DE19537211C2 - Prüfvorrichtung zur Ermittelung von Materialdaten durch Untersuchen von Mikroproben - Google Patents
Prüfvorrichtung zur Ermittelung von Materialdaten durch Untersuchen von MikroprobenInfo
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Description
Die vorliegenden Erfindung betrifft eine Prüfvorrichtung zur
Ermittelung von Materialdaten durch Untersuchen von mikrome
chanischer Proben, z. B. eines Biegestabes im Mikromaßstab, mit
einer Einrichtung zur Belastung der Probe und einer Meßein
richtung zur Bestimmung der Probenverformung.
Werkstoffprüfeinrichtungen zur Bestimmung mechanischer Eigen
schaften von Bauteilen oder allgemeiner Materialien bestehen
im Normalfall, d. h. bei makrogeometrischen Abmessungen der zu
untersuchenden Bauteile, aus einer Probe, einer Probenhalte
rung, einer Vorrichtung zum Aufbringen einer Last auf die
Probe, sowie einer Meßeinrichtung zur Bestimmung der Proben
verformung oder deren Versagens. Derartige makroskopische Vor
richtungen sind zur Untersuchung von mikromechanischen Proben
jedoch nur bedingt geeignet. Vorrichtungen zur ausschließli
chen Untersuchung von Werkstoffen oder Bauelementen im Mi
krobereich, d. h. aus der sog. Mikrotechnik, sind in Mikrodi
mensionen oder als Mikrosystem bisher nicht bekannt geworden.
Allgemein ist ein Mikrosystem dadurch definiert, daß seine we
sentlichen Bestandteile Abmessungen im Mikrometermaßstab auf
weisen. Mit dem vorliegenden Mikrosystem werden Mikroproben in
demselben Maßstab geprüft oder untersucht.
Es sind nun mikromechanische Aktoren bekannt, die zu anderen
Zwecken eingesetzt werden, wobei die derzeit erzielbaren
Kräfte noch sehr gering sind. Die bekannten Aktoren können da
her nur für Zwecke verwendet werden, bei denen geringe Kräfte
unterhalb des mN-Bereiches ausreichen. Ein derartiger Aktor
ist z. B. aus: Sniegowski, J. J.: "A Micro Actuation Mechanism
Based on Liquid-Vapor Surface Tension", 7th Intern. Conf. on
Solid-State Sensors and Actuators, Yokohama 1993, bekannt. Der
Aktor besitzt einen Kolben mit Kolbenstange, der in einem Ge
häuse größerer Abmessungen durch eine Dampfblase bewegt wird.
Die Abdichtung des Kolbens im Gehäuse erfolgt durch die Eigen
spannung der Dampfblasenwand. Der Kolben selbst wird durch
zwei an der Kolbenstange seitlich angreifende Blattfedern ge
führt und gehalten. Da der Aktor in traditioneller Silizium
technologie hergestellt wird, weist er keine Strukturen mit
hohem Aspektverhältnis auf. Dies führt zwangsläufig zu gerin
gen Zylinderabmessungen und damit auch geometriebedingt neben
den Einschränkungen durch die Eigenspannung der Dampfblase nur
zu geringen erzielbaren Kräften. Der beschriebene Aktor ist
daher für die Anwendung in einem Prüfsystem, mit welchem
Kräfte auf Baukörper zur Verformungsbestimmung ausgeübt werden
sollen, nicht geeignet.
