DE1958090U - CARRYING FRAME. - Google Patents

Description

Zur Aufnahme einer Anzahl gleichartiger Gegenstände benützt man iiäufig Rahmen, Magazine u. ä., in welche die betreffenden Gegenstände einzeln eingelegt oder eingeschoben werden, um bequem und sicher transportiert werden zu können. Solche Rahmen dienen beispielsweise aber auch dazu, gleiche oder gleichartige Werkstücke in größerer Zahl einer oder mehreren Bearbeitungsstationen zuzuführen, wo sie z.B. entwickelt, getaucht, gewaschen, getrocknet, gereinigt oder erhitzt usw. werden sollen, ohne daß sie hierzu dem Rahmen entnommen werden müssen.To take up a number of similar objects one often uses Frames, magazines, etc., into which the objects in question are individually inserted or pushed, in order to be transported comfortably and safely to be able to. Such frames are also used, for example, to hold one or more identical or similar workpieces in large numbers To supply processing stations where they are e.g. developed, dipped, washed, to be dried, cleaned or heated etc. without having to be removed from the frame.

Da die Handhabung solcher Rahmen häufig unbequem und das Anbringen von Handgriffen in vielen Fällen., z.B. wegen der dadurch bedingten Vergrößerung der Abmessungen der Rahmen, unzweckmäßig ist, verwendet man vielfach Tragegriffe oder Tragegestelle, die an die Rahmen angepaßt sind und derenSince the handling of such frames is often inconvenient and the attachment of Handles in many cases, e.g. because of the resulting enlargement the dimensions of the frame, which is inexpedient, are used in many ways Carrying handles or racks that are adapted to the frame and their

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Transport erheblich erleichtern. Eine besondere Schwierigkeit besteht jedoch darin, daß die Halterung der Rahmen in einem Tragegesteüentweder nicht sicher genug ist, um ein Abrutschen des Rahmens oder ein Herausfallen der Werkstücke zu verhindern, oder, wenn entsprechende Verriegelungen vorgesehen sind, zu umständlich ist, weshalb' das Einsetzen und Entnehmen des Rahmens zeitraubend sein kann.Make transport much easier. There is a particular difficulty however, in that the holder of the frame in a carrying gesture either is not secure enough to prevent the frame from slipping or the workpieces falling out, or if there are appropriate interlocks are provided is too cumbersome, which is why 'inserting and removing the frame can be time consuming.

Der Neuerung liegt die Aufgabe zugrunde, ein Tragegestell für Rahmen, Magazine usw., die eine Anzahl gleicher oder gleichartiger Gegenstände enthalten, zu schaffen, das sich sowohl im Aufbau als auch in der Handhabung durch Einfachheit auszeichnet und dennoch eine absolut sichere Halterung des Rahmens und der darin befindlichen Werkstücke gewährleistet. Die Neuerung ist gekennzeichnet durch einen Gestellteil, bestehend aus einem Tragegriff, Trageschäften und daran befindlichen waagerechten Führungsschienen zum seitlichen Einschieben des Rahmens bzw. Magazins, sowie durch einen in Gabelführungen des Gestellteils vertikal begrenzt verschiebbaren Gabelteil» bestehend aus einem Gabelgriff, Gabelschaften und daran befindlichen, in ihrer unteren Stellung den Rahmen bzw. das Magazin beiderseits übergreifenden Gabelstücken.The innovation is based on the task of creating a support frame for frames, Magazines etc. that contain a number of identical or similar items included, to create, which is characterized by simplicity both in structure and in handling and yet an absolutely safe one Support of the frame and the workpieces located therein guaranteed. The innovation is characterized by a frame part, consisting consisting of a handle, carrying shafts and horizontal guide rails attached to them for sliding the frame or magazine in from the side, as well as by a fork part which can be vertically displaced to a limited extent in fork guides of the frame part »consisting of a fork handle, fork shafts and located thereon, in their lower position, the frame or the magazine on both sides overlapping fork pieces.

