DE19527566A1 - Optical changeover switch - has channels at light conductor crossings on substrate connected to reservoir containers, one contg. medium with same refractive index as light conductor core, the other a medium with lower refractive index - Google Patents

Optical changeover switch - has channels at light conductor crossings on substrate connected to reservoir containers, one contg. medium with same refractive index as light conductor core, the other a medium with lower refractive index

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Abstract

The optical changeover switch has a light conductor output which can be optionally switched between two light conductor inputs. Light conductors are arranged in a matrix on a substrate. Diagonal channels at the light conductor crossings are coupled to a device from which the channels are filled with liquid. Each end of a channel (3) is connected to a reservoir container (4,5). One container contains a medium with the same refractive index as the core of the light conductor. The other container contains a medium with a smaller refractive index. Each container also contains a device which exerts a pressure on the medium within it.

Description

Die Erfindung betrifft einen optischen Umschalter, bei dem ein Lichtwellenleiterausgang wahlweise auf einen von zwei Lichtwellenleiterneingängen umschaltbar ist, welcher aus einem Substrat besteht, auf dem in einer Matrix Lichtwellenleiter angeordnet sind und an den Kreuzungsstellen der Lichtwellenleiter diagonale Kanäle vorgesehen sind, welche mit einer Vorrichtung gekoppelt sind, aus welcher der Kanal mit einer Flüssigkeit gefüllt werden kann.The invention relates to an optical switch in which a Optical fiber output optionally on one of two Optical fiber inputs can be switched, which consists of a There is substrate on which in a matrix optical waveguide are arranged and at the crossing points of the optical fibers diagonal channels are provided, which with a device are coupled, from which the channel is filled with a liquid can be.

Eine solche Vorrichtung ist bekannt (Aufsatz: "Low-Loss Intersecting Grooved Waveguides with Low Δ Delta for a Self-Holding Optical Matrix Switch" in IEEE Transactions on Components, Packaging, and Manufacturing Technologie Part B, Vol. 18, No. 2, May 1995, Seiten 241-244).Such a device is known (essay: "low loss Intersecting Grooved Waveguides with Low Δ Delta for a Self-Holding Optical Matrix Switch "in IEEE Transactions on Components, Packaging, and Manufacturing Technology Part B, Vol. 18, No. 2, May 1995, pages 241-244).

Bei dem bekannten optischen Umschalter sind an einem Ende der diagonalen Kanäle topfförmige Vertiefungen vorgesehen. Diese Vertiefungen können aus einem in allen vier Richtungen (x, y, z) verfahrbaren und mit einer Düse versehenen Vorratsbehälter mit einer Flüssigkeit gefüllt und auch wieder entleert werden. Wenn eine dieser Vertiefungen und damit auch der entsprechende diagonale Kanal mit einer Flüssigkeit, deren Brechungsindex dem des Lichtwellenleiters entspricht, gefüllt ist, dann findet an der Kreuzungsstelle eine geradlinige, ungebrochene Weiterführung der Lichtwelle statt. Wird dagegen die Flüssigkeit aus der Vertiefung und daher auch aus dem diagonalen Kanal an der Kreuzungsstelle entfernt, dann ist dort eine Grenzfläche mit einem großen Brechungsindexsprung zum niedrigeren Brechungsindex des Mediums Luft vorhanden. Dadurch wird die Lichtwelle bei geringen Verlusten durch Totalreflektion um einen solchen Winkel abgelenkt, daß sie in einen rechtwinklig abgehenden Lichtwellenleiter einkoppelt. Eine solche Anordnung gestattet ein Umschalten der Lichtwelle an der Kreuzungsstelle, von einem Lichtwellenleiter zum anderen. Die bekannte Vorrichtung ist wegen des mit einer Steuerung für das Füllen und Entleeren des Vorratsbehälters und für seine Positionierung an einer gewünschten Kreuzungsstelle der Lichtwellenleiter sehr aufwendig.In the known optical switch are at one end diagonal channels provided pot-shaped depressions. This Depressions can be made in one in all four directions (x, y, z) movable and provided with a nozzle with filled with a liquid and also emptied again. If  one of these depressions and thus the corresponding diagonal Channel with a liquid whose refractive index corresponds to that of the Optical fiber corresponds, is filled, then takes place at the Crossing point a straightforward, unbroken continuation of the Light wave instead. In contrast, the liquid from the well and therefore also from the diagonal channel at the crossing point away, then there's an interface with a big one Refractive index jump to the lower refractive index of the medium Air available. This makes the light wave with little loss deflected by total reflection at such an angle that it is in couples a right-angled optical fiber. A such an arrangement allows switching of the light wave on the Crossing point, from one optical fiber to another. The known device is because of that with a controller for that Filling and emptying the storage container and for its Positioning at a desired crossing point of the Optical fiber very expensive.

