DE19513345C2 - ECR-Ionenquelle - Google Patents
ECR-IonenquelleInfo
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Description
Die Erfindung betrifft eine Elektronenzyklotronresonanz (ECR)-
Ionenquelle nach dem Oberbegriff des Patentanspruchs 1.
Solche ECR-Ionenquellen werden bisher als Teilchenquellen für
Teilchenbeschleuniger eingesetzt. Eine Vorrichtung der e. g.
Art ist aus D. Hitz et al., KVI-Report 996, der Rijksuniver
siteit Groningen, S. 91 bis 96 bekannt.
Ein Nachteil dieser Quelle besteht darin, daß mehrfache Ioni
sation von Teilchen erst bei höheren Frequenzen und dadurch
bedingten stärkeren Magnetfeldern erreicht wird.
Aus der DE 44 19 970 A1 ist eine ECR-Quelle bekannt
mit zylinderförmiger Cavity, Magneten zur Erzeugung einer
Plasmaeinschlussen und einem Hohlleiter zum Einbringen
von HF-Strahlung, dessen Längsachse senkrecht auf der
jenigen der Cavity steht und der symmetrisch auf der
Mitte der Cavity über einen Einkoppelschlitz aufsitzt.
Auch die DE 38 29 338 C2 und die Veröffentlichung von
M. Matsuoka et al., "Ion extraction from microwave plasma excited
by ordinary and extraordinary waves and applications to the sputtering deposition",
in J. Vac. Sci. Technol. A9 (3), May/Jun. 1991, S. 691-695
zeigen ECR-Quellen mit Einspeisung der HF-Energie
senkrecht zur Längsachse.
Eine mit Laserverdampfung betriebene Ionenquelle,
die HF-Zufuhr zur Beschleunigung der Jonen
enthält, ist von K. Koneda, "A Compavison of the Effects of RF
Plasma Discharge and Ion Beam Supply of Celbic Baren Nitride Films Formed
by Laser Physical Vapor Deposition"
in Jpn. J. Appl. Phys. Vol. 33 (1994) p. 266-269 bekannt.
Demgegenüber stellt sich die Aufgabe, einen größeren Teil
des Periodensystems, nämlich alle soliden Elemente,
möglichst verlustfrei als Ionenstrahl zur Verfügung stellen zu können.
Diese Aufgabe wird durch die kennzeichnenden Merkmale des Pa
tentanspruchs 1 gelöst. Der Unteranspruch beschreibt eine vor
teilhafte Ausgestaltung der Erfindung.
Ein Vorteil der erfindungsgemäßen Ionenquelle besteht in ihrem
durch die niedrigen Magnetfelder bedingten einfachen Aufbau.
Externe Wasserkühlung ist nicht erforderlich. Wegen geringer
Betriebskosten eignet sich die Ionenquelle besonders zum groß
flächigen Beschichten von Oberflächen.
Die Erfindung wird im folgenden anhand dreier Beispiele mit
Hilfe der Figuren näher erläutert.
Dabei zeigt die Fig. 1 eine Ionenquelle mit eingeschränkter
Strahlaustrittsöffnung und die Fig. 2 und 3 Isolatoren mit
unterschiedlichen Strahlformoptiken.
Die Cavity 1 von Fig. 1 ist zylindrisch ausgebildet. Ihre
Länge und ihr Umfang sind jeweils ein ganzzahliges Vielfaches
der verwendeten Wellenlänge der eingespeisten elektomagneti
schen Strahlung. Besonders geeignet ist als gemeinsames Maß
die doppelte Wellenlänge. Innerhalb der Cavity 1 befindet sich
ein Rohr 2 aus elektromagnetisch transparentem Material z. B.
Quarz oder Saphir. Cavity 1 und Rohr 2 werden durch die Flan
sche 4 und 5 abgeschlossen.
Die beiden Flansche 4, 5 bestehen aus Metall, wobei der
Flansch 4 magnetisierbar und der Flansch 5 nicht magnetisier
bar ist. Die Cavity 1 ist mit den Flanschen 4, 5 galvanisch
leitend verbunden, während das Rohr 2 vakuumdicht in den bei
den Flanschen mit zwei nicht dargestellten O-Ringen gelagert
ist. Die Cavity 1 ist in der üblichen Weise mit Multipol-Per
manentmagneten 3 umgeben, wobei jedoch diese Magnete radial
einstellbar sind.
