DE1807818B2 - Vorrichtung zur umwandlung von strahlung in elektrische energie - Google Patents

Description

Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zur Umwand lung von Strahlung in elektrische Energie, die ein« Batterie von strahlungsempfindlichen Halbleiterele menten enthält, die elektrisch miteinander verbündet und auf einem biegsamen Träger angebracht sind, de aus einer auf mindestens einer Seite metallisiem Oberflächenteile aufweisenden Folie elektrisch isolie renden Materials besteht.

Die Erfindung betrifft weiter ein Verfahren zui Herstellung einer solchen Vorrichtung.

Eine strahlungsempfindliche Vorrichtung dieser Ar ist bekannt aus der US-PS 29 62 539. Derartige Vorrichtungen werden z. B. zum Detektieren vor Strahlungsenergie oder zum Erzeugen elektrischei Leistung durch Umwandlung von Strahlungsenergie verwendet. Es kann sich dabei um elektromagnetische oder korpuskulare Strahlung handeln.

Die Erfindung ist besonders wichtig für Raumuntersu chungen. Es ist bekannt, daß die elektrische Energie füi den Betrieb der unterschiedlichen Instrumente eine! Satelliten oder eines ähnlichen Fahrzeugs für Raum zwecke zu einem großen Teil von Sonnenbatterier geliefert wird. Diese Batterien haben die Form vor flachen Tafeln oder gekrümmten Blättern, auf dener mehrere Hundert strahlungsempfindliche Elemente (ir diesem Falle Sonnenzellen) nahe beieinander in einerr regelmäßigen Mosaik angebracht und in Reihe undi oder parallel elektrisch miteinander verbunden sind, se daß die erwünschten Spannungen und Ströme erziel werden.

Für Sonnenbatterien an Raumfahrzeugen ist e: besonders wichtig, Tafeln hoher mechanischer Biegsam keil zur Verfügung zu haben, die auf dem Körper dei Fahrzeuge entsprechend deren Außenprofil angebrach werden können, oder die in der unwirksamen Perioden z. B. beim Start eines Satelliten und vor der Einstellung im Umlauf einen kleinen Raum beanspruchen und eine geringe Oberfläche haben und sich im erwünschter Augenblick breit entfalten können.

Die hohe Biegsamkeit der Tafein ist auch erwünscht weil jedes strahlungsempfindliche Element in bezug au die benachbarten Elemente eine bestimmte mechani sehe Unabhängigkeit haben muß, um das Auftreter mechanischer Spannungszonen auf der Tafel infolge dei thermischen schroffen Übergänge beim Übergang vor Sonnenschein in Dunkelheit und umgekehrt und infolge

der beim Manövrieren auftretenden Erschütterungen zu vermeiden, weiche Spannungen, Bruch oder anderen ernstlichen Schaden hervorrufen können.

Die bekannte Technik zur Herstellung von Sonnenbatterien steifer Struktur auf Tafeln einer hinreichenden Biegsamkeit, um diese mit einer Krümmung von verhältnismäßig kleinem Radius anbringen zu können, besteht darin, daß die strahlungsempfindlichen Elemente durch Bänder oder Metallstreifen geringer Dicke miteinander verbunden werden, die auf geeignete Weise ausgeglüht sind und die durch Löten einerseits auf der Rückfläche eines strahlungsempfindlichen Elementes und andererseits auf einem der Ränder der Vorderseite des benachbarten Elementes befestigt werden. Infolge ihrer eigenen Biegsamkeit und sofern der Träger aus biegsamem Material besteht, erlauben diese Bänder oder Streifen beschränkte Verformungen der betreffenden Tafel.

