DE19701485A1 - Verfahren zur Lagerung einer Kippvorrichtung und Kippvorrichtung - Google Patents
Verfahren zur Lagerung einer Kippvorrichtung und KippvorrichtungInfo
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Description
Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Lagerung einer
Kippvorrichtung gemäß dem Oberbegriff des ersten
Patentanspruchs sowie eine Kippvorrichtung, welche nach diesem
Verfahren arbeitet.
Derartige Kippvorrichtungen sind aus dem bekannten Stand der
Technik reichlich bekannt. Sie dienen dazu, einen auf sie
auffallenden Lichtstrahl definiert um einen gewissen Winkel
abzulenken. Man unterscheidet insbesondere 1-achsige und
2-achsige Kippspiegel.
Während einachsige Kippspiegel heute ein marktübliches Produkt
mit großer technischer Variation sind, sind zweiachsige Kipp
spiegel, welche heute zwar ebenfalls Stand der Technik und auf
dem Markt erhältlich sind, noch bedeutenden technischen
Einschränkungen unterworfen. Diese Einschränkungen sind
insbesondere:
- - begrenzter Kippwinkel um die x- bzw. y-Achse um normaler weise einen Winkel kleiner als 1°;
- - eingeschränkte Baugröße (Dabei erfordern gewisse Kipp winkel eine gewisse Mindestbaugröße oder auch maximale Baugröße, was jeweils störend ist.);
- - Baugröße der Kippspiegelanordnung deutlich größer als Spiegelfläche, insbesondere hinter der Spiegelfläche bei kleinen Kippspiegeln (d. h. mit den Spiegeln nach dem bekannten Stand der Technik sind keine hohen Packungs dichten erreichbar); oder
- - komplizierte Herstellungstechnik der bekannten zweiachsigen Kippspiegel.
Aus der US-PS 4,708,420 ist eine Kippspiegelanordnung bekannt,
welche zum Scannen verwendet wird. Dabei ist der Scan-Spiegel
über Biegegelenke mit piezokeramischen Antriebselementen
verbunden, welche parallel zur Spiegeloberfläche angeordnet
sind. Damit die piezokeramischen Antriebselemente den Spiegel
um einen großen Winkel kippen können, muß diese Anordnung sehr
groß sein. Dies resultiert aus der geringen Verbiegung der
piezokeramischen Antriebselemente, welche proportional zur
Länge dieser Elemente ist. Damit ist diese Anordnung nicht dazu
geeignet, kleine Spiegel um einen großen Winkelbereich zu
kippen, wenn der Antriebsmechanismus hinter dem Kippspiegel auf
die Dimension der Spiegelfläche begrenzt sein soll.
Aus der US-PS 4,383,763 ist eine Kippspiegelanordnung bekannt,
bei welchem der Spiegel auf einem Kipp-Punkt gelagert ist und
über piezoelektrische Keramiken bewegt wird. Auch hier müssen
die Dimensionen des Spiegels sehr groß sein, wenn der Kipp
spiegel um mindestens 1° gekippt werden soll.
Aus der US-PS 4,660,941 ist eine Kippspiegelhalterung bekannt,
bei welchem die Kippspiegelbewegung durch piezoelektrische
Elemente erreicht wird und die piezoelektrischen Elemente
wirken dabei über Hebel auf den Spiegel. Auch diese Anordnung
ist nicht dazu geeignet, einen kleinen Spiegel um mindestens 1°
zu kippen.
Aus der US-PS 5,170,277 ist ein piezoelektrischer Strahl
reflektor bekannt, bei welchem der Spiegelkörper direkt auf dem
piezoelektrischen Element befestigt ist. Dies hat den Nachteil,
daß der Spiegel bei einer Kippung keinen definierten Drehpunkt
besitzt.
Aus der US-PS 4,691,212 ist ein piezoelektrischer Strahl
reflektor bekannt, welcher in einer Scananordnung verwendet
wird. Der Nachteil dieser Anordnung ist, daß ein bestimmter
Ablenkwinkel nicht starr gehalten werden kann, wenn der Dreh
punkt fest liegen soll.
Aus der DE 195 19 161 ist eine piezoelektrische Abtast
vorrichtung bekannt, bei welcher ein Paar von piezoelektrischen
Plattenelementen, die sich transversal zu einer Basis
erstrecken, an einem Ende auf ein Aufbauelement gemeinsam so
einwirken, daß dieses Aufbauelement kippt. Es sind somit für
eine Kippachse zwei sich zusammen bewegende Plattenelemente
notwendig, welche sich zur Kippung entgegengesetzt bewegen
müssen. Die Plattenelemente greifen dazu an unterschiedlichen
Stellen eines Stabes unterhalb des Aufbauelementes an. Für eine
Kippung um eine dazu senkrechte Kippachse sind zwei weitere
Plattenelemente notwendig.
