DE1920709C - Verfahren zum Abgleichen eines Dicken messgerates und Einrichtung zur Durchfuh rung dieses Verfahrens - Google Patents

Description

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Die vorliegende Erfindung betrifft ein Verfahren wenn nicht unmöglich, solche Kompensationsschal-

zum Abgleichen eines Dickenmeßgerütes, bei dem Hingen so auszulegen, duß bei verwendung eines

während der Messung ein elektrischer Meßfühler, Meßfühlers an Stelle eines symmetrischen uilleren-

z. B, eine von Wechselstrom durchflossene Spule, tialgebers keine Nullpunkiverschietmng erioigt.

vom Meßobjekt nach Maßgabe einer Schichtdicke 5 Hs ist das Ziel vorliegender hrlindung, unter vcr-

beeinflußt wird, wobei die vom Meßfühler erfaßte meldung der Nachteile der bekannten Anordnungen

elektrische Meßgrüße in einer Vergleichsschaltung ein Abgleichverfahren für SchichtUickenmeligeiate zu

mit einer entsprechenden Vergleichsgröße verglichen schaffen, welches eine zuverlässige Messung von Ab-

untl in einem Anzeigeinstrument die Differenz der solutwertcn der Schichtdicke mit ejnein einzigen

beiden Grüßen als Maß für die Schichtdicke abge- io Meßfühler gestattet, wobei darauf ausgegangen wird,

lesen wird. einen einfachen, schnellen Neuabgleich der Meßvor-

FJn besonderes Problem bei Geräten dieser Art richtung ohne ein Eichobjekt während der Messung (z.B. USA.-Patentschrift2 581 394) bictet die Stahl· vornehmen und damit jederzeit die Richtigkeit des lität der die Meßgröße und Vergleichsgröße, z.B. angezeigten Wertes überprüfen zu können.
Meßfrecjiienz und Vcrgleichsfrequcnz, erzeugenden »5 Das erfindungsgemäße Verfahren ist dadurch ge-Schaltungen, die fremden, mit der Messung selbst kennzeichnet, daß vor Beginn der Messung sowohl nicht in Zusammenhang stehenden Einflüssen, z. B. ein Referenzabgleich vorgenommen wird, indem der Temperaturschwankungen, unterworfen sind. Man Meßfühler des Meßstromkreises außerhalb des hinkann allgemein nicht damit rechnen, daß die Meß- flußbereiches des Objekts gebracht und die Meßgröße grüße und Vergleichsgröße unter diesen Fremdein- 20 durch Nachregelung eines variablen Schaltelementes, flüssen genau gleichlaufend verändert werden, derart, z. B. eines Potentiometers, bis zur Anzeige eines vordaß ihre Änderungen keine Meßfehler bewirken. bestimmten Maßes zum Abgleich mit der durch fest Dieses besondere, bei Anwendung eines einzigen Meß- vorgegebene Umschaltung auf einen Referenzwert fühlers auftretende Problem wird in der Praxis meist gebrachten Vergleichsgröße gebracht wird oder daß damit umgangen, daß mehrere Fühler gleichzeitig 25 umgekehrt die Vergleichsgröße bei durch fest vorgeivni-eset/t werden, wobei nicht ei-,. Absolutwert der gebene Umschaltung auf einen Referenzwert gebrach-Schichtdicke, sondern Unterschiede in der Schicht- ter Meßgrcßj zum Abgleich gebracht wird, als auch dicke an verschiedenen Meßstellen angezeigt werden. ein Meßabgleich vorgenommen wird, indem derMeß-

Bei einem bekannten Verfahren dieser Art (USA.- fühler des Meßstromkreises dem Objekt zur Messung

Patentschrift 2 6i)4 712) werden an ein Meßobjekt, 30 von Solldicke angenähert wird und die sich hierbei

z. B. ein Kabel, zwecks Messung der Isolationsdicke einstellende Meßgröße bis zur Anzeige eines vorbe-

je zwei gegenüberliegende Elektroden angelegt und stimmten Maßes zum Abgleich mit der yergleichs-

in Veri'leichsschaltungcn die Kapazitäten verglichen größe durch Nachregelung eines die Vergleichsgröße

und Differenzen angezeigt. Es bestehen keinerlei beeinflussenden bzw. variablen Schaltelement^, z. B.

