstoff
konzentrations-Meßvorrichtung gemäß noch einer wei
teren Ausführungsform der Erfindung, in welcher
sowohl eine sprühaufbeschichtete Schicht als auch
eine Abfangschicht in der Vorrichtung enthalten
sind; und
Fig. 8 eine schematische Schnittansicht einer Sauerstoff
konzentrations-Meßvorrichtung gemäß einer anderen
Ausführungsform der Erfindung.
Es wird nun auf die beiliegenden Zeichnungen und insbe
sondere auf die Fig. 1 bis 4 Bezug genommen. Soweit
nicht anderweitig angegeben, bezeichnen in den beiliegenden
Zeichnungen gleiche Bezugsziffern gleiche Teile oder
Bauteile.
Eine allgemein mit 1 bezeichnete Sauerstoffkonzentra
tions-Meßvorrichtung in Fig. 1 ist vom Sauerstoffkonzen
trations-EMK-(elektromotorische Kraft)-Typ. Wie in Fig. 1
aufgeführt, besitzt die Sauerstoffkonzentrations-Meßvor
richtung 1 im Querschnitt die Form eines U und enthält
einen U-förmigen festen Elektrolytkörper 12 mit einer in
neren Elektrode 132 auf der Innenoberfläche des Körpers 12
und einer äußeren Elektrode 131 auf der Außenoberfläche des
Körpers 12.
Ferner ist auf der äußeren Elektrode 131 eine Schutz
schicht 11 ausgebildet. Wie in Fig. 2 aufgeführt, besteht
die Schutzschicht 11 aus groben Teilchen 112 und feine
Teilchen 111 und besitzt eine Struktur, in welcher die fei
nen Teilchen wie aufgezeigt in die zwischen den groben
Teilchen 112 ausgebildeten Zwischenräume gepackt sind.
Diese Teilchen werden durch ein von einem anorganischen
Bindemittel abgeleitetes Metalloxid (nicht aufgeführt) mit
einander verbunden.
In Fig. 1 wird in einer Kammer 129, in welche beim Be
trieb der Vorrichtung 1 Luft als ein Referenzgas eingelei
tet wird, eine Heizung 4 plaziert. Die Heizung 4 wird zum
Erwärmen der Vorrichtung 1 auf eine Aktivierungstemperatur
verwendet.
Der feste Elektrolytkörper 1 kann aus beliebigen festen
Elektrolyten hergestellt werden, welche für gewöhnlich für
diesen Zweck verwendet werden, einschließlich Mischungen
aus ZrO₂ und Y₂O₃ und dergleichen. Der feste
Elektrolytkörper kann zum Beispiel in der Form einer Schale
geformt sein, welche wie in Fig. 1 aufgezeigt an einem Ende
offen und am anderen Ende geschlossen ist, obwohl unter der
Voraussetzung, daß die Kammer 129 für ein Referenzgas
ausgebildet ist, auch andere Formen verwendet werden kön
nen.
Die innere und äußere Elektrode 132, 131 kann wie
üblich aus einem Metall wie Pt, Rh oder dergleichen herge
stellt sein.
Wie zuvor definiert, sollte die Schutzschicht 11 aus
den feinen Teilchen 111 und den groben Teilchen 112 beste
hen, wobei, wenn eine mittlere Teilchengröße der feinen
Teilchen 111 als RA bezeichnet wird, und eine mittlere
Teilchengröße der groben Teilchen 112 als RB bezeichnet
wird, der Wert von RB/RA 30 oder größer ist. In diesem Wer
tebereich von RB/RA können die zwischen den groben Teil
chen 112 ausgebildeten Zwischenräume, wie in Fig. 2 aufge
zeigt, zufriedenstellend mit den feinen Teilchen 111 ge
füllt werden. Somit besitzt die Schutzschicht 111 eine
Porosität und eine mittlere Porengröße, welche klein und
gleichförmig genug sind, um eine gute Ausgabecharakteristik
zur Verfügung zu stellen.
Wenn die Vorrichtung mit einer solchen Schutzschicht
auf der äußere Elektrode einem Abgas aus einem Verbrennungs
motor als ein zu messendes Gas ausgesetzt wird, ermöglicht
die Schutzschicht einen geeignet kontrollierten Gasdurch
gang, um die Gleichgewichtsumsetzungen von Kohlenmonoxid
und Kohlenwasserstoffen mit in dem zu messenden Gas enthal
tenem restlichem Sauerstoff auf der äußeren Elektrode zu
beschleunigen. Der Begriff "geeignet kontrollierter Gas
durchgang" soll ausdrücken, daß der Schutzschicht ein gut
kontrollierter Widerstand gegenüber der Diffusion eines zu
messenden Gases durch die Schutzschicht verliehen wird und
kann nachfolgend manchmal als ein Gasdurchgangs-reduzie
rende Wirkung oder dergleichen bezeichnet werden.
Die mittlere Teilchengröße RA der in der Schutzschicht
verwendeten feinen Teilchen sollte vorzugsweise im Bereich
von 0,1 µm bis weniger als 1 µm liegen. Wenn der Wert von
RA weniger als 0,1 µm beträgt, neigt die Schutzschicht
dazu, beim Trocknen im Verlauf ihrer Herstellung zu
brechen. Wenn ein Bruch in der Schutzschicht stattfindet,
steigt in Abhängigkeit von der Größe und der Anzahl der
Brüche die Porosität und die mittlere Porengröße. Ein
geeignet kontrollierter Gasdurchgang durch die Schutz
schicht kann nicht erreicht werden.
Wenn andererseits der Wert von RA 1 µm überschreitet,
können die Zwischenräume zwischen den groben Teilchen nicht
ausreichend mit den feinen Teilchen gefüllt werden, was zur
Bildung einer Schicht mit einer unerwünscht großen
Porosität und mittleren Porengröße führt.
Die mittlere Teilchengröße RB der groben Teilchen soll
te größer als die mittlere Teilchengröße RA sein und liegt
vorzugsweise im Bereich von 3 bis 50 µm.
Wenn der Wert von RB geringer als 3 µm ist, können die
feinen Teilchen nicht in geeignetem Maße in die zwischen
den groben Teilchen ausgebildeten Zwischenräume gefüllt
werden. Dies führt zu einer zu großen Porosität und mittle
ren Porengröße in der Schutzschicht.
Wenn andererseits der Wert von RB 50 µm überschreitet,
kann sich die Bindungskraft der groben Teilchen zu der
äußeren Elektrode verringern, wenn die Schutzschicht ge
brannt wird. Dies kann beim Gebrauch der Vorrichtung zur
Ablösung der Schutzschicht von der äußeren Elektrode füh
ren.
Die Größenverteilung der feinen Teilchen sollte vor
zugsweise so sein, daß Teilchen mit einer Teilchengröße von
0,5 × RA bis 3 × RA, wobei RA eine mittlere Teilchengröße
darstellt, in Mengen von mindestens 80%, bezogen auf die
Gesamtheit an feinen Teilchen, enthalten sind. Gleicher
maßen sollten die groben Teilchen vorzugsweise eine solche
Größenverteilung besitzen, daß Teilchen mit einer Teilchen
größe von 0,5 × RB bis 3 × RB, wobei RB eine mittlere Teil
chengröße darstellt, in Mengen von mindestens 80%, bezogen
auf die Gesamtheit der groben Teilchen, enthalten sind.
Wenn die Größenverteilungen entsprechend außerhalb der
oben aufgeführten Bereiche liegen und jeweils in einer
breiten Form vorliegen, wird die Größe der zwischen den
groben Teilchen gebildeten Zwischenräume stark variieren.
Darüber hinaus wird die Größe der feinen Teilchen, welche
in die einzelnen Zwischenräume gefüllt werden, ebenfalls
stark variieren. Insgesamt wird die Porosität und die mitt
lere Porengröße in der Schutzschicht unerwünschterweise
groß werden.
Das Verhältnis zwischen dem Gehalt WA der feinen Teil
chen in der Schutzschicht und der Gesamtheit W aus dem Ge
halt WA der feinen Teilchen und dem Gehalt WB der groben
Teilchen (d. h., W = WA + WB) sollte 15 bis 80 : 100, vor
zugsweise 15 bis 60 : 100, betragen.
Wenn das Verhältnis in dem oben festgelegten Bereich
liegt, werden die feinen Teilchen, wie in Fig. 2 aufge
zeigt, in zufriedenstellendem Maß in die Zwischenräume der
groben Teilchen gefüllt, wodurch eine geeignet kontrol
lierte niedrige Porosität und mittlere Porengröße in der
Schutzschicht sichergestellt wird.
Wenn der Wert von WA/W geringer als 15/100 ist, werden
die feinen Teilchen hinsichtlich der Menge so gering, daß
die durch die groben Teilchen erzeugten Zwischenräume nicht
gut genug mit den feinen Teilchen ausgefüllt werden können.
Dadurch können die Porosität und die mittlere Porengröße in
der Schutzschicht nicht wie beabsichtigt reduziert werden.
Wenn andererseits der Wert von WA/W größer als 80/100
ist, wird das Volumen der feinen Teilchen größer als das
Volumen der Zwischenräume der groben Teilchen. Unter dieser
Bedingung wird die Schutzschicht von einer Mehrheit an fei
nen Teilchen beansprucht, während die groben Teilchen als
eine Art von Inseln zurückbleiben. In diesem Fall wird die
Porosität und die mittlere Porengröße in der Schutzschicht
uneinheitlich, wodurch es unmöglich gemacht wird, einen
geeignet kontrollierten Gasdurchgang durch die Schutz
schicht zu erreichen.
Es sei angemerkt, daß die Gehalte WA, WB und W ge
wichtsbezogen sind.
Die in der Schutzschicht verwendeten groben Teilchen
und feinen Teilchen sollten vorzugsweise aus mindestens
einem wärmebeständigen Material, ausgewählt aus Al₂O₃,
ZrO₂, MgO·Al₂O₃ Spinell und Mullit, hergestellt werden.
Die wärmebeständigen Teilchen sind thermisch und che
misch stabil, so daß sich die Schutzschicht sehr unwahr
scheinlich zersetzt, wenn die Vorrichtung in praktischer
Verwendung ist, und ihre stabilen Charakteristiken beibe
hält. Dies wird bedeutender, wenn die Vorrichtung atmo
sphärischen Hochtemperaturbedingungen ausgesetzt wird.
