DE19534535C2 - Koordinatenmeßmaschine - Google Patents
KoordinatenmeßmaschineInfo
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Description
Die Erfindung betrifft eine Koordinatenmeßmaschine.
Zum Anfahren eines Meßpunktes, beispielsweise auf
einem Werkstück, in den kartesischen Koordinatenrichtungen
bestehen die sogenannten 3-D-Koordinatenmeßmaschinen aus
einem Stativ, dem Tastsystem, einer vorzugsweise separat
angeordneten Versorgungs- und Steuereinheit und einem Aus
werterechner. Das Stativ hat die Aufgabe, das Tastsystem
relativ zum Werkstück meßbar zu bewegen. Diese Aufgabe wird
nach dem Stand der Technik durch drei senkrecht aufeinan
derstehende Linearachsen gelöst, von denen entweder zwei
bei Koordinatenmeßmaschinen mit bewegtem Meßtisch oder drei
bei Koordinatenmeßmaschinen mit feststehendem Meßtisch meß
technisch und konstruktiv aufeinander aufbauen.
Das Werkstück läßt sich aber auch, wie in der
DE-OS 44 03 901 A1 beschrieben worden ist, mit einem Gerät
antasten, das von einem Gelenkarm-Roboter abgeleitet ist.
Die bekannten Bewegungsmittel einer Koordinatenmeßma
schine nach der eingangs beschriebenen Art sind aufwendig.
Denn jede Achse für die Verschiebung des Tastkopfes in ei
ner Koordinatenrichtung enthält einen Antrieb, ein Maß
stabsystem und eine Führung. Die Aufgabe der Führung ist
es, Geradheits- und rotatorische Abweichungen bei Verschie
bung des Tasters zu verhindern oder reproduzierbar und da
mit maschinenbedingt korrigierbar zu gestalten, und zwar
mit einer sehr hohen Genauigkeit und unter allen zulässigen
Temperatur- und Belastungsbedingungen. Beispielsweise muß
bei einer Koordinatenmeßmaschine in Portalbauweise mit ei
ner Meßlänge von einem Meter in allen drei Achsen die rota
torische Führungsgenauigkeit jeder Achse weit unter 0,5 Se
kunden liegen, um eine Meßgenauigkeit im Bereich von 2 µm
erreichen zu können. Aufgrund dieser Anforderungen liegt
der größte Teil der Herstellungskosten einer Achse der Ko
ordinatenmeßmaschine in der Führung und nicht im Antrieb
oder dem Maßstabsystem.
Mit den verfügbaren Meßmitteln ist bei den bekannten
Koordinatenmeßmaschinen die Aufnahme von rotatorischen Ab
lauffehlern nur bis zu einer Genauigkeit von etwa 0,3 Se
kunden möglich. Andererseits können Positionsfehler bis zu
einer Genauigkeit von etwa 0,5 µm gemessen werden. Bei ei
ner Koordinatenmeßmaschine mit großem Meßvolumen wird daher
die erreichbare geometrische Genauigkeit oft durch die Auf
nahmegenauigkeit der rotatorischen Abweichungen begrenzt.
Bei den bekannten Koordinatenmeßmaschinen mit ruhendem
Meßtisch bauen alle drei Achsen, das heißt die X-, Y- und
Z-Achse bei der Verschiebung des Tastkopfes aufeinander
auf, das heißt, alle Elemente der dritten Achse (Z-Achse)
müssen von der zweiten Achse (Y-Achse) mitbewegt werden,
und alle Elemente der zweiten Achse (Y-Achse) und der
dritten Achse (Z-Achse) müssen von der ersten Achse (X-
Achse) mitbewegt werden.
Bei Meßmaschinen mit bewegtem Meßtisch bauen nur zwei
Achsen, nämlich die Y- und die Z-Achse, aufeinander auf,
zusätzlich muß jedoch das Werkstück mit Hilfe des das Werk
stück tragenden Tisches in der X-Achse bewegt werden.
In beiden Fällen sind bei den Koordinatenmeßmaschinen,
welche den Tastkopf in den kartesischen Koordinatenrich
tungen verschieben, große Massen zu bewegen, was eine
Koordinatenmeßmaschine konventioneller Bauweise teuer und
langsam macht.
Die drei linearen Achsen einer zum Stand der Technik
gehörenden Koordinatenmeßmaschine ermöglichen es jedoch,
mit einer relativ einfachen Steuerung eine zu sich selbst
parallele Verschiebung des Tastkopfes zu erreichen. Soll,
wie etwa bei optischer Antastung oder auch bei bestimmten
mechanischen Meßaufgaben der Tastkopf gedreht werden, so
ist eine Dreh-Schwenkeinrichtung erforderlich, die zusätz
liche Ungenauigkeiten, Kosten- und Steuerungsaufwand verur
sacht, auch wenn oft nur ein geringer Schwenkbereich wirk
lich erforderlich ist.
Jede Linearachse einer Koordinatenmeßmaschine erfor
dert eine sorgfältige Paralleljustage von Führung, Antrieb
und Maßstab sowie Hilfskonstruktionen, wie etwa einen
Schutz der Führungsflächen gegen Verschmutzung, ferner rei
bungsarme Schlauch- und Kabelführungen.
Die Gelenkarm-Meßmaschinen nach der DE-OS 44 03 901 A1
haben keine Linearachsen und vermeiden damit einen Teil des
vorgenannten prinzipbedingten Aufwandes. Jedoch bauen auch
bei dieser Bauart alle Achsen aufeinander auf, was zu rela
tiv großen zu bewegenden Massen führt, insbesondere wenn
ein aufwendiger Tastkopf eingesetzt werden soll. Thermische
oder durch Lastwechsel bedingte Verbiegungen der Arme wir
ken sich auf die Genauigkeit der Messung aus. Die Auflösung
verfügbarer Drehgeber ist für eine Genauigkeit im µm-
Bereich nicht ausreichend. Koordinatenmeßmaschinen in
Gelenkarm-Bauart sind hinsichtlich ihrer Leistungsfähigkeit
daher noch weit von den beschriebenen Koordinatenmeßmaschi
nen konventioneller Bauart entfernt.
Koordinatenmeßmaschinen müssen regelmäßig überprüft
werden, um die Einhaltung der spezifizierten Genauigkeit
nachzuweisen. Hierfür können kalibrierte Prüfkörper benutzt
werden, beispielsweise Endmaße oder Kugelplatten. Es ist
aber auch möglich, durch ein unabhängiges Meßsystem die
Position des Tastkopfes zu überprüfen.
Um die Richtigkeit der Koordinaten des angetasteten
Meßpunktes bestätigt zu erhalten, ist es aus der DD 141 061
bekannt, den Tastkopf in bekannter Weise koordinatenmäßig
zu verschieben, mit dem Tastkopf jedoch zusätzlich,
sozusagen zur Kontrolle, um feste Punkte neigbare Stangen
vorzusehen, deren freie Enden mit dem Tastkopf allseitig
drehbar verbunden sind, und die Stangen in ihrer Länge
meßbar verstellbar auszubilden. Wird der Tastkopf maschi
nell nach den vorgegebenen kartesischen Koordinaten
verschoben, kann man durch Messung der Längen der auszieh
baren Stangen des Kontrollsystems prüfen, ob Meß- und/oder
Verschiebefehler vorliegen, indem man aus den Längenände
rungen der Stangen die Lage des angetasteten Meßpunktes ein
zweites Mal berechnet und Einstellwert und Meßwert mitein
ander vergleicht. Bei dieser Ausbildung läßt sich nur ver
muten, welcher der beiden Werte der richtige Wert ist, oder
es kann ein Mittelwert aus den beiden Werten gebildet wer
den.
