DE19633713A1 - Vorrichtung zum Ausgeben chemischer Flüssigkeiten - Google Patents
Vorrichtung zum Ausgeben chemischer FlüssigkeitenInfo
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01J—CHEMICAL OR PHYSICAL PROCESSES, e.g. CATALYSIS OR COLLOID CHEMISTRY; THEIR RELEVANT APPARATUS
- B01J4/00—Feed or outlet devices; Feed or outlet control devices
- B01J4/001—Feed or outlet devices as such, e.g. feeding tubes
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- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Feeding, Discharge, Calcimining, Fusing, And Gas-Generation Devices (AREA)
Description
Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zum Ausgeben chemi
scher Flüssigkeiten gemäß dem Oberbegriff des Anspruchs 1.
Derartige Vorrichtungen werden insbesondere bei der Herstel
lung elektronischer Bauelemente verwendet. Sie dienen zum
Ausgeben chemischer Flüssigkeiten, wie sie bei der Montage,
insbesondere bei der Herstellung des Gehäuses, elektronischer
Bauelemente verwendet werden.
Fig. 5 zeigt eine derartige Vorrichtung gemäß dem Stand der
Technik. Die Vorrichtung 18 besteht aus einem Körper mit ei
ner Einlaßöffnung 19, die in eine Mischkammer 20 führt, wel
che Auslaßkanäle 21 aufweist, an deren Enden 22 die auszuge
bende chemische Flüssigkeit ausgegeben wird. Die Mischkammer
20 dient im wesentlichen als Pufferzone für die Ausgabe aus
den einzelnen Düsen 21.
Nachteil einer derartigen Anordnung ist es, daß eine solche
Ausgabevorrichtung leicht verschmutzt und schwierig zu säu
bern ist. In allgemeinen wird eine derartige Vorrichtung mit
Druckluft gereinigt. Dies ist jedoch relativ aufwendig und
führt nicht immer zum vollständigen Entfernen aller Flüssig
keitsreste. So kann es leicht zu Verstopfungen der Düsen 21
kommen. Des weiteren wird bei einem Wechsel der auszugebenden
chemischen Flüssigkeit, die neue Flüssigkeit durch in der
Vorrichtung verbliebene Restflüssigkeiten der zuvor ausgege
benen Flüssigkeit kontaminiert. Dies führt zu unerwünschten
Produktionsfehlern.
Aufgabe der vorliegenden Erfindung ist es daher, eine Vor
richtung zum Ausgeben chemischer Flüssigkeiten vorzusehen,
welche auf einfache Weise zu reinigen ist.
Diese Aufgabe wird durch den kennzeichnenden Teil des An
spruchs 1 gelöst. Weiterbildungen sind Kennzeichen der Un
teransprüche.
Vorteil der Vorrichtung ist es, daß durch die mehrteilige
Ausführung der Ausgabevorrichtung schmutzanfällige Bereiche
leichter zugänglich werden und somit leichter gereinigt werden
können.
Ein weiterer Vorteil besteht darin, daß selbst wenn ein Teil
der erfindungsgemäßen Vorrichtung derart verschmutzt ist, daß
es nicht mehr gereinigt werden kann, nur dieses Teil ersetzt
bzw. ausgetauscht werden muß. Die übrigen Teile der Vorrich
tung können weiter verwendet werden. Dies führt zu einer
Kostenersparnis.
Durch den vereinfachten Reinigungsvorgang, wird zudem der
Reinigungsvorgang beschleunigt, was zu einer Zeitersparnis
bei der Herstellung elektronischer Bauelemente führt.
Die Erfindung wird nachfolgend anhand von fünf Figuren näher
erläutert. Es zeigen
Fig. 1 eine bevorzugte Ausführungsform der erfindungsgemäßen
Vorrichtung,
Fig. 2 ein Schnittbild des Zuführungsteils gemäß Fig. 1,
Fig. 3 ein Schnittbild des Mittelabschnitts der in Fig. 1
gezeigten Vorrichtung,
Fig. 4 ein Schnittbild der Ausgäbedüse gemäß Fig. 1 und
Fig. 5 ein Schnittbild einer Ausgabevorrichtung gemäß dem
Stand der Technik.