Es ist die Aufgabe der Erfindung, eine Kippvorrichtung zu
schaffen, bei welcher eine eingestellte Auslenkung ohne
Energiezufuhr von sich aus erhalten bleibt.
Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß durch ein Verfahren nach dem
kennzeichnenden Teil des ersten Patentanspruches sowie eine
Kippvorrichtung nach dem kennzeichnenden Teil des dritten
Patentanspruches gelöst.
Das erfindungsgemäße Verfahren zur Lagerung einer
Kippvorrichtung ermöglicht eine Kippung um mindestens eine
Achse und verwendet einen Kippkörper, einen Basiskörper und
eine zwischen diesen beiden Körpern liegenden Lagerung. Dabei
liegt der Schwerpunkt des Kippkörpers im Drehpunkt der
Lagerung. Dies hat den großen Vorteil, daß man nur Energie für
eine Lageänderung aufbringen muß. Die sich dann einstellende
Kipplage bleibt dann ohne weiteren Energieaufwand bestehen.
Um keine Schwingungen im System zu haben und um eine einfach
herzustellende Kippvorrichtung zu erhalten, ist es vorteilhaft,
wenn bei einer Kippbewegung lediglich der Kippkörper mit den an
ihm befestigten Teilen bewegt wird.
Die sich aus obiger Forderung ergebende Kippvorrichtung, welche
eine Kippung um mindestens eine Achse ermöglicht, besitzt einen
Kippkörper, einen Basiskörper und eine zwischen diesen beiden
Körpern liegende Lagerung. Die Kippvorrichtung zeichnet sich
erfindungsgemäß dadurch aus, daß ein erster Teil des Kipp
körpers oberhalb des Drehpunktes angeordnet ist, daß ein
zweiter Teil des Kippkörpers unterhalb des Drehpunktes
angeordnet ist und daß das Gewicht des ersten Teils des Kipp
körpers und das Gewicht des zweiten Teils des Kippkörpers
einander entsprechend sind. Damit liegt aber genau der Schwer
punkt des Kippkörpers im Drehpunkt der Lagerung.
Es ist vorteilhaft, wenn zur Lagerung vier runde Lagerkörper
verwendet werden. Unterhalb des Kippkörpers können dabei
achssymmetrisch drei der Lagerkörper in einer Ebene angeordnet
sein und auf dem Basiskörper zentral eine Kugel. Lagert man die
eine Kugel in den drei anderen Lagerkörpern, so erhält man eine
stabile sichere Lagerung. Der zentrale Lagerkörper muß eine
Kugel sein, während die drei anderen Lagerkörper Kugeln oder
Rundzylinder sein können.
Vorteilhafterweise ist der Basiskörper mit dem Kippkörper
magnetisch vorgespannt, so daß bei einer Schräglage sich die
beiden Körper nicht durch den Einfluß der Schwerkraft
voneinander trennen.
Es ist vorteilhaft, wenn in der Kippvorrichtung eine Antriebs
vorrichtung eingebaut ist. Dies ist insbesondere dann der Fall,
wenn man von der Kippvorrichtung kontrollierte Bewegungen
erwartet (z. B. für eine Lichtstrahlablenkung, eine Bewegung
eines auf der Kippvorrichtung angebrachten Lasers, usw.). Die
Antriebsvorrichtung für eine Achse ist dabei vorteilhafter
weise aus einer Spule am Basiskörper und einem Magneten am
Kippkörper aufgebaut. Dabei ist es vorteilhaft, wenn der Magnet
ein Dauermagnet ist.
Zur genauen Ermittlung der Kippung ist es vorteilhaft, wenn in
der Kippvorrichtung selbst ein Positionsmeßsystem enthalten
ist. Dieses Positionsmeßsystem kann vorteilhafter weise aus
mindestens einem Hallsensor und mindestens einem Dauermagnet
aufgebaut sein. Dabei ist es vorteilhaft, wenn der Dauermagnet
am Kippkörper befestigt ist.
Die erfindungsgemäße Kippvorrichtung eignet sich für alle
Anwendungen, bei welchen es zumindest auf eine einachsige
Bewegung über einen relativ kleinen, jedoch 1° über
schreitenden, Kippwinkel (<10°, vorteilhafterweise <5°) bei
relativ hohen Kippfrequenzen ankommt. Die Anwendungen umfassen
Abtastungen, Belichtungen, Materialabtragungen, usw.
Insbesondere kann man mit der erfindungsgemäßen Kippvorrichtung
große Segmentarrays aufbauen, welche aus einer flächenhaften
Anordnung von vielen der erfindungsgemäßen Kippvorrichtung
bestehen, da der Antriebsmechanismus vollständig unterhalb der
zu kippenden Fläche angeordnet ist.
