DE19518563A1 - Method for operating a spectrometer with inductively coupled plasma e.g. for analytical atomic spectrometry - Google Patents

Abstract

The method is for application when the spectrometer has a frequency-stabilised or free-running generator to provide the energy to excite the specimen. A change in the generator impedance caused by a change in the substance of the specimen and/or its constituents initiates the start and end of measurements. With a free-running generator, a specimen feed system, a dispersing optical system or mass spectrometer, electronic detector and control computer a signal can be derived when the generator frequency deviates from a set value and is used to start and/or end measurement. If the generator is frequency stabilised and the system includes a matchbox a signal from a power detector is used for the same purpose.

Description

Die Erfindung betrifft die Analytik einer oder mehrerer Proben, die in ein induktiv gekoppeltes Plasma (ICP) injiziert werden.The invention relates to the analysis of one or more samples, which are injected into an inductively coupled plasma (ICP).

Hierbei wird bei der Analyse mehrerer Proben der Probenschlauch nacheinander von einem Probengefäß in ein anderes getaucht. Das geschieht sowohl manuell als auch mit automatischem Probenehmer.Here the sample tube is used when analyzing several samples immersed in succession from one sample vessel to another. The happens both manually and automatically Sampler.

Wird der Probenschlauch von einem Gefäß G1 in ein anderes G2 überführt, dann wird während dieser Zeit Luft in den Schlauch gesaugt. Die Probe des Gefäßes G2 kann erst analysiert werden, wenn die angesaugte Luft durch den Probenschlauch, den Zerstäuber, die Zerstäuberkammer und das Plasma hindurch ist und sich danach ein ausgeglichener Zustand eingestellt hat. Die Zeitdauer vom Ansaugen der Luft bis zum Einstellen dieses Zustandes hängt von mehreren Parametern ab, die vom Anwender schwer festzustellen sind.If the sample tube is transferred from a G1 container to another G2 transferred, then air is in the hose during this time sucked. The sample from vessel G2 can only be analyzed when the air drawn in through the sample tube, the Atomizer, the atomizer chamber and the plasma is through and then a balanced state has arisen. The time from sucking in air to adjusting it State depends on several parameters by the user are difficult to ascertain.

Diese Parameter sind u. a. Probenansaugrate, Pumprate, Schlauchlänge, Schlauchdurchmesser und Volumen der Zerstäuberkammer.These parameters are a. Sample suction rate, pumping rate, Hose length, hose diameter and volume of Atomizer chamber.

Bei frei ansaugenden Zerstäubern kommen noch die probenabhängigen Parameter wie Temperatur, Viskosität und Oberflächenspannung hinzu. Damit ist es für den Anwender schwer, den genauen Zeitpunkt, wann der ausgeglichenen Zustand erreicht ist, festzustellen. Er kann nur durch Probie­ ren oder durch Beobachten der Luftblase abgeschätzt werden. Bei vielen ICP-Spektrometern ist aber die Luftblase im Probenansaugschlauch nicht sichtbar. Es resultieren Meßfehler mit gravierenden Folgen.With free aspirating atomizers there are still the sample dependent parameters like temperature, viscosity and Surface tension added. So it is for the user difficult to determine the exact time when the balanced state is reached. He can only through Probie or estimated by observing the air bubble. At many ICP spectrometers, however, the air bubble is in the Sample suction hose not visible. Measurement errors result with serious consequences.

Tritt die oben beschriebene Luftblase in das Plasma ein, dann führt das zu einer Änderung der Impedanz (Scheinwiderstand) des Plasmas, das von einer Energiequelle gespeist wird.If the air bubble described above enters the plasma, then this leads to a change in the impedance (impedance) of the Plasmas, which is fed by an energy source.