Möglichkeiten, einen Abgleich der Meßvorrichtung 35 Potentiometers, gebracht wird bzw. umgekehrt die

ohne F.ichkörpcr vorzunehmen. Meßpröße mittels eines variablen Schaltelemente*,

Bei einem ähnlichen, mit kapazitiven Fühlern ar- z.B. Potentiometers, nachgeregelt wird, unddaßwah-

bcitcnden Verfahren (britische Patentschrift 761 241) rend der Messung wiederholt en Referenzabgleich

ist allerdings die Möglichkeit vorgesehen, ohne Meß- bei kurzzeitigem Entfernen des Meßfühlers aus dem

oder Eichobjekt einen Abgleich vorzunehmen, was 40 Einflußbereich des Objekts vorgenommen wird,

jedoch einen hohen .■,chaltungstechnischen Aufwand Es wird mit anderen Worten ein Referenzabgleich

mit kristallgestcuerten Oszillatoren und Diskrimina- dadurch ermöglicht, daß der Meßfühler ganz aus

toren erfordert. Eine Lösung des bei Verwendung dem Einflußbereich eines Meß- oder Eichobjekts ent-

cines Meßfühlers auftretenden Problems ist damit fernt und durch schaltungstechnische Änderung der

nicht gegeben. 45 dadurch bewirkte Einfluß auf die Meßgröße kompen-

Es ist ferner bekannt, einen induktiven Meß'iihler siert und in diesem Zustand der Abgleich vorgenom-

zum Messen des Abstandes von Turbinenschaufel men wird. Wird sodann der Meßfühler wieder in

vom Gehäuse durch besondere Maßnahmen auf einer seine Meßlago zurückversetzt und auch die durch die

konstanten Temperatur zu halten, um Fehlanzeigen schaltungstechnische Änderung bewirkte Kompcnsa-

infolj'c Temperaturschwankunpcn zu vermeiden 50 tici rückgängig gemacht, so darf angenommen werden,

(deutsche Auslegcschrift 1 040 804). Dieses Verfah- und cinpehenoe Versuche haben diese Annahme mit

ren ist jedoch unsicher um! in vielen Rillen nicht überraschender Zuverlässigkeit bestätigt, daß auch für

anwc-idbar. die Messung der erforderliche Abgleich erzielt sei.

Es im ebenfalls bekannt, mit nur einem Meßfühler Die Erfindung betrifft auch eine Einrichtung an /u arbeiten und denselben über das Mcßnbjckt, ζ B. 55 einem Dickenrneßgerät zur Durchführung des oben rund um ein Kabel zu bewegen und festzustellen, ob erläuterten Verfahrens, mit einem dem Meßfühler der Meßwert gleich bleibt oder nicht, J h., ob zugeordneten Meßstromkreis und einem Verglcichs-Dickenunterschicde vorhanden sind oder nicht Stromkreis sowie einer Vergleichsschaltung mit Mcß-(deutschc Aiislejeschrirt I 23«) 484). Au:h dieses ausgang und mit Mitteln zum Entfernen des MeB-Vorgehen führt jedoch nicht zu einer zuverlässigen 60 fühlers aus dem Einflußbereich eines Meß- oder Absoluimev.iiiirj, weil es praktisch nicht möglich ist, Eichobjektes, dadurch gekennzeichnet, daß beiden Nullpunktvcrschielningcn während der Mc sung ab- Stromkreisen unabhängig vom Fühler wirkende Abzugleichen, {»leiehelemente zur Veränderung ihrer Ausgangsgröße! Meßlchrcn mit induktivem Differcnli.ilpebcr ßcn zugeordnet sind und daß der eine Stromkreis ist es auch bekannt, eine Kompensationsschaltung 6g von dem ihm zugeordneten Abglcichclcmcnt abschaltvorzusuhcn, die den Einfluß von Tcrnperalurschwan- bar und an einen fest eingestellten Rcfcrcn/stromkuiigen niisflcichcM soll (deutsche Auslcj'.eschrift kreis zur vorgegebenen Beeinflussung seiner Aus-1OI5M4). Es isl jedoch außerordentlich schwierig, gangsgröße umschaltbar ist.