Diese Ausbildung ist sehr aufwendig, da sie neben der
Koordinatenmeßmaschine eine zusätzliche Meßeinrichtung als
Kontrollsystem erfordert.
Ein entsprechendes Kontrollverfahren wird gemäß der
DE 35 04 464 C1 für die Ermittlung der Positioniergenauig
keit einer Werkzeugaufnahme vorgenommen, bei der das
Werkzeug durch einen Roboter verfahren wird. Dieses
Kontrollgerät ist als transportables Gerät ausgebildet.
Der Industrieroboter gemäß dieser Druckschrift bewegt
ein Werkzeug koordinatenmäßig. Um vor Beginn der Bearbei
tung des Werkstückes eine genaue Ausgangsposition für das
Werkstück zu erhalten, wird die Lage des Meßkopfes bezie
hungsweise des Werkstückhalters mit Bezug auf die Grund
platte ein für allemal festgelegt. Dies hat den Nachteil,
daß räumlich nur sehr eingeschränkt gearbeitet werden kann.
Darüber hinaus ist gemäß dem Stand der Technik (Zeit
schrift "Schweizer Maschinenmarkt" Nr. 17/1995, Seiten 26
bis 29) eine Werkzeugmaschine in Hexapodenbauweise bekannt,
bei der der Arbeitstisch für die Werkstückaufnahme inte
griert ist, derart, daß sich der Arbeitstisch innerhalb der
Anlenkpunkte der Hexapodenbeine an der Grundplatte befin
det.
Diese Werkzeugmaschine hat den Nachteil, daß das Werk
stück in dem von den Beinen umschlossenen Raum angeordnet
wird. Hierdurch ist beispielsweise eine seitliche Antastung
des Werkstückes nicht möglich. Darüber hinaus ist die An
ordnung sehr schwerer Werkstücke auf dem Arbeitstisch in
dem von den Beinen umschlossenen Raum sehr schwierig.
Weiterhin ist gemäß dem Stand der Technik (Zeitschrift
"Spektrum der Wissenschaft", Mai 1991, Seiten 18 bis 22)
ein Hexapod-Teleskop bekannt. Durch Veränderung der Längen
der Tragbeine und damit ihrer Neigungswinkel kann man sechs
Freiheitsgrade realisieren und den Spiegel beliebig bewe
gen. Auch dieses Teleskop in Hexapodbauweise ist nicht
außerhalb des Radius der auf einer Grundplatte angelenkten
Tragbeine beweglich, so daß auch hier nur eine räumlich
sehr stark eingeschränkte Funktion vorliegt.
Gemäß einer weiteren Druckschrift (DE 42 18 984 A1)
ist ein Positioniersystem für optische Prüfgeräte bekannt.
Gemäß dieser Druckschrift wird eine Basisplatte und ein
Prüflings- und/oder Meßeinrichtungsträger über sechs
gleichartige, unabhängig voneinander in ihrer Länge vari
ierbare Stützen miteinander verbunden, wobei die Stützen
beider Platten gelenkartig angeschlossen und zueinander
geneigt sind.
Gemäß dieser Druckschrift ist ein Arbeiten oberhalb
des von den Stützen umschlossenen Raumes vorgesehen. Dieser
Arbeitsraum befindet sich im wesentlichen über dem von den
Stützen umschlossenen Raum. Auch hier ist wiederum eine
relativ große räumliche Einschränkung vorhanden.
Das der Erfindung zugrunde liegende technische Problem
besteht darin, eine Koordinatenmeßmaschine anzugeben, wel
che von ihrem Grundaufbau einfach und preiswert herstellbar
ist, darüber hinaus jedoch die gewünschte Meßgenauigkeit
und -geschwindigkeit gewährleistet und insbesondere auch
schwierig erreichbare Meßpunkte leicht antasten läßt.
Diese Aufgabe wird durch die Merkmale des Anspruches 1
gelöst.
Dadurch, daß der Tastkopf an einem pinolenartigen Aus
leger angeordnet ist, und der den Tastkopf tragende Ausle
ger aus dem von den Beinen und dem Körper gebildeten Raum
hinausweist, ist das Meßvolumen der erfindungsgemäßen Koor
dinatenmeßmaschine erheblich erweitert.
Zum einen ist es mit Hilfe des Auslegers überhaupt
möglich, eine seitliche Antastung eines Werkstückes durch
zuführen.
Zum anderen ist es möglich, auch sehr schwere Werk
stücke in dem Meßvolumen anzuordnen, welches außerhalb des
von den Beinen und dem Körper gebildeten Raum angeordnet
ist.
Weiterhin hat das erfindungsgemäße Koordinatenmeßgerät
den Vorteil, daß dadurch, daß die Aufnahme für das Werk
stück außerhalb des von den Beinen und dem Körper gebilde
ten Raumes angeordnet ist, eine ungehinderte manuelle oder
automatische Beschickung mit Werkstücken möglich ist.
Darüber hinaus kann der Antastpunkt vom Bediener des
Koordinatenmeßgerätes bei einem neuen Meßlauf aus sehr kur
zer Entfernung beobachtet werden.
Dadurch, daß das aus der DD 141 061 an sich bekannte
Prinzip der Kontrollmessung erfindungsgemäß dazu verwendet
wird, den Tastkopf zu tragen und meßgenau zu bewegen, kann,
wie gefunden wurde, die bisherige, aus den genannten Grün
den aufwendige Standard-Koordinatenmeßmaschine des Tast
kopfes vollkommen entfallen, insbesondere da der Tastkopf
gewichtsmäßig relativ leicht ist und deshalb zu seiner ex
akten Verschiebung nicht des massigen Aufbaus der bisheri
gen Koordinatenmeßmaschine bedarf.
Dadurch, daß jetzt der Tastkopf von einem Körper ge
tragen wird, der als gewichtsmäßig relativ leichtes Rah
mengestell ausgebildet sein kann, und vorteilhaft wenig
stens ein Punkt des Körpers mittels in der Länge und/oder
den Winkeln verstellbarer Beine in vorgegebenen Fixpunkten
mit der das Werkstück tragenden Grundplatte gelenkig ver
bunden ist, ist es möglich, den vom Körper getragenen Tast
kopf im Meßbereich der Koordinatenmeßmaschine beispiels
weise allein durch Veränderung der Länge der Beine an jeden
beliebigen Ort zu fahren. Aus der gemessenen Länge der Bei
ne kann ein Rechner leicht die Position der Tastspitze des
Tastkopfes ermitteln und in kartesischen Koordinaten
angeben.
Ein starrer Körper im Raum besitzt sechs Freiheits
grade, nämlich drei translatorische und drei rotatorische
Freiheitsgrade.
Um die Lage des Tastkopfes eindeutig festzulegen, sind da
her sechs einschränkende Bedingungen notwendig.
Deshalb hat es sich als vorteilhaft erwiesen, sechs
Beine vorzusehen, von denen jedoch nicht alle in ihrer
Länge verstellbar sein müssen. Mindestens drei der Beine
müssen aber gelenkig und längenverstellbar sein.
Die Beine brauchen im Ausgangszustand nicht gleiche
Länge aufzuweisen. Vorteilhaft wird man die Beine jedoch in
gleicher Bauart ausbilden, um diese in Serienfertigung her
stellen zu können.
Sechs Beine lassen sich in bekannter Weise in einer
Hexapoden-Bauart anordnen.
