DE19639999C2 - Verfahren und Vorrichtung für die 3D-Messung - Google Patents
Verfahren und Vorrichtung für die 3D-MessungInfo
- Publication number
- DE19639999C2 DE19639999C2 DE19639999A DE19639999A DE19639999C2 DE 19639999 C2 DE19639999 C2 DE 19639999C2 DE 19639999 A DE19639999 A DE 19639999A DE 19639999 A DE19639999 A DE 19639999A DE 19639999 C2 DE19639999 C2 DE 19639999C2
- Authority
- DE
- Germany
- Prior art keywords
- intensity
- measurement object
- projected
- measurement
- measuring
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
- G01B11/24—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring contours or curvatures
- G01B11/25—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring contours or curvatures by projecting a pattern, e.g. one or more lines, moiré fringes on the object
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B26/00—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements
- G02B26/08—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light
- G02B26/0816—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light by means of one or more reflecting elements
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Computer Vision & Pattern Recognition (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
Description
Die Erfindung betrifft ein Verfahren und eine
Vorrichtung für die berührungslose, optoelektronische
3D-Messung von Meßobjekten, bei denen zur Codierung
eines Meßobjektes beliebige Intensitätsverläufe
(Graycodes) auf das Meßobjekt projiziert werden und
mittels optoelektronischer Bildaufnahme- und
rechnergestützter Auswerteverfahren anhand der durch
die räumliche Struktur des Meßobjektes verursachten
Auslenkungen im Intensitätsverlaufsbild die
Oberflächenbeschaffenheit, die Konfiguration
(Körperform) und/oder die Abmessungen des Meßobjektes
ermittelt werden.
Eine strukturierte Beleuchtung, zum Beispiel mittels
projizierter Streifenmuster, wird bereits seit mehreren
Jahren in der optischen 3D-Meßtechnik eingesetzt, wobei
prinzipiell zwischen Verfahren, die ein
Projektionssystem mit festem Streifenabstand verwenden
und Projektionssystemen mit variierbarem
Streifenabstand, unterschieden werden kann.
Die mit Hilfe der Streifenprojektionsverfahren
erzielbaren meßtechnischen Ergebnisse und Informationen
werden in Abhängigkeit von den eingesetzten optischen
und mikroskopischen Gerätesystemen wesentlich von der
Qualität der projizierten Streifen bestimmt.
Hinsichtlich der erzielbaren Informationen über das 3D
Profil eines Meßobjektes sind
Streifenprojektionsverfahren mit variierbarem
Streifenabstand von besonderem Vorteil, da sie durch
entsprechende Signalaufnahmesysteme (CCD-Kameras,
Framegrabber) eine Grauwertcodierung der Oberfläche
ermöglichen. Aus diesem Grunde werden solche
Streifenprojektionsverfahren auch als Graycode
Verfahren bezeichnet.
Konventionelle Graycode-Verfahren verwenden für die
Erzeugung der Projektionsstreifen (Graycodes) zu meist
LCD-Chips, die durch entsprechende horizontale und/oder
vertikale rechnergestützte Ansteuerung der Zeilen
und/oder Spalten des LCD-Chips und eine entsprechende
Beleuchtung die Projektion linienförmiger Muster
ermöglichen.
Bekannt ist ferner, Graycode mit Hilfe unterschiedlich
ausgebildeter Strukturen zu erzeugen, die auf einem
Träger, beispielsweise auf einer Glasplatte, fest
aufgebracht sind und mit einem geeigneten optischen
System auf das Meßobjekt projiziert werden.
Aus der DE 44 15 834 A1 ist eine Vorrichtung zur
optischen Vermessung von Entfernungen und räumlichen
Koordinaten bekannt geworden, bei welcher die
projizierten Intensitätsverläufe mittels einer Mehrzahl
von auf einem Träger angeordneter Projektionsfiltern
erzeugt werden, die nacheinander durch Verschiebung des
Trägers zur Projektion gelangen.
Bei sehr unterschiedlichen Objektgrößen und -konturen
und zur Vermessung unterbrochener Objektbereiche ist es
zweckmäßig, eine Variation der Intensitätsverläufe
vorzunehmen. Dazu ist der Wechsel der
Projektionsgitterträger (Masken) erforderlich, was zeit
und Aufwand kostet sowie Verschleiß und Verschmutzung
mit sich bringt.
Als nachteilig erweist sich bei den genannten beiden
Techniken zur Erzeugung von Graycode-Strukturen, daß
die Möglichkeiten zur Erzeugung von Projektionsstreifen
entweder an die Zeilen- und Spaltenstruktur des LCD-
Chips gebunden oder daß das zu projizierende Muster
fest und unveränderbar auf einem Trägermaterial
gespeichert ist und somit nicht verändert werden kann.
Moderne optische 3D-Meßtechniken, die zumeist auf einer
gleichzeitigen und/oder getrennten Anwendung von
aktiven Triangulationsverfahren (Streifenprojektion)
und von passiven Triangulationsverfahren
(Fotogrammetrie) aufbauen, erfordern schnelle und
unkompliziert variierbare Streifenprojektionen, die
leicht und schnell den spezifischen geometrischen
Verhältnissen des 3D-Profils und des
Oberflächenzustandes des Meßobjektes angepaßt werden
können. Dies ist jedoch mit den bekannten
Streifenprojektionsverfahren nicht möglich.
