DE19612794A1 - Fourier-Spektrometer - Google Patents
Fourier-SpektrometerInfo
- Publication number
- DE19612794A1 DE19612794A1 DE19612794A DE19612794A DE19612794A1 DE 19612794 A1 DE19612794 A1 DE 19612794A1 DE 19612794 A DE19612794 A DE 19612794A DE 19612794 A DE19612794 A DE 19612794A DE 19612794 A1 DE19612794 A1 DE 19612794A1
- Authority
- DE
- Germany
- Prior art keywords
- beam splitter
- mirrors
- fourier spectrometer
- mirror
- spectrometer according
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Withdrawn
Links
- 125000006850 spacer group Chemical group 0.000 claims abstract description 7
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims abstract description 6
- 229920002799 BoPET Polymers 0.000 claims abstract description 3
- 239000005041 Mylar™ Substances 0.000 claims abstract description 3
- 238000011156 evaluation Methods 0.000 claims 1
- 229920006267 polyester film Polymers 0.000 abstract 1
- 238000001228 spectrum Methods 0.000 description 2
- 230000009466 transformation Effects 0.000 description 2
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 230000005672 electromagnetic field Effects 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 230000005855 radiation Effects 0.000 description 1
- 230000003595 spectral effect Effects 0.000 description 1
- 238000004611 spectroscopical analysis Methods 0.000 description 1
- 230000003068 static effect Effects 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J3/00—Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
- G01J3/28—Investigating the spectrum
- G01J3/45—Interferometric spectrometry
- G01J3/453—Interferometric spectrometry by correlation of the amplitudes
- G01J3/4531—Devices without moving parts
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Spectrometry And Color Measurement (AREA)
Description
Die Erfindung betrifft ein Fourier-Spektrometer gemäß dem Oberbegriff
des Anspruchs 1.
Fourier-Spektrometer sind bekannt. Beispielsweise wird in dem "Lehrbuch
der Experimentalphysik" Band III Optik, Bergmann/Schaefer auf Seite 319
auf die Fourier-Spektroskopie verwiesen.
In dem Lehrbuch wird ausgeführt, daß ein Spiegel des Interferometers
durch einen Präzisionsantrieb verschoben wird. Die Bewegung des
Spiegels wird zusammen mit den gemessenen Interferenzen in einem
Rechner ausgewertet.
Wie schon in dem bekannten Lehrbuch ausgeführt wird, muß die
Bewegung des Spiegels mit hoher Präzision erfolgen. Der Aufwand an
Präzisionsmechanik ist nicht unerheblich und erfordert genaue
Justierarbeiten.
Es ist wünschenswert, ein Fourier-Spektrometer mit einem geringeren
Aufwand an Präzisionsmechanik zu schaffen.
Daher ist es Aufgabe der Erfindung, ein Fourier-Spektrometer zu
schaffen, daß ohne mechanisch bewegte Teile auskommt.
Die Aufgabe der Erfindung wird durch die Merkmale des Anspruchs 1
gelöst.
Üblicherweise werden ebene Spiegel verwendet, die exakt im rechten
Winkel zu den optischen Achsen liegen. Demgegenüber geht die
Erfindung die Weg, einen der Spiegel um einen bestimmten Betrag aus
der Ebene üblicher Anordnung heraus zu neigen.
Erfindungsgemäß führt die Spiegelneigung zu der erwünschten Wirkung,
daß ein statisches Fourier-Spektrometer geschaffen wird, das vollkommen
ohne bewegte Teile auskommt. Die Spiegelneigung weist einen sehr
kleinen Wert auf und im liegt im Bereich der Fertigungsfehler der
Strahlteilerwürfel. Bei üblichen Strahlteilerwürfeln wird ein Spiegel an
einer Seite nur um 10 bis 100 µm angehoben.
Der Aufbau eines Fourier-Spektrometers nach der Erfindung ist somit
wesentlich kostengünstiger und robuster.
Ein weiterer Vorteil der Erfindung besteht darin, daß mit der Erfindung
neue Wege in der Analyse elektromagnetischer Felder möglich sind.