Regelmäßige Hexapoden-Bauarten sind grundsätzlich aus
den Veröffentlichungen der Zeitschrift "Spektrum der Wis
senschaft" vom Mai 1991, Seiten 18 bis 22 sowie aus der
Zeitschrift "Schweizer Maschinenmarkt", Nr. 17/1995, Seiten
26 bis 29 bekannt. Bei derartigen auf einer Grundplatte und
einer starren Gehäusekonstruktion in Leichtbauweise aufbau
enden Körpern geht man davon aus, daß ein Dreieck und die
darauf basierenden Körper, zum Beispiel Tetraeder, Oktaeder
oder Ikosaeder, dann, wenn sie nur an den Ecken belastet
werden, die größte Steifigkeit aufweisen. Demgemäß weist
die in der Zeitschrift "Spektrum der Wissenschaft" vom Mai
1991 vorgesehene Hexapoden-Bauart sechs regelmäßig angeord
nete Beine auf, welche dazu dienen, den Hauptspiegel eines
Spiegelteleskopes für astronomische Zwecke zu tragen und
der Erddrehung nachzuführen. Dieser geplante Spiegel soll
wenigstens einen Durchmesser von 12 m aufweisen und ist
deshalb gewichtsmäßig sehr schwer. Die für seine Lagerung
vorgesehene Hexapoden-Bauart ist deshalb einzig und allein
darauf ausgelegt, einen gewichtsmäßig schweren Gegenstand
zu tragen und nachzuführen.
Dasselbe gilt für die im Maschinenbau angestrebte
Technik, die Hexapoden-Bauart bei einer Werkzeugmaschine
vorzusehen. Auch hier soll die Hexapoden-Bauart gestatten,
große Kräfte auszuüben.
Gemäß der Erfindung wird von den Beinen nur ein rela
tiv leichtes Rahmengestell getragen, das seinerseits den
Tastkopf trägt. Bei der erfindungsgemäßen Verstellung des
Tastkopfes und des mit diesem verbundenen Tasters kommt es
deshalb nur darauf an, mit einfachen Mitteln den Taster des
Tastkopfes so zu bewegen, daß er mit µm-Genauigkeit auf den
Meßpunkt des Werkstückes gefahren wird.
Bei einer Koordinatenmeßmaschine in der erfindungsge
mäßen Bauart ist aus den genannten Gründen die Anbringung
des Tastkopfes direkt an dem von den Beinen getragenen Rah
mengestell nicht erwünscht. Es ist daher der Tastkopf am
Ende eines mit dem Rahmengestell starr verbundenen Ausle
gers angebracht.
Ein weiterer Vorteil der erfindungsgemäßen Ausbildung
ist, daß die Grundplatten, die Beine und der den Tastkopf
tragende Körper in einem Gehäuse anordbar sind, aus dem der
den Meßkopf tragende Ausleger herausragt. Hierdurch wird
eine weitestgehende Abschirmung der die Bewegung auslösen
den und registrierenden Elemente (Beine) und ihrer Lager
gegen Verschmutzung und äußere thermische Einflüsse er
reicht.
Ein weiterer Vorteil der erfindungsgemäßen Ausbildung
ist, daß die Aufnahme für das auszumessende Werkstück
außerhalb des von den Beinen beanspruchten Raumes angeord
net sein kann, so daß eine ungehinderte manuelle oder auto
matische Beschickung des Koordinatenmeßgerätes möglich ist.
Der Bediener kann dann auch, wie es etwa beim Erstellen ei
nes neuen Meßlaufes notwendig ist, aus kurzer Entfernung
den Antastpunkt beobachten; wäre der Tastkopf, wie aus der
Zeitschrift "Schweizer Maschinenmarkt", Nr. 17/1995, Seiten
26 bis 29, für den Werkzeugkopf bekannt, innerhalb des von
den Beinen umschlossenen Raumes angeordnet, so wäre dies
aus Zugänglichkeits- und Sicherheitsgründen ausgeschlossen.
Die an Werkzeugmaschinen gestellte Forderung nach der
Aufnahme großer Kräfte, wobei ein Ausleger von Nachteil
wäre, besteht bei Koordinatenmeßgeräten nicht, da die beim
Antasten ausgeübten Kräfte klein und darüber hinaus meßbar
und damit korrigierbar sind.
Weitere Einzelheiten der Erfindung können den Unteran
sprüchen entnommen werden.
Auf der Zeichnung ist ein Ausführungsbeispiel der Er
findung dargestellt, und zwar zeigen:
Fig. 1 eine schematische Darstellung zur Erläute
rung der Wirkungsweise;
Fig. 2 eine schematische Darstellung der Koordina
tenmeßmaschine;
Fig. 3 eine Einzelheit der Fig. 1.
Gemäß Fig. 1 sind auf einer Grundplatte (1) in den
Punkten (A, B, C) Kugelgelenke (3a, 3b und 3c) vorgesehen,
in denen Beine (2a, 2b und 2c) allseitig drehbar gelagert
sind. Die Beine (2a, 2b, 2c) laufen in einem Punkt (D) zu
sammen oder in seiner unmittelbaren Nähe. Sie sind
jeweils gelenkig im Bereich des Punktes (D) miteinander
verbunden. Die Beine (2a, 2b, 2c) weisen die Längen L1, L2
und L3 auf.
Wird der Punkt (D), welcher den Tastkopf (6) der Fig.
2 tragen kann, nach (D') verschoben, wandert das Bein (2a)
in die Lage (2a'), das Bein (2b) in die Lage (2b') und das
Bein (2c) in die Lage (2c'). Damit diese Lageänderung des
Punktes (D) nach (D') möglich ist, müssen sich die Längen
der Beine (2a, 2b, 2c) ändern. Die Länge L1 des Beines (2a)
ändert sich um den Betrag dL1, die Länge des Beines (2b)
ändert sich um den Betrag dL2 und die Länge des Beines (2c)
ändert sich um den Betrag dL3.
Diese Längenänderungen der Beine (2a, 2b, 2c) können,
wie noch zu zeigen sein wird, bewußt erzeugt werden, um den
im Punkt (D) angelenkten Tastkopf (6) nach (D') zu verla
gern.
Eine solche Verlagerung kann aber auch grundsätzlich
von Hand oder durch andersartige Mittel durchgeführt wer
den.
In jedem Fall ist es erforderlich, die Längenänderung
der Beine (2a, 2b, 2c) zu erfassen.
Die bei der Verlagerung des Punktes (D) nach (D')
erfolgenden Winkeländerungen der Beine in den Anlenkpunkten
(A, B, C) auf der Grundplatte (1) oder im Punkt (D) eines
Körpers (4) (Fig. 3) sind hierbei dann ohne Bedeutung, wenn
die Längenänderungen dL1, dL2, dL3 meßbar sind, da die Lage
eines jeden Punktes im Raum durch drei Koordinaten bestimmt
wird, hier also durch die Längen der Beine (2a, 2b, 2c) in
ihrer Ausgangslage in den Punkten (A, B und C) auf der
Grundplatte (1) und bei Verlagerung des Punktes (D) nach
(D').
Anstelle der Längenänderungen können aber auch
Winkeländerungen der Beine zur Grundplatte für die
Bestimmung der Lageänderung des Punktes (D) nach (D')
verwendet werden.
