DE19500214A1 - Verfahren und Vorrichtung zum Umschalten von optischen Signalleitungen - Google Patents

Description

Die vorliegende Erfindung betrifft ein Verfahren und eine Vorrichtung zum Umschalten von optischen Signalleitungen wo bei mindestens ein optische Signale definierender Lichtstrahl, der (in der Umschaltvorrichtung) aus einer Eingangsleitung eines optischen Umschalters austritt, wahlweise in eine von mindestens zwei alternativen Ausgangsleitungen hineingeleitet wird. Die Begriffe "Eingangsleitung" und "Ausgangsleitung" beziehen sich dabei auf die Tatsache, daß sie in den optischen Umschalter hinein- bzw. aus diesem herausführen, entsprechend dem Weg der optischen Signale, wobei die Funktionen von Eingangs- und Ausgangsleitungen im allgemeinen austauschbar sind, das heißt, die optischen Signale können prinzipiell in beide Richtungen laufen.

Mit der zunehmenden Verbreitung optischer Medien, wie zum Beispiel Glasfaserleitungen, zur Übertragung von Daten haben auch entsprechende Schaltelemente mehr und mehr an Bedeutung gewonnen. Verfahren und Vorrichtungen zum Umschalten von optischen Signallei­ tungen, konkret zum Unterbrechen oder Umlenken eines Lichtstrahles, durch welchen opti­ sche Signale definiert werden, sind schon seit langem bekannt. Ein einfacher optischer Umschalter besteht zum Beispiel aus einem beweglich angeordneten Ende einer Glasfaser, dessen Austrittsfläche der Eintrittsfläche einer weiteren Glasfaser in dichtem Abstand gegenüberliegt, wobei Einrichtungen vorgesehen sind, um das Ende der Glasfaser zu ver­ schieben oder derart zu verbiegen, daß die Austrittsfläche der Eintrittsfläche einer weiteren, der ersten Ausgangsleitung benachbarten Lichtfaser gegenüberliegt.

Andere optische Umschalter beruhen auf holographischen Verfahren oder auf optoelek­ tronischen Methoden, wobei mit Hilfe von Halbleitern optische Signale in elektrische Signale umgewandelt und anschließend wieder in optische Signale zurückverwandelt werden und wobei auf der dazwischenliegenden elektrischen bzw. elektronischen Strecke die geänderte Zuordnung von Ein- und Ausgängen erfolgt. Die wachsende Leistungsfähigkeit in der elek­ tronischen Datenverarbeitung und das enorme Anwachsen der dabei transferierten Daten­ mengen erfordern jedoch leistungsfähige optische Umschalter, die nach herkömmlichen Verfahren entweder nicht oder nur mit erheblichem Aufwand realisiert werden können und die dementsprechend teuer und unter Umständen auch sehr platzbeanspruchend sind.

Gegenüber diesem Stand der Technik liegt der vorliegenden Erfindung die Aufgabe zugrunde, ein Verfahren und eine Vorrichtung zum Umschalten von optischen Signalleitungen zu schaffen, welche einfach und kostengünstig zu realisieren sind und welche prinzipiell auch beliebig erweiterbar sind, um gegebenenfalls auch eine Vielzahl von Eingangs- und Ausgangs­ leitungen in einer beliebigen Kombination miteinander verbinden zu können.

Hinsichtlich des eingangs genannten Verfahrens wird diese Aufgabe dadurch gelöst, daß mindestens ein Spiegel, der im allgemeinen neben dem Strahlengang eines aus der Eingangs­ leitung austretenden Lichtstrahles angeordnet ist, wahlweise derart ausgerichtet in den Strahlengang hinein bewegt wird, daß der Lichtstrahl durch den Spiegel in Richtung der Eintrittsfläche der gewünschten Ausgangsleitung reflektiert wird.

Dabei ist der Spiegel entweder noch in eine zweite Winkelposition drehbar, in welcher der Lichtstrahl in Richtung der Eintrittsfläche einer anderen Ausgangsleitung reflektiert wird, oder es ist ein zweiter Spiegel in einer zweiten Spiegelposition neben dem Eingangsstrahl angeord­ net, wobei der Eingangsstrahl auf einen zweiten Spiegel trifft, welcher in einer festen Position so ausgerichtet ist, daß er den Lichtstrahl in Richtung der zweiten (anderen) Ausgangsleitung lenkt.