In der einfachsten Ausfülirungsform der Neuerung ist der Gabelteil in den Gabelführungen gegen die Wirkung der Schwerkraft nach oben in seine unwirksame Lage verschiebbar. Vorzugsweise weisen der Tragegriff, dieIn the simplest Ausfülirungsform the innovation is the fork part in the Fork guides against the action of gravity upwards into its ineffective Movable position. Preferably, the handle, the

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Trageschäfte, der Gabelgriff, die Gabelschäfte und die Gabelstücke runden ₍ Querschnitt auf.Round carrying shafts, the fork handle, the fork shafts and the fork pieces ₍ cross-section on.

Anhand der Zeichnungen wird im folgenden ein Ausführungsbeispiel der Neuerung näher erläutert.With reference to the drawings, an embodiment of the Innovation explained in more detail.

Fig. 1 zeigt ein neuerungsgemäß ausgebildetes Tragegestell für einenFig. 1 shows a support frame designed according to the invention for a

Rahmen zur Aufnahme einer großen Anzahl scheibenförmiger Werkstücke undFrame for holding a large number of disc-shaped workpieces and

Fig. 2* einen senkrechten Mittelschnitt durch das Tragegestell gemäßFig. 2 * shows a vertical center section through the support frame according to

Fig. 1.Fig. 1.

Das Tragegestell besteht aus zwei relativ zueinander verscMebbaren Teilen, und zwar einem Gestellteil 1 und einem Gabelteil 2. Der Gestellteil 1 setzt sich zusammen aus einem an seiner Oberseite befindlichen waagerechten Tragegriff 3 und zwei mit diesem verbundenen, senkrecht nach unten verlaufenden Trageschäften 4, die ihrerseits mittels einer Gestellstrebe ό untereinander verbunden sind. An den unteren Enden der Trageschäfte 4 ist mittels Schrägstreben 11 je eine Führungsschiene 7 mit einer an deren Innenseite befindlichen waagerechten Führungsnut 8 angebracht. Die Führungsschienen 7 sind durch eine weitere Gestellstrebe 6 miteinander verbunden, die als Distanzstück wirksam ist.The support frame consists of two parts that can be displaced relative to one another, namely a frame part 1 and a fork part 2. The frame part 1 is composed of a horizontal handle 3 located on its upper side and two vertically downwardly extending carrying shafts 4 connected to it are connected to one another by means of a frame strut ό. A guide rail 7 with a horizontal guide groove 8 located on the inside thereof is attached to the lower ends of the support shafts 4 by means of inclined struts 11. The guide rails 7 are connected to one another by a further frame strut 6 which acts as a spacer.

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Der Gabelteil 2 besteht aus einem waagerechten Gabelgriff 9 und zwei mit diesem verbundenen, senkrecht nach unten verlaufenden Gabelschäften 10. Der Gabelgriff 9 und die Gabelschäfte 10 bilden ein nach unten geöffnetes U. An den unteren Enden der Gabelschafte· 10 ist je eine Gabel 12 angeordnet.The fork part 2 consists of a horizontal fork handle 9 and two with this connected, vertically downward fork shafts 10. The fork handle 9 and the fork shafts 10 form a downwardly open U. A fork 12 is arranged at each of the lower ends of the fork shafts 10.

Im Tragegriff 3 und in der Gestellstrebe 5 befinden sich je zwei Gabelführungen 13 zur Aufnahme der Gabelschäfte 10; der Querschnitt und der gegenseitige Abstand dieser Gabelführungen 13 sind daher dem Querschnitt und dem Abstand der Gabelschäfte 10 angepaßt.There are two fork guides each in the handle 3 and in the frame strut 5 13 for receiving the fork shafts 10; the cross-section and the mutual spacing of these fork guides 13 are therefore the cross-section and the distance between the fork shafts 10 adapted.