Gemäß Fig. 3 sind die Beine, wie für das Bein (2a) ge
zeigt, ausfahrbar ausgebildet. Auf der Grundplatte (1) ist
im Punkt (A) mittels eines Kugelgelenks (25) das Bein (2a)
allseitig schwenkbar gelagert. Das Bein besteht aus einem
zylinderförmigen Teil (26), in dem ein Kolben (27) ver
schiebbar gelagert ist. Der Kolben (27) trägt eine Kolben
stange (28). Die Kolbenstange (28) ist mittels eines Kugel
gelenks (29) an dem noch zu beschreibenden Körper (4) der
Fig. 2 befestigt. Der Körper (4) kann, so wie es für den
Punkt (D) in Fig. 1 gezeigt wurde, in den drei kartesischen
Koordinatenrichtungen verschoben werden. Das Bein (2a) än
dert hierbei seine Winkelneigung zur Grundplatte (1) und
auch zum Körper (4) (Fig. 1), außerdem aber auch seine
Länge L1 mit Bezug auf die Mittelpunkte der Kugeln (25 und
29) der Kugelgelenke in den Punkten (A und D).
Beispielsweise mit Hilfe eines Hydraulikmittels, wel
ches über die Leitung (30) in den zylinderförmigen Teil
(26) gedrückt wird, kann die Längenänderung des Beines (2a)
gesteuert werden und damit die Verlagerung des Körpers (4).
Eine Lagerung und Steuerung des Beines (2a), wie in
Fig. 3 beschrieben, ist für jedes der drei Beine (2a, 2b
und 2c) der Fig. 1 vorgesehen.
Um die Größe der Längenänderung des Beines (2a) aus
einer Normalstellung heraus zu erfassen, trägt der zylin
derförmige Teil (26) einen Maßstab (31). Auf dem Maßstab
(31) kann mittels eines Ableseindex (32), welcher über eine
Stange (33) mit der Kolbenstange (28) im Punkt (E) verbun
den ist, die Längenänderung des Beines (2a) abgelesen wer
den. Die Ausfahrgröße der Kolbenstange (28) und damit die
Längenänderung dL1 des Beines (2a) entspricht der Verschie
bungsgröße des Kolbens (27) und damit der Kolbenstange (28)
des Körpers (4) im Anlenkpunkt des Kugelgelenks (29).
Die in Fig. 3 schematisch dargestellte Erfassung der
Längenänderung dL1 kann mit modernen Mitteln sensorisch er
folgen und beispielsweise als Wert in eine nicht darge
stellte Meß- und Steuereinrichtung eingegeben werden.
Für jedes der drei Beine (2a, 2b, 2c) ist in der Fig.
1 eine entsprechende Einrichtung vorgesehen.
Aus den gemessenen Längenänderungen der Beine (2a, 2b,
2c) kann damit die Lage des Punktes (D) rechnerisch ermit
telt werden oder umgekehrt durch Steuerungsmittel, welche
die Kolben (26) geeignet verschieben, ein bestimmter Punkt,
in Fig. 1 zum Beispiel der Punkt (D'), angefahren werden.
Fig. 2 zeigt ein Ausführungsbeispiel der Koordinaten
meßmaschine, bei dem auf der Grundplatte (1) sechs Beine
(2a, 2b, 2c, 2d, 2e, 2f) vorgesehen sind. Je zwei Beine
sind in dem Bereich der Punkte (A', B', C') auf der Grund
platte (1) in benachbarten Kugelgelenken, wie in Fig. 3 für
das Bein (2a) dargestellt, angeordnet. Die Lager je zweier
Beine liegen dicht beieinander, was jedoch nicht zwingend
ist. Von jedem Punktbereich (A', B', C') geht damit ein
Beinpaar (2a, 2b; 2c, 2d; 2e, 2f) aus. Eines der Beine
jedes Paares ist zu einem Eckbereich (A") des Körpers (4)
geführt, das andere Bein (2b) des Paares zum Eckbereich
(B") des Körpers (4). Die im Bereich (B') gelagerten Beine
(2c und 2d) sind derart angeordnet, daß das Bein (2c) im
Bereich des Punktes (B") mit dem Körper (4) verbunden ist
und das Bein (2d) im Bereich des Punktes (C") mit diesem
Körper.
Eine entsprechende Anordnung ist für das Beinpaar (2e,
2f) getroffen, indem eines der Beine, nämlich das Bein
(2e), mit dem Körper (4) im Bereich des Punktes (C") ver
bunden ist und das andere Bein (2f) mit dem Körper (4) im
Bereich des Punktes (A").
Der Körper (4) bildet ein aus Stangen (35a, 35b und
35c) bestehendes dreieckförmiges Rahmengestell. Die Stangen
(35a, 35b, 35c) sind fest miteinander verbunden. Sie tragen
einen Ausleger (5), an dem der Tastkopf (6) befestigt ist.
Durch Änderung der Länge der Beine (2a bis 2f) kann ein auf
der Grundplatte (1) angeordnetes Werkstück (8) in einem
Meßpunkt angetastet werden.
Die Längenänderungen dL der Beine (2a bis 2f) werden
rechnerisch erfaßt und in die Lage (X, Y, Z) der Tastspitze
(6a) umgerechnet sowie zur Steuerung der Bewegung des Kör
pers (4) und des Tastkopfes (6) verwendet.
Bei der beschriebenen Ausbildung kommt es im wesentli
chen darauf an, daß die Anlenkpunkte der Beine auf der
Grundplatte und dem Körper (4) einen konstanten Abstand
voneinander aufweisen und stets beibehalten, das heißt, daß
sich die Mittelpunkte der Kugeln der Kugelgelenke nicht
gegeneinander verschieben. Ferner kommt es darauf an, daß
sich die Länge der Beine (2a bis 2f) nicht unkontrollierbar
ändert, weil dann ein angeschlossener Rechner eine Fehllage
des Punktes (D) und damit der Tastspitze (6a) ermittelt.
Die Grundplatte (1) besteht deshalb aus einem thermisch
unempfindlichen Material und weist eine Stärke auf, daß
Verbiegungen und Längenausdehnungen der Grundplatte (1)
ausgeschlossen sind.
Grundsätzlich können aber auch Meßeinrichtungen vorge
sehen sein, welche ständig die Lage der Anlenkpunkte der
Beine an der Grundplatte (1) im Bereich der Punkte (A', B'
und C') kontrollieren und eventuelle Lageabweichungen der
art umrechnen, daß an den Meßwerten Korrekturen angebracht
werden können. Das gleiche gilt für die in den Bereichen
(A", B", C") auf dem Körper (4) angelenkten Beine.
Damit die Bewegungseinrichtung für den Taster, beste
hend aus den Beinen (2a bis 2f) und dem Körper (4), nicht
verschmutzt und auch gegen thermische Einflüsse weitgehend
abgeschirmt ist, kann über dieser Bewegungseinrichtung ein
Gehäuse (7) angeordnet sein.
Für Transportzwecke kann die Grundplatte (1) aus meh
reren Teilen bestehen, die dann jedoch am Meßort wieder zu
sammenzusetzen sind (nicht dargestellt).
Um keine ungewollten Längenänderungen der Beine (2)
durch Erschütterungen oder dergleichen zu bewirken, ist die
Grundplatte (1) gemäß Fig. 2 auf Dämpfungselementen (9),
beispielsweise hydraulisch arbeitenden Stoßdämpfern, an
geordnet.
Die Steuerung (nicht dargestellt in Fig. 2) rechnet
die Längenänderung der Beine in die vom Bediener gewünsch
ten Koordinaten um und ermöglicht damit eine Bewegung des
Tastkopfes entlang kartesischer Koordinatenachsen bei Aus
lenkung eines Steuerhebels. Der Anschluß an den Aus
werterechner erfolgt wie bei konventionellen Koordinaten
meßmaschinen.
Die erreichbare Genauigkeit kann durch eine rechneri
sche Korrektur der geometrischen Abweichungen gesteigert
werden.
