DE1906816A1

DE1906816A1 - Halbleitergesteuerte Gleichrichtervorrichtung mit verbesserten Schalteigenschaften

Info

Publication number: DE1906816A1
Application number: DE19691906816
Authority: DE
Inventors: Shuzo Saeki
Original assignee: Tokyo Shibaura Electric Co Ltd
Current assignee: Toshiba Corp
Priority date: 1968-02-13
Filing date: 1969-02-12
Publication date: 1969-09-18
Also published as: NL6902237A; DE1906816C3; JPS473536Y1; FR2001834A1; DE1906816B2; SE354744B

Description

PATENTINGENIEURE F.W. HEMMERICH . GERD MÖLLER. D. GROSSE 21

4DOSSEIDORFIO-HOMBERGERSTRASSEs ic bh

Ib /

₈/₂. ₁₉₆₉

-El-

Tpkyo Shibaura Electric Co, Ltd.. Kawasaki-shi/Japan

Titel: Halbleitergesteuerte Gleichrichtervorrichtung mit verbesserten Schalteigenschaften

Die hier vorliegende Erfindung befaßt sich mit einer Halbleiterschaltvorrichtung, welche als Mehrschichten-Halbleiterelement mit drei Elektroden ausgeführt ist. Die hier vorliegende Erfindung befaßt sich insbesondere aber mit einer halbleitergesteuerten Gleichrichtervorrichtungen mit verbesserten Schalteigenschaften.

Zu einem typischen siliziumgesteuerten Gleichrichter (SCR) gehört ein Schichtkörper aus Halbleitermaterial oder aus Silizium, welcher aus vier unterschiedlichen und bestimmten Schichten besteht, wobei die einander benachbarten Schichten jeweils eine verschiedenartige Leitfähigkeit oder eine verschiedenartige Durchlaßrichtung aufweisen und somit drei hintereinanderliegende PN-Verbindungen oder PN-Schichten aufweisen. Zum siliziumgesteuerten Gleichrichter gehören weiterhin zwei Elektroden, (die sogenannte Anodenelektrode und die sogenannte Kathodenelektrode), welche den geschalteten Strom zu leiten haben und jeweils mit den Endschichten des bereits erwähnten Schichtkörpers leitend verbunden sind. Zum siliziumgesteuerten Gleichrichter gehört aber auch eine Steuerelektrode, (eine sogenannte Gitterelektrode), welche einer Schicht verbunden ist, die der Kathodenschicht benachbart ist.

Zu den heute vorgeschlagenen Gleichrichtervorrichtungen gehören sogenannte Mehrfachgitter-Gleichrichter, welche derart ausgeführt sind, daß auf einer Gitterschicht eine Reihe von Gitterelektroden derart in einem bestimmten

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Abstand zueinander angeordnet ist, so daß wahrend des Einschaltvorganges es an mehreren Stellen zu einem Zündvorgang kommt. Zu den heute vorgeschlagenen Gleichrichtervorrichtungen gehört aber auch die Feldzündungsausführung oder (FI-Ausführung), bei welcher neben der Kathodeneleletrode auf der Kathodenschicht .noch eine andere Elektrode vorgesehen ist, welche der Gitterelektrode benachbart ist.

Bei der zuerst genannten Ausführung eines Gleichrichters waren eine Reihe von Gitcerelektroden derart parallelgeschaltet, daß der Gitterstxom, durch welchen die Git-

^ tersignale oder Schaltsignale aufgeschaltet wurden, gegenüber dem Güterstrom einer Ausführung mit nur einer Elektrode einen beträchtlich höheren Wert aufwies, wobei dieser vorerwähnte höhere Wert dann gleich ungefähr dem Gitterstrom multipliziert mit der Anzahl der Gitterelektroden war. Die verschiedenen Teile der mit mehreren Gitterelektroden versehenen Gitterschicht zeigten zudem auch unterschiedliche Empfindlichkeiten und verschiedenartige Gitterwiderstände, so daß der Gittexstrom einen sehr hohen Scheitelwert haben und diesen Scheitelwert auch in sehr kurzer Zeit erreicnen mußte, damit alle Gitterelektroden und die jeweiligen Gittexteile in der gleichen Zeit geschaltet und gezündet werden konnten. Dazu war aber eine

