DE19639939A1 - Optische Spektralmeßvorrichtung - Google Patents

Description

Die vorliegende Erfindung betrifft optische Spektralmeßvor­ richtungen zum Messen der optischen Spektraleigenschaften von Lichtquellen.

Fig. 5 ist ein Strukturdiagramm zum Zeigen einer Struktur einer üblichen optischen Spektralmeßvorrichtung. In Fig. 5 bezeichnet Bezugszeichen 1 eine Lichtquelle, welche Licht be­ stehend aus einer Vielzahl von Wellenlängen erzeugt, wobei dieses Licht von einem Emissionsabschnitt 1a emittiert wird. Bezugszeichen 2 bezeichnet eine optische Faser, deren einer Endabschnitt 2a nahe dem Emissionsabschnitt 1a der Licht­ quelle 1 angeordnet ist. Das Licht von der Lichtquelle 1 wird durch diesen Endabschnitt 2a eingegeben. Das durch den Endab­ schnitt 2a eingegebene Licht propagiert durch die optische Faser 2 und wird von dem anderen Endabschnitt 2b emittiert.

Bezugszeichen 3 bezeichnet einen konkaven Spiegel zum Reflek­ tieren des von dem Endabschnitt 2b emittierten Lichts, um zu einem Parallelstrahl zu machen. Bezugszeichen 4 bezeichnet ein Beugungsgitter mit einer Vielzahl linearer Nuten 4a, die paralleler zueinander ausgebildet sind, welches sich um eine Achse 4b drehen kann, die parallel zu diesen Nuten 4a ver­ läuft. Das Beugungsgitter 4 beugt den einfallenden Parallel­ strahl in verschiedene Richtungen in Abhängigkeit von der Wellenlänge, um ihn in Wellenlängenkomponenten aufzuteilen. Zusätzlich bezeichnet Bezugszeichen 5 einen konkaven Spiegel zum Reflektieren der durch das Beugungsgitter 4 gebeugten Wellenlängenkomponenten, um sie zu bündeln. Bezugszeichen 6 bezeichnet eine Emissionsspaltblende zum Beschränken der Wel­ lenlängenkomponenten und der Intensität, welche durchgelassen werden dürfen. Bezugszeichen 7 bezeichnet eine Linse zum Bün­ deln des Lichts. Bezugszeichen 7 bezeichnet einen optischen Detektor, der das einfallende Licht in ein elektrisches Si­ gnal proportional zur optischen Intensität umwandelt, und das umgewandelte elektrische Signal von dem Ausgangsanschluß Ba als Erfassungssignal ausgibt.

Der oben erwähnte Endabschnitt 2b, die konkaven Spiegel 3 und 5, das Beugungsgitter 4 und die Emissionsspaltblende 6 bilden ein Czerny-Turner-Dispersionsspektroskop.

Bei dem obigen Aufbau wird Licht bestehend aus verschiedenen Wellenlängenkomponenten, das von dem Emissionsabschnitt Ia der Lichtquelle 1 emittiert wird, in den Endabschnitt 2a der optischen Faser 2 eingegeben, propagiert dann durch die opti­ sche Faser 2, um von dem anderen Endabschnitt 2b emittiert zu werden. Das von dem Endabschnitt 2b emittierte Licht propa­ giert unter Ausbreitung innerhalb der Grenzen einer Winkel­ apertur, die durch die numerische Apertur des Endabschnitts 2b bestimmt ist, und wird dann durch den konkaven Spiegel 3 reflektiert, um einen Parallelstrahl zu bilden. Als nächstes fällt dieser Parallelstrahl auf das Beugungsgitter 4, um in verschiedene Winkel abhängig von der Wellenlängenkomponente gebeugt zu werden. Von den Wellenlängenkomponenten, die durch dieses Beugungsgitter 4 gebeugt werden, wird die in der Rich­ tung des konkaven Spiegels 5 gebeugte Wellenlängenkomponente durch den konkaven Spiegel 5 reflektiert. Die durch diesen konkaven Spiegel 5 reflektierte Wellenlängenkomponente hat eine Wellenlängenbreite, die vom Grad der Dispersion durch das Beugungsgitter 4, dem Abstand zwischen dem Beugungsgitter 4 und dem konkaven Spiegel 5 und der Aperturfläche des konka­ ven Spiegels 5 abhängt. Von den durch den konkaven Spiegel 5 reflektierten Wellenlängenkomponenten kann nur die spezielle Wellenlängenkomponente, die auf die Position der Emissions­ spaltblende 6 abgebildet wird, durch die Emissionsspaltblende 6 durchtreten.