Zum Aufnehmen eines (in den Zeichnungen strichpunktiert gezeichneten) Rahmens mit einer Anzahl darin eingelegter Scheiben, z.B. Halbleiterscheibchen, zur Bearbeitung, wie etwa zum Reinigen, Entwickeln oder zum Ablösen des Photolacks, wird der Gabelteil 2 mittels des Gabelgriffes 9 angehoben und sodann die Führungsschienen 7 in den Rahmen eingeschoben. Daraufhin wird der Gabelgriff 9 wieder-freigegeben, so daß der Gabelteil 2 unter der Wirkung der Schwerkraft nach unten gleitet, bis der Mittelteil der Gabelöffnungen auf der Gestellstrebe 6 aufliegt. Die Gabeln 12 schieben sich hierbei beiderseits neben die Längsseiten des Rahmens, wodurch dieser gegen ein seitliches Verschieben in den Führungsnuten 8 gesichert wird. Ist der Rahmen auf die beschriebene Weise in das Tragegestell eingesetzt, so sind gleichzeitig auch die einzelnen Scheiben gegen jegliches Herausfallen gesichert.To accommodate a (dash-dotted line in the drawings) Frame with a number of wafers inserted therein, e.g. semiconductor wafers, for processing, such as for cleaning, developing or removing of the photoresist, the fork part 2 is lifted by means of the fork handle 9 and then the guide rails 7 are pushed into the frame. Then will the fork handle 9 is released again, so that the fork part 2 is under the action Gravity slides down until the middle part of the fork openings open the frame strut 6 rests. The forks 12 slide here on both sides next to the long sides of the frame, making it against a side Moving in the guide grooves 8 is secured. Is the frame on the described way used in the support frame, so are at the same time the individual panes secured against any falling out.

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Soll nach dem Transport bzw. der Bearbeitung der Scheiben das Tragegestell vom Rahmen wieder abgenommen werden, so wird in der umgekehrten Reihenfolge wie vorher beschrieben der Gabelgriff nach oben gezogen und das Tragegestell seitwärts herausgeschoben.Should the support frame after the transport or processing of the panes are removed from the frame again, the fork handle is raised in the reverse order as previously described pulled and the support frame pushed out sideways.

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Claims (3)

π A. fi'f) 5 4 3 3 * 2Q6?9Dj?&ember 1966 Internationale Büro-Maschinen Gesellschaft mbH - 6 - SCHUTZANSPRUCHEπ A. fi'f) 5 4 3 3 * 2Q6? 9Dj? & ember 1966 Internationale Büro-Maschinen Gesellschaft mbH - 6 - PROTECTION CLAIMS 1. Tragegestell für eine Anzahl gleicher oder gleichartiger Gegenstände enthaltende Rahmen, Magazine u. ä., gekennzeichnet durch einen Gestellteil (1), bestehend aus einem Tragegriff (3), Trageschäften (4) und daran befindlichen waagerechten Führungsschienen (7) zum seitlichen Einschieben in den Rahmen bzw. das Magazin, sowie einen in Gabelführungen (13) des Gestellteils (1) vertikal begrenzt verschiebbaren Gabelteil (2), bestehend aus. einem Gabelgriff (9), Gabelschäften (10) und daran befindlichen, in ihrer unteren Stellung den Rahmen bzw. das Magazin beiderseits übergreifenden Gabelstücken (12).1. Carrying frame for a number of identical or similar items Containing frames, magazines and the like, characterized by a frame part (1) consisting of a handle (3), carrying shafts (4) and horizontal guide rails (7) located thereon for lateral insertion into the frame or the magazine, as well as one in Fork guides (13) of the frame part (1) can be displaced to a limited extent vertically Fork part (2), consisting of. a fork handle (9), fork shafts (10) and on it, in their lower position the frame or the magazine on both sides overlapping fork pieces (12). 2. Tragegestell nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der Gabelteil (2) in den Gabelführungen (13) gegen die Wirkung der Schwerkraft nach oben in seine unwirksame Lage verschiebbar ist.2. Support frame according to claim 1, characterized in that the fork part (2) in the fork guides (13) against the effect of gravity can be moved upwards into its inoperative position. 3. Tragegestell nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der Tragegriff (3), die Trageschäfte (4), der Gabelgriff (9), die Gabelschäfte (10) und die Gabelstücke (12) runden Querschnitt aufweisen.3. Carrying frame according to claim 1, characterized in that the handle (3), the carrying shafts (4), the fork handle (9), the fork shafts (10) and the fork pieces (12) have a round cross-section.