Diese Technik wird bei der Herstellung der gegenseitigen Verbindung von strahlungsempfindlichen Elementen benutzt, die in der FR-PS 14 23 414 beschrieben ist. Nach dieser Patentschrift besteht zum Erzielen einer maximalen Biegsamkeit der Tafel bei einer guten mechanischen Widerstandsfähigkeit der Lötstellen das Verbindungselement aus einem perforierten Metallband, das gleichsam ein Netzv erk bildet und dessen Dicke etwa 0,05 mm beträgt. Die durch dieses Netzwerk miteinander verbundenen strahlungsempfindlichen Elemente werden auf einem Träger festgeklebt, der aus einer isolierten Metallfolie besteht, wobei der Klebstoff aus Siliziumgummi besteht, oder das Netzwerk kann direkt auf einer Siliziumgummischicht angebracht werden. Die so erhaltenen Tafeln lassen sich bequem aufwickeln.

Die Herstellung solcher Vorrichtungen erfordert große Sorgfalt und beansprucht viel Zeit. Zunächst müssen die strahlungsempfindlichen Elemente durch Bänder oder durch das Netzwerk miteinander verbunden werden und darauf muß die erhaltene Matrix auf einem äußeren Träger festgeklebt werden. Das Metallband, insbesondere das perforierte Band ist sehr verletzbar. Auch die Matrix von strahlungsempfindlichen Elementen muß äußerst sorgfältig behandelt werden, solange sie nicht auf einem äußeren Träger befestigt worden ist. Die Art dieser Arbeit und die Zerbrechlichkeit der Bestandteile machen also die Herstellung einer Tafel mit strahlungsempfindlichen Elementen besonders schwierig.

Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, auf möglichst einfache Weise eine Vorrichtung herzustellen in denen jedes strahlungsempfindliche Element in bezug auf das benachbarte Element eine möglichst große mechanische Unabhängigkeit aufweist.

Diese Aufgabe wird bei einer Vorrichtung der eingangs genannten Art dadurch gelöst, daß die metallisierten Oberflächenteile mit durch die Folie hindurchgehenden Einschnitten versehen sind, wodurch Zungen gebildet sind, deren metallisierte Oberfläche mit einem strahlungsempfindlichen Element in Berührung ist, und die strahlungsempfindlichen Elemente wenigstens teilsweise durch die Zungen und die metallisierten Oberflächenteile elektrisch miteinander verbunden und auf dem Träger befestigt sind.

Durch eine solche Ausbildung der Vorrichtung wird insbesondere eine größere Beweglichkeit in Richtung senkrecht zur Trägeroberfläche erreicht, wobei gleichzeitig die flexiblen galvanischen Verbindungen völlig durch Teile des Trägers gebildet werden können.

Der biegsame Träger, der das Stützelement der Vorrichtung bildet, besteht aus einem biegsamen, isolierenden Material, daß in einem Temperaturbereich von —70 bis +70° C praktisch konstante physikalische, chemische und mechanische Eigenschaften aufweist. Es eignen sich in dieser Hinsicht besonders gut die Polyimidharze der US-PS 31 79 634. Vorzugsweise wird ein Polyimidharz verwendet, das zwischen etwa —200 und ±300° C biegsam und widerstandsfähig bleibt und seine anderen Eigenschaften praktisch vollkommen behält.

Gemäß einer Ausgestaltung der Erfindung enthalten die strahlungsempfindlichen Elemente eine Halbleiterplatte, die auf beiden Seiten mit einer Elektrodenschicht versehen ist.

Gemäß einer weiteren Ausgestaltung der Erfindung weist der Träger auf nur einer Seite metallisierte Oberflächenieile auf und besitzt mindestens zwei einander gegenüber liegende, benachbarten, metallisierten Oberflächenteilen zugehörende Zungen, von denen eine gefaltet ist, so daß ihre isolierende Oberfläche der isolierenden Fläche des Trägers gegenüber liegt, während ihre metallisierte Oberfläche mit einer der Elektrodenschichten eines strahlungsempfindlichen Elementes in Berührung steht, und wobei die andere Zunge mit ihrer metallisierten Oberfläche mit der anderen Elektrodenschicht des strahlungsempfindlichen Elementes in Berührung steht.

