DE19510439C1 - Cermet- Hartstoffschicht- Verbund und Verfahren zu dessen Herstellung - Google Patents
Cermet- Hartstoffschicht- Verbund und Verfahren zu dessen HerstellungInfo
- Publication number
- DE19510439C1 DE19510439C1 DE1995110439 DE19510439A DE19510439C1 DE 19510439 C1 DE19510439 C1 DE 19510439C1 DE 1995110439 DE1995110439 DE 1995110439 DE 19510439 A DE19510439 A DE 19510439A DE 19510439 C1 DE19510439 C1 DE 19510439C1
- Authority
- DE
- Germany
- Prior art keywords
- hard material
- cermet
- coating
- material layer
- nitrogen
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C28/00—Coating for obtaining at least two superposed coatings either by methods not provided for in a single one of groups C23C2/00 - C23C26/00 or by combinations of methods provided for in subclasses C23C and C25C or C25D
- C23C28/04—Coating for obtaining at least two superposed coatings either by methods not provided for in a single one of groups C23C2/00 - C23C26/00 or by combinations of methods provided for in subclasses C23C and C25C or C25D only coatings of inorganic non-metallic material
- C23C28/044—Coating for obtaining at least two superposed coatings either by methods not provided for in a single one of groups C23C2/00 - C23C26/00 or by combinations of methods provided for in subclasses C23C and C25C or C25D only coatings of inorganic non-metallic material coatings specially adapted for cutting tools or wear applications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C16/00—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes
- C23C16/22—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the deposition of inorganic material, other than metallic material
- C23C16/30—Deposition of compounds, mixtures or solid solutions, e.g. borides, carbides, nitrides
- C23C16/34—Nitrides
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C28/00—Coating for obtaining at least two superposed coatings either by methods not provided for in a single one of groups C23C2/00 - C23C26/00 or by combinations of methods provided for in subclasses C23C and C25C or C25D
- C23C28/04—Coating for obtaining at least two superposed coatings either by methods not provided for in a single one of groups C23C2/00 - C23C26/00 or by combinations of methods provided for in subclasses C23C and C25C or C25D only coatings of inorganic non-metallic material
- C23C28/048—Coating for obtaining at least two superposed coatings either by methods not provided for in a single one of groups C23C2/00 - C23C26/00 or by combinations of methods provided for in subclasses C23C and C25C or C25D only coatings of inorganic non-metallic material with layers graded in composition or physical properties
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C30/00—Coating with metallic material characterised only by the composition of the metallic material, i.e. not characterised by the coating process
- C23C30/005—Coating with metallic material characterised only by the composition of the metallic material, i.e. not characterised by the coating process on hard metal substrates
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Metallurgy (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Inorganic Chemistry (AREA)
- General Chemical & Material Sciences (AREA)
- Chemical Vapour Deposition (AREA)
- Cutting Tools, Boring Holders, And Turrets (AREA)
Description
Die Erfindung bezieht sich auf den Verschleißschutz von Werkzeu
gen und Verschleißteilen aus Cermet-Materialien und betrifft
einen Cermet-Hartstoffschicht-Verbund und ein Verfahren zu
dessen Herstellung. Die Erfindung ist insbesondere anwendbar bei
Cermet-Materialien, die im wesentlichen aus Titancarbonitrid als
Härteträger und einem Nickel/Kobalt-Binder bestehen. Besonders
zweckmäßig ist ihre Anwendung bei Schneidwerkzeugen für die
spanende Formgebung.
Es ist bereits bekannt, Cermets zum Zwecke eines Verschleiß
schutzes durch Gasphasenabscheidung mit einer Hartstoffbeschich
tung zu versehen. Diese kann als Einfach-, Komposit- oder Viel
lagenschicht ausgeführt sein. Bekannt sind Beschichtungen aus
TiNx, TiCx, TiCxNy, TiCxNyOz (z. B. JP 05-092304, EP 0 149 024,
EP 0 269 525, DD 2 40 914, EP 0 440 157), auch unter Einschluß
von metallischem Titan (z. B. EP 0 149 024). Außerdem sind auch
zirkonhaltige Schichtsysteme bekannt (JP 01 228704). Die
Schichtsysteme können auch mit einer Al₂O₃-Schicht versehen sein
(z. B. JP 63-060283).