P spezielle Stromquelle erforderlich, welche einen den vorerwähnten Bedingungen entsprechenden Gitterstrom liefern konnte. Eine solche Stromquelle war jedoch nur sehr schwer zu konstruierten. Besonders dann, wenn ein Transformator als Stromquelle für den Gitterstrom Verwendung finden sollte, war es schwierig, den Transformator derart auszulegen ,

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daß dieser Transformator einen Gitterstrom lieferte, welcher den vorerwähnten Bedingungen entsprach. Selbst dann, wenn es möglich ware, einen derartigen Transformator zu konstruieren oder herstellen zu können, wäre ein derartiger Transformator sehr undhandlich, was dann wiederum die Abmessungen der Gleichrichtervorrichtung und konsequenterweise auch höhere Kosten verursacht oder herbeigeführt hätte.

Wäre eine größere Anzahl von separaten Elektroden der Kathodenschicht der zuletzt genannten Gleichrichtervorrichtung in einer verbesserten Anordnung zugeordnet worden, hätte sie eine ringförmige Elektrode, welche ringsum die Kathodenelektrode angeordnet ware, dann könnte sie möglicherweise den größeren Anstieg des Aufschaltstromes oder des Verhältnisses di/dt aushalten. Dadurch würde aber die Zone der Gitterelektrode verkleinert, was dann wiederum eine Verkleinerung der wirksamen Kathodenschicht, damit aber auch eine Verringerung der Stromleistung des Halbleiterelementes j zur Folge hätte.

Bei dem in den Rahmen der hier vorliegenden Erfindung fallenden halbleitergesteuerten Gleichrichter ist auf der Kathodenschicht eine zusätzliche Kathodenelektrode angeordnet, und zwar an einer Stelle der Kathodenschicht, welche der Gitter-Hauptelektrode benachbart ist. Für diese zusätzliche Kathodenelektrode ist nur eine relativ kleine Zone erforderlicn. Bei dem halbleitergesteuerten Gleichrichter der hier vorliegenden Erfindung ist weiterhin eine zusätzliche Gitterelektrode mit der bereits genannten zusätzlichen Kathodenelektrode elektr© sch verbunden, wobei diese Gitterelektrode in einer ähnlichen Weise auf

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der bereits erwähnten Gitterschicht angeordnet ist und dadurch zur gleichen Zeit an mehreren Punkten eine Zündung herbeizuführen, daß das der Gitter-Hauptelektrode aufgeschaltete Gittersignal durch die zusätzliche Kathodenelektrode und durch die zusätzliche Gitterelektrode weiterhin geleitet wird und auf diese Weise dem Steigen des Aufschaltstromes oder dem Verhältnis di/dt einen Widerstand entgegensetzt, ohne daß dabei die Stromleistung der Halbleitervorrichtung verringert wird.

Bei einer Ausführung des Erfindungsgegenstandes ist eine halbleitergesteuerte Gleichrichtervorrichtung vorgesehen, welche sich wie folgt zusammensetzt: aus einem aus mindestens vier hintereinanderliegenden Schichten bestehenden Halbleiter-Schichtkörper, wobei die benachbarten Schichten dieses Schichtkörpers unterschiedliche Leitfähigkeiten oder unterschiedliche Durchlaßrichtungen aufweisen; aus einer ersten Elektrode und aus einer zweiten Elektrode, wobei je eine Elektrode jeweils auf eine der Außenschichten des Halbleiter-Schichtkörpers aufgesetzt ist; sowie aus einer Steuerelektrode, welche auf einer Schicht angeordnet ist, die jener Schicht, welche die erste Elektrode enthält, benachbart ist. Der Erfindungsgegenstand und seine Ausführung dadurch gekennzeichnet, daß die erste Elektrodengruppe aus einer ersten Hauptelektrode und aus einer ersten zusätzlichen Elektrode gebildet wird, daß diese beiden Elektroden auf der Außenschicht in einem bestimmten Abstand zueinander angeordnet sind, daß die Steuerelektrodengruppe aus einer Steu er-Hauptelektrode, diese in der Nähe der zusätzlichen ersten Elektrode angeordnet, und aus einer zusätzlichen Stueerelektrode besteht,

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welche zu der vorerwähnten Hauptelektrode in einem bestimmten Abstand angeordnet und der ersten Hauptelektrode benachbart ist; schließlich die zusätzliche erste Elektrode und die zusatzliche Steuerelektrode elektrisch minteinander verbunden sind.