Aus der US-Z: J. Appl. Phys., Vol 63 (1988) Nr.10, S. 4799 bis
4803 ist eine Testmethode von Silicon-Mikroelementen bekannt,
bei welcher diese mittels einer Apparatur zu Bruch gebracht
werden. Die beschriebene Methode SEM ist jedoch kein Mikro
system im Sinne obiger Definition. Das SEM System wird nur zur
Beobachtung der Probenverbiegung verwendet, das Prüfsystem
selbst, d. h. die Belastungseinrichtung ist jedoch makrosko
pisch. Mit der makroskopischen Vorrichtung werden Mikroproben
getestet, wobei diese auf einer wiederum makroskopischen Ver
fahreinrichtung montiert und gegenüber der Prüfspitze positio
niert werden. Das Funktionsprinzip des "Biegebalkens" wird
nicht beschrieben, d. h. die Art der Krafteinleitung wird nicht
näher dargestellt. Das Beobachtungssystem und die belastende
Nadel, sind beide makroskopisch und demnach nicht als Mikro
system zu bezeichnen. Die erhaltenen Kennwerte können daher
auch nicht auf Bauteile im Mikromaßstab übertragen werden.
Das Gleiche gilt auch für die in der GB-Z: Meas. Sci. Tech
nol., Vol. 3 (1992), Nr. 4, S. 347 bis 351 beschriebene Me
thode. Die dort mit den normalen makroskopischen Biegemessun
gen auszumessenden Wafer weisen keine Mikroabmessungen auf, so
daß auch hier eine ganz andersartige Problematik als bei Un
tersuchungen im Mikrometermaßstab vorliegt.
Die vorliegende Erfindung hat daher zur Aufgabe, eine Prüfvor
richtung im Mikromaßstab mit einem mikromechanischen Aktor zu
schaffen, mit welchem Kräfte auf Baukörper zur Verformungs
bestimmung ausgeübt werden können. Dabei sollen für die Prü
fung der Proben relativ große Kräfte erzeugt werden. Diese
Kräfte sollten kontinuierlich aufgebracht werden können und
eine vom Stellweg der krafterzeugenden Einheit unabhängige
Kennlinie aufweisen. Probe, Aktor und Meßsystem müssen für die
genaue Messung von Materialkennwerten exakt gegeneinander ju
stiert sein. Die vom Aktor erzeugte Deformation der Probe muß
gemessen werden können.
Zur Lösung der Aufgabe schlägt die vorliegende Erfindung ein
Mikroprüfsystem vor, welches die Merkmale im kennzeichnenden
Teil des Anspruches 1 aufweist, wobei die komplette Integra
tion von Probe, Aktor und Meßsystem zu einem Prüfsystem, des
sen laterale Abmessungen im Mikrometerbereich liegt, grundle
gend neu ist. Diese Integration ermöglicht erst die exakte
Längenmessung im Mikroprüfsystem. Besonders vorteilhafte Aus
führungen der Erfindung weisen die Merkmale der kennzeichnen
den Teile der Unteransprüche 2 bis 7 auf, wobei insbesondere
die gleichzeitige Herstellung von Probe, Meßeinheit und Aktor
gem. Anspruch 7 die Erfindung in vorteilhafter Weise kenn
zeichnet.
Bei der vorliegenden Erfindung entfällt eine aufwendige Ju
stierung der Proben. Infolge der geringen Baugröße des Prüf
systemes treten Probleme durch Temperaturschwankungen nicht
mehr auf, da das System leicht temperiert und in ein thermi
sches Gleichgewicht gebracht werden kann. Weiter wird als Vor
teil auch noch die Messung direkt am Probenort ermöglicht.
Probleme, wie sie bei makroskopischen Meßsystemen auftreten,
entfallen hier.
Weitere Einzelheiten der vorliegenden Erfindung werden im fol
genden und anhand der Fig. 1 bis 3 näher erläutert. Es zei
gen:
Fig. 1 einen Schnitt durch den Aktor, eine Biegeprobe und
den Sensor von oben gesehen,
Fig. 2 die rasterelektronenmikroskopische Originalaufnahme
des mit LIGA-Technik gefertigten Aktors und der Biegeprobe
schräg von oben bei abgenommener Deckplatte,
Fig. 3 die Kolbenstange des Aktors und die Biegeprobe mit
im Vergleich zur Fig. 2 vergrößertem Maßstab
Fig. 4 eine besondere Ausführung der Probeneinspannung.