Das der Erfindung zugrunde liegende technische Problem besteht nun darin, den bekannten optischen Umschalter in der Weise zu verbessern, daß keine größeren Massen mehr bewegt werden müssen. Dieses technische Problem ist erfindungsgemäß durch eine Vorrichtung mit folgenden Merkmalen gelöst:The technical problem underlying the invention now exists in the well-known optical switch in the way improve that no larger masses have to be moved. According to the invention, this technical problem is caused by a Device with the following features solved:

  • a) jedes Ende eines Kanals ist mit einem Vorratsbehälter verbunden,a) each end of a channel is with a reservoir connected,
  • b) ein Vorratsbehälter enthält ein Medium welches den Brechungsindex des Lichtwellenleiterkerns besitzt,b) a storage container contains a medium which the Has the refractive index of the optical fiber core,
  • c) der andere Vorratsbehälter enthält ein Medium mit einem Brechungsindex, welcher kleiner als der Brechungsindex des Lichtwellenleiterkerns ist, c) the other reservoir contains a medium with a Refractive index, which is smaller than the refractive index of the Fiber core is  
  • d) in jedem Vorratsbehälter ist eine Vorrichtung enthalten, welche geeignet ist, einen Druck auf das in ihr enthaltene Medium auszuüben.d) a device is contained in each storage container, which is suitable to put pressure on the contained in it Exercise medium.

Mit einem solchen optischen Umschalter kann das Umschalten von Lichtwellen zwischen zwei Lichtwellenleitern mit einfachen elektrischen Mitteln durchgeführt werden, ohne daß Massen bewegt und Flüssigkeiten eingefüllt oder abgesaugt werden müssen. Vorteilhafte Einzelheiten der Erfindung sind in den Ansprüchen 2 bis 11 enthalten, welche nachstehend anhand der Fig. 1 bis 5 erläutert ist. Es zeigen:With such an optical switch, the switching of light waves between two optical fibers can be carried out with simple electrical means without masses having to be moved and liquids being filled in or suctioned off. Advantageous details of the invention are contained in claims 2 to 11, which is explained below with reference to FIGS. 1 to 5. Show it:

Fig. 1a eine schematische Darstellung eines Ausführungsbeispiels des erfindungsgemäßen optischen Umschalters in der einen Schaltstellung, FIG. 1a is a schematic representation of an embodiment of the optical switch according to the invention in one switching position,

Fig. 1b der optische Umschalter gemäß Fig. 1a in der anderen Schaltstellung, FIG. 1b of the optical switch of Fig. 1a in the other switching position,

Fig. 2 einen Längsschnitt durch einen optischen Umschalter gemäß Fig. 1b, Fig. 2 is a longitudinal sectional view of an optical switch according to Fig. 1b,

Fig. 3 einen Längsschnitt durch ein anderes Ausführungsbeispiel des optischen Umschalters, Fig. 3 shows a longitudinal section through another embodiment of the optical switch,

Fig. 4 einen Längsschnitt durch ein weiteres Ausführungsbeispiel des optischen Umschalters und Fig. 4 shows a longitudinal section through a further embodiment of the optical switch and

Fig. 5 den Längsschnitt durch ein wieder anderes Ausführungsbeispiel des optischen Umschalters. Fig. 5 shows the longitudinal section through yet another embodiment of the optical switch.

In Fig. 1a ist die Draufsicht auf eine Kreuzungsstelle aus den beiden Lichtwellenleitern 1 und 2 gezeigt. An der Kreuzungsstelle ist ein diagonal verlaufender Kanal 3 vorhanden, dessen beide Enden jeweils mit einem Vorratsbehälter 4 bzw. 5 in Verbindung stehen.In Fig. 1a, the top view of an intersection of the two optical fibers 1 and 2 is shown. At the intersection there is a diagonally running channel 3 , the two ends of which are each connected to a storage container 4 or 5 .