LCD-Streifenprojektionen haben weiterhin den sehr
großen Nachteil, daß der Kontrast der erzeugten
Graycode-Streifen sehr niedrig ist und so für
zahlreiche technische Anwendungen diese
Streifenprojektionen nicht oder nur sehr beschränkt
eingesetzt werden können.
Für zahlreiche meßtechnische Anwendungsfälle ist es
notwendig, nicht nur amplitudenmodulierte Streifen
(schwarz/weiß-Strukturen) mit rechteckigem
Intensitätsverlauf, sondern auch phasenmodulierte
Streifen (Grauwertstrukturen) mit einem definierten
sinusförmigen Intensitätsverlauf (Phase-Code-Verfahren)
zu erzeugen und im gleichen Meßzyklus auf das Meßobjekt
zu projizieren, was unter Verwendung einer
herkömmlichen LCD-Streifenprojektion nicht bzw. nur
unter Verwendung zusätzlicher optischer
Abbildungssysteme möglich ist.
Ein weiterer Nachteil besteht bei der Verwendung
zusätzlicher optischer Abbildungssysteme darin, daß
alle Graycode-Sequenzen sinusförmig moduliert sind bzw.
die rechteckigen Sequenzen verzerrt werden, was sich
wiederum ungünstig auf die meßtechnische Anwendung
auswirkt, da hier zwecks Erreichung einer hohen
meßtechnischen Auflösung sowohl rechteckige als auch
sinusförmige Graycodes auf das Meßobjekt zu projizieren
sind.
Zur Erzeugung von Streifenprojektionen für die
Durchführung von 3D-Meßverfahren ist ebenfalls ein
Gitterträger bekannt, auf dem eine größere Anzahl
unterschiedlicher Streifenmuster mit einer sehr
niedrigen Auflösung von 0,5 µm aufgebracht sind. Die
jeweiligen Streifen werden durch Verschieben des
Gitterträgers im Strahlengang eines Projektors auf das
Meßobjekt projiziert, wobei sowohl rechteckförmige wie
sinusförmige Streifenintensitäten erzeugt werden können
und ein hoher Streifenkontrast erzielbar ist. Abgesehen
von einem höheren apparativen Aufwand zum Verschieben
des Gitterträgers und möglichen Stör- und
Fehlereinflüssen durch die mechanischen Stellelemente
besitzt diese Lösung für die Erzeugung und Projizierung
von Streifenintensitäten eine relativ hohe Taktzeit und
ist demzufolge für den online Einsatz von 3D-
Meßverfahren in automatisierten und teilautomatisierten
Fertigungslinien nur bedingt einsetzbar.
Aus der gattungsfremden JP 8-224 675 A ist eine
Vorrichtung zur Herstellung von Markierungen auf einer
Werkstückoberfläche bekannt. In einem festliegendem
Raster eines Grundgehäuses sind durch Motore oder durch
Arbeitszylinder in Wirkstellung bringbare Mikrospiegel
angeordnet, die einen auf die Spiegeloberfläche
auftreffenden Laserstrahl auf die Werkstücksoberfläche
zur Eintragung einer Markierung reflektieren. Dabei
wird die Oberfläche des Werkstücks durch das Aufbringen
von Markierungen bearbeitet, es erfolgt keine Codierung
der Oberfläche zum Zwecke einer optoelektronischen 3D-
Vermessung, sondern eine Bearbeitung, so daß die
Oberflächenstruktur des Meßobjektes verändert wird. Die
Mikrospiegel sind nur zwischen einer Wirk- und einer
Ruheposition verstellbar. Für die meßtechnisch
notwendige Ausbildung von Intensitätsverläufen
unterschiedlicher Konfiguration müssen die Mikrospiegel
innerhalb ihrer Raumachsen in beliebiger Weise
verstellbar sein. Auch bei einer Miniaturisierung des
Mikrospiegelsystems ist nur ein Gitterraster bzw. ein
Gittercode herstellbar bzw. projizierbar, so daß eine
breite Anwendung von 3D-Meßverfahren, insbesondere im
Mikro- und Nanobereich entscheidend eingeschränkt sind.
Aus der EP 0664 470 A2 ist die Verwendung von
Mikrospiegelprojektionssystemen für die digitale
Projektion von Lichtstrukturen) jedoch nur in
Videoprojektionssystemen und in der Drucktechnik)
vorbekannt.
Der Erfindung liegt daher die Aufgabe zugrunde, in
einem einzigen Aufnahmezyklus beliebige für die
optische 3D-Meßtechnik verwertbare, definierte
Intensitätsverläufe (Streifencodes) zu erzeugen und auf
das Meßobjekt zu projizieren.
Erfindungsgemäß wird die Aufgabe durch ein Verfahren
nach Anspruch 1 und eine Vorrichtung mit den Merkmalen
nach Anspruch 11 gelöst. Vorteilhafte Weiterbildungen
der Erfindung ergeben sich aus den Unteransprüchen 2
bis 10.