Bekannt ist es auch, Cermets mittels Plasmanitrieren zu behan
deln (WO 89/06288). Verschleißuntersuchungen haben jedoch ge
zeigt, daß eine solche Behandlung nicht zu einer nennenswerten
Erhöhung der Verschleißfestigkeit führt.
Zur Beschichtung der Cermets sind nach dem Stand der Technik
Verfahren der physikalischen und der chemischen Gasphasen
abscheidung (PVD, CVD) vorgesehen.
Das konventionelle thermische CVD-Verfahren benötigt Tempera
turen um 1000°C und das organische Stickstoffverbindungen ver
wendende Mitteltemperatur-CVD-Verfahren arbeitet im Temperatur
bereich von 700-900°C. Nachteilig ist, daß infolge der hohen
Temperaturen die Biegebruchfestigkeit der Cermets gesenkt wird
und daß Reaktionen zwischen den Bindermaterialien des
Cermetsubstrates und den Gasphasenspezies stattfinden, die zur
Bildung spröder intermetallischer Phasen am Substrat-Schicht-
Übergang bzw. in der Schicht führen. Das PVD-Verfahren hat wegen
der bei der Abscheidung herrschenden geringen Drücke den
Nachteil, daß eine gleichmäßige Beschichtung schwierig und des
halb eine Substratbewegung erforderlich ist.
Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, einen Cermet-Hart
stoffschicht-Verbund und ein Verfahren zu dessen Herstellung so
zu gestalten, daß ein Verbund mit sehr guten Verschleißeigen
schaften sowie einer sehr hohen Haftfestigkeit der Beschichtung
erreicht wird und daß bei der Beschichtung des Cermets die Ent
stehung von spröden intermetallischen Phasen und eine Verminde
rung der Festigkeit vermieden werden.
Diese Aufgabe wird nach der Erfindung mit dem in den Patent
ansprüchen beschriebenen Verbund und dem dazu angegebenen
Herstellungsverfahren gelöst.
Der erfindungsgemäße Cermet-Hartstoffschicht-Verbund ist dadurch
gekennzeichnet, daß die Hartstoffbeschichtung auf einem Cermet-
Grundkörper aufgebracht ist, dessen Oberflächenrandzone bis zu
einer maximalen Tiefe von 10 µm nitriert oder carbonitriert ist.
Die Hartstoffbeschichtung besteht aus einer oder mehreren
Hartstoffschichten, wobei die unmittelbar mit dem Cermet-
Grundkörper verbundene Hartstoffschicht 0,1 bis 20 µm dick ist.
Sie besteht aus einer stickstoffhaltigen Hartstoffverbindung
oder einem stickstoffhaltigen Hartstoffgemisch von einem oder
mehreren Elementen der IV. bis VI. Nebengruppe des PSE und/oder
Bor und/oder Aluminium und/oder Silizium und/oder Kohlenstoff.
Auf der stickstoffhaltigen Hartstoffbeschichtung kann nach der
Erfindung zusätzlich eine Deckschicht angeordnet sein. Diese
kann vorzugsweise aus Aluminiumoxid bestehen und ist 1 bis 5 µm
dick.
Nach einer vorteilhaften Ausgestaltung der Erfindung weist die
Hartstoffbeschichtung einen Stickstoffgradienten auf, der von
der Grundkörperoberfläche zur Schichtoberfläche hin abnimmt.
Das erfindungsgemäße Herstellungsverfahren ist dadurch gekenn
zeichnet, daß ein Cermet-Grundkörper zunächst einer Nitrier-
oder Carbonitrierbehandlung bei einer Behandlungstemperatur bis
700°C während einer Behandlungsdauer von 5 bis 120 Minuten
unterworfen wird. Nach Abschluß der Nitrierung oder Carbo
nitrierung wird zu einem Niedertemperaturbeschichtungsprozeß zur
Abscheidung einer oder mehrerer Hartstoffschichten übergegangen.