Für die Energieerzeugung des induktiv gekoppelten Plasmas gibt es zwei Methoden; quarzgesteuerte Sender mit einer festen Frequenz (frequenzstabilisiert), und freischwingende Sender, die sich der Resonanzfrequenz eines komplexen Lastwiderstandes anpassen (leistungsstabilisiert). For the energy generation of the inductively coupled plasma there there are two methods; quartz-controlled transmitter with a fixed Frequency (frequency stabilized), and free-floating transmitters, which is the resonance frequency of a complex load resistor adjust (performance stabilized).  

Bei freischwingenden ICP-Generatoren (Boumans, de Boer, de Ruiter, Phillips techn. Rdsch. §§, 51-61, 1973/74, Nr. 2 US 4629887, Sp. 5, Z. 27 ff)) bewirkt die Impedanzänderung einen Frequenzsprung von der Dauer dieser Impedanzänderung.With free-swinging ICP generators (Boumans, de Boer, de Ruiter, Phillips Tech. Rdsch. §§, 51-61, 1973/74, No. 2 US 4629887, 5, lines 27 ff)) causes the change in impedance Frequency jump from the duration of this impedance change.

Bei frequenzstabilisierten ICP-Systemen erfolgt eine Impedanzanpassung des Plasmas an den Ausgangswiderstand des Generators mittels eines LC-Netzwerkes, "Matchbox" genannt (Montaser, Golightly, "Inductively Coupled Plasmas in Analytical Atomic Spectrometry", S. 203-211) bei dem motorisch die Kapazitäten von zwei Kondensatoren verstellt werden. Über einen Regelkreis werden die Kapazitäten der Kondensatoren der jeweiligen Impedanz des Plasmas angepaßt (US 4629940, insbes. Sp. 1, Z. 32 ff).With frequency-stabilized ICP systems there is a Impedance matching of the plasma to the output resistance of the Generator using an LC network, called "Matchbox" (Montaser, Golightly, "Inductively Coupled Plasmas in Analytical Atomic Spectrometry ", pp. 203-211) in the motor the capacities of two capacitors can be adjusted. about The capacitors of the capacitors of the adapted to the respective impedance of the plasma (US 4629940, esp. 1, lines 32 ff).

Der Erfindung liegt nunmehr die Aufgabe zugrunde, eine Verbesserung der Richtigkeit, Reproduzierbarkeit und Zuverlässigkeit der Analysen zu erreichen.The invention is based on the object an improvement in accuracy, reproducibility and To achieve reliability of the analyzes.

Die Aufgabe wird erfindungsgemäß durch ein Verfahren gemäß Anspruch und eine Anordnung gemäß Anspruch gelöst. Bevorzugte Weiterbildungen sind Gegenstand der abhängigen Ansprüche.The object is achieved according to the invention by a method Claim and an arrangement according to claim solved. Preferred developments are the subject of the dependent Expectations.

Die Erfindung bewirkt eine Verbesserung der Reproduzierbarkeit der Analysen bei Wiederholmessungen sowie eine Erhöhung der Zuverlässigkeit der Meßwerte, weil der Analytiker sicher ist, daß die Probe und nur die Probe im Plasma angeregt wurde, und eine Verbesserung der Richtigkeit der Analysen, weil Rückstände der vorhergehenden Probe ausgeschlossen werden sowie eine Erhöhung der Analysengeschwindigkeit, weil sich mehrere Proben im Probenschlauch befinden können, die dennoch exakt voneinander unterschieden werden.The invention improves the reproducibility of analyzes for repeat measurements and an increase in Reliability of the measured values because the analyst is certain that the sample and only the sample was excited in the plasma, and an improvement in the accuracy of the analyzes because Residues from the previous sample can be excluded as well as an increase in the analysis speed because there may be several samples in the sample tube, which nevertheless be distinguished from each other exactly.

Wird bei einem freischwingendem System die Frequenz gemessen und der Zeitpunkt des Frequenzsprungs bestimmt, dann stellt das die Ausgangsbasis für einen genau definierten Meßstart dar. Is the frequency measured in a free-swinging system and determines the time of the frequency hopping, then that represents is the starting point for a precisely defined start of measurement.  

