DE19702752C2 - Ansteuersystem für einen Scannerantrieb - Google Patents
Ansteuersystem für einen ScannerantriebInfo
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Description
Die Erfindung bezieht sich auf ein Ansteuersystem für einen
Scannerantrieb, insbesondere für ein Laserscannmikroskop,
mit einem Schwingmotor zum Antreiben eines Schwingspiegels,
der zur linear oszillierenden Ablenkung eines Strahlenbün
dels dient, mit einer Ansteuereinheit zur Speisung des
Schwingmotors mit einem Erregerstrom, der hinsichtlich der
Ansteuerfrequenz, der Frequenzkurve und der Amplitude ver
änderbar ist, mit einem Funktionsgenerator, der mit der An
steuereinheit verbunden ist und mit einem Meßwertaufnehmer
zur Gewinnung einer Folge von Informationen über die Ab
lenkpositionen des Schwingspiegels sowie mit einer Rechen
einheit zur Ermittlung von Korrekturwerten für den Erreger
strom aus einem Ist-Sollwertvergleich der Ablenkposition.
In der Technik sind optische Geräte mit Scanneinrichtungen,
darunter Laserscannmikroskope, im Prinzip bekannt. Als
Strahlungsquelle findet charakteristischerweise ein Laser
Verwendung, der Licht entlang eines Strahlenganges auf ei
nen kleinen Lichtpunkt, in der Regel als Pixel bezeichnet,
in der Bildebene fokussiert. Auf diese Weise wird nahezu
das gesamte Laserlicht zu diesem einzigen Zielpunkt ge
führt.
Die Scannereinrichtung eines solchen Gerätes dient dazu,
sowohl das vom Laser kommende als auch das von der Objekt
ebene reflektierte Licht linear abzulenken und dabei den
Lichtpunkt in der Bildebene bzw. in der Objektebene zu be
wegen. Eine Rasterabtasteinrichtung, die synchron zu dem
Scanner angesteuert wird, gibt das resultierende Detek
torausgangssignal als Bildinformation aus.
Es ist bekannt, zur oszillierenden Ablenkung des Strahlen
gang elektromechanisch angetriebene Spiegel vorzusehen und
den Strahlengang so abzulenken, daß der Zielpunkt sich in
Richtung einer Achse bewegt, die als X-Achse bezeichnet
werden soll. Dabei kann der Spiegel das Laserbündel auf ei
nen in gleicher Weise angetriebenen zweiten Spiegel lenken,
der eine Bewegung des Zielpunktes in Richtung einer ortho
gonalen Achse, der Y-Achse, veranlaßt.
Nachfolgend soll die Ablenkung in der X-Achse näher be
trachtet werden. Obwohl die verwendeten Ablenkspiegel von
geringer Größe und damit auch von geringer Masse sind, be
stehen die Schwierigkeiten derartiger Scanneinrichtungen
immer wieder darin, schnelle und genaue Spiegelbewegungen
zum Zweck einer guten Bildlinearität bei kurzer Bildaufbau
zeit zu erzeugen. Ursache dafür ist, daß die Spiegelbewe
gung bzw. der Strahlengang dem von der Ansteuereinheit aus
gegebenen Antriebssignal aufgrund verschiedener Störein
flüsse nur mehr oder weniger getreu folgt. Für eine
hochleistungsfähige Scanneinrichtung genügt das nicht; hier
ist stets die Forderung nach einer hohen Abtastfrequenz zu
erfüllen ebenso wie der Anspruch, daß der Zielpunkt eine
konstante Geschwindigkeit über die gesamte Ablenkphase bei
behält.
Um eine möglichst lineare Antriebscharakteristik für den
Ablenkspiegel zu erhalten, wird in der Ansteuereinheit ein
Ansteuersignal mit einer Dreieckwelle erzeugt. Die Phasen
und die Amplitude eines solchen Antriebssignales bilden die
Grundvoraussetzung dafür, daß die Ablenkung lineare Bewe
gung des Zielpunktes in Abhängigkeit von der Zeit annähert.
Zum Zweck der resultierenden Annäherung einer Dreieckwelle
werden im bekannten Stand der Technik die harmonische Ana
lyse, d. h. die Bestimmung von Fourierkoeffiziente, benutzt.
Eine solche Scanneinrichtung mit zugehöriger Ansteu
ereinheit ist z. B. beschrieben in der DE-OS 43 22 694. Hier
werden Ansteuersignale auf der Grundlage von zwei der Fou
rierkomponenten erzeugt, mit dem Ergebnis einer verhältnis
mäßig guten resultierenden Annäherung an eine Dreieckwelle.