Die Vorratsbehälter 4, 5 sind zum größten Teil mit einer Flüssigkeit gefüllt. Die nicht mit Flüssigkeit gefüllten Räume 6 und 7 in den Vorratsbehältern 4 und 5 sollen mit Luft gefüllt sein. In den Vorratsbehältern 4 und 5 soll außerdem eine Vorrichtung vorhanden sein, welche in der Lage ist, Druck auf die Flüssigkeiten in den Vorratsbehältern auszuüben. Bei den in den Fig. 1a und 1b gezeigten Vorrichtungen zur Erhöhung des Druckes handelt es sich um die Heizeinrichtungen 8 und 9. Wenn eine solche Heizeinrichtung 8 oder 9 eingeschaltet wird, dann wird das Volumen des Mediums in den Räumen 6 oder 7 vergrößert. Fig. 1a zeigt beispielsweise einen solchen Zustand. Die Heizeinrichtung 9 ist eingeschaltet worden. Dadurch hat sich das Volumen des Mediums im Raum 7 vergrößert, wodurch die Flüssigkeit aus dem Vorratsbehälter 5 in den Kanal 3 gedrückt worden ist. Da die Flüssigkeit in dem Vorratsbehälter 5 einen Brechungsindex besitzen soll, welcher mit dem Brechungsindex des Lichtwellenleiters identisch ist, laufen die Lichtwellen in dem Lichtwellenleiter 1 geradeaus weiter. Das ist die eine Schaltstellung des optischen Umschalters.The reservoirs 4 , 5 are largely filled with a liquid. The spaces 6 and 7 in the storage containers 4 and 5 which are not filled with liquid should be filled with air. In the storage containers 4 and 5 there should also be a device which is able to exert pressure on the liquids in the storage containers. The devices for increasing the pressure shown in FIGS. 1a and 1b are the heating devices 8 and 9 . When such a heating device 8 or 9 is switched on, the volume of the medium in rooms 6 or 7 is increased. Fig. 1a, for example, shows such a state. The heater 9 has been turned on. As a result, the volume of the medium in the space 7 has increased, as a result of which the liquid has been pressed out of the reservoir 5 into the channel 3 . Since the liquid in the storage container 5 should have a refractive index which is identical to the refractive index of the optical waveguide, the light waves in the optical waveguide 1 continue straight ahead. This is the one switch position of the optical switch.

Fig. 1b verdeutlicht die andere Schaltstellung des optischen Umschalters. Bei diesem Schaltzustand hat sich, nachdem die Heizeinrichtung 8 eingeschaltet worden ist, das Volumen des Mediums im Raum 6 vergrößert, wodurch die Flüssigkeit aus dem Vorratsbehälter 4 in den Kanal 3 gedrückt worden ist. Da die Flüssigkeit im Vorratsbehälter 4 einen Brechungsindex besitzen soll, welcher kleiner als der Brechungsindex des Lichtwellenleiters ist, werden die Lichtwellen aus dem Lichtwellenleiter 1 in den Lichtwellenleiter 2 umgelenkt. Das ist die andere Schaltstellung des optischen Umschalters. Fig. 1b illustrates the other switching position of the optical switch. In this switching state, after the heating device 8 has been switched on, the volume of the medium in the space 6 has increased, as a result of which the liquid has been pressed into the channel 3 from the storage container 4 . Since the liquid in the storage container 4 should have a refractive index which is smaller than the refractive index of the optical waveguide, the light waves are deflected from the optical waveguide 1 into the optical waveguide 2 . This is the other switching position of the optical switch.