Bevorzugt ist die zuletzt erwähnte Ausführungsform, welche ohne Drehung von Spiegeln in verschiedene Winkelpositionen auskommt, so daß alle Spiegel gegebenenfalls eine feste Winkelausrichtung behalten und lediglich senkrecht zu dem Eingangsstrahl verschiebbar sind, so daß sie wahlweise neben dem Strahl oder im Strahl liegen. Bevorzugt ist eine Ausfüh­ rungsform, bei welcher jedem Eingangsstrahl bzw. jeder Eingangsleitung eine Reihe von neben den Eingangsstrahl angeordneten Spiegeln zugeordnet ist, von denen wahlweise jeweils einer in den Eingangsstrahl hineinbewegt werden kann und wobei dieser eine Spiegel genau einer Ausgangsleitung zugeordnet ist, in deren Eintrittsfläche der Strahl reflektiert wird. Die Zahl der in einer Reihe hintereinander und entlang eines Eingangsstrahles angeordneten Spiegel entspricht daher der Zahl der Ausgangsleitungen, wenn es gewünscht ist, daß der Strahl wahlweise in eine beliebige der Ausgangsleitungen reflektiert werden kann.

Sofern mehrere Eingangsleitungen vorgesehen sind, sind dementsprechend parallel mehrere Reihen entsprechender Spiegel vorgesehen und die Spiegel befinden sich dann vorzugsweise in einer Matrixanordnung, wobei hier die entlang eines Eingangsstrahles angeordneten Spiegel als Reihen definiert werden und die entlang der Ausgangsrichtung einer Ausgangsleitung angeordneten Spiegel als Spalten von Spiegeln definiert werden. Zweckmäßig ist es, wenn die Spiegel in einer rechtwinkligen Matrix angeordnet werden und wenn dementsprechend die Spiegel um 45° gegen den Eingangsstrahl geneigt werden, so daß eine Ablenkung des Strahles um 90° erfolgt. Die Enden von Eingangs- und Ausgangsleitungen, die in Richtung der jeweiligen Eingangs- bzw. Ausgangsstrahlen verlaufen, sind dementsprechend um 90° gegeneinander versetzt. Es sind jedoch auch andere Winkelanordnungen ohne weiteres möglich ohne vom Grundprinzip der Erfindung und dem noch zu erläuternden Prinzip der gleichbleibenden optischen Weglänge abzuweichen. Es versteht sich, daß es allein aus praktischen Gründen sinnvoll ist, wenn alle Eingangsleitungen bzw. deren Enden parallel nebeneinander in eine Ebene und in jeweils gleichen Abständen benachbarter Leitungen angeordnet sind, wobei auch die Ausgangsleitungen die gleiche ebene Anordnung mit den gleichen relativen Abständen haben.

Darüberhinaus kann es zur Vermeidung von Lichtverlusten zweckmäßig sein, wenn optische Hilfseinrichtungen, das heißt zum Beispiel Bündelungseinrichtungen wie Sammellinsen oder dergleichen jeweils im Strahlengang hinter der Austrittsfläche einer Eingangsleitung und/oder vor der Eintrittsfläche einer Ausgangsleitung vorgesehen sind.

Um die Gleichwertigkeit sämtlicher denkbarer Verbindungen zwischen Eingangs- und Aus­ gangsleitungen sicherzustellen, ist eine Ausführungsform der Erfindung besonders bevorzugt, bei welcher die Enden bzw. Austrittsflächen der Eingangsleitungen und entsprechend auch die Eintrittsflächen bzw. Enden der Ausgangsleitungen parallel zueinander und parallel zu der Winkelhalbierenden zwischen Eingangs- und Ausgangsstrahlen angeordnet sind, was bei einer Matrixanordnung der Spiegel auch der Richtung einer Diagonalen der Matrix entspricht. Auf diese Weise stellt man sicher, daß für beliebige Verbindungen der optische Weg von der Austrittsfläche einer Eingangsleitung zu einer beliebigen Eintrittsfläche einer Ausgangsleitung immer dieselbe Länge hat. Es versteht sich, daß entsprechende Sammellinsen und andere optische Einrichtungen im Strahlengang ebenfalls immer im selben Abstand vor den Austritts­ bzw. Eintrittsflächen angeordnet sind, damit alle optischen Verbindungswege exakt die gleiche Eigenschaft haben. Die gleiche optische Weglänge erreicht man im übrigen nicht nur mit Hilfe einer rechtwinkligen Spiegelanordnung und entsprechend rechtwinklig ausgerichte­ ten Eingangs- und Ausgangsleitungen, sondern vielmehr auch dann, wenn die Ausgangs- und Eingangsleitungen unter einen beliebigen anderen Winkel zwischen 0 und 180° relativ zueinander ausgerichtet werden, wobei die entsprechende Matrix von Spiegeln in analoger Weise rautenförmig verzerrt wird und Ein- und Ausfallswinkel der an den Spiegeln reflektier­ ten Strahlen sich entsprechend ändern.