Nachteiligerweise führt die hier dargestellte Art der An
steuerung nicht zu zufriedenstellenden Ergebnissen, da die
beiden Frequenzen vom Scanner nach Amplitude und Phase un
terschiedlich behandelt werden. Das ist selbst dann der
Fall, wenn weitere Harmonische der Grundfrequenz zur weite
ren Korrektur genutzt werden. Anders formuliert heißt das,
daß die hier vorgeschlagene Lösung nicht ausreichend ist,
die gewünschte Linearisierung zu realisieren.
In der vorgenannten Veröffentlichung sind zur Ablenkung des
Laserstrahles in der X-Achse zwei Resonanzscanner sowie ein
Galvanometerscanner vorgesehen, wobei letzterer dazu be
nutzt wird, eine Gleichstromschwenkbewegung auf die Reso
nanzbewegung zu überlagern, welche die Resonanzscanner lie
fern. Bekanntermaßen wird die Schwenkbewegung eines Reso
nanzscanners weitgehend durch den Austausch von Energie
zwischen der Bewegung einer Masse, insbesondere des Spie
gels, und der Ablenkung eines elastischen Gliedes, etwa ei
ner Feder, verursacht, an dem die Masse befestigt ist.
Abweichend von dem bisher beschriebenen Aufbau, nach dem
innerhalb der Scanneinrichtung mehrere getrennte Scanner
mit jeweils einer einzigen Resonanzfrequenz betrieben wer
den, ist es bekannt, einen einzigen Scanner mit mehreren
Resonanzfrequenzen zu betreiben. So ist beispielsweise in
der US-PS 4 859 846 die Arbeitsweise eines Scanners be
schrieben, der mit einem Spiegel arbeitet und für diesen
Scanner durch ein entsprechendes Ansteuersystem mehrere Re
sonanzfrequenzen erzeugt. Auch bei letzterem handelt es
sich um ein Resonanzscannersystem. Auch diese Lösung ist
nicht dazu geeignet, den Nachteil zu beseitigen, daß die
tatsächliche Ablenkposition von der durch das Ansteuersi
gnal vorgegebenen Position aufgrund verschiedener Störein
flüsse, wie z. B. äußere Temperaturbeeinflussung, mate
rialbedingte Einflußgrößen usw. verfälscht wird.
In einer Veröffentlichung der Zeitschrift Lasermagazin,
Heft 3, Erscheinungsjahr 1986, ist ein Galvanometerscanner
beschrieben, bei dem ein auf einer drehbar gelagerten Achse
befestigter Spiegel durch magnetische Kräfte abgelenkt
wird. Zum Zweck einer hohen Winkelauflösung werden von ei
nem starr mit der Achse verbundenen Positionssensor die
Istwerte der Winkelposition des Spiegels für einen Regel
kreis bereitgestellt. Hier wird zwar ein Ist-Sollwertver
gleich der Ablenkposition des Spiegels vorgenommen, aller
dings ist das hier beschriebene Regelsystem unter Zugrunde
legung der Meßergebnisse eines Positionssensors mit Fehlern
behaftet und genügt insofern nicht den Genauigkeitsanforde
rungen für die Anwendung in hochwertigen Laserscannmikro
skopen.
Dies betrifft in gleicher Weise die Veröffentlichungen zur
Scanneransteuerung von H. Vahldiek, "Elektronische Signal
verarbeitung", Verlag Oldenbourg München 1977, Seiten 220
bis 221; die US-Patentschrift 4,800,270 und die Darstellun
gen in GIT, Fachzeitschrift Lab. 28, Erscheinungsjahr 1984,
Seiten 765-773.
Der Erfindung liegt deshalb die Aufgabe zugrunde, das An
steuersystem für einen Scannerantrieb der vorbeschriebenen
Art so weiterzubilden, daß unter Beibehaltung der vorteil
haften Erzeugung eines Ansteuersignales auf der Grundlage
einer Dreieckwelle die Genauigkeit der tatsächlichen Ab
lenkposition bzw. der Linearität der Ablenkung erhöht wird.
Erfindungsgemäß wird die Aufgabe dadurch gelöst, daß in der
Recheneinheit Rechenschaltungen vorgesehen sind zur Umset
zung der Informationen über die Ablenkpositionen des
Schwingspiegels nach Amplitude und Phase des Scanners, be
zogen auf eine Vielzahl von Ansteuerfrequenzen; zur Ermitt
lung der Werte von k1 . . . kn und ϕ1 . . . ϕn für die zu einer
Ansteuerfrequenz gehörenden Fourierfrequenzen der Reihe
y = 4/π . [k1sin(x + ϕ1) - k2sin(3x + ϕ2)/32 + k3sin(5x + ϕ3)/52 - +
. . .
mit y der Ablenkposition, mit k1 bis kn den Korrekturfakto
ren, x dem Sollphasenwinkel und ϕ1 bis ϕn den Antwortpha
senwinkeln bei den Frequenzen der Fourierkoeffizienten und
zur Modellierung einer korrigierten Ansteuerfunktion, die
die Abweichungen beim Vergleich von tatsächlich erreichter
Ablenkposition mit der gewünschten Ablenkposition berück
sichtigt.