Dabei werden Abscheidungstemperaturen bis 700°C angewandt.
Die Nitrier- oder Carbonitrierbehandlung des Cermet-Grundkörpers
kann nach der Erfindung vorteilhaft als Plasmaprozeß und bei
einem Druck im Bereich von 10 bis 1000 Pa ausgeführt werden.
Entsprechend einer zweckmäßigen Ausgestaltung des Verfahrens
wird der Niedertemperaturbeschichtungsprozeß als Plasmaprozeß
bei einem Druck im Bereich von 10 bis 1000 Pa und in einer
Gasmischung ausgeführt, die aus einem oder mehreren Halogeniden
und/oder metallorganischen Verbindungen der Elemente der IV. bis
VI. Nebengruppe des PSE und/oder von Bor, Aluminium, Silizium,
aus Stickstoff und/oder Stickstoffverbindungen und/oder
Wasserstoff und/oder einem oder mehreren Inertgasen besteht.
Beim Niedertemperaturbeschichtungsprozeß können zusätzlich ein
oder mehrere Kohlenstoffverbindungen und/oder eine oder mehrere
Sauerstoffverbindungen zugegeben werden.
Der erfindungsgemäße Cermet-Hartstoffschicht-Verbund zeichnet
sich in überraschender Weise durch eine sehr hohe Haftfestigkeit
der Hartstoffbeschichtung und wesentlich verbesserte Verschleiß
eigenschaften aus. Der Verbund weist am Übergang zwischen Cermet
und Hartstoffschicht einen günstigen Härteverlauf auf. Der
Cermet-Grundkörper ist frei von spröden intermetallischen Ver
bindungen und zeigt keine verminderte Festigkeit gegenüber dem
unbeschichteten Cermet, was in den zur Anwendung gelangenden
niedrigen Verfahrenstemperaturen begründet ist. Das erfindungs
gemäße Verfahren weist darüber hinaus den Vorteil auf, daß es
sehr effektiv ist, da durch den möglichen direkten Übergang von
der Nitrierung oder Carbonitrierung zu einem Niedertemperatur
beschichtungsprozeß die Chargenverweilzeit in der Anlage nur
unwesentlich beeinflußt wird. Dabei wird in vorteilhafter Weise
auch eine Verunreinigung der Cermetoberfläche verhindert.
Außerdem ist vorteilhaft, daß das Verfahren bei Anwendung der
Niedertemperatur-CVD-Verfahren, wie beispielsweise bei der
plasmagestützten chemischen Gasphasenabscheidung (PACVD) eine
allseitige Behandlung bzw. -beschichtung ohne zusätzliche
Substratbewegung und mit einer hohen Abscheidungsrate ermög
licht.
Nachstehend ist die Erfindung an Hand von Ausführungsbeispielen
naher erläutert.
Kommerzielle Cermets für den P10-Bereich mit einem
Nickel/Kobalt-Binder von 15,7 Ma.-% werden in einem PVCVD-Heiß
wandreaktor eingebracht. Der Reaktor wird evakuiert und es wird
mit dem Aufheizvorgang begonnen. Bei einer Substrattemperatur
von 200°C und einem Druck von 60 Pa werden die auf Kathoden
potential liegenden Substrate einer gepulsten Gleichstrom
glimmentladung in einer Gasmischung von 38 Vol.-% Wasserstoff/
12 Vol.-% Stickstoff/50 Vol.-% Argon ausgesetzt. Nach
15 Minuten wird der Druck auf 300 Pa erhöht und die Nitrierung
durchgeführt. Dabei steigt die Substrattemperatur auf 500°C,
die dann durch Regelung der Gleichspannung konstant gehalten
wird. Die Nitrierdauer beträgt 20 Minuten. Danach wird eine Gas
mischung für eine Titannitridbeschichtung zudosiert. Die Gas
mischung besteht aus 0,25 Vol.-% TiCl₄, 65 Vol.-% H₂, 5,2 Vol.-
% N₂ und Argon. Nach einer Abscheidungszeit von 60 Minuten bei
einer Plasmaleistungsdichte von 0,65 W/cm² wird eine 4 µm dicke
und sehr haftfeste Titannitridschicht erhalten, die im Scratch-
Test eine kritische Last von 80 N aufweist. Das auf diese Art
nitrierte und beschichtete Cermet zeigt bei der Zerspanung von
Stahl C60N im glatten Schnitt eine Standzeiterhöhung auf 180%
gegenüber dem unbeschichteten Cermet.