Eine andere Ausgestaltung der Erfindung ist dadurch gekennzeichnet, daß der Träger auf einer Seite eine erste Gruppe metallisierter Oberflächenteile enthält, in denen durch Einschnitte Zungen gebildet sind, wobei gegenüber jedem dieser Oberflächenteile auf der anderen Seite des Trägers ein kleinerer, metallisierter, einer zweiten Gruppe zugehörender Oberflächenteil vorgesehen ist, der mit dem gegenüberliegenden, metallisierten Oberflächenteil der ersten Gruppe galvanisch verbunden ist, wobei jedes strahlungsempfindlich^ Element mit einer seiner Elektrodenschichten mit einer Zunge der ersten Gruppe und mit seiner anderen Elektrodenschicht mit einem metallisierten Oberflächenteil der zweiten Gruppe in Berührung steht, welcher Teil mit der genannten Zunge der ersten Gruppe nicht galvanisch verbunden ist.

Zur Herstellung einer Vorrichtung nach der Erfindung kann der Träger mit einer Schicht von einigen μηι Dicke eines Metalles wie Kupfer oder Silber, entsprechend dem besonderen erwünschten Verbindungsmuster, auf einer oder auf zwei Seiten bedeckt werden. Dazu kann ein bekanntes Aufdampfverfahren im Vakuum verwendet werden, wobei der Träger vollständig bedeckt und darauf der nicht erwünschte Teil weggeätzt werden kann oder eine selektive Maske benutzt wird. Es sei bemerkt, daß diese Vorbereitung durch Verwendung der käuflich erhältlichen Kunststoffträger mit Metallbedeckung vereinfacht werden kann. Polyimidharze sind z. B. in Form einer Folie mit einer einseitigen oder zweiseitigen Kupferbedeckung erhältlich. Es ist auch möglich, das Verbindungsnetz mittels Zonen und Lamellen herzustellen, die aus Metallfolien geringer Dicke (etwa 15μηι) ausgeschnitten und auf einer ihrer Oberflächen mit einem polymerisierbaren Harz bedeckt sind, wodurch sie auf dem Kunststoffträger gehalten werden. Solche selbstklebende Folien sind käuflich erhältlich.

In einer zweiten Stufe der Herstellung der Vorrichtung nach der Erfindung wird der Träger längs einer Anzahl von Linien durchgeschnitten, die Verbindungs-

zungen abgrenzen. Die teilweise von dem Träger gelösten Zungen lassen sich auf den Träger zurückfalten.

Die elektrische Verbindung zwischen den Elektroden der strahlungsempfindlichen Elemente und den metallisierten Trägerteilen durch ein geeignetes Eutektikum z. B. durch eine Blei-Zinn-Antimon-Legierung hergestellt, die durch Erhitzung des Trägers auf eine Temperatur von etwa 90° C geschmolzen wird, worauf eine auf etwa 200° C erhitzte Eisenplatte während einiger Sekungen flach auf die strahlungsempfindlichen Elemente gedrückt wird.

Um die Elemente parallel zu schalten, genügt es, zwischen den metallisierten Oberflächenteilen mit den ausgeschnittenen Verbindungszungen Metailamellen unterschiedlicher Breite entsprechend dem je nach dem Ort auf der Tafel durchzuführenden Strom anzubringen.

Ein wesentlicher Vorteil des Verfahrens besteht in der Halbautomatisierung der Herstellung, die bisher nur von Hand erfolgen konnte. Die Vorbereitung des Trägers d. h. die Metallisierung und das Schneiden der Verbindungszungen läßt sich schnell durch industrielle Methoden durchführen. Für die Handarbeit bleibt das Anbringen der strahlungsempfindlichen Elemente auf dem Träger und die geeignete Anordnung der Zungen. Dies ist jedoch erheblich leichter durchführbar als die Herstellung einer Matrize mittels Bänder oder Metallnetzwerke und das Anbringen der Matrize auf einem Träger durch eine Klebeschicht wie bei der bekannten Technik.