Die Wellenlängenkomponente, die durch die Emissionsspalt­ blende 6 hindurchgetreten ist, wird durch die Linse 7 gebün­ delt und fällt auf den optischen Detektor 8. Dann wird diese Wellenlängenkomponente in ein elektrisches Signal proportio­ nal zur optischen Intensität umgewandelt, und das so umgewan­ delte elektrische Signal wird vom Ausgangsanschluß 8a als ein Erfassungssignal ausgegeben.

Zusätzlich kann, falls der Winkel des Beugungsgitters 4 in Fig. 5 so eingestellt ist, daß eine spezielle Wellenlän­ genkomponente durch die Emissionsspaltblende 6 hindurchtritt, dann die optische Intensität der speziellen Wellenlänge im von den Emissionsabschnitt 1a der Lichtquelle 1 emittierten Licht erkannt werden. Zusätzlich können die Wellenlängen-In­ tensitätseigenschaften des von der Lichtquelle 1 emittierten Lichts durch Abtasten der Wellenlängen durch Änderung des Winkels des Beugungsgitters bestimmt werden.

Ein Hauptfaktor beim Evaluieren der Funktionstüchtigkeit der optischen Spektralmeßvorrichtungen ist, wie gut Streulicht unterdrückt wird. Eine ideale optische Spektralmeßvorrichtung sollte es nicht zulassen, daß irgendwelche Wellenlängenkompo­ nenten, die außerhalb des durch die Breite der Emissions­ spaltblende 6 bestimmten Wellenlängenbereichs liegen, durch die Emissionsspaltblende 6 hindurchtreten, wenn der Winkel des Beugungsgitter 4 in Fig. 5 so eingestellt ist, daß die Emissionsspaltblende 6 nur eine spezielle Wellenlängenkompo­ nente durchläßt. Jedoch wird in der tatsächlichen Praxis Streulicht durch Fehler in der Gestalt des Beugungsgitters 4 und durch Aberrationen oder Beschränkungen der Präzision der Oberflächen der konkaven Spiegel 3 und 5 erzeugt, was Pro­ bleme insofern auferlegt, als daß externe Wellenlängenkompo­ nenten auf den optischen Detektor 8 einfallen.

Die vorliegende Erfindung berücksichtigt die oben erwähnte Situation und hat die Aufgabe, eine optische Spektralmeßvor­ richtung zu schaffen, welche das Auftreten von Streulicht re­ duzieren kann.

Zum Lösen der obigen Probleme schafft die vorliegende Erfin­ dung eine optische Spektralmeßvorrichtung mit einem Spektros­ kop mit zumindest einer Emissionsspaltblende, welche eine für jede Emissionsspaltblende vorgesehene Maske aufweist, um ei­ nen Aperturdurchmesser für Wellenlängenkomponenten, die durch jede Emissionsspaltblende durchtreten, zu beschränken.

Bei der optischen Spektralmeßvorrichtung nach der vorliegen­ den Erfindung entfernt die Maske Streulichtkomponenten von den Wellenlängenkomponenten, welche durch die Emissionsspalt­ blende des Spektroskops durchgetreten sind, so daß es möglich ist, Wellenlängen zu erhalten, die wenig Streulicht enthal­ ten.