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Die Ziele und Eigenschaften der hier vorliegenden Erfindung lassen sich am besten verstehen, wenn da-. daau die nachstehend gegebene Beschreibung und die dieser Patentanmeldung beiliegenden Zeichnungen zu Hilfe genommen werden. Im einzelnen ist:-

Fig. 1 die teilweise durchbrochen wiedergegebene Seitenansicht einer in den Rahmen der hier vorliegenden Erfindung fallenden Ausführung einer halbleitergesteuerten Gleichrichtervorrichtung, aus der die für diese Gleichrichtervorrichtung verwendete elektrische Schaltung zu erkennen ist.

™ rig. 2 ein Teil des mit rig. I wiedergegebenen

Gleichrichters in perspektivischer Darstellung.

Fig. 3 ein in perspektivischer Darstellung wiedergegebener Schnitt durch eine andere Ausführung des Erfindungsgegenstandes, auf der eine Reihe von aufmontierten zusätzlichen Gitterelektroden zu erkennen ist.

Fig. 4 eine Draufsicht auf eine wiederum andere Ausführung des Erfindungsgegenstandes. Auf dieser Figur ist eine ringförmige Elektrode zu erken-" nen, welche als zusätzliche Kathodenelektrode

und aucn als zusätzliche Gitterelektrode arbeitet.

Fig. 5 eine teilweise durchbrochen wiedergegebene Seitenansicht einer weiteren in den Rahmen der hier vorliegenden Erfindung fallenden Ausführung des Erfindungsgegenstandes, welche eine ringförmige

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- G 2 Kathoden-Hauptelektrode besitzt.

Fig. 6 eine wiederum andere Ausführung von einem Teil eines Halbleiterelementes in perspektivischer Darstellung. Zu erkennen sind zwei in einem bestimmten Abstand zueinander angeordnete Gitter-Hauptelektroden.

Eine in den Rahmen der hier vorliegenden Erfindung fallende Ausführung einer Gleichrichtervorrichtung soll nun unter Verweisung auf Fig. 1 und Fig. 2 beschrieben werden. Mit der Hinweiszahl IO ist immer der aus vier PNPN-Schichten bestehende säulenartige Schichtkörper gekennzeichnet. Zu diesem Halbleiter-Schichtkörper gehören die P-leitenden Diffusionsschichten 12 und 13, welche dadurch entstanden sind, daß ein N-leitendes Halbleiterplättchen 11 auf beiden Seiten einem gewöhnlichen Eindiffundierungsverfahren unterworfen wurde. Zur Eindiffundierung werden dabei Galliumstoffe als Fremdstoffe verwendet. Zu diesem Halbleiter-Schichtkörper gehören weiterhin eine N-leitende Schicht oder Kathodenschicht 14, welche in eine der P-leitenden Schichten oder in die Gitterzone 13 , mit Ausnahme von deren peripheren Teil, unter Anwendung des Gold-Antimon-Legierungsverfahrens eingearbeitet worden sind. Es sei darauf hingewiesen, daß der Halbleiter-Schichtkörper IO auch untc. r Verwendung anderer als der hier beschriebenen Methoden hergestellt werden kann, beispielsweise dadurch, daß die Kathodenschicht 14 unter Anwendung der Diffusionsmethode oder epitaxiale ^1Vlethode Verwendung findet. Der Halbleiter-Schichtkörper 10 kann bei Verwendung eines P-leitenden Halbleiterplättchens in der Anoxdnunq NPNP hergestellt werden. Auf der P-lei Lenden Anodenschicht 12 is L eoine zweite Elektrodenkonstruktion oder eine Anodenelektrode 15 montiert, auf

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die Kathodenschicht 14 ist eine erste Kathoden-Hauptelektrode 16 montiert, desgleichen auch eine zusätzliche Kathodenelektrode 17, welche beide eine erste Kathodenelektroden-Vorrichtung bilden, und auf die Git- ., terschicht 13 sind eine der Gittersteuerung dienende Hauptsteuerelektrode 18 und eine zusätzliche Steuerelektrode 19, die eine Steuerelektroden-Vorrichtung bilden, montiert. Alle diese Elektroden sind derartig montiert, daß eine elektrische Leitung besteht.