Dabei werden Untersuchungsmöglichkeiten über fast das gesamte
elektromagnetische Spektrum eröffnet.
Nachfolgend wird die Erfindung anhand der Zeichnung näher
beschrieben. Es zeigen:
Fig. 1 eine Prinzipskizze der Erfindung;
Fig. 2 eine erste Ausführungsform der Erfindung;
Fig. 3 eine zweite Ausführungsform der Erfindung;
Fig. 4 eine Seitenansicht der Ausführungsform nach Fig. 1, und
Fig. 5 eine weitere Ausführungsform eines Strahlteilertrapezoiden.
Fig. 1 zeigt einen um 45° geneigten Strahlteiler 1 eines Fourier-
Spektrometers, dem aus Richtung der optischen Achse X Licht in
bekannter Weise von einer Strahlenquelle (nicht gezeigt) zugeführt wird.
Weiter ist ein erster Spiegel 2 und ein zweiter Spiegel 3 vorgesehen.
Spiegel 2 steht senkrecht zu der zweiten optischen Achse Y, die
wiederum im rechten Winkel zu der Achse X verläuft. Wesentlich ist, daß
einer der beiden Spiegel 2, 3 um einen kleinen Winkel "a" aus seiner
Lage senkrecht zu den Hauptachsen geneigt ist. In Fig. 1 ist Spiegel 3 um
eine gedachte Schwenkachse aus der Ebene 4 verschwenkt. Die
Schwenkachse verläuft parallel zu der Ebene des Strahlteilers 1. Der
Winkel "a" liegt je nach Wellenlänge usw. in einem Bereich von z. B. 0,05
bis 0,5°. Berechnungen haben Winkel "a" von z. B. 0,166075° und 0,2431°
ergeben.
In Fig. 1 ist der Spiegel 3 bezogen auf die Achse Y mit Blick auf die
Blattebene nach links geschwenkt. Aufgrund der Spiegelneigung kommt
es zu den gezeigten Strahlengängen, die eine optische Linse 5
durchlaufen und anschließend auf einen Detektor 6 treffen.
Im Bereich des Detektors 6 kommt es zu einem Interferenzmuster,
welches per digitaler Fourier-Transformation auf einem Computer in das
entsprechende Spektrum umgewandelt wird.
Fig. 2 zeigt eine Ausführungsform, bei der ein erstes und zweites Prisma
7, 8 einen Strahlteilerwürfel bilden. Die Würfelflächen, die senkrecht bzw.
parallel zu den Achsen X, Y stehen, sind mit 9, 10, 11, 12 bezeichnet. Die
in Fig. 2 gezeigten Maße entsprechen nicht den konkreten Verhältnissen
und sind nur zum besseren Verständnis, wie gezeigt dargestellt. Auch die
Abstände zwischen den Spiegeln 2, 3 mit den Spiegelschichten 13 (nur
an Spiegel 2 bezeichnet) zu den Würfelflächen 10,11 können entfallen.
Folglich kann z. B. der Spiegel 2 direkt auf der Fläche 10 aufgedampft
sein.
Weiter weicht Fig. 2 von Fig. 1 darin ab, daß der Spiegel 3 nunmehr nach
rechts geschwenkt ist.
Der Kippwinkel, d. h. der Winkel "a", des Spiegels 3 kann durch ein
Abstandselement 14 erzeugt werden. Hierzu ist das Abstandselement 14,
das in Fig. 2 gestrichelt dargestellt ist, an einer Außenseite des Spiegels 2
bzw. eine Ecke des Würfels angeordnet und dort befestigt. Die
Spiegelseite, die dem Abstandselement 14 gegenüber liegt, liegt dann
bevorzugt auf dem Würfel auf. Bei dem Abstandselement handelt es sich
bevorzugt um eine Folie, z. B. mit dem Handelsnamen "Mylar" mit einer
Dicke von beispielsweise 10 bis 100 µm.