Fig. 2 verdeutlicht den konstruktiven Aufbau eines optischen Umschalters gemäß den Fig. 1a und 1b. Er besteht aus einem Substrat 10, beispielsweise aus Silizium, in welchem entsprechende Gräben beispielsweise durch reaktives Ionenätzen hergestellt worden sind. Das Substrat 10 ist mit einem Deckel 11 verschlossen, welcher beispielsweise durch anodisches Bonden mit dem Substrat 10 verbunden ist. Auf diese Weise entstehen die Vorratsbehälter 4 und 5 sowie der Kanal 3. Bei den Heizeinrichtungen 8 und 9 kann es sich um Dünnschichtwiderstände aus TaN, NiCr oder einem anderen Werkstoff handeln, welche mit niederohmigen Anschlüssen versehen sind. Fig. 2 illustrates the construction of an optical switch according to FIGS. 1a and 1b. It consists of a substrate 10 , for example of silicon, in which corresponding trenches have been produced, for example, by reactive ion etching. The substrate 10 is closed with a lid 11 , which is connected to the substrate 10 , for example, by anodic bonding. In this way, the storage containers 4 and 5 and the channel 3 are created . The heating devices 8 and 9 can be thin-film resistors made of TaN, NiCr or another material, which are provided with low-resistance connections.

Fig. 3 zeigt einen gegenüber dem in Fig. 2 gezeigten Ausführungsbeispiel veränderten konstruktiven Aufbau des optischen Umschalters. Dieses Ausführungsbeispiel enthält ebenfalls ein Substrat 10 und einen Deckel 11. In dem Substrat 10 sind die Vorratsbehälter 4 und 5 angeordnet. Der Vorratsbehälter 4 setzt sich durch eine Öffnung 12 in einen Teil- Vorratsbehälter 13 fort, dessen obere Öffnung von einer Membran 14 verschlossen ist. Auf der Membran 14 ist ein Piezoelement 15 in der Weise angeordnet, daß es eine Kontraktion oder Expansion der Membrane herbeiführen kann. Durch eine Betätigung des Piezoelementes 15 kann das Volumen des Teilvorratsbehälters 13 und damit auch des Vorratsbehälters 4 verringert werden, wodurch die Flüssigkeit aus dem Vorratsbehälter 4 in den Kanal 3 gedrückt wird. Im Deckel 11 ist im Bereich des Vorratsbehälters 5 eine Entlüftungsöffnung 16 vorgesehen, welche den Aufbau eines Gegendrucks im Vorratsbehälter 5 verhindert. Bei dem in Fig. 3 gezeigten Ausführungsbeispiel ist der Vorratsbehälter 5 mit Luft gefüllt. FIG. 3 shows a structural design of the optical switch that is different from the exemplary embodiment shown in FIG. 2. This exemplary embodiment also contains a substrate 10 and a lid 11 . The storage containers 4 and 5 are arranged in the substrate 10 . The storage container 4 continues through an opening 12 into a partial storage container 13 , the upper opening of which is closed by a membrane 14 . A piezo element 15 is arranged on the membrane 14 in such a way that it can bring about a contraction or expansion of the membrane. By actuating the piezo element 15 , the volume of the partial storage container 13 and thus also the storage container 4 can be reduced, as a result of which the liquid is pressed out of the storage container 4 into the channel 3 . A vent opening 16 is provided in the lid 11 in the area of the storage container 5 , which prevents the build-up of a counterpressure in the storage container 5 . In the embodiment shown in Fig. 3, the reservoir 5 is filled with air.

Das in Fig. 4 gezeigte Ausführungsbeispiel des optischen Umschalters unterscheidet sich von der Ausführungsform in Fig. 3 dadurch, daß über dem Vorratsbehälter 5 im Deckel 11 ebenfalls ein Teilvorratsbehälter 18 vorhanden ist, welcher über die Öffnung 17 mit dem Vorratsbehälter 5 in Verbindung steht. Bei dem in Fig. 4 gezeigten Ausführungsbeispiel ist in dem Vorratsbehälter 5 eine Flüssigkeit vorhanden.The embodiment of the optical switch shown in FIG. 4 differs from the embodiment in FIG. 3 in that above the storage container 5 in the cover 11 there is also a partial storage container 18 which is connected to the storage container 5 via the opening 17 . In the exemplary embodiment shown in FIG. 4, a liquid is present in the storage container 5 .