Mindestens ein Signalausgang des Funktionsgenerators sollte
zwecks Übermittlung von Referenz- und Vergleichssignalen
mit einem zugeordneten Signalausgang der Recheneinheit ver
knüpft sein. Damit wäre gewährleistet, daß in der Rechen
einheit auch die Ansteuerfrequenzen zur Verfügung stehen,
die einem Vergleich mit der tatsächlichen Ablenkung des
Spiegels bzw. mit der Antwort des Spiegels nach Amplitude
und Phase auf die Ansteuerfrequenz zugrunde zulegen sind.
Die mit der ersten Rechenschaltung zur Umsetzung der Infor
mationen über die Ablenkpositionen des Schwingspiegels nach
Amplitude und Phase des Scannerantriebes ermittelten Ergebnisse
können in Form eines Bode-Diagrammes dargestellt wer
den.
Mit der zweiten Rechenschaltung ist es möglich, die Fou
rierkoeffizienten k1 bis kn und die Antwortphasenwinkel bei
den Frequenzen der Fourierkoeffizienten ϕ1 bis ϕn aus dem
Bodediagramm für beliebige Scanfrequenzen zu berechnen und
daraus weiterhin die Ansteuerfunktion nach der oben angege
benen Fourierreihe zu synthetisieren.
Die dritte Rechenschaltung zur Modellierung einer korri
gierten Ansteuerfunktion aus dem Vergleich von tatsächlich
erreichter Ablenkposition mit der gewünschten Ablenkpositi
on erlaubt die Modellierung einer korrigierten Ansteuer
funktion auf der Grundlage von Korrekturwerten, die aus
diesem Vergleich abgeleitet werden. Dazu werden der Ansteu
erfunktion bei kleinen Fehlern pixelweise die Fehler entge
gengesetzt und bei großen Phasenfehlern für die einzelnen
Fourierkoeffizienten die Abweichungen Δϕ1 bis etwa Δϕ5 ge
genüber den zuvor berechneten aufgeschaltet.
Die unter Berücksichtigung der Korrekturwerte in der Re
cheneinheit errechneten korrigierten Ansteuerbefehle werden
zu entsprechenden Datensätzen zusammengestellt, an den
Funktionsgenerator weitergeleitet und dort zunächst gespei
chert. Mit dieser Berücksichtigung von Korrekturwerten für
die 1. bis etwa 5. Frequenz der Fourierreihe ist eine hoch
genaue Korrektur der Ansteuerfunktion gewährleistet.
In einer weiteren bevorzugten Ausgestaltung der Erfindung
ist vorgesehen, daß im Signalweg zwischen dem Meßwertauf
nehmer und der Recheneinheit ein Analog-Digital-Wandler und
im Signalweg zwischen dem Funktionsgenerator und der An
steuereinheit zur Speisung des Schwingantriebes ein Digital-Analog-Wandler
vorgesehen sind. Dabei kann die Aufgabe
der Wandlung von einem digitalen Signalprozessor übernommen
werden. Damit ist eine Wandlung der vom Meßwertaufnehmer
abgegebenen analogen Signale in die von der Recheneinheit
geforderten digitalen Signale und entsprechend eine Wand
lung der vom Funktionsgenerator ausgegebenen digitalen An
steuerfunktion eine Wandlung in analoge Signale zur Bereit
stellung für die Ansteuereinheit gewährleistet.
Weiterhin sollten vorteilhafterweise die Recheneinheit, der
Funktionsgenerator, der Analog-Digital-Wandler wie auch der
Digital-Analog-Wandler jeweils mit einem Taktgenerator ver
bunden sein. Damit ist es möglich, die vom Meßwertaufnehmer
gelieferten Informationen der Antwortfrequenz an die Re
cheneinheit sowie die Weitergabe der korrigierten Ansteuer
befehle an den Funktionsgenerator und die Ansteuerbefehle
für den folgenden Scannvorgang synchronisiert weiterzuge
ben.