Fig. 3 zeigt eine Ausführungsform, bei der das eine Prisma 8 (vgl. Fig. 2)
mit zwei rechtwinkligen zueinander stehenden Seiten durch ein
dreieckigförmiges Prisma ersetzt ist, so daß sich insgesamt ein
Strahteilertrapezoid 15 ergibt, dessen Fläche 11 die Spiegelfläche selbst
bildet oder auf den der Spiegel 3 direkt aufgedampft ist. Die Neigung der
Fläche 11 um den Winkel "a" kann je nach Anwendungsfall auch nach
links geschwenkt sein (vgl. Fig. 1).
Während die Fig. 2 einen geneigten Spiegel 3 zeigt, handelt es sich in
Fig. 3 um einen Keil, der direkt an dem Strahlteiler ausgebildet ist.
Weiter unterscheidet sich Fig. 3 von der Ausführungsform nach Fig. 2
darin, daß anstelle des Spiegels 2 ein abgestuftes Spiegelsystem
vorgesehen ist, das aus den Spiegeln 16, 17, 18, 19 besteht. Die Spiegel
16, 17, 18, 19 sind parallel und hinter einander angeordnet.
Fig. 4 zeigt die Seitenansicht des Fourier-Spektrometers aus Fig. 3 in der
um die Achse Y um 90° gedrehten Ansicht. In dieser Ansicht nach Fig. 4
sind treppenartige Abstufungen der Spiegel 16, 17, 18, 19 erkennbar. Der
Spiegel 19 mit der größten Breite besitzt den größten Abstand zu der
Fläche 10. Der kürzeste Spiegel 16 liegt an der Fläche 10 direkt an. Auf
diese abgestufte Weise behindern sich die Spiegel 16, 17, 18, 19 nicht
gegenseitig.
Den Spiegeln 16, 17, 18, 19 stehen an der Würfelfläche 12 Zylinderlinsen
20, 21, 23, 24 gegenüber. Die Zylinderlinsen 20, 21, 22, 23 entsprechen
der Linse 5 in den Fig. 1 und 2.
Fig. 5 zeigt gegenüber Fig. 4 eine Ausführungsform, bei der eine
treppenartige Abstufung 24 direkt in den Strahlteilerwürfel eingearbeitet
sind. Die Spiegel können wiederum direkt aufgedampft sein.
Die Anzahl der treppenartigen Abstufungen 24 bzw. Spiegel 16, 17, 18,
19 ist nur beispielhaft gewählt und kann je nach Anwendungsfall das n-
fache von einem Spiegel betragen.
Der Zweck der treppenartigen Anordnung besteht darin, es wird ein etwa
n-fach längeres Interferogramm und eine entsprechend erhöhte spektrale
Auflösung nach der Fourier-Transformation erzielt.
Claims (11)
1. Fourier-Spektrometer mit einem Strahlteiler, einem ersten Spiegel,
einem zweiten Spiegel und einem Auswertesystem,
dadurch gekennzeichnet,
daß beide Spiegel (2, 3) ortsfest zu dem Strahlteiler (1) angeordnet sind,
daß einer der Spiegel (2, 3) um einen bestimmten Winkel "a" bezogen auf die zugehörige optische Hauptachse gekippt ist, und
daß sich die gedachte Schwenkachse des verschwenkten Spiegels (2, 3) parallel zu der Ebene des Strahlteilers (1) erstreckt.
daß beide Spiegel (2, 3) ortsfest zu dem Strahlteiler (1) angeordnet sind,
daß einer der Spiegel (2, 3) um einen bestimmten Winkel "a" bezogen auf die zugehörige optische Hauptachse gekippt ist, und
daß sich die gedachte Schwenkachse des verschwenkten Spiegels (2, 3) parallel zu der Ebene des Strahlteilers (1) erstreckt.
2. Fourier-Spektrometer nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß
das Kippen eines der Spiegel (2, 3) mittels eines Abstandselementes (14)
erfolgt, das an der Seite des Spiegels (2, 3) angeordnet ist, die der
gedachten Schwenkachse gegenüberliegt.