Kommerzielle Cermets für den P10-Bereich mit einem
Nickel/Kobalt-Bindergehalt von 15,7 Ma.-% werden in gleicher
Weise wie bei Ausführungsbeispiel 1 nitriert, allerdings bei
einer Substrattemperatur von 700°C. Danach erfolgt die Zudo
sierung einer Gasmischung für eine Titancarbonitridabscheidung.
Die Gasmischung besteht aus 0,37 Vol.-% TiCl₄, 66 Vol.-% H₂,
4 Vol.-% N₂ und 0,26 Vol.-% CH₄ und Argon. Nach einer Beschich
tungszeit von 35 Minuten bei einer Plasmaleistungsdichte der
Gleichstromglimmentladung von 0,6 W/cm2 wird ein 3 µm dicke
Titancarbonitridschicht mit extrem hoher Haftfestigkeit erhal
ten. Mittels Scratch-Test wurde eine kritische Last von 100 N
ermittelt. Das auf diese Weise nitrierte und beschichtete Cermet
zeigte bei der Zerspanung von Grauguß GGL25 mit einer
Schnittgeschwindigkeit von 200 m/min, einer Schnittiefe von 2 mm
und einem Vorschub von 0,3 mm eine Standzeiterhöhung auf 350%
gegenüber dem unbeschichteten Cermet.
Claims (8)
1. Cermet-Hartstoffschicht-Verbund, bei dem auf einem Cermet-
Grundkörper eine Hartstoffbeschichtung vorhanden ist, dadurch
gekennzeichnet, daß
- a) die Hartstoffbeschichtung auf einem Cermet-Grundkörper aufgebracht ist, dessen Oberflächenrandzone bis zu einer maximalen Tiefe von 10 µm nitriert oder carbonitriert ist, und daß
- b) die Hartstoffbeschichtung aus einer oder mehreren Hartstoffschichten besteht, wobei
- c) die unmittelbar mit dem Cermet-Grundkörper verbundene Hart stoffschicht 0,1 bis 20 µm dick ist und aus einer stickstoffhaltigen Hartstoffverbindung oder einem stickstoffhaltigen Hartstoffgemisch von einem oder mehreren Elementen der IV. bis VI. Nebengruppe des PSE und/oder Bor und/oder Aluminium und/oder Silizium und/oder Kohlenstoff besteht.
2. Cermet-Hartstoffschicht-Verbund nach Anspruch 1, dadurch ge
kennzeichnet, daß auf der stickstoffhaltigen Hartstoffbeschich
tung eine Deckschicht angeordnet ist.
3. Cermet-Hartstoffschicht-Verbund nach Anspruch 2, dadurch ge
kennzeichnet, daß die Deckschicht aus Aluminiumoxid besteht und
1 bis 5 µm dick ist.
4. Cermet-Hartstoffschicht-Verbund nach Anspruch 1, dadurch ge
kennzeichnet, daß die Hartstoffbeschichtung einen Stickstoff
gradienten aufweist, der von der Grundkörperoberfläche zur
Schichtoberfläche hin abnimmt.