In Fig. 1 ist eine bevorzugte Ausführungsform einer Vorrich
tung zum Ausgeben chemischer Flüssigkeiten dargestellt. Die
Vorrichtung 1 besteht im wesentlichen aus vier voneinander
getrennten Teilen. Ein erster Zuführungsteil ist mit 2 be
zeichnet und weist einen Einlaßkanal 6 auf. Daran schließt
sich ein Hauptkörper 3 an, der eine Puffer- oder Mischkammer
aufweist. An der Unterseite der Hauptkammer 3 sind zwei Aus
laßteile 4, 5 befestigt, die jeweils zwei Auslaßkanäle 8 auf
weisen, aus deren unteren Enden 7 die jeweilige chemische
Flüssigkeit austritt.
Die erfindungsgemäße Vorrichtung wird nachfolgend anhand der
Fig. 2 bis 4 näher erläutert.
In Fig. 2 ist ein Schnittbild des oberen Teils der Ausgabe
vorrichtung 1 näher dargestellt. Dieser Einlaßkanal weist
eine obere Öffnung 6 auf, die als durchgehende Bohrung ausge
staltet ist. Sie endet im unteren Teil mit einer Auslaßöff
nung 9. Der untere Bereich mit der Auslaßöffnung 9 ist mit
einem Außengewinde 10 versehen. Der obere Bereich kann z. B.
im Bereich des Einlasses mit einem Vorsprung versehen sein,
so daß ein Versorgungsschlauch auf einfache Weise, z. B. mit
tels einer Schelle, befestigt werden kann.
Fig. 3 zeigt den zugehörigen Hauptkörper 3, der im oberen
Bereich eine Bohrung 11 aufweist, die mit einem Innengewinde
12 versehen ist, welches entsprechend dem Gewinde 10 des Ein
laßstücks 2 ausgebildet ist. Mittels dieser Gewinde 10, 12
wird das Einlaßstück 2 am Hauptkörper 3 befestigt. Der Haupt
körper 3 weist eine innere Puffer-/Mischkammer 13 auf, die
als Pufferreservoir oder Mischkammer für die auszugebenden
Flüssigkeiten dient. In Fig. 3 ist mit A entsprechend Fig.
2 die Mittelachse der Öffnung 11 dargestellt. An der Unter
seite des Hauptteils 3 sind parallel zur Achse A zwei Bohrun
gen mit jeweiligen Mittelachsen B und C vorgesehen, welche
die Auslaßbereiche für die Puffer-/Mischkammer 13 bilden.
Diese Öffnungen 14 sind mit einem Innengewinde 15 versehen.
In Fig. 4 ist eine der beiden Auslaßteile 4 bzw. 5 darge
stellt. Dieses weist jeweils einen zylindrischen Hauptkörper
auf, der im oberen Bereich mit einer Aussparung 17 versehen
ist, die z. B. als Sackloch ausgebildet sein kann. Das diese
Aussparung 17 umgebende zylindrische Teil ist mit einem Au
ßengewinde 16 versehen. Die Grundplatte, welche das zylindri
sche Teil nach unten abschließt, ist mit zwei Bohrungen ver
sehen, in welche zwei rohrförmige Auslaßkanäle 8 z. B. durch
Preßpassung oder dergleichen befestigt sind. Das nach unten
zeigende Ende der Auslaßkanäle bildet die Ausgabeöffnung 7
der Ausgabevorrichtung 1. Zwei dieser Auslaßteile 4, 5 werden
in die jeweiligen Öffnungen 14 mit den Mittelachsen B, C über
die jeweiligen Gewinde 15, 16 in den Hauptkörper einge
schraubt.
Über die nichtdargestellte Zuführungsleitung gelangt die ab
zugebende Flüssigkeit in die Öffnung 6 des Anschlußteils 2.
Über deren Auslaß 9 gelangt die Flüssigkeit in die Puffer-
/Mischkammer 13 von wo sie auf die Einlaßbereiche 17 der bei
den Ausgabeteile 4, 5 verteilt wird. Von dort wiederum ge
langt sie im vorliegenden Ausführungsbeispiel über die vier
Auslaßkanäle 8 und deren jeweilige Öffnung 7 auf das Medium,
welches mit der chemischen Flüssigkeit zu behandeln ist.