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Wie bereits erwähnt, liegt ein erheblicher Vorteil Schaltungsteilen verbunden ist, Das Gehäuse de darin, UoIi das erfindungsgemöße Abgleichverfahren Aggregats IO weist eine Büchse Il mit federnciet einen einfachen und Uiiher beliebig nft durchfiihrba- Kugeln 12 auf, die bei aufgestecktem Aggregat art ren Nachabgleich und damit eine zuverlässige Abso- unleren, einwärts gewölbten Teil des Zenlrierbol/en! Iutmessung ermöglicht. Das setzt allerdings abgesc- s anliegen und damit das Aggregat auf dem Schlitten f hen von einem zuverlässigen Abgleich, beispielsweise sichern. Die Lage des Aggregat;» wird dabei in Ver Nullabgleich, auch eine Eichung voraus. Die Erfin- tikalrichtung durch die Auflage von Anschlagstifter dung gibt daher auch ein besondere» Verfahren und 13 bestimmt. Das Aggregat ist fc.ner durch da! eine besondere Vorrichtung zur Erleichterung und Eingreifen eines Bolzens 14 in das Langloch 9 μι. Vereinfachung des Abgleiches und dt:r Eichung, kurz, io sichert. Im Gehäuse des Meßaggregats 10 ist eint zur Vorbeicitung des Dickenmeßgerätes zur Mes- Hülse 15 axial verschiebbar und wird durch eint. Hing an. Druckfeder 16 nach links in die dargestellte End-Die Eichung und der Nullabgleich erfolgen bisher lage gebracht und dort gehalten, wenn keine Kräfu mittels präziser Muster von Mtliobjtkten oder Eich- aut ihre Stirnseite 17 wirken. Die Endlagen der Hülse Objekten, deren Beschaffung und Lagerhaltung für 15 ϋίϊ werden durch einen Stift Iß bestimmt, der in einen verschiedenste Arten und Dimensionen von Meß- Schlitz der Hülse eingreift. An der Stirnseite 17 der Objekten nachteilig ist. Zur Vornahme des Nullab- Hülse 15 ist der eigentliche Fühler, im vorliegenden gleichs und der Eichung für verschiedenartige zu Falle eine nicht dargestellte McUspuIe angebracht, prüfende Objekte müssen verschiedene Eichobjekte Die dieses Ende der Hülse 15 umgebende ringartige verwendet werden. Die Meß- oder Eichobjekte müs- 20 Erweiterung 19 des Gehäuses des Aggregats 10 weist sen den tatsächlich zu prüfenden Objekten genau ent- eine diametral durchgehende /,rismatische Nut20 auf, sprechen, d. h., sie müssen auf einem bestimmten me- die der Zentrierung eines MeiJohjektes bezüglich des tallischen Kern Isolationsschichten besf.nmter, genau Meüaggregats dient,
eingehaltener Dicke aufweisen. Am einen Ende des Gerälcgehäuse« 1 sind zwei

Durch die Erfindung wurden auch diese Nachteile 25 Stützen 21 befestigt, die durch einen Halter 22 mitbehoben und die Eichung sowie der Nullabgleich einander verbunden sind. Der Halter weist eine zugleich vereinfacht und wesentlich vielseitiger ge- prismatische Nut auf, die zum Einlegen eines Eichstaltet. Es ist damit möglich, einfache, preisgünstige oder Meßobjekts 23 dient. Das Eich- oder Meßobjekt Meßeinrichtungen mit einer genauen, vielseitigen wird durch Bänder 24 gehalfen, deren eines Ende je Eichvorrichtung auszurüsten. Dies wird erreicht 30 im Inneren einer Stütze 21 mit einer SpannfcJer25 durcli mindestens einen einstellbaren Träger mit verbunden ist und die durch Bandsperren 26 am einem Meßwerk zur Ermittlung der Stellung bzw. oberen Stützende geführt sind. Durch diese Banddes Verstellweges des Trägers und mindestens einen sperren 26 können die Bänder beliebig nachgezogen dem Träger zugeordneten Halter, wobei Träger und und gespannt und dann festgeklemmt werden.
Halter zur Aufnahme mindestens eines Meßaggregats 35 Fig. 2 zeigt die zum Verständnis wesentlichen mit Meßfühlern bzw. eines Meß- oder Eichobjektes elektronischen Einrichtungsteile. Der Schlitten 5, die ausgebildet sind. Wie unten eingehender erläutert Sp.ndcl 6, das Meßaggregat 10 und das Eich- oder wird, gestattet nun diese Einrichtung von Fail zu Meßobjekt 23 sind in dieser Figur scherr atiscli darge-FnIl die genaue Einstellung eines bestimmten gegen- stellt, im Meßaggregat ist ein Meßoszillator unterseitigen Abstands zwischen Meßaggregat und Eich- 40 gebracht, dessen Frequenz/, durch die Meßspule objekt zwecks Eichung bzw. Nullabgleich. Als mitbestimmt w.rd unü somit je nach der Beein-Eichob-ekte können blanke Metallteile, z. B. Leiter flussung der Spule durch metallische Teile verändert von Kabeln, verwendet werden. wird. Diese Meßfrequenz Z₁ wird \im einer Misch-