5. Verfahren zur Herstellung eines Cermet-Hartstoffschicht-Ver
bundes gemäß Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß ein Cermet-
Grundkörper zunächst einer Nitrier- oder Carbonitrierbehandlung
bei einer Behandlungstemperatur bis 700°C während einer Be
handlungsdauer von 5 bis 120 Minuten unterworfen wird, und daß
nach Abschluß der Nitrierung oder Carbonitrierung zu einem
Niedertemperaturbeschichtungsprozeß zur Abscheidung einer oder
mehrerer Hartstoffschichten übergegangen wird, wobei Abschei
dungstemperaturen bis 700°C angewandt werden.
6. Verfahren nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, daß die
Nitrier- oder Carbonitrierbehandlung des Cermet-Grundkörpers als
Plasmaprozeß bei einem Druck im Bereich von 10 bis 1000 Pa
ausgeführt wird.
7. Verfahren nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, daß der
Niedertemperaturbeschichtungsprozeß als Plasmaprozeß bei einem
Druck im Bereich von 10 bis 1000 Pa und in einer Gasmischung
ausgeführt wird, die aus einem oder mehreren Halogeniden
und/oder metallorganischen Verbindungen der Elemente der IV. bis
VI. Nebengruppe des PSE und/oder von Bor, Aluminium, Silizium,
aus Stickstoff und/oder Stickstoffverbindungen und/oder
Wasserstoff und/oder einem oder mehreren Inertgasen besteht.
8. Verfahren nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, daß beim
Niedertemperaturbeschichtungsprozeß zusätzlich ein oder mehrere
Kohlenstoffverbindungen und/oder eine oder mehrere Sauerstoff
verbindungen zugegeben werden.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE1995110439 DE19510439C1 (de) | 1995-03-22 | 1995-03-22 | Cermet- Hartstoffschicht- Verbund und Verfahren zu dessen Herstellung |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE1995110439 DE19510439C1 (de) | 1995-03-22 | 1995-03-22 | Cermet- Hartstoffschicht- Verbund und Verfahren zu dessen Herstellung |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE19510439C9 DE19510439C9 (de) | |
DE19510439C1 true DE19510439C1 (de) | 1996-08-08 |
Family
ID=7757401
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE1995110439 Expired - Fee Related DE19510439C1 (de) | 1995-03-22 | 1995-03-22 | Cermet- Hartstoffschicht- Verbund und Verfahren zu dessen Herstellung |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
DE (1) | DE19510439C1 (de) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE19905980C2 (de) * | 1999-02-12 | 2001-02-08 | Fraunhofer Ges Forschung | Kühlvorrichtung und Kühlverfahren |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO1989006288A1 (en) * | 1987-12-28 | 1989-07-13 | Hamamatsu Netsushori Kogyo Co., Ltd. | Ion-nitrided cermet tip and method for producing the same |
DE4239234A1 (de) * | 1992-11-21 | 1994-06-09 | Krupp Widia Gmbh | Werkzeug und Verfahren zur Beschichtung eines Werkzeuggrundkörpers |
-
1995
- 1995-03-22 DE DE1995110439 patent/DE19510439C1/de not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO1989006288A1 (en) * | 1987-12-28 | 1989-07-13 | Hamamatsu Netsushori Kogyo Co., Ltd. | Ion-nitrided cermet tip and method for producing the same |
DE4239234A1 (de) * | 1992-11-21 | 1994-06-09 | Krupp Widia Gmbh | Werkzeug und Verfahren zur Beschichtung eines Werkzeuggrundkörpers |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE19905980C2 (de) * | 1999-02-12 | 2001-02-08 | Fraunhofer Ges Forschung | Kühlvorrichtung und Kühlverfahren |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
DE2727250C2 (de) | Oberflächenbeschichteter Sintercarbidgegenstand und Verfahren zu dessen Herstellung | |
