Gebrauchsmusteranmeldung
Pampensats'fur Vaknumanlagen"
eo, n ? U
Die Neuerung bezieht sich auf einen Pumpensatz für Bakmman-
lauge insbesondere welche 9 in welchen zeitweilig in Behand=-
lungsprozessen Gase oder Dämpfe freigesetzt werdeno
Für solche Vpknumanlagen ist es bekemnt, zwei Ilochvakuumpumpen
verschiedenen Arbeitsprinzipes su benüten9 von welchen die
eine
nach höheren Drücken hin geringere Saugleistung, aber ein besseres
Endaknum als die andere aufweists, beispielsweise eine Diffusions-
pumpe,während die andere nach höheren Drücken hin höhere Saug-
leistungy aber geringerem EndTakums beispielsweise eine Roets-
Hochvakuumpumpe, aufvieiet. Bei den bekannten Anlagen dieser
Art
war es bisher stets notwendig, den Druck im Inneren des Rezipienten
ständig sn üborwaehen und bei Gaaein-oder Ansbrüehen die beiden
parallelliegenden Hoehvalmumpumpen umsuschaltenp und dann,
wenn
die Folgen eines es Gasein-oder Ausbruches beseitigt waren,
wieder
zurückzuschalten. Diese Art der Schaltung ist aber besonders nachteilige weil sie
nicht mit der erforderlichen Schnelligkeit durchgeführt werden kann, insbesondere
weil es dabei noch erforderlich istp die entsprechenden Ventilumschaltungen vorzunehmen.
Alle diese Nachteile werden durch die Erfindung in einfacher
Weise dadurch behoben :, daß zumindest ein im Rezipierten unter=-
gebrachtes Druckmeßgerät mit einer Schaltvorrichtung für amins
dest die Hochvakuumpumpe höherer Saugleistung (Hochvakuum-Roots-
pumpe) verbunden ist. Hierdurch wird erreicht, daß sofort bei
Auftreten eines Druckes oberhalb einer bestimmten Grenze innerhalb des Rezipienten
diese Hochvakuumpumpe höherer Saugleistung eingeschaltet wird und im Rezipienten
wieder einen geringeren Druck erzeugt, bevor durch den höheren Druek in der Hochvakuumpumpe
geringerer Saugleistung (Diffusionspumpe) Schäden oder nachteilige Folgen eingetreten
sein können.
Zweckmäßig ist das mit der Schaltvorrichtung verbundene Druck-
meßgerät ein Vakwummeßgerät mit automatischer Bereichaumschal-
dessen Bereichaumschalter mittels eines zusätzlichen
Kontaktesates mic der Schalteinrichtung für die HochTakn-ampumpe
höherer Saugleietung (Hochvakuum-Rootspumpe) vezbunden ist.
Neen einem-verhältnismäßig einfachen A'afba bietet sieb hif
? °
durch eine sehr hohe Betriebssicherheit des Pumpensatzeo nach
derNeuerung.
In beTorgngter Ausführungsf. orm enthält die Sehaltworrishtung
einen Z@itschalterp'der sum Einsshalten der Hochvakuumpttmpe
höherer Sangleistung (Hochakuum°Rootapumpe) mit dem Dnekmeß-
gerät verbunden ist und eine Einrichtung aufweist, die nach
Ab-
lauf d@r eingestellten Zeit den Schulter wieder öffnet.
Der be-
sonders Vorteil dieser Ausführungsform besteht darin, daß die
Arbeitsdauer-der Hochvakuump-umpe höherer Saugleistung (Hochvakuum-
Rootspumpe) so eingestellt'werden kanns daß beim Abschalten
dieser'
Pumpe der im Rezipienten herrschende Druck bereits wieder so
weit
herabgesetzt worden ist daß die Hoehvakuumpumpe geringerer
Saug-
leistung (Piffusionspumpe) wieder ihre gesamte Sangleistung
ent-
falten kann. Es wird hierdurch vor allem ein allzu häufiges
Um-
schaltenTon der einen HoehvakuuNpumpe auf die andere vermieden.
In einer anderen Ausführungsform der Neuerung können im Re-
f
sipionten zwei Druckmeßgeräts mit automatischer Bereichsumschal-
tung angebracht und mit der Schaltvorrichtung derart verbunden
sein daß die Einschalteinrichtung für die HochvakMumpumpe
höherer Saugleistung (Hochvaltuum-Rootspumpe) an dem einen
und
derenAusachalteinridhtung an demlanderen Druckmeßgerät liegen.