Auf der zu kippenden Fläche können dabei sowohl passive
Bauteile (z. B. Spiegelflächen, usw.) als auch aktive Bauteile
(z. B. Laserdioden) angeordnet sein.
Die Erfindung wird im folgenden in beispielhafter Weise anhand
von Zeichnungen erläutert, wobei weitere wesentliche Merkmale
sowie dem besseren Verständnis dienende Erläuterungen und
Ausgestaltungsmöglichkeiten des Erfindungsgedankens beschrieben
sind.
Dabei zeigen:
Fig. 1 die erfindungsgemäße Kippvorrichtung in einem seit
lichen Teilschnitt;
Fig. 1a einen Schnitt in der in Fig. 1 angegebenen Ebene Ia;
Fig. 2 die erfindungsgemäße Kippvorrichtung aus Fig. 1 in
einem weiteren seitlichen Teilschnitt, welcher senk
recht zum seitlichen Teilschnitt aus der Fig. 1
steht;
Fig. 2a einen Schnitt in der in Fig. 2 angegebenen Ebene IIa;
Fig. 3a das Sensorsystem in seitlicher Ansicht; und
Fig. 3b das Sensorsystem aus Fig. 3a in Aufsicht.
Die in der Fig. 1 und 2 dargestellte Kippvorrichtung (10) ist
beispielhaft als ein Kippspiegel mit Sensorsystem (9a)
ausgeführt. Die dargestellte Kippvorrichtung (10) besteht im
wesentlichen aus einem oberen Kippkörper (14), welcher sich
relativ zu einem unteren Basiskörper (4) um einen vorher
konstruktiv festgelegten Betrag schräg stellen kann. Zwischen
diesen beiden Körpern (4, 14) befindet sich eine Lagerung (3a,
3b, 3c, 3d).
Die Lagerung (3a, 3b, 3c, 3d) zwischen dem oberen Kippkörper
(14) und dem unteren Basiskörper (4) erfolgt über vier Lager
kugeln (3a, 3b, 3c, 3d), wobei eine Lagerkugel (3a) fest mit
einer dazu vorgesehenen Aufnahme (11) auf einer zylinder
förmigen Erhebung (12) im oberen Teil des Basiskörpers (4)
verbunden ist und die drei anderen Lagerkugeln (3a, 3b, 3c)
sich auf ihr gleitend bewegen können. Die zylinderförmige
Erhebung (12) im oberen Teil des Basiskörper (4) ragt dabei
weit in die größere Öffnung (15) im unteren Teil (2) des Kipp
körpers (14) hinein.
Für die drei oberen Lagerungskugeln (3a, 3b, 3c) sind
entsprechende Aufnahmen (13b, 13c, 13d) im unteren Teil (2) des
Kippkörpers (14) in einer dazu vorgesehenen größeren Öffnung
(15) angebracht, in welchen die drei oberen Lagerungskugeln
(3a, 3b, 3c) befestigt sind.
Durch die exakte Kugelform und die drei Auflagepunkte der
oberen Lagerkugeln (3a, 3b, 3c) auf der unteren Lagerkugel (3a)
ist somit für alle Achsen derselbe, feste Drehpunkt im Mittel
punkt der unteren Lagerkugel (3a) vorgegeben.
Damit die Kippvorrichtung (10) in jeder beliebigen räumlichen
Lage (damit ist die räumliche Lage bzw. Orientierung des
Basiskörpers gemeint) verwendet werden kann, liegt der
Schwerpunkt des Kippkörpers (14) und der mit ihm starr
verbundenen Teile im Drehpunkt. Liegt der Schwerpunkt im
Drehpunkt, so hat dies den entscheidenden Vorteil, daß die
einmal eingestellte räumliche Relation zwischen Kippkörper (14)
und Basiskörper (4) zueinander ohne weiteren Energieaufwand
bestehen bleibt. Man braucht also lediglich einen
Energieaufwand, wenn man die räumliche Lage zwischen Kippkörper
(14) und Basiskörper (4) verändern will. Ist aber diese Lage
des Kippkörpers (14) relativ zum Basiskörper (4) erreicht, so
bedarf es keines weiteren Energieaufwandes um den Kippkörper
(14) in dieser Position relativ zum Basiskörper (4) zu halten.
Dieser Vorteil der erfindungsgemäßen Lagerung senkt aber den
Energieverbrauch der Kippvorrichtung (10) enorm und sorgt
dafür, daß kein Hitzestau durch Abwärme entsteht. Dies ist ein
großes Problem bei einer Vielzahl der am Markt angebotenen
Kippspiegel, insbesondere wenn eine kleine Baugröße angestrebt
wird.