Als Schwingmotor sollte ein galvanischer Antrieb vorgesehen
sein. Damit ist eine definierte, vom Erregerstrom vorgege
bene Schwingbewegung des Schwingspiegels realisierbar. Als
Meßwertaufnehmer sollte ein Winkelmeßsystem, beispielsweise
mit kapazitiver oder optischer Grundfunktion, vorgesehen
sein. Dieses Winkelmeßsystem sollte so ausgelegt sein, daß
es zur Erfassung von Positionswerten des Schwingspiegels in
beiden Scannrichtungen, d. h. sowohl für den Vor- als auch
für Rücklauf des galvanischen Antriebes, ausgelegt ist.
Daraus ergibt sich vorteilhaft, daß Vor- und Rücklauffunk
tionen über den digitalen Signalprozessor am Eingang der
Recheneinheit anliegen und so eine etwa halbierte Bildauf
bauzeit im Vergleich zu einem Scannvorgang in nur einer
Richtung realisierbar ist, d. h. Vor- und Rücklauf der Scan
nerbewegung wird nutzbar; eventuell noch vorhandene kleinere
Abweichungen können für den Vor- und Rücklauf identisch
gemacht werden.
Die Erfindung soll nachfolgend an einem Ausführungsbeispiel
näher erläutert werden. In den zugehörigen Zeichnungen zei
gen
Fig. 1 ein Prinzipschaltbild des erfindungsgemäßen An
steuersystems
Fig. 2 den Verlauf einer unkorrigierten Steuerspannung
für eine Bildaufbauzeit < 1 s
Fig. 3 den Verlauf der korrigierten Steuerspannung für
die Bildaufbauzeit < 1 s
Gemäß dem Ausführungsbeispiel nach Fig. 1 sind in einem
Scanner 1 ein galvanischer Antrieb 2, ein Schwingspiegel 3,
der über eine mechanische Verbindung 9 mit dem galvanischen
Antrieb 2 gekoppelt ist, eine Ansteuereinheit 4, deren Aus
gang mit dem Steuereingang des galvanischen Antriebes 2 in
Verbindung steht sowie ein kapazitives Winkelmeßsystem 7,
das zur Ermittlung der phasenabhängigen Spiegelposition
dient, vorgesehen. Weiterhin ist ein Funktionsgenerator 5
vorhanden, der über einen Signalweg 16 mit dem Signalein
gang eines digitalen Signalprozessors 6 verbunden ist, wäh
rend der Ausgang des Signalprozessors 6 über einen Signal
weg 17 am Befehlseingang der Ansteuereinheit 4 anliegt. Ein
erster Ausgang des kapazitiven Winkelmeßsystems 7 ist über
eine Regelstrecke 8 mit einem Steuereingang der Ansteuer
einheit 4 verbunden.
Die Ansteuereinheit 4 ist so ausgelegt, daß sie den galva
nischen Antrieb 2 mit einem Erregerstrom speist, der hin
sichtlich seiner Frequenz, seiner Schwingungsform und sei
ner Amplitude variabel ist. Der Funktionsgenerator 5 ist so
ausgelegt, daß er mehrere verschiedene Frequenzen ausgeben
kann, die einzeln ausgewählt über den Signalweg 16, den di
gitalen Signalprozessor 6 und den Signalweg 17 in der An
steuereinheit 4 der Steuerspannung für den galvanischen An
trieb 2 aufgeprägt werden können. Der Steuerspannung wird
dabei eine synthetische Dreieckspannung (vgl. Fig. 2 und
Fig. 3) zugrunde gelegt, die nur Frequenzen enthält, die der
galvanische Antrieb 2 verarbeiten kann. Für den konkreten
Fall sei beispielhaft angenommen, daß im Funktionsgenera
tor 5 zweiundvierzig verschiedene Frequenzen bis zu max.
5 kHz zum Abruf bereitstehen.
Beim Betreiben dieser Anordnung überträgt der galvanische
Antrieb 2 jede der im Erregerstrom bzw. in der Steuerspan
nung enthaltene Frequenz über die mechanische Verbindung 9
auf den Schwingspiegel 3, da jeweils die Grundfrequenz und
alle Oberwellen eine mit der zugehörigen Verstärkung und
Phasenverschiebung veränderte Antwort hervorrufen, die sich
in einer entsprechend geänderten Ablenkposition des
Schwingspiegels 3 äußert, wobei die jeweilige Ablenkpositi
on einer Position des Laserstrahles bei seinem Weg über ei
ne in X-Richtung abgetastete Zeile entspricht. Beispielhaft
sei angenommen, daß bei jedem Weg über die X-Richtung 1.200
Ablenkpositionen abzutasten sind, denen je ein Bildpunkt in
der Objektebene zugeordnet ist.