San erreicht hierdurchp daß'beim Ausschalten der Hochvakuumpumpe
höherer Saugleistung tatsächlich im-Rez'ipienten wieder der
ge-
wünschte niedere Druck herrsche bei welchem die andere Hochvakuum-
pumpe(Diffusionspumpo) ihre volle Saugleistung entfalten kann.
Als dritte Möglichkeit kann auch das im Rezipienten angebrachte
Druckmeßgerät zwei Bereichsumschaltetufen aufweisen, von welchen
jedes zusätzliche Schlterkontak aufweist wobei die Kontakte
der höheren Druckbereichsstufe mit den Einschalteinrichtungen
und die Kontakte der tieferen Druokbereichsstufe mit den Aus-
sehalteinrichtungen der Schaltvorrichtung für die Hochvakuum-
pumpe höherer Saugleistung (Hochvakums-Rootspumpe) verbunden
sind. In einem wolchen Fall ist es vorteilhaftg daß nur ein
Drnekmeßgerät'benotigt wirdp während andererseits die Sicherheit
geben istp daß diese Hochvakuumpumpe tatsächlich erst s, ge-°
ehaltet wirdg emi ein gewmjhtr ieaeis Lrnck erreiche istg
bei welchem die andere Hochvakuumpumpe (Diffusionspumpe) wiederum
ihre Saugleistung entfalten kanno
Während es im allgemeinen zweckmäßig erscheint :, nur die Hoch-
Takuump's. mpe höherer Sauglstung (HochTaknm-Rootspumpe) anto-
matigeh ein-und auszuschalten ist es jedoch auch mögliche daß
die Schaltvorrichtung Ein-und Ausschalteinrichtungen für beide
Hoehvakuumpumpen enthält wobei in die Einschalteinrichtungen
der einen Pumpe jjev.'eils mit den Ausschalteinrichtungen der
anderen
Pumpegekuppelt sind.
In einer bevorzugten Ausführungsform ist zwischen der Hochvaknm=
p
pumpe höherer Saugleistung und der Vorvakuumpumpe ein Ventil
an-
gebrachte dessen Betätigungseinrichtung mit der Schaltvorrichtung
für die Hochvakuumpumpe höherer Saugleistung (Ho@hvaknum-Roots°
pumpe) verbunden ist. Ein solches Ventil ist in allen solchen
Fällen erforderlich, in denen diese Hochvakuumpumpe höherer
Saug-
leistung in abgeschaltetem Zustand nicht in der Lae ists von
sich ans die Vorvakuumstufe gegenüber der Hochvakuumstufe völlig
abzusperreng also beispielsweise eine schon mehrfach als Beispiel
erwähnte Hochvaknma=Rootspumpe ist. Durch die Erfindung wird
es
aberbesondere vorteilhafte daß dieses im allgemeinen notwendige
Ventil zusammen mit der Hochvakuumpumpe höherer Saugleistung
automatisch gesteuert wirdo
'Darüber hinauo ist-es auch möglich, zwischen der Hochvakuumpumpe
niedererSaugleistung (Diffusionspumpe) und der Vorvakuumpumpe
ein
Ventil anzubringen dessen Betätigungseinrichtung mit der Schalt-
Vorrichtung für diese Hochvakuumpumpe höherer Saugleistung
ver-
bunden ist. Ein solches Bentil ist im allgemeinen dann erforder-
lichv wenn mit dem Einschalten der Hochvakuumpumpe höherer
Saug-
leistung (Hochvakuum-Rootspumpe) die Hochvakuumpumpe niederer
~AS
j9G1-
Saugleistung(Diffusionspumpe) °-abgeschaltet wird.
Utility model registration Pampensats'for vacuum systems "
eo, n? U
The innovation relates to a pump set for Bakmman
lye in particular which 9 in which temporarily in treatment = -
processes gases or vapors are released o
It is known that two vacuum pumps are used for such systems
use different working principles9 of which one
lower suction power after higher pressures, but better
End acnum than the other, for example a diffusion
pump, while the other, with higher pressures, has higher suction
performance but with a lower end-point, for example a Roets-
High vacuum pump, aufvieiet. In the known systems of this type
it has always been necessary to reduce the pressure inside the recipient
constantly sniffing and both of them when brewing or brewing
switch to parallel Hoehvalmumpumps p and then, if
the consequences of a gas ingress or outbreak were eliminated again
to switch back. However, this type of switching is particularly disadvantageous because it cannot be carried out with the required speed, in particular because it is still necessary to carry out the corresponding valve switchovers. All of these drawbacks are made easier by the invention Remedied in this way: that at least one in the received under = -
brought pressure gauge with a switching device for amines
least the high vacuum pump with higher suction capacity (high vacuum roots
pump) is connected. This ensures that immediately at
If a pressure above a certain limit occurs within the recipient, this high vacuum pump with higher suction power is switched on and a lower pressure is generated again in the recipient before damage or disadvantageous consequences can occur due to the higher pressure in the high vacuum pump with lower suction power (diffusion pump). The pressure connected to the switching device is expedient.