In einem frequenzstabilisierten System mit einem Matchbox- Netzwerk befindet sich in dem Regelkreis zur Anpassung der Kondensatoren an die jeweilige Impedanz des Plasmas ein Detektor, z. B. ein Richtkoppler, der Informationen über den in die Matchbox fließenden Strom, die Spannung und die Phase liefert. Diese drei Werte werden in elektrische Signale für die Kondensatoren umgesetzt.In a frequency-stabilized system with a matchbox Network is in the control loop for adjusting the Capacitors to the respective impedance of the plasma Detector, e.g. B. a directional coupler, the information on the in the matchbox flowing current, voltage and phase delivers. These three values are converted into electrical signals for the Capacitors implemented.

Tritt die o. g. Luftblase nach dem Probenwechsel in das Plasma ein, dann entstehen am Detektor für die Dauer der Impedanzänderung elektrische Meßsignale aus denen die Ströme für die Bewegung der Motoren an den Kondensatoren gewonnen werden.If the above Air bubble after the sample change in the plasma on, then arise at the detector for the duration of the Impedance change electrical measurement signals from which the currents won for the movement of the motors on the capacitors will.

Wird entweder eines der Signale des Detektors oder ein anderes daraus gewonnenes Signal einschließlich des Stromes für die Motoren dem Gerätesteuerrechner zugeführt, dann hat dieser eine exakte Information darüber, wann die nächste Probe einer Probenreihe das Plasma erreicht hat.Either one of the signals from the detector or another signal obtained therefrom including the current for the motors fed to the device control computer, then this has exact information about when the next sample of a Row of samples has reached the plasma.

Nach einem festen Zeitintervall (Probendelay) das notwendig ist, um im gesamten Zerstäuber-Brenner-System ein Gleichgewicht einzustellen, kann die Messung beginnen Das vorgeschlagene Verfahren ermöglicht es auch, Analysen in dem Fall durchzuführen, wenn die Delayzeit + Analysenzeit kleiner ist als die Durchlaufzeit der Probe durch den Probenschlauch,was besonders bei Verwendung eines automatischen Probenehmers auf Grund der dabei oft längeren Schläuche der Fall sein kann. In diesem Fall befinden sich im Probenschlauch mehrere durch eine Luftblase getrennte Proben hintereinander. Das jeweilige Startsignal für die Messungen wird von den Luftblasen über den o. g. Effekt veranlaßt.After a fixed time interval (sample delay) this is necessary is one in the entire atomizer burner system Setting the balance, the measurement can begin The proposed method also allows analysis in to perform the case when the delay time + analysis time is less than the throughput time of the sample through the Sample tube, which is particularly important when using an automatic Sampler due to the often longer hoses Case can be. In this case there are in the sample tube several samples separated by an air bubble. The respective start signal for the measurements is from the air bubbles over the above Effect caused.

Das Verfahren ist dann besonders erfolgreich, wenn die Probenzuführung mit einer Pumpe erfolgt oder zwischen den Proben eine große Luftblase angewendet wird.The procedure is particularly successful if the Sample is supplied with a pump or between the Samples of a large air bubble is applied.

Wird mit freiansaugendem Zerstäuber großer Ansaugrate und relativ kleiner Luftblase gearbeitet, dann reduziert sich der o. g. Effekt, da im ersten Moment nach der Luftblase sofort sehr viel Probenaerosol zur Verfügung steht, das die Impedanz gerade in die andere Richtung verändert. Comes with a high suction rate and free aspirating atomizer worked relatively small air bubble, then the o. g. Effect since immediately after the air bubble a great deal of sample aerosol is available that impedance just changed in the other direction.  

Abhilfe bringt hierbei eine größere Luftblase. Es ist dann vorteilhaft, die Zeit zum Wechsel des Probenschlauchs von einem Gefäß in ein anderes entweder über den Probenehmer selbst oder über den Bedienrechner des ICP-Spektrometers variieren zu können.This is remedied by a larger air bubble. It is then advantageous, the time to change the sample tube from one Vessel into another either via the sampler itself or via the operating computer of the ICP spectrometer to be able to vary.