Jedem Spiegel ist sein eigenes Hubelement zugeordnet, durch welches er in den Strahlengang eines Eingangsstrahles gehoben wird. Hierfür eignen sich zum Beispiel bipolare Hubmagnete, wobei es bevorzugt ist, wenn die Spiegel in Richtung ihrer Ruhestellung, in welcher sie neben dem Eingangsstrahl angeordnet sind und diesen passieren lassen, vorgespannt sind. Wenn der Hubweg der Spiegel hinreichend klein gehalten werden kann, kann die Bewegung auch mit Hilfe piezoelektrischer Elemente erfolgen. Die letztgenannte Ausführungsform ist besonders dann in Betracht zu ziehen, wenn die gesamte Vorrichtung aus mikromechanischen Elementen aufgebaut ist. Mikromechanische Bauelemente werden mit ähnlichen Fertigungstechniken hergestellt, wie strukturierte Halbleiter, das heißt durch Beschichtung mit fotoempfindlichen Substanzen, Belichtung mit Hilfe von Masken, Ätzverfahren etc. Dabei verbleiben dann extrem kleine, aber dennoch präzise geformte und bewegliche mechanische Teile, wie zum Beispiel Zahnräder, Kolben und Zylinder, wobei insbesondere bewegliche piezoelektrische Hebel oder Blätter, oder eine Kolben-Zylinderanordnung, gekoppelt mit piezoelektrischen Hubelementen, als Spiegelträger in Betracht kommen könnten.

Gleichzeitig können mit mikromechanischen Verfahren präzise Halterungen, zum Beispiel V- förmige Nuten für die Enden von als Signalleitung dienenden Lichtfasern in einem entspre­ chenden Substrat ausgearbeitet werden. Damit ist es möglich, eine Vielzahl optischer Leitun­ gen bzw. Lichtfasern auf engstem Raum präzise parallel zueinander und in der gewünschten relativen Anordnung der Enden zu fixieren, um so das bevorzugte optische Schaltelement zu verwirklichen.

Weitere Vorteile, Merkmale und Anwendungsmerkmale der vorliegenden Erfindung werden deutlich anhand der folgenden ausführlichen Beschreibung einer bevorzugten Ausführungs­ form und der dazugehörigen Figuren. Es zeigen:

Fig. 1 einen Satz von Eingangs- und Ausgangsleitungen mit einer zugehörigen Spie­ gelmatrix,

Fig. 2 einen Längsschnitt entlang der Linie II-II in Fig. 1 und

Fig. 3 eine Veranschaulichung des Schaltschemas.