Mit der vorliegenden Erfindung werden die vorstehend
beschriebenen Nachteile der bisher bekannten und
technisch eingesetzten Verfahren zur Erzeugung von
Streifenprojektionen vollständig ausgeräumt.
Durch die Erzeugung und Projizierung von
Streifenintensitäten mit einem Mikrospiegelprojektor,
der eine Vielzahl von Teilspiegeln besitzt, die auf
einem Träger angeordnet und mit Hilfe eines Rechners
individuell ansteuerbar sind, können beliebige
Intensitätsverläufe in Form der in der 3D-Meßtechnik
üblicherweise verwendeten Streifen- oder Linienmuster
und auch mit einer sinusförmigen Modulation innerhalb
eines äußerst kurzen Zeitintervalls innerhalb eines
Aufnahmezyklusses erzeugt werden.
Insbesonders für fotogrammetrische Anwendungen besteht
die Möglichkeit, spezielle, dem 3D-Profil des
Meßobjektes angepaßte geometrische Strukturen, wie
beispielsweise Kreise, Punkt, Kreuze, Ellipsen,
Rechtecke u. a., zu erzeugen, deren Verschneidung mit
der Geometrie des Meßobjektes eine hochgenaue,
rechnergestützte Erfassung des 3D-Profiles des
Meßobjektes gewährleistet, wobei die nach der Erfindung
hergestellten Intensitätsverläufe eine hohe
Kontrastschärfe besitzen, die zu einer entscheidenden
Steigerung der Meßgenauigkeit und des
Leistungsvermögens der mit der 3D-Meßtechnik
erreichbaren Ergebnisse und Informationen beitragen.
Analog zu bekannten Verfahren, die unter Verwendung von
Dia-Projektoren einen Intensitätsverlauf erzeugen, der
einem Laserspecklemuster oder einem statistischen
Rauschmuster entspricht, sind mit der erfindungsgemäßen
Lösung auch die Voraussetzungen geschaffen worden,
derartige Intensitätsverläufe zu erzeugen und zu
projizieren.
Eine weitere Anwendung der Erfindung in der optischen
3D-Meßtechnik ist in der Projektion von Streifenmustern
gegeben, die zur 3D-Form eines zu vermessenden oder zu
prüfenden Körpers invers sind. Diese inversen
Projektionsmuster werden auf einfache Weise erhalten,
indem man zunächst eine Bildaufnahme von einem
bestimmten, der Geometrie des Meßobjektes angepaßten
Intensitätsverlauf vornimmt und das
Intensitätsverlaufsbild speichert. Wird nun dieses
Projektionsmuster, das die Objektform in codierter Form
enthält, über einen Meß- und Steuerrechner dem
Mikrospiegelsystem zugeführt und von diesem auf das
Meßobjekt projiziert, erfolgt eine Auslenkung der
Projektionsmuster entsprechend der Form des
Meßobjektes. Mit der Bildaufnahme wird das sogenannte
inverse Projektionsmuster festgehalten und bildet die
Grundlage für die nachfolgende meßtechnische
Auswertung. Auf diese Weise können ebenfalls die
Taktzeiten für die 3D-Meßprozesse erheblich verkürzt
werden.
Erfolgt die Erzeugung eines inversen Projektionsmusters
z. B. unter Verwendung einer Projektion paralleler
Streifen, so bedeutet dies, daß gekrümmte, der Form des
Meßobjektes angepaßte Streifen projiziert und durch die
Form des Objektes an der Aufnahmekamera gerade Streifen
identifiziert werden. Unter Verwendung entsprechender
mathematischer Auswertealgorithmen ist so die
Möglichkeit gegeben, für eine schnelle Inspektion der
Oberflächenform von Bauteilen (z. B. im
Fertigungsprozeß) eine online-Inspektion zu
realisieren, indem nur noch die Abweichung der von der
Aufnahmekamera registrierten Streifen von der Idealform
identifiziert werden müssen.
Eine weitere Anwendungsmöglichkeit eines nach der
Erfindung hergestellten inversen Intensitätsverlauf
besteht darin, daß zunächst an Hand eines
Projektionsmusters das Reflektionsverhalten der
Oberfläche eines Meßobjektes aufgenommen und
registriert wird. Wird nun über den Meß- und
Steuerrechner der Intensitätsverlauf des
Reflektionsverhaltens invertiert und auf ein zu
messendes Objekt projiziert, so werden die stark
reflektierenden Oberflächenbereiche mit dunkleren und
wenig reflektierende Bereiche mit helleren
Intensitätsverläufen beleuchtet. Die so erhaltenen
Meßsignale werden wiederum einer rechnergesteuerten
Auswertung zugeführt. Auch mit dieser
Ausführungsvariante können erhebliche Taktzeiten für
die Durchführung von 3D-Meßvorgängen eingespart werden.
Insgesamt wird mit der erfindungsgemäßen Lösung in der
optoelektronischen 3D-Meßtechnik, insbesondere bei der
Graycode-Streifenprojektion und in der Fotogrammetrie,
eine erhebliche Erweiterung und Verbesserung der bisher
bekannten technischen Möglichkeiten dieser Verfahren
sowohl aus technischer als auch methodischer Sicht
erzielt. Das vorgeschlagene Verfahren eignet sich
gleichermaßen für die Gestaltung einer neuen Generation
von Streifenprojektoren zur Ablösung der eingangs
beschriebenen Projektionssysteme und zum Aufbau
kompletter 3D-Meßmaschinen für den Einsatz in
fertigungsnahe Bereiche und im betrieblichen Meßwesen.