Die groben Teilchen und die feinen Teilchen können in
einer beliebigen Form, wie zum Beispiel Kugeln, Blöcke,
Platten, Säulen, Nadeln und dergleichen, vorliegen.
Die Dicke der Schutzschicht sollte vorzugsweise im
Bereich von 100 bis 300 µm liegen, um eine gute Porosität
und eine gute mittlere Porengröße zu erreichen, obwohl
diese auch vom Mischungsverhältnis zwischen den groben und
feinen Teilchen abhängen.
In der Praxis wird die Sauerstoffkonzentrations-Meß
vorrichtung 1 für gewöhnlich, wie zum Beispiel in Fig. 3
aufgezeigt, in einer Sauerstoffmeßvorrichtung 90 positio
niert. Die Meßvorrichtung 90 wird in einem Abgasdurchfluß
eines Automobilmotors plaziert, um dessen Verbrennung zu
regulieren.
Die Meßvorrichtung 90 schließt eine Sauerstoffkonzen
trations-Meßvorrichtung 1 und ein Gehäuse 92 ein, welches
die Vorrichtung 1 darin beherbergt. Das Gehäuse 92 besitzt
einen Rumpfabschnitt 93, welcher im wesentlichen in der
Mitte davon mit einem Flansch zur Verfügung gestellt wird
und unterhalb des Rumpfabschnitts 93 auch eine Abgasab
deckung 94 besitzt, welche in den Abgasdurchfluß eingeführt
ist. Oberhalb des Rumpfes 93 wird eine Luftabdeckung 95 zur
Verfügung gestellt.
Die Abgasabdeckung 94 besitzt eine Innenabdeckung 941
und eine Außenabdeckung 942, welche beide aus Edelstahl
hergestellt sind. Die Innenabdeckung 941 und die Außenab
deckung 942 sind entsprechend mit Abgaseinströmungsöffnun
gen 944, 943 versehen.
Der durch die Innenabdeckung 941 abgetrennte Zwischen
raum ist eine Kammer für ein in der Meßvorrichtung 90 zu
messendes Gas.
Die Luftabdeckung 95 besitzt eine Hauptabdeckung 951,
welche am Rumpfabschnitt 93 befestigt ist, und eine Unter
abdeckung 952, welche den oberen Abschnitt der Hauptab
deckung 951 abdeckt. Die Hauptabdeckung 951 und die Unter
abdeckung 952 sind entsprechend mit Luft-(d. h., ein Refe
renzgas)-Einströmungsöffnungen, welche in der Figur nicht
abgebildet sind, versehen.
Die durch die entsprechenden Lufteinströmöffnungen ein
geleitete Luft wird, wie in Fig. 1 aufgeführt, über die
Luftabdeckung 95 in die Luftkammer 129 der Meßvorrichtung 1
eingeleitet.
Die Meßvorrichtung 1 wird mittels eines Isolationsbau
teils 932 wie aufgezeigt im Inneren des Rumpfabschnitts 93
gehalten. Die äußere Elektrode 131 und die innere Elek
trode 132 der Meßvorrichtung 1 sind entsprechend mit me
tallischen Anschlußplatten 961, 962 verbunden, welche die
Elektroden durch Umhüllen halten.
Die Anschlußplatten 961, 962 sind entsprechend mit Zu
leitungen 971, 972 verbunden. Im besonderen besitzen die
Anschlußplatten 961, 962 entsprechend verlängerte An
schlußteile 963, 964. Die Anschlußteile 963, 964 sind mit
den Enden 985, 986 der Verbinder 981, 982 verbunden, mit
welchen entsprechend die Zuleitungen 971, 972 verbunden
sind.
Die Anschlußplatten 961, 962 sind jeweils aus einer
metallischen Platte mit umgekehrter T-Form hergestellt,
welche zylindrisch geformt ist und die innere Elektrode 132
und die äußere Elektrode 131 damit festhalten. Die An
schlußplatten 961, 962 werden aufgrund der Federwirkung der
metallischen Platten unter Druck in Kontakt mit der inneren
Elektrode 132 und der äußeren Elektrode 131 gebracht.
Die Zuleitungen 971, 972 werden mit einer Zugkraft ent
lang der axialen Richtung der Sauerstoffmeßvorrichtung 90
belastet, so daß die Anschlußplatten 961, 962 über die
Verbinder 981, 982 gezogen werden, und somit entlang der
Axialrichtung gleiten können. Um das Gleiten zu verhindern,
ist die Meßvorrichtung 90 mit einem Stopper 993 versehen,
welcher zwischen Gummitüllen 991, 992 liegt.
Der Stopper 993 unterbindet die Bewegung der Verbin
der 981, 982 und ist aus einem Harzmaterial hergestellt,
welches die Isolierung zwischen den Zuleitungen 971, 972
beibehält.
In Fig. 3 bezeichnet die Bezugsziffer 973 einen Draht
für die Heizung 4 zum Aufheizen der Meßvorrichtung 1.
Die Meßvorrichtung 90 wird durch Einführen der Abgasab
deckung 94 in den Gasdurchfluß und Befestigen mittels des
Flansches 931 in einem Abgasdurchfluß befestigt.
Wie zuvor unter Bezug auf Fig. 2 aufgeführt, besitzt
die Schutzschicht 11 der Meßvorrichtung 1 eine Struktur, in
welcher feine Teilchen 111 in Zwischenräume der groben
Teilchen 112 auf eine wie zuvor definierten Weise gefüllt
werden. In der Struktur sind die Porosität und die mittlere
Porengröße in der Schutzschicht 11 klein und gleichförmig.
Die Porosität liegt vorzugsweise im Bereich von 50% oder
niedriger, und die mittlere Porengröße liegt im Bereich von
0,01 bis 0,3 µm, bei der Bestimmung unter Verwendung eines
Quecksilberporosimeters.
Insbesondere wenn als ein zu messendes Gas ein Abgas
aus einem Automobilmotor verwendet wird, kann die Schutz
schicht 11 den Durchgang des Gases durch die Schutzschicht
geeignet kontrollieren, so daß die Gleichgewichtsreaktionen
des Kohlenmonoxids und der Kohlenwasserstoffe und dem in
dem zu messenden Gas enthaltenen restlichen Sauerstoff
beschleunigt werden. Bei Verwendung der Meßvorrichtung der
Erfindung kann eine scharfe Ausgabecharakteristik, welche
durch die durchgezogene Linie in Fig. 4 aufgezeigt ist,
erhalten werden.
In einer spezielleren Ausführungsform der Erfindung
wird die Meßvorrichtung 1 durch das zuvor definierte Ver
fahren hergestellt. Dieses Verfahren wird ausführlich be
schrieben.
Zu Beginn wird durch Formen ein fester Elektrolyt
körper 12 mit einem U-förmigen Querschnitt erhalten. Im
besonderen werden vorherbestimmte Mengen an Ausgangsme
talloxiden wie ZrO₂ und Y₂O₃ gemischt, pulverisiert und auf
eine übliche Weise granuliert. Die Granulate werden zu
einer gewünschten Gestalt geformt und geschliffen, um ein
Formteil zu erhalten. Das auf diese Weise erhaltene Form
teil wird bei einer hohen Temperatur während mehrerer Stun
den gesintert, um einen wie in Fig. 1 aufgeführten festen
Elektrolytkörper 12 zu erhalten. Die Innenoberfläche und
die Außenoberfläche des Körpers 12 werden wie durch Ätzen
unregelmäßig gemacht und dann chemisch beschichtet, um eine
innere Elektrode 132 und eine äußere Elektrode 131 aus zu
bilden.
Die Schutzschicht 11 wird durch Bereitstellen zweier
Arten von Teilchen, d. h. grobe Teilchen und feine Teilchen,
in vorbestimmten Mengen, Mischen dieser Teilchen und
Dispergieren der Mischung in einem flüssigen Medium wie
Wasser, um eine Aufschlämmung zur Verfügung zu stellen,
ausgebildet. Für gewöhnlich wird ein anorganisches Binde
mittel zu der Aufschlämmung gegeben. Das flüssige Medium
wird vorzugsweise in einer Menge von 10 bis 50 Gew.-%,
bezogen auf die gemischten Teilchen, zu den gemischten
Teilchen gegeben. Gleichermaßen wird das anorganische Bin
demittel in einer Menge von 1 bis 10 Gew.-% der gemischten
Teilchen zugegeben. Beispiele von anorganischen Bindemit
teln schließen Al(OH)₃, Si(OH)₄ und dergleichen ein. Die
Zugabe des anorganischen Bindemittels ermöglicht ein Ver
binden der Teilchen miteinander und eine Bindung der
Schutzschicht an die äußere Elektrode 131.
Wenn die Menge des anorganischen Bindemittels weniger
als 1% beträgt, kann die Bindungskraft nicht zufrieden
stellend sein. Wenn andererseits die Menge 10% überschrei
tet, besteht die Möglichkeit, daß die Schutzschicht zum
Brechen neigt.
Die Aufschlämmung wird durch Sprühen oder Eintauchen,
vorzugsweise durch Eintauchen, auf die äußere Elektrode 131
abgeschieden oder angewendet, gefolgt vom Trocknen und
Brennen bei einer Temperatur im Bereich von 500 bis 1000°C,
um die wie in Fig. 1 aufgeführte Schutzschicht 11
auszubilden.
Wie aus dem obigen Verfahren ersichtlich ist, wird die
Aufschlämmung, welche zwei Teilchenarten umfaßt, auf der
äußeren Elektrode zum Beispiel durch Eintauchen abgeschie
den, getrocknet und gesintert. Die ursprünglichen Formen
dieser Teilchen werden in der erhaltenen Schutzschicht im
wesentlichen beibehalten, im Gegensatz zum Fall des Plasma-Sprüh
beschichtens, bei welchem die Teilchen angeschmolzen
und dadurch flach deformiert werden.
Beim Herstellungsverfahren der Erfindung kann die
Schutzschicht durch ein einfaches Verfahren, welches das
Abscheiden der Aufschlämmung auf der äußeren Elektrode, das
Trocknen und Brennen der auf diese Weise aufbeschichteten
Aufschlämmung umfaßt, ausgebildet werden.