Das in Fig. 5 gezeigte Ausführungsbeispiel entspricht im wesentlichen dem Ausführungsbeispiel gemäß Fig. 3. Der Unterschied zwischen beiden Ausführungsbeispielen besteht darin, daß der optische Umschalter in Fig. 5 keine Entlüftungsöffnung und eine Membran 14 mit einem magnetostriktiven Antrieb 20 besitzt. Der Druck wird bei diesem Ausführungsbeispiel von der Membran 14 unmittelbar auf die Flüssigkeit ausgeübt. Das abgeschlossene Gasvolumen im Vorratsbehälter 5 erzeugt eine rückstellende Gegenkraft.The embodiment shown in FIG. 5 essentially corresponds to the embodiment according to FIG. 3. The difference between the two embodiments is that the optical switch in FIG. 5 has no vent opening and a membrane 14 with a magnetostrictive drive 20 . In this embodiment, the pressure is exerted directly on the liquid by the membrane 14 . The closed gas volume in the reservoir 5 generates a restoring counterforce.

Bei dem in den Fig. 1a und 1b gezeigten Ausführungsbeispiel sollen die Heizeinrichtungen beispielsweise Dünnschichtwiderstände sein. Statt dessen kann zur Wärmeerzeugung aber auch eine Strahlungsquelle, beispielsweise ein auf das Gasvolumen gerichteter Laserstrahl verwendet werden. Die den Vorratsbehälter verschließenden membranartigen Deckel können auch aus einem Werkstoff mit Formgedächtnis bestehen, bei dem eine Formänderung durch eine Heizeinrichtung bewirkt werden kann.In the exemplary embodiment shown in FIGS. 1a and 1b, the heating devices should be thin-film resistors, for example. Instead, a radiation source, for example a laser beam directed at the gas volume, can also be used to generate heat. The membrane-like covers closing the storage container can also consist of a material with shape memory, in which a shape change can be brought about by a heating device.

Claims (11)