Die beiden Magnetspulen 6 dienen dem magnetischen Einschluß
des Plasmas. Die Spulen 6 sind gegen die übrigen Teile der
ECR-Quelle elektrisch isoliert. Sie können achsial einstellbar
sein. Die Plasmaelektrode 7 am Ende des Plasmaeinschlusses er
möglicht einen definierten Strahlaustritt.
Dem Flansch 5 schließt sich ein mit diesem vakuumdicht verbun
dener Isolator 8 (in den Fig. 2 und 3 dargestellt) an. Der
Flansch 4 enthält die Gaszuführung 10, mindestens ein Fenster
11 für die Einkopplung von Laserleistung und mindestens einen
Targethalter 12 für das Targt 13, welche alle außerhalb des
Zentrums in die Plasmakammer münden. Der Hohlleiter 14 dient
der Einkoppelung der elektromagnetischen Strahlung, wobei des
sen Längsachse senkrecht auf der Längsachse der Cavity 1 steht
und der symmetrisch in der Mitte der Cavity 1 auf dieser über
einem Einkoppelschlitz 15 galvanisch verbunden aufsitzt. Die
Zuführung 16 für Kühlgas mündet in der Cavity 1, so daß sich
ein Kühlgasstrom zwischen Cavity 1 und Rohr 2 entwickeln kann.
Der Kühlgasauslaß befindet sich genau dem Kühlgaseinlaß gegen
über. Kühlgaseinlaß und Einkoppelschlitz 15 liegen nicht un
mittelbar gegenüber.
Fig. 2 zeigt anschließend an den Flansch 5 den Isolator 8.
Dieser enthält einen zentrisch und isoliert gelagerten me
tallischen Hohlzylinder 9 und eine Absaugelektrode 18, die
durch eine Blende oder ein Gitter ersetzt werden kann. Dem
Isolator 8 kann ein Strahlführungsrohr oder eine Prozeßkammer
folgen.
Die Fig. 3 zeigt einen Teil von Flansch 5 mit daran an
schließendem Isolator 8, in welchem die Plasmaelektrode 7 durch
eine erste Gitterelektrode 17 und die Absaugelektrode 18 durch
eine zweite Gitterelektrode 19 ersetzt ist. Besonders geeignet
ist diese Gitteranordnung zur Erzeugung eines Plasmas für die
Reinigung von Oberflächen, z. B. von medizinischen Implantaten.
1
Cavity
2
Rohr
3
Permanentmagneten
4
Flansch (Fe)
5
Flansch (Al)
6
Magnetspulen
7
Plasma-Elektrode
8
Isolator
9
Hohlzylinder
10
Gaseinlaß
11
Fenster
12
Targethalter
13
Target
14
Hohlleiter
15
Einkoppelschlitz
16
Kühlgaszuführung
17
Gitterelektrode
18
Absaugelektrode
19
Gitterelektrode
Claims (2)
1. ECR-Ionenquelle mit
- - einer zylinderförmigen Cavity (1), bestehend aus einem Metallrohr, dessen
Stirnflächen mit je einem Flansch (4, 5) galvanisch leitend verbunden sind, wobei
die Flansche (4, 5) Öffnungen zur Gaszufuhr und Evakuierung sowie zur Ionenextraktion aufweisen,
die Länge und der Innenumfang der Cavity (1) ein ganzzahliges Vielfaches der Wellenlänge der HF-Strahlung betragen und ein HF-Resonator gebildet wird,
und die Cavity (1) ein Rohr (2) aus HF-durchlässigem Material enthält, welches vakuumdicht mit den Flanschen verbunden ist, - - einem Hohlleiter (14) zum Einbringen von HF-Strahlung, dessen Längsachse senkrecht auf der Längsachse der Cavity (1) steht und der symmetrisch auf der Mitte der Cavity (1) über einem Einkoppelschlitz (15) aufsitzt,
- - außerhalb der Cavity (1) beweglich einstellbar angeordneten Magneten (3, 6) zur Erzeugung eines magnetischen Einschlusses des Plasmas in achsialer und radialer Richtung,
- - einem oder mehreren Targets (13), die in der Cavity (1) gehaltert und mittels über Fenster (11) eingekoppelter Laserstrahlung verdampfbar sind.
2. ECR-Ionenquelle nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß im Metallrohr der
Cavity (1) eine Zuführung (16) für Kühlgas mündet und gegenüberliegend ein
Kühlgasauslaß von ihm ausgeht, so daß sich ein Kühlgasstrom zwischen Cavity (1)
und Rohr (2) entwickeln kann.
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- 1995-04-08 DE DE1995113345 patent/DE19513345C2/de not_active Expired - Fee Related
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Also Published As
Publication number | Publication date |
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