Der bewegliche Kippkörper (14) hat nach unten hin, ebenso wie
die festen Teile (4a und 4b) des Basiskörpers (4), die Form
einer geschlitzten Rohrhülse (siehe Fig. 1 und 2). Im oberen
Teil (1) des Kippkörper (14) besitzt dieser einen Spiegelkörper
(1) mit verspiegelter Oberfläche (1a), welcher fest mit dem
unter dem Spiegelkörper (1) angebrachten Lagerungskörper (2)
des Kippkörpers (14) verbunden ist (z. B. angeklebt).
An diesem Lagerungskörper (2) erstrecken sich zwei seitliche
relativ dünne Schürzenkörper (2a, 2b) seitlich nach unten,
welche als Befestigungskörper für einen an ihnen fest
angebrachten ersten Magnethalter (7) aus Titan dienen. In
diesem Magnethalter (7) ist ein Permanentmagnet (7c) so
gehalten, daß seine magnetischen Pole (Nord- und Süd-Pol) zu
den beiden Spulen (5, 6) hin weisen. Durch die rohrhülsen
förmige Form des Kippkörpers (14) im seinem unteren Teil ist es
möglich, den ersten Dauermagneten (7c), welcher Teil des
zweiachsigen Antriebssystems ist, zwischen den beiden
feststehenden Spulen (5, 6) am Basiskörper (4) anzubringen. Zur
Fixierung des Magnethalters (7) mit dem Permanentmagneten (7c)
des Antriebssystems an dem Schürzenkörper (2a, 2b) ist jeweils
zu beiden Seiten ein Stift (7a, 7b) in jeweils einer Öffnung
des Schürzenkörpers (2a, 2b) und des Magnethalters (7)
angebracht, wobei dieser Stift (7a, 7b) in den beiden Öffnungen
eingeklebt ist. Selbstverständlich wäre aber auch jede andere
Art der sicheren Befestigung an dieser Stelle anwendbar.
Am Ende der Schürzenkörper (2a, 2b) ist ein zweiter Dauermagnet
(8) angebracht (siehe auch Fig. 3a und 3b), wobei die
Anbringung durch eine Verklebung der beiden Körper (2a, 2b; 8)
miteinander erfolgt. Auch hier ermöglicht es die hülsenförmige
Gestalt des Kippkörpers (14) in seinem unteren Bereich, den
zweiten Dauermagneten (8), welcher einen Teil des Sensorsystems
(siehe Fig. 3a und 3b) darstellt, am beweglichen Kippkörper
(14) fest anzubringen (z. B. anzukleben).
In dem in den Fig. 1 und 2 dargestellten Beispiel liegt der
magnetische Nordpol des Magneten unten, und die Schürzenkörper
(2a, 2b) des Kippkörpers (14) sind in dieser Nord-Süd-
Erstreckungsrichtung angeordnet. In der Fig. 1a ist die genaue
Form des oberen Dauermagneten (7c) nochmals deutlich
dargestellt. Der Dauermagnet (7c) wird von einem Magnetträger
(7) gehalten, welcher eine im wesentlichen zylinderrohrförmige
Gestalt mit unterschiedlichen Wanddicken mit einer kreisrunden
mittleren Öffnung zur Aufnahme des Permanentmagneten (7c)
besitzt.
Der Lagerungskörper (2) besitzt in seinem unteren Teil zwei
schräge Flächen (2a, 2b), welche nach schräg oben geneigt sind
und sich jeweils auf den gegenüberliegenden Seiten des Lage
rungskörpers (2) befinden. In diesen Schrägflächen (2c, 2d)
befindet sich jeweils eine Ausnehmung, in welche jeweils ein
Dauermagnet (16a, 16b) eingelassen ist. Diese zwei Dauermagnete
(16a, 16b) wirken mit zwei schräg angeordneten
weichmagnetischen Platten (17a, 17b) im oberen Teil des
Basiskörpers (4), welchen sie exakt gegenüberliegen, derart
zusammen, daß der Kippkörper (14) und der Basiskörper (4)
zueinander magnetisch vorgespannt sind und die vier
Lagerungskugeln (3a, 3b, 3c, 3d) aufeinandergepreßt werden.
Dadurch ist sichergestellt, daß der bewegliche Kippkörper (14)
mit seinen drei Lagerungskugeln (3b, 3c, 3d) auf der
Lagerungskugel (3a) des Basiskörpers (4) aufliegt und außerdem
ein zusätzlicher Schutz der Kippvorrichtung (10) vor einem
Verdrehen um die z-Achse (zwei rotatorische Freiheitsgrade)
vorhanden ist.