Bei der Herstellung der Elektroden findet das nachstehend angegebene Verfahren Anwendung, die Elektrodenherstellung braucht jedoch nicht notwendigerweise auf dieses Verfahren beschränkt zu bleiben. Die Anodenelektrode 15 wird unter Anwendung des Aufdampfverfahrens oder des Legierungsverfahrens hergestellt. Die Kathoden-Hauptelektrode 16 sowie die zusätzliche Kathodenelektrode 17 werden derart gefertigt, daß nach Herstellung der Kathodenschicht 14 unter Anwendung des Gold-Antimon-Legierungsverfahrens, eine auf der vorerwähnten Kathodenschicht 14 zurückbleibende kreisförmige Metallschicht durch einen geraden Schlitz in einen größeren und einen kleinen Teil unterteilt wird, wobei diese Teile dann in entsprechender Weise als Kathoden-Hauptelektrode 16 und als zusätzliche Kathodenelektrode 17 benutzt werdeb. Die Gitter-Hauptelektrode 18 wird unter Anwendung des Ultraschallverfah.-rens oder unter Anwendung von Hitze und Druck auf der Gitterschicht 13 an einer Stelle montiert, welche sich nahe der zusätzlichen Kathodenelektrode 17 befindet.Auch die zusätzliche Gitterelektrode 19 wird unter Anwendung der im Zusmannenhang mit der Hauptelektrode beschriebenen

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Verfahren auf der Gitcerschicht 13 montiert, und zwar an einer Stelle, welche von der Gitter-Hauptelektrode 18 sehr weit entfernt ist, nämlich an einer Stelle jenseits der Kathodenelektroden-Vorrichtung.

Die zusätzliche Kathodenelektrode 17 und die zusätzliche Stueerelektrode 19 werden unter Anwendung einer geeigneten Vorrichtung, beispielsweise einer Leitung 20, elektrisch miteinander verbunden. Zwischen die vorerwähnten beiden Elektroden kann eine Vorrichtung, beispielsweise ein Widerstand 21, welche einen bestimmten Widerstand hat geschaltet werden. Dieser Widerstand kann aucn durch eine andere Vorrichtung, beispielsweise einem Kondensator, herbeigeführt werden.

Nachstehend soll nun der in den Rahmen der hier vorliegende halbleitergesteuerte Gleichrichter, welcher in der vorerwähnten Weise konstruiert ist, in seiner Arbeitsweise beschrieben werden. Wird zwischen die Kathoden-Hauptelektrode und die Anodenelektrode eine vorbestimmte Spannung aufgeschaltet, wird zudem auch noch der Git^er-Hauptelektrode ein für das Einschalten oder das Zünden bestimmter Auslöseimpuls aufgeschaltet, dann beginnt der Einschaltvorgang oder der Zündvorgang zuerst in der mit der Hinweiszahl 22 gekennzeichneten Zone des der Gitter-Hauptelektrode benachbarten Kathodenbereiches. Dieser Einschaltvorgang oder Zündvorgang dehnt sich nach rechts hin bis unter die zusätzliche Kathodeneiektrode aus und verläuft dann weiter nach unten bis in die Kathodenschicht rechts unter der Kathoden-Hauptelektrode, und zwar solgnge, bis daß die ganze Halbleitervorrichtung gezündet und in den Leitzustand gebracht worden ist. Wenn sich der Einschaltvorgang oder Zündvorgang etwas nach rechts bis

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unter die zusätzliche Kathodenelektrode ausgedehnt hat, dann steigt das Potential dieser bereits erwähnten zusätzlichen Kathodenelektrode gegenüber dem der Kathoden-Hauptelektrode betrachtlich an, beisielsweise um einige Volt, an und verursacht, daß auch die mit ihr verbundene zusätzliche Gitterelektrode gegenüber der Kathoden-Haupcelektrode ein höheres Potential hat, was dann dazu führt, daß es zu einer Zündung auch von der Kathode aus kommt, welche der bereits genannten zusätzlichen Gitterelektrode benachbart ist.

