DE19633713A1 - Vorrichtung zum Ausgeben chemischer Flüssigkeiten - Google Patents

Description

Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zum Ausgeben chemi­ scher Flüssigkeiten gemäß dem Oberbegriff des Anspruchs 1.

Derartige Vorrichtungen werden insbesondere bei der Herstel­ lung elektronischer Bauelemente verwendet. Sie dienen zum Ausgeben chemischer Flüssigkeiten, wie sie bei der Montage, insbesondere bei der Herstellung des Gehäuses, elektronischer Bauelemente verwendet werden.

Fig. 5 zeigt eine derartige Vorrichtung gemäß dem Stand der Technik. Die Vorrichtung 18 besteht aus einem Körper mit ei­ ner Einlaßöffnung 19, die in eine Mischkammer 20 führt, wel­ che Auslaßkanäle 21 aufweist, an deren Enden 22 die auszuge­ bende chemische Flüssigkeit ausgegeben wird. Die Mischkammer 20 dient im wesentlichen als Pufferzone für die Ausgabe aus den einzelnen Düsen 21.

Nachteil einer derartigen Anordnung ist es, daß eine solche Ausgabevorrichtung leicht verschmutzt und schwierig zu säu­ bern ist. In allgemeinen wird eine derartige Vorrichtung mit Druckluft gereinigt. Dies ist jedoch relativ aufwendig und führt nicht immer zum vollständigen Entfernen aller Flüssig­ keitsreste. So kann es leicht zu Verstopfungen der Düsen 21 kommen. Des weiteren wird bei einem Wechsel der auszugebenden chemischen Flüssigkeit, die neue Flüssigkeit durch in der Vorrichtung verbliebene Restflüssigkeiten der zuvor ausgege­ benen Flüssigkeit kontaminiert. Dies führt zu unerwünschten Produktionsfehlern.

Aufgabe der vorliegenden Erfindung ist es daher, eine Vor­ richtung zum Ausgeben chemischer Flüssigkeiten vorzusehen, welche auf einfache Weise zu reinigen ist.

Diese Aufgabe wird durch den kennzeichnenden Teil des An­ spruchs 1 gelöst. Weiterbildungen sind Kennzeichen der Un­ teransprüche.

Vorteil der Vorrichtung ist es, daß durch die mehrteilige Ausführung der Ausgabevorrichtung schmutzanfällige Bereiche leichter zugänglich werden und somit leichter gereinigt werden können.

Ein weiterer Vorteil besteht darin, daß selbst wenn ein Teil der erfindungsgemäßen Vorrichtung derart verschmutzt ist, daß es nicht mehr gereinigt werden kann, nur dieses Teil ersetzt bzw. ausgetauscht werden muß. Die übrigen Teile der Vorrich­ tung können weiter verwendet werden. Dies führt zu einer Kostenersparnis.

Durch den vereinfachten Reinigungsvorgang, wird zudem der Reinigungsvorgang beschleunigt, was zu einer Zeitersparnis bei der Herstellung elektronischer Bauelemente führt.

Die Erfindung wird nachfolgend anhand von fünf Figuren näher erläutert. Es zeigen

Fig. 1 eine bevorzugte Ausführungsform der erfindungsgemäßen Vorrichtung,

Fig. 2 ein Schnittbild des Zuführungsteils gemäß Fig. 1,

Fig. 3 ein Schnittbild des Mittelabschnitts der in Fig. 1 gezeigten Vorrichtung,

Fig. 4 ein Schnittbild der Ausgäbedüse gemäß Fig. 1 und

Fig. 5 ein Schnittbild einer Ausgabevorrichtung gemäß dem Stand der Technik.

In Fig. 1 ist eine bevorzugte Ausführungsform einer Vorrich­ tung zum Ausgeben chemischer Flüssigkeiten dargestellt. Die Vorrichtung 1 besteht im wesentlichen aus vier voneinander getrennten Teilen. Ein erster Zuführungsteil ist mit 2 be­ zeichnet und weist einen Einlaßkanal 6 auf. Daran schließt sich ein Hauptkörper 3 an, der eine Puffer- oder Mischkammer aufweist. An der Unterseite der Hauptkammer 3 sind zwei Aus­ laßteile 4, 5 befestigt, die jeweils zwei Auslaßkanäle 8 auf­ weisen, aus deren unteren Enden 7 die jeweilige chemische Flüssigkeit austritt.

Die erfindungsgemäße Vorrichtung wird nachfolgend anhand der Fig. 2 bis 4 näher erläutert.