Im folgenden wird die Erfindung an Hand eines stufe 27 zugeführt und dort nit der Vergleichs-

Ausführungsbeispieles näher erläutert. 45 frequenz /₂ eines Oszillators 28 überlagert. Eine

F i g. 1 zeigt die Einrichtung in Seitenansicht, teil- durch einen in der Empfindlichkeit stufenweise einwebe im Schnitt, und stellbaren Diskriminator erzeugte Gleichspannung

F i g. 2 zeigt schematisch die dem Abgleich, der wird von einem Meßinstrument 29 angezeigt. Die

Eichung und Messung dienenden elektrischen Ein- Empfindlichkeit der Anzeige knnn mitte s eines

richtungsieile. 50 schematisch angedeuteten Potentiometers 30 fein ein-

Beim Dickenmeßgerät nach Fig. I ist auf dem gestellt werden. Die Frequenz/, des im Meßaggre^at

Gehäuse 1, in welchem sich die elektronischen Teile 11 untergebrachten Meßoszillators kann mittels eines

befinden, ein als Montagebnsis dienendes Flacheisen 2 Potentiometers 34 verändert werden. Die Betätigung

mit einem Längsschlitz angebracht. Auf dem Flach- des Potentiometers für den 0-Abg'eich 34 erfolgt

eisen 2 ist mittels einer Exzenter-Spannvorrichtung 55 vorzugsweise über einen Regelverstärkcr 35 tint! cncn

der Unterteil 3 einer Schlittenführung 4 befestigt. Auf Scr» ^motor 31». Die Beeinflussung des V-.?n-lc^:chs-

der Führung 4 ist ein Schlitten S mittels einer Oszillators 28, z. B. mittels einer Kapazitätsdiode,

Spindel 6 länpsvcrschiebbar anfeordnet. In c'er bei erfolgt über einen Umschalter 37, wahlweise mittels

Werkzeugmaschinen üblichen Weise dient eine an eines fest eingestellten Potentials, das durch Ma:-.ss 39

der Spindel bzw. an der Schlittenführung angebrachte 60 angedeutet ist, oder mit einem variablen Potential

Skala 6 a der Ermittlung der genauen Einstellung des über ein Potentiometer 38.

Schlittens5. Fig. I zeigt dus Meßaggregat in einem bestimmten

Der Schlitten 5 ist an der Oberseite mit einem Abstand vom F.ichobjekt 23. Dieses Eichohjckl bc-

bombicrten Zentrierbolzen 7 und einem Zentrier- steht aus einem Material, dessen Form und elck-

auge S mit Langloch P versehen. Auf die als Zentrier- 65 trische Eigenschaften dein Mctallteil eines nachträg-

u π el Haltcorgane dienenden Teile 7 und 8 ist ein lieh zu messenden Meßobjekts entsprechen. Ist

Meßaggrejiiit 10 aufgesteckt, das durch ein flexibles beispielsweise anschließend ein Kabel zu messen, so

Kabel mit den im Gehäuse 1 untergebrachten wird als Eichobiekt ein KiiDferzvlinder verwendet.

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dessen Durchmesser demjenigen des Leiters des zu disch umladbaren Meßkondensator aufweist, wobei

messenden Kabels entspricht. An Stelle eines vollen die Steilheit der Kennlinie durch wahlweise Einschal-

Zylitidcrs kann auch ein Rohr genügender Wand- lung von Meßkondensatören verschiedener Größe

stärke verwendet werden, das elektrisch gleich auf einstellbar ist. Eine Peineinstellung der Meßempfind-

die Mcßspulc einwirkt. 5 lichkeit kann außerdem beispielsweise mittels eines

Es wird angenommen, für die Einstellung befinde dem Meßinstrument parallelgesehalteten Potenio-

sich die Meßspule des Meßaggregats 10 vollständig meters erfolgen.