Anstelle einer Längenänderung der Beine oder eines der
Beine kann aber auch die Ermittlung der Änderung der
Winkellage wenigstens eines Beines treten (nicht
dargestellt).
Die Koordinatenmeßmaschine kann mit ihren Beinen (2a,
2b, 2c, 2d, 2e, 2f) auf einer Grundplatte (1a) angeordnet
werden. Die Grundplatte (1a) ist in senkrechter Lage neben
der Grundplatte (1) angeordnet. Das Werkstück (8) ist auf
der Grundplatte (1) angeordnet.
1
Grundplatte
1
a Platte
2
Beine
2
a,
2
b,
2
c längenverstellbare Beine
2
a',
2
b',
2
c' geänderte Lagen der Beine (
2
a,
2
b,
2
c)
2
d,
2
e,
2
f längenverstellbare Beine
3
a,
3
b,
3
c Kugelgelenke
4
Körper
5
Ausleger
6
Tastkopf
6
a Tastspitze
7
Gehäuse
8
Werkstück
9
Dämpfungselemente
25
Kugelgelenke
26
zylinderförmiger Teil
27
Kolben
28
Kolbenstange
29
Kugelgelenke
30
Leitung
31
Maßstab
32
Ableseindex
33
Stange
35
a,
35
b,
35
c Stangen
L1
L1
, L2
, L3
Ausgangslängen der Beine (
2
a,
2
b,
2
c)
dL1
dL1
, dL2
, dL3
Längenänderungen der Beine (
2
a,
2
b,
2
c)
A, B, C Anlenkpunkte
A', B', C' Anlenkbereiche der Beine auf der Grundplatte (
A, B, C Anlenkpunkte
A', B', C' Anlenkbereiche der Beine auf der Grundplatte (
1
)
A", B", C" Anlenkbereiche der Beine am Körper (
A", B", C" Anlenkbereiche der Beine am Körper (
4
)
D Verbindungsstelle der Beine (
D Verbindungsstelle der Beine (
2
a,
2
b,
2
c)
D' verlagerter Punkt (D)
E Verbindungspunkt
D' verlagerter Punkt (D)
E Verbindungspunkt
Claims (32)
1. Koordinatenmeßmaschine mit folgenden Merkmalen:
- 1. es ist eine Aufnahme für das auszumessende Werkstück vorgesehen sowie ein zur Antastung des Werkstückes be wegbarer Tastkopf,
- 2. der Tastkopf ist von einem Körper (4) getragen,
- 3. der Tastkopf (6) ist an einem Ausleger (5) des Körpers (4) angeordnet, wobei der Ausleger (5) nach Art einer Pinole ausgebildet ist, die in einer räumlichen Dimen sion eine wesentlich größere Ausdehnung aufweist als in den beiden anderen räumlichen Dimensionen,
- 4. der den Tastkopf (6) tragende Ausleger (5) weist aus dem von den Beinen (2a, 2b, 2c) und dem Körper (4) gebildeten Raum heraus,
- 5. es ist ein Positioniermechanismus für den Tastkopf zur Positionierung des Tastkopfes relativ zur Werkstückauf nahme vorgesehen sowie eine Versorgungs-, Steuer- und Auswerteeinrichtung,
- 6. der Positioniermechanismus besteht aus an einem Grund gestell (1) an wenigstens drei fest vorgesehenen Anlenkpunkten (A, B, C) allseitig schwenkbar gelagerten Beinen (2a, 2b, 2c), wobei wenigstens drei Beine in ihrer Länge verstellbar sind,
- 7. die Beine des Positioniermechanismus sind mit ihren freien Enden allseitig schwenkbar an dem den Tastkopf tragenden Körper (4) befestigt,
- 8. die Länge der wenigstens drei Beine (2a, 2b, 2c) und/ oder ihre Neigungen zum Grundgestell (1) sind meßbar verstellbar.
2. Koordinatenmeßmaschine nach Anspruch 1, dadurch ge
kennzeichnet, daß der Positioniermechanismus wenigstens
sechs in ihrer Länge verstellbare, den Körper (4) tragende
Beine (2a bis 2f) aufweist.
3. Koordinatenmeßmaschine nach Anspruch 2, dadurch ge
kennzeichnet, daß drei Beinpaare (2a, 2b; 2c, 2d; 2e, 2f)
auf dem Grundgestell (1) angelenkt sind, derart, daß die
Anlenkpunkte jedes Beinpaares (2a, 2b; 2c, 2d; 2e, 2f) in
benachbarten Bereichen (A', B', C') auf dem Grundgestell
liegen und am verschiebbaren, den Tastkopf tragenden Körper
(4) in Drehpunktbereichen (A", B", C") der Drehpunkt eines
Beines eines jeden Paares benachbart zu dem Drehpunkt eines
Beines eines Nachbarpaares angeordnet ist.
4. Koordinatenmeßmaschine nach Anspruch 1, dadurch ge
kennzeichnet, daß der von den Beinen (2a bis 2f) getragene
Körper (4) aus einem Rahmengestell (35a, 35b, 35c) besteht.
5. Koordinatenmeßmaschine nach Anspruch 4, dadurch ge
kennzeichnet, daß das Rahmengestell (35a, 35b, 35c) drei
eckförmig ausgebildet ist und die Drehpunktbereiche (A",
B", C") der Beine in den Eckpunkten des Rahmengestelles ge
lagert sind.
6. Koordinatenmeßmaschine nach Anspruch 5, dadurch ge
kennzeichnet, daß der Ausleger (5) an einer Ecke des Rah
mengestelles (35a, 35b, 35c) vorgesehen ist.
7. Koordinatenmeßmaschine nach Anspruch 1, dadurch ge
kennzeichnet, daß das Grundgestell (1) mit der Werkstück
aufnahme identisch ist.
8. Koordinatenmeßmaschine nach Anspruch 7, dadurch ge
kennzeichnet, daß das Grundgestell (1) mehrteilig ausgebil
det ist.
9. Koordinatenmeßmaschine nach Anspruch 1, dadurch
gekennzeichnet, daß das Grundgestell (1) auf Dämpfungsele
menten (9) angeordnet ist.
10. Koordinatenmeßmaschine nach Anspruch 1, dadurch
gekennzeichnet, daß das Grundgestell (1) in sich steif und
gegen thermische Einflüsse unempfindlich ausgebildet ist.
11. Koordinatenmeßmaschine nach Anspruch 1, dadurch
gekennzeichnet, daß die Koordinatenmeßmaschine Sensoren
aufweist, welche die Lage der Anlenkpunkte (A', B', C') der
Beine auf dem Grundgestell (1) erfassen und Lageänderungen
dieser Anlenkpunkte der Steuer- und Auswerteeinrichtung
mitteilen.
12. Koordinatenmeßmaschine nach Anspruch 1, dadurch
gekennzeichnet, daß als Anlenkungsmittel der Beine (2a bis
2f) auf dem Grundgestell (1) und am Körper (4) reibungsar
me, spielfreie Kugelgelenke vorgesehen sind.
13. Koordinatenmeßmaschine nach Anspruch 12, dadurch
gekennzeichnet, daß die Kugelgelenke als Luftlager, hydrau
lische Lager, Gleit- oder Wälzlager ausgebildet sind.
14. Koordinatenmeßmaschine nach Anspruch 1, dadurch
gekennzeichnet, daß als Anlenkungsmittel der Beine Biege
elemente vorgesehen sind.
15. Koordinatenmeßmaschine nach Anspruch 1, dadurch
gekennzeichnet, daß als Anlenkungsmittel sowohl Luftlager,
hydraulische Lager, Gleit- oder Wälzlager, als auch Biege
elemente vorgesehen sind.