In den Figuren zeigen:

Fig. 1 ein Strukturdiagramm zum Zeigen einer ersten Aus­ führungsform einer optischen Spektralmeßvorrichtung nach der vorliegenden Erfindung;

Fig. 2A und 2B Diagramme zum Zeigen eines Teils des op­ tischen Systems der in Fig. 1 gezeigten optischen Spektralmeßvorrichtung;

Fig. 3 ein Strukturdiagramm zum Zeigen einer zweiten Aus­ führungsform einer optischen Spektralmeßvorrichtung gemäß der vorliegenden Erfindung;

Fig. 4A und 4B Diagramme zum Zeigen eines Teils des optischen Sy­ stems der in Fig. 3 gezeigten optischen Spektral­ meßvorrichtung; und

Fig. 5 ein Strukturdiagramm zum Zeigen der Struktur einer herkömmlichen optischen Spektralmeßvorrichtung.

Im weiteren werden Ausführungsformen der vorliegenden Erfin­ dung mit Bezug auf die Zeichnungen beschrieben.

Erste Ausführungsform

Fig. 1 ist ein Strukturdiagramm zum Zeigen einer ersten Aus­ führungsform der optischen Spektralmeßvorrichtung nach der vorliegenden Erfindung; in der Zeichnung sind die Teile, wel­ che denen in Fig. 5 entsprechen, mit den gleichen Bezugszei­ chen versehen, und ihre Erklärung wird unterlassen. Die opti­ sche Spektralmeßvorrichtung, die in dieser Zeichnung gezeigt ist, unterscheidet sich von der in Fig. 5 gezeigten inso­ fern, als daß sie eine Maske 9 zum Beschränken der Apertur­ breite aufweist. Diese Maske 9 ist zwischen der Emissions­ spaltblende 6 und der Linse 7 angeordnet und weist ein kreis­ förmiges Loch auf, durch das das von der Emissionsspaltblende 6 emittierte Licht hindurchtritt. Zusätzlich ist die Anord­ nung derart, daß die Emissionsspaltblende 6, das Zentrum des Lochs in der Maske 7 und der Brennpunkt der Linse 7 auf der­ selben geraden Linie liegen.

Bei der oben beschriebenen Struktur stellt ein Benutzer zu­ nächst den Winkel des Beugungsgitters 4 ein, so daß nur eine spezielle Wellenlängenkomponente durch die Emissionsspalt­ blende 6 hindurchtreten kann. Als nächstes wird Licht beste­ hend aus verschiedenen Wellenlängenkomponenten von dem Emis­ sionsabschnitt 1a der Lichtquelle 1 emittiert, und wird durch den Endabschnitt 2a in die optische Faser 2 eingegeben. Das von dem Endabschnitt 2a eingegebene Licht propagiert durch die optische Faser 2 und wird vom anderen Endabschnitt 2b emittiert. Das von dem Endabschnitt 2b emittierte Licht pro­ pagiert unter Ausbreitung innerhalb der Grenze einer Winkel­ apertur, die durch die numerische Apertur des Endabschnitts 2b bestimmt ist, und wird dann durch den konkaven Spiegel 3 reflektiert, um einen Parallelstrahl zu bilden. Als nächstes fällt dieser Parallelstrahl auf das Beugungsgitter 4, um in verschiedene Winkel abhängig von der Wellenlängenkomponente gebeugt zu werden. Von den durch dieses Beugungsgitter 4 ge­ beugten Wellenlängenkomponenten wird die in der Richtung des konkaven Spiegels 5 gebeugte Wellenlängenkomponente durch den konkaven Spiegel 5 reflektiert. Die durch diesen konkaven Spiegel 5 reflektierte Wellenlängenkomponente hat eine Wel­ lenlängenbreite, welche von dem Grad der Dispersion durch das Beugungsgitter 4, dem Abstand zwischen dem Beugungsgitter 4 und dem konkaven Spiegel 5 und der Aperturfläche des konkaven Spiegels 5 abhängt. Von den durch den konkaven Spiegel 5 re­ flektierten Wellenlängenkomponenten kann nur die spezielle Wellenlänge, welche auf die Position der Emissionsspaltblende 6 abgebildet wird, durch die Emissionsspaltblende 6 hindurch­ treten.