1. Optischer Umschalter, bei dem ein Lichtwellenleiterausgang wahlweise auf einen von zwei Lichtwellenleitereingängen umschaltbar ist, welcher aus einem Substrat besteht, auf dem in einer Matrix Lichtwellenleiter angeordnet sind und an den Kreuzungsstellen der Lichtwellenleiter diagonale Kanäle vorgesehen sind, welche mit einer Vorrichtung gekoppelt sind, aus welcher der Kanal mit einer Flüssigkeit gefüllt werden kann, gekennzeichnet durch folgende Merkmale:
  • a) jedes Ende eines Kanals (3) ist mit einem Vorratsbehälter (4, 5) verbunden,
  • b) ein Vorratsbehälter (5) enthält ein Medium, welches den Brechungsindex des Lichtwellenleiterkerns besitzt,
  • c) der andere Vorratsbehälter (4) enthält ein Medium mit einem Brechungsindex, welcher kleiner als der Brechungsindex des Lichtwellenleiterkerns ist,
  • d) in jedem Vorratsbehälter (4,5) ist eine Vorrichtung enthalten, welche geeignet ist, einen Druck auf das in ihr enthaltene Medium auszuüben.
1. Optical switch, in which an optical waveguide output can optionally be switched to one of two optical waveguide inputs, which consists of a substrate, on which optical waveguides are arranged in a matrix and diagonal channels are provided at the crossing points of the optical waveguides and are coupled to a device, from which the channel can be filled with a liquid, characterized by the following features:
  • a) each end of a channel ( 3 ) is connected to a storage container ( 4 , 5 ),
  • b) a storage container ( 5 ) contains a medium which has the refractive index of the optical waveguide core,
  • c) the other storage container ( 4 ) contains a medium with a refractive index which is smaller than the refractive index of the optical fiber core,
  • d) a device is contained in each storage container ( 4, 5 ) which is suitable for exerting pressure on the medium contained therein.
2. Optischer Schalter nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß es sich bei den Medien um nicht miteinander mischbare Flüssigkeiten handelt.2. Optical switch according to claim 1, characterized in that it is the Media is immiscible liquids. 3. Optischer Schalter nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß ein Medium ein Flüssigkeit und das andere Medium ein Gas ist.3. Optical switch according to claim 1, characterized in that one medium is a liquid and the other medium is a gas. 4. Optischer Schalter nach den Ansprüchen 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß die Vorrichtung aus einem im Vorratsbehälter (4, 5) vorhandenen Gasvolumen besteht, in welchem ein Heizelement (8, 9) vorhanden ist.4. Optical switch according to claims 1 to 3, characterized in that the device consists of a gas volume in the storage container ( 4 , 5 ), in which a heating element ( 8 , 9 ) is present. 5. Optischer Schalter nach den Ansprüchen 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß die Vorrichtung aus einem den Vorratsbehälter (4) verschließenden membranartigen Deckel (14) besteht, welcher mit einem von einem Piezoelement (15) betätigbaren Antrieb versehen ist.5. Optical switch according to claims 1 to 3, characterized in that the device consists of a storage container ( 4 ) closing membrane-like cover ( 14 ) which is provided with a drive which can be actuated by a piezo element ( 15 ). 6. Optischer Schalter nach den Ansprüchen 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß die Vorrichtung aus einem den Vorratsbehälter (4) verschließenden membranartigen Deckel (14) besteht, welcher mit einem durch Magnetostriktion betätigbaren Antrieb (20) versehen ist.6. Optical switch according to claims 1 to 3, characterized in that the device consists of a storage container ( 4 ) closing membrane-like cover ( 14 ) which is provided with a magnetostrictive drive ( 20 ). 7. Optischer Schalter nach den Ansprüchen 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß beide Vorratsbehälter (4, 5) mit einem membranartigen Deckel (14, 19) versehen sind, welche mit einem von einem Piezoelement (15) betätigbaren Antrieb versehen sind.7. Optical switch according to claims 1 to 3, characterized in that both storage containers ( 4 , 5 ) are provided with a membrane-like cover ( 14 , 19 ) which are provided with a drive which can be actuated by a piezo element ( 15 ). 8. Optischer Schalter nach den Ansprüchen 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß beide Vorratsbehälter (4, 5) mit einem membranartigen Deckel versehen sind, welche mit einem durch Magnetostriktion betätigbaren Antrieb versehen sind. 8. Optical switch according to claims 1 to 3, characterized in that both storage containers ( 4 , 5 ) are provided with a membrane-like cover, which are provided with a drive actuated by magnetostriction. 9. Optischer Schalter nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß zur Wärmeerzeugung eine Strahlungsquelle vorgesehen ist.9. Optical switch according to claim 4, characterized in that that a radiation source is provided for heat generation. 10. Optischer Schalter nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, daß die Strahlungsquelle aus einem auf das Gasvolumen gerichteten Laserstrahl besteht.10. Optical switch according to claim 9, characterized in that the radiation source is directed towards the gas volume There is a laser beam. 11. Optischer Schalter nach den Ansprüchen 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß die Vorrichtung aus einem den Vorratsbehälter verschließenden membranartigen Deckel aus einem Werkstoff mit Formgedächtnis besteht, an welchem ein Heizelement angeordnet ist.11. Optical switch according to claims 1 to 3, characterized characterized in that the device from a the reservoir sealing membrane-like cover made of one material Shape memory exists, on which a heating element is arranged.
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Cited By (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE19711564A1 (en) * 1997-03-20 1998-10-01 Inst Mikrotechnik Mainz Gmbh Optical switching element
DE19711559A1 (en) * 1997-03-20 1998-10-01 Inst Mikrotechnik Mainz Gmbh Optical multiple switch
WO1999046624A1 (en) * 1998-03-09 1999-09-16 Bartels Mikrotechnik Gmbh Optical switch and modular switch system consisting of optical switching elements
EP1067421A2 (en) * 1999-07-07 2001-01-10 Agilent Technologies Inc., A Delaware Corporation An optical switching device and method utilizing fluid pressure control to improve switching characteristics
EP1111419A1 (en) * 1999-12-22 2001-06-27 Agilent Technologies Inc An improved total internal reflection optical switch
FR2817974A1 (en) * 2000-12-12 2002-06-14 Commissariat Energie Atomique OPTICAL MICRO-ACTUATOR, OPTICAL COMPONENT USING THE MICRO-ACTUATOR, AND METHOD FOR PRODUCING AN OPTICAL MICRO-ACTUATOR
US6487333B2 (en) 1999-12-22 2002-11-26 Agilent Technologies, Inc. Total internal reflection optical switch
DE10129923C1 (en) * 2001-06-21 2003-02-27 Inst Mikrotechnik Mainz Gmbh Optical switching device
EP1306704A1 (en) * 2001-10-24 2003-05-02 Agilent Technologies, Inc. Piezoelectrically driven, liquid-actuated optical cross-bar switch
EP1376190A1 (en) * 2001-04-06 2004-01-02 Ngk Insulators, Ltd. Optical switch
EP1477839A2 (en) * 1998-03-09 2004-11-17 Bartels Mikrotechnik GmbH Switchable Fresnel lens