Da das Verbindungsnetz am Anfang bereits mit dem Träger eine Einheit bildet, braucht es keine eigene mechanische Festigkeit zu haben wie die Bänder oder der perforierte Streifen. Die Wahl des Netzwerkes kann sich also auf die Anforderungen der elektrischen Funktion konzentrieren. Es kann auf diese Weise an Gewicht eingespart werden, wenn nicht bemerkenswert für ein Element an sich, dennoch erheblich bei Anlagen, bei denen ein Minimalgewicht eine Grundbedingung bildet.

Ein weiterer Vorteil besteht darin, daß die Elemente mechanisch nur durch den Kunststoffträger miteinander in Verbindung stehen, da in mechanischer Hinsicht die Verbindung durch die gedruckte Verdrahtung vernachlässigbar ist. Der Einfluß der thermischen Stöße und Erschütterungen auf die Lebensdauer der Vorrichtung wird hierdurch stark herabgemindert, vor allem wenn der Träger mechnische Eigenschaften aufweist, die durch große Temperaturschwankungen wenig geändert werden.

Die Verbindungen zwischen den Elementen bringen keinen mechanischen Widerstand mit sich, und die Vorrichtung kann leicht gefaltet werden. Es genügt, die Elemente derart anzuordnen, daß hinreichend breite Faltzonen übrig bleiben und keine Zugkräfte auf die Verbindungszungen auftreten die die Verbindungen der Zungen mit den Elementen unterbrechen könnten. Wenn zwischen den Elementen ein geeigneter Verteilungsstreifen frei gelassen wird, kann die Vorrichtung leicht aufgewickelt werdea

Der Ersatz eines schadhaften Elementes bei der Montage kann bei einer Vorrichtung nach der Erfindung bequem durchgeführt werden. Da jedes Element mechanisch frei von den benachbarten Elementen ist, kann das schadhafte Element von den betreffenden Verbindungszungen losgeiötet werden, worauf unmittelbar ein anderes Element festgelötet werden kann.

Die Erfindung wird nachstehend an Hand der

Zeichnungen näher erläutert.

F i g. 1 zeigt eine Draufsicht auf einen biegsamen Träger mit den erforderlichen Metallzonen zur gegenseitigen Verbindung der strahlungsempfindlichen EIemente.

Fig.2 zeigt einen Schnitt längs der Linie 11-11 in F i g. 1 durch den betreffenden Träger.

F i g. 3 zeigt auch eine Draufsicht auf den Träger nach dem Schneiden der Verbindungszungen.

ίο Fig.4 zeigt einen Schnitt längs der Linie IV-IV in F i g. 3.

Die F i g. 5 und 6 zeigen eine Draufsicht bzw. einen Schnitt längs der Linie VI-VI des Trägers vor dem Anbringen der strahlungsempfindlichen Elemente.

F i g. 7 zeigt in vergrößertem Maßstab einen Teil einer Ansichi des Trägers nach den F i g. 5 und 6 mit einem strahlungsempfindlichen Element.

Fig.8, 9 und 10 zeigen in einer Abart einer Ausführungsform die Verwendung von eingeschnittenen Zungen und metallisierten Löchern als Verbindungselementen.

Der in den Figuren dargestellte Träger ist mit sechs strahlungsempfindlichen Elementen (in diesem Falle Sonnenzellen) versehen, die in zwei Reihen von drei Elementen parallel angeordnet sind, aber es wird einleuchten, daß die Anzahl von strahlungsempfindlichen Elementen bedeutend höher und ihre Anordnung anders sein kann.
Der biegsame Träger 10 nach den Fig. 1 und 2 besteht aus einem isolierenden Kunststoff und ist auf seiner Oberflächen mit verschiedenen gesonderten Metallzonen 11,12, 13, 14, 15 und 16 z. B. rechteckiger Form versehen, deren Dicke je nach Bedarf zwischen einem und einigen Zehn μιπ liegen kann. Diese Zonen können eine Schicht aus nur einem Metall oder verschiedene übereinander liegende Schichten enthalten. Die obere Schicht, also die am weitesten von dem Träger entfernte Schicht besteht vorzugsweise aus im Vakuum aufgedampften Silber. In der in diesen Figuren dargestellten Ausführungsform bilden die Zonen 12 bis 15 ein Zeilen- und Spalten-Muster, während die Zonen 11 und 16 auf je einer Seite dieses Musters angebracht sind, so daß ihre Breite wenigstens gleich der des Musters ist.