Man erkennt in Fig. 1 einen Satz von vier Eingangsleitungen E und einen Satz von vier Ausgangsleitungen A. Es versteht sich, daß hier nur der Anschauung halber eine Zahl von jeweils vier Eingangs- und Ausgangsleitungen gewählt wurde, und daß in der Realität die Zahl der Leitungen auch kleiner, vor allem aber auch größer sein kann, da in der Praxis bereits Lichtkabel Verwendung finden, die aus bis zu 256 Einzelleitungen bzw. Fasern bestehen, wobei auch die einzelnen Fasern noch sogenannte Multimodefaser sein können, welche typischerweise einen Durchmessern von 1/10 mm haben und dennoch auf mehreren Daten­ kanälen gleichzeitig übertragen können. Die Austrittsflächen und Eintrittsflächen der Fasern 1 bzw. 2 sind im allgemeinen poliert und verlaufen exakt senkrecht zur Längsrichtung der Fasern bzw. zu deren Endabschnitten. Im Abstand vor den Eintrittsflächen bzw. Austritts­ flächen sind jeweils optische Fokussierlinsen angeordnet, wobei zu beachten ist, daß Fig. 1 nur eine schematische Zeichnung ist, welche die relativen Abstände der einzelnen Kom­ ponenten zueinander und auch die Abmessungen der einzelnen Komponenten nicht notwendi­ gerweise im richtigen Maßstab wiedergibt. Die Eingangsleitungen E und Ausgangsleitungen A bzw. deren hier sichtbare Enden sind auf einer Trägerplatte 3 so fixiert, daß sie rechtwink­ lig zueinander ausgerichtet sind, wobei alle Eingangsleitungen parallel zueinander ausgerichtet sind und untereinander jeweils gleichen Abstand haben, ebenso wie dies auch für die Aus­ gangsleitungen gilt. Entlang der gedachten Verlängerung der einzelnen Eingangsleitungen sind Reihen von Spiegeln angeordnet, wobei die einzelnen Reihen nebeneinander so ausgerichtet sind, daß die einzelnen Spiegel der vier Reihen senkrecht zu der Eingangsrichtung ausgerichte­ te Spalten bilden, in die genau in der Verlängerung der Ausgangsleitungen A liegen. Die einzelnen Spiegel S_i′k bilden also eine Matrix, wobei der Index i die Zeile definiert, in welcher ein Spiegel angeordnet ist und der Index k die betreffende Spalte definiert, in welcher der Spiegel angeordnet ist, so daß jeder Spiegel durch das Indexpaar (i′ k) eindeutig definiert ist. Der Anschauung halber soll hier die Zählung der Zeilen wie üblich von oben nach unten, die Zählung der Spalten jedoch entgegen der üblichen Konvention von rechts nach links erfolgen, so daß der Spiegel oben rechts in Fig. 1 die Bezeichnung S_1,1 hat. Der links daneben angeordnete Spiegel die Bezeichnung S_1,2 usw. Mit dieser Matrixanordnung von Spiegel ist es nunmehr möglich, jede beliebige Eingangsleitung mit jeder beliebigen Ausgangsleitung zu verbinden. Um beispielsweise die Eingangsleitung e₂ mit der Ausgangsleitung a₄ zu ver­ binden, wird der Spiegel S_2,4, das heißt der Spiegel in der zweiten Zeile und der vierten (ganz linken) Spalte in den Strahlengang der Eingangsleitung e₂ gebracht, von wo dann eine rechtwinklige Ablenkung des Lichtstrahles in die Leitung a₄ erfolgt. Es versteht sich, daß dann jedoch die übrigen Spiegel der vierten Spalte, das heißt mindestens die in der dritten und vierten Zeile liegenden Spiegel der vierten Spalte nicht in den Strahlengang verschoben werden dürfen, weil sie sonst den von dem Spiegel S_2,4 in Richtung der Leitung a₄ reflektier­ ten Strahl mit ihrer Rückseite abfangen würden.

Generell gilt die Regel, daß in jeder Zeile und in jeder Spalte maximal je ein Spiegel in den Strahlengang bewegt werden darf. Auf diese Weise ist jede beliebige Kombination einer Verbindung zwischen je einer der Leitungen e₁ bis e₄ mit je einer der Leitungen a₁ bis a₄ realisierbar.

Im Längsschnitt der Fig. 2 ist angedeutet, wie die einzelnen Spiegel durch bipolare Hubma­ gnete 4 senkrecht zum Strahlverlauf bewegt werden können, so daß sie wahlweise in den Strahlengang hinein verschoben werden oder aber in einer Reihe neben dem Strahlengang bleiben, so daß sie den Strahl passieren lassen. In Fig. 3 wird dies nochmal anhand der Leitungen e₁ und ae₁ verdeutlicht. Bei dieser Verbindung müssen mit Ausnahme des Spiegels S_1,1 alle anderen Spiegel der ersten Zeile und der ersten Spalte, das heißt die Spiegel S_1,k mit k 2 und die Spiegel S_i,1′ mit i 2 aus dem Strahlengang herausbewegt, das heißt im allgemeinen in die Trägerplatte hinein abgesenkt werden.