Die jeweils vom Schwingspiegel 3 eingenommene Ablenkpositi
on entspricht einem vom kapazitiven Winkelmeßsystem 7 dar
gestellten Positionswert, der über die Regelstrecke 8 wie
der der Ansteuereinheit 4 zugeführt und dort im Falle einer
Soll-/Ist-Abweichung der Spiegelposition von der vorgegebe
nen bzw. ideal gewünschten Ablenkposition sofort zur Kor
rektur des Ansteuersignales für die folgende Ansteuerung
des galvanischen Antriebes 2 genutzt wird. Dieser an sich
bekannte Vorgang entspricht einer herkömmlichen Regelung.
Um nun sehr kurze Bildaufbauzeiten, insbesondere im Bereich
von < 1 s, verwirklichen zu können, kommt es aber darauf an,
daß die zur Verfügung gestellte und die Scannbewegung aus
lösende synthetische Dreieckspannung weitestgehend dem Ant
wortverhalten des Scanners nach Amplitude und Phase anzu
passen ist, so daß aufgrund des Steuerspannungsverlaufes
eine hochgenaue Ablenkung des Schwingspiegels 3 gewährlei
stet wird. Das bedeutet, den Übertragungsfaktor der Ansteu
erfunktion bezüglich der Antwortbewegung möglichst dem
Wert 1 zu nähern und damit die Abweichung zwischen Ansteu
erfunktion und Antwortbewegung auf ein Mindestmaß, etwa
≦ 0,5 Pixel, zu beschränken. Um das zu erreichen, wurde das
bisher dargestellte Ansteuersystem, das auf einer Regelung
der Ansteuerfrequenz beruht, erfindungsgemäß ergänzt mit
einer Recheneinheit 13, deren Befehlseingang über den
Signalweg 12, einen zweiten digitalen Signalprozessor 11
und den Signalweg 10 mit einem zweitem Ausgang des kapazi
tiven Winkelmeßsystems 7 verbunden ist. Der Ausgang der Re
cheneinheit 13 ist über einen Signalweg 14 mit einem An
steuereingang des Funktionsgenerators 5 verbunden. Eine
weitere Kopplung zwischen dem Funktionsgenerator 5 und der
Recheneinheit 13 besteht durch den Signalweg 15 zur Über
tragung von Referenz- und Vergleichssignalen vom Funktions
generator 5 zur Recheneinheit 13. Außerdem ist ein Taktge
nerator 18 vorgesehen, der über den Signalweg 19 mit dem
zweiten digitalen Signalprozessor 11, über den Signalweg 20
mit der Recheneinheit 13, über den Signalweg 24 mit dem
Funktionsgenerator 5 und über den Signalweg 21 mit dem er
sten digitalen Signalprozessor 6 verbunden ist.
Vor der Aufnahme des eigentlichen Scannbetiebes, beispiel
haft in einem Laserscannmikroskop, ist es mit dieser Schal
tungsanordung zunächst möglich, das gesamte Ansteuersystem
auf Systemfehler zu prüfen und unter Berücksichtigung von
Systemfehlern so zu kalibrieren, so daß eine hochgenaue Ab
lenkung des Schwingspiegels 3 in Abhängigkeit von der vor
gegebenen Frequenz möglich ist. Zum Zweck dieses als Kali
brierung bezeichneten Ablaufes werden zunächst nacheinander
alle vom Funktionsgenerator 5 bereitgestellten 42 Frequen
zen abgerufen und mit diesen Frequenzen Scannvorgänge aus
gelöst. Die digitalen Signalprozessoren 6 und 11, der Funk
tionsgenerator 5 sowie die Recheneinheit 13 werden dabei
vom Taktgenerator 18 synchronisiert. Die von der Rechenein
heit 13 aufgenommene Antwort wird ausgewertet und in Form
eines Bode-Diagrammes analysiert, wobei das Bode-Diagramm
für jede Frequenz der Fourierkoeffizienten die Ermittlung
eines Phasenwinkels und eines zugeordneten Übertragungsfak
tors ermöglicht. Auf der Grundlage der ermittelten Phasen
winkel und der Übertragungsfaktoren ist die Synthese von
Ansteuerfunktionen für Scannerfrequenzen in einem weiten
Bereich (1/64 Hz . . . ≈ 600 Hz) möglich, die zu einer korri
gierten Ansteuerfrequenz für den galvanischen Antrieb 2 mit
der vom kapazitiven Winkelmeßsystem 7 genutzt werden. Die
auf diese Weise sythetisierten Datensätze für eine Schwin
gung der Dreieckwelle werden im Funktionsgenerator 5 abge
legt und können von dort zyklisch abgerufen werden. Auf
diese Weise stehen als Ergebnis des Kalibrierschrittes im
Funktionsgenerator 5 Datensätze zur Verfügung, die die Ei
genschaften des Scannsystemes berücksichtigen. Mit diesen
Datensätzen ist festgelegt, wie der Scannantrieb angesteu
ert werden muß, um die gewünschte hochgenaue periodische
Ablenkung zu erhalten.