Der auf duese Weise vorbereitete Träger wird längs einer Anzahl von Linien 17 (die Breite dieser Linien ist in den F i g. 3 und 4 stark übertrieben angedeutet) durchgeschnitten, wodurch an dem Umfang der genannten Metallzonen Zungen 11a, 12a und i2b, 14a,

146. 16a gelöst werden können, die je für sich einander gegenüber liegen und mit je einer anderen Zone verbunden sind. Diese teilweise von dem Träger 10 gelösten Zungen haben in bezug auf den Träger eine bestimmte Bewegungsfreiheit, wodurch sie als elektrisehe Verbindungselemente für die Sonnenzellen verwendet werden können. Zu diesem Zweck werden die Zungen 11a, 126 und 146 derart gefaltet daß ihre isolierende Oberfläche mit der unbedeckten, isolierenden Oberfläche des Trägers 10 in Berührung ist; die Zungen 12a, 114a und 16a werden nur in der Richtung auf die erwähnte unbedeckte Oberfläche gebogen, (siehe die Fig.5 und 6). Dies gilt auch für (fee nicht bezeichneten Zungen, die in den Zonen 13 und 15 geschnitten sind.

Zwischen zwei einander gegenüber liegenden, verschiedenen Zonen zugehörenden Zungen wie 126 und 14a (siehe die Fig.6 und 7) wird eine Sonnenzelte 18 befestigt Die Rückfläche der Zelle 18, die in bekannter

♦ «*

Weise mit einer leitenden Haut ζ. B. Silber versehen ist, kommt über einen Teil ihrer Oberfläche mit dem Metallteil der Zunge 12b in Berührung, während die Zunge 14a auf die Kollektorelcktrode auf der Vorderfläche eier Zelle 18 zurückgefaltet ist. Verbindungslamellen aus einer Blci-Zinn-Antimon-Legierung sind vorher an den Kontaktstellen angebracht, um nach dem Schmelzen dieser Legierung geeignete mechanische und elektrische Verbindungen herzustellen. Eine dünne Schicht 19 eines geeigneten Klebestoffes erteilt dem Ganzen eine hinreichende mechanische Festigkeit während der Lotung. Um dieses Löten naeh Anordnung aller Zellen auf der Tafel durchzuführen, wird die Tafel auf etwa WC erhitzt, z.B. indem sie auf eine heiße Oberfläche gelegt wird, worauf mittels eines auf eine Temperatur von etwa 200" C auf jede Zelle gedrückten Metallplatte das Lot geschmolzen wird. Dies beansprucht zwei bis drei Sekunden pro Zelle oder pro Gruppe von Zellen.

In der bisher dargcstclllen Ausführungsform können sechs Sonnenbatterien an den vorbereiteten Stellen des Trägers 10 angebracht und durch die verschiedenen Metalizoncn verbunden werden, wobei die Zonen 11 und 16 die Eingangs- bzw. Ausgangselektroden dieser Vorrichtung bilden. Die letzteren Zonen haben Zungen gegenüber den Zonen 12, 13 bzw. 14, 15. Aul diese Weise v^erden zwei Reihen von drei Zellen erhalten, die ;n ihren Enden parallel geschaltet sind. Wenn l'arallelverhindungcn an zwischcnliegenden Pegeln /wischen den Enden erwünscht sind, können einfach die Zonen 12 und 13 einerseits, 14, 15 andererseits durch Metallamcllcn miteinander verbunden werden, die beim Anbringen des elektrischen Verbindungsncizes vorgesehen werden sollen.