16. Koordinatenmeßmaschine nach Anspruch 1, dadurch
gekennzeichnet, daß das Grundgestell (1), die Beine (2a bis
2f) und der den Tastkopf (6) tragende Körper (4) in einem
Gehäuse (7) angeordnet sind, aus dem der den Tastkopf (6)
tragende Ausleger (5) herausragt.
17. Koordinatenmeßmaschine nach Anspruch 1, dadurch
gekennzeichnet, daß die Beine (2a bis 2f) baugleich sind.
18. Koordinatenmeßmaschine nach Anspruch 1, dadurch
gekennzeichnet, daß die Länge der Beine (2a bis 2f) hydrau
lisch, pneumatisch oder elektromotorisch mit Hilfe einer
Spindel oder eines Linearmotors längenverstellbar ist.
19. Koordinatenmeßmaschine nach Anspruch 1, dadurch
gekennzeichnet, daß jedes längenverstellbare Bein ein Maß
stabsystem (31, 32) trägt, auf dem die Länge des Beines be
zogen auf die Anlenkpunkte an der Grundplatte (1) und am
Körper (4) ablesbar oder abtastbar ist.
20. Koordinatenmeßmaschine nach Anspruch 1, dadurch
gekennzeichnet, daß die Beine (2a bis 2f) die Ausfahrlänge
erfassende Sensoren tragen.
21. Koordinatenmeßmaschine nach Anspruch 1, dadurch
gekennzeichnet, daß an den Anlenkpunkten der Beine an dem
Grundgestell (1) und/oder am Körper (4) Winkelmeßsysteme
vorgesehen sind, die die Neigungswinkel der Beine (2a bis
2f) relativ zu dem Grundgestell (1) oder dem Körper (4) er
fassen.
22. Koordinatenmeßmaschine nach Anspruch 1, dadurch
gekennzeichnet, daß die Beine Belastungs- und/oder Tempera
tursensoren tragen.
23. Koordinatenmeßmaschine nach Anspruch 1, dadurch
gekennzeichnet, daß für die Erfassung der Lage des den
Tastkopf (6) tragenden Körpers (4) oder des Tastkopfes
selbst ein von den Beinen unabhängiges Meßsystem vorgesehen
ist.
24. Koordinatenmeßmaschine nach Anspruch 1, dadurch
gekennzeichnet, daß wenigstens ein Bein in seinem Ausgangs
zustand eine andere Länge als die übrigen Beine aufweist.
25. Koordinatenmeßmaschine nach Anspruch 1, dadurch
gekennzeichnet, daß wenigstens eines der Beine eine unver
änderbare vorgegebene Länge oder Lage aufweist.
26. Koordinatenmeßmaschine nach Anspruch 1, dadurch
gekennzeichnet, daß die Anlenkpunkte der Kugelgelenke auf
dem Grundgestell (1) versetzbar ausgebildet sind.
27. Koordinatenmeßmaschine nach Anspruch 1, dadurch
gekennzeichnet, daß das die Beine tragende Grundgestell (1)
in waagerechter, senkrechter oder raumschräger Lage (1a)
neben, hinter oder über der Werkstückaufnahme angeordnet
ist.
28. Koordinatenmeßmaschine nach Anspruch 27, dadurch
gekennzeichnet, daß das Grundgestell (1) mit der Werkstück
aufnahme über Verbindungselemente starr verbunden ist.
29. Koordinatenmeßmaschine nach Anspruch 28, dadurch
gekennzeichnet, daß die Verbindungselemente Teile der Koor
dinatenmeßmaschine oder Teile zu anderen Maschinen oder
Verbindungselemente zum Aufstellraum, wie dessen Decke,
Wände oder dergleichen sind.
30. Koordinatenmeßmaschine nach Anspruch 1, dadurch
gekennzeichnet, daß das Grundgestell (1) aus mehreren, zu
einander in einem Winkel stehenden, starr miteinander ver
bundenen Teilen besteht, und daß jedes der Teile wenigstens
eines der Beine trägt.
31. Koordinatenmeßmaschine nach Anspruch 1, dadurch
gekennzeichnet, daß die Beine paarweise so angeordnet sind,
daß ihre Richtungen in einem ausgezeichneten Teil des Meß
volumens nahezu ein Orthogonalsystem bilden.
32. Koordinatenmeßmaschine nach Anspruch 1, dadurch
gekennzeichnet, daß zur Steigerung der Meßgenauigkeit eine
in der Steuereinrichtung ausgeführte rechnerische Korrektur
der Längenmessung der Beine (2) und gegebenenfalls weiterer
geometrischer Abweichungen der Meßwerte überlagerbar ist,
und daß die Ermittlung der Größe der einzelnen Korrekturen
der Abweichungen an den einzelnen Elementen, wie Beinen (2)
und/oder Ausleger (5) im Meßbetrieb an einem speziellen
Werkstück erfolgt.
Priority Applications (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE19534535A DE19534535C2 (de) | 1995-09-18 | 1995-09-18 | Koordinatenmeßmaschine |
EP96113300A EP0763708B1 (de) | 1995-09-18 | 1996-08-20 | Koordinatenmessmaschine |
DE59609743T DE59609743D1 (de) | 1995-09-18 | 1996-08-20 | Koordinatenmessmaschine |
US08/714,372 US5909939A (en) | 1995-09-18 | 1996-09-16 | High accuracy coordinate measuring machine having a plurality of length-adjustable legs |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE19534535A DE19534535C2 (de) | 1995-09-18 | 1995-09-18 | Koordinatenmeßmaschine |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE19534535A1 DE19534535A1 (de) | 1997-03-20 |
DE19534535C2 true DE19534535C2 (de) | 2000-05-31 |
Family
ID=7772456
Family Applications (2)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE19534535A Revoked DE19534535C2 (de) | 1995-09-18 | 1995-09-18 | Koordinatenmeßmaschine |
DE59609743T Expired - Lifetime DE59609743D1 (de) | 1995-09-18 | 1996-08-20 | Koordinatenmessmaschine |
Family Applications After (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE59609743T Expired - Lifetime DE59609743D1 (de) | 1995-09-18 | 1996-08-20 | Koordinatenmessmaschine |
Country Status (3)
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---|---|
US (1) | US5909939A (de) |
EP (1) | EP0763708B1 (de) |
DE (2) | DE19534535C2 (de) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2003036226A1 (de) | 2001-10-23 | 2003-05-01 | Dr. Johannes Heidenhain Gmbh | Positionsmessgerät |
DE102019205042B4 (de) | 2019-04-09 | 2023-05-17 | Carl Zeiss Industrielle Messtechnik Gmbh | Vorrichtung und Verfahren zur Positionierung eines Sensors oder Sensorteils |
Families Citing this family (63)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE19703738C2 (de) * | 1997-02-01 | 2001-11-08 | Leitz Brown & Sharpe Mestechni | Verfahren zur Bestimmung geometriebestimmender Parameter eines Koordinatenmeßgerätes |
DE19720049B4 (de) * | 1997-05-14 | 2006-01-19 | Hexagon Metrology Gmbh | Verfahren zur Steuerung eines motorischen Koordinatenmeßgerätes sowie Koordinatenmeßgerät zur Durchführung des Verfahrens |
DE19840334A1 (de) * | 1998-02-02 | 1999-08-05 | Daimler Chrysler Ag | Vorrichtung zur Verwendung als Navigationskulisse bei der Vermessung von Objekten |
US6021579A (en) * | 1998-04-01 | 2000-02-08 | Joseph M. Schimmels | Spatial parallel compliant mechanism |