außerhalb des Einflußbereiches des Eichobjekts 23. Für die Messung bleibt der Schaller 37 an den Ab-

Es wird nun über die Servosteuerung 35,36 und das griff des Potentiometers 38 umgelegt, so daß das

Potentiometer34 die Frequenz/, des Meßoszillators io Instrument für Solldicke der geprüften Schicht Null

so eingestellt, daß das Instrument 29 Null anzeigt. und für jede Abweichung einen entsprechender! posi-

Anschließcnd wird eine Meßeinstellung vorge- tiven oder negativen Ausschlag anzeigt. Während der

nommcn, indem das auf dem Schlitten 5 montierte Messung ist ein periodischer einfacher Nullabgleich

McLlaggregat 10 dem Eichobjekt 23 auf Solldicke an- möglich, indem der Schalter 37 an Masse 39 umge-

genähert wird, d. h., die Stirnfläche 17 wird auf einen 15 legt und das Meßaggregat vorübergehend ganz aus

Abstand von Solldicke an die Oberfläche des als dem Einflußbereich des Meßobjekts entfernt wird.

Eichobjekt dienenden Metallzylinders 23 angenähert. Mittels des Potentiometers 34 erfolgt der Nullabgleich

Es erfolgt dabei eine Beeinflussung des Meß- automatisch in kurzer Zeit, worauf nach Umlegen

Oszillators bzw. seiner Frequenz /,. Diese Frequenz- des Schalters 37 und Anlegen des Meßaggregats 10

änderung wird nun bei umgelegtem Schalter 37 durch ao gegen das Meßobjekt die Messung weitergehen kann

Einstellung des Potentiometers 38 kompensiert durch Versuche haben bestätigt, daß eine Nachstellung de¹

eine entsprechende Verschiebung von /₂ derart, daß Nullabglcichs in dem Ausgangszustand der Anlagt

das Instrument wiederum Null anzeigt. Es ist damit auch für die Meßeinstellung bei umgelegtem Schallei

sowohl ein Mcßabglcich auf Null bei Einstellung des 37 korrekt ist. Die Änderung der Vergleichsfrequen/

Meßiegregats auf Solldicke als auch ein Referenz- as /_ä bei Umschaltung des Schalters 37 soll hierbei kon

abgleich auf Null bei vollständig außerhalb des Ein- stant seiti.

fluss.es des Eichobjekts befindlichem Meßaggregat Natürlich können die dargestellten Einrichtungci

vorgenommen. Es wird unten noch erläutert, daß für verschiedenste Meßanlagen angewendet werden

im folgenden während der Messung der Referenz- Die Einrichtung nach Fig. I, wo das Meßaggrega

abgleich den Mcßabglcich ersetzen kann bzw. dem- 30 wepnchmbar auf der. Schlitten S aufsteckbar ist. cig

selivn äquivalent ist. net sich besonders für eine Anlage, bei welcher da·

1st der Abgleich vorgenommen, so fährt man mit Meßaggregnt ohnehin frei beweglich angeordnet ist

dem Meßapprcgat um eine weitere passend zu Bei Anlagen mit fest eingebautem Meßaggreaat kam

wählende Strecke vom Eichobjekt weg, z. B. um 1 mm. es vorteilhafter sein, den Halter für das Eichobjek

Für diese Verstellung zeigt das Instrument 29 einen 35 als Schlitten auszubilden, der mittels einci Meßspin

Melluert an. Durch Verstellung der Empfindlichkeit del gegen das Meßaggregnt angenähert werden kann

des Instruments wird jetzt der Ausschlag des Instru- Die Reihenfolge von Me&abglcich und Relcren.

ments auf einen Wert gebracht, der in einem ein- abgleich bei Vorbereitung des Gerätes kann gegebe

fachen Verhältnis zur zuletzt vorgenommenen Ver- ncnfalls umgekehrt werden, indem vorerst bei au

stellung sieht. Man wird z. B. für die vorgenommene 40 Sollschichtdicke an das Mcßobjekt angelegtem McLi

Verseilung um 1 mm einen Ausschlag von 10 Skalen- aggregat 10 und Schalter 37 an Ma«.se 39 ein Meß

leitungen einstellen, so daß eine Skalenteilung0.1 mm abgleich \orgenommen wird, worauf bei umgelegten