DE69218210T2 (de) | Mehrfach plattiertes Hartlegierungsschneidwerkzeug | |
DE68919509T2 (de) | Oberflächenbeschichtetes, zementiertes Carbid. | |
DE69214655T2 (de) | Mehrlagig beschichtetes Schneidwerkzeug aus Hartmetallegierung | |
DE69005331T2 (de) | Verfahren zur Herstellung einer keramischen Beschichtung auf einem metallischen Substrat sowie mittels des Verfahrens beschichteter Gegenstand. | |
DE69215168T2 (de) | Verbesserte, mit Titancarbonitrid überzogene Schneideinsätze sowie Verfahren zu deren Herstellung | |
DE69622457T2 (de) | Verfahren zur Herstellung von Sinterkarbid mit Bindephase-angereicherter Oberflächenzone | |
DE2357814A1 (de) | Graphitkoerper mit siliciumcarbidbeschichtung | |
EP0093706B1 (de) | Werkzeug und Verfahren zu dessen Herstellung | |
DE2020697A1 (de) | Gegenstand aus einem titanhaltigen Traeger und einem UEberzug sowie Verfahren zur Herstellung dieses Gegenstandes | |
DE3003353A1 (de) | Beschichtetes sintercarbidprodukt | |
DE4239234A1 (de) | Werkzeug und Verfahren zur Beschichtung eines Werkzeuggrundkörpers | |
EP0200088B1 (de) | Verschleissfester beschichteter Hartmetallkörper und Verfahren zu seiner Herstellung | |
DE69110143T2 (de) | Verfahren zum Herstellen einer beschichteten Klinge für Schneidwerkzeuge. | |
DE3544975C1 (de) | Verfahren zur Herstellung eines beschichteten Formkoerpers | |
DE19510439C1 (de) | Cermet- Hartstoffschicht- Verbund und Verfahren zu dessen Herstellung | |
DE1942292B2 (de) | Verfahren zur abscheidung eines ueberzuges | |
DE19510439C9 (de) | Cermet- Hartstoffschicht- Verbund und Verfahren zu dessen Herstellung | |
WO1997019778A2 (de) | Schneidwerkzeug, verfahren zur beschichtung eines schneidwerkzeuges und verwendung des schneidwerkzeuges | |
DE19753624A1 (de) | Verschleiß- und reibungsmindernde Schicht, mit Substrat mit dieser Schicht sowie Verfahren zum Herstellen einer solchen Schicht | |
DE4131307A1 (de) | Verfahren zur herstellung festhaftender aluminiumoxidschichten | |
DE19822932C2 (de) | Verfahren zum Aufbringen einer Schmierstoffschicht auf eine freiliegende und tribologisch beanspruchte Oberfläche eines Pleuels, sowie Pleuel | |
AT504909B1 (de) | Hartmetallkörper mit einer beschichtung aus kubischem bornitrid | |
DE19822935C2 (de) | Verfahren zum haftenden Aufbringen einer Schmierstoffschicht auf eine freiliegende und tribologisch beanspruchte Oberfläche eines Formwerkzeuges, insbesondereeines Umformwerkzeuges wie Tiefziehpressen und dgl. sowie Formwerkzeug mit auf seiner freiliegenden Oberfläche haftenden Schmierstoffschicht | |
DE19822925C2 (de) | Verfahren zum haftenden Aufbringen einer Schmierstoffschicht auf eine freiliegende und tribologisch beanspruchte Oberfläche einer Laufbuchse sowie Laufbuchse und deren Verwendung |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
8100 | Publication of patent without earlier publication of application | ||
D1 | Grant (no unexamined application published) patent law 81 | ||
8363 | Opposition against the patent | ||
8365 | Fully valid after opposition proceedings | ||
8380 | Miscellaneous part iii |
Free format text: ES FOLGT NEUDRUCK NACH UNBESCHRAENKTER AUFRECHTERHALTUNG |
|
8327 | Change in the person/name/address of the patent owner |
Owner name: INSTITUT FUER FESTKOERPER- UND WERKSTOFFORSCHUNG D |
|
8327 | Change in the person/name/address of the patent owner |
Owner name: FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FOERDERUNG DER ANGEWAND Owner name: LEIBNIZ-INSTITUT FUER FESTKOERPER- UND WERKSTOFFFORS |
|
8339 | Ceased/non-payment of the annual fee |