Die Trägerplatte 3 hat entweder entsprechende Nuten oder Bohrungen, in welchen die einzelnen Lichtfasern eingesenkt bzw. eingeschoben und fixiert sind. Als Besonderheit ist dabei anzumerken, daß die Enden der Fasern e₁ bis e₄ und a₁ bis a₄ parallel zu der Winkelhal­ bierenden W zwischen Eingangs- und Ausgangsstrahlen, das heißt auch parallel zur Hauptdia­ gonalen S_i,i, der Spiegelmatrix ausgerichtet werden. Dies führt dazu, daß die optische Weglän­ ge für alle Verbindungen, jeweils gemessen von Austrittsfläche einer der Fasern e₁ bis e₄ bis zu der entsprechenden Eintrittsfläche der Faser a₁ bis a₄, die gleiche ist. Wenn die optischen Fokussierlinsen immer im selben Abstand vor den jeweiligen Enden angeordnet werden, gilt dies selbstverständlich auch für die optischen Weglängen zwischen den betreffenden Linsen.

Claims (20)

1. Verfahren zum Umschalten von optischen Signalleitungen, bei welchem mindestens ein optische Signale definierender Lichtstrahl, der aus einer Eingangsleitung eines optischen Umschalters austritt, wahlweise in eine von mindestens zwei alternativen Ausgangsleitungen hineingeleitet wird, dadurch gekennzeichnet, daß mindestens ein Spiegel, der im allgemeinen neben dem Strahlengang eines aus der Eingangsleitung austretenden Lichtstrahles angeordnet ist, wahlweise derart ausgerichtet in den Strahlengang hinein bewegt wird, daß der Lichtstrahl durch den Spiegel in Richtung der Eintrittsfläche der gewünschten Ausgangsleitung reflektiert wird.

2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der Spiegel um eine Achse in feste Winkelpositionen gedreht wird, wobei diese Achse zu einer Ebene senkrecht steht, welche von den Endabschnitten der zugehörigen Eingangs- und Ausgangs­ leitung aufgespannt wird.

3. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß entlang des aus einer Eingangsleitung austretenden Lichtstrahles eine Reihe von Spiegeln hintereinander angeordnet ist, welche jeweils einer anderen Ausgangsleitung zugeordnet sind, wobei wahlweise jeweils einer der Spiegel dieser Reihe in den Strahlengang hinein bewegt wird.

4. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß der aus der Eingangsleitung austretende Lichtstrahl um 90° abgelenkt wird, um in die zu­ gehörige Ausgangsleitung hineingeleitet zu werden.

5. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, daß der aus der Eingangsleitung austretende Lichtstrahl im Strahlengang hinter der Austrittsfläche der Eingangsleitung und vorzugsweise auch vor der Eintrittsfläche der Ausgangs­ leitung gebündelt wird.

6. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, daß Licht­ strahlen aus mehreren Eingangsleitungen jeweils in eine von mehreren Ausgangs­ leitungen umgelenkt werden, wobei im Strahlengang der Eingangsleitungen jeweils eine Reihe von Spiegeln vorgesehen ist, deren Zahl der Zahl der Ausgangsleitungen entspricht, wobei die Zahl der Reihen der Zahl der Eingangsleitungen entspricht und die Spiegel in einer Matrixanordnung vorgesehen sind und wobei in jeder Reihe maxi­ mal ein Spiegel für die Ablenkung eines Lichtstrahles verwendet wird.

7. Verfahren nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, daß auch aus jeder Spalte der Matrix maximal ein Spiegel für das Umlenken des Lichtstrahles in einer Ausgangs­ leitung verwendet wird.

8. Verfahren nach Anspruch 6 oder 7, dadurch gekennzeichnet, daß die Anordnung der Austritts- und Eintrittsflächen der Lichtleiter, bzw. der dahinter bzw. davor angeord­ neten optischen Hilfsmittel und der zugehörigen Spiegel derart erfolgt, daß der opti­ sche Weg von einer beliebigen Eingangsleitung zu einer beliebigen Ausgangsleitung für alle Paare von Eingangs-/Ausgangsleitungen im wesentlichen gleich lang ist.