Gemäß der Fig. 1 besteht das Mikroprüfsystem aus den drei
Hauptelementen Mikroaktor A, Probe B und Sensor C, die alle in
einer Ebene angeordnet und exakt gegeneinander ausgerichtet
sind. Das gesamte Mikroprüfsystem bildet dabei zusammen eine
teilweise bewegliche Mikrostruktur, die durch eine Kombination
des LIGA-Verfahrens (Röntgentiefenlithografie mit Galvanofor
mung und Kunststoffabformung) mit einer Opferschichttechnik
hergestellt wird. Die Herstellungsmethode ermöglicht es, Mi
krostrukturen mit Strukturhöhen bis zu mehreren 100 µm bei la
teralen Abmessungen von wenigen µm zu fertigen. Durch die zu
sätzliche Anwendung der Opferschichttechnik ist man in der
Lage, freibewegliche Teile herzustellen. Das Prinzip der Her
stellung wird späterfolgend beschrieben.
Der Aktor A als Hauptelement des Prüfsystemes besteht im we
sentlichen aus einem flachen Gehäuse 1, welches auf einer Sub
stratplatte 2 sitzt und mit ihr fest verbunden ist. In dem Ge
häuse 1 ist ein Kanal 3 vorhanden, in welchem ein axial längs
beweglicher Kolben 4 hin- und herbewegt wird, an dessen einer
Seite eine Führungstange 11 und an seiner anderen Seite eine
Kolbenstange 12 befestigt ist, jeweils in Hubrichtung gesehen.
Der Kanal 3 mündet mit seinem einen Ende in einer Druckkammer
5, die über eine Bohrung 6 mit einem druckführenden Fluid be
aufschlagt wird, welches dadurch von dieser Seite her eine
Kraft auf den Kolben 4 ausübt. Diese Bohrung 6 dient neben der
Zufuhr auch der Abfuhr des Fluides. Neben dem Kolben 4 bzw.
vor und hinter ihm, von der Druckseite aus gesehen, ist je
weils ein Lagerblock 7 und 8 zusammen mit dem Gehäuse 1 eben
falls auf der Substratplatte 2 befestigt. Die Lagerblöcke 7
und 8 weisen Schlitze 9 und 10 auf, wobei in dem Schlitz 9 die
Führungsstange 11 und in dem Schlitz 10 die Kolbenstange 12
gleitet. Dadurch wird der Kolben 4 mittels der Lagerblöcke 7
und 8 in Hub- bzw. Arbeitsrichtung geführt. Dabei sind die La
gerblöcke in ihrer Geometrie (Breite, Lagerspiel) so ausge
legt, daß der Kolben nicht verkanten kann. Der Kolben selbst
hat dabei eine laterale Ausdehnung von etwa 400 × 450 µm. Die
Spaltbreite zwischen Kolben 4 und Kanal 3 beträgt etwa 2 µm.
Der Kolben 4 sowie die Stangen 11 und 12 im Kanal 3 und in den
Bohrungen 9 und 10 werden dabei z. B. mit Silikonöl fluidisch
geschmiert.
Die aus dem Lagerblock 8 herausragende Kolbenstange 12 über
trägt die vom Kolben 4 erzeugte Kraft nach außen. Die in den
Figuren dargestellte Ausführung des Aktors ist nach der Her
stellung mittels des LIGA-Verfahrens nach oben offen. Um die
Druckkammer 5 mit dem Kolben 4 sowie den gesamten Aktor nach
oben abzuschließen und einen geschlossenen Druckraum zu erzie
len, ist das Gehäuse 1 nach oben durch eine nicht dargestellte
Deckplatte verschlossen. Diese wird auf dem Gehäuse fest ver
klebt, wobei die umlaufende Nut 13 ein Einlaufen des Klebers
ins Innere des Aktors verhindert. Die Abdichtung des bewegli
chen Kolbens 4 gegenüber dem Gehäuse 1 und der Kanalwand sowie
gegenüber der Deckplatte erfolgt durch fluidische Schmierung,
wodurch auch die Reibung des Kolbens 4 im Kanal 3 verringert
wird.