Die Wellenlängenkomponenten, welche von dem Endabschnitt 2b emittiert werden, breiten sich nicht weiter als der durch die numerische Apertur des Endabschnitts 2b bestimmte Aperturwin­ kel aus. Deshalb wird, falls das Beugungsgitter 4 und die konkaven Spiegel 3 und 5 ideal sind, da nur die spezielle Wellenlängenkomponente, die durch das Beugungsgitter 4 ge­ beugt wird und auf den konkaven Spiegel 5 einfällt, auf die Position der Emissionsspaltblende 6 abgebildet, um so durch die Emissionsspaltblende 6 durchtreten zu können. Jedoch ver­ ursachen in der tatsächlichen Praxis das Beugungsgitter 4 und die konkaven Spiegel 3 und 5 Streuungen und Aberrationen, um somit Streulicht zu erzeugen. Dieses Streulicht beinhaltet Wellenlängenkomponenten, die von den ursprünglich zum Durch­ tritt durch die Emissionsspaltblende 6 spezifizierten Wellen­ längenkomponenten verschieden sind, und tritt durch die Emis­ sionsspaltblende 6, ohne auf die Position der Emissionsspalt­ blende 6 abgebildet zu werden.

Wie in Fig. 1 gezeigt, beschränkt die Maske 9 die Breite der Apertur für die spezielle Wellenlängenkomponente und das Streulicht, welches durch die Emissionsspaltblende 6 getreten ist. In diesem Fall tritt die spezielle Wellenlängenkompo­ nente durch die Maske 9, aber die Anteile des Streulichts, welche sich stärker als der Aperturdurchmesser der Maske 9 ausbreiten, können nicht durch die Maske 9 hindurchtreten. Demzufolge ist der Anteil von Streulicht reduziert.

Fig. 2A und 2B zeigen einen Teil des optischen Systems der in Fig. 1 gezeigten optischen Spektralmeßvorrichtung. Insbe­ sondere ist Fig. 2A eine Zeichnung zum Zeigen des Wegs, der durch das hindurchtretende Licht eingenommen wird, wenn die Breite des Emissionsspaltblende in Fig. 1 klein ist, und Fig. 2B ist eine Zeichnung zum Zeigen des Wegs, der durch das hindurchtretende Licht eingenommen wird, wenn die Breite der Emissionsspaltblende von Fig. 1 groß ist.

In Fig. 2A ist der Durchmesser des Lochs in der Maske 9′ so eingestellt, daß er dem Aperturwinkel der speziellen Wellen­ länge, welche ursprünglich zum Durchtritt vorgesehen war, entspricht, wenn die Breite wie bei der Emissionsspaltblende 6′ klein ist. Jedoch ist in der tatsächlichen Praxis die Breite nicht immer klein wie bei der Emissionsspaltblende 6′ von Fig. 2A eingestellt, und kann weiter geöffnet sein als bei der Emissionsspaltblende 6′′ von Fig. 2B, um die Durch­ tritt-Wellenlängenbandbreite für die Emissionsspaltblende 6′ zu verbreitern. In diesem Fall können die Wellenlängenkompo­ nenten, welche sich in der Richtung der Breite der Emissions­ spaltblende 6′′ ausbreiten, d. h. die Wellenlängenkomponenten, die von denen, die auf die Position der Emissionsspaltblende 6′ in Fig. 2A abgebildet werden, verschieden sind, durchtre­ ten.