Im Fall eines Wechsels der chemischen Flüssigkeit oder im
Falle einer Verstopfung aufgrund von Verunreinigungen können
nun auf einfache Weise die Auslaßteile 4, 5 und falls notwen
dig auch der Hauptkörper 3 über die jeweiligen Gewinde 15, 16
bzw. 10, 12 vollständig voneinander getrennt werden und auf
einfache Weise gesäubert werden.
Anstelle der Gewinde können auch ändere lösbare Befestigungen
verwendet werden wie z. B. aus anderen Bereichen bekannte Ba
jonetverschlüsse.
Claims (4)
1. Vorrichtung zum Ausgeben chemischer Flüssigkeiten, welches
einen ersten Abschnitt mit einem ersten Leitungsbereich auf
weist, einen zweiten Abschnitt mit einer Mischkammer, die mit
dem ersten Leitungsbereich eingangsseitig in Verbindung steht
und wenigstens einem dritten Abschnitt, der wenigstens einen
Auslaßkanal aufweist, der mit der Mischkammer ausgangsseitig
in Verbindung steht,
dadurch gekennzeichnet, daß wenig
stens der zweite und dritte Abschnitt (3, 4, 5) aus voneinan
der getrennten Einzelteilen gefertigt ist, die jeweils mit
einander verbindbare Koppelelemente (15, 16) aufweisen.
2. Vorrichtung nach Anspruch 1,
dadurch gekennzeichnet, daß der erste
und zweite Abschnitt (2, 3) aus jeweils voneinander getrenn
ten Einzelteilen gefertigt ist, die über jeweilige Kopplung
selemente (10, 12) miteinander verbindbar sind.
3. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche,
dadurch gekennzeichnet, daß die Kopp
lungselemente als Gewinde ausgestaltet sind.
4. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 oder 2,
dadurch gekennzeichnet, daß die Kopp
lungselemente als Bajonetverschluß ausgebildet sind.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE1996133713 DE19633713A1 (de) | 1996-08-21 | 1996-08-21 | Vorrichtung zum Ausgeben chemischer Flüssigkeiten |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE1996133713 DE19633713A1 (de) | 1996-08-21 | 1996-08-21 | Vorrichtung zum Ausgeben chemischer Flüssigkeiten |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE19633713A1 true DE19633713A1 (de) | 1998-02-26 |
Family
ID=7803238
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE1996133713 Withdrawn DE19633713A1 (de) | 1996-08-21 | 1996-08-21 | Vorrichtung zum Ausgeben chemischer Flüssigkeiten |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
DE (1) | DE19633713A1 (de) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6763860B2 (en) | 2001-07-10 | 2004-07-20 | Ecolab, Inc. | Flow-based chemical dispense system |
WO2006094824A1 (de) * | 2005-03-11 | 2006-09-14 | Centrotherm Thermal Solutions Gmbh + Co. Kg | Gasdichtes verbindungselement mit bajonettverschluss |
US7292914B2 (en) | 2001-07-10 | 2007-11-06 | Ecolab Inc. | Remote access to chemical dispense system |
US7803321B2 (en) | 2005-03-18 | 2010-09-28 | Ecolab Inc. | Formulating chemical solutions based on volumetric and weight based control measurements |
-
1996
- 1996-08-21 DE DE1996133713 patent/DE19633713A1/de not_active Withdrawn
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6763860B2 (en) | 2001-07-10 | 2004-07-20 | Ecolab, Inc. | Flow-based chemical dispense system |
US7292914B2 (en) | 2001-07-10 | 2007-11-06 | Ecolab Inc. | Remote access to chemical dispense system |
WO2006094824A1 (de) * | 2005-03-11 | 2006-09-14 | Centrotherm Thermal Solutions Gmbh + Co. Kg | Gasdichtes verbindungselement mit bajonettverschluss |
US7803321B2 (en) | 2005-03-18 | 2010-09-28 | Ecolab Inc. | Formulating chemical solutions based on volumetric and weight based control measurements |
US8540937B2 (en) | 2005-03-18 | 2013-09-24 | Ecolab Inc. | Formulating chemical solutions based on volumetric and weight based control measurements |
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