Deutlichkeitshalber sind die Mctallzonen 11, 12, 13, 14, 15 und 16 in regelmäßigen geometrischen Formen cargcstellt. Fs wird einleuchten, daß die nicht eine Vcrbindungszunge bedeckenden Teile dieser Zonen eine genauer bestimmte Oberfläche in bezug auf die geringeren, durchfließenden Ströme haben können.

Der biegsame Träger 20 nach den F i g. 8 bis 10, der auch für sechs Sonnenzeilen bstimmt ist, enthält auf leder seiner Oberflächen Metallzonen, die in Fig.9 einzeln dargestellt sind. Diese Figur zeigt einen Schnit längs der I .inie IX-IX in F i g. 8. Von links nach rechts ii der Figur findet man in Reihenfolge auf der oberei Fläche des Trägers 20 die Zonen 22, 23, 24 und auf dei unteren Fläche dieses Trägers die Zonen 25, 26, 27, 2J ensprechcnd den vorhergehenden Zonen, aber mi größerer Oberfläche. Diese Zonen dienen zur gegensei tigen Verbindung einer ersten Reihe von drc Elementen. Ähnliche Zonen, die nicht weiter bezeichne sind, liegen parallel zu den ersten zur Verbindung dei /weiten Reihe von drei Elementen.

Die Zonen 25 und 28 der Endverbindungen sine vereinzelt und stehen mit den beiden Reihen ir Verbindung, wie dies für die Zonen 11 und 16 erwähni ist. Die Zonen 22 und 25, 23 und 26, 24 und 27 sine paarweise durch metallisierte Löcher 29 verbunden, die durch bekannte Techniken der gedruckten Verdrahtungen erhalten sind. Wenn der Träger 20 auf diese Weise mit den unterschiedlichen, durch die metallisierter Löcher 29 miteinander verbundenen Metallzoner versehen ist, wird gegenüber den Zonen 25, 26 und 25 eine Verbindungszunge 30 am Umfang jeder Zone 26 27 bzw. 28 geschnitten.

Dann werden Sonnenzellen 31 auf dem Träger 2t angebracht und auf die in Fig. 10 in vergrößerten" Maßstab dargestellte Weise verbunden. Die Rückfläche einer Sonnenzelle 31 wird z. B. mit der Metallzone 23 durch eine Lötschicht (nicht dargestellt) in Verbindung gebracht, während eine der Zungen 30, z. B. die in der Metallzone 27 geschnittene Zunge, auf dem Kollektor dieser Sonnenzalle ruht, die auf einem der Ränder der Vorderfläche angebracht ist. Eine Klebeschicht 32 ermöglicht es, die Sonnenzelle 31 vor dem Lötvorgang anzubringen, der auf gleiche Weise wie bei dem vorstehend beschriebenen Träger durchgeführt wird Auch die Zunge 30 in der Zone 26 ruht auf der Sonnenzelle 31 und ist in Berührung mit der Zone 22.

Die gegenseitige Verbindung durch metallisierte Löcher, die eine größere Vorbereitung des Trägers erfordert, ermöglicht, das Falten der Zungen zu vermeiden, welches Falten bei Verwendung eines verhältnismäßig dicken Trägers Schwierigkeiten mit sich bringen kann.