Dieses Verfahren verwertet vollständig die eingesetzten
Teilchen und stellt eine gute Ausbeute der Teilchen zur
Verfügung. Zusätzlich ist keine großtechnische Ausrüstung
notwendig. Mit anderen Worten, die Sauerstoffkonzen
trations-Meßvorrichtung kann kostengünstig und schnell her
gestellt werden.
In der durch das Verfahren erhaltenen Vorrichtung sind
die groben Teilchen und die feinen Teilchen gleichförmig
vermischt und in der Aufschlämmung dispergiert. Dies ermög
licht es, daß beide Teilchenarten gleichförmig auf die
äußere Elektrode aufbeschichtet werden. Die erhaltene
Schutzschicht besitzt eine gleichförmige Porosität und
mittlere Porengröße.
Die Schutzschicht sollte ein Verhältnis zwischen der
mittleren Teilchengröße RB der groben Teilchen und der
mittleren Teilchengröße RA der feinen Teilchen (d. h. RB/RA)
von 30 : 1 oder darüber besitzen.
Wenn die obige Forderung an das Verhältnis erfüllt ist,
sind die Zwischenräume der groben Teilchen zufriedenstel
lend mit den feinen Teilchen gefüllt. Die Schutzschicht hat
eine Porosität und eine mittlere Porengröße, welche für
einen kontrollierten Gasdurchgang niedrig genug sind.
Alternativ dazu sollte die Schutzschicht so ausgebildet
sein, daß der Wert von RB/RA gleich 10 oder größer ist,
unter der Maßgabe, daß, wenn man die Porosität, die mitt
lere Porengröße und die Dicke der Schutzschicht entspre
chend als ε, d (µm) und L (µm) bezeichnet, der Wert von
(ε × d)/L innerhalb des Bereichs von 2,0 × 10-5 bis
30 × 10-5 liegt.
In diesem Fall werden hinsichtlich der Porosität und
der mittleren Teilchengröße ähnliche Ergebnisse erhalten.
Wenn der Wert von RB/RA geringer als 10 ist, kann es
nicht möglich sein, die Zwischenräume der groben Teilchen
mit den feinen Teilchen vollständig zu füllen, wodurch die
erhaltene Schutzschicht eine Porosität und eine mittlere
Porengröße besitzt, welche größer als die zuvor festgeleg
ten sind.
Die Obergrenze von RB/RA sollte vorzugsweise bei 500
oder darunter liegen. Wenn der Wert von RB/RA 500 über
schreitet, kann die Abscheidungs- oder Bindungskraft der
Schutzschicht verringert werden, was zu einem Brechen und
Ablösen der Schicht führt. Zusätzlich kann keine dichte
Schicht erhalten werden, wodurch ein geeignet kontrollier
ter Gasdurchgang durch die Schicht nicht ermöglicht wird.
Wenn der Wert von (ε × d)/L geringer als 2,0 × 10-5
ist, kann der Gasdurchgang durch die erhaltene Schutz
schicht geeignet kontrolliert werden, so daß die Gleichge
wichtsreaktionen von Kohlenmonoxid und den Kohlenwasser
stoffen mit dem restlichen Sauerstoff in einem Abgas
zufriedenstellend an der äußeren Elektrode ablaufen, um
eine scharfe Ausgabecharakteristik zu erhalten. Die Diffu
sion der Reaktantengase kann jedoch so gering werden, daß
sich die Antwort verzögert. Wenn andererseits der Wert
30 × 10-5 überschreitet, ist die Wirkung zur Reduzierung
des Gasdurchgangs nicht so gut, daß Kohlenmonoxid, die
Kohlenwasserstoffe und der restliche Sauerstoff nicht in
zufriedenstellendem Maße ins Gleichgewicht gebracht werden.
Somit wird keine scharfe Ausgabecharakteristik erreicht.
Die Porosität ε der Schutzschicht sollte vorzugsweise
in dem Bereich von 50% oder darunter liegen. Wenn die Poro
sität größer als 50% ist, kann keine dichte Schutzschicht
erhalten werden. Somit kann der Gasdurchgang nicht kon
trolliert reduziert werden.
Die mittlere Porengröße d der Schutzschicht sollte, aus
dem im Hinblick auf die Definition der Porosität dargeleg
ten Grund, vorzugsweise innerhalb eines Bereichs von 0,01
bis 0,3 µm liegen. Wenn die mittlere Porengröße d geringer
als 0,01 µm ist, können zum Zeitpunkt des Trocknens der
Aufschlämmung zur Ausbildung der Schutzschicht Brüche
erzeugt werden. Ein geeignet kontrollierter Gasdurchgang
kann nicht erreicht werden.
Vom Standpunkt der Verhinderung von Vergiftungen wird
bevorzugt, daß die Porosität ε im Bereich von 15% < ε < 50%
liegt und der Wert von (ε × d) im Bereich von 5,0 × 10-3
bis 40 × 10-3 liegt.
Wie bei der Beschreibung des Standes der Technik vorge
bracht, sollte die Schutzschicht der Sauerstoffkonzentra
tions-Meßvorrichtung eine Porosität und eine mittlere
Porengröße besitzen, von denen beide geeignet gering sind,
um zu verhindern, daß sich nichtverbrannte Substanzen im zu
messenden Abgas auf der äußeren Elektrode abscheiden, und
um den Gasdurchgang durch die Schutzschicht geeignet zu
kontrollieren, wodurch Gleichgewichtsreaktionen des
Kohlenmonoxids, der Kohlenwasserstoffe und des restlichen
Sauerstoffs im Abgas an der äußeren Elektrode gefördert
werden, um eine scharfe Ausgabecharakteristik zu erhalten.
Wenn ein zu messendes Gas, welches große Mengen an Ver
giftungsbestandteilen enthält, einer Messung unterzogen
wird, wobei eine bekannte Sauerstoffkonzentrations-Meßvor
richtung mit einer mittels Plasmasprühen ausgebildeten
Schutzschicht verwendet wird, neigen die Vergiftungsbe
standteile gerne dazu, sich auf der Oberfläche der Meßvor
richtung abzuscheiden. Dies bewirkt, daß die Oberfläche der
Schutzschicht verstopft. Gegebenenfalls wird die Ausga
becharakteristik der Meßvorrichtung durch Vergiftung ver
schlechtert.
Es zeigte sich, daß wenn die Porosität ε und der Wert
von (ε × d) entsprechend innerhalb des oben definierten Be
reichs liegen, der Gasdurchgang geeignet reduziert werden
kann und die Verstopfung der Oberfläche der Schutzschicht
verhindert werden kann. Somit wird der Schutzschicht eine
gute Beständigkeit gegenüber Vergiftung verliehen.
Wenn der Wert von (ε × d) geringer als 5,0 × 10-3 ist,
kann eine Gasdiffusion auf ein zufriedenstellendes Maß
reduziert werden, jedoch wird die Schutzschicht so dicht,
daß im Abgas enthaltene Vergiftungsbestandteile sich auf
und in der Oberfläche der Schutzschicht ablagern, wodurch
bewirkt wird, daß sich die Schicht schnell zusetzt. Wenn
andererseits der obige Wert 40 × 10-3 überschreitet, kann
vom Standpunkt der Schichtdicke aus eine derartige Schutz
schicht, welche einen definierten Bereich von (ε × d)/L
besitzt, nicht gebildet werden.
In der Schutzschicht liegt ein Verhältnis zwischen dem
Gehalt WA der feinen Teilchen und der Gesamtheit W aus dem
Gehalt WA der feinen Teilchen und dem Gehalt WB der groben
Teilchen (d. h., W = WA + WB), vorzugsweise im Bereich von
15 bis 80 : 100. Innerhalb dieses Bereichs werden die feinen
Teilchen in die Zwischenräume der groben Teilchen gefüllt,
was zu einer geringen Porosität und einer geringen mittle
ren Porengröße in der Schutzschicht führt.
Beim Verfahren zur Ausbildung der Schutzschicht wird
die Aufschlämmung nach der Abscheidung getrocknet. Die
Trocknung wird vorzugsweise bei einer Temperatur im Bereich
von 15 bis 25°C während 60 bis 120 Minuten durchgeführt.
Anschließend wird die erhaltene Schicht vorzugsweise
bei einer Temperatur von 500 bis 1000°C während ungefähr
einer Stunde gebrannt, um eine Schutzschicht mit festen
Bindungs- und Abscheidungskräften zu erhalten.
Wenn die Brenntemperatur niedriger a¹s 500°C ist, kann
das anorganische Bindemittel nicht zufriedenstellend wir
ken, um die Teilchen miteinander zu verbinden und um die
Schicht auf den festen Elektrolytkörper zu binden. Wenn
andererseits die Brenntemperatur höher als 1000°C ist, un
terliegen die groben und feinen Teilchen einem Schrumpfen
durch Sintern, mit der Möglichkeit, daß die Schutzschicht
bricht.
Wie aus dem obigen ersichtlich ist, werden die groben
und feinen Teilchen aus einer Aufschlämmung abgeschieden,
getrocknet und unter relativ milden Bedingungen gesintert,
so daß es unwahrscheinlich ist, daß sich die ursprünglichen
Formen der beiden Teilchen verändern. Durch ein einfaches
Verfahren kann eine Schutzschicht mit einer beabsichtigten
Porosität und mittleren Porengröße schnell gebildet werden.
Es ist nicht notwendig zu erwähnen, daß die bevorzugten
Aspekte der Meßvorrichtung, welche durch das zuvor er
läuterte Herstellungsverfahren erhalten wird, sich auf das
Herstellungsverfahren beziehen.
Das Herstellungsverfahren gemäß einer weiteren Ausfüh
rungsform der Erfindung wird im wesentlichen unter Bezug
auf die nach dem zuvor erläuterten Herstellungsverfahren
hergestellte Meßvorrichtung beschrieben und wird hierbei
nicht wiederholt. Im erfindungsgemäßen Verfahren kann die
Aufschlämmung auf der äußeren Elektrode durch Eintauchen,
Sprühen, Beschichten oder dergleichen abgeschieden werden.