^ Bei dem in den Rahmen der hier vorliegenden Erfindung fallenden Gleichrichter ist die Zündung oder der Einschaltvorgang deshalb nichc auf einen einzigen Konzentrationspunkt konzentriert, so daß wahrend dieses beginnenden Leitzustandes das kritische Verhältnis di/dt wesentlich erhöht wird. Darüber hinaus braucht bei diesem Gleichrichter eine gesonderte Stromquelle zur Bedienung der Gitterelektrode nicht mehr vorgesehen zu werden, desgleichen auch keine Stromquelle mehr, mittels der Steuerimpulse auf die Gitter-Hauptelektrode' geschaltet werden. Weiterhin braucht die Kathoden-Hauptelektrode auch nicht in der Abmessung verkleinert zu werden.

ψ Wenn auch die Einzelgitterelektrode für den in den Rahmen der hier vorliegenden Erfindung fallenden Gleichrichter der zuvor erwähnten Konstruktion genügt, so können zur Erhöhung des kritischen Verhältnisses di/dt doch auch' mehrere der vorerwähnten Gitcerelektroden vorgesehen werden.

Nachstehend soll nun eine Ausführung des Erfindungsgegenstandes unter Verweisung auf Fig. 3 beschrieben werden.

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In Fig, 3 erscheinende Hinweiszahlen, welche auch Teilen anderer Ausführungen des Erfindungsgegenstand entsprechein, sind mit den gleichen Hinweiszahlen gekennzeichnet und werden nicht mehr beschrieben,, Die scheibenförmige Kathodenschicht 30 des NPNP-Schichtkörpers 10 ist mit zehn Vorsprüngen versehen, welche sich in einem zur Peripherie des Schichtkörpers bestimmten Abstand radial erstrexcken. Auf der Gitterschicht 13 und in der Nähe von einem der vorerwähnten Vorsprünge der Kathodenschicht ist die Gitter-Hauptelektrode 18 unter Anwendung eines bekannten Verfahrens eingesetzt. Auf dem vorgenannten einem Vorsprung, welcher der Gitter-Hauptelektrode 13 gegenüberliegt, ist eine zusätzliche Kathodenelektrode 32 montiert. Dies gilt auch für jene Teile der Gitterschicht, welche den anderen Vorsprüngen näher liegen als dem vorerwähnten Vorsprung j diese Teile der Gitterschicht sind mit der zusätzlichen Gitterelektrode 33 versehen. Die zusätzliche Gitterelektrode 32 und die zusätzliche Kathodenelektrode 33 sind mittels der Leitung 34 elektrisch miteinander verbunden. Wenn auch diese Elektroden 32 und 33 aus aufgedampften Aluminium bestehen, so kann doch auch ein Draht an den erwähnten Punfcten 32 und 33 mit dem Halbleiterkörper verbunden werden, indem eine geeignete Befestigungsmethode Anwendung findet und der Draht derart in Windungen verlegt wird, daß Teile dieses Drahtes als die vorgenannten Elektroden 32 und 33 Verwendung finden.

Die nachstehend gegebene Beschreibung befaüt sich unter Verweisung auf Fig. 4 mit einer weiteren Ausführung des Erfindungsgegenstandes. Der NPNP-Schichtkörper 10 besitzt eine als kreisförmige Scheibe ausgeführte Kathodenschicht