(ibcrdiikc oder l'ntcrdicke des geprüften Objekts Schalter 37 und aus dem Einfluß jedes Metallobjckt

ent priiht. entferntem Meßaggregat 10 der Referenzabgleich mit

Damit ist die Einrichtung für die Messung vorbe- 45 tels des Potentiometers38 vorgenommen wird. Ir

reitet. Das Meßaggrcpat 10 kann nun von seinem jedem Falle geht es darum, je einen Abgleich de

Träger, nämlich dem Schlitten 5, abgehoben werden Oszillatoren 10. 28 für verschiedene Zustände vorzu

und mit seinem Prisma 20 gegen ein zu prüfendes nehmen, wobei man aber davon ausgehen dar^r wii

Objekt, z. B.. ein Kabel, angelegt werden. Die Stirn- gezeigt wurde, daß der Nnchgleich im einen Zustan;

fläche 17 wird dabei auf dem Kabel aufliegen, und die 50 einem Nachglcich im anderen Zustand, d.h. untc

Hülse 15 mit den eigentlichen Meßelcmenten wird den Meßverhältnissen gleichkommt.

1!CiXn den Druck der Feder 16 etwas zurückgcscho- Es ist auch denkbar, die Kompensation der Frc

bc:i. bis das Meßobjckl im Prisma 20 aufliegt. Das qucnzändcning im Meßoszillator beim Übergang voi

Instrument 29 zeigt nun die Abweichung der Schicht- der McßstcMung zur Rcfcrcnz-Abglcichstcllun dicke von der Sollschichtdickc an, und durch Vcr- 55 außerhalb des Einflußbereiches von Metallteilen au

ändern der Lage des Meßagercgats am Meßobjekt andere Weise vorzunehmen. Statt den Vergleichs

kann olme weiteres ermittelt werden, ob die Schicht- oszillator 28 hierbei durch Umschaltung zu bccinflus

dicke überall, insbesondere am ganzen Umfang, gleich sen, könnte der Mcßoszillator 10 durch entsprechend

uml richtig sei. Lvcnluell erforderliche Korrekturen Umschaltung vom Abgriff des Abglcichpotcmio

an einer Produktionsanlage können unverzüglich vor- 60 meters 34 an ein Referenzpotential so beeinflußt wer

genommen werden. den. daß seine Frequenz bei unbeeinflußter Meß

I s bestehen zwei Möglichkeiten der Empfindlich- spule praktisch gleich ist wie beim Mcßabglcich Ii

kcitscinstcllung. Die Steilheit oder Empfindlichkeit diesem Falle würde wiederum der eine Abglcicl des Diskriminator kann verändert und den Gegeben- durch Einwirkung auf den Meßoszillator und de

heilen so angepaßt werden, daß im praktisch linearen 65 andere Abgleich durch Einwirkung auf den Ver Bereich des Diskriminator gearbeitet wird. Vor- fleichsoszillator vorgenommen Zum Refcrcnzab z.ucswcisc wird ein Diskriminator verwendet, der gleich würde der Meßoszillalor mit unbeeinflußter einen der fJbcrlagcrungsfrequcnz entsprechend pcrio- Meßfühler durch ein fest eingestelltes Potcntiil be

1Qfi?

Claims (19)

jinflußt, und der Vefglciciisoszillator würde mittels des Potentiometers 38, mit dem er ständig verbunden bleibt, nachgestimmt. Zum Meßabgleich würde nun der Mcßoszillator durch das Potentiometer 34 abgeglichen, während der Vergleichsoszillator unveränilert bleibt. In diesem Falle würde mit Vorteil das Potentiometer 38 zum automatischen Refercnz-Nullabglckh mit Servosteuerung verseilen. Man kann aber ;uich für beide Abgleichpotentiometer Servosteuerung vorsehen. Die Hrfindung ist nicht auf die nls bevorzugtes Ausfiihrungsbeispiel beschriebene Dickcnmeßvorrichlung mit frequcn/modulierter Meßgröße beschränkt, sondern kann entsprechend auch bei amplitudenmodulierter Meßgröße angewendet werden, wo entweder die Amplitude des Meßsignals oder aber ein demoduliertes Signal und ein entsprechendes Verßleichssignal beeinflußt werden könnte. ao Patentansprüche:

1. Verfahren zum Abgl „-ichen eines Dickenrneßgcrälcs, bei dem während der Messung ein elektrischer Meßfühler, z. B. eine von Wechselstrom as durchflossene Spule, vom Meßobjekt nach Maßgabe einer Schichtdicke beeinflußt wird, wobei die vom Meßfühler erfaßte elektrische Meßgröße in einer Vergleichsschaltung mit einer entspre-.hendcn Vergleichsgröße verglichen und in einem Anzeigeinstrument die Differenz der beiden Größen als Maß für die Schichtdicke abgelesen wird, dadurch gekennzeichnet, daß vor Beginn der Messung sowohl ein Rel'erenzabglcich vorgenommen wird, indem der Meßfühler (17) des Meßstromkreises (10) außerhalb des Einflußbereiches des Objekts (23) gebracht und die Meßgröße (Z₁) durch Nachregelung eines variablen Schaltelementes, z. B. eines F'otentiometers (34), bis zur Anzeige eines vorbestimmten Maßes zum Abgleich mit der durch fest vorgegebene Umschaltung (Potential 39) auf einen Referenzwert gebrachten Vergleichsgröße (/₂) gebracht wird oder daß umgekehrt die Vergleichsgröße (/.,) bei durch fest vorgegebene Umschaltung auf einen Referenzwert gebrachter Meßgröße (/,) zum Abgleich gebracht wird, als auch ein Meßabgleich vorgenommen wird, indem der Meßfühler (17) des Meßstromkreises (10) dem Objekt (23) zur Messung von Solldicke angenähert wird und die 5·> lieh hierbei einstellende Meßgröße (/,) bis zur Anzeige eines vorbestimmten Maßes zum Abgleich mit der Vergleichsgröße (/.,) durch Nachfcgclung eines die Vergleichsgröße (/₂) beeinflussendem bzw. variablen Schaltelementes, z. B. Potentiometers (38), gebracht wird bzw. umgekehrt die Meßgröße (/,) mittels eines variablen Schaltelementes, z. B. Potentiometers (34), nachgcrcgclt wird, und daß während der Messung Wiederholt ein Referenzabgleich bei kurzzeitigem Entfernen des Meßfühlers (17) aus dem Einflußbereich des Objektes (23) vorgenommen wird.

2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß Meßabgleich und Rcfcrenzabglcich als Nullabgleich durchgeführt werden, indem die Anzeige des Anzeigeinstrumentes (29) jeweils auf Null gebracht wird.

3. Verfahren nach Anspruch 1 oder 2, dadurch

gekennzeichnet, daß die beiden Abgleichvorgänge: mittels eines besonderen Eichobjekts (13) vorgenommen werden, wobei der Meßfühler (17) oder das iBichobjelit (23) auf einem Träger angeordnet ist, wobei durch Verstellung des Trägers der Meßiühler (VH) aus dem Bereich des Eichobjekts (23> entfernt und der Referenzabgleieh vorgenommen Wird, worauf der Meßfühler entsprechend der Soll-Schichtdicke eingestellt und der Meßabgleich vorgenommen wird, und daß schließlich eine einei- bestimmten, an einem Meßwerk des Trägers ablesbaren Eich-Schichtdicke entsprechende Lage eingestellt, und die Anzeige geeicht wird.

4. Verfahren nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß ein homogenes Eichobjekt (23) verwendet wird, gegen welches das Meßaggregat auf Soll-Schichtdicke bzw. Eich-Schichtdickc angenähert wird.

5. Verfahren nach Anspruch 3 oder 4, dadurch gekennzeichnet, daß ein bewegliches Hand-Meßaggregat (10) zum Referenzabgleich. Meßabgleich und zur Eichung auf den Träger (5) aufgesetzt und nach erfolgter Eichung abgehoben und in Meßstellung gebracht wird.

6. Einrichtung an einem Dickenmeßgerät zur Durchführung des Verfahrens nach Anspruch 1 bis !?, mit einem dem Meßfühler zugeordneten Meßstromkreis und einem Vergleichsstromkreis sowie einer Vergleichsschaltung mit Meßausgang, und mit Mitteln zum Entfernen des Meßfühlers aus dem Einflußbereich eines Meß- oder Eichobjekts, dadurch gekennzeichnet, daß beiden Stromkreisen (10, 28) unabhängig vom Fühler wirkende Abgleichelemente (34, 38) zur Veränderung ihrer Ausgangsgrößen zugeordnet sind, und daß der eine Stromkreis (28 oder 10) von dem ihm zugeordneten Abgleichelement (38 bzw. 34) abschaltbar und an einen fest eingestellten Refe-I rerizstromkreis (39) zur vorgegebenen Beeinflus-| sung seiner Ausgangsgröße umschaltbar ist.