Es wird nun ein Bezug zu einer anderen Ausführungsform
der Erfindung hergestellt, welche in Fig. 5 aufgeführt ist.
Die Vorrichtung 1 von Fig. 5 ist ähnlich zu der von Fig. 1,
mit der Ausnahme, daß eine Plasma-sprühaufbeschichtete
Schicht 14 direkt auf der äußeren Elektrode 131 ausgebildet
ist und eine Schutzschicht 11 ferner auf der Plasma-sprüh
aufbeschichteten Schicht 14 ausgebildet ist.
Der Grund dafür, daß die Plasma-sprühaufbeschichtete
Schicht 14 auf der äußeren Elektrode ausgebildet ist, liegt
darin, daß die Bindungskraft zwischen der äußeren Elek
trode 131 und der Schicht 14 stärker wird. Wenn die erhal
tene Meßvorrichtung unter Hochtemperatur-Umgebungsbedingun
gen verwendet wird, wird eine Verschlechterung der äußeren
Elektrode aufgrund der thermischen Kohäsion unterdrückt.
Die Schicht 14 sollte vorzugsweise in einer Dicke von 30
bis 100 µm ausgebildet sein. Wenn die Dicke geringer als
30 µm ist, kann die Verschlechterung der äußeren Elektrode
durch die thermische Kohäsion nicht verhindert werden, un
ter welcher deren Ausgabecharakteristik verschlechtert
werden kann, wenn die Meßvorrichtung unter Hochtemperatur
bedingungen verwendet wird. Wenn andererseits die Dicke
100 µm überschreitet, kann aufgrund der geringen Ausbeute
des Plasma-Sprühbeschichtungsverfahrens das eingesetzte
Material nicht effektiv verwertet werden, was die Herstel
lungskosten erhöht.
Die Schicht 14 wird vorzugsweise aus wärmebeständigen
Metalloxiden wie γ-Al₂O₃, α-Al₂O₃, MgO·Al₂O₃ Spinell und
dergleichen hergestellt. Die wärmebeständigen Metalloxide
sollten vorzugsweise in Form von Teilchen sein, deren Größe
vor der Plasma-Sprühbeschichtung im Bereich von 10 bis
80 µm liegt.
Fig. 6 zeigt eine andere Ausführungsform der Erfindung,
in welcher eine Meßvorrichtung ähnlich zu der aus Fig. 1
ist, mit der Ausnahme, daß eine Abfangschicht 15 auf der
Schutzschicht 11 ausgebildet ist.
Die Abfangschicht 15 kann durch Vermischen thermisch
stabiler keramischer Teilchen wie α-Aluminiumoxid, Mullit,
γ-Al₂O₃, MgO·Al₂O₃ Spinell und dergleichen, einem anorgani
schen Bindemittel wie Aluminiumoxid-Sol und einem flüssigen
Medium wie Wasser unter Erhalt einer Aufschlämmung ausge
bildet werden. Die Aufschlämmung wird durch Eintauchen oder
Sprühen auf die Schutzschicht aufgebracht und nachfolgend
wärmebehandelt. Die Wärmebehandlungsbedingungen sind ähn
lich denen, die für die Ausbildung der Schutzschicht ver
wendet werden. Damit die Abfangschicht 15 nicht die Wirkung
der Schutzschicht 11 verhindert, sollte die Schicht 15 vor
zugsweise eine Dicke von 10 bis 500 µm besitzen. Die
Abfangschicht 15 ist wirksam bei der Verhinderung der Ver
giftung mit elementaren Bestandteilen aus Ölbestandteilen
wie P, Ca, Zn, Si und dergleichen und auch mit solchen Be
standteilen aus Benzin wie K, Na, Pb und dergleichen.
Fig. 7 zeigt noch eine weitere Ausführungsform der
Erfindung, in welcher eine Meßvorrichtung gleich der aus
Fig. 1 ist, mit der Ausnahme, daß eine Plasma-sprühaufbe
schichtete Schicht 14 auf der äußeren Elektrode 131 ausge
bildet ist und eine Abfangschicht 15 auf der Schutz
schicht 11 ausgebildet ist. Insbesondere sind sowohl die
Plasma-sprühaufbeschichtete Schicht 14 und die Abfang
schicht 15, wie in den Fig. 5 und 6 veranschaulicht, in
der Vorrichtung 1 ausgebildet.
In der vorherigen Ausführungsform besitzt die Vorrich
tung einen U-förmigen Querschnitt. Die Meßvorrichtung der
Erfindung ist nicht auf solche Vorrichtungen mit einem
U-förmigen Querschnitt beschränkt.
Fig. 8 zeigt noch eine weitere Ausführungsform der
Erfindung, welche eine Sauerstoffkonzentrations-Meßvor
richtung 2 vom Stapeltyp einschließt. Die Vorrichtung 2 um
faßt einen plattenförmigen festen Elektrolytkörper 22 und
eine entsprechend auf den äußeren und inneren Oberfläche
des festen Elektrolytkörpers 22 ausgebildete äußere Elek
trode 231 und innere Elektrode 232. Die äußere Elektrode
231 wird auf eine wie in Fig. 3 aufgezeigte Weise einer
Kammer eines zu messenden Gases ausgesetzt. Auf der äußeren
Elektrode ist wie aufgezeigt eine Schutzschicht 21 aus
gebildet.
An der Innenoberfläche des festen Elektrolytkörpers 22
wird eine Heizung 41 zur Verfügung gestellt, welche darin
ausgebildete Heizelemente 42 besitzt. Die Heizung 41 ist
aus Al₂O₃ und dergleichen Keramiken hergestellt. Die Hei
zung 41 ist so geformt, daß sie einen Kanal 26 besitzt, in
welchem die innere Elektrode 232 freiliegt. Der Kanal dient
als Kammer für ein Referenzgas wie Luft.
Die Schutzschicht 21 kann gleichermaßen wie in den vor
ausgegangenen Ausführungsformen ausgebildet sein. Die
Heizung mit eingebauten Heizelementen ist im Stand der
Technik gut bekannt, und ihre Herstellung wird hier nicht
ausgeführt.
Alle Herstellungsbedingungen und Parameter für die
Schutzschicht, wie sie in den vorausgegangenen Ausfüh
rungsformen definiert wurden, sind auch für diese Ausfüh
rungsform anwendbar. Diese Art der Meßvorrichtung besitzt
vergleichbare Wirkungen wie die von Vorrichtungen mit einem
U-förmigen Querschnitt.
Die Erfindung wird anhand von Beispielen ausführlicher
erläutert.
In diesem Beispiel wurde eine Sauerstoffkonzentrations-Meß
vorrichtung von der in Fig. 1 aufgezeigten Art her
gestellt.
Es wurde ein schalenförmiger fester Elektrolytkörper,
welcher an einem Ende verschlossen und am anderen Ende
offen war (d. h. ein U-förmiger Querschnitt), geformt. Im
besonderen wurden 95 Mol-% an ZrO₂ und 5 Mol-% an Y₂O₃ ver
mischt und pulverisiert, anschließend durch Verwendung
eines Sprühtrockners granuliert, um Ausgangsgranulate zur
Verfügung zu stellen.
Die Granulate wurden zu einer gewünschten Schalenform
geformt und nach Wunsch geschliffen, um ein Rohformteil zu
erhalten. Das Rohformteil wurde bei 1600°C während
2 Stunden gesintert. Auf diese Weise wurde ein fester Elek
trolytkörper 12 aus Fig. 1 erhalten.
Der Körper 12 wurde an seiner inneren und äußeren Ober
fläche durch Ätzen unregelmäßig gemacht, und nachfolgend
chemisch beschichtet, um eine innere Elektrode 132 und eine
äußere Elektrode 131 auszubilden, wobei beide eine Dicke
von 1 µm besaßen.
Als wärmebeständige Teilchen wurde Al₂O₃ zur Verfügung
gestellt, aus welchem grobe Teilchen 112 und feine Teil
chen 111 hergestellt wurden. Die mittlere Teilchengrößen
RA, RB und ein Wert von WA/W der feinen Teilchen 111 und
der groben Teilchen 112 sind in Tabelle 1 aufgeführt.
Die groben und feinen Teilchen 112, 111 wurden zum Er
halt einer Mischung vermischt. Um eine Aufschlämmung zu er
halten, wurden zu 100 Gewichtsteilen der Mischung 20 Ge
wichtsteile an Wasser und 2 Gewichtsteile an Al(OH)₃, wel
ches als ein anorganisches Bindemittel fungiert, zugegeben.
Die Aufschlämmung wurde durch Eintauchen auf die Ober
fläche der äußeren Elektrode 131 angewendet. Der auf diese
Weise behandelte feste Elektrolytkörper 12 wurde getrock
net, erwärmt und bei 700°C gebrannt, um eine Schutz
schicht 11 mit einer Porosität und einer mittleren Poren
größe, wie sie in Tabelle 1 aufgeführt sind, auszubilden.
Das obige Verfahren wurde wiederholt, wodurch Sauer
stoffkonzentrations-Meßvorrichtungen von Proben der Num
mern 1 bis 18 erhalten wurden, welche entsprechend ver
schiedene Teilchengrößen RA und RB der feinen Teilchen und
der groben Teilchen, verschiedene Werte von RB/RA, ver
schiedene Mischungsverhältnisse von WA zu W und verschie
dene Dicken der Schutzschicht besaßen. Diese sind in Tabel
le 1 aufgeführt.
Zum Vergleich wurde das obige Verfahren wiederholt, mit
der Ausnahme, daß die Schutzschicht durch Plasma-Sprühbe
schichtung ausgebildet wurde, um eine Vorrichtung der Probe
Nr. 19 zur Verfügung zu stellen.
Die Leistungsfähigkeit dieser Proben wurde ermittelt,
indem jede Probe in eine Sauerstoffmeßvorrichtung, wie sie
in Fig. 3 aufgeführt ist, gegeben wurde, um die Beziehung
zwischen der Ausgabespannung und dem Luftverhältnis λ zu
bestimmen. Eine Sauerstoffkonzentrations-Meßvorrichtung,
welche eine gute Fähigkeit der Kontrolle des Gasdurchgangs
besitzt, zeigt eine solche Beziehung auf, wie sie als
durchgezogene Linie in der Fig. 4 aufgeführt ist. Die
Ausgabespannung variiert insbesondere in der Nähe von λ = 1
abrupt, wobei der Unterschied zwischen der Ausgabespannung
auf der fetten Seite und der Ausgabespannung auf der
mageren Seite groß ist.