Wird mit organischen Lösungsmitteln gearbeitet, dann besteht das dem Plasma zugeführte Aerosol im allgemeinen aus zwei Komponenten. Die eine Komponente ist die versprühte Probe selbst und die andere ist das von der Innenwand der Zerstäuberkammer abdampfende Lösungsmittel. Wenn bei organischen Lösungsmitteln eine Luftblase angesaugt und dem Plasma zugeführt wird, dann enthält diese Luft durch das Abdampfen auch einen hohen Lösungsmittelanteil, so daß die Impedanzänderung mitunter sehr klein ist. Wird bei dem Wechsel des Probenansaugschlauchs von einem Probengefäß zum anderen kurzeitig eine Probe angesaugt, die eine im Verhältnis zu dem organischen Lösungsmittel geringere oder stärkere Wirkung auf das Plasma ausübt, dann kann am Detektor ein deutlich über den normalen Fluktuationen liegendes Signal abgenommen werden bzw. dieses Signal ist groß genug, um eine Verstellung der Kondensatoren der Matchbox durchzuführen und damit ein ausreichend großes Signal für den Steuerrechner des ICP-Spektrometers zu liefern, der seinerseits den Start für eine Messung freigibt. Eine solche Substanz kann z. B. Wasser sein, das zwischen Analysenproben, die z. B. in Chloroform gelöst sind, nur kurzzeitig angesaugt aber nicht analysiert wird.If you work with organic solvents, then there is the aerosol supplied to the plasma generally consists of two Components. One component is the sprayed sample itself and the other one is from the inside wall of the Vaporizing solvent evaporating chamber. If at organic solvents sucked an air bubble and the Plasma is supplied then this air also contains a high amount due to the evaporation Solvent content, so that the change in impedance sometimes very is small. Will when changing the sample suction tube a sample for a short time from one sample vessel to another sucked, the one in relation to the organic Solvent less or stronger effect on the plasma exercises, then the detector can be significantly above normal Fluctuations lying signal are taken or this Signal is large enough to adjust the capacitors the matchbox and therefore a sufficiently large one Signal for the control computer of the ICP spectrometer too deliver, which in turn clears the start for a measurement. Such a substance can e.g. B. be water between Analytical samples, e.g. B. are dissolved in chloroform, only sucked in briefly but not analyzed.

Ebenso kann bei der Analyse stark salzhaltiger Proben, die in Wasser gelöst sind, sowohl eine Luftblase als auch das reine Wasser angesaugt werden, um das Signal am Leistungsdetektor zu erzeugen.Likewise, when analyzing samples with a high salt content, which are in Water are dissolved, both an air bubble and the pure Water is sucked in to the signal at the power detector produce.

In der Tabelle sind Beispiele für wäßrige, organisch gelöste und stark salzhaltige Proben zusammengestellt.The table shows examples of aqueous, organically dissolved and samples with a high salt content.

Da die aus der Matchbox gewonnenen Signale immer einen bestimmten Rauschpegel besitzen und der Meßstart nicht von diesem Rauschen beeinflußt werden darf, ist zwischen Matchbox und Steuerrechner ein Schwellwertschalter mit einstellbarem oder festen Schwellwert vorzusehen. Since the signals obtained from the matchbox are always one have a certain noise level and the measurement start must not be influenced by this noise, is between Matchbox and Control computer a threshold switch with adjustable or to provide a fixed threshold.  

Die Erfindung wird nachstehend anhand einer in Fig. 1 und Fig. 2 dargestellten Schaltungsanordnung mit frequenzstabilisiertem Generator näher erläutert.The invention is explained hereinafter with reference to an embodiment shown in Fig. 1 and Fig. 2 circuitry with frequenzstabilisiertem generator.