measuring device a vacuum measuring device with automatic range switch
its area switch by means of an additional
Kontaktesates mic of the switching device for the HochTakn-am pump
higher suction line (high vacuum Roots pump) is connected.
Neen a-relatively simple A'afba offers sie hif? °
due to the very high operational reliability of the pump set
the renewal.
In the cared for execution. orm contains the terminology
a timer switch to maintain the high vacuum temperature
higher singing performance (high vacuum ° Roota pump) with the Dnekmeß-
device is connected and has a device that after Ab-
the shoulder opens again during the set time. The loading
A special advantage of this embodiment is that the
Working time of the high vacuum pump with higher suction power (high vacuum
Roots pump) can be set so that when this is switched off
Pump the pressure prevailing in the recipient again so far
has been reduced so that the high vacuum pump has lower suction
performance (diffusion pump) again their entire singing performance
can fold. Above all, this leads to an all too frequent
Avoid switching the sound from one high vacuum pump to the other.
In another embodiment of the innovation, in the re-
f
sipionten two pressure gauges with automatic range switching
device attached and connected to the switching device in such a way
be that the switch-on device for the high vacuum pump
higher suction power (high-vacuum Roots pump) on one and
whose control unit is due to the other pressure gauge.
Through this, San achieves that when the high vacuum pump is switched off
higher suction power actually in the recipient again
wish lower pressure prevails at which the other high vacuum
pump (diffusion pump) can develop its full suction power.
A third possibility can also be that which is attached to the recipient
Pressure measuring device have two range switching stages, of which
each additional switch contact has the contacts
the higher pressure range level with the switch-on devices
and the contacts of the lower pressure area level with the
holding devices of the switching device for the high vacuum
pump with higher suction capacity (high vacuum Roots pump)
are. In such a case it is advantageous that only one
Pressure measuring equipment is required while on the other hand security
it is given that this high vacuum pump is actually only s, ge °
You will be able to achieve a successful year in Lrnck
in which the other high vacuum pump (diffusion pump) in turn
can develop their suction power
While it seems appropriate in general: only the high-
Takuump's. mpe higher suction capacity (high-tech Roots pump) anto-
To switch matigeh on and off, however, it is also possible that
the switching device on and off switching devices for both
High vacuum pumps containing in the switching devices
one pump jjev.'eils with the cut-off devices of the other
Are coupled to the pump.
In a preferred embodiment, between the high vacuum =
p
pump with higher suction power and the backing pump a valve.
brought its actuating device with the switching device
for the high vacuum pump with higher suction power (Ho @ hvaknum-Roots °
pump) is connected. Such a valve is in all such
Required in cases where this high vacuum pump has higher suction
power in the switched-off state is not in the Lae ists of
the fore-vacuum stage compared to the high-vacuum stage completely
cordoned off so, for example, one already several times as an example
mentioned high vacuum = Roots pump is. With the invention it becomes
but particularly advantageous that this is generally necessary
Valve together with the high vacuum pump with higher suction capacity
is controlled automatically o
In addition, it is also possible between the high vacuum pump
lower suction power (diffusion pump) and the backing pump
To attach the valve its actuating device with the switching
Device for this high vacuum pump with higher suction power
is bound. Such a bent is generally required
lichv if, when the high vacuum pump is switched on, higher suction
performance (high vacuum Roots pump) the high vacuum pump lower ~ AS
j9G1-
Suction power (diffusion pump) ° is switched off.
Nach der Erfindung ist bei der Anordnung eines solchen Ventiles auch
dafür Sorge getragen, daß dieses Ventil mit Sicherheit - und schnell betätigt wird.According to the invention is also in the arrangement of such a valve
made sure that this valve is operated safely - and quickly.
Ein besonders häufiger und zweckmässiger Anwendungsfall der Er-
findung ist dann gegeben. wenn in der wiederholt als Beispiel
ervighnten die Hochvakuumpumpe niederer Saugleistung, eine
Diffusionspumpe, und die Hochvakuumpumpe höherer Saugleistung eine solche ; die
nach Art eines Roots-Gebläses arbeitet.