Die Erfindung soll nachstehend an einem
Ausführungsbeispiel näher erläutert werden. In den
dazugehörigen Zeichnungen zeigen:
Fig. 1a-1c: Intensitätsverläufe mit binärer
Intensitätsmodulierung
Fig. 2a und 2b: Intensitätsverläufe mit kreisring
förmiger Strukturierung
Fig. 3: ein Intensitätsverlauf mit kreuz
förmiger Strukturierung
Fig. 4 und 5: ein Intensitätsverlauf mit verschieden
artiger Strukturierung
Die in den Fig. 1a bis 5 beispielhaft dargestellten
Intensitätsverläufe werden mit Hilfe eines
erfindungsgemäß eingesetzten Mikrospiegelprojektors
erzeugt, der in den Strahlengang einer
Beleuchtungsquelle zur Abbildung von
Intensitätsverläufen auf ein Meßobjekt angeordnet ist.
Zur Erzeugung und Projizierung der Intensitätsverläufe
auf das Meßobjekt werden die Mikrospiegel des
Projektors gruppenweise und/oder einzeln mit einem
Rechner angesteuert und ihre Positionierung zu den
Lichtstrahlen der Beleuchtungsquelle verändert.
Fig. 1a und 1b zeigen binäre (rechteckförmige)
Intensitätsverläufe mit horizontaler oder vertikaler
Orientierung, wie sie aus dem Stand der Technik bereits
allgemein bekannt sind und beispielsweise für die
Bestimmung der Körperform oder der Oberflächengüte
eines Meßobjektes erfolgreich eingesetzt worden sind.
Mit Hilfe der erfindungsgemäßen Lösung können in einem
Meßzyklus innerhalb eines kurzen Zeitintervalls mehrere
Intensitätsverläufe mit unterschiedlich breiter,
rechteckiger, sinusförmigen oder ähnlichen
Strukturierung und unterschiedlichen Abständen zwischen
den benachbarten Streifen erzeugt und mit einer
Aufnahmekamera für die meßtechnische Auswertung erfaßt
werden. Auf diese Weise läßt sich eine hohe Genauigkeit
und eine höhere Aussage über das erzielte Meßergebnis
erreichen.
Innerhalb des gleichen Meßzyklusses können auch
Intensitätsverläufe erzeugt werden, die, wie in Fig. 1c
dargestellt, einen geneigten Intensitätsverlauf zur
vertikalen oder horizontalen Achse haben.
Nach Fig. 2a und 2b werden mit Hilfe des
Mikrospiegelprojektors kreisförmige Intensitätsverläufe
erzeugt, die einen vereinzelten kreisförmigen Verlauf
aufweisen oder in einem konzentrischen Verlauf auf das
Meßobjekt projiziert werden können. Die erzeugten
kreisförmigen Strukturen besitzen eine überaus hohe
Konturschärfe und lassen sich in ihrer Breite beliebig
variieren. Derartige kreisförmige Intensitätsverläufe
waren mit den bisher bekannten Einrichtungen und
Verfahren für die 3D-Messung nicht herstellbar und
werden beispielsweise vorteilhaft zum Messen der Form
und der Oberfläche von Vertiefungen eingesetzt, die in
einem Werkstück oder einem beliebigen Meßobjekt
gemessen werden müssen.
Eine weitere Möglichkeit zur Herstellung eines
Intensitätsverlaufes mit einer kreuzförmigen
Strukturierung zeigt Fig. 3, wobei die Anzahl der
Verläufe und ihre körperliche Struktur beliebig
variiert werden können.
Mit der vorliegenden Erfindung können erstmals
Intensitätsverläufe mit einer unterschiedlichen
Ausbildung und Orientierung der Strukturierung analog
einer Bild-in-Bild-Funktion in einem einzigen
Strukturbild erzeugt und auf das Meßobjekt projiziert
werden. Die in Fig. 4 und 5 dargestellten
Ausführungsvarianten dienen insbesondere zur
meßtechnischen Bestimmung und Erfassung komplizierter
Körperformen und einzelner Flächenabschnitte eines
Meßobjektes.
Claims (11)
1. Verfahren für die berührungslose optoelektronische
3D-Messung von Meßobjekten, bei dem zur Codierung
eines Meßobjektes beliebige Intensitätsverläufe
(Graycodes) auf das Meßobjekt projiziert werden und
mittels optoelektronischer Bildaufnahme- und
rechnergestützter Auswerteverfahren anhand der
durch die räumliche Struktur des Meßobjektes
verursachten Auslenkungen im Intensitäts
verlaufsbild die Oberflächenbeschaffenheit, die
Konfiguration (Körperform) und/oder die Abmessungen
des Meßobjektes ermittelt werden,
dadurch gekennzeichnet, daß
die Intensitätsverläufe mit einem Mikrospiegel
system rechnergesteuert erzeugt und auf das
Meßobjekt projiziert werden.