Dieses Beispiel verwendet einen frequenzstabilisierten Generator 10 mit einer Matchbox 1 mit einem C-Netzwerk 11 nach dem Prinzip, wie es bei Montaser, Golightly (s. o.) dargestellt ist.This example uses a frequency-stabilized generator 10 with a matchbox 1 with a C network 11 according to the principle as shown by Montaser, Golightly (see above).

Die eingestellten Kapazitäten der Vakuumkondensatoren 2 und 3 entsprechen Spannungswerten, die gemäß Fig. 1 an Potentiometern 4 und 5 abgenommen werden.The set capacitances of the vacuum capacitors 2 and 3 correspond to voltage values which are taken from potentiometers 4 and 5 according to FIG. 1.

Diese werden zusammen mit den Kondensatoren 2 und 3 von Stellmotoren 6 und 7 angetrieben und die Spannungen werden von Digitalvoltmetern 8 und 9 gemessen.These are driven together with the capacitors 2 and 3 by servomotors 6 and 7 and the voltages are measured by digital voltmeters 8 and 9 .

Zwischen dem Hochfrequenzgenerator 10 und dem C-Netzwerk 11 ist in der Matchbox 1 ein Richtkoppler 12 als Detektor zwischengeschaltet, der Informationen über Strom, Spannung und die Phasenlage gibt und mit den Meßwerten von Strom und Spannung über einen Regler 13 den Kondensator 2 mit der Phasenlage über den Regler 13 den Kondensator 3 steuert und damit immer eine optimale Anpassung der Last 14 (In­ duktorspule einschließlich Plasmabrenner und Plasma) an den Ausgangswiderstand des Generators 10 gewährleistet. Wird die Hochfrequenzleistung des Generators 7 verändert oder wird eine andere Analysensubstanz in das Plasma gegeben oder werden die hier nicht dargestellten Gasströme des Plasmabrenners variiert, dann ändert der variable Teil der Last 14, das Plasma, seine Impedanz.Between the high-frequency generator 10 and the C network 11 , a directional coupler 12 is interposed as a detector in the matchbox 1 , which gives information about current, voltage and the phase position and, with the measured values of current and voltage via a regulator 13, the capacitor 2 with the phase position Controls the capacitor 3 via the controller 13 and thus always ensures an optimal adaptation of the load 14 (in the inductor coil including plasma torch and plasma) to the output resistance of the generator 10 . If the high-frequency power of the generator 7 is changed or another analysis substance is added to the plasma or if the gas flows of the plasma torch (not shown here) are varied, the variable part of the load 14 , the plasma, changes its impedance.

Eine Impedanzänderung erfolgt auch, wenn das in das Plasma eingesprühte, im allgemeinen flüssige Probenmaterial durch Luft unterbrochen wird, wie es auftritt, wenn der Ansaugschlauch für die Analysenprobe von einem Probengefäß in ein anderes getaucht wird und dabei üblicherweise durch Luft geführt wird. Die Impedanzänderung stellt zunächst eine Fehlanpassung der Last 14 an den Generator 10 dar. An impedance change also occurs when the generally liquid sample material sprayed into the plasma is interrupted by air, as occurs when the suction tube for the analysis sample is immersed from one sample vessel into another and is usually passed through air. The change in impedance initially represents a mismatch of the load 14 to the generator 10 .

Diese Fehlanpassung wird vom Richtkoppler 12 als Änderung von Strom, Spannung und Phase wahrgenommen, an den Regler 13 weitergeleitet und von letzterem in Signale an die beiden Stellmotoren 6 und 7 umgewandelt. Diese variieren die Kondensatoren 2 und 3 so, daß wieder eine Anpassung der Last 14 an den Generator 10 realisiert ist. Gleichzeitig mit den Kondensatoren werden auch die Potentiometer 4 und 5 verstellt.This mismatch is perceived by the directional coupler 12 as a change in current, voltage and phase, passed on to the controller 13 and converted by the latter into signals to the two servomotors 6 and 7 . These vary the capacitors 2 and 3 so that the load 14 is again adapted to the generator 10 . Potentiometers 4 and 5 are also adjusted simultaneously with the capacitors.