US6587802B1 (en) * | 1998-09-17 | 2003-07-01 | Dr. Johannes Heidenhain Gmbh | Calibration device for a parallel kinematic manipulator |
DE19913912B4 (de) * | 1999-03-26 | 2006-04-06 | Wissner, Rolf, Dipl.-Ing. | Meß- und/oder Positioniervorrichtung |
US6298572B1 (en) | 2000-01-10 | 2001-10-09 | Mcauley Brian | Universal holding device for effectuating three dimensional measurement of a part and method of constructing such a holding device |
WO2001085402A2 (en) | 2000-05-12 | 2001-11-15 | Alberta Research Council Inc. | Motion platform with six linear electromagnetic actuators |
US6668466B1 (en) | 2000-10-19 | 2003-12-30 | Sandia Corporation | Highly accurate articulated coordinate measuring machine |
DE10126848B4 (de) * | 2001-06-01 | 2006-02-02 | Siemens Ag | Produktionsmaschine |
EP1271092A1 (de) * | 2001-06-28 | 2003-01-02 | Haim Abitan | System und Verfahren zur Konzeption und Analyse eines optischen Aufbaus |
EP1432555A2 (de) * | 2001-07-02 | 2004-06-30 | Microbotic A/S | Vorrichtung mit einem roboterarm zum bewegen von objekt handhabenden hexapoden |
US7241070B2 (en) * | 2001-07-13 | 2007-07-10 | Renishaw Plc | Pivot joint |
US7040033B2 (en) * | 2001-10-05 | 2006-05-09 | Trustees Of Stevens Institute Of Technology | Six degrees of freedom precision measuring system |
US7073271B2 (en) * | 2002-02-14 | 2006-07-11 | Faro Technologies Inc. | Portable coordinate measurement machine |
US6925722B2 (en) * | 2002-02-14 | 2005-08-09 | Faro Technologies, Inc. | Portable coordinate measurement machine with improved surface features |
US6952882B2 (en) * | 2002-02-14 | 2005-10-11 | Faro Technologies, Inc. | Portable coordinate measurement machine |
US6957496B2 (en) * | 2002-02-14 | 2005-10-25 | Faro Technologies, Inc. | Method for improving measurement accuracy of a portable coordinate measurement machine |
US7881896B2 (en) | 2002-02-14 | 2011-02-01 | Faro Technologies, Inc. | Portable coordinate measurement machine with integrated line laser scanner |
US7246030B2 (en) * | 2002-02-14 | 2007-07-17 | Faro Technologies, Inc. | Portable coordinate measurement machine with integrated line laser scanner |
US6973734B2 (en) | 2002-02-14 | 2005-12-13 | Faro Technologies, Inc. | Method for providing sensory feedback to the operator of a portable measurement machine |
USRE42082E1 (en) | 2002-02-14 | 2011-02-01 | Faro Technologies, Inc. | Method and apparatus for improving measurement accuracy of a portable coordinate measurement machine |
US7519493B2 (en) * | 2002-02-14 | 2009-04-14 | Faro Technologies, Inc. | Portable coordinate measurement machine with integrated line laser scanner |
US6662651B1 (en) * | 2002-08-15 | 2003-12-16 | Javelin Sports, Inc. | Portable exercise device |
WO2005074368A2 (en) * | 2004-02-04 | 2005-08-18 | Mazor Surgical Technologies Ltd. | Verification system for robot pose |
SE527248C2 (sv) * | 2004-06-28 | 2006-01-31 | Hexagon Metrology Ab | Mätprob för användning i koordinatmätmaskiner |
US7275332B2 (en) * | 2005-02-22 | 2007-10-02 | Carestream Health, Inc. | Multi-axis positioning apparatus |
GB2431723A (en) * | 2005-07-26 | 2007-05-02 | Makex Ltd | Coordinate measuring machine |
US20070284502A1 (en) * | 2006-06-13 | 2007-12-13 | Nikon Corporation | Hexapod kinematic mountings for optical elements, and optical systems comprising same |
DE602007006309D1 (de) * | 2006-06-16 | 2010-06-17 | Renishaw Plc | Verlängerbare beinbaugruppe für eine positionsmessvorrichtung |
GB0611979D0 (en) * | 2006-06-16 | 2006-07-26 | Renishaw Plc | Coordinate positioning machine |
WO2008064276A2 (en) * | 2006-11-20 | 2008-05-29 | Hexagon Metrology Ab | Coordinate measurement machine with improved joint |
DE102009015920B4 (de) | 2009-03-25 | 2014-11-20 | Faro Technologies, Inc. | Vorrichtung zum optischen Abtasten und Vermessen einer Umgebung |
US9551575B2 (en) | 2009-03-25 | 2017-01-24 | Faro Technologies, Inc. | Laser scanner having a multi-color light source and real-time color receiver |
DE102009057101A1 (de) | 2009-11-20 | 2011-05-26 | Faro Technologies, Inc., Lake Mary | Vorrichtung zum optischen Abtasten und Vermessen einer Umgebung |
US9529083B2 (en) | 2009-11-20 | 2016-12-27 | Faro Technologies, Inc. | Three-dimensional scanner with enhanced spectroscopic energy detector |
US9113023B2 (en) | 2009-11-20 | 2015-08-18 | Faro Technologies, Inc. | Three-dimensional scanner with spectroscopic energy detector |
US9210288B2 (en) | 2009-11-20 | 2015-12-08 | Faro Technologies, Inc. | Three-dimensional scanner with dichroic beam splitters to capture a variety of signals |
US9628775B2 (en) | 2010-01-20 | 2017-04-18 | Faro Technologies, Inc. | Articulated arm coordinate measurement machine having a 2D camera and method of obtaining 3D representations |
US9879976B2 (en) | 2010-01-20 | 2018-01-30 | Faro Technologies, Inc. | Articulated arm coordinate measurement machine that uses a 2D camera to determine 3D coordinates of smoothly continuous edge features |
US9607239B2 (en) | 2010-01-20 | 2017-03-28 | Faro Technologies, Inc. | Articulated arm coordinate measurement machine having a 2D camera and method of obtaining 3D representations |
CN102771079A (zh) * | 2010-01-20 | 2012-11-07 | 法罗技术股份有限公司 | 具有多通信通道的便携式关节臂坐标测量机 |
US9163922B2 (en) | 2010-01-20 | 2015-10-20 | Faro Technologies, Inc. | Coordinate measurement machine with distance meter and camera to determine dimensions within camera images |
DE102010020925B4 (de) | 2010-05-10 | 2014-02-27 | Faro Technologies, Inc. | Verfahren zum optischen Abtasten und Vermessen einer Umgebung |
US9168654B2 (en) | 2010-11-16 | 2015-10-27 | Faro Technologies, Inc. | Coordinate measuring machines with dual layer arm |
EP2729763A1 (de) * | 2011-07-08 | 2014-05-14 | Carl Zeiss Industrielle Messtechnik GmbH | Korrektur und/oder vermeidung von fehlern bei der messung von koordinaten eines werkstücks |
DE102012100609A1 (de) | 2012-01-25 | 2013-07-25 | Faro Technologies, Inc. | Vorrichtung zum optischen Abtasten und Vermessen einer Umgebung |
US8997362B2 (en) | 2012-07-17 | 2015-04-07 | Faro Technologies, Inc. | Portable articulated arm coordinate measuring machine with optical communications bus |
US10067231B2 (en) | 2012-10-05 | 2018-09-04 | Faro Technologies, Inc. | Registration calculation of three-dimensional scanner data performed between scans based on measurements by two-dimensional scanner |