2. Verfahren nach Anspruch 1,
dadurch gekennzeichnet, daß
in einem Meßzyklus in kurzer, zeitlicher Folge
Intensitätsverläufe mit unterschiedlicher Struktur
breite und unterschiedlichen Abständen zwischen
benachbarten Strukturen auf das Meßobjekt
projiziert werden.
3. Verfahren nach Anspruch 1 oder 2,
dadurch gekennzeichnet, daß
die projizierten Intensitätsverläufe eine binäre
Intensitätsmodulierung aufweisen.
4. Verfahren nach Anspruch 1 oder 2,
dadurch gekennzeichnet, daß
die projizierten Intensitätsverläufe sinusförmig
moduliert werden.
5. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 4,
dadurch gekennzeichnet, daß
die projizierten Intensitätsverläufe streifen-,
punkt-, kreis- oder ellipsenförmig strukturiert
sind.
6. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 4,
dadurch gekennzeichnet, daß
die projizierten Intensitätsverläufe kreuzförmig
strukturiert sind.
7. Verfahren nach Anspruch 1 oder 2,
dadurch gekennzeichnet, daß
die projizierten Intensitätsverläufe einen
speckleförmigen Verlauf aufweisen.
8. Verfahren nach Anspruch 1 oder 2,
dadurch gekennzeichnet, daß
die projizierten Intensitätsverläufe eine
statistische Rauschstruktur besitzen.
9. Verfahren nach Anspruch 1,
dadurch gekennzeichnet, daß
Intensitätsverläufe unterschiedlicher Ausbildung
nach den Ansprüchen 2 bis 8 zusammen in einer Bild-
in-Bild-Funktion auf das Meßobjekt projiziert
werden.
10. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 9,
dadurch gekennzeichnet, daß
zunächst eine Bildaufnahme von einem bestimmten,
der Geometrie des Meßobjektes angepaßten
Intensitätsverlauf vorgenommen und das Intensitäts
verlaufsbild gespeichert wird, danach dieses als
Projektionsmuster, das die Objektform in codierter
Form enthält, über einen Meß- und Steuerrechner dem
Mikrospiegelsystem zugeführt und von diesem auf das
Meßobjekt projiziert wird und die hervorgerufenen
Auslenkungen des inversiven Projektionsmusters
entsprechend der Form des Meßobjektes durch
Bildaufnahme festgehalten und einer nachfolgenden
meßtechnischen Auswertung zugeführt werden.
11. Vorrichtung für die berührungslose, opto
elektronische 3D-Messung von Meßobjekten mit
Mitteln, die zur Codierung eines Meßobjektes
beliebige Intensitätsverläufe (Graycodes) auf das
Meßobjekt projizieren sowie mit optoelektronischen
Bildaufnahme- und rechnergestützten Auswerte
mitteln, die anhand der durch die räumliche
Struktur des Meßobjektes verursachten Auslenkungen
im Intensitätsverlaufsbild die Oberflächen
beschaffenheit, die Konfiguration (Körperform)
und/oder die Abmessungen des Meßobjektes ermittelt
werden,
dadurch gekennzeichnet, daß
zur Intensitätsverteilungsprojektion im Strahlen
gang einer Lichtquelle ein aus einer Vielzahl von
in ihrer Anordnung mit Hilfe eines Rechners
ansteuerbaren Mikrospiegel bestehender Projektor
angeordnet ist.
Priority Applications (7)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE19639999A DE19639999C2 (de) | 1996-09-18 | 1996-09-18 | Verfahren und Vorrichtung für die 3D-Messung |
EP97942784A EP0927334B1 (de) | 1996-09-18 | 1997-08-29 | Verfahren und vorrichtung für die 3d-messung |
AT97942784T ATE212124T1 (de) | 1996-09-18 | 1997-08-29 | Verfahren und vorrichtung für die 3d-messung |
AU44503/97A AU4450397A (en) | 1996-09-18 | 1997-08-29 | Method and device for 3d measurement |
PCT/DE1997/001948 WO1998012501A1 (de) | 1996-09-18 | 1997-08-29 | Verfahren und vorrichtung für die 3d-messung |
US09/254,983 US6611343B1 (en) | 1996-09-18 | 1997-08-29 | Method and device for 3D measurement |
DK97942784T DK0927334T3 (da) | 1996-09-18 | 1997-08-29 | Fremgangsmåde og indretning til 3D-måling |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE19639999A DE19639999C2 (de) | 1996-09-18 | 1996-09-18 | Verfahren und Vorrichtung für die 3D-Messung |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE19639999A1 DE19639999A1 (de) | 1998-03-26 |
DE19639999C2 true DE19639999C2 (de) | 1998-08-20 |
Family
ID=7807225
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE19639999A Expired - Lifetime DE19639999C2 (de) | 1996-09-18 | 1996-09-18 | Verfahren und Vorrichtung für die 3D-Messung |
Country Status (7)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US6611343B1 (de) |
EP (1) | EP0927334B1 (de) |
AT (1) | ATE212124T1 (de) |
AU (1) | AU4450397A (de) |