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Auf diese Scheibe ist in koaxialer Weise eine Kathoden-Hauptelektrode 41 montiert. Diese Kathodenelektrode ist in Form einer kreisförmigen Scheibe ausgeführt, bei der ein Teil geradlinig abgeschnitten ist. Auf der Kathodenschicht und auf der Gitterschicht 13 ist eine gemeinsame ringförmige Elektrode aufgesetzt, welche sowohl als zusätzliche Kathodenelektrode als auch als zusätzliche Gitterelektrode dient. Die gemeinsame Elektrode 42 hat die Form eines Ringes, welcher sich teilweise linear erstreckt und geformt oust wie die kreisfSrmige Scheibe der zuvor erwähnten Kathodenelektrode 41, von der ein Teil, wie bereits zuvor erwähnt, geradlinig abgeschnitten ist. Der geradlinig abgeschnittene Teil der gemeinsamen Elektrode 42 liegt in einem vorgegebenen bestimmten Abstand dem geradlinig abgeschnittenen Teil der Kathodenelektrode 41 parallel gegenüber. Auf diese Weise ist der kleinere Teil der vorerwähnten ringförmigen Elektrode, in einem vorgeschriebenen bestimmten Abstand von der ersten Haupteleltrode 41 auf der Kathodensehicht angeordnet, während der größere Teil derart auf der Gitterschicht angeordnet ist, daß er die KathodenelektrodG 41 umgeben wird. An einer dich bei dem geradlinig abgeschnittenen Teil der ringförmigen Elektrode 42 ist eine Gitterelektrode 18 in die Gitterschicht 13 eingearbeitet. Bei der nach Fig, 4 ausgeführten Gleichrichtervorrichtung verursacht das der Gitter-Hauptelektrode 18 zugeführte Gittersignal, daß der geradlinig abgeschnittene Teil der Ringelektrode 42 auf der Kathodensehicht 40 sowie der kreisfSrmig ausgeführte Teil auf der Gitterschicht 13 zur gleichen Zeit eingeschaltet und gezündet werden, dag aber bedeutet, daß die Zündung plötzlich von der Peripherie der Kathoden-Hauptelektrode 41 vor sich geht.

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Die «lit Fig, 5 wiedergegebene Gleichrichtervorrichtung ist eine wiederum andere Ausführung des Erfindungsgegenstandes«, Sie besitzt eine ringförmige oder walnußförmige KatiioJenschicht 14. Auf die Gitterschicht 13 ist im Zentrum der vorerwähnten Kathodenschicht 14 eine zusatzliche Gitterelektrode 19 angebracht. Ansonsten hat die Ausführung ridcn Fig. 5 die gleiche Konstruktion wie die nach tu-]. 1, so daü deren Beschreibung weggelassen werden kann. Die Gleichrichtervorrichtung nach Fig. 5 ist eine modifizierte oder geänderte Konstruktion der bekannten Gleichricnterausführung mit Zentralgitter,, Vienn auch diese bekannte Ausführung für deren Leitzustand einen hohen Strom benötigt, so släß-t die Ausführung nach Fig. 5 doch zu, daß die in der Kathodenelektrode erzeugte Spannung auf die Gitterhilfselektrode 19 geschaltet wird, wodurch dann eine besondere Stromquelle nicht mehr vorgesehen zu werden braucht.

Eine weitere Ausführung des Erfindungsgegenstandes wird mit Fig. ό wiedergeben. Hier sind mehrere zusätzliche Kathodenelektroden (zwei sind wiedergegeben) 17 und 17* vorgesehen, welche jeweils mit mehreren zusätzlichen Gitterelektroden (zwei sind wiedergegeben) 19 und 19* verbunden sind₀ Die Gitter-Hauptelektroden 18 und 18* sind auf die Gitterzone montiert und elektrisch miteinander verbunden. Die zusätzlichen Gitterelektroden 19 und 19* sind auf einer Linie angeordnet, welche im rechten Winkel zu der liegt, welche die Gitter-Hauptelektroden 18 und 18* miteinander verbindet. Eine auf der Kathodenschicht 14 befindliche Metallschicht ist mittels

cd dreier gerader Schlitze in drei Teile unterteilt, welche

to eine Haupt-Kathodenelektrode 16 und .jeweils die bereits ^ erwähnten zusätzlichen Kathodenelektroden 17 und 17* bilden. Die zusätzlichen Kathodenelektroden 17 und 17' ο sind jeweils mit den zusätzlichen Gitterelektroden 19

^o und 19' elektrisch verbunden. Diese anordnung der Vor-

^rlChtUn9· ^er"'^8flUcht *· S_{tl krl}tl.c_hen

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Verhältnisses di/dt, DLe Anzahl der zusätzlLcnen Kathoa©nelektioden und die der zus-JtzlLehen GLtteieiektroden ist nicht auf zwei Paare beschränkt; je gröSer Ihre ^ähi, desto größer auch der Widerstand gegen di/dt.