3. Fourier-Spektrometer nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß
das Abstandselement (14) eine Folie, vorzugsweise eine Mylarfolie ist.
4. Fourier-Spektrometer nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß
die Spiegelneigung mittels eines Keiles erfolgt.
5. Fourier-Spektrometer nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß
der Keil einstückiger Bestandteil eines Strahlteilerwürfels ist.
6. Fourier-Spektrometer nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, daß
der Keil an dem Strahlteilerwürfel angeschliffen ist.
7. Fourier-Spektrometer nach Anspruch 5 und 6, dadurch
gekennzeichnet, daß der Strahlteilerwürfel einen Strahlteilertrapezoid
bildet (15).
8. Fourier-Spektrometer nach Anspruch 1 bis 7, daß an der
Austrittsfläche (12) des Strahlteilerwürfels mehrere Zylinderlinsen
(20, 21, 22, 23) angeordnet sind, die eng parallel nebeneinander in einer
Ebene liegen und mit ihrer Längsachse senkrecht zu der Eintrittsfläche (9)
des Strahlteilerwürfels stehen, und
daß den Zylinderlinsen (20, 21, 22, 23) auf der gegenüberliegenden Fläche
(10) des Strahlteilerwürfels eine gleiche Anzahl von einzelnen Spiegeln
(16, 17, 18, 19) zugeordnet sind, die treppenartig in unterschiedlichen
Höhen bezogen auf die Ebene der Zylinderlinsen (20, 21, 22, 23)
angeordnet sind.
9. Fourier-Spektrometer nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, daß
die mehrere Spiegel (16, 17, 18, 19) unterschiedliche Breiten aufweisen,
daß die Breitenabstufungen den Abständen der nebeneinander liegenden
Zylinderlinsen (20, 21, 22, 23) entsprechen,
daß die Spiegel (16, 17, 18, 19) mit einer Seite in einer gemeinsamen
Ebene liegen, und
daß die Spiegel (16, 17, 18, 19) planparallel übereinander geschichtet sind.
10. Fourier-Spektrometer nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, daß
in den Strahlteilerwürfel eine treppenartige Abstufung (24) eingearbeitet
ist, die mit den Spiegeln (16, 17, 18, 19) belegt ist.
11. Fourier-Spektrometer nach Anspruch 1 bis 10, dadurch
gekennzeichnet, daß die Spiegel (2, 3, 16, 17, 18, 19) auf dem
Strahlteilerwürfel direkt aufgedampft sind.
Priority Applications (6)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE19612794A DE19612794A1 (de) | 1995-03-31 | 1996-03-30 | Fourier-Spektrometer |
TW086104137A TW337552B (en) | 1995-03-31 | 1997-03-28 | Fourier-spectrometer the invention relates to the Fourier-spectrometer |
DE59707864T DE59707864D1 (de) | 1996-03-30 | 1997-04-01 | Fourier-spektrometer |
PCT/EP1997/001637 WO1997037200A1 (de) | 1996-03-30 | 1997-04-01 | Fourier-spektrometer |
AU25077/97A AU2507797A (en) | 1996-03-30 | 1997-04-01 | Fourier spectrometer |
EP97916421A EP0890085B1 (de) | 1996-03-30 | 1997-04-01 | Fourier-spektrometer |
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE19511952 | 1995-03-31 | ||
DE19612794A DE19612794A1 (de) | 1995-03-31 | 1996-03-30 | Fourier-Spektrometer |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE19612794A1 true DE19612794A1 (de) | 1996-10-02 |
Family
ID=7758332
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE19612794A Withdrawn DE19612794A1 (de) | 1995-03-31 | 1996-03-30 | Fourier-Spektrometer |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
DE (1) | DE19612794A1 (de) |
TW (1) | TW337552B (de) |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
FR2787186A1 (fr) * | 1998-12-10 | 2000-06-16 | Centre Nat Etd Spatiales | Interferometre multivoies de type michelson notamment pour l'analyse des spectres etroits |