Sine Ausführungsform der Erfindung ist in der Zeichnung beispiels-
halbor dargestellt. Sie zeigt die Vakuumanlage bestehend aus
einem
Rezipienten 1, an den der Pumpendatz nach der Erfindung angesetzt
ist, In iepense sind zwei parallelliegende Hochvakuum-
pumpen vereinigt, nämlich eine Diffusionspumpe 2 und eine nach Art eines Roots-Gebläses
arbeitende Hochvakuumpumpe 3. Vor beide Hochvakuumpumpen 2 und 3 sind eine oder
mehrere gemeinsame Vorpumpen 4 gesetzt. In dem dargestellten Beispiel handelt es
sich
bei der Vorpumpe 4 um eine ölgedichtete, mechanische Pumpe
mit
exzentrisch in einem Arbeitsraum 5 ablaufenden Kolben 6. Zwischen
diese Verpuppe 4 und die Hochvakuumpumpe 2 und 3 sind Ventile
7
bzw. 8 eingesetzt.
Zur Steuerung des Pumpensatzes nach der Erfindung ist das in
den
Rezipienten 1 eingesetzte Druckmeßgerät 9 als Vakuummeßgerät
mit
automatischer Bereichsumschaltung ausgebildet. Der Umschalter
dieses VakumameDgerätes 9 ist mit zusätzlichen Kontakten versehen,
die mit der Schaltvorrichtung 10 für die Vakuumpumpe 3 und die Ventile 7 und 8 verbunden
sind. Diese Schaltvorrichtung 10 enthält
einerseits eine Bin-und Ausschalteinrichtung für die Hochvakuum-
CD
pumpe 3 und damit gekuppelte Schalteinrichtungen für die
BetätigungseinriCrhtungen der Ventile 7 und 8. Ausserdem ent-
hält die Schaltvorrichtung einen Zeitschalter 11, der mit dem Einschalten
der Hochvakuum-Rootspumpe 3 mit höherer Saugleistung zulaufen beginnt und nach Ablauf
der an ihm eingestellten Zeitspanne den Einschalter für die Hochvakuum-rootspumpe
3 wieder ausrückt. Die Arbeitsweise der Vorrichtung nach der Erfindung ist wie folgt
Im normalen Betrieb, d.h. bei gut evakuiertem Rezipienten 1 arbetten die Diffusionspumpe
2 und die Vorpumpe 4p wobei das Ventil 7 geöffnet ist.
Ereignet sich im Resipienten ein Gasausbruch so erhöht sieh
dort
der Drucke Das Vakuummeßgerät 9 schaltet dann bei überschreiten
einer an diesem Gerät eingestellten Druckgrenze auf den unempfind-=-
sicherenBereich um und gibt dabei über seine susätglichen
Kontakte einen'Impuls an die Schaltvorrichtung 100 Dadurch wird der Einschalter
für die Hochvakuum-Rootspumpe 3 höherer Saug-
leistung betätigt. Mit diesem Einschalter sind die Schalteinrich-
tungen für die Betätigungseinrichtungen der Ventile 7 u. 8
und
der Zeitsehalter 11 in der Weise gekuppelte daß das Ventil
7 ge-
schlossen und das Ventil 8 geöffnet und zur Vermeidung der
Bil-
dung von Öldampfen die Heizung der Diffusionspumpe 2 abgeschaltet
wird
Der Zeitschalter 11 beginnt zu laufen N, a die an ihm eingestellte
Zeitspanne abgelaufen ist. Sodann rückt der Zeit8chalter 11
den
Einschalter für die Hochvakuumpumpe 3 höherer Saugleistung
wieder
ausp gleichzeitig werden damit auch die Schalteinridhtungen
für
die Betätigungseinrichtungen der Ventile 7 u. 8 wieder umgelegte
so daß das Ventil 7 wieder geöffnet und das Ventil 8 geschlossen
wird. Die am Zeitsehalter 11 eingestellte Zeitspanne ist so
ge-
wählt daß nach ihrem Ablauf die im Rezipienten 1 entstandene
zu-
sätzl. iche Gasmengep deren Größe zwar vonriall zu Fall variiert,
aber doch bis zu einem ziemlich bekannten Grad voraussehbar ist, praktisch völlig
abgesaugt istp ào daß die Diffusionspumpe 2 wieder ihre volle Saugleistung entfalten
kann. Als zweckmäßige Zeitspanne hat sich eine solche von etwa 3 Minuten herausgestellt.