Diese Verstellung wird von den Digitalvoltmetern 8 und 9 registriert und einem Steuerrechner zur Auslösung des Beginns oder Endes eines Meßvorganges zugeführt.This adjustment is registered by the digital voltmeters 8 and 9 and fed to a control computer for triggering the start or end of a measuring process.

Wird anstelle der o. g. Luft dem Plasma wieder eine Analysensubstanz zugeführt, wird eine erneute Fehlanpassung der Last 14 an den Generator 10 in der gleichen Weise wie oben beschrieben kompensiert und die Spannungsänderungen an den Kondensatoren 2 und 3 stellen jetzt das Signal dar, das anzeigt, wann die neue Analysenprobe das Plasma erreicht hat. Dieses Signal wird benutzt, um den Meßvorgang für diese Analysenprobe im ICP-Spektrometer auszulösen. In ähnlicher Weise wie die Kondensatorstellwerte können auch die vom Richtkoppler abgenommenen Werte für Strom, Spannung und Phasenlage herangezogen werden.If, instead of the air mentioned above, an analysis substance is supplied to the plasma again, a mismatch of the load 14 to the generator 10 is compensated in the same way as described above and the voltage changes on the capacitors 2 and 3 now represent the signal which indicates when the new analysis sample has reached the plasma. This signal is used to trigger the measurement process for this analysis sample in the ICP spectrometer. The values for current, voltage and phase position taken from the directional coupler can be used in a similar way to the capacitor setpoints.

Der automatisch ausgelöste Meßstart erfordert lediglich eine mit allgemein bekannten elektronischen Mitteln zu realisierende Kopplung von Richtkoppler oder Digitalvoltmeter mit dem ICP- Spektrometer.The automatically triggered start of measurement only requires one to be realized with generally known electronic means Coupling of directional coupler or digital voltmeter with the ICP Spectrometer.

In Fig. 2 sind in verallgemeinerter Form die zusammenwirkenden Bestandteile der Match-Box 1, das C-Netzwerk 11, der aus den Stellmotoren 6 und 7 bestehende Abgleichantrieb sowie die den Regler 13 enthaltende Abgleichsteuerung sowie eine Auswerteelektronik dargestellt, wobei über eine Signalanpassung und Digitalisierung dem Steuerrechner zur Auslösung und Steuerung des Meßvorganges geeignete Signale der Auswerteelektronik, z. B. der Digitalvoltmetern 8 und 9 oder der Kondensatorstellwerte oder des Richtkopplers oder der Abgleichssteuerung zugeführt werden. In Fig. 2, the interacting components of the match box 1 , the C network 11 , the adjustment drive consisting of the servomotors 6 and 7 as well as the adjustment control containing the controller 13 and evaluation electronics are shown in a generalized form, with a signal adaptation and digitization the control computer for triggering and controlling the measuring process suitable signals of the evaluation electronics, z. B. the digital voltmeters 8 and 9 or the capacitor setpoints or the directional coupler or the adjustment control.

Die in der Tabelle folgenden Beispiele wurden bei Generatorleistung 1200 W und konstanter Probenzuführung mittels Schlauchpumpe von 0,5 ml/min bei Zerstäubung mittels konzentrischem Zerstäuber aufgenommen. Es wurden drei unterschiedliche Probensubstanzen angewendet, der Probenansaugschlauch wurde für wenige Sekunden aus der Probe herausgehoben und danach wieder abgesenkt. Die normale Fluktuation bei konstanter Probenzufuhr beträgt 0,01 V.The following examples in the table were used for Generator power 1200 W and constant sample feed using Peristaltic pump of 0.5 ml / min when atomized using concentric atomizer added. There were three different sample substances applied, the The sample suction tube was removed from the sample for a few seconds lifted out and then lowered again. The normal one Fluctuation with constant sample supply is 0.01 V.