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7427745B2 (en) * 2005-10-21 2008-09-23 Nokia Corporation Optical shutter for miniature cameras

Family Cites Families (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4245886A (en) * 1979-09-10 1981-01-20 International Business Machines Corporation Fiber optics light switch
DE3138968A1 (en) * 1981-09-30 1983-04-14 Siemens AG, 1000 Berlin und 8000 München OPTICAL CONTROL DEVICE FOR CONTROLLING THE RADIATION GUIDED IN AN OPTICAL WAVE GUIDE, IN PARTICULAR OPTICAL SWITCHES

Cited By (21)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE19711559A1 (en) * 1997-03-20 1998-10-01 Inst Mikrotechnik Mainz Gmbh Optical multiple switch
DE19711564C2 (en) * 1997-03-20 1999-07-08 Inst Mikrotechnik Mainz Gmbh Optical switching element and switching arrangement
DE19711559C2 (en) * 1997-03-20 2000-11-02 Inst Mikrotechnik Mainz Gmbh Optical multiple switch
DE19711564A1 (en) * 1997-03-20 1998-10-01 Inst Mikrotechnik Mainz Gmbh Optical switching element
EP1477839A2 (en) * 1998-03-09 2004-11-17 Bartels Mikrotechnik GmbH Switchable Fresnel lens
WO1999046624A1 (en) * 1998-03-09 1999-09-16 Bartels Mikrotechnik Gmbh Optical switch and modular switch system consisting of optical switching elements
EP1477839A3 (en) * 1998-03-09 2004-12-01 Bartels Mikrotechnik GmbH Switchable Fresnel lens
DE19910375C2 (en) * 1998-03-09 2001-10-04 Bartels Mikrotechnik Gmbh Optical switch and modular switching system made of optical switching elements
EP1067421A3 (en) * 1999-07-07 2002-04-17 Agilent Technologies, Inc. (a Delaware corporation) An optical switching device and method utilizing fluid pressure control to improve switching characteristics
EP1067421A2 (en) * 1999-07-07 2001-01-10 Agilent Technologies Inc., A Delaware Corporation An optical switching device and method utilizing fluid pressure control to improve switching characteristics
US6320994B1 (en) 1999-12-22 2001-11-20 Agilent Technolgies, Inc. Total internal reflection optical switch
EP1111419A1 (en) * 1999-12-22 2001-06-27 Agilent Technologies Inc An improved total internal reflection optical switch
US6487333B2 (en) 1999-12-22 2002-11-26 Agilent Technologies, Inc. Total internal reflection optical switch
FR2817974A1 (en) * 2000-12-12 2002-06-14 Commissariat Energie Atomique OPTICAL MICRO-ACTUATOR, OPTICAL COMPONENT USING THE MICRO-ACTUATOR, AND METHOD FOR PRODUCING AN OPTICAL MICRO-ACTUATOR
WO2002048777A3 (en) * 2000-12-12 2003-08-14 Commissariat Energie Atomique Optical micro-actuator, optical component using same, and method for making an optical micro-actuator
WO2002048777A2 (en) * 2000-12-12 2002-06-20 Commissariat A L'energie Atomique Optical micro-actuator, optical component using same, and method for making an optical micro-actuator
EP1376190A1 (en) * 2001-04-06 2004-01-02 Ngk Insulators, Ltd. Optical switch
EP1376190A4 (en) * 2001-04-06 2007-03-14 Ngk Insulators Ltd Optical switch
DE10129923C1 (en) * 2001-06-21 2003-02-27 Inst Mikrotechnik Mainz Gmbh Optical switching device
EP1306704A1 (en) * 2001-10-24 2003-05-02 Agilent Technologies, Inc. Piezoelectrically driven, liquid-actuated optical cross-bar switch
US6757459B2 (en) 2001-10-24 2004-06-29 Agilent Technologies, Inc. Piezoelectrically driven, liquid-actuated optical cross-bar switch

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AU6054596A (en) 1997-01-30
AU711623B2 (en) 1999-10-21

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