Die Probe B ist bei der dargestellten Ausführung ein langge
streckter Biegestab 14, dessen Auslenkung bzw. Biegung nach
dem Prinzip des einseitig eingespannten Balkens bei Aufbringen
einer bestimmten Kraft gemessen werden soll. Ein Teil dieser
Probe (B) ist ebenfalls ortsfester Bestandteil der Mikrostruk
tur, der andere, lose, jedoch unter Verformung gegenüber die
ser beweglich. Dabei ist der feste Teil integraler Bestandteil
des gesamten Stabes 14 in Form eines einzigen Teiles. Der fe
ste Teil kann aber auch durch eine Einspannvorrichtung 15 er
setzt sein, dann wäre der jetzt "lose" Stab nur im Zusammen
hang mit dieser Einspannvorrichtung 15 bzw. in ihr eingespannt
integraler Bestandteil der Vorrichtung. Wesentlich ist, daß
alle Teile zusammen, also fester und loser Teil des Stabes 14
oder Einspannvorrichtung 15 plus Stab 14 Bestandteile der ge
samten Mikrostruktur auf der Platte 2 sind. Ein Ende des Sta
bes 14 sitzt somit entweder fest auf der Substratplatte 2 oder
es ist in der Einspannvorrichtung 15 eingespannt, wobei das
andere, bewegliches Ende von seiner Vorderseite 16 her nach
hinten von der Kolbenstange 12 des Aktors A zur Biegebelastung
auslenkbar ist und zur Messung ausgelenkt wird. Bei einer sol
chen Messung mit einspannbaren Proben läßt sich dann, wenn die
Auslenkung bestimmter Proben 14 durch Eichmessungen bekannt
ist, über die Verbiegung der Probe 14 auch als Nebeneffekt die
vom Aktor A erzeugte Kraft ermitteln. Will man jedoch nur
Werkstoffkennwerte aus der Verbiegung ermitteln, so kann die
Probe 14, wie eingangs beschrieben, aus einem ortsfesten und
einem losen Teil bestehen.
Eine besondere Ausführung der Probeneinspannung ist in der
Fig. 4 dargestellt. Hier weist die Probe B, bei der darge
stellten Ausführung ein Biegestab 14, ein verdicktes Ende 21
auf, welches mittels Federzungen 22, die es gegen feste An
schläge 23 drücken, eingespannt ist. Die festen Anschläge 23
sind dabei ortsfeste und die Federzungen 22 bewegliche Be
standteile der gesamten Struktur. Sie werden mit dem später
beschriebenen Verfahren erzeugt. Mittels dieser Ausführung der
Probeneinspannung, die gegenüber dem Aktor exakt ausgerichtet
ist, lassen sich die Proben leicht und einfach auswechseln.
Der Sensor (C) besteht aus einem ebenfalls auf der Substrat
platte 2 festsitzenden Gehäuse 17 als Bestandteil der Gesamt
struktur mit einem innenliegenden, gegen die Rückseite 18 der
Probe 14 gerichteten, innenliegenden Faserschacht 19 zur Auf
nahme eines optischen Glasfasersystemes, welches mit Hilfe ei
ner nicht näher dargestellten Koppelstruktur Licht einer LED
auf die Rückseite 18 der Probe 14 leitet. Das an der Rückseite
18 der Probe 14 in die Glasfaser zurückreflektierte Licht wird
in der Koppelstruktur 20 an einem Prisma total in eine Glasfa
ser reflektiert und über diese Glasfaser zu einem Photodetek
tor geleitet. Aus der Änderung der reflektierten Lichtintensi
tät kann die Verbiegung bzw. Verformung der Probe 14 festge
stellt und mit einer Genauigkeit von < = 1 µm vermessen wer
den.