Der Basiskörper (4) ist im wesentlichen ein Hohlzylinderkörper,
welcher zu beiden Seiten Ausnehmungen (18a), (18b in der Figur
nicht dargestellt) zur Aufnahme der Schürzenkörper (2a, 2b) des
Kippkörpers (14) besitzt. Am oberen Ende des Basiskörpers (4)
besitzt er eine obere Verschlußkappe (4c), aus welcher in der
Mittelachse die zylinderförmigen Erhebung (12) mit ihrer Auf
nahme (11) für die Lagerkugel (3a) hervorragt. Seitlich von
dieser Erhebung (12) sind im äußeren Bereich der oberen
Verschlußkappe (4c) zwei sich gegenüberliegende schräg nach
oben verlaufende Aufsätze (4e, 4f) vorhanden, deren Schräge mit
der Schräge der korrespondierenden gegenüberliegenden Schräg
flächen (2c, 2d) an dem Kippkörper (14) im nicht ausgelenkten
Zustand der Kippvorrichtung (10) parallel verläuft.
Die zwei Dauermagnete (16a, 16b), welche mit den zwei schräg
angeordneten Platten (17a, 17b) im oberen Teil des Basiskörpers
(4) zusammenwirken und den Kippkörper (14) gegen den Basis
körper (4) magnetisch vorspannen (so daß die vier Lagerungs
kugeln (3a, 3b, 3c, 3d) aufeinandergepreßt werden), reichen je
nach geforderter Anwendung des Kippspiegels manchmal nicht aus.
Dies betrifft insbesondere die Stabilität der Lagerung, da
diese zu schwach sein kann, und ein, wenn auch geringes,
Verdrehen des Kippkörpers (14) um die z-Achse.
Das kann aber leicht behoben werden, wenn man die beiden
Dauermagnete (16a, 16b) durch mindestens drei,
vorteilhafterweise vier Dauermagnete (es können aber auch mehr
Magnete sein) ersetzt, welche vorteilhafterweise in gleichem
Abstand zueinander angeordnet sind. Auf jeden Fall müssen die
Dauermagnete dann so angeordnet sein, daß sie nicht alle auf
einer Linie liegen, sondern eine Fläche aufspannen (dabei
müssen die Magnete nicht quadratisch angeordnet sein, sondern
lediglich in einem Dreieck, Rechteck, bzw. Vieleck, wobei die
Abstände der Magnete zueinander nicht gleich sein müssen).
Während zwei Dauermagnete (16a, 16b), wie im Beispiel
dargestellt, nur um eine Achse stabilisieren können (dazu
sollten sie schmal sein), ist eine gute Stabilisierung um zwei
Achsen erst mit mindestens drei Magneten möglich. Mit
zunehmender Anzahl der Magnete wird die Stabilität gegen
Verdrehung um die z-Achse immer besser.
Die Schrägflächen (17a, 17b) auf dem Basiskörper (4) bestehen
aus einem magnetischen Material (z. B. Weicheisen) und sorgen
zusammen mit den Dauermagneten (16a, 16b) des Kippkörpers (14)
für eine magnetische Vorspannung zwischen Basiskörper (4) und
Kippkörper (14). Beide magnetischen Pole der Dauermagneten
(16a, 16b) liegen den Schrägflächen (17a, 17b) gegenüber, so
daß sich durch den dadurch erreichbaren magnetischen Schluß
eine größere Haltekraft ergibt.
Unterhalb der Verschlußkappe (4c) des Basiskörpers (4) befindet
sich ein Haltesteg (5a) (vorzugsweise aus einem magnetisier
baren Material wie z. B. Weicheisen), um welchen die Windungen
einer ersten Spule (5) gewickelt sind. Diese erste Spule (5)
liegt in der Kippvorrichtung (10) oberhalb des am Kippkörper
(14) befestigten ersten Dauermagneten (7c) und dient zusammen
mit diesem Dauermagneten (7c) als Antriebseinrichtung zur
einachsigen Relativverstellung zwischen Basiskörper (4) und
Kippkörper (14). Ihre Wicklungen sind senkrecht zur Nord-Süd-
Achse des Magneten (7c) orientiert.
Unterhalb des Dauermagneten (7c) am Kippkörper (14) befindet
sich ein weiterer Haltesteg (6a) (vorzugsweise aus einem
magnetisierbaren Material wie z. B. Weicheisen), um welchen die
Wicklungen einer zweiten Spule (6) quer zur ersten gewickelt
sind. Diese Spule (6) dient zusammen mit dem Dauermagneten (7c)
als Antriebseinrichtung zur zweiten einachsigen Relativ
verstellung zwischen Basiskörper (4) und Kippkörper (14). Auch
ihre Wicklungen sind senkrecht zur Nord-Süd-Achse des Magneten
(7c) orientiert, sind aber zusätzlich senkrecht zu den
Wicklungen der ersten Spule (5) orientiert. Man kann auch
sagen, daß beide Spulen (5, 6) (hinsichtlich ihrer Wickel
richtungen) quer zueinander orientiert sind.