7. Einrichtung nach Anspruch 6, dadurch ge-l kennzeichnet, daß der Referen7<;t romkreis (39)| dem Vergleichsstromkreis (28) zugeordnet ist.

8. Einrichtung nach Anspruch 7, mit einem| Meßoszillator und einem Vergleichsoszillator deren Frequenzen zur Bildung des Meßwertes überlagert werden, gekennzeichnet durch Abgleichelemente (34, 38) zur Verschiebung beidei Frequenzen unabhängig von einem Meß- odei Eichobjekt, wobei der Verglcichsoszillator (28' wahlweise über einen variablen Stromkreis (38' und einen fest eingestellten Referenzkreis (39) be cinflußbar ist.

9. Einrichtung nach einem der Ansprüche d bis 8, gekennzeichnet durch eine Servosteuerung (35, 36) für die dem einen oder anderen ode beiden Stromkreisen (10, 28) zugeordneten Ab glcichclemente (34, 38).

10. Einrichtung nach Anspruch 8 oder 9, da durch gekennzeichnet, daß als Abgleichelement Potentiometer (34, 38) vorhanden sind, die mi Kapazitätsdioden zur Änderung der Oszillator frequenzcn verbunden sind, wobei die Kapazi tätsdiodc des Verglcichsoszillators (28) wahlwcis mit dem zugeordneten Potentiometer (38) ode mit einem fest eingestellten Stromkreis (39) vci bindbar ist.

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11. Einrichtung nach einem der Ansprüche 6 bis 10, gekennzeichnet durch mindestens einen einstellbaren Träger (5) mit einem Meßwerk (6, 6 a) zur Ermittlung der Stellung bzw. des Verstellweges des Trägers [S), und mindestens einen S dem Träger zugeordneten Halter (22), wobei Träger und Halter zur Aufnahme mindestens eines Meßaggregats (10) mit MeCifühler (17) bzw. eines Meß- öder Eichobjekts (23) ausgebildet sind. ίο

12. Einrichtung nach Anspruch II, dadurch gekennzeichnet, daß der Träger als Schlitten (S) mit Verstell- und Meßspindel (6) ausgebildet ist.

13. Einrichtung nach Anspruch 11 oder 12, dadurch gekennzeichnet, daß das Meßaggregat (10) in bestimmter Lage auf den Träger (S) aufsetzbar ist.

14. Einrichtung nach Anspruch 13, gekennzeichnet durch eine Steckverbindung (? bis 9, 11 ao bis 14) zwischen Meßaggregat (10) und Träger (5).

15. Einrichtung nach Anspruch 12, dadurch gekennzeichnet, daß der Spindelstock (4) des Schlittens (5) in Verstellrichtung des Schlittens (5) as verschiebbar und in beliebiger Lage feststen* bar ist.

16. Einrichtung nach einem der Ansprüche 1 ί bis 15, dadurch gekennzeichnet, daß der Halter (22) ein Prisma aufweist, und daß Haltemittel, z. B. federbelastete Bänder (24), zum Sichern eines Meß- oder Eichobjekts (23) irr< Prisma vorgesehrn sind.

17. Einrichtung nach einem der Ansprüche 6 bis 16, dadurch gekennzeichnet, daß Mittel (30) zur Empfindlichkeitseinstellung der Anzeige vorgesehen sind.

18. Einrichtung nach Anspruch 17, wobei mindestens eine Meßfrequenz mit einer Vergleichsfrequenz überlagert und die Überlagerungs frequenz einem Diskriminator zugeführt wird, da durch gekennzeichnet, daß die Meßfrequenz ode Vergleichsfrequenz zwecks Nullabgleich ver änderbar ist und daß die Steilheit der Diskrimi natorkennlinie veränderbar ist.

19. Einrichtung nach Anspruch 18, wobei de Diskriminator einen periodisch umladbarei Meßkondensator aufweist, dadurch gekennzeich net, daß Meßkondensatoren verschiedener Groß' wahlweise einschaltbar sind.

Hierzu 1 Blatt Zeichnungen