Mit dem nun möglichen genauen Scannbetrieb werden weiterhin
für jeden einzelnen der 1.200 Ablenkpunkte des Laserstrah
les durch Auswertung der Rückmeldung über das kapazitive
Winkelmeßsystem 7, analog zu dem vorbeschriebenen Kali
brierschritt, die Abweichungen zur idealen Ablenkposition
ermittelt, daraus korrigierte Ansteuerbefehle gewonnen und
im Funktionsgenerator abgelegt. Von dort erfolgt entspre
chend der vom Taktgenerator vorgegebenen Taktfrequenz zy
klisch die Abfrage und Weiterverarbeitung der korrigierten
Ansteuer-Datensätze zur Erzielung hochgenauer Scannpositio
nen.
In Fig. 2 ist die unkorrigierte Steuerspannung für ein kon
kretes System in Form einer synthetischen Dreieckspannung
für den Scannvorgang mit einer Bildaufbauzeit von 0,75 s
dargestellt. Dabei zeigt die Länge z die Abmessung einer in
X-Richtung abzutastenden Zeile. Außerdem ist die Dreieck
welle 22 für die Ansteuerspannung und die Dreieckwelle 23
für die Antwortbewegung zu erkennen. Es ist ersichtlich,
daß die Dreieckwelle 23 ihren Nulldurchgang nicht bei z/2
hat, d. h. der Schwingspiegel 3 und damit der abgelenkte
Laserstrahl folgen nicht exakt der mit der Dreieckwelle 22
vorgegebenen Ansteuerspannung.
Fig. 3 zeigt die Situation nach erfolgter Korrektur. Die
Dreieckwelle 23 der Antwortbewegung ist insbesondere an der
Flanke nahe den Umkehrpunkten geglättet und hat außerdem
ihren Nulldurchgang nunmehr genau bei z/2.
Mit dieser erfindungsgemäßen Schaltungsanordnung sind syn
thetische Dreieckspannungen realisierbar, die eine hohe
Spiegelsymmetrie aufweisen und demzufolge das bidirektiona
le Scannen mit höchsten Genauigkeitsanforderungen ermögli
chen.
1
Scanner
2
Schwingantrieb
3
Schwingspiegel
4
Ansteuereinheit
5
Frequenzgenerator
6
erster digitaler Signalprozessor
7
kapazitives Winkelmeßsystem
8
Regelstrecke
9
mechanische Verbindung
10
Ausgang des Winkelmeßsystems
11
zweiter digitaler Signalprozessor
12
Signalweg
13
Logikeinheit
14
,
15
,
16
,
17
,
19
,
20
,
21
,
24
Signalwege
18
Taktgenerator
22
Dreieckwelle Ansteuerfrequenz
23
Dreieckwelle Antwortfrequenz
z Zeilenlänge
z Zeilenlänge
Claims (9)
1. Ansteuersystem für einen Scannerantrieb, insbesondere
für ein Laserscannmikroskop,
mit einem Schwingmotor zum Antreiben eines Schwingspie gels, der zur linear oszillierenden Ablenkung eines Strahlenbündels dient,
mit einer Ansteuereinheit zur Speisung des Schwingmo tors mit einem Erregerstrom, der hinsichtlich der An steuerfrequenz, der Frequenzkurve und der Amplitude veränderbar ist,
mit einem Funktionsgenerator, der mit der Ansteuerein heit verbunden ist,
mit einem Meßwertaufnehmer zur Gewinnung einer Folge von Informationen über die Ablenkpositionen des Schwingspiegels sowie
mit einer Recheneinheit zur Ermittlung von Korrektur werten für den Erregerstrom aus einem Ist- Sollwertvergleich der Ablenkposition,
dadurch gekennzeichnet, daß in der Recheneinheit (13) Rechenschaltungen vorgesehen sind
zur Umsetzung der Informationen über die Ablenkpositio nen des Schwingspiegels (3) nach Amplitude und Phase des Scanners (1), bezogen auf eine Vielzahl von Ansteu erfrequenzen,
zur Ermittlung der Werte von k1 . . . kn und ϕ1 . . . ϕn für die zu einer Ansteuerfrequenz gehörenden Fourierfre quenzen der Reihe
y = 4/π . [k1sin(x + ϕ1) - k2sin(3x + ϕ2)/32 + k3sin(5x + ϕ3)/52 - + . . .]