DE (1) | DE19639999C2 (de) |
DK (1) | DK0927334T3 (de) |
WO (1) | WO1998012501A1 (de) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE102007039077A1 (de) | 2007-08-19 | 2009-03-05 | Fachhochschule Gießen-Friedberg | Signalmarken und Verfahren zur photogrammetrischen Vermessung von geometrisch unregelmäßigen Objekten |
DE102009017464A1 (de) * | 2009-04-03 | 2010-10-07 | Carl Zeiss Oim Gmbh | Vorrichtung zum optischen Inspizieren einer Oberfläche an einem Gegenstand |
WO2013017618A1 (de) | 2011-08-01 | 2013-02-07 | Gfmesstechnik Gmbh | Optische oberflächenabtastung mit strukturierter beleuchtung |
Families Citing this family (37)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE19753246C2 (de) * | 1997-12-01 | 2002-11-28 | Roland Seifert | Vorrichtung zur Bestimmung von dreidimensionalen Daten von Objekten |
WO2002003026A1 (en) * | 2000-07-04 | 2002-01-10 | Fastcom Technology S.A. | System and method for angle measurement |
DE10132309B4 (de) * | 2001-07-06 | 2006-09-21 | Geometrie Concern Verwaltungs- Und Beteiligungsgesellschaft Mbh | Visuelles Kontrollverfahren und Kontrollsystem |
DE10144004A1 (de) * | 2001-09-07 | 2003-03-27 | Philips Corp Intellectual Pty | Verfahren zur Messung geometrischer Größen einer in einem Bild enthaltenen Struktur |
DE10344051B4 (de) * | 2003-09-23 | 2008-05-15 | Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. | Vorrichtung und Verfahren zur Vermessung von Entfernungen und/oder räumlichen Koordinaten eines Gegenstandes |
US7212330B2 (en) * | 2004-03-22 | 2007-05-01 | Angstrom, Inc. | Three-dimensional imaging system for pattern recognition |
US7489434B2 (en) | 2007-05-02 | 2009-02-10 | Angstrom, Inc. | Hybrid micromirror array lens for reducing chromatic aberration |
US7619807B2 (en) * | 2004-11-08 | 2009-11-17 | Angstrom, Inc. | Micromirror array lens with optical surface profiles |
DE102005002190B4 (de) * | 2005-01-17 | 2007-04-12 | Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. | Scanner und Verfahren zum Betreiben eines Scanners |
DE102005002189B4 (de) * | 2005-01-17 | 2007-02-15 | Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. | Vorrichtung zum Ermitteln der Winkelposition eines Lichtstrahls und Verfahren zum Betreiben einer Vorrichtung zum Ermitteln der Winkelposition eines Lichtstrahls |
DE102005044912B4 (de) * | 2005-09-16 | 2014-07-24 | Friedrich-Schiller-Universität Jena | Verfahren und Vorrichtung zur dreidimensionalen optischen Vermessung von spiegelnden Oberflächen |
ATE441087T1 (de) | 2006-04-27 | 2009-09-15 | 3D Scanners Ltd | Optische rastersonde |
GB0612786D0 (en) * | 2006-06-28 | 2006-08-09 | Spiral Scratch Ltd | Imaging with depth information |
US7495777B2 (en) * | 2006-08-08 | 2009-02-24 | Tyrex Services Group Ltd. | Method and apparatus for contact free measurement of periodically moving objects |
GB0615956D0 (en) * | 2006-08-11 | 2006-09-20 | Univ Heriot Watt | Optical imaging of physical objects |
US20080156619A1 (en) * | 2006-12-01 | 2008-07-03 | Mehul Patel | Range finder |
US9505606B2 (en) * | 2007-06-13 | 2016-11-29 | Angstrom, Inc. | MEMS actuator with discretely controlled multiple motions |
US7605988B2 (en) * | 2007-07-23 | 2009-10-20 | Angstrom, Inc. | Compact image taking lens system with a lens-surfaced prism |
US7589916B2 (en) * | 2007-08-10 | 2009-09-15 | Angstrom, Inc. | Micromirror array with iris function |
US20090185067A1 (en) * | 2007-12-21 | 2009-07-23 | Stereo Display, Inc. | Compact automatic focusing camera |
US8810908B2 (en) * | 2008-03-18 | 2014-08-19 | Stereo Display, Inc. | Binoculars with micromirror array lenses |
US8244066B2 (en) * | 2008-03-24 | 2012-08-14 | The Aerospace Corporation | Adaptive membrane shape deformation system |
EP2286368B1 (de) * | 2008-05-06 | 2013-09-04 | Flashscan3d, Llc | System und verfahren zur strukturierten beleuchtung mit rahmenunterfenstern |
US8622557B2 (en) * | 2008-05-20 | 2014-01-07 | Stereo Display, Inc. | Micromirror array lens with self-tilted micromirrors |
US20090303569A1 (en) * | 2008-05-20 | 2009-12-10 | Stereo Didplay, Inc. | Self-tilted micromirror device |
FR2936605B1 (fr) * | 2008-10-01 | 2014-10-31 | Saint Gobain | Dispositif d'analyse de la surface d'un substrat |
FR2940831B1 (fr) * | 2009-01-06 | 2011-09-30 | Peugeot Citroen Automobiles Sa | Dispositif d'eclairage d'une entite d'au moins un vehicule automobile |