Andererseits hatte eine Vorrichtung, deren Fähigkeit
zur Kontrolle des Gasdurchgangs schlecht war, eine Bezie
hung, wie sie in Fig. 4 durch eine unterbrochene Linie auf
gezeigt ist. Das heißt, die Änderung der Ausgabespannung
änderte in der Nähe von λ = 1 nur gering, d. h., der Unter
schied zwischen den Ausgabespannungen auf der fetten und
der mageren Seite ist gering.
Jede der Proben der Nummern 1 bis 19 wurde in einem
Auspuffrohr eines Automobilmotors plaziert. Das Luftver
hältnis wurde schrittweise verändert, während eine Ausga
bespannung der Probe gemessen wurde. Im besonderen wurde
das Luftverhältnis λ von 0,9 bis 1,1 verändert, um die Aus
gabespannung einer jeden Meßvorrichtung zu messen. Die
Ergebnisse sind in Tabelle 1 aufgezeigt. Bewertet wurde
eine Meßvorrichtung als ausgezeichnet, wenn der Unterschied
zwischen den Ausgabespannungen während der Messung 0,6 V
oder mehr betrug, als gut, wenn ein Unterschied im Bereich
von 0,5 bis weniger als 0,6 V lag, und schlecht für einen
Unterschied im Bereich von weniger als 0,5 V.
Die Ergebnisse der obigen Tabelle zeigen, daß die Pro
ben der Nummern 3 bis 5 und 8 bis 18, welche der vorlie
genden Erfindung entsprechen, eine gute Wirkung auf die
Reduktion zeigen, welche im wesentlichen gleich oder besser
der der Probe Nr. 19 sind, welche die durch das Plasma-Sprüh
beschichten ausgebildete Schutzschicht umfaßt.
Insbesondere bei den Proben der Nummern 9 bis 15 sind
die Porosität und die mittlere Porengröße sehr gering, so
daß ein ausgezeichneter Effekt bei der Reduktion des Gas
durchgangs erreicht wird, sogar wenn die Dicke der Schutz
schicht gering ist.
Die Proben der Nummern 1, 2, 6 und 7, welche hinsicht
lich des Gehaltes der feinen Teilchen außerhalb des Umfangs
der Erfindung liegen, sind in der Wirkung hinsichtlich der
Reduktion schlecht.
Die Sauerstoffkonzentrations-Meßvorrichtung von der in
Fig. 5 aufgezeigten Art wurde im wesentlichen auf dieselbe
Weise wie in Beispiel 1 hergestellt, mit der Ausnahme, daß
nach der Ausbildung der inneren Elektrode 132 und der äuße
ren Elektrode 131 auf der gegenüberliegenden Seite des
festen Elektrolytkörpers 12 eine Plasma-sprühaufbeschich
tete Schicht 14, welche aus MgO·Al₂O₃ Spinell gebildet war,
auf der äußeren Elektrode 131 ausgebildet wurde und nach
folgend ferner die Schutzschicht 11 ausgebildet wurde.
Auf diese Weise wurden die Meßvorrichtungen der Bei
spiele der Nummern 20 bis 30 hergestellt, wobei diese Pro
ben so hergestellt wurden, daß sie wie in Tabelle 2 aufge
führt verschiedene Dicken der sprühaufbeschichteten
Schicht, der Porositäten, mittlere Porengrößen, Teilchen
größen RA und RB der feinen und groben Teilchen, Werte von
RB/RA und Gehalte der feinen Teilchen relativ zu dem Ge
samtgehalt beider Teilchenarten WA/W und Dicken der Schutz
schicht besaßen.
Die Proben der Nummern 20 und 30, welche keine sprüh
aufbeschichtete Schicht besitzen, dienen dem Vergleich. Die
Proben der Nummern 28 bis 30 besaßen irgendeine
Schutzschicht.
Jede Probenvorrichtung wurde auf die dieselbe Weise wie
im Beispiel 1 untersucht, um die Wirkung auf die Reduktion
des Gasdurchgangs zu ermitteln, wobei die Ergebnisse in
Tabelle 2 aufgeführt sind.
Ferner wurde gemäß dem folgenden beschleunigten Dauer
test die Wärmebeständigkeit ermittelt. Jede Probenvorrich
tung wurde in einen elektrischen Ofen gegeben, in welchem
sie während 100 Stunden bei einer Temperatur von 1000°C
erhitzt wurden. Wenn die durch eine thermische Kohäsion
gebildete Fläche der Poren in der äußeren Elektrode, bezo
gen auf die Gesamtfläche der äußeren Elektrode, 30% oder
mehr betrug, so wurde eine solche Probe als schlecht bewer
tet. Gleichermaßen wurde eine Probe als gut bewertet, wenn
die Fläche relativ zu der Gesamtfläche im Bereich von 10
bis weniger als 30% lag, und als hervorragend, wenn die
Fläche geringer als 10% war.
Wie aus Tabelle 2 ersichtlich ist, zeigten die Proben
der Nummern 22 bis 27, gemäß einer bevorzugten Ausfüh
rungsform der Erfindung, mit der Plasma-sprühaufbeschichte
ten Schicht eine ausgezeichnete Wirkung bei der Reduktion
und eine ausgezeichnete Wärmebeständigkeit.
Die Proben der Nummern 20, 21, welche keine Plasma-sprüh
aufbeschichtete Schicht oder eine dünne Plasma-sprüh
aufbeschichtete Schicht besaßen, waren hinsichtlich der
Wärmebeständigkeit gegenüber den Proben der Nummern 22 bis
27 verschlechtert.
Die Proben der Nummern 28, 29, welche eine sehr dicke
Plasma-sprühaufbeschichtete Schicht besaßen, zeigten eine
hervorragende Wärmebeständigkeit zusammen mit einer
bestimmten Wirkung auf die Reduktion des Gasdurchgangs, da
die sprühaufbeschichtete Schicht als eine Art Schutzschicht
wirkte. Wenn jedoch die Plasma-sprühaufbeschichtete Schicht
dick ausgeführt wurde, war die Ausbeute des eingesetzten
Materials gering, und somit-konnte das eingesetzte Material
nicht effektiv verwertet werden. Zusätzlich war es
schwierig, eine stabile Leistungsfähigkeit zur Verfügung zu
stellen.
Die Probe Nr. 30 hatte weder eine sprühaufbeschichtete
Schicht noch irgendeine Schutzschicht, was zu einer gerin
gen Wirkung hinsichtlich der Reduktion und einer geringen
Wärmebeständigkeit führte.
Die obigen Ergebnisse zeigen auf, daß die Bereitstel
lung von sowohl der sprühaufbeschichteten Schicht als auch
der Schutzschicht wirksam ist, um eine Sauerstoffkonzen
trations-Meßvorrichtung zu erhalten, welche eine verbes
serte Wärmebeständigkeit und eine gute Wirkung auf die
Reduktion besitzt. Es ist natürlich nicht notwendig, eine
dicke sprühaufbeschichtete Schicht wie im Stand der Technik
auszubilden, in welchem nur die Plasma-sprühaufbeschichtete
Schicht ausgebildet wird.
Auf dieselbe Weise wie im Beispiel 1 wurden Meßvor
richtungen der Proben Nr. 31 bis 56 hergestellt, wobei die
Teilchengrößen RA und RB der feinen und groben Teilchen,
die Werte von RB/RA, der Gehalt der feinen Teilchen relativ
zum Gehalt der feinen und groben Teilchen WA/W, die Porosi
tät ε, die mittlere Porengröße d und die Dicke L variiert
wurden. Diese Parameter für die entsprechenden Proben sind
in den Tabellen 3, 4, 6 und 7 aufgeführt. Als Vergleich
wurde auch eine Sauerstoffkonzentrations-Meßvorrichtung als
Probe Nr. 57 zur Verfügung gestellt, welche als die
Schutzschicht eine Plasma-sprühaufbeschichtete Schicht be
saß.
Diese Proben der Nummern 31 bis 57 wurden auf dieselbe
Weise wie im Beispiel 1 bewertet. Die Ergebnisse der Bewer
tung sind in den Tabellen 5 und 8 aufgeführt, wobei die
Bewertung der Beständigkeit gegenüber Vergiftung, wie
nachfolgend im Beispiel 5 beschrieben, durchgeführt wurde.
Die in den Tabellen 5 und 8 aufgezeigten Ergebnisse
zeigen, daß die Proben der Nummern 31 bis 33, 38 bis 48,
51, 52 und 54 bis 56, welche einen Wert von (ε × d)/L im
Bereich von 2,0 × 10-5 bis 30 × 10-3 besitzen, eine Wir
kung auf die Reduktion zeigen, welche im wesentlichen
gleich oder besser ist als die der Probe Nr. 57, welche die
Plasma-sprühaufbeschichtete Schicht nach dem Stand der
Technik besitzt.
Insbesondere die Proben der Nummern 39 bis 41 und 44
bis 46 besitzen eine so geringe Porosität und mittlere
Porengröße, daß eine dünne Schutzschicht ausreicht, um eine
gute Wirkung auf die Reduktion des Gasdurchgangs zur Verfü
gung zu stellen.
Andererseits ist es bei den Proben der Nummern 34, 35,
49 und 50, welche eine große mittlere Porengröße besitzen,
und bei der Probe Nr. 53, welche eine große Porosität
besitzt, notwendig, eine dicke Schutzschicht auszubilden.
Dadurch kann eine Wirkung auf die Reduktion erreicht wer
den, welche gleich der der Probe Nr. 57 ist, welche eine
durch Plasma-Sprühbeschichten ausgebildete Schutzschicht
besitzt.
Mit den Proben der Nummern 36, 37, welche sowohl eine
große Porosität als auch eine große mittlere Porengröße
besitzen, kann keine zufriedenstellende Wirkung auf die
Reduktion erreicht werden, auch wenn die Schutzschicht in
einer Dicke von mehr als 300 µm ausgebildet wird.