US9513107B2 (en) | 2012-10-05 | 2016-12-06 | Faro Technologies, Inc. | Registration calculation between three-dimensional (3D) scans based on two-dimensional (2D) scan data from a 3D scanner |
DE102012109481A1 (de) | 2012-10-05 | 2014-04-10 | Faro Technologies, Inc. | Vorrichtung zum optischen Abtasten und Vermessen einer Umgebung |
CN103292709B (zh) * | 2013-05-24 | 2015-09-09 | 深圳市华星光电技术有限公司 | 测长机日常检测与自动补正方法 |
US20180236668A1 (en) * | 2015-10-27 | 2018-08-23 | Panasonic Intellectual Property Management Co., Lt | Carrier device |
TWI585363B (zh) | 2015-12-01 | 2017-06-01 | 國立清華大學 | 應用於量測之雙球桿系統及其誤差補償方法 |
DE102015122844A1 (de) | 2015-12-27 | 2017-06-29 | Faro Technologies, Inc. | 3D-Messvorrichtung mit Batteriepack |
JP6968088B2 (ja) * | 2016-04-08 | 2021-11-17 | レニショウ パブリック リミテッド カンパニーRenishaw Public Limited Company | 座標位置決め機械 |
US10962166B1 (en) * | 2017-08-10 | 2021-03-30 | United States Of America As Represented By The Administrator Of The National Aeronautics And Space Administration | Hexapod pose knowledge improvement by joint location calibration with individual strut length differential measurements |
EP3450905B1 (de) * | 2017-09-01 | 2020-04-22 | Hexagon Technology Center GmbH | Messmaschine von nichtkarthesischen hexapod- oder hexapodähnlichen koordinaten |
GB2568459B (en) | 2017-10-13 | 2020-03-18 | Renishaw Plc | Coordinate positioning machine |
GB201820935D0 (en) * | 2018-12-21 | 2019-02-06 | Renishaw Plc | Manufacturing system and method |
GB2582972B (en) * | 2019-04-12 | 2021-07-14 | Renishaw Plc | Coordinate positioning machine |
CN113865534B (zh) * | 2021-09-01 | 2023-03-21 | 慈溪莱普森机械有限公司 | 三坐标测量仪 |
CN115014171B (zh) * | 2022-08-04 | 2022-10-21 | 常州皓之鼎高分子材料有限公司 | 一种新能源汽车用eva泡棉吸音片尺寸测量方法及装置 |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DD141061A1 (de) * | 1978-12-29 | 1980-04-09 | Werner Krieg | Einrichtung zum bestimmen der lage und abmessungen von gegenstaenden |
DE3504464C1 (de) * | 1985-02-09 | 1986-04-17 | Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V., 8000 München | Transportables Meßgerät zur Überprüfung der Positioniergenauigkeit eines programmgesteuerten Gerätearmes |
DE4218984A1 (de) * | 1992-06-10 | 1993-12-16 | Zeiss Carl Jena Gmbh | Positioniersystem für optische Prüfgeräte |
Family Cites Families (16)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
SU1040318A1 (ru) * | 1981-02-25 | 1983-09-07 | Институт Машиноведения Им.А.А.Благонравова | Устройство дл измерени пространственного перемещени тел |
US4536690A (en) * | 1982-10-19 | 1985-08-20 | Calspan Corporation | Tool-supporting self-propelled robot platform |
FR2547916A1 (fr) * | 1983-06-27 | 1984-12-28 | Lemoine Patrick Neuhaus | Procede de mesure de deplacement d'un palpeur dans l'espace |
GB2180117B (en) * | 1985-09-05 | 1989-09-06 | Ferranti Plc | Three-dimensional position measuring apparatus |
DE3637410A1 (de) * | 1986-11-03 | 1988-05-11 | Zeiss Carl Fa | Verfahren zur messung von drehtischabweichungen |
DE3717459A1 (de) * | 1987-05-23 | 1988-12-01 | Zeiss Carl Fa | Handgefuehrtes koordinatenmessgeraet |
SU1548652A1 (ru) * | 1988-01-11 | 1990-03-07 | Предприятие П/Я А-7880 | Устройство дл измерени геометрических размеров тела и его положени в пространстве |
SU1583726A1 (ru) * | 1988-04-12 | 1990-08-07 | Институт Машиноведения Им.А.А.Благонравова | L-координатный пространственный механизм |
US5050112A (en) * | 1989-08-08 | 1991-09-17 | The United States Of America As Represented By The United States Department Of Energy | Specimen coordinate automated measuring machine/fiducial automated measuring machine |
US5028180A (en) * | 1989-09-01 | 1991-07-02 | Sheldon Paul C | Six-axis machine tool |
US5179786A (en) * | 1991-04-22 | 1993-01-19 | Shelton Russell S | Measuring apparatus with temperature control |
US5412880A (en) * | 1993-02-23 | 1995-05-09 | Faro Technologies Inc. | Method of constructing a 3-dimensional map of a measurable quantity using three dimensional coordinate measuring apparatus |
US5402582A (en) * | 1993-02-23 | 1995-04-04 | Faro Technologies Inc. | Three dimensional coordinate measuring apparatus |
US5428446A (en) * | 1993-03-29 | 1995-06-27 | Ziegert; John C. | Measurement instrument with interferometer and method |
GB9324218D0 (en) * | 1993-11-25 | 1994-01-12 | Renishaw Plc | Position determination machines |
GB9401692D0 (en) * | 1994-01-28 | 1994-03-23 | Renishaw Plc | Performing measurement or calibration on positioning machines |
-
1995
- 1995-09-18 DE DE19534535A patent/DE19534535C2/de not_active Revoked
-
1996
- 1996-08-20 EP EP96113300A patent/EP0763708B1/de not_active Expired - Lifetime
- 1996-08-20 DE DE59609743T patent/DE59609743D1/de not_active Expired - Lifetime
- 1996-09-16 US US08/714,372 patent/US5909939A/en not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DD141061A1 (de) * | 1978-12-29 | 1980-04-09 | Werner Krieg | Einrichtung zum bestimmen der lage und abmessungen von gegenstaenden |
DE3504464C1 (de) * | 1985-02-09 | 1986-04-17 | Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V., 8000 München | Transportables Meßgerät zur Überprüfung der Positioniergenauigkeit eines programmgesteuerten Gerätearmes |
DE4218984A1 (de) * | 1992-06-10 | 1993-12-16 | Zeiss Carl Jena Gmbh | Positioniersystem für optische Prüfgeräte |
Non-Patent Citations (2)
Title |
---|
CH-Z: Schweizer Maschinenmarkt, Nr. 17/1995, S. 26-29 * |
DE-Z: Spektrum der Wissenschaft, Mai 1991, S. 18-22 * |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2003036226A1 (de) | 2001-10-23 | 2003-05-01 | Dr. Johannes Heidenhain Gmbh | Positionsmessgerät |
US7274464B2 (en) | 2001-10-23 | 2007-09-25 | Dr. Johannes Heidenhain Gnbh | Position measuring device |
DE102019205042B4 (de) | 2019-04-09 | 2023-05-17 | Carl Zeiss Industrielle Messtechnik Gmbh | Vorrichtung und Verfahren zur Positionierung eines Sensors oder Sensorteils |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
DE19534535A1 (de) | 1997-03-20 |
US5909939A (en) | 1999-06-08 |
EP0763708B1 (de) | 2002-10-02 |
DE59609743D1 (de) | 2002-11-07 |
EP0763708A2 (de) | 1997-03-19 |
EP0763708A3 (de) | 1998-10-14 |
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