Hierzu 2 Blatt Zeichnungen «09540/207

Claims (9)

Patentansprüche:

1. Vorrichtung zur Umwandlung von Strahlung in elektrische Energie, die eine Batterie von strahlungsempfindlichen Halbleiterelementen enthält, die elektrisch miteinander verbunden und auf einem biegsamen Träger angebracht sind, der aus einer auf mindestens einer Seite metallisierte Oberflächenteile aufweisenden Folie elektrisch isolierenden Materials besteht, dadurch gekennzeichnet, daß die metallisierten Oberflächenteile (11 bis 16) mit durch die Folie hindurchgehenden Einschnitten (17) versehen sind, wodurch Zungen (ila, VXa, \2b, 14a. 16a) gebildet sind, deren metallisierte Oberfläche mit einem strahlungsempfindlichen Element (18) in Berührung ist, und die strahlungsempfindlichen Elemente wenigstens teilweise durch die Zungen und die metallisierten Oberflächenteile elektrisch miteinander verbunden und auf dem Träger (10) befestigt sind.

2. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die strahlungsempfindlichen Elemente eine Haibleiterplatte enthalten, die auf beiden Seiten mit einer Elektrodenschicht versehen ist.

3. Vorrichtung nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß der Träger (10) nur auf einer Seite metallisierte Oberflächenteile aufweist und mindestens zwei einander gegenüberliegende, benachbarten metallisierten Oberflächenteilen zugehörende Zungen (126, 14a) aufweist, von denen eine (12ö) gefaltet ist, so daß ihre isolierende Oberfläche der isolierenden Oberfläche des Trägers gegenüber liegt, während ihre metallisierte Oberfläche (12) mit einer der Elektrodenschichten eines strahlungsempfindlichen Elementes (18) in Berührung steht wobei die andere Zunge (14a) mit ihrer metallisierten Oberfläche (14) mit der anderen Elektrodenschicht des strahlungsempfindlichen Elementes in Berührungsteht.

4. Vorrichtung nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß der Träger (20) auf einer Seite eine erste Gruppe metallisierter Oberflächenteile (26,27) enthält, in denen durch Einschnitte Zungen gebildet sind, wobei gegenüber jedem dieser Oberflächenteile auf der anderen Seite des Trägers ein kleiner metallisierter, einer zweiten Gruppe zugehörender Oberflächenteil (23, 24) vorgesehen ist, der mit dem gegenüberliegenden, metallisierten Oberflächenteil (26,27) der ersten Gruppe galvanisch verbunden ist, wobei jedes strahlungsempfindliche Element (31) mit einer seiner Elektrodenschichten mit einem der ersten Gruppe zugehörige metallisierten Oberflächenteil (27) einer Zun?e (30) und mit der anderen Elektrodenschicht mit einem metallisierten Oberflächenteil (23) der zweiten Gruppe in Berührung ist.

5. Vorrichtung nach einem oder mehreren der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß der biegsame Träger aus einem Polyimidharz besteht.

6. Vorrichtung nach einem oder mehreren der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die metallisierten Oberflächenteile mit einer Metallschicht versehen sind, die wenigstens auf der vom Träger abgewandten Oberfläche aus Silber besteht.

7. Verfahren zur Herstellung einer Vonichtung nach einem ode:r mehreren der Ansprüche 1 bis 6, wobei auf einem Träger Oberflächenteile metallisiert werden, dadurch gekennzeichnet, daß in dei metallisierten Oberflächenteilen Zungen ausge schnitten und die strahlungsempfindlichen Element mit ihren Elektrodenschichten auf den metallisiertei Trägerteilen festgelötet werden.

8. Verfahren nach Anspruch 7, dadurch gekenn zeichnet, daß das Löten dadurch erfolgt, daß dl strahlungsempfindlichen Elemente auf den Träge gestellt werden und zwischen den Elementen um den metallisierten Oberflächenteilen Lot angebrach wird, worauf der Träger auf etwa 90° C erhitzt win und die strahlungsempfindlichen Elemente wenig stens auf der von dem Träger abgewandten Seite au eine Temperatur von etwa 200° C erhitzt werden.

9. Verfahren nach Anspruch 7 oder 8, dadurcl gekennzeichnet, daß die strahlungsempfindlichei Elemente zusätzlich mit einem Klebstoff (19,32) mi dem Träger (10,20) verbunden werden.