mit y der Ablenkposition, mit k1 bis kn den Korrektur faktoren, x dem Sollphasenwinkel und ϕ1 bis ϕn den Ant wortphasenwinkeln bei den Frequenzen der Fourierkoeffi zienten und
zur Modellierung einer korrigierten Ansteuerfunktion, die die Abweichungen beim Vergleich von tatsächlich er reichter Ablenkposition mit der gewünschten Ablenkposi tion berücksichtigt.
mit einem Schwingmotor zum Antreiben eines Schwingspie gels, der zur linear oszillierenden Ablenkung eines Strahlenbündels dient,
mit einer Ansteuereinheit zur Speisung des Schwingmo tors mit einem Erregerstrom, der hinsichtlich der An steuerfrequenz, der Frequenzkurve und der Amplitude veränderbar ist,
mit einem Funktionsgenerator, der mit der Ansteuerein heit verbunden ist,
mit einem Meßwertaufnehmer zur Gewinnung einer Folge von Informationen über die Ablenkpositionen des Schwingspiegels sowie
mit einer Recheneinheit zur Ermittlung von Korrektur werten für den Erregerstrom aus einem Ist- Sollwertvergleich der Ablenkposition,
dadurch gekennzeichnet, daß in der Recheneinheit (13) Rechenschaltungen vorgesehen sind
zur Umsetzung der Informationen über die Ablenkpositio nen des Schwingspiegels (3) nach Amplitude und Phase des Scanners (1), bezogen auf eine Vielzahl von Ansteu erfrequenzen,
zur Ermittlung der Werte von k1 . . . kn und ϕ1 . . . ϕn für die zu einer Ansteuerfrequenz gehörenden Fourierfre quenzen der Reihe
y = 4/π . [k1sin(x + ϕ1) - k2sin(3x + ϕ2)/32 + k3sin(5x + ϕ3)/52 - + . . .]
mit y der Ablenkposition, mit k1 bis kn den Korrektur faktoren, x dem Sollphasenwinkel und ϕ1 bis ϕn den Ant wortphasenwinkeln bei den Frequenzen der Fourierkoeffi zienten und
zur Modellierung einer korrigierten Ansteuerfunktion, die die Abweichungen beim Vergleich von tatsächlich er reichter Ablenkposition mit der gewünschten Ablenkposi tion berücksichtigt.
2. Ansteuersystem für einen Scannerantrieb nach Anspruch
1, dadurch gekennzeichnet, daß die Rechenschaltung zur
Modellierung der korrigierten Ansteuerfunktion so aus
gelegt ist, daß der Ansteuerfunktion bei kleinen Pha
senfehlern die Koeffizienten k1 bis k5 und/oder einzelne
Funktionswerte und bei großen Phasenfehlern die Abwei
chungen Δϕ1 bis Δϕ5 als Korrekturwerte aufgeschaltet
werden.
3. Ansteuersystem für einen Scannerantrieb nach Anspruch 1
oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Ergebnisausgabe
der ersten Rechenschaltung in Form eines Bode-Diagramms
vorgesehen ist.
4. Ansteuersystem für einen Scannerantrieb nach Anspruch
1, dadurch gekennzeichnet, daß die Rechenschaltung zur
Modellierung einer korrigierten Ansteuerfunktion über
Schaltbausteine zur Ermittlung von Korrekturwerten für
die 1. bis 20. Frequenz der Fourierkoeffizienten ver
fügt.
5. Ansteuersystem für einen Scannerantrieb nach einem der
vorgenannten Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß im
Signalweg zwischen dem Meßwertaufnehmer und der Rechen
einheit (13) ein Analog-Digital-Wandler und im Signal
weg zwischen dem Funktionsgenerator und der Ansteuer
einheit zur Speisung des Schwingmotors ein Digital-
Analog-Wandler vorgesehen sind.
6. Ansteuersystem für einen Scannerantrieb nach Anspruch
5, dadurch gekennzeichnet, daß als Analog-Digital-
Wandler ein digitaler Signalprozessor (11) vorgesehen
ist.
7. Ansteuersystem für einen Scannerantrieb nach einem der
vorgenannten Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß so
wohl die Recheneinheit (13), der Funktionsgenerator
(5), der Analog-Digital-Wandler wie auch der Digital-
Analog-Wandler jeweils mit einem Taktgenerator (18)
verbunden sind.
8. Ansteuersystem für einen Scannerantrieb nach einem der
vorgenannten Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß als
Schwingmotor ein galvanischer Antrieb (2) vorgesehen
ist.