DE19916072A1 (de) * | 1999-04-09 | 2000-10-26 | Campus Technologies Ag Zug | Vorrichtung und Verfahren zur optischen Spektroskopie |
EP1812772A2 (de) * | 2004-11-18 | 2007-08-01 | Morgan Research Corporation | Miniatur-fouriertransformations-spektrophotometer |
EP3413022A4 (de) * | 2016-02-04 | 2019-10-02 | Industrial Cooperation Foundation Of Chonbuk National University | Integriertes polarisationsinterferometer und snapshot-spektrophotometer damit |
CN111380808A (zh) * | 2018-12-31 | 2020-07-07 | 全北大学校产学协力团 | 检测设备和检测方法 |
-
1996
- 1996-03-30 DE DE19612794A patent/DE19612794A1/de not_active Withdrawn
-
1997
- 1997-03-28 TW TW086104137A patent/TW337552B/zh active
Cited By (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
FR2787186A1 (fr) * | 1998-12-10 | 2000-06-16 | Centre Nat Etd Spatiales | Interferometre multivoies de type michelson notamment pour l'analyse des spectres etroits |
DE19916072A1 (de) * | 1999-04-09 | 2000-10-26 | Campus Technologies Ag Zug | Vorrichtung und Verfahren zur optischen Spektroskopie |
EP1812772A2 (de) * | 2004-11-18 | 2007-08-01 | Morgan Research Corporation | Miniatur-fouriertransformations-spektrophotometer |
EP1812772A4 (de) * | 2004-11-18 | 2011-04-27 | Morgan Res Corp | Miniatur-fouriertransformations-spektrophotometer |
EP3413022A4 (de) * | 2016-02-04 | 2019-10-02 | Industrial Cooperation Foundation Of Chonbuk National University | Integriertes polarisationsinterferometer und snapshot-spektrophotometer damit |
US10890487B2 (en) | 2016-02-04 | 2021-01-12 | Industrial Cooperation Fondation Chonbuk National University | Integrated polarization interferometer and snapshot specro-polarimeter applying same |
CN111380808A (zh) * | 2018-12-31 | 2020-07-07 | 全北大学校产学协力团 | 检测设备和检测方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
TW337552B (en) | 1998-08-01 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
EP1783468B1 (de) | Verfahren zur Auswertung von Echelle-Spektren | |
EP0146768B1 (de) | Interferometer | |
DE2604471A1 (de) | Interferenzspektrometer | |
DE19961908C2 (de) | Hochauflösendes Littrow-Spektrometer und Verfahren zur quasi-simultanen Bestimmung einer Wellenlänge und eines Linienprofils | |
WO2003067204A1 (de) | Anordnung und verfahren zur wellenlängenkalibration bei einem echelle-spektrometer | |
DE2539183C2 (de) | Optisches Meßinstrument | |
DE3614639A1 (de) | Abbildendes spektrometer | |
DE1772024B1 (de) | Spaltblendenanordnung fuer einen spektralapparat | |
DE19612794A1 (de) | Fourier-Spektrometer | |
DE1598089B2 (de) | Vorrichtung zur optischen Spektralanalyse | |
DE3431040C2 (de) | Interferometer | |
DE3113984C2 (de) | Doppelmonochromator | |
EP0890085B1 (de) | Fourier-spektrometer | |
DE3539667C2 (de) | ||
DE4013399C1 (de) | ||
DE10392396B4 (de) | Interferometer | |
DE19532611C2 (de) | Doppelwegmonochromator in Differenzdispersionsanordnung | |
DE3346455A1 (de) | Interferometer | |
DE2618707C3 (de) | ||
DE1909841C3 (de) | Spektrometer | |
DE445801C (de) | Vorrichtung zur Nullpunktsbestimmung an Roentgenspektrometern | |
DE3621464C2 (de) | ||
DE10011462C2 (de) | Optisches Spektrometer mit Astigmatismuskompensation | |
DE4337660A1 (de) | Prismenspektrometer | |
DE19720246C2 (de) | Abstimmbares Interferometer |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
8110 | Request for examination paragraph 44 | ||
8139 | Disposal/non-payment of the annual fee |