Auf dieselbe Weise wie in Beispiel 2 wurden die Sauer
stoffkonzentrations-Meßvorrichtungen der Proben der Num
mern 60 bis 68 hergestellt, wobei auf der äußeren Elektrode
eine Plasma-sprühaufbeschichtete Schicht ausgebildet wurde.
Die Dicke, die Porosität und die mittlere Porengröße der
Plasma-sprühaufbeschichteten Schicht sind in Tabelle 9 auf
geführt. Die speziellen Merkmale der Schutzschicht der ent
sprechenden Proben, welche die Teilchengrößen RA und RB der
feinen Teilchen und der groben Teilchen, den Wert von
RB/RA, die Porosität, die mittlere Porengröße und die Dicke
einschließen, sind in Tabelle 10 aufgeführt.
Zum Vergleich wurden ebenfalls die Proben der Nummern
59 und 71, welche keine sprühaufbeschichtete Schicht
besaßen, zusammen mit den Proben der Nummern 69 bis 71,
welche keine Schutzschicht besaßen, zur Verfügung gestellt.
Diese Proben wurden auf dieselbe Weise wie im Bei
spiel 1 bewertet.
Die Wärmebeständigkeit wurde auf dieselbe Weise wie in
Beispiel 2 bewertet.
Die Ergebnisse sind in Tabelle 11 aufgeführt.
Aus den obigen Ergebnissen ist ersichtlich, daß die
Proben der Nummern 61 bis 68 der Erfindung, welche eine
Plasma-sprühaufbeschichtete Schicht besitzen, eine gute
oder ausgezeichnete Wirkung auf die Reduktion des Gas
durchgangs zusammen mit einer guten Wärmebeständigkeit auf
leisen.
Im Hinblick auf die Ergebnisse der Proben der Nummern
59, 60, bei welchen keine Plasma-sprühaufbeschichtete
Schicht (Nr. 59) und eine dünne sprühaufbeschichtete
Schicht (Nr. 60) ausgebildet wurden, sind diese Proben hin
sichtlich der Wärmebeständigkeit etwas schlechter als die
Proben der Nummern 61 bis 68.
Aus den Ergebnissen der Proben der Nummern 69, 70 ist
ersichtlich, daß wenn die sprühaufbeschichtete Schicht dick
ausgeführt wird, diese Schicht eine ähnliche Rolle wie eine
Schutzschicht spielt und eine gute Wirkung auf die
Reduktion und eine ausgezeichnete Wärmebeständigkeit er
halten werden kann. Die Ausbildung einer dicken Plasma-sprüh
aufbeschichteten Schicht besitzt jedoch das Problem,
daß die Plasma-Sprühbeschichtung eine geringe Material aus
beute zusammen mit einer Schwierigkeit beim Erreichen einer
stabilen Leistungsfähigkeit mit sich bringt.
Die Probe Nr. 71, welche weder irgendeine sprühaufbe
schichtete Schicht noch irgendeine Schutzschicht besaß, war
sowohl hinsichtlich der Wirkung auf die Reduktion des Gas
durchgangs als auch hinsichtlich der Wärmebeständigkeit
schlecht.
Aus dem obigen wird offensichtlich, daß die Ausbildung
von sowohl der sprühaufbeschichteten Schicht (welche im
Vergleich zum Stand der Technik relativ dünn ist) als auch
der Schutzschicht wirksam bei der Verbesserung der Fähig
keit zur geeigneten Reduzierung des Gasdurchgangs zur äuße
ren Elektrode und der Wärmebeständigkeit ist.
Die Proben der Nummern 31 bis 71, welche in den Bei
spielen 3 und 4 hergestellt wurden, wurden zur Ausbildung
einer Abfangschicht auf der Schutzschicht verwendet. Die
Abfangschicht wurde hergestellt durch Vermischen von 45
Gewichtsteilen an γ-Al₂O₃, 2 Gewichtsteilen an Aluminium
oxid-Sol als ein anorganisches Bindemittel und 53 Ge
wichtsteilen an Wasser, um eine Aufschlämmung zu erhalten,
und Anwenden der Aufschlämmung auf die Oberfläche der
Schutzschicht durch Eintauchen und nachfolgendes Erwärmen
auf eine Temperatur von 700°C während einer Stunde.
Die Proben, welche mit solch einer wie oben erwähnten
Abfangschicht ausgebildet wurden und einem Vergiftungstest,
welcher die Proben der Nummern 31 bis 56 einschloß,
unterzogen wurden, hatten eine Dicke der Schutzschicht von
200 µm. Die Probe Nr. 57 besaß lediglich eine durch Plasma-Sprüh
beschichten ausgebildete Schutzschicht, ohne daß
irgendeine Abfangschicht weiter ausgebildet wurde. Die Pro
ben der Nummern 69, 70, welche keine Schutzschicht besaßen,
wurden mit der Abfangschicht auf der sprühaufbeschichteten
Schicht ausgebildet. Die Probe Nr. 71 hatte keine Schutz
schicht. In diesem Fall wurde die Abfangschicht direkt auf
der Oberfläche der äußeren Elektrode ausgebildet.
Es wurde die Vergiftungsbeständigkeit bestimmt, indem
jede Probe einem beschleunigten Vergiftungsbeständigkeits
test unterzogen wurde, in welchem jede Probe in einem
Abgasrohr plaziert wurde und zu einem in diesem Test ver
wendeten Benzintreibstoff 5 Gew.-% eines Motorenöls gegeben
wurde, welches Vergiftungsbestandteile enthielt. Der Motor
wurde während 30 Minuten im Leerlauf, und anschließend wäh
rend 30 Minuten bei einer Umdrehungszahl von 4000 UPM
betrieben, wobei diese Betriebsweise während 100 Stunden
ununterbrochen wiederholt wurde. Der in diesem Test verwen
dete Motor war ein 2000 cm³ Reihen-Vierzylindermotor, wel
cher mit einer Benzineinspritzung ausgestattet war.
Die Vergiftungsbeständigkeit wurde anhand der Verän
derung im Ansprechverhalten vor und nach dem beschleunigten
Vergiftungsbeständigkeitstest beurteilt. Im besonderen
wurde eine Anfangsansprechzeit als T₀ genommen und eine
Ansprechzeit nach dem Beständigkeitstest als T genommen und
eine Veränderung von (T-T₀)/T₀ berechnet. Wenn diese
Veränderung geringer als 0,5 ist, wird eine derartige Probe
als gut beurteilt, und wenn die Veränderung gleich 0,5 oder
größer ist, wird eine Probe als schlecht beurteilt. Die
Ergebnisse sind in den Tabellen 5, 8 und 11 aufgeführt.
Wie aus diesen Ergebnissen ersichtlich ist, wird, wenn
ε < 15% ist und ε × d nicht geringer als 5,0 × 10-3 ist,
eine gute Vergiftungsbeständigkeit erhalten, als im Ver
gleich zu der der Probe Nr. 58, in welcher die Abfang
schicht auf einer bekannten Schutzschicht ausgebildet
wurde.
Andererseits war mit den Proben der Nummern 45, 54, 57,
63 und 64, in welchen ε < 15% oder der Wert von ε × d ge
ringer als 5,0 × 10-3 war, die Veränderung so groß, daß die
Vergiftungsbeständigkeit schlecht war.
Die in den vorausgegangenen Beispielen 1 bis 5 veran
schaulichte Sauerstoffkonzentrations-Meßvorrichtung fun
giert als sogenannte "λ-Sonde" zur Bestimmung eines theore
tischen Luft-zu-Brennstoff-Verhältnisses in Verbrennungs
motoren von Automobilen. Die Schutzschicht in der Vorrich
tung der Erfindung kann als eine diffusionsbeständige
Schicht in Sauerstoffkonzentrations-Meßvorrichtungen vom
kritischen-Strom-Typ, d. h., Magersonden, oder in Vollbe
reichs -Luft- zu-Brennstoff-Verhältnis -Sensoren verwendet
werden.
Claims (20)
1. Sauerstoffkonzentrations-Meßvorrichtung, mit:
einem festen Elektrolytkörper;
einer auf einer Innenseite des festen Elektrolytkör pers ausgebildeten und einem von außen zugeführten Referenzgas ausgesetzten inneren Elektrode;
eine auf einer Außenseite des festen Elektrolytkör pers ausgebildeten und einem zu messenden Gas ausge setzten äußeren Elektrode; und
einer auf der äußeren Elektrode ausgebildeten Schutzschicht,
wobei die Schutzschicht eine Struktur besitzt, mit gro ben Teilchen und in den zwischen den droben Teilchen ausgebildeten Zwischenräumen gepackten feinen Teilchen, und wobei die groben Teilchen und die feinen Teilchen durch ein von einem anorganischen Bindemittel abgelei tetes Metalloxid miteinander verbunden sind, wobei im wesentlichen die ursprünglichen Formen der droben Teil chen und der feinen Teilchen erhalten bleiben, wobei ein Verhältnis einer mittleren Teilchengröße RB der grobem Teilchen zu einer mittleren Teilchengröße Ra der feinen Teilchen so ist, daß der Wert von RB/RA gleich 30 : 1 oder größer ist, und ein Gehalt WA der feinen Teilchen in der Schutzschicht bezogen auf die Gesamtheit W des Gehaltes WA der feinen Teilchen und des Gehalts WB der groben Teilchen gewichtsbezogen im Bereich von 15 bis 80% liegt.
einem festen Elektrolytkörper;
einer auf einer Innenseite des festen Elektrolytkör pers ausgebildeten und einem von außen zugeführten Referenzgas ausgesetzten inneren Elektrode;
eine auf einer Außenseite des festen Elektrolytkör pers ausgebildeten und einem zu messenden Gas ausge setzten äußeren Elektrode; und
einer auf der äußeren Elektrode ausgebildeten Schutzschicht,
wobei die Schutzschicht eine Struktur besitzt, mit gro ben Teilchen und in den zwischen den droben Teilchen ausgebildeten Zwischenräumen gepackten feinen Teilchen, und wobei die groben Teilchen und die feinen Teilchen durch ein von einem anorganischen Bindemittel abgelei tetes Metalloxid miteinander verbunden sind, wobei im wesentlichen die ursprünglichen Formen der droben Teil chen und der feinen Teilchen erhalten bleiben, wobei ein Verhältnis einer mittleren Teilchengröße RB der grobem Teilchen zu einer mittleren Teilchengröße Ra der feinen Teilchen so ist, daß der Wert von RB/RA gleich 30 : 1 oder größer ist, und ein Gehalt WA der feinen Teilchen in der Schutzschicht bezogen auf die Gesamtheit W des Gehaltes WA der feinen Teilchen und des Gehalts WB der groben Teilchen gewichtsbezogen im Bereich von 15 bis 80% liegt.