Beispielsweise breitet sich eine erste Wellenlängenkomponente entlang des Weges AI in Fig. 2B aus, während sich eine zweite Wellenlängenkomponente entlang des Weges B1 in Fig. 2B ausbreitet. In diesem Fall zeigt das Erfassungssignal, das am optischen Detektor 8 erfaßt wird, den Mittelwert der opti­ schen Intensitäten der Wellenlängenkomponenten zwischen der ersten Wellenlängenkomponente und der zweiten Wellenlän­ genkomponente; um einen genauen Mittelwert zu erhalten, müs­ sen alle Wellenlängenkomponenten zwischen der ersten Wellen­ längenkomponente und der zweiten Wellenlängenkomponente durchgelassen werden. Um sowohl die erste Wellenlängenkompo­ nente als auch die zweite Wellenlängenkomponente durchzulas­ sen, muß der Aperturdurchmesser in der Maske 9 von Fig. 1 groß sein wie bei der Maske 9′′ in Fig. 2B, aber falls die Apertur größer gemacht wird, dann ist der Streulicht-Elimi­ nierungseffekt reduziert. Zusätzlich weist dies insofern ei­ nen Nachteil auf, als daß die Struktur der Vorrichtung kom­ plizierter wird, obwohl es möglich ist ein Verfahren zu schaffen, bei dem sich der Aperturdurchmesser in der Maske 9 ansprechend auf die Breite der Emissionsspaltblende 6 von Fig. 1 ändert.

Zweite Ausführungsform

Als nächstes ist Fig. 3 ein Strukturdiagramm zum Zeigen ei­ ner zweiten Ausführungsform der optischen Spektralmeßvorrich­ tung gemäß der vorliegenden Erfindung; in der Zeichnung sind die Teile, welche denen in Fig. 1 entsprechen, mit den glei­ chen Bezugszeichen versehen, und ihre Erklärung wird unter­ lassen. Diese zweite Ausführungsform löst die Probleme, die bei der ersten Ausführungsform auftreten. In Fig. 3 bezeich­ net Bezugszeichen 10 eine Linse, die zwischen der Emissions­ spaltblende 6 und der Maske 9 von Fig. 1 liegt, welche so angeordnet ist, daß der Abstand von der Emissionsspaltblende 6 gleich der Brennweite auf der Seite der Linse. 10 ist. Diese Linse 10 ist zum Ausrichten der Wellenlängenkomponente, wel­ che durch die Emissionsspaltblende 6 hindurchtritt, in einen Parallelstrahl vorgesehen. Zusätzlicherweise ist eine Maske 9 am anderen Brennpunkt der Linse 10 vorgesehen. Bezugszeichen 11 bezeichnet eine Linse, die so angeordnet ist, daß sie durch die Maske 9 hindurchtretendes Lichts auf den optischen Detektor 8 abbildet.

Als nächstes wird der Betrieb der optischen Spektralmeßvor­ richtung gemäß der zweiten Ausführungsform erläutert. Da der Betrieb bis dahin, wo das von dem Emissionsabschnitt 1a der Lichtquelle 1 emittierte Licht die Emissionsspaltblende 6 durchtreten hat, identisch wie der für die erste Ausführungs­ form erklärte Betrieb ist, wird dieser Teil des Betriebs von der Erklärung ausgenommen. Das Licht, das durch die Emissi­ onsspaltblende 6 hindurchgetreten ist, tritt durch die Linse 10. Da die Linse 10 so angeordnet ist, daß ein Brennpunkt mit der Position der Emissionsspaltblende 6 ausgerichtet ist, bildet das Licht, das durch die Linse 10 getreten ist, einen Parallelstrahl. Zusätzlicherweise ist, da die Maske 9 am an­ deren Brennpunkt der Linse 10 liegt, die Durchtrittsposition des Lichts an der Maske 9, das an der Linse 10 ein Parallel­ strahl geworden i st, stets konstant, ohne von der Wellenlän­ genkomponente abzuhängen.