Da die Windungen der ersten Spule (5) senkrecht auf den
Windungen der zweiten Spule (6) stehen, ergibt sich bei einem
Stromfluß durch die erste Spule (5) z. B. eine Drehung um die
x-Achse, während ein Stromfluß in der zweiten Spule (6) eine
Drehung um die dazu senkrecht stehende y-Achse bewirkt. Ein
gleichzeitiger Stromfluß durch beide Spulen (5, 6) bewirkt
somit eine Bewegung des Kippkörpers (14) um die x- und gleich
zeitig um die y-Achse.
Im unteren Teil des Basiskörpers (4) unterhalb des zweiten
Dauermagneten (8) an den Schürzenkörpern (2a, 2b) befindet sich
eine untere Verschlußkappe (4d), auf welcher eine Platine (9)
mit elektronischen Bauteilen (9a) angebracht ist, welche zu
einem Sensorsystem gehören (siehe auch Fig. 3a und 3b).
Wird auf eine oder beide Spulen (5, 6) Strom gegeben, so wirkt
im Magnetfeld des Dauermagneten (7c) auf die elektrischen
Leiter eine Kraft (senkrecht zum Magnetfeld und zur Strom
richtung). Durch diese Kraft wird nun, da die Spulen (5, 6)
fest mit dem Basiskörper (4) verbunden sind, der Dauermagnet
(7c) abgelenkt. Dadurch bewegen sich auch alle mit ihn
verbundenen Teile in einer um den Drehpunkt sphärisch
verlaufenden Fläche, d. h. auch der Kippkörper (14). Durch diese
Bewegung wird die verspiegelte Oberfläche (1a) auf dem
Spiegelkörper (1) um den jeweiligen gewünschten Winkel um die
x-, oder y-Achse oder um beide Achsen gleichzeitig gekippt.
Da alle oben beschriebenen Teile fest mit dem Kippkörper (14)
verbunden sind, besitzt die erfindungsgemäße Kippvorrichtung
nur ein in sich starres bewegtes Teil (14), welches sich
relativ zu einem anderen starren Teil (4) bewegen kann.
Sämtliche Teile des Lagerungssystems, des Antriebssystems und
des Positionsmeßsystems sind starr an diesen beiden Teilen
befestigt und führen selber keine Eigenbewegungen aus.
Es versteht sich selbstredend, daß alle Dimensionierungen für
einzelne Bauteile der Kippvorrichtung (10) so sein müssen, daß
im gewünschten Auslenkwinkelbereich eine freie Bewegung des
Kippkörpers (14) relativ zur Basis (4) sichergestellt ist und
keines der Bauteile des Kippkörpers (14) gegen Bauteile des
Basiskörpers (4) stößt. Außerdem ist bei der Dimensionierung
der Antriebssysteme (Spulen (5, 6) und Dauermagnet (7c)) darauf
zu achten, daß sie die zur Verstellung benötigten Kräfte
erzeugen können. Bei der Auswahl der Bauteile für das
Positionsmeßsystem muß darauf geachtet werden, daß die
ausgewählten Positionsmeßsensoren die erforderliche
Meßgenauigkeit und Auflösung haben.
Das Sensorsystem dient der genauen Positionsbestimmung der
Kippvorrichtung (10). In dem hier dargestellten Beispiel sind
auf der Platine (9) mehrere (zumindest ein Sensor (9a) für jede
Kippachse) Hallsensoren (9a) angebracht, welche je nach Kipp
winkel des Kippkörpers (14) relativ zum Basiskörper (4) eine
andere Spannung abgeben. Die Hallsensoren (9a) werten dabei die
Richtung des Magnetfeldes des Dauermagneten (8) aus. Die Form
des Dauermagneten (8) des Sensorsystems ist insbesondere aus
den Fig. 3a und 3b ersichtlich. Der Dauermagnet (8) ist so
konstruiert, daß er einen relativ großen quadratischen Nordpol
(8a) aus einem geeigneten Material hat, welcher so groß ist,
daß bei maximal zulässiger Auslenkung des Kippkörpers (14) der
Hallsensor (9a(1), 9a(2)) einer Kippachse niemals bis zur Mitte
des magnetischen Nordpolkörpers (8a) gelangt. Der magnetische
Südpol ist seitlich so hochgeführt, daß sich zwischen der
Oberfläche des magnetischen Nordpolteils (8a′) und des
magnetischen Südpolteils (8b1′, 8b2′) jeweils ein Spalt ergibt.