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Claims

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1. Eine halbleitexgesteuerte Gleichrichtervorrichtung bestehend aus einem Halbleiterschichtkörper mit mindestens vier aufeinanderfolgenden Schichten, wobei benachbarten Schichten jeweils eine andere Leitfähigkeit oder Durchlaßrichtung haben, mit jeweils einer ersten und zweiten Elektrodenvorrichtung auf den beiden äußeren Schichten sowie mit einer Steuerelektrodenvoirichtung , welche auf der Schicht angeordnet ist, die der mit der ersten Elekttodenvorrichtung versehenen Schicht benachbart ist. Die halbleite rg es teuerte Gleichrichte!vorrichtung dadurch gekennzeichnet, daß

die erste Elektxodenvoxrichtung aus einex eisten Hauptelektrode und aus einex ersten Hilfselektrode besteht, welche in einem bestimmten Abstand zueinander auf der Außenschicht angeordnet sind; die Steuexelektrodenvoxxichtung aus einer Steuer-Hauptelektrode und aus einer Steuex-Hilfselektrode besteht, wobei die Steuer-Hauptelektrode in der Nähe der ersten Hilfselektrode angeordnet ist, wahrend sich die Steuexhilfselektxode, die zur vorerwähnten Hauptelektrode einen bestimmten Abstand hat, in der Nähe der ersten Hilfselektrode befindet; schließlich die erste Hilfselektrode und die Steuer-Hilfselektrode elektrisch miteinander verbunden sind.

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2. Eine Gleichrichtervorrichtung gemäß Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß

die erste Hilfselektrode und die Steuer-Hilfselektrode über eine Vorrichtung elektrisch miteinander verbunden sind, welche irgendeinen vorgeschriebenen Widerstand entwickelt.

3. Eine Gleichrichtervorrichtung gemäß Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß

die Steuerelektrodenvorrichtung aus einer Gruppe von mehreren Hilfselektroden besteht, welche in einem bestimmten Abstand zueinander derart angeordnet sind, ™ daß sie die erste Elektrodenvorrichtung umgeben und

miteinander elektrisch verbunden sind; schließlich eine Steuer-Hauptelektrode nahe der ersten" Hilfselektrode angeordnet ist_e

4. Eine Gleichrichtervorrichtung gemäß Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß

die erste Hilfselektrode und die Steuer-Hilfselektrode gemeinsam aus einer einzelnen Ringelektrode bestehen, deren kleinerer Teil sich auf der mit der ersten Hauptelektrode befindlichen Schicht - und zwar in einem vorgeschriebenen bestimmten Abstand von dieser fe ersten Hauptelektrode - befindet, während der größe

re Teil dieser Ringelektrode auf einer der vorerwähnten Schicht benanchbarten Schicht angeordnet ist, und zwar in einer Weise, daß er dine erste Hauptelektrode umringt.

5. Eine Gleichrichtervorrichtung gemäß Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß

die bereits erwähnte erste Hauptelektrode und die

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sich unter dieser Elektrode befindliche Schicht ringförmig ausgeführt sind; schließlich die bereits erwä hnte Steuerelektrode im Zentrum der ersten Außenschicht auf eine der ersten Schicht benachbarten Schicht montiert ist.

6. Eine Gleichrichtervorrichtung gemäß Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß

die bereits genannte Steuerelektrodenvorrichtung aus einer Gruppe von mehreren Steuer-Hilfselektroden besteht, welche elektrisch miteinander verbunden sind; schließlich die bereits erwähnte erste Elektrodenvorrichtung sich zusammensetzt aus einer ersten Hauptelektrode und aus einer Reihe von ersten Hilfselektroden, welche jeweils, zu der ersten Hauptelektrode und zu den anderen Hilfselektroden einen bestimmten Abstand haben und mit den bereits erwähnten Stejer Hilfselektroden elektrisch verbunden sind.

Ende

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