Es sind jedoch auch andere Ausfü@rungsformen der Erfindung als die
dargestellte möglich. Insbesondere können anstatt des einen
Va-
kmmme. Bgerätea 9 in Resipienten 1 zwei Vakmmmeßgeräte benutzt
werden ? von welchen das eine das Einschalten der Hochvakuum-
Rootspumpe 3 mit höherer Saugleistung und das andere deren
Aus-
schalten steuern kanne Man kann statt deseen auch eine Anord-
iimig benutwfeng bei der nip ein Vakuummeßgerät vorgesehen
iatp
das jedoch swei Umaehaltatufen afweist wobei die bei höherem
Druck liegende Umsehaltstufe zu Einsehalten'der Hoehvakmam-Roots-
pumpe 3 höherer Saugleistung und die bei niederem Druck liegende
EmsQhaltstnfo sum Asehalten dieser HoehTaknumpumpe 3 dient.
A particularly common and expedient application of the finding is then given. if in the repeated as an example
The high vacuum pump with low suction power won a
Diffusion pump, and the high vacuum pump with higher suction power one such; which works like a Roots blower. Sine embodiment of the invention is shown in the drawing by way of example
shown halfway. It shows the vacuum system consisting of one
Recipient 1 to which the pump set according to the invention is attached
is, in iepense there are two parallel high vacuum
pumps combined, namely a diffusion pump 2 and a high vacuum pump 3 working in the manner of a Roots blower. One or more common backing pumps 4 are placed in front of both high vacuum pumps 2 and 3. In the example shown it is an oil-sealed mechanical pump with the backing pump 4
piston 6 running eccentrically in a working space 5
this pupa 4 and the high vacuum pumps 2 and 3 are valves 7
or 8 used.
To control the pump set according to the invention is in the
Recipient 1 used pressure measuring device 9 as a vacuum measuring device with
formed automatic range switching. The switch
this vacuum device 9 is provided with additional contacts,
which are connected to the switching device 10 for the vacuum pump 3 and the valves 7 and 8. This switching device 10 contains on the one hand a bin and switch-off device for the high vacuum
CD
pump 3 and switching devices coupled with it for the
Actuating devices for valves 7 and 8.
the switching device holds a time switch 11, which begins to run when the high vacuum roots pump 3 is switched on with a higher suction power and, after the time period set on it, disengages the switch for the high vacuum roots pump 3 again. The method of operation of the device according to the invention is as follows: In normal operation, ie when the recipient 1 is well evacuated, the diffusion pump 2 and the backing pump 4p operate with the valve 7 open. If a gas outbreak occurs in the resipient, see there increased
the pressure The vacuum measuring device 9 then switches on when exceeded
a pressure limit set on this device to the insensitive - = -
safe area around and gives it over its susable
Contacts a 'pulse to the switching device 100 This turns the switch for the high vacuum Roots pump 3 higher suction power actuated. With this on-switch, the switchgear
services for the actuating devices of the valves 7 and 8 and
the timer 11 coupled in such a way that the valve 7
closed and the valve 8 opened and to avoid the formation of
The heating of the diffusion pump 2 is switched off using oil vapors
The timer 11 begins to run N, a the one set on it
Time has expired. The timer switch 11 then moves
On switch for the high vacuum pump 3 with higher suction power again
ausp at the same time the switching units for
the actuating devices of the valves 7 and 8 are turned over again
so that the valve 7 is opened again and the valve 8 is closed
will. The time period set on timer 11 is
selects that after its expiry the added value created in recipient 1
additional I have gas quantities, the size of which varies from case to case,
but it can be foreseen to a fairly well-known degree that it is practically completely sucked out so that the diffusion pump 2 can again develop its full suction power. A period of about 3 minutes has been found to be an expedient period. However, there are also other embodiments of the invention than that shown possible. In particular, instead of the one variable
take care. Bgerätea 9 in resipients 1 two vacuum measuring devices are used
will ? one of which is switching on the high vacuum
Roots pump 3 with a higher suction power and the other its output
you can control switching instead of this, you can also
iimig used a vacuum measuring device for the nip iatp
However, this has two Umaehaltatufen with the higher
Pressure switching step to maintain the Hoehvakmam Roots
pump 3 with higher suction power and the one at lower pressure
EmsQhaltstnfo sum Asehalt this HoehTaknumpump 3 is used.