2. Sauerstoffkonzentrations-Meßvorrichtung gemäß An
spruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die groben Teil
chen und die feinen Teilchen aus mindestens einem aus
gewählten Mitglied aus der aus Al₂O₃, ZrO₂, MgO·Al₂O₃
Spinell und Mullit bestehenden Gruppe bestehen.
3. Sauerstoffkonzentrations-Meßvorrichtung gemäß An
spruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die feinen Teil
chen eine mittlere Teilchengröße von 0,1 µm bis weniger
als 1 µm besitzen, und die groben Teilchen eine mittle
re Teilchengröße von 3 bis 50 µm besitzen.
4. Sauerstoffkonzentrations-Meßvorrichtung gemäß An
spruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß eine Plasma-sprüh
aufbeschichtete Schicht zwischen der äußeren Elek
trode und der Schutzschicht vorhanden ist.
5. Sauerstoffkonzentrations-Meßvorrichtung gemäß An
spruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß die Plasma-sprüh
aufbeschichtete Schicht eine Dicke von 30 bis 100 µm
besitzt.
6. Sauerstoffkonzentrations-Meßvorrichtung, mit
einem festen Elektrolytkörper;
einer auf einer Innenseite des festen Elektrolytkör pers ausgebildeten und einem von außen zugeführten Referenzgas ausgesetzten inneren Elektrode;
einer auf einer Außenseite des festen Elektrolytkör pers ausgebildeten und einem zu messenden Gas ausge setzten äußeren Elektrode; und
einer auf der äußeren Elektrode ausgebildeten Schutzschicht,
wobei die Schutzschicht eine Struktur besitzt, welche aus groben Teilchen und in die zwischen den groben Teilchen ausgebildeten Zwischenräume gepackten feinen Teilchen besteht, und wobei die groben Teilchen und die feinen Teilchen durch ein von einem anorganischen Bin demittel abgeleitetes Metalloxid miteinander verbunden sind, wobei die ursprünglichen Formen der groben Teil chen und der feinen Teilchen im wesentlichen erhalten bleiben, wobei die Schutzschicht durch ein Verfahren ausgebildet wird, in welchem man:
auf die äußere Elektrode eine Aufschlämmung anwen det, welche durch Dispergieren von wärmebeständigen groben Teilchen und wärmebeständigen feinen Teilchen in einem flüssigen Medium erhalten wird;
diese angewandte Aufschlämmung trocknet; und
die erhaltene Schicht brennt,
wobei die Schicht ein Verhältnis der mittleren Teil chengröße RB der groben Teilchen zu der mittleren Teil chengröße RA der feinen Teilchen von 30 : 1 oder darüber besitzt, wobei vorgesehen ist, daß der Wert von RB/RA gleich 10 oder größer ist, wenn der Wert von (ε × d)/L innerhalb eines Bereichs von 2,0 × 10-5 bis 30 × 10-5 liegt, wobei ε, d und L entsprechend eine Porosität, eine mittlere Porengröße in µm und eine Dicke in µm der Schutzschicht bezeichnen, und ein Gehalt WA an feinen Teilchen in der Schutzschicht in Bezug auf die Gesamt heit W des Gehalts WA der feinen Teilchen und des Gehaltes WB der groben Teilchen gewichtsbezogen im Bereich von 15 bis 80% liegt.
einem festen Elektrolytkörper;
einer auf einer Innenseite des festen Elektrolytkör pers ausgebildeten und einem von außen zugeführten Referenzgas ausgesetzten inneren Elektrode;
einer auf einer Außenseite des festen Elektrolytkör pers ausgebildeten und einem zu messenden Gas ausge setzten äußeren Elektrode; und
einer auf der äußeren Elektrode ausgebildeten Schutzschicht,
wobei die Schutzschicht eine Struktur besitzt, welche aus groben Teilchen und in die zwischen den groben Teilchen ausgebildeten Zwischenräume gepackten feinen Teilchen besteht, und wobei die groben Teilchen und die feinen Teilchen durch ein von einem anorganischen Bin demittel abgeleitetes Metalloxid miteinander verbunden sind, wobei die ursprünglichen Formen der groben Teil chen und der feinen Teilchen im wesentlichen erhalten bleiben, wobei die Schutzschicht durch ein Verfahren ausgebildet wird, in welchem man:
auf die äußere Elektrode eine Aufschlämmung anwen det, welche durch Dispergieren von wärmebeständigen groben Teilchen und wärmebeständigen feinen Teilchen in einem flüssigen Medium erhalten wird;
diese angewandte Aufschlämmung trocknet; und
die erhaltene Schicht brennt,
wobei die Schicht ein Verhältnis der mittleren Teil chengröße RB der groben Teilchen zu der mittleren Teil chengröße RA der feinen Teilchen von 30 : 1 oder darüber besitzt, wobei vorgesehen ist, daß der Wert von RB/RA gleich 10 oder größer ist, wenn der Wert von (ε × d)/L innerhalb eines Bereichs von 2,0 × 10-5 bis 30 × 10-5 liegt, wobei ε, d und L entsprechend eine Porosität, eine mittlere Porengröße in µm und eine Dicke in µm der Schutzschicht bezeichnen, und ein Gehalt WA an feinen Teilchen in der Schutzschicht in Bezug auf die Gesamt heit W des Gehalts WA der feinen Teilchen und des Gehaltes WB der groben Teilchen gewichtsbezogen im Bereich von 15 bis 80% liegt.
7. Sauerstoffkonzentrations-Meßvorrichtung gemäß An
spruch 6, dadurch gekennzeichnet, daß die Porosität ε
innerhalb eines Bereichs von 50% oder darunter liegt.
8. Sauerstoffkonzentrations-Meßvorrichtung gemäß An
spruch 6, dadurch gekennzeichnet, daß die mittlere
Porengröße d in der Schutzschicht innerhalb eines
Bereichs von 0,01 bis 0,3 µm liegt.
9. Sauerstoffkonzentrations-Meßvorrichtung gemäß An
spruch 6, dadurch gekennzeichnet, daß der Wert von
RB/RA gleich 10 oder mehr ist, unter der Maßgabe, daß
der Wert von ε so ist, daß 15% < ε < 50%, und der Wert von
(ε × d) innerhalb eines Bereichs von 5 × 10-3 oder
darüber liegt.
10. Sauerstoffkonzentrations-Meßvorrichtung gemäß An
spruch 6, dadurch gekennzeichnet, daß das Brennen bei
einer Temperatur im Bereich von 500 bis 1000°C durchge
führt wird.
11. Sauerstoffkonzentrations-Meßvorrichtung gemäß An
spruch 6, dadurch gekennzeichnet, daß das Verfahren
ferner das Ausbilden einer Plasma-sprühaufbeschichteten
Schicht auf der äußeren Elektrode mittels Plasma-Sprüh
beschichten mit einem wärmebeständigen Metalloxid
vor der Ausbildung der Schutzschicht umfaßt.
12. Sauerstoffkonzentrations-Meßvorrichtung gemäß An
spruch 11, dadurch gekennzeichnet, daß die Plasma-sprüh
aufbeschichtete Schicht in einer Dicke von 30 bis
100 µm ausgebildet wird.
13. Verfahren zur Herstellung einer Sauerstoffkonzentra
tions-Meßvorrichtung mit:
einem festen Elektrolytkörper;
einer auf einer Innenseite des festen Elektrolytkör pers ausgebildeten und einer von außen zugeführten Luft ausgesetzten inneren Elektrode;
einer auf einer Außenseite des festen Elektrolytkör pers ausgebildeten und einem zu messenden Gas ausge setzten äußeren Elektrode; und
einer auf der äußeren Elektrode ausgebildeten Schutzschicht,
wobei die Schutzschicht eine Struktur besitzt, welche grobe Teilchen und in den zwischen den groben Teilchen gebildeten Zwischenräumen gepackte feine Teilchen einschließt, wobei man bei dem Verfahren:
eine durch Dispergieren von wärmebeständigen groben Teilchen und feinen Teilchen in einem flüssigen Medium erhaltene Aufschlämmung auf der äußeren Elek trode abscheidet;
die abgeschiedene Aufschlämmung trocknet; und
die erhaltene Schicht brennt,
wobei die Schutzschicht eine solche Struktur besitzt, bei der die groben Teilchen und die feinen Teilchen durch ein von einem anorganischen Bindemittel abgelei tetes Metalloxid miteinander verbunden sind, wobei die ursprünglichen Formen der groben Teilchen und der fei nen Teilchen im wesentlichen erhalten bleiben.
einem festen Elektrolytkörper;
einer auf einer Innenseite des festen Elektrolytkör pers ausgebildeten und einer von außen zugeführten Luft ausgesetzten inneren Elektrode;
einer auf einer Außenseite des festen Elektrolytkör pers ausgebildeten und einem zu messenden Gas ausge setzten äußeren Elektrode; und
einer auf der äußeren Elektrode ausgebildeten Schutzschicht,
wobei die Schutzschicht eine Struktur besitzt, welche grobe Teilchen und in den zwischen den groben Teilchen gebildeten Zwischenräumen gepackte feine Teilchen einschließt, wobei man bei dem Verfahren:
eine durch Dispergieren von wärmebeständigen groben Teilchen und feinen Teilchen in einem flüssigen Medium erhaltene Aufschlämmung auf der äußeren Elek trode abscheidet;
die abgeschiedene Aufschlämmung trocknet; und
die erhaltene Schicht brennt,
wobei die Schutzschicht eine solche Struktur besitzt, bei der die groben Teilchen und die feinen Teilchen durch ein von einem anorganischen Bindemittel abgelei tetes Metalloxid miteinander verbunden sind, wobei die ursprünglichen Formen der groben Teilchen und der fei nen Teilchen im wesentlichen erhalten bleiben.