Die Spannungsänderungen am Kondensator 2 liegen mit 0,07 bis 0,10 V deutlich darüber und stellen ein eindeutiges Indiz für Erreichen des Plasmas durch eine neue Analysenprobe dar.The voltage changes at capacitor 2 are significantly higher at 0.07 to 0.10 V and represent a clear indication that the plasma has been reached by a new analysis sample.

In analoger, hier nicht dargestellter Weise wird bei einem frei schwingenden Generator anstelle des Richtkopplers ein bekannter Frequenzzähler benutzt, der bei kurzzeitigen Frequenzänderungen ein Signal an den Gerätesteuerrechner des ICP-Spektrometers abgibt, das den Start oder das Ende des Meßvorganges signalisiert.In an analogous manner, not shown here, a free-swinging generator instead of the directional coupler Known frequency counter used for short-term Frequency changes a signal to the device control computer ICP spectrometer that gives the start or end of the Signaling process signaled.

Claims (10)

1. Verfahren zum Betrieb einer Spektrometeranordnung mit einem induktiv gekoppeltem Plasma (ICP) zur Probenanregung, dessen Energie über einen frequenzstabilisierten oder freischwingenden Generator erzeugt wird, dadurch gekennzeichnet, daß eine von einer Veränderung der Probensubstanz und/oder ihrer Beimengungen beeinflußte Impedanzänderung im Generator das Steuersignal für die Auslösung von Meßbeginn und/oder Meßende ist.1. A method for operating a spectrometer arrangement with an inductively coupled plasma (ICP) for sample excitation, the energy of which is generated via a frequency-stabilized or free-floating generator, characterized in that an impedance change in the generator influenced by a change in the sample substance and / or its admixtures, the control signal for triggering the start and / or end of the measurement. 2. Verfahren nach Anspruch 1, mit einem freischwingenden Generator, einer Probenzuführung, einem dispergierenden optischen System oder Massenspektrometer, einer Nachweiselektronik und einem Gerätesteuerrechner, dadurch gekennzeichnet, daß die Frequenz des Generators gemessen wird und aus der Abweichung der Frequenz von einem vorher konstanten Wert ein Signal gewonnen wird, das dem Gerätesteuerrechner zugeführt wird und dieser das Signal dazu verwendet, den Beginn und/oder das Ende der Messung mittels der Nachweiselektronik festzulegen.2. The method according to claim 1, with a free-swinging Generator, a sample feed, a dispersing optical system or mass spectrometer, one Detection electronics and one Device control computer, characterized in that the frequency of the generator is measured and from the deviation of the Frequency from a previously constant value a signal is obtained , which is fed to the device control computer and this the Signal used to start and / or end the measurement by means of the detection electronics. 3. Verfahren nach Anspruch 1, mit einem frequenzstabilisierten Generator mit Matchbox, Probenzuführung, dispergierenden optischen System oder Massenspektrometer, Nachweiselektronik und einem Gerätesteuerrechner, dadurch gekennzeichnet, daß mindestens ein elektrisches Signal eines elektronischen Leistungsdetektors bzw. ein daraus abgeleitetes Signal dem Gerätesteuerrechner zugeführt wird und aus den Abweichungen von einem vorher konstanten Wert ein Signal gewonnen wird, das zur Festlegung des Beginns der Messung der Nachweiselektronik herangezogen wird. 3. The method according to claim 1, with a frequency-stabilized Generator with matchbox, sample feed, dispersing optical system or mass spectrometer, detection electronics and a device control computer, characterized in that at least one electrical signal from an electronic Power detector or a signal derived therefrom Device control computer is supplied and from the deviations from a signal is obtained from a previously constant value, which for Determination of the start of the measurement of the detection electronics is used.   4. Verfahren nach einem der Ansprüche 1-3, dadurch gekennzeichnet, daß zwischen den Analysenproben ein für die Analyse nicht notwendiges Medium angesaugt wird, das die Eigenschaft hat, die Impedanz des Plasmas in stärkerer oder weniger starker Weise als die Analysenproben zu verändern.4. The method according to any one of claims 1-3, characterized characterized in that between the analysis samples one for the Analysis unnecessary medium is sucked in that the Has the impedance of the plasma in stronger or less than changing the analytical samples. 