US8391590B2 (en) * | 2010-03-04 | 2013-03-05 | Flashscan3D, Llc | System and method for three-dimensional biometric data feature detection and recognition |
DE102011014779A1 (de) * | 2011-03-15 | 2012-09-20 | Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. | Vorrichtung und Verfahren zur Vermessung eines Gegenstandes |
JP6061631B2 (ja) * | 2011-07-11 | 2017-01-18 | キヤノン株式会社 | 計測装置、情報処理装置、計測方法、情報処理方法、および、プログラム |
JP5132832B1 (ja) * | 2011-07-11 | 2013-01-30 | キヤノン株式会社 | 計測装置および情報処理装置 |
DE102012108567B4 (de) * | 2011-10-05 | 2017-04-27 | Electronics And Telecommunications Research Institute | Verfahren zum Erlangen von Tiefeninformationen unter Verwendung eines Lichtmusters |
US9049433B1 (en) | 2012-01-06 | 2015-06-02 | John H. Prince | High-speed railroad inspection using coordinated 3D cameras |
JP6041513B2 (ja) | 2012-04-03 | 2016-12-07 | キヤノン株式会社 | 画像処理装置、画像処理方法及びプログラム |
US9188433B2 (en) * | 2012-05-24 | 2015-11-17 | Qualcomm Incorporated | Code in affine-invariant spatial mask |
DE102018208417A1 (de) * | 2018-05-28 | 2019-11-28 | Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. | Projektionsvorrichtung und Projektionsverfahren |
DE102021206336A1 (de) * | 2021-06-21 | 2022-12-22 | Robert Bosch Gesellschaft mit beschränkter Haftung | Vorrichtung und Verfahren zur optischen Analyse einer Oberfläche |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP0330429A2 (de) * | 1988-02-26 | 1989-08-30 | National Research Council Of Canada | Verfahren und Apparat zur Ueberwachung des Oberflächenprofils eines Werkstückes |
EP0664470A2 (de) * | 1993-12-21 | 1995-07-26 | Texas Instruments Incorporated | Verbesserter mehrschichtiger digitaler Mikrospiegel |
DE4415834A1 (de) * | 1994-05-05 | 1995-11-09 | Breuckmann Gmbh | Vorrichtung zur optischen Vermessung von Entfernungen und räumlichen Koordinaten |
DE19502459A1 (de) * | 1995-01-28 | 1996-08-01 | Wolf Henning | Verfahren zur dreidimensionalen optischen Vermessung der Oberfläche von Objekten |
Family Cites Families (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
FR1520539A (fr) | 1967-02-14 | 1968-04-12 | Comp Generale Electricite | Oscillateur paramétrique optique |
US5372502A (en) * | 1988-09-02 | 1994-12-13 | Kaltenbach & Voight Gmbh & Co. | Optical probe and method for the three-dimensional surveying of teeth |
US5052815A (en) | 1990-04-13 | 1991-10-01 | Coherent, Inc. | Single frequency ring laser with two reflecting surfaces |
DE4134117C2 (de) * | 1991-10-15 | 1996-02-01 | Kaltenbach & Voigt | Verfahren zur optischen Vermessung von Objekten |
US5289493A (en) | 1992-04-21 | 1994-02-22 | Hughes Aircraft Company | Cavity modulated linear chirp laser |
US5260953A (en) | 1992-09-08 | 1993-11-09 | Alcon Surgical, Inc. | Tunable solid-state laser |
GB9219095D0 (en) | 1992-09-09 | 1992-10-28 | Univ Strathclyde | Ring laser |
US5289491A (en) | 1993-03-22 | 1994-02-22 | Amoco Corporation | Intracavity harmonic sub-resonator with extended phase matching range |
JPH0733799A (ja) | 1993-07-20 | 1995-02-03 | Green Cross Corp:The | 高比活性トロンビンおよびその製造方法 |
US5475452A (en) * | 1994-02-24 | 1995-12-12 | Keravision, Inc. | Device and method for mapping objects |
DE4426424C2 (de) * | 1994-07-26 | 2002-05-23 | Asclepion Meditec Ag | Vorrichtung zur rasterstereografischen Vermessung von Körperoberflächen |
US5615003A (en) * | 1994-11-29 | 1997-03-25 | Hermary; Alexander T. | Electromagnetic profile scanner |
-
1996
- 1996-09-18 DE DE19639999A patent/DE19639999C2/de not_active Expired - Lifetime
-
1997
- 1997-08-29 AU AU44503/97A patent/AU4450397A/en not_active Abandoned
- 1997-08-29 WO PCT/DE1997/001948 patent/WO1998012501A1/de active IP Right Grant
- 1997-08-29 EP EP97942784A patent/EP0927334B1/de not_active Expired - Lifetime
- 1997-08-29 AT AT97942784T patent/ATE212124T1/de active
- 1997-08-29 DK DK97942784T patent/DK0927334T3/da active
- 1997-08-29 US US09/254,983 patent/US6611343B1/en not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP0330429A2 (de) * | 1988-02-26 | 1989-08-30 | National Research Council Of Canada | Verfahren und Apparat zur Ueberwachung des Oberflächenprofils eines Werkstückes |
EP0664470A2 (de) * | 1993-12-21 | 1995-07-26 | Texas Instruments Incorporated | Verbesserter mehrschichtiger digitaler Mikrospiegel |