Genau oberhalb dieser beiden Spalte (deren Orientierung
senkrecht zueinander ist) sind die beiden Hallsensoren (9a(1),
9a(2)) angeordnet. Die Hallsensoren (9a(1), 9a(2)) haben
dadurch eine maximale Empfindlichkeit für Kippbewegungen des
Kippkörpers (14), an welchem der Dauermagnet (8) angebracht
ist.
Das Sensorsystem besitzt eine Signalleitung zu einem Rechner
system bzw. zu einem Regelungssystem für den Spulenstrom der
beiden Spulen (5, 6), so daß bei einer Abweichung der Lage des
Kippkörpers (14) relativ zu einer gewünschten Lage die
Ansteuerungen der Spulen (5, 6) so lange nachgeregelt werden,
bis der Kippkörper (10) die gewünschte Lage eingenommen hat.
Die beiden Spulen (5, 6) sowie die mit den Hallsensoren (9a)
bestückte Platine (9) werden an den feststehenden Teilen (4a,
4b) des Basiskörpers (4) starr befestigt (z. B. eingeklebt),
bevor man die äußeren Teile (4a, 4b) des Basiskörpers (4) an
diesem starr befestigt (z. B. Verklebung bei der Montage).
Die Erfindung betrifft eine Kippvorrichtung, welche mehreren
wünschenswerten Anforderungen entspricht. Diese Anforderungen
lassen sich wie folgt auflisten:
- - Der mögliche Kippwinkel in einer oder zwei zueinander senkrecht angeordneten Achsen beträgt ±3° und mehr, wenigstes jedoch 1,5°.
- - Der Querschnitt der Kippvorrichtung (10) ist nicht größer als die Spiegelfläche (1a), so daß mehrere Einzelspiegel nebeneinander gesetzt werden können, um z. B. einen räumlich gekrümmten Segmentspiegel aus vielen der oben beschriebenen Kippvorrichtungen (10) bauen zu können. Dies ist bei kleinen Kippwinkeln < 10° hier immer möglich.
- - Der Preis liegt weit unter dem handelsüblicher Kippvorrichtungen (<1.000.- DM), weil mit einer geringen Anzahl von leicht herzustellenden Bauteilen mit schnellen Montagetechniken gearbeitet wird.
- - Die Kippvorrichtung (10) ist regelbar, was durch die Sensoren (9a) zur Ortsbestimmung sichergestellt ist.
- - Die Funktion ist in jeder räumlichen Lage gewährleistet, was durch das Zusammenfallen von Drehpunkt und Schwerpunkt des Kippkörpers (14) sichergestellt ist.
- - Kleiner Energieverbrauch, so daß die Leistung bei mehreren zu einem Array zusammengesetzten Kippvorrichtungen nicht zu hoch wird. Auch hier ist das Zusammenfallen von Drehpunkt und Schwerpunkt vorteilhaft.
- - Aufbau der Kippvorrichtung (10) ist möglichst schwingungs frei, so daß sich Regelkreise nicht aufschaukeln können.
- - Aufbau der Kippvorrichtung ist möglichst einfach, so daß Serienfertigung möglich ist.
Das bevorzugte Einsatzgebiet der Kippvorrichtung ist die
Verwendung als Kippspiegel. Diese können ein- oder zweiachsig
sein. Wenngleich auf dem Markt zur Zeit ein- und zweiachsige
Kippspiegel erhältlich sind, so haben sie doch den Nachteil,
daß sie eine oder mehrere der oben genannten Forderungen nicht
erfüllen können.
Die erfindungsgemäße Kippvorrichtung kann insbesondere als
kleiner zweiachsiger Kippspiegel eingesetzt werden, dessen Bau
größe in Spiegelebene nicht größer als der Spiegel selber ist,
wobei die Spiegelfläche (1a) typisch ein Kreis von 3-12 mm
Durchmesser ist. Dabei werden in zwei zueinander senkrecht
stehenden Achsen eine Kippbewegung von mindestens ±1,5° bis 3°
erreicht, wobei die Winkelauflösung innerhalb ungefähr des
halben möglichen Kippwinkelbereichs 2048 Einzelschritte
erreicht (±0,8° bei Kippwinkel ±1,5°). Um die Kippvorrichtung
regeln zu können, ist ein fest eingebautes Sensorsystem (9)
vorhanden, das die Ist-Position des Kippkörpers (14) relativ
zum Basiskörper (4) ermittelt. Die Kippvorrichtung (10) ist als
Modul aufgebaut, um aus mehreren Modulen einen segmentierten
größeren Spiegel zusammensetzen zu können. Außerdem ist die
Kippvorrichtung (14) zur preiswerten Massenproduktion geeignet.