Der Grund, daß die Durchtrittsposition konstant ist und nicht von der Wellenlängenkomponente abhängt, wird mit Bezug auf Fig. 4A und 4B erklärt. Fig. 4A und 4B sind Diagramme zum Zeigen eines Teils der Struktur der optischen Spektralmeßvor­ richtung. Zusätzlich ist Fig. 4A ein Diagramm zum Zeigen des Weges, der durch das Licht eingenommen wird, wenn die Breite der Emissionsspaltblende 6 in Fig. 3 klein ist, und Fig. 4B ist ein Diagramm zum Zeigen des Wegs, der durch das Licht eingenommen wird, wenn die Breite der Emissionsspaltblende 6 in Fig. 3 groß ist.

Wenn die Breite der Emissionsspaltblende 6 in Fig. 3 klein ist wie bei der Emissionsspaltblende 6′ in Fig. 4A, kann der Aperturdurchmesser in der Maske 9 so eingestellt werden, daß er nur spezielle Wellenlängenkomponenten durchläßt, die ur­ sprünglich durchgelassen werden sollten. Zusätzlich wird, wenn die Breite der Emissionsspaltblende 6 in Fig. 3 groß ist wie bei der Emissionsspaltblende 6′′ in Fig. 4B, der Be­ reich an Wellenlängen des Lichts, welche verschiedenen Wegen beim Hindurchtreten durch die Emissionsspaltblende 6′′ fol­ gen, verbreitert. Beispielsweise breitet sich eine erste Wel­ lenlängenkomponente entlang des Weges A2 in Fig. 4B aus, während sich eine zweite Wellenlängenkomponente entlang des Weges B2 in Fig. 4B ausbreitet. Da jedoch die Maske 9 an ei­ nem der Brennpunkte der Linse 10 liegt, ist die Durchtritts­ position auf der Maske 9 für die Wellenlängenkomponente, die dem Weg A2 gefolgt ist, und die Wellenlängenkomponente, die dem Weg B2 gefolgt ist, identisch. Deshalb ist es möglich, eine Maske 9 mit einem Aperturdurchmesser zu benutzen, der gleich dem Aperturdurchmesser der Maske 9 in Fig. 4A ist. Mit anderen Worten gibt es keine Notwendigkeit, den Apertur­ durchmesser der Maske 9 zu ändern, sogar wenn die Breite der Emissionsspaltblende 6 in Fig. 3 geändert ist, woraus resul­ tierend der maximale Streulicht-Eliminierungseffekt erhalten werden kann.

Bei der ersten Ausführungsform kann die Maske 9 zwischen der Linse 7 und dem optischen Detektor 8 in Fig. 1 positioniert sein. Zusätzlich ist, obwohl das Loch in der Maske 9 bei der ersten Ausführungsform und der zweiten Ausführungsform als kreisförmig erläutert worden ist, die Gestalt nicht darauf beschränkt, und das Loch in der Maske 9 kann schlitzförmig oder nadellochförmig sein. Weiterhin sind, obwohl die Spek­ troskope bei der ersten Ausführungsform und der zweiten Aus­ führungsform als Czerny-Turner-Dispersionsspektroskope erläu­ tert wurden, sie nicht auf solch eine Anordnung beschränkt, und andere Typen von Spektroskopen, wie z. B. Litrow-Dispersionsspektroskope können benutzt werden.

Zusätzlich kann, obwohl das von dem Emissionsabschnitt 1a der Lichtquelle 1 emittierte Licht durch die optische Faser 2 ge­ führt wird, das Licht ebenfalls durch die Luft geführt wer­ den. In diesem Fall würde eine Einfallsspaltblende dem Endab­ schnitt 2b in Fig. 1 entsprechen.