9. Vorrichtung zum Umschalten von optischen Signalleitungen, mit mindestens einer Eingangsleitung, aus welcher ein ein optisches Signal definierender Lichtstrahl austritt, und mindestens zwei Ausgangsleitungen, in welche der Lichtstrahl wahlweise einge­ leitet werden soll und mit entsprechenden Austritts- bzw. Eintrittsflächen an den der Vorrichtung zugewandten Enden der Leitungen, dadurch gekennzeichnet, daß entlang des Eingangsstrahles der Eingangsleitung mindestens ein Spiegel vorgesehen ist, wobei Bewegungseinrichtungen vorgesehen sind, welche den Spiegel wahlweise in eine von mindestens zwei verschiedenen Positionen bewegen können, wobei der Spiegel in einer dieser Positionen in Strahlengang des Eingangsstrahles derart ausge­ richtet liegt, daß der Strahl in Richtung der Eintrittsfläche einer der Ausgangsleitungen reflektiert wird, während der Spiegel in der anderen Position entweder neben dem Strahlengang des Eingangsstrahles liegt und diesen passieren läßt, so daß dieser von einem weiteren Spiegel in Richtung der Eintrittsfläche einer weiteren Ausgangsleitung reflektiert wird oder im Strahlengang derart gedreht ist, daß er den Strahl in Richtung der Eintrittsfläche der weiteren Ausgangsleitung reflektiert.

10. Vorrichtung nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, daß eine Reihe von Spiegeln hintereinander entlang des Eingangsstrahles und parallel zu diesem angeordnet sind und daß Vorschubeinrichtungen vorgesehen sind, welche wahlweise einen Spiegel aus der Reihe von Spiegeln in einer festen Winkelposition in den Strahlengang hinein schieben.

11. Vorrichtung nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet, daß mehrere im wesentli­ chen parallele Eingangsleitungen vorgesehen sind, welche parallele und vorzugsweise gleich beabstandete Eingangsstrahlen erzeugen, wobei entlang jedes Eingangsstrahles eine Reihe von Spiegeln angeordnet ist.

12. Vorrichtung nach Anspruch 11, dadurch gekennzeichnet, daß die Spiegel in einer Matrix angeordnet sind, so daß jeder Eingangsleitung eine Reihe von Spiegeln zu­ geordnet ist und jeder Ausgangsleitung eine Spalte von Spiegeln zugeordnet ist.

13. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 9 bis 12, dadurch gekennzeichnet, daß im Strahlengang in der Nähe der Austrittsflächen der Eingangsleitungen und vorzugs­ weise auch in der Nähe der Eintrittsflächen der Ausgangsleitungen jeweils eine opti­ sche Bündelungseinrichtung vorgesehen ist.

14. Vorrichtung nach Anspruch 13, dadurch gekennzeichnet, daß die optische Bünde­ lungseinrichtung eine Sammellinse ist.

15. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 9 bis 14, dadurch gekennzeichnet, daß die Zahl der Eingangsleitungen gleich der Zahl der Ausgangsleitungen ist, daß alle Ein­ gangsleitungen parallel und im gleichen Abstand angeordnet sind, daß alle Ausgangs­ leitungen parallel und im gleichen Abstand voneinander angeordnet sind, die Spiegel in einer quadratischen Matrix angeordnet sind und daß die Austrittsflächen der Ein­ gangsleitungen und/oder die zugeordneten Sammellinsen ebenso wie die Eintritts­ flächen der Ausgangsleitungen und/oder deren zugeordnete Sammellinsen parallel zu derjenigen Diagonalen der Matrixanordnung ausgerichtet sind, welche die Winkelhal­ bierende zwischen Eingangsstrahlen und Ausgangsstrahlen definiert.

16. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 9 bis 15, dadurch gekennzeichnet, daß jedem der Spiegel ein bipolarer Magnet zugeordnet ist, welcher den zugeordneten Spiegel wahlweise in den Strahlengang verschiebt.

17. Vorrichtung nach Anspruch 16, dadurch gekennzeichnet, daß die Spiegel in Richtung ihrer Position außerhalb des Strahlenganges vorgespannt sind.

18. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 9 bis 17, dadurch gekennzeichnet, daß Steuerungs- und Überwachungseinrichtungen vorgesehen sind, welche sicherstellen, daß in jeder Spalte und jeder Zeile der Matrix von Spiegeln jeweils nur ein Spiegel im Strahlengang von Eingangs- bzw. Ausgangsstrahl liegt.

19. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 9 bis 18, dadurch gekennzeichnet, daß piezoelektrische Bewegungseinrichtungen vorgesehen sind, welche die Spiegel wahl­ weise in ihre jeweilige Position verschieben.

20. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 9 bis 19, dadurch gekennzeichnet, daß sie aus mikromechanischen Elementen aufgebaut ist.