DE4415834A1 (de) * | 1994-05-05 | 1995-11-09 | Breuckmann Gmbh | Vorrichtung zur optischen Vermessung von Entfernungen und räumlichen Koordinaten |
DE19502459A1 (de) * | 1995-01-28 | 1996-08-01 | Wolf Henning | Verfahren zur dreidimensionalen optischen Vermessung der Oberfläche von Objekten |
Non-Patent Citations (1)
Title |
---|
JP 8-224675 A mit englischsprachiger Zusammenfassung * |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE102007039077A1 (de) | 2007-08-19 | 2009-03-05 | Fachhochschule Gießen-Friedberg | Signalmarken und Verfahren zur photogrammetrischen Vermessung von geometrisch unregelmäßigen Objekten |
DE102009017464A1 (de) * | 2009-04-03 | 2010-10-07 | Carl Zeiss Oim Gmbh | Vorrichtung zum optischen Inspizieren einer Oberfläche an einem Gegenstand |
DE102009017464B4 (de) * | 2009-04-03 | 2011-02-17 | Carl Zeiss Oim Gmbh | Vorrichtung zum optischen Inspizieren einer Oberfläche an einem Gegenstand |
WO2013017618A1 (de) | 2011-08-01 | 2013-02-07 | Gfmesstechnik Gmbh | Optische oberflächenabtastung mit strukturierter beleuchtung |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
WO1998012501A1 (de) | 1998-03-26 |
EP0927334A1 (de) | 1999-07-07 |
US6611343B1 (en) | 2003-08-26 |
EP0927334B1 (de) | 2002-01-16 |
DK0927334T3 (da) | 2002-05-06 |
DE19639999A1 (de) | 1998-03-26 |
AU4450397A (en) | 1998-04-14 |
ATE212124T1 (de) | 2002-02-15 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
DE19639999C2 (de) | Verfahren und Vorrichtung für die 3D-Messung | |
EP3278302B1 (de) | Bewegungsmesssystem einer maschine und verfahren zum betreiben des bewegungsmesssystems | |
EP1715291B1 (de) | Projektor für eine Anordnung zum dreidimensionalen optischen Vermessen von Objekten | |
EP3033588B1 (de) | Verfahren und vorrichtung zum berührungslosen vermessen von oberflächenkonturen | |
EP3298346B1 (de) | Vorrichtung zur optischen 3d-vermessung eines objekts | |
DE69132853T2 (de) | Dreidimensionales Messinstrument | |
DE3854348T2 (de) | Verfahren und Vorrichtung zum Messen der Form einer dreidimensional gekrümmten Oberfläche. | |
DE69030046T2 (de) | Kugeldruckhärtetester | |
DE3829925C2 (de) | Vorrichtung zur optischen Vermessung von Zähnen in der Mundhöhle | |
EP2721371B1 (de) | Verfahren zur optischen dreidimensionalen vermessung eines dentalen objekts | |
EP0923705B1 (de) | Verfahren und vorrichtung zur bestimmung der räumlichen koordinaten von gegenständen | |
EP2437027A2 (de) | Vorrichtung und Verfahren zur dreidimensionalen optischen Abtastung einer Probe | |
DE102006015792A1 (de) | Verfahren und System zur Formmessung einer reflektierenden Oberfläche | |
EP1957935A1 (de) | Vorrichtung und verfahren zur vermessung der oberfläche eines körpers | |
DE102016217628B4 (de) | Verfahren zum Betreiben eines Operationsmikroskopiesystems, Bewegungsmesssystem für ein Operationsmikroskopiesystem und Operationsmikroskopiesystem | |
DE102019110508A1 (de) | Verfahren zum Steuern eines Koordinatenmessgerätes und Koordinatenmessgerät | |
WO1997010488A1 (de) | Verfahren und vorrichtung zum erfassen und vermessen dreidimensionaler körper oder von beliebigen flächen | |
DE4439307C2 (de) | Beobachtungsoptik für ein 3D-Oberflächenmeßgerät mit hoher Genauigkeit | |
DE19846145A1 (de) | Verfahren und Anordung zur 3D-Aufnahme | |
EP3292371B1 (de) | Vorrichtung und verfahren zum räumlichen vermessen von oberflächen | |
DE10321883A1 (de) | Verfahren und Sensor zur hochgenauen optischen Abtastung | |
EP0867689A2 (de) | Mikrofotogrammatische Messeinrichtung | |
WO2014114663A1 (de) | Optische vorrichtung und verfahren zum bestimmen räumlicher koordinaten von oberflächen makroskopischer objekte durch triangulation zweier zeilenkameras | |
DE3934423C1 (en) | Camera photographing topography of test piece surface - produces Moire image using CCD sensors recording phase shift between object grating and camera reference grating | |
DE19633337A1 (de) | Positionsmeßsystem |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
OP8 | Request for examination as to paragraph 44 patent law | ||
D2 | Grant after examination | ||
8327 | Change in the person/name/address of the patent owner |
Owner name: GF MESSTECHNIK GMBH, 14513 TELTOW, DE |
|
8363 | Opposition against the patent | ||
8330 | Complete renunciation |