Weiterhin können Linsen anstelle der konkaven Spiegel 3 und 5 benutzt werden. Alternativermaßen kann das Beugungsgitter 4 ein konkaves Beugungsgitter sein, wobei es in diesem Fall ebenfalls die Funktionen des konkaven Spiegels 3 und 5 über­ nehmen würde, so daß die konkaven Spiegel 3 und 5 nicht ver­ wendet werden müßten.

Bei Benutzung eines Spektroskops, bei dem die Brennweiten der konkaven Spiegel 280 mm, die Anzahl der Nuten in dem Beu­ gungsgitter 900/mm und die Breite der Emissionsspaltblende 15 µm gemäß einer optischen Spektralmeßvorrichtung nach der vor­ liegenden Erfindung betrugen, wurde die optische Intensität von Streulicht der Wellenlängenkomponenten getrennt um 1 nm von der Wellenlänge 1523,1 nm gemessen. Daraus resultierend wurde bestätigt, daß die Intensität des Streulichts um etwa 40% bei den Strukturen von Fig. 1 und 3 im Vergleich zur Struktur der üblichen optischen Spektralmeßvorrichtung, die in Fig. 5 gezeigt ist, reduziert ist.

Claims (8)

1. Optische Spektralmeßvorrichtung mit einem Spektroskop mit zumindest einer Emissionsspaltblende, welche eine für jede Emissionsspaltblende vorgesehene Maske aufweist, die derart gestaltet ist, daß sie einen Aperturdurchmesser für die durch jede Emissionsspaltblende hindurchtretenden Wellen­ längenkomponenten zu beschränkt.

2. Optische Spektralmeßvorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß das Spektroskop aufweist:
einen konkaven Spiegel zum Umwandeln von Licht, das von einem Einfallsende her einfällt, in einen Parallelstrahl;
ein Beugungsgitter zum räumlichen Beugen des Parallelstrahls; und
einen konkaven Spiegel zum Bündeln eines Teils der durch das Beugungsgitter gebeugten Wellenlängenkomponenten an der Emis­ sionsspaltblende.

3. Optische Spektralmeßvorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß das Einfallsende durch ein Ende einer op­ tischen Faser gebildet ist.

4. Optische Spektralmeßvorrichtung nach Anspruch 1, umfas­ send:
eine Linse zum Bündeln des durch die Spaltblende tretenden Lichts; und
einen optischen Detektor, der an einem Brennpunkt der Linse angeordnet ist.

5. Optische Spektralmeßvorrichtung mit einem Spektroskop mit zumindest einer Emissionsspaltblende, umfassend:
eine erste Linse, die für jede Emissionsspaltblende vorgese­ hen ist, welche so angeordnet ist, daß die Emissionsspalt­ blende an einem Brennpunkt von dieser eingereiht ist, zum Um­ wandeln des durch die Emissionsspaltblende tretenden Lichts in einen Parallelstrahl; und
eine Maske, die am anderen Brennpunkt der ersten Linse ange­ ordnet ist, zum Durchlassen des Parallelstrahls, um einen Aperturdurchmesser zu beschränken.

6. Optische Spektralmeßvorrichtung nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, daß das Spektroskop aufweist:
einen konkaven Spiegel zum Umwandeln von Licht, das von einem Einfallsende her einfällt, in einen Parallelstrahl;
ein Beugungsgitter zum räumlichen Beugen des Parallelstrahls; und
einen konkaven Spiegel zum Bündeln eines Teils der durch das Beugungsgitter gebeugten Wellenlängenkomponenten an der Emis­ sionsspaltblende.

7. Optische Spektralmeßvorrichtung nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, daß das Einfallsende durch ein Ende einer op­ tischen Faser gebildet ist.

8. Optische Spektralmeßvorrichtung nach Anspruch 5, umfas­ send:
eine zweite Linse zum Bündeln des durch den Schlitz tretenden Lichts; und
einen optischen Detektor, der an einem Brennpunkt der zweiten Linse angeordnet ist.