Claims (12)
1. Verfahren zur Lagerung einer Kippvorrichtung, welche eine
Kippung um mindestens eine Achse ermöglicht, mit einem
Kippkörper (14), einem Basiskörper (4) und einer zwischen
diesen beiden Körpern liegenden Lagerung (3a, 3b, 3c, 3d),
dadurch gekennzeichnet, daß der Schwerpunkt des Kipp
körpers (14) im Drehpunkt der Lagerung (3a, 3b, 3c, 3d)
liegt.
2. Verfahren zur Lagerung einer Kippvorrichtung nach Anspruch
1, dadurch gekennzeichnet, daß bei einer Kippbewegung
lediglich der Kippkörper (14) mit dem an ihm befestigten
Teilen bewegt wird.
3. Kippvorrichtung, welche eine Kippung um mindestens eine
Achse ermöglicht, mit einem Kippkörper (14), einem
Basiskörper (4) und einer zwischen diesen beiden Körpern
liegenden Lagerung (3a, b, c, d), dadurch gekennzeichnet,
daß ein erster Teil (1) des Kippkörpers (14) oberhalb des
Drehpunktes angeordnet ist, daß ein zweiter Teil (2) des
Kippkörpers (14) unterhalb des Drehpunktes angeordnet ist
und daß das Gewicht des ersten Teils (1) des Kippkörpers
(14) und das Gewicht des zweiten Teils (2) des Kippkörpers
(14) einander entsprechend sind.
4. Kippvorrichtung nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet,
daß zur Lagerung des Kippkörpers (14) daran zentral drei
Kugeln (3b-d) in einer Ebene angeordnet sind, daß auf dem
Basiskörper (4) zentral eine Kugel (3a) angeordnet ist,
und daß die Kugel (3a) des Basiskörpers (4) durch die
Kugeln (3b-d) des Kippkörpers (14) gelagert ist.
5. Kippvorrichtung nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet,
daß zur Lagerung des Kippkörpers (14) daran zentral eine
Kugel angeordnet ist, daß auf dem Basiskörper (4) zentral
drei Kugeln in einer Ebene angeordnet sind, und daß die
Kugel des Basiskörpers durch die Kugeln des Kippkörpers
(14) gelagert ist.
6. Kippvorrichtung nach einem der Ansprüche 3-5, dadurch
gekennzeichnet, daß der Basiskörper (4) mit dem Kippkörper
(14) magnetisch vorgespannt ist.
7. Kippvorrichtung nach einem der Ansprüche 3-6, dadurch
gekennzeichnet, daß in der Kippvorrichtung eine Antriebs
vorrichtung eingebaut ist.
8. Kippvorrichtung nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet,
daß die Antriebsvorrichtung für eine Achse aus einer Spule
(5) am Basiskörper (4) und einem Magneten (7c) am
Kippkörper (14) aufgebaut ist.
9. Kippvorrichtung nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet,
daß der Magnet (7c) ein Dauermagnet ist.
10. Kippvorrichtung nach einem der Ansprüche 3-9, dadurch
gekennzeichnet, daß in der Kippvorrichtung ein Positions
meßsystem (8, 9) enthalten ist.
11. Kippvorrichtung nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet,
daß das Positionsmeßsystem aus mindestens einem Hallsensor
(9) und mindestens einem Dauermagneten (8) aufgebaut ist.
12. Kippvorrichtung nach Anspruch 11, dadurch gekennzeichnet,
daß der Dauermagnet (8) am Kippkörper (14) befestigt ist.
Priority Applications (5)
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DE59710718T DE59710718D1 (de) | 1996-09-19 | 1997-09-15 | Kippvorrichtung |
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JP9254787A JPH10104535A (ja) | 1996-09-19 | 1997-09-19 | 傾斜装置を支承する方法及び傾斜装置 |
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ID=7806112
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Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE10303266A1 (de) * | 2003-01-28 | 2004-08-19 | Müller, Joachim | Ablenkeinrichtung für einen Galvanometer-Scanner, Drehlagererfassungseinrichtung, sowie Verfahren hierfür |
-
1997
- 1997-01-17 DE DE19701485A patent/DE19701485A1/de not_active Withdrawn
- 1997-09-15 DE DE59710718T patent/DE59710718D1/de not_active Expired - Fee Related
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE10303266A1 (de) * | 2003-01-28 | 2004-08-19 | Müller, Joachim | Ablenkeinrichtung für einen Galvanometer-Scanner, Drehlagererfassungseinrichtung, sowie Verfahren hierfür |
Also Published As
Publication number | Publication date |
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DE59710718D1 (de) | 2003-10-16 |
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8141 | Disposal/no request for examination |