In Fig. 2 ist ein Schnittbild des oberen Teils der Ausgabe­ vorrichtung 1 näher dargestellt. Dieser Einlaßkanal weist eine obere Öffnung 6 auf, die als durchgehende Bohrung ausge­ staltet ist. Sie endet im unteren Teil mit einer Auslaßöff­ nung 9. Der untere Bereich mit der Auslaßöffnung 9 ist mit einem Außengewinde 10 versehen. Der obere Bereich kann z. B. im Bereich des Einlasses mit einem Vorsprung versehen sein, so daß ein Versorgungsschlauch auf einfache Weise, z. B. mit­ tels einer Schelle, befestigt werden kann.

Fig. 3 zeigt den zugehörigen Hauptkörper 3, der im oberen Bereich eine Bohrung 11 aufweist, die mit einem Innengewinde 12 versehen ist, welches entsprechend dem Gewinde 10 des Ein­ laßstücks 2 ausgebildet ist. Mittels dieser Gewinde 10, 12 wird das Einlaßstück 2 am Hauptkörper 3 befestigt. Der Haupt­ körper 3 weist eine innere Puffer-/Mischkammer 13 auf, die als Pufferreservoir oder Mischkammer für die auszugebenden Flüssigkeiten dient. In Fig. 3 ist mit A entsprechend Fig. 2 die Mittelachse der Öffnung 11 dargestellt. An der Unter­ seite des Hauptteils 3 sind parallel zur Achse A zwei Bohrun­ gen mit jeweiligen Mittelachsen B und C vorgesehen, welche die Auslaßbereiche für die Puffer-/Mischkammer 13 bilden. Diese Öffnungen 14 sind mit einem Innengewinde 15 versehen.

In Fig. 4 ist eine der beiden Auslaßteile 4 bzw. 5 darge­ stellt. Dieses weist jeweils einen zylindrischen Hauptkörper auf, der im oberen Bereich mit einer Aussparung 17 versehen ist, die z. B. als Sackloch ausgebildet sein kann. Das diese Aussparung 17 umgebende zylindrische Teil ist mit einem Au­ ßengewinde 16 versehen. Die Grundplatte, welche das zylindri­ sche Teil nach unten abschließt, ist mit zwei Bohrungen ver­ sehen, in welche zwei rohrförmige Auslaßkanäle 8 z. B. durch Preßpassung oder dergleichen befestigt sind. Das nach unten zeigende Ende der Auslaßkanäle bildet die Ausgabeöffnung 7 der Ausgabevorrichtung 1. Zwei dieser Auslaßteile 4, 5 werden in die jeweiligen Öffnungen 14 mit den Mittelachsen B, C über die jeweiligen Gewinde 15, 16 in den Hauptkörper einge­ schraubt.

Über die nichtdargestellte Zuführungsleitung gelangt die ab­ zugebende Flüssigkeit in die Öffnung 6 des Anschlußteils 2. Über deren Auslaß 9 gelangt die Flüssigkeit in die Puffer- /Mischkammer 13 von wo sie auf die Einlaßbereiche 17 der bei­ den Ausgabeteile 4, 5 verteilt wird. Von dort wiederum ge­ langt sie im vorliegenden Ausführungsbeispiel über die vier Auslaßkanäle 8 und deren jeweilige Öffnung 7 auf das Medium, welches mit der chemischen Flüssigkeit zu behandeln ist.

Im Fall eines Wechsels der chemischen Flüssigkeit oder im Falle einer Verstopfung aufgrund von Verunreinigungen können nun auf einfache Weise die Auslaßteile 4, 5 und falls notwen­ dig auch der Hauptkörper 3 über die jeweiligen Gewinde 15, 16 bzw. 10, 12 vollständig voneinander getrennt werden und auf einfache Weise gesäubert werden.

Anstelle der Gewinde können auch ändere lösbare Befestigungen verwendet werden wie z. B. aus anderen Bereichen bekannte Ba­ jonetverschlüsse.

Claims (4)

1. Vorrichtung zum Ausgeben chemischer Flüssigkeiten, welches einen ersten Abschnitt mit einem ersten Leitungsbereich auf­ weist, einen zweiten Abschnitt mit einer Mischkammer, die mit dem ersten Leitungsbereich eingangsseitig in Verbindung steht und wenigstens einem dritten Abschnitt, der wenigstens einen Auslaßkanal aufweist, der mit der Mischkammer ausgangsseitig in Verbindung steht, dadurch gekennzeichnet, daß wenig­ stens der zweite und dritte Abschnitt (3, 4, 5) aus voneinan­ der getrennten Einzelteilen gefertigt ist, die jeweils mit­ einander verbindbare Koppelelemente (15, 16) aufweisen.

2. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der erste und zweite Abschnitt (2, 3) aus jeweils voneinander getrenn­ ten Einzelteilen gefertigt ist, die über jeweilige Kopplung­ selemente (10, 12) miteinander verbindbar sind.

3. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Kopp­ lungselemente als Gewinde ausgestaltet sind.

4. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Kopp­ lungselemente als Bajonetverschluß ausgebildet sind.