9. Ansteuersystem für einen Scannerantrieb nach einem der
vorgenannten Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß der
Meßwertaufnehmer zur Gewinnung von Informationen über
die Ablenkpositionen des Schwingspiegels als ein kapa
zitives Winkelmeßsystem (7) zur Erfassung von Positi
onswerten des Schwingspiegels in bidirektionaler Scann
richtung, d. h. für Vor- und Rücklauf des galvanischen
Antriebes (2), ausgebildet ist und die bidirektionalen
Positionswerte über den digitalen Signalprozessor (11)
am Eingang der Recheneinheit (5) anliegen.
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE19702752A DE19702752C2 (de) | 1997-01-27 | 1997-01-27 | Ansteuersystem für einen Scannerantrieb |
US09/010,079 US6037583A (en) | 1997-01-27 | 1998-01-21 | Control system for a scanner drive |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE19702752A DE19702752C2 (de) | 1997-01-27 | 1997-01-27 | Ansteuersystem für einen Scannerantrieb |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE19702752A1 DE19702752A1 (de) | 1998-07-30 |
DE19702752C2 true DE19702752C2 (de) | 2001-12-13 |
Family
ID=7818404
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE19702752A Expired - Fee Related DE19702752C2 (de) | 1997-01-27 | 1997-01-27 | Ansteuersystem für einen Scannerantrieb |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US6037583A (de) |
DE (1) | DE19702752C2 (de) |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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DE102016211373A1 (de) | 2016-05-13 | 2017-11-16 | Carl Zeiss Microscopy Gmbh | Verfahren zur Generierung einer Ansteuerfunktion und Verfahren zum Betrieb einer Abtasteinheit |
WO2020057977A1 (de) | 2018-09-20 | 2020-03-26 | Carl Zeiss Microscopy Gmbh | Verfahren und vorrichtung zur erfassung eines bildes eines objekts mit einem scanmikroskop |
EP4239389A1 (de) | 2022-03-03 | 2023-09-06 | Abberior Instruments GmbH | Rasterlichtmikroskopieverfahren, rasterlichtmikroskop und computerprogramm |
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DE102004034979A1 (de) | 2004-07-16 | 2006-02-16 | Carl Zeiss Jena Gmbh | Verfahren zur Erfassung mindestens eines Probenbereiches mit einem Lichtrastermikroskop mit punktförmiger Lichtquellenverteilung |
DE102004034956A1 (de) | 2004-07-16 | 2006-02-02 | Carl Zeiss Jena Gmbh | Verfahren zur Erfassung mindestens eines Probenbereiches mit einem Lichtrastermikroskop mit linienförmiger Abtastung |
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WO2005064913A1 (de) | 2003-12-19 | 2005-07-14 | Carl Zeiss Jena Gmbh | Verfahren zur scanneransteuerung in mindestens einer scanachse in einem laser-scanning-mikroskop |
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DE102015109674A1 (de) | 2015-06-17 | 2016-12-22 | Carl Zeiss Microscopy Gmbh | Verfahren zur Bestimmung und Kompensation geometrischer Abbildungsfehler |
WO2016202612A1 (de) | 2015-06-17 | 2016-12-22 | Carl Zeiss Microscopy Gmbh | Verfahren zur bestimmung und kompensation geometrischer abbildungsfehler |
US10726529B2 (en) | 2015-06-17 | 2020-07-28 | Carl Zeiss Microscopy Gmbh | Method for the determination and compensation of geometric imaging errors |
DE102016211373A1 (de) | 2016-05-13 | 2017-11-16 | Carl Zeiss Microscopy Gmbh | Verfahren zur Generierung einer Ansteuerfunktion und Verfahren zum Betrieb einer Abtasteinheit |
DE102016211373B4 (de) | 2016-05-13 | 2023-12-21 | Carl Zeiss Microscopy Gmbh | Verfahren zum Betrieb einer Abtasteinheit |
WO2020057977A1 (de) | 2018-09-20 | 2020-03-26 | Carl Zeiss Microscopy Gmbh | Verfahren und vorrichtung zur erfassung eines bildes eines objekts mit einem scanmikroskop |
US12007544B2 (en) | 2018-09-20 | 2024-06-11 | Carl Zeiss Microscopy Gmbh | Method and apparatus for capturing an image of an object using a scanning microscope |
EP4239389A1 (de) | 2022-03-03 | 2023-09-06 | Abberior Instruments GmbH | Rasterlichtmikroskopieverfahren, rasterlichtmikroskop und computerprogramm |
WO2023166065A1 (en) | 2022-03-03 | 2023-09-07 | Abberior Instruments Gmbh | Scanning light microscopy method, scanning light microscope and computer program |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
DE19702752A1 (de) | 1998-07-30 |
US6037583A (en) | 2000-03-14 |
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D2 | Grant after examination | ||
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