Im folgenden werden die Fertigungsschritte des LIGA-Verfahrens
für das gesamte Mikroprüfsystem, d. h. für eine Mikrostruktur
mit festen und beweglichen Elementen, in einem Ausführungsbei
spiel kurz beschrieben:
Ausgangspunkt ist eine bis zu mehreren 100 µm dicke strahlungsempfindliche
Kunststoffschicht. Dieser sogenannte Resist
wird durch direkte Polymerisation auf ein Substrat mit Opfer
schicht und Galvanikstartschicht aufgebracht. Die 3-7 µm
dicke Opferschicht aus Ti wurde vorstrukturiert, so daß bei
der anschließenden, justierten Röntgenbestrahlung die später
beweglichen Teile der Mikrostruktur, bei dem Aktor A z. B. der
Kolben 4 mit den Stangen 11 und 12 und bei der Probe B der be
wegliche Teil des Biegestabes 14, auf der Opferschicht zu lie
gen kommen. Unter den unbeweglichen Bereichen, die mit der
Substratplatte 2 fest verankert sind wie das Aktorgehäuse 1
und die Lagerblöcke 11 und 12, der feste Teil der Probe B, so
wie das Sensorgehäuse 17, liegt keine Opferschicht.
Die Strukturierung des Resists erfolgt durch justierte Syn
chrotonbestrahlung, wobei die hierbei verwendete Maske gegen
über der Opferschicht ausgerichtet wird. Die Synchrotonstrah
lung hat den Vorteil, daß sie bei kleiner Wellenlänge (0,2 bis
0,5 nm) eine hohe Energiedichte und große Parallelität be
sitzt. Dadurch ist es möglich, eine über die gesamte Resist
dicke hochpräzise Abbildung der Röntgenmaske zu erzielen. Die
Genauigkeit liegt über die gesamte Strukturhöhe im Submikrome
terbereich. Bei lateralen Abmessungen der Strukturen im Mikro
meterbereich erreicht man ein Aspektverhältnis (d. h. das Ver
hältnis von Strukturhöhe zu minimaler lateraler Ausdehnung)
von bis zu 100.
Durch die Bestrahlung ändert sich die chemische Zusammenset
zung des Resists so, daß bei der anschließenden Entwicklung
die bestrahlten Bereiche herausgelöst werden und man ein Nega
tiv der gewünschten Struktur erhält. Die so erzeugten Zwi
schenräume werden galvanisch mit einem Metall aufgefüllt. Er
neutes Bestrahlen ohne Maske zum Entfernen des unbelichteten
Resists ergibt die gewünschte Mikrostruktur. Schließlich wird
die Ti-Schicht selektiv gegenüber den anderen Materialien weg
geätzt, so daß der auf der Opferschicht aufgebaute Teil der
Struktur, hier z. B. unter anderem der Kolben 4, frei beweg
lich ist.
Auf entsprechende Art wie die beweglichen Teile des Aktors und
des Biegestabes werden auch die in der Fig. 4 dargestellten Fe
derzungen 22 gegenüber den festen Anschlägen 23 beweglich er
zeugt.
Vor dem letzten Bestrahlungsschritt werden die Mikrostrukturen
poliergefräst, um eine glatte Oberfläche zu erzielen, die für
das dichte Schließen der Abschlußplatte notwendig ist.