5. Verfahren nach einem der Ansprüche 1-4, dadurch gekennzeichnet, daß zur kontinuierlichen Probenzuführung eine Förderpumpe verwendet wird.5. The method according to any one of claims 1-4, characterized characterized in that for continuous sample feeding Feed pump is used. 6. Verfahren nach einem der Ansprüche 1-5, dadurch gekennzeichnet, daß der Wechsel des Probenschlauchs von einem Gefäß in ein anderes in einer am Probenehmer oder vom Gerätebedienrechner vorwählbaren Zeit erfolgt.6. The method according to any one of claims 1-5, characterized characterized in that the change of the sample tube from a Vessel into another in one on the sampler or from Device operating computer preselectable time he follows. 7. Spektrometeranordnung mit einem induktiv gekoppeltem Plasma (ICP) zur Probenanregung, dessen Energie über einen frequenzstabilisierten oder frei schwingenden Generator erzeugt wird, enthaltend eine elektrische Verbindung zur Übertragung eines Steuersignals, das eine für die Auslösung von Meßbeginn und/oder Meßende vom Generator zu einem den Meßvorgang steuernden Rechner.7. Spectrometer arrangement with an inductively coupled plasma (ICP) for sample excitation, the energy of which via a frequency-stabilized or freely vibrating generator is containing an electrical connection for transmission a control signal, one for triggering the start of measurement and / or end of measurement from the generator to the measuring process controlling computer. 8. Anordnung nach Anspruch 7, mit einem frei schwingenden Generator, einem dispergierenden optischen System oder Massenspektrometer, einer Nachweiselektronik und einem Gerätesteuerrechner, wobei an den Generator ein Frequenzmesser und an diesen ein Frequenz-Spannungs-/Stromwandler angeschlossen ist und besagter Frequenz-Spannungs-/Strom­ wandler mit dem Gerätesteuerrechner elektrisch verbunden ist. 8. Arrangement according to claim 7, with a freely vibrating Generator, a dispersing optical system or Mass spectrometer, detection electronics and one Device control computer, being a frequency meter to the generator and a frequency-voltage / current converter is connected and said frequency voltage / current converter is electrically connected to the device control computer.   9. Anordnung nach Anspruch 7, mit einem frequenzstabilisierten Generator mit einem Matchbox-Netzwerk, einem dispergierenden optischen System oder Massenspektrometer, einer Nachweiselektronik und einem Gerätesteuerrechner, wobei vom Leistungsdetektor oder nachgeordneten Elementen der Matchbox eine elektrische Verbindung zum Gerätesteuerrechner vorgesehen ist und über diese Verbindung mindestens ein Spannungs- oder Stromsignal als Steuersignal übertragen wird, das eine Information enthält, die sich aus der Plasmaimpedanz herleitet.9. Arrangement according to claim 7, with a frequency-stabilized Generator with a matchbox network, a dispersing one optical system or mass spectrometer, one Detection electronics and a device control computer, whereby from Power detector or subordinate elements of the matchbox an electrical connection to the device control computer is provided and via this connection at least one voltage or Current signal is transmitted as a control signal, the one Contains information derived from the plasma impedance. 10. Anordnung nach einem der Ansprüche 7-9, dadurch gekennzeichnet, daß das elektrische Signal, das die Information über die Impedanzänderung trägt, über einen einstellbaren Schwellwertschalter dem Steuerrechner zugeführt wird.10. Arrangement according to one of claims 7-9, characterized characterized in that the electrical signal carrying the information about the change in impedance, via an adjustable Threshold switch is fed to the control computer.