14. Verfahren gemäß Anspruch 13, dadurch gekennzeichnet,
daß die Schutzschicht ein Verhältnis einer mittleren
Teilchengröße RB der groben Teilchen zu einer mittleren
Teilchengröße RA der feinen Teilchen von 30 : 1 oder mehr
besitzt, wobei vorgesehen ist, daß der Wert von RB/RA
gleich 10 oder mehr ist, wenn der Wert von (ε × d)/L
innerhalb eines Bereichs von 2,0 × 10-5 bis 30 × 10-5
liegt, wobei ε, d und L entsprechend eine Porosität,
eine mittlere Porengröße in µm und eine Dicke in µm der
Schutzschicht bezeichnen, und ein Gehalt WA der feinen
Teilchen in der Schutzschicht bezogen auf die Gesamt
heit W des Gehalts WA der feinen Teilchen und des Ge
halts WB der groben Teilchen gewichtsbezogen im Bereich
von 15 bis 80% liegt.
15. Verfahren gemäß Anspruch 14, dadurch gekennzeichnet,
daß die Porosität E innerhalb eines Bereichs von 50%
oder darunter liegt.
16. Sauerstoffkonzentrations-Meßvorrichtung gemäß An
spruch 14, dadurch gekennzeichnet, daß die mittlere Po
rengröße d in der Schutzschicht innerhalb eines Be
reichs von 0,01 bis 0,3 µm liegt.
17. Sauerstoffkonzentrations-Meßvorrichtung gemäß An
spruch 14, dadurch gekennzeichnet, daß der Wert von
RB/RA gleich 10 oder größer ist, unter der Maßgabe, daß
der Wert von ε so ist, daß 15% < ε < 50%, und der Wert von
(ε × d) innerhalb eines Bereichs von 5 × 10-3 oder
darüber liegt.
18. Sauerstoffkonzentrations-Meßvorrichtung gemäß An
spruch 14, dadurch gekennzeichnet, daß das Brennen bei
einer Temperatur im Bereich von 500 bis 1000°C durchge
führt wird.
19. Sauerstoffkonzentrations-Meßvorrichtung gemäß An
spruch 14, dadurch gekennzeichnet, daß das Verfahren
ferner das Ausbilden einer Plasma-sprühaufbeschichteten
Schicht auf der äußeren Elektrode mittels Plasma-Sprüh
beschichtung mit einem wärmebeständigen Metalloxid vor
der Ausbildung der Schutzschicht umfaßt.
20. Sauerstoffkonzentrations-Meßvorrichtung gemäß An
spruch 19, dadurch gekennzeichnet, daß die Plasma-sprühauf
beschichtete Schicht in einer Dicke von 30 bis 100 µm aus
gebildet ist.
Applications Claiming Priority (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP8-39012 | 1996-01-31 | ||
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Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
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DE19703662B4 DE19703662B4 (de) | 2005-08-25 |
Family
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Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE19703662A Expired - Lifetime DE19703662B4 (de) | 1996-01-31 | 1997-01-31 | Sauerstoffkonzentrations-Meßvorrichtung und Verfahren zu deren Herstellung |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US5766434A (de) |
DE (1) | DE19703662B4 (de) |
FR (1) | FR2744220B1 (de) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE10052005A1 (de) * | 2000-10-20 | 2002-05-08 | Bosch Gmbh Robert | Meßfühler für Gase |
DE102005058194A1 (de) * | 2005-12-06 | 2007-06-21 | Testo Ag | Schutzeinrichtung für einen Sensor zur Messung von Parametern eines Fluids |
Families Citing this family (20)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH11166911A (ja) * | 1997-12-04 | 1999-06-22 | Denso Corp | 空燃比センサ |
WO2001031324A1 (fr) * | 1999-10-27 | 2001-05-03 | Ngk Spark Plug Co., Ltd. | Detecteur d'oxygene et procede de fabrication d'un element de detection |
JP2002071632A (ja) | 2000-06-12 | 2002-03-12 | Denso Corp | ガスセンサ素子 |
JP3801011B2 (ja) * | 2000-12-07 | 2006-07-26 | 株式会社デンソー | ガスセンサ素子 |
US7211180B2 (en) * | 2003-02-10 | 2007-05-01 | Robert Bosch Corporation | Contamination-resistant gas sensor element |
US20090101502A1 (en) * | 2003-02-10 | 2009-04-23 | Robert Bosch Gmbh | Thermal Shock Resistant Gas Sensor Element |
US8906214B2 (en) * | 2003-02-10 | 2014-12-09 | Robert Bosch Gmbh | Contamination-resistant gas sensor element |
EP1950558B1 (de) | 2007-01-16 | 2019-04-03 | NGK Spark Plug Co., Ltd. | Gassensor |
JP2009008435A (ja) * | 2007-06-26 | 2009-01-15 | Nippon Soken Inc | ガスセンサ素子 |
JP2010237044A (ja) * | 2009-03-31 | 2010-10-21 | Ngk Insulators Ltd | ガスセンサの製造方法、ガスセンサ、およびガスセンサに備わる積層構造 |
JP2011017078A (ja) * | 2009-06-10 | 2011-01-27 | Denso Corp | 溶射膜の形成方法 |
JP5005745B2 (ja) * | 2009-09-04 | 2012-08-22 | 日本特殊陶業株式会社 | 積層型ガスセンサ素子、積層型ガスセンサ素子を備えたガスセンサ、及び、積層型ガスセンサ素子の製造方法 |
KR20110065622A (ko) * | 2009-12-10 | 2011-06-16 | 삼성전기주식회사 | 적층 세라믹 커패시터 |
US9297791B2 (en) | 2012-12-20 | 2016-03-29 | Robert Bosch Gmbh | Gas sensor with thermal shock protection |
JP6359373B2 (ja) | 2013-09-05 | 2018-07-18 | 日本特殊陶業株式会社 | ガスセンサ素子及びガスセンサ |
JP5888301B2 (ja) * | 2013-09-06 | 2016-03-22 | トヨタ自動車株式会社 | 内燃機関の制御方法 |
CN103913497A (zh) * | 2014-04-17 | 2014-07-09 | 常州联德电子有限公司 | 车用氧传感器抗铅中毒的保护涂层及其制备方法 |
US10228346B2 (en) | 2014-12-04 | 2019-03-12 | Ngk Insulators, Ltd. | Gas sensor element and gas sensor |
JP6872476B2 (ja) * | 2017-12-27 | 2021-05-19 | 日本特殊陶業株式会社 | センサ素子及びガスセンサ |
JP7215284B2 (ja) * | 2019-03-26 | 2023-01-31 | 株式会社デンソー | 固体電解質、ガスセンサ |
Family Cites Families (15)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS51145390A (en) * | 1975-06-10 | 1976-12-14 | Nissan Motor Co Ltd | Manufacturing method of a coated layer of oxygen senser |
JPS5367495A (en) * | 1976-11-29 | 1978-06-15 | Hitachi Ltd | Oxygen concentration detector |
JPS5824855A (ja) * | 1981-08-05 | 1983-02-14 | Nippon Denso Co Ltd | 酸素濃度検出器 |
US4915814A (en) * | 1987-09-30 | 1990-04-10 | Hitachi, Ltd. | Sensor for measurement of air/fuel ratio and method of manufacturing |
US5310575A (en) * | 1987-11-03 | 1994-05-10 | Robert Bosch Gmbh | Method of making a porous ceramic protective layer on an electrode of an electrochemical sensor for exposure to hot gas |
DE3737215A1 (de) * | 1987-11-03 | 1989-05-24 | Bosch Gmbh Robert | Elektrochemischer messfuehler |
JPH01227955A (ja) * | 1988-03-09 | 1989-09-12 | Hitachi Ltd | 空燃比検出器 |
JP2514701B2 (ja) * | 1988-12-02 | 1996-07-10 | 日本特殊陶業株式会社 | 酸素センサ |
DE4004172C2 (de) * | 1989-02-14 | 1998-06-04 | Ngk Spark Plug Co | Sauerstoffsensor zur Luft-Brennstoffgemisch-Kontrolle mit einer Schutzschicht, die eine Sauerstoff einschließende Substanz umfaßt, und Verfahren zur Herstellung des Sensors |
US5486279A (en) * | 1989-10-17 | 1996-01-23 | Robert Bosch Gmbh | Electrochemical measuring probe |
JP2766029B2 (ja) * | 1990-03-12 | 1998-06-18 | 日本碍子株式会社 | セラミックグリーンシート材及び電気化学的素子並びにその製造方法 |
JP2748809B2 (ja) * | 1992-12-10 | 1998-05-13 | 株式会社デンソー | ガス検出器 |
JP3443962B2 (ja) * | 1993-09-14 | 2003-09-08 | 株式会社デンソー | 酸素濃度検出器およびその製造方法 |
JP3475548B2 (ja) * | 1994-04-19 | 2003-12-08 | 株式会社デンソー | 層状セラミックス体、並びに酸素センサ及びその製法 |
US5593558A (en) * | 1994-06-09 | 1997-01-14 | Nippondenso Co., Ltd. | Oxygen concentration detector |
-
1997
- 1997-01-31 FR FR9701046A patent/FR2744220B1/fr not_active Expired - Fee Related
- 1997-01-31 DE DE19703662A patent/DE19703662B4/de not_active Expired - Lifetime
- 1997-01-31 US US08/797,652 patent/US5766434A/en not_active Expired - Lifetime
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE10052005A1 (de) * | 2000-10-20 | 2002-05-08 | Bosch Gmbh Robert | Meßfühler für Gase |
DE10052005C2 (de) * | 2000-10-20 | 2002-11-21 | Bosch Gmbh Robert | Meßfühler für Gase |
DE102005058194A1 (de) * | 2005-12-06 | 2007-06-21 | Testo Ag | Schutzeinrichtung für einen Sensor zur Messung von Parametern eines Fluids |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
FR2744220A1 (fr) | 1997-08-01 |
US5766434A (en) | 1998-06-16 |
FR2744220B1 (fr) | 1999-09-10 |
DE19703662B4 (de) | 2005-08-25 |
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