Bezugszeichenliste
1 Aktorgehäuse
2 Substratplatte
3 Kanal
4 Kolben
5 Druckkammer
6 Bohrung
7 Lagerblock
8 Lagerblock
9 Schlitz
10 Schlitz
11 Führungsstange
12 Kolbenstange
13 Nut
14 Biegestab
15 Einspannvorrichtung
16 Vorderseite
17 Sensorgehäuse
18 Rückseite
19 Faserschacht
20 Koppelstruktur
21 verdicktes Ende
22 Federzungen
23 feste Anschläge
2 Substratplatte
3 Kanal
4 Kolben
5 Druckkammer
6 Bohrung
7 Lagerblock
8 Lagerblock
9 Schlitz
10 Schlitz
11 Führungsstange
12 Kolbenstange
13 Nut
14 Biegestab
15 Einspannvorrichtung
16 Vorderseite
17 Sensorgehäuse
18 Rückseite
19 Faserschacht
20 Koppelstruktur
21 verdicktes Ende
22 Federzungen
23 feste Anschläge
Claims (7)
1. Prüfvorrichtung zur Ermittelung von Materialdaten durch Un
tersuchen von mikromechanischen Proben, z. B. eines Biege
stabes im Mikromaßstab, mit einer Einrichtung zur Belastung
der Probe und einer Meßeinrichtung zur Bestimmung der Pro
benverformung, gekennzeichnet durch die folgenden Merkmale:
- a) alle Elemente der Prüfvorrichtung einschließlich der Probe sind im Mikromaßstab ausgebildet,
- b) die Belastungseinrichtung besteht aus einem mikromecha nischen Aktor (A), dessen unbewegliche bzw. ortsfeste Strukturelemente Bestandteile einer fest auf einer Sub stratplatte (2) angebrachten Struktur sind,
- c) der Aktor (A) weist eine Kolbenstange (12) auf, welcher die vom Aktor (A) erzeugte Kraft überträgt,
- d) ein Teil der mikromechanischen Probe (B) ist ebenfalls ortsfester Bestandteil der Struktur, der andere jedoch unter Verformung gegenüber dieser beweglich,
- e) die Kolbenstange (12) des Aktors (A) drückt bei einer durch den Aktor (A) aufgebrachten Kraft zur Biegebe lastung gegen den beweglichen Teil der Probe (B),
- f) die Meßeinrichtung besteht aus einem Sensor (C), der die Verformung der Probe (B) optisch erkennt und in ein Meß signal umsetzt, wobei die ortsfesten Teile des Sensors (C) ebenfalls fester Bestandteil der Struktur sind.
2. Prüfvorrichtung nach Anspruch 1, gekennzeichnet durch die
weiteren Merkmale:
- g) der Aktor weist als festes Teil ein flaches Gehäuse (1) auf, in dem ein Kanal (3) verläuft, in welchem ein axial längsbeweglicher Kolben (4) hin- und herbewegbar ist und der mit seinem einen Ende in einer Druckkammer (5) mün det, die über eine Bohrung (6) mit einem druckführenden Fluid beaufschlagt wird,
- h) an der einen Seite des Kolbens (4) ist eine Führungs stange (11) und an seiner anderen Seite eine Kolben stange (12) befestigt, wobei vor und hinter dem Kolben (4), von der Druckseite aus gesehen, jeweils als festes Element ein Lagerblock (7 und 8) angebracht ist,
- i) die Lagerblöcke (7 und 8) weisen Schlitze (9 und 10) zur Führung des Kolbens (4) auf, wobei in dem Schlitz (9) des Lagerblocks (7) vor dem Kolben (4) die Führungs stange (11) und in dem anderen Schlitz (10) die Kol benstange (12) gleitet,
- j) das Gehäuse (1) ist nach oben durch eine Deckplatte ver schlossen.
3. Prüfvorrichtung nach Anspruch 1 oder 2, gekennzeichnet
durch die weiteren Merkmale:
- k) die Probe (B) ist ein langgestreckter Biegestab (14), dessen eines Ende fest auf der Substratplatte sitzt und dessen anderes, bewegliches Ende von seiner Vorderseite (16) her nach hinten von der Kolbenstange (12) des Ak tors (A) zur Biegebelastung auslenkbar ist.
4. Prüfvorrichtung nach Anspruch 1 oder 2, gekennzeichnet
durch die weiteren Merkmale:
- l) Die Probe (B) ist ein langgestreckter Biegestab (14), der mit seinem einen Ende in einer Einspannvorrichtung (15, oder 22 und 23) eingespannt ist und dessen anderes, bewegliches Ende von seiner Vorderseite (16) her nach hinten von der Kolbenstange (12) des Aktors (A) zur Bie gebelastung auslenkbar ist.
5. Prüfvorrichtung nach Anspruch 4, gekennzeichnet durch
die weiteren Merkmale:
- m) Die Probe (B) weist am Ende des Biegestabes (14) ein verdicktes Ende (21) auf, welches mittels Federzungen (22), die es gegen feste Anschläge (23) drücken, einge spannt ist, wobei die Anschläge (23) ortsfeste und die Federzungen (22) bewegliche Bestandteile der gesamten Struktur sind.
6. Prüfvorrichtung nach Anspruch 1, 2, 3, 4 oder 5, gekenn
zeichnet durch die weiteren Merkmale:
- n) der Sensor (C) besteht aus einem ebenfalls auf der Sub stratplatte festsitzenden Gehäuse (17) mit einem innen liegenden, gegen die Rückseite (18) der Probe (C) ge richteten Faserschacht (19) zur Aufnahme eines optischen Glasfasersystemes, mittels welchem die Ablenkung eines auf die Rückseite (18) der Probe (B) aufgebrachten Lichtstrahles durch deren Verformung bzw. Verbiegung feststellbar ist.
7. Prüfvorrichtung nach einem der vorstehenden Ansprüche, da
durch gekennzeichnet, daß die gesamte Struktur des Aktors
(A), d. h. das Gehäuse (1), die Lagerblöcke (7 und 8) und
der Kolben (4), sowie der feste und der bewegliche Teil der
Probe (B) sowie der Einspannvorrichtung und die gesamte
Struktur des Sensors (C) in den selben Arbeitsgängen auf
röntgenlithographischem, röntgentiefenlithographisch-galva
noplastischem oder auf hiervon abgeleiteten ab
formtechnischem bzw. abformtechnisch-galvanoplastischem
Wege auf dem Substrat der Grundplatte hergestellt werden,
wobei die mechanische Trennung der beweglichen Teile da
durch erfolgt, daß in den entsprechenden Bereichen des Sub
strats zunächst lokal eine Trennschicht aufgebracht wird,
die zum Schluß ätztechnisch wieder entfernt wird.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE19537211A DE19537211C2 (de) | 1994-10-08 | 1995-10-06 | Prüfvorrichtung zur Ermittelung von Materialdaten durch Untersuchen von Mikroproben |
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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DE4436009 | 1994-10-08 | ||
DE19537211A DE19537211C2 (de) | 1994-10-08 | 1995-10-06 | Prüfvorrichtung zur Ermittelung von Materialdaten durch Untersuchen von Mikroproben |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE19537211A1 DE19537211A1 (de) | 1996-04-11 |
DE19537211C2 true DE19537211C2 (de) | 1997-10-02 |
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ID=6530284
Family Applications (1)
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DE19537211A Expired - Fee Related DE19537211C2 (de) | 1994-10-08 | 1995-10-06 | Prüfvorrichtung zur Ermittelung von Materialdaten durch Untersuchen von Mikroproben |
Country Status (1)
Country | Link |
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Families Citing this family (3)
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---|---|---|---|---|
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AT521529B1 (de) * | 2018-07-27 | 2020-04-15 | Trumpf Maschinen Austria Gmbh & Co Kg | Biegevorrichtung und Verfahren zur Ermittlung zumindest eines Materialparameters bzw. Bearbeitungsparameters für eine Werkstückbearbeitungsvorrichtung |
CN114486227B (zh) * | 2022-02-18 | 2023-06-02 | 中国民用航空飞行学院 | 一种飞机发动机叶片无损探伤检测装置 |
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1995
- 1995-10-06 DE DE19537211A patent/DE19537211C2/de not_active Expired